JP2001165334A - スイングドアーゲートバルブ - Google Patents
スイングドアーゲートバルブInfo
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- JP2001165334A JP2001165334A JP34626299A JP34626299A JP2001165334A JP 2001165334 A JP2001165334 A JP 2001165334A JP 34626299 A JP34626299 A JP 34626299A JP 34626299 A JP34626299 A JP 34626299A JP 2001165334 A JP2001165334 A JP 2001165334A
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
- F16K3/10—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Gates (AREA)
- Power-Operated Mechanisms For Wings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チェンバーのシール面に対する垂直方向から
のゲートの接離と、チェンバー開口部に対面する位置と
側方の待避位置との間でのゲートの移動を、単一の流体
圧シリンダを用いた簡単で安価な構成によって実現す
る。 【解決手段】 チェンバー１の開口部２を開閉するゲー
ト３を、該開口部に対面する位置と側方の待避位置との
間でスイングするアーム７の先端に取り付ける。アーム
７の基端は、ゲートが開口部２に接離する方向と平行に
駆動される流体圧シリンダ８の出力軸１０に支持させ、
そのアーム７の基端に機枠６のガイド溝１４に嵌入する
転動体１２を設ける。上記ガイド溝は、ゲート３がチェ
ンバー１の開口部２に近接した位置にあるときには、ゲ
ートを上記開口部に対面する位置に保持して移動させる
軸方向溝１４ａと、それに連接されて、ゲートを開口部
の側方に待避させる傾斜周方向溝１４ｂにより形成す
る。
のゲートの接離と、チェンバー開口部に対面する位置と
側方の待避位置との間でのゲートの移動を、単一の流体
圧シリンダを用いた簡単で安価な構成によって実現す
る。 【解決手段】 チェンバー１の開口部２を開閉するゲー
ト３を、該開口部に対面する位置と側方の待避位置との
間でスイングするアーム７の先端に取り付ける。アーム
７の基端は、ゲートが開口部２に接離する方向と平行に
駆動される流体圧シリンダ８の出力軸１０に支持させ、
そのアーム７の基端に機枠６のガイド溝１４に嵌入する
転動体１２を設ける。上記ガイド溝は、ゲート３がチェ
ンバー１の開口部２に近接した位置にあるときには、ゲ
ートを上記開口部に対面する位置に保持して移動させる
軸方向溝１４ａと、それに連接されて、ゲートを開口部
の側方に待避させる傾斜周方向溝１４ｂにより形成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チェンバーの開口
部を開閉するスイングドアーゲートバルブに関するもの
である。
部を開閉するスイングドアーゲートバルブに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】スイングドアーゲートバルブにおいて
は、ゲートをチェンバーの開口部に対面しない位置まで
側方に移動させて、チェンバーに対するワーク等の出し
入れを容易にするが、チェンバーの開口部にゲートを接
離する場合には、ゲートをそのチェンバーの開口部に正
対する位置からシール面に垂直に接離させないと、ゲー
トに設けたシール材とチェンバーのシール面との間で滑
りが生じるため、両者の摺擦により摩耗が生じ、発塵す
るという問題がある。しかしながら、上記ゲートのチェ
