JP4306978B2 - ゲート弁 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ゲート弁に関し、特に、ハウジング外部からの駆動力によりハウジング内部の弁体を開閉駆動するようになされたゲート弁に関する技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、例えば実開昭64―770号公報等に開示されるように、隣接する1対の真空容器に連通する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガイドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板支持体の一方の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空容器との間の連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体の下降時に弁板に当接して弁板を支持体に対し閉じ方向に相対移動させる弁板ストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上壁を上下方向に気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダを取り付けて、そのピストンロッドの下端部を弁箱内の弁板支持体に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支持体を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉させ、シリンダの収縮作動により弁板支持体を上昇させたときには、その弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱の真空容器との連通部を開き、両真空容器同士を連通させる一方、シリンダの伸長動作により弁板支持体を下降させたときには、その途中で、弁板支持体と共に下降する弁板を弁板ストッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真空容器との連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の連通を遮断するようにした真空ゲート弁は知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような真空ゲート弁では、弁箱の上部壁面に貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面にOリング等のシール部材を介在させた状態でピストンロッドが嵌挿されている。そして、ゲート弁を開閉させるためにピストンロッドの昇降が長期間に亘り繰り返されるとシール部材が摩耗するために、弁箱内部の気密性が低くなって真空容器内の圧力が上昇してしまう。このため、定期的にピストンロッドを貫通孔から取り外して、この貫通孔の内周面に設けられたシール部材を交換するメンテナンスが必要であった。
【0004】
そして、上記従来のものでは、ピストンロッドを貫通孔から取り外すために、弁箱を分解した後、その分解された弁箱からピストンロッドを弁板及び弁板支持体とともに取り出すことが行われている。
【0005】
しかし、上記弁箱は複数の部材が多数のボルトにより締結されて組み立てられているので、その分解に手間がかかり、上記シール部材の交換作業に要する労力が極めて大きいという問題がある。
【0006】
また、シリンダ及びピストンを取り外してメンテナンスする場合にも、同様に弁箱を分解しなければならず、同様の問題が生じる。
【0007】
本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主たる目的とするところは、弁箱内部の弁体に結合されかつ弁箱外部へ延出される駆動部材により弁体を駆動するようになされたゲート弁について、その装置構造に改良を加えることで、ゲート弁を容易にメンテナンスできるようにすることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項1の発明では、開口を有するハウジングと、上記ハウジングの内部に設けられ、上記ハウジングの開口を開閉する弁体と、一端には上記弁体に着脱可能に結合された結合部が設けられる一方、他端が上記ハウジングの壁面を貫通する貫通孔を介してハウジングの外部へ延出して設けられた駆動部材と、上記駆動部材の他端に設けられたシリンダとを備え、上記シリンダが上記駆動部材を伸縮駆動することにより、上記弁体を、上記シリンダによる上記駆動部材の伸縮駆動方向である上記ハウジングの開口周りの壁面に略平行な方向に沿って、開弁位置及び閉弁位置の間を移動させるように構成されたゲート弁であって、上記弁体が上記シリンダによって移動された上記閉弁位置にあるときに、上記弁体に着脱可能に結合されている上記結合部が上記ハウジングの開口よりも内側に位置する一方、上記弁体が上記シリンダによって移動された上記開弁位置にあるときに、上記結合部が上記ハウジングの開口よりも外側に位置するように構成されていることを特徴とする。
【0009】
上記の構成により、閉弁時に弁体と駆動部材との結合部がハウジングの開口からハウジング外部に露出するので、開口からその結合部における弁体と駆動部材との着脱作業を容易に行うことができる。従って、駆動部材を弁体から取り外すためにハウジングを分解する必要がないので、貫通孔部分のメンテナンスに要する労力を大幅に低減させることができる。
【0010】
請求項2の発明では、請求項1のゲート弁において、ハウジングの貫通孔の内周面と駆動部材の外周面との間をシールするシール部材を備える。このことにより、シール部材を容易に交換することができるものとなる。
【0011】
請求項3の発明では、請求項1又は2のゲート弁において、弁体及び駆動部材は結合部で締結手段により結合されている。このことにより、弁体及び駆動部材の好ましい結合手段を具体的に得ることができる。
【0012】
請求項4の発明では、請求項1〜3のいずれか1つのゲート弁において、弁体は、駆動部材に結合されて開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、上記弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で該弁板支持体に対し接離してハウジングの開口を開閉する弁板とから構成されていることを特徴とする。このことにより、望ましい弁体の構成を具体化することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1及び図2は本発明の実施形態を示し、1は前側に位置する第1真空容器、2は第1真空容器1の後側に隣接する第2真空容器であって、各真空容器1,2はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状の開口3,4を有する。
【0014】
そして、両真空容器1,2間には両真空容器1,2の内部空間(真空空間)同士を連通又は連通遮断するための真空装置としての真空ゲート弁5が配設されている。この真空ゲート弁5は、両真空容器1,2間に気密状に挟まれた薄厚矩形状のハウジングとしての弁箱6を備え、この弁箱6の前壁(図2で左側壁)の下部には上記第1真空容器1の開口3に対応する前側連通口7が、また後壁(図2で右側壁)の下部には第2真空容器2の開口4に対応する後側連通口8がそれぞれ開口されており、この連通口7,8を介して弁箱6内の真空空間が各真空容器1,2と連通している(以降、図2において左右方向を前後方向、また同図において紙面に垂直な方向を左右方向とする)。
【0015】
図1及び図2に示すように、上記弁箱6内の上部には、アクチュエータとしてのエアシリンダ31が配設されている。すなわち、弁箱6の上壁面6aに固定支持されたシリンダ台19に載置された状態でボルト等により締結固定されている。このエアシリンダ31は、シリンダボディから下方に突出して直線運動をする駆動部材としての円筒状のピストンロッド31aを有している。
【0016】
一方、図8にも示すように、弁箱6はその上部に一体的に設けられた案内支持部51を有しており、この案内支持部51及び上壁面6aが弁箱6の上部壁面を構成している。すなわち、弁箱6の上壁面6aにおける上記エアシリンダ31に対向する位置には、エアシリンダ31のピストンロッド31aと略同じ径を有する開口6cが貫通形成されている。そして、この上壁面6aの開口6cの周囲には、開口6cに連続しかつ開口6cと略同じ径のガイド孔53bを有する略円筒状の案内支持部51がボルト等により締結固定されている。換言すれば、弁箱6の上部壁面には、上壁面6aの開口6cと案内支持部51のガイド孔53bとからなる貫通孔が貫通形成されている。そして、ピストンロッド31aは、その貫通孔に嵌挿されて気密状態で上下方向に案内されるようになされている。
【0017】