ンバーシール面への垂直方向からの接離と、チェンバー
の開口部に対面する位置と側方に待避した位置との間で
の移動を行うための機構を、簡単でしかも安価な構成に
より実現することには、多くの困難性がある。
は、ゲートをチェンバーの開口部に対面しない位置まで
側方に移動させて、チェンバーに対するワーク等の出し
入れを容易にするが、チェンバーの開口部にゲートを接
離する場合には、ゲートをそのチェンバーの開口部に正
対する位置からシール面に垂直に接離させないと、ゲー
トに設けたシール材とチェンバーのシール面との間で滑
りが生じるため、両者の摺擦により摩耗が生じ、発塵す
るという問題がある。しかしながら、上記ゲートのチェ
ンバーシール面への垂直方向からの接離と、チェンバー
の開口部に対面する位置と側方に待避した位置との間で
の移動を行うための機構を、簡単でしかも安価な構成に
より実現することには、多くの困難性がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、上述したスイングドアーゲートバルブにおいて、ゲ
ートのチェンバーシール面に対する垂直方向からの接離
と、チェンバー開口部に対面する位置と側方の待避位置
との間での移動を簡単で安価な構成によって実現するこ
とにある。本発明の他の技術的課題は、簡単な機構でゲ
ートをチェンバーのシール面に垂直に接離させることに
より、シール材の滑りが無く、発塵を実質的に皆無にで
きるようにしたスイングドアーゲートバルブを提供する
ことにある。
は、上述したスイングドアーゲートバルブにおいて、ゲ
ートのチェンバーシール面に対する垂直方向からの接離
と、チェンバー開口部に対面する位置と側方の待避位置
との間での移動を簡単で安価な構成によって実現するこ
とにある。本発明の他の技術的課題は、簡単な機構でゲ
ートをチェンバーのシール面に垂直に接離させることに
より、シール材の滑りが無く、発塵を実質的に皆無にで
きるようにしたスイングドアーゲートバルブを提供する
ことにある。
【０００４】本発明の他の技術的課題は、ゲートの駆動
部を、単一のアクチュエータにより駆動される簡単でコ
ンパクトな構成にすると共に、安価で、駆動制御が容易
であり、結果的に、信号系も簡単で安価に構成できるよ
うにしたスイングドアーゲートバルブを提供することに
ある。
部を、単一のアクチュエータにより駆動される簡単でコ
ンパクトな構成にすると共に、安価で、駆動制御が容易
であり、結果的に、信号系も簡単で安価に構成できるよ
うにしたスイングドアーゲートバルブを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のスイングドアーゲートバルブは、チェンバー
の開口部を開閉するゲートを、該開口部に対面する位置
と側方に待避した位置との間でそれをスイングさせるア
ームの先端に取り付けると共に、上記アームの基端を、
ゲートが上記チェンバーの開口部に正対して接離する方
向と平行に駆動されるアクチュエータの出力軸に支持さ
せ、上記アクチュエータを支持する機枠には、アームの
向きを制御するガイド機構を設け、このガイド機構に、
上記アクチュエータの駆動によりゲートがチェンバーの
開口部に近接した位置にあるときには、ゲートを上記開
口部に対面する位置に保持し、ゲートが開口部から離間
した位置にあるときには、ゲートを該開口部の側方に待
避させるようにアームをスイングさせる機能を持たせた
ことを特徴とするものである。
の本発明のスイングドアーゲートバルブは、チェンバー
の開口部を開閉するゲートを、該開口部に対面する位置
と側方に待避した位置との間でそれをスイングさせるア
ームの先端に取り付けると共に、上記アームの基端を、
ゲートが上記チェンバーの開口部に正対して接離する方
向と平行に駆動されるアクチュエータの出力軸に支持さ
せ、上記アクチュエータを支持する機枠には、アームの
向きを制御するガイド機構を設け、このガイド機構に、