詳しくは、案内支持部51は、この弁箱6の上壁面6aにおける開口6cの周囲にOリング53aを介してボルト等により締結固定されて上記ガイド孔53bを有する略円筒状の摺接部53と、この摺接部53の上に固着されてガイド孔53bと略同じ径の孔を有するリング状の閉塞部54とからなる。さらに、摺接部53のガイド孔53bの内周面には周方向に延びる凹溝57が形成されており、この凹溝57の上下側には、凹溝57と略平行に並ぶようにしてシール部材としてのOリング56,56がそれぞれ設けられている。そして、摺接部53には凹溝57の底部から径方向外側に延びて外部に連通する注入孔58が形成されており、この注入孔58から凹溝57へグリース等の潤滑剤を充填してボルト等により閉塞するようになされている。また、このガイド孔53bの下側部分には、粉塵等の弁箱6内部への侵入を防止するためのダストシール55が配設されている。これらOリング53a,56及びダストシール55は、例えばバイトン等からなる。このようにして、Oリング56,56は弁箱6の貫通孔の内周面と、ピストンロッド31aの外周面との間をシールするようになされている。
【0018】
そして、図9(a)及び(b)に示すように、水平面たる底面部11bとこの底面部11bから垂直に下方へ延びる突出部11aとを有するクレビス11は、ピストンロッド31aの下端部とピン10によりピン結合されて鉛直面内で揺動可能に軸支されている。そして、このクレビス11の突出部11aに、上記弁箱6下部の連通口7,8よりも若干大きくかつ弁箱6内の後側(第2真空容器2側)にオフセット配置した弁板支持体15が結合されている。具体的には、弁板支持体15の前面上部に、前方及び上方に開口する切り欠き部が形成されており、この切り欠き部にクレビス11の突出部11aがはめ込まれた状態で、この突出部11aと弁板支持体15とが3本の六角ボルト60,60,…により締結されている。換言すれば、本実施形態では、弁板支持体15及びピストンロッド31aがその下端部のクレビス11で締結手段としての六角ボルト60,60,…により結合されている。
【0019】
このようにして、エアシリンダ31の伸縮作動によりピストンロッド31aを昇降させて、弁板支持体15及び後述の弁板34とから構成される弁体を昇降させる。言い換えれば、一端が弁体に着脱可能に結合される一方、他端が弁箱6の貫通孔を介して弁箱6の外部へ延出されて設けられたピストンロッド31aが弁体を駆動するようになされている。そして、ピストンロッド31aの駆動によって、弁箱6の内部に設けられた弁体は、弁箱6の連通口7,8と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動することにより弁箱6の連通口7,8を開閉するようになされている。
【0020】
すなわち、エアシリンダ31を収縮作動させたときには、弁板支持体15及び弁板34を上昇させ、ゲート弁5を開弁状態とする一方、エアシリンダ31を伸長作動させたときには、弁板支持体15及び弁板34を下降させ、ゲート弁5を閉弁状態とする。
【0021】
そして、上記弁板支持体15を弁箱6内で昇降案内する複数種類の案内用ローラ22,24,26が設けられている。すなわち、図5に示すように、弁板支持体15の左右側部にはそれぞれ水平左右方向の軸心を持ったローラ軸21,21が突出して取付固定され、この各ローラ軸21には、弁箱6の前後壁内面間の間隔よりも若干小さい外径を有しかつ弁箱6の連通孔7,8の左右両側の前後壁内面上を転動する前後ガイドローラ22が回転可能に支持されている。
【0022】
また、図1及び図4〜図7に示す如く、上記弁板支持体15の第2真空容器2側(図2で右側)である後側面の上下端部にはそれぞれ切り欠き部50,50,…が、例えば6つずつ設けられている。この上端部の切り欠き部50,50は、上及び後方向に開口する一方、下端部の切り欠き部50,50は、下及び後方向に開口している。そして、これら切り欠き部50,50,…には、それぞれ水平左右方向に延びるローラ軸23,23,…が上下に略対応して左右方向に並んだ状態で取付固定され、この各ローラ軸23には弁箱6の後壁内面上を転動可能な後側ガイドローラ24が支持されている。
【0023】
さらに、図4及び図5に示す如く、弁板支持体15の左右側部の上下端部にはそれぞれ水平前後方向の軸心を持つローラ軸25,25,…(一方のみを示す)が取付固定され、この各ローラ軸25に弁箱6の左右側壁内面上を転動するサイドローラ26が回転可能に支持されている。そして、これらガイドローラ22,24及びサイドローラ26により弁板支持体15が弁箱6内で前後方向及び左右方向に殆ど位置ずれすることなく昇降するようになっている。
【0024】
このようにして、弁板支持体15は、弁箱6内でガイド機構としての前後ガイドローラ22、後側ガイドローラ24、及びサイドローラ26により案内されて、第1及び第2真空容器1,2の各開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能とされている。
【0025】