上記アクチュエータの駆動によりゲートがチェンバーの
開口部に近接した位置にあるときには、ゲートを上記開
口部に対面する位置に保持し、ゲートが開口部から離間
した位置にあるときには、ゲートを該開口部の側方に待
避させるようにアームをスイングさせる機能を持たせた
ことを特徴とするものである。
【０００６】上記スイングドアーゲートバルブにおいて
は、アクチュエータを流体圧シリンダによって構成し、
また、アームの向きを制御するガイド機構を、アームの
基端に設けた転動体が嵌入して移動するガイド溝を機枠
におけるアクチュエータの出力軸の周囲の壁面に設ける
ことによって構成するのが、より適切である。
は、アクチュエータを流体圧シリンダによって構成し、
また、アームの向きを制御するガイド機構を、アームの
基端に設けた転動体が嵌入して移動するガイド溝を機枠
におけるアクチュエータの出力軸の周囲の壁面に設ける
ことによって構成するのが、より適切である。
【０００７】上記構成を有するゲートバルブにおいて
は、流体圧シリンダ等によって構成されたアクチュエー
タを駆動すると、その出力軸に作用する推力により、ア
ームがガイド機構により向きを制御されながら移動し、
さらに具体的にはアームを介して転動体がガイド溝に沿
って移動せしめられ、それにより、ゲートがチェンバー
の開口部を閉鎖する閉鎖位置と、該開口部から側方に待
避する待避位置との間で移動する。
は、流体圧シリンダ等によって構成されたアクチュエー
タを駆動すると、その出力軸に作用する推力により、ア
ームがガイド機構により向きを制御されながら移動し、
さらに具体的にはアームを介して転動体がガイド溝に沿
って移動せしめられ、それにより、ゲートがチェンバー
の開口部を閉鎖する閉鎖位置と、該開口部から側方に待
避する待避位置との間で移動する。
【０００８】即ち、ゲートがチェンバーの開口部から側
方に待避した位置にあって、該開口部を閉鎖する方向に
移動する場合には、まず、ゲートをチェンバー側に移動
させながら、それをアームのスイングにより開口部に正
対する位置まで移動させ、ゲートが該開口部に正対する
位置に達した後に、チェンバーのシール面に垂直に移動
させる。一方、ゲートが開口部を閉鎖している状態か
ら、その開口部を開放する位置に移動する場合には、ア
クチュエータの逆方向への駆動により、ゲートが上述し
たところと全く逆の動作を行い、開口部から側方に待避
する位置まで移動する。
方に待避した位置にあって、該開口部を閉鎖する方向に
移動する場合には、まず、ゲートをチェンバー側に移動
させながら、それをアームのスイングにより開口部に正
対する位置まで移動させ、ゲートが該開口部に正対する
位置に達した後に、チェンバーのシール面に垂直に移動
させる。一方、ゲートが開口部を閉鎖している状態か
ら、その開口部を開放する位置に移動する場合には、ア
クチュエータの逆方向への駆動により、ゲートが上述し
たところと全く逆の動作を行い、開口部から側方に待避
する位置まで移動する。
【０００９】上述したスイングドアーゲートバルブにお
いては、ゲートのチェンバーシール面に対する垂直方向
からの接離と、チェンバー開口部に対面する位置と側方
の待避位置との間での移動を、単一のアクチュエータを
用いた簡単、コンパクトで、しかも安価な構成によって
実現することができ、また、それによってゲートをチェ
ンバーのシール面に垂直に接離させることができるの
で、その際のシール材の滑りが無く、発塵を実質的に皆
無にできるようにしたスイングドアーゲートバルブを得
ることができる。更に、上述した単一のアクチュエータ
を用いるので、駆動制御も容易になり、結果的に、信号
系も簡単で安価に構成することができる。
いては、ゲートのチェンバーシール面に対する垂直方向
からの接離と、チェンバー開口部に対面する位置と側方
の待避位置との間での移動を、単一のアクチュエータを
用いた簡単、コンパクトで、しかも安価な構成によって
実現することができ、また、それによってゲートをチェ
ンバーのシール面に垂直に接離させることができるの
で、その際のシール材の滑りが無く、発塵を実質的に皆
無にできるようにしたスイングドアーゲートバルブを得
ることができる。更に、上述した単一のアクチュエータ
を用いるので、駆動制御も容易になり、結果的に、信号
系も簡単で安価に構成することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態について詳述する。図１及び図２は、本発明に
係る揺動型のゲートバルブの構成例を示している。この
ゲートバルブは、チェンバー１の下部にある開口部２を
開閉するゲート３を備えている。このゲート３は、その
周囲に、チェンバー１の開口部２の周囲に形成されたシ
ール面に対して接離することにより、その開口部２を閉
鎖するシール材４を備え、機枠６に支持されたアーム７
の先端に上下不均等動の自由度をもって連結されてい
る。このアーム７は、ゲート３がチェンバー１の開口部
２を閉鎖する閉鎖位置（図２の実線位置）と、ゲート３
が該開口部２から側方に待避する待避位置（図２の鎖線
位置）との間において該ゲート３を移動可能にし、該開
口部２に対面しないゲートの待避位置において、チェン
バー１に対するワーク等の出し入れを容易にするもので
ある。
施の形態について詳述する。図１及び図２は、本発明に
係る揺動型のゲートバルブの構成例を示している。この
ゲートバルブは、チェンバー１の下部にある開口部２を
開閉するゲート３を備えている。このゲート３は、その
周囲に、チェンバー１の開口部２の周囲に形成されたシ
ール面に対して接離することにより、その開口部２を閉
鎖するシール材４を備え、機枠６に支持されたアーム７
の先端に上下不均等動の自由度をもって連結されてい
る。このアーム７は、ゲート３がチェンバー１の開口部
２を閉鎖する閉鎖位置（図２の実線位置）と、ゲート３
が該開口部２から側方に待避する待避位置（図２の鎖線
位置）との間において該ゲート３を移動可能にし、該開
口部２に対面しないゲートの待避位置において、チェン
バー１に対するワーク等の出し入れを容易にするもので
ある。
【００１１】上記アーム７を揺動可能に支持してそれを
開閉動作させるため、機枠６にはアクチュエータを設け
ている。このアクチュエータは、機枠６の下部に配設し
た流体圧シリンダ８によって構成され、そのピストン９
に連結した出力軸１０は、ゲート３がチェンバー１の開
口部２に正対して接離する方向と平行に駆動されるよう
に配設され、機枠６の上下部においてベアリング１１，
１１により回転自在に支持させ、しかもその軸方向に摺
動自在に支持させている。上記ベアリング１１による出
力軸１０の支持は、機枠６の上下部である必要はなく、
機枠６の上部または下部の一方のみとすることができ、
また、上下間の中間部のみとすることもできる。更に、
ベアリング１１に対する出力軸１０の摺動は、キー溝機
構またはボールスプライン軸等によるものとすることが
できる。なお、図中、１６ａ，１６ｂは、流体圧シリン
ダ８のピストン９の両側に圧力流体（圧縮空気）を給排
するポートを示している。
開閉動作させるため、機枠６にはアクチュエータを設け
ている。このアクチュエータは、機枠６の下部に配設し
た流体圧シリンダ８によって構成され、そのピストン９
に連結した出力軸１０は、ゲート３がチェンバー１の開
口部２に正対して接離する方向と平行に駆動されるよう
に配設され、機枠６の上下部においてベアリング１１，
１１により回転自在に支持させ、しかもその軸方向に摺
動自在に支持させている。上記ベアリング１１による出
力軸１０の支持は、機枠６の上下部である必要はなく、
機枠６の上部または下部の一方のみとすることができ、
また、上下間の中間部のみとすることもできる。更に、
ベアリング１１に対する出力軸１０の摺動は、キー溝機
構またはボールスプライン軸等によるものとすることが
できる。なお、図中、１６ａ，１６ｂは、流体圧シリン