上記弁板支持体15の前側面(図2で左側面)には弁板支持体15と略同じ大きさ(弁箱6下部の前側連通口7よりも若干大)の弁板34が対なるリンクを有する平行リンク機構44,44,…を介して接離可能に支持されている。この弁板34は、弁板支持体15の閉弁位置で弁板支持体15に対し接離して、第1真空容器1の開口3つまり弁箱6の前側連通口7を開閉して第1及び第2真空容器1,2同士を連通又は連通遮断させるものである。そして、その弁板34の前側面外周部には、例えばバイトン等からなるリング状のシール部材35が取付固定されており、弁板34が第1真空容器1の開口3を閉じたときに、弁板34と、その開口3周りの壁部、つまり、連通口7周りの弁箱6の前壁内面との間で圧縮されて弁板34及び壁部間をシールするようになされている。
【0026】
上記平行リンク機構44,44,…は、弁板34及び弁板支持体15の間に設けられて上記弁板支持体15の閉弁位置で弁板34及び弁板支持体15が互いに接離するように支持しており、この弁板34及び弁板支持体15が接触することによって真空ゲート弁5が開弁する一方、離隔することによって閉弁するように構成されている。
【0027】
すなわち、図3,図6及び図7にも示すように、弁板支持体15には、弁板支持体15を前後方向に貫通する複数の開口部16,16,…がそれぞれ略左右方向に並んだ状態で形成されている。そして、この各開口部16内に円筒状のリンク軸47が弁板支持体15の移動方向と直交する水平左右方向が軸心方向となるように配設されており、リンク45の後端部(弁板支持体15側の端部)が、このリンク軸47の軸心回りに揺動可能に軸支されている。
【0028】
また、弁板34の後側面には上記弁板支持体15の各開口部16に略対応して凹部36が形成されている。そして、この各凹部36内に円筒状のリンク軸46が水平左右方向が軸心方向となるように配設されており、上記各リンク45の前端部(弁板34側の端部)がこのリンク軸46の軸心周りに揺動可能に軸支されている。そして、上記上下に対応する1対のリンク45,45で平行リンク機構44,44,…が構成されており、この平行リンク機構44,44,…を介して弁板34が弁板支持体15の前側面(第1の真空容器1側の側面)に接離可能に支持されている。
【0029】
また、図4,図6及び図7に示すように、上記弁板34の前側面における左右側部下端にはそれぞれ水平左右方向に延びるローラ軸38,38が取付固定され、この各ローラ軸38にはストッパローラとしての弁板前ローラ39が回転可能に支承されている。また、弁箱6の前壁内面における左右側部の下端には、弁板34が弁箱6の前側連通口7を閉じた閉弁状態にあるときの上記各弁板前ローラ39に対応して有底の凹部6bが形成されており、弁板34が前側連通口7を開いた状態では、弁板前ローラ39は前側連通口7の左右両側の前壁内面上を転動するが、閉じた状態では、弁板前ローラ39が弁箱6の凹部6b内にその底面から浮いた状態で落ち込むようになっている。
【0030】
そして、上記弁箱6内の下部には上記各弁板前ローラ39の真下位置にそれぞれ当接部材40,40が左右方向に並んだ状態で取り付けられている。この各当接部材40はブロック状のもので、弁板支持体15が下降端位置近傍まで下降したときに弁板34詳しくは弁板前ローラ39に当接して弁板34の下降移動を停止させ、その後の弁板支持体15の下降移動に伴い、弁板34を平行リンク機構44,44,…によって弁板支持体15から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動させるように案内する。尚、この弁板前ローラ39に代え、各当接部材40に、弁板34に当接して転動するストッパローラを軸支するようにしてもよい。
【0031】
また、図5及び図6にも示すように、弁板支持体15の閉弁位置を調節してシール部材35の圧縮量を調整する調整手段13を備えている。具体的には、弁箱6内側底部に、ブロック状の支持部材12が固着して設けられており、この支持部材12の上面に複数の板材を弁板支持体15の移動方向に積層して一体化される積層部材としての調整手段13が載置されている。さらに、この調整手段13の上面に弁板支持体15の閉弁位置でこの弁板支持体15に当接するストッパ14が設けられていて、調整手段13を介して支持部材12にボルト10により締結固定されている。つまり、調整手段13は、ストッパ14に固定されている。また、支持部材12、調整手段13及びストッパ14は、それぞれ例えばステンレス鋼等からなる。このようにして、調整手段13は、支持部材12とストッパ14との間に挟まれる板材の枚数を変更することにより、弁板支持体15のストッパ14との当接位置を変更するようになされている。
【0032】
そして、本発明の特徴として、本実施形態に係る真空ゲート弁5は、弁体が閉弁位置にあるときに、弁体及びピストンロッド31aの結合部61が弁箱6の連通口8よりも内側に位置するようになされている。