ダ８のピストン９の両側に圧力流体（圧縮空気）を給排
するポートを示している。
【００１２】上記アーム７は、流体圧シリンダ８の出力
軸１０に固定的に取り付けている。従って、出力軸１０
の周りにおけるアーム７の回転により、チェンバー１の
開口部２を開閉するゲート３を、該開口部２に対面する
位置と、側方に待避した位置との間でスイングさせるこ
とができ、また、出力軸１０の軸方向移動により、アー
ム７を介してゲート３をチェンバー１の開口部２に接離
する方向に移動させることができる。
軸１０に固定的に取り付けている。従って、出力軸１０
の周りにおけるアーム７の回転により、チェンバー１の
開口部２を開閉するゲート３を、該開口部２に対面する
位置と、側方に待避した位置との間でスイングさせるこ
とができ、また、出力軸１０の軸方向移動により、アー
ム７を介してゲート３をチェンバー１の開口部２に接離
する方向に移動させることができる。
【００１３】上記流体圧シリンダ８を支持する機枠６に
は、アーム７の向きを制御するためのガイド機構を設け
ている。このガイド機構は、上記流体圧シリンダ８の駆
動によりゲート３がチェンバー１の開口部２に近接した
位置にあるときには、ゲート３を上記開口部２に対面す
る位置に保持し、ゲート３が開口部２から離間した位置
にあるときには、ゲート３を該開口部２の側方に待避さ
せるようにアーム７をスイングさせるもので、具体的に
は、図３及び図４に示すように、アーム７の基端にベア
リングを介して転動自在な転動体（カムフォロア）１２
を取り付け、機枠６における流体圧シリンダ８の出力軸
１０の周囲の壁面１３に、この転動体１２が嵌入して移
動するガイド溝１４を設けることにより構成している。
は、アーム７の向きを制御するためのガイド機構を設け
ている。このガイド機構は、上記流体圧シリンダ８の駆
動によりゲート３がチェンバー１の開口部２に近接した
位置にあるときには、ゲート３を上記開口部２に対面す
る位置に保持し、ゲート３が開口部２から離間した位置
にあるときには、ゲート３を該開口部２の側方に待避さ
せるようにアーム７をスイングさせるもので、具体的に
は、図３及び図４に示すように、アーム７の基端にベア
リングを介して転動自在な転動体（カムフォロア）１２
を取り付け、機枠６における流体圧シリンダ８の出力軸
１０の周囲の壁面１３に、この転動体１２が嵌入して移
動するガイド溝１４を設けることにより構成している。
【００１４】上記ガイド溝１４は、図４に明瞭に示すよ
うに、流体圧シリンダ８の駆動によりゲート３がチェン
バー１の開口部２に近接した位置にあるときに、ゲート
３を上記開口部２に対面する位置に保持して、開口部２
の周りのシール面に対してシール材４を垂直に接離する
方向にガイドする軸方向溝１４ａと、それに連接して設
けられ、ゲート３が開口部２から若干離間した位置にあ
るときに、ゲート３を該開口部２の側方に待避させるよ
うにアーム７をスイングさせるための傾斜周方向溝１４
ｂとによって構成されるものである。
うに、流体圧シリンダ８の駆動によりゲート３がチェン
バー１の開口部２に近接した位置にあるときに、ゲート
３を上記開口部２に対面する位置に保持して、開口部２
の周りのシール面に対してシール材４を垂直に接離する
方向にガイドする軸方向溝１４ａと、それに連接して設
けられ、ゲート３が開口部２から若干離間した位置にあ
るときに、ゲート３を該開口部２の側方に待避させるよ
うにアーム７をスイングさせるための傾斜周方向溝１４
ｂとによって構成されるものである。
【００１５】上記構成を有するゲートバルブにおいて
は、ピストン９が流体圧シリンダ８の下端位置にあっ
て、ゲート３がチェンバー１の開口部２から側方に待避
した図２の鎖線位置にあり、従って、転動体１２が傾斜
周方向溝１４ｂの終端（下端）にある状態において、開
口部２をゲート３で閉鎖するために上記流体圧シリンダ
８のポート１６ａに圧力流体を供給してピストン９を駆
動し、そのピストン９を上動させると、出力軸１０に作
用する推力により、アーム７の基端の転動体１２がガイ
ド溝１４における傾斜周方向溝１４ｂに沿って移動せし
められ、それにより、ゲート３がチェンバー１の開口部
２に接近しながら、該開口部２に対して側方に待避して
いた待避位置からチェンバー１の開口部２に正対する方
向に移動（スイング）する。
は、ピストン９が流体圧シリンダ８の下端位置にあっ
て、ゲート３がチェンバー１の開口部２から側方に待避
した図２の鎖線位置にあり、従って、転動体１２が傾斜
周方向溝１４ｂの終端（下端）にある状態において、開
口部２をゲート３で閉鎖するために上記流体圧シリンダ
８のポート１６ａに圧力流体を供給してピストン９を駆
動し、そのピストン９を上動させると、出力軸１０に作
用する推力により、アーム７の基端の転動体１２がガイ
ド溝１４における傾斜周方向溝１４ｂに沿って移動せし
められ、それにより、ゲート３がチェンバー１の開口部
２に接近しながら、該開口部２に対して側方に待避して
いた待避位置からチェンバー１の開口部２に正対する方
向に移動（スイング）する。
【００１６】アーム７のスイングによりゲート３が開口
部２に正対する位置に達し、それに伴って転動体１２が
傾斜周方向溝１４ｂと軸方向溝１４ａとの連接部まで達
すると、該アーム７によりゲート３が開口部２に正対す
る位置まで移動し、その後は、転動体１２が軸方向溝１
４ａに沿って出力軸１０の軸方向に移動するため、ゲー
ト３がチェンバー１のシール面に向かって垂直に移動す
る。その結果、ゲート３をチェンバー１のシール面に垂
直に接触させることができるので、その際のシール材４
の滑りが無く、発塵を実質的に皆無にすることができ
る。
部２に正対する位置に達し、それに伴って転動体１２が
傾斜周方向溝１４ｂと軸方向溝１４ａとの連接部まで達
すると、該アーム７によりゲート３が開口部２に正対す
る位置まで移動し、その後は、転動体１２が軸方向溝１
４ａに沿って出力軸１０の軸方向に移動するため、ゲー
ト３がチェンバー１のシール面に向かって垂直に移動す
る。その結果、ゲート３をチェンバー１のシール面に垂
直に接触させることができるので、その際のシール材４
の滑りが無く、発塵を実質的に皆無にすることができ
る。
【００１７】一方、ゲート３が開口部２を閉鎖している
状態から、その開口部２を開放する位置に移動させる場
合には、アクチュエータの逆方向への駆動により、ゲー
トが上述したところと全く逆の動作を行い、開口部から
側方に待避する位置まで移動する。
状態から、その開口部２を開放する位置に移動させる場
合には、アクチュエータの逆方向への駆動により、ゲー
トが上述したところと全く逆の動作を行い、開口部から
側方に待避する位置まで移動する。
【００１８】即ち、流体圧シリンダ８のポート１６ａの
圧力流体を排出すると共に、ポート１６ｂに圧力流体を
供給すると、ピストン９が下動し、アーム７を介して転
動体１２を軸方向溝１４ａに沿って下動させるため、ゲ
ート３によるチェンバー１の開口部２の閉鎖状態が解除
される。ピストン９がさらに下動すると、転動体１２は
軸方向溝１４ａと傾斜周方向溝１４ｂとの連接部まで達
し、そこで出力軸１０に作用する推力により傾斜周方向
溝１４ｂに沿って軸方向に移動しながら水平方向に移動
し、それによりアーム７をスイングさせて、ゲート３を
図２のチェンバーの開口部に正対する実線位置から該開
口部２の側方に待避した点線位置まで移動させる。この
状態では、ワーク等をチェンバー１容易に出し入れ可能
となる。
圧力流体を排出すると共に、ポート１６ｂに圧力流体を
供給すると、ピストン９が下動し、アーム７を介して転
動体１２を軸方向溝１４ａに沿って下動させるため、ゲ
ート３によるチェンバー１の開口部２の閉鎖状態が解除
される。ピストン９がさらに下動すると、転動体１２は
軸方向溝１４ａと傾斜周方向溝１４ｂとの連接部まで達
し、そこで出力軸１０に作用する推力により傾斜周方向