【0033】
すなわち、図1及び図2にも示すように、真空ゲート弁5の閉弁時に、弁板支持体15と、ピストンロッド31aの下端部のクレビス11とが六角ボルト60,60,…により結合されてなる結合部61が、弁箱6の後側の開口である連通口8の内側に位置しており、締結手段としての六角ボルト60,60,…が弁箱6外部に露出するようになされている。
【0034】
次に、上記実施形態の作動について説明する。図1で実線、図2及び図6に示す閉弁状態にある真空ゲート弁5を開くときには、シリンダ31の収縮作動によりピストンロッド31aを上昇移動させる。このことで、ピストンロッド31a下端にクレビス11を介して連結されている弁板支持体15がガイドローラ22,24により前後方向に、またサイドローラ26により左右方向にそれぞれ移動規制されて案内されながら弁箱6内を上昇する。この弁板支持体15の上昇により、弁箱6と第1真空容器1との間の連通部つまり前側連通口7を気密状に閉じていた弁板34が平行リンク機構44,44,…により引き上げられて、その前側連通口7が開かれる。
【0035】
そして、上記シリンダ31の収縮ストロークエンド近傍で、図1及び図7で仮想線に示すように弁板支持体15により弁板34が下端部を弁箱6の連通口7,8の上端位置に略一致させるように移動して、両真空容器1,2の内部空間同士が弁箱6内を介して連通状態となる。
【0036】
これに対し、上記開弁状態から逆にゲート弁5を閉じるときには、シリンダ31の伸長作動によりピストンロッド31aを下降させる。このことで、弁板支持体15が、ガイドローラ22,24及びサイドローラ26により移動規制されて案内されながら弁板34と共に弁箱6内を下降する。そして、弁板支持体15の下降端位置近傍で弁板34下端の上記各弁板前ローラ39が当接部材40に当接すると、弁板34のそれ以上の下降移動が停止され、弁板支持体15のさらなる下降移動により弁板34が今度は平行リンク機構44,44,…における各リンク45の立上がり動作により弁板支持体15から離隔するように前側に移動案内される。
【0037】
図1で実線及び図2に示すように、弁板支持体15の下端部がストッパ14の上面近傍に達すると、弁板に設けられているシール部材35が、弁箱6と第1真空容器1との間の連通部つまり弁箱6の前側連通口7の周りの壁面に接触する。そして、ガイドローラ22,24により後側面を移動規制されている弁板支持体15がさらに下降することにより、弁板34は弁板支持体15によりリンク45,45,…を介して前側に押される。そして、シール部材35の圧縮量が増大される。
【0038】
そして、弁板支持体15の下端部がストッパ14の上面に当接して弁板支持体15が閉弁位置に達することによりこの弁板支持体15の下降が止まって、シール部材35に所定の圧縮量を付与した状態で、両真空容器1,2の内部空間同士の連通が弁板34によって気密シール状態で遮断される。
【0039】
そのとき、真空ゲート弁5の閉弁時に弁板支持体15とピストンロッド31a下端部のクレビス11との結合部61が弁箱6の連通口8から弁箱6の外部へ露出しているので、連通口8の第2真空容器2側から結合部61へ六角レンチを直接的に差し入れて結合部61の六角ボルト60,60,…を締結又は取り外すことができる。従って、その結合部61における弁板支持体15とピストンロッド31a下端部のクレビス11との着脱作業を容易に行うことができる。
【0040】
すなわち、ピストンロッド31aを弁板支持体15から取り外すために弁箱6を分解する必要がないので、弁箱6の貫通孔部分のメンテナンスに要する労力を大幅に低減させることができる。
【0041】
そして、例えば、貫通孔に設けられているOリング56,56が摩耗する前に、容易にOリング56,56を交換することができ、第1及び第2真空容器1,2内の圧力上昇を防止して真空度を高く維持することができる。
【0042】
また、エアシリンダ31に不具合が生じた場合には、結合部61からピストンロッド31aとともに取り外して、容易に交換・修理等のメンテナンスを行うことができる。
【0043】
尚、本実施形態では、真空ゲート弁について説明したが、本発明はこれに限らず、その他のゲート弁について適用することができる。また、軸方向に移動するピストンロッド31aが駆動部材である場合について説明したが、駆動部材はピストンロッド31aに限らずその他のものであってもよい。例えば、所定の軸心まわりに揺動するアーム等を駆動部材としてもよい。
【0044】
そして、本実施形態では、ピストンロッド31aにより駆動する弁体を弁板34及び弁板支持体15から構成するようにしたが、本発明はこれに限るものではない。つまり、弁体をその他の構成としてもよく、例えば、1枚の板状のものからなるようにしてもよい。
【0045】
また、本実施形態では、弁板支持体15とピストンロッド31aとをピストンロッド31a下端部のクレビス11で六角ボルト60,60,…により締結するようにしたが、その他の結合手段により着脱可能に結合させるようにしてもよい。
【0046】
そして、弁板34に設けられているシール部材35の圧縮量を調整するための調整手段13を弁箱6内部に配設するようにしたが、本発明は何等これに限定されるものではなく、このような調整手段13を特に設けないようにしてもよい。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1の発明によると、シリンダが駆動部材を伸縮駆動することにより、弁体を、シリンダによる駆動部材の伸縮駆動方向であるハウジングの開口周りの壁面に略平行な方向に沿って、開弁位置及び閉弁位置の間を移動させるように構成されたゲート弁について、弁体がシリンダによって移動された閉弁位置にあるときに、弁体に着脱可能に結合されている結合部がハウジングの開口よりも内側に位置する一方、弁体がシリンダによって移動された開弁位置にあるときに、結合部がハウジングの開口よりも外側に位置するように構成することにより、閉弁時にハウジングの開口から結合部における弁体と駆動部材との着脱作業を容易に行うことができ、貫通孔部分のメンテナンスに要する労力を大幅に低減させることができる。
【0048】
請求項2の発明によると、ハウジングの貫通孔の内周面と駆動部材の外周面との間をシールするシール部材を備えることにより、シール部材を容易に交換できるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 閉弁状態の真空ゲート弁の概観を示す正面図である。
【図2】 閉弁状態の真空ゲート弁の概観を示す側面図である。
【図3】 図5におけるIII−III線断面図である。
【図4】 図5におけるIV−IV線断面図である。
【図5】 閉弁状態の真空ゲート弁の要部を示す一部断面図である。
【図6】 閉弁状態の真空ゲート弁の要部を拡大して示す断面図である。
【図7】 開弁状態の真空ゲート弁の要部を拡大して示す図1相当図である。
【図8】 弁箱の上部壁面を示す断面図である。
【図9】 クレビスと弁板支持体との結合部を示す一部断面図である。
【符号の説明】
5 真空ゲート弁(ゲート弁)
6 弁箱(ハウジング)
6a 上壁面
6c 開口(貫通孔)
7,8 連通口(開口)
15 弁板支持体(弁体)
31a ピストンロッド(駆動部材)
34 弁板(弁体)
53b ガイド孔(貫通孔)
56 シール部材
60 六角ボルト(締結手段)
61 結合部
Claims (4)
- 開口を有するハウジングと、
上記ハウジングの内部に設けられ、上記ハウジングの開口を開閉する弁体と、
一端には上記弁体に着脱可能に結合された結合部が設けられる一方、他端が上記ハウジングの壁面を貫通する貫通孔を介してハウジングの外部へ延出して設けられた駆動部材と、
上記駆動部材の他端に設けられたシリンダとを備え、
上記シリンダが上記駆動部材を伸縮駆動することにより、上記弁体を、上記シリンダによる上記駆動部材の伸縮駆動方向である上記ハウジングの開口周りの壁面に略平行な方向に沿って、開弁位置及び閉弁位置の間を移動させるように構成されたゲート弁であって、
上記弁体が上記シリンダによって移動された上記閉弁位置にあるときに、上記弁体に着脱可能に結合されている上記結合部が上記ハウジングの開口よりも内側に位置する一方、上記弁体が上記シリンダによって移動された上記開弁位置にあるときに、上記結合部が上記ハウジングの開口よりも外側に位置するように構成されていることを特徴とするゲート弁。 - 請求項1のゲート弁において、
ハウジングの貫通孔の内周面と駆動部材の外周面との間をシールするシール部材を備えることを特徴とするゲート弁。 - 請求項1又は2のゲート弁において、
弁体及び駆動部材は結合部で締結手段により結合されていることを特徴とするゲート弁。 - 請求項1〜3のいずれか1つのゲート弁において、
弁体は、駆動部材に結合されて開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、
上記弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で該弁板支持体に対し接離してハウジングの開口を開閉する弁板とから構成されていることを特徴とするゲート弁。
Priority Applications (1)
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