溝１４ｂに沿って軸方向に移動しながら水平方向に移動
し、それによりアーム７をスイングさせて、ゲート３を
図２のチェンバーの開口部に正対する実線位置から該開
口部２の側方に待避した点線位置まで移動させる。この
状態では、ワーク等をチェンバー１容易に出し入れ可能
となる。
【００１９】
【発明の効果】以上に詳述した本発明のスイングドアー
ゲートバルブによれば、ゲートのチェンバーシール面に
対する垂直方向からの接離と、チェンバー開口部に対面
する位置と側方の待避位置との間での移動を、単一のア
クチュエータを用いた簡単、コンパクトで、しかも安価
な構成によって実現することができ、また、ゲートをチ
ェンバーのシール面に垂直に接離させるので、シール材
の滑りが無く、発塵を実質的に皆無にすることができ
る。更に、ゲートの駆動部が、単一のアクチュエータに
より駆動される簡単な構成を有しているので、駆動制御
が容易であり、結果的に、信号系も簡単で安価に構成す
ることができる。
ゲートバルブによれば、ゲートのチェンバーシール面に
対する垂直方向からの接離と、チェンバー開口部に対面
する位置と側方の待避位置との間での移動を、単一のア
クチュエータを用いた簡単、コンパクトで、しかも安価
な構成によって実現することができ、また、ゲートをチ
ェンバーのシール面に垂直に接離させるので、シール材
の滑りが無く、発塵を実質的に皆無にすることができ
る。更に、ゲートの駆動部が、単一のアクチュエータに
より駆動される簡単な構成を有しているので、駆動制御
が容易であり、結果的に、信号系も簡単で安価に構成す
ることができる。
【図１】本発明に係るゲートバルブの実施例を示す側断
面図である。
面図である。
【図２】上記実施例の下面図である。
【図３】図１の実施例における機枠の左側面図である。
【図４】図３におけるガイド溝の詳細を示す展開図であ
る。
る。
１ チェンバー ２ 開口部 ３ ゲート ６ 機枠 ７ アーム ８ 流体圧シリンダ １０ 出力軸 １２ 転動体 １３ 壁面 １４ ガイド溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藁 谷 健 二 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H053 AA25 BD10 DA09 3H056 AA05 BB32 CA01 CB02 CD02 CD04 CE06 GG02 GG14
Claims (3)
- 【請求項１】チェンバーを開閉するためのスイングドア
ーゲートバルブであって、 上記チェンバーの開口部を開閉するゲートを、該開口部
に対面する位置と側方に待避した位置との間でそれをス
イングさせるアームの先端に取り付けると共に、上記ア
ームの基端を、ゲートが上記チェンバーの開口部に正対
して接離する方向と平行に駆動されるアクチュエータの
出力軸に支持させ、 上記アクチュエータを支持する機枠には、アームの向き
を制御するガイド機構を設け、 このガイド機構に、上記アクチュエータの駆動によりゲ
ートがチェンバーの開口部に近接した位置にあるときに
は、ゲートを上記開口部に対面する位置に保持し、ゲー
トが開口部から離間した位置にあるときには、ゲートを
該開口部の側方に待避させるようにアームをスイングさ
せる機能を持たせた、ことを特徴とするスイングドアー
ゲートバルブ。 - 【請求項２】アクチュエータを流体圧シリンダによって
構成した、ことを特徴とする請求項１に記載のスイング
ドアーゲートバルブ。 - 【請求項３】アームの向きを制御するガイド機構を、ア
ームの基端に設けた転動体が嵌入して移動するガイド溝
を機枠におけるアクチュエータの出力軸の周囲の壁面に
設けることにより構成した、ことを特徴とする請求項１
または２に記載のスイングドアーゲートバルブ。
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