KR20100042231A - 진공밸브 - Google Patents

진공밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR20100042231A
KR20100042231A KR1020090097563A KR20090097563A KR20100042231A KR 20100042231 A KR20100042231 A KR 20100042231A KR 1020090097563 A KR1020090097563 A KR 1020090097563A KR 20090097563 A KR20090097563 A KR 20090097563A KR 20100042231 A KR20100042231 A KR 20100042231A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piston
valve
opening
cylinder
cylinder unit
Prior art date
Application number
KR1020090097563A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101653407B1 (ko
Inventor
안드레아스 메르크
Original Assignee
배트 홀딩 아게
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 배트 홀딩 아게 filed Critical 배트 홀딩 아게
Publication of KR20100042231A publication Critical patent/KR20100042231A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101653407B1 publication Critical patent/KR101653407B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0218—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with only one sealing face
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

진공밸브는 밸브 개구부 (2) 를 가진 밸브 몸체 (1) 와, 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (4) 와, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 과, 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 과, 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 의 압력 가압을 제어하기 위해 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 과 함께 움직여진 제 1 제어요소 (28) 와, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 압력 가압을 제어하기 위해 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 과 함께 움직여진 제 2 제어요소 (29) 를 포함하며, 이때 개방 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 개방시에는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (37) 이 차단되어 있으며, 개방 과정의 제 1 단계의 끝에서 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (37) 은 제 1 제어요소 (28) 에 의해 해제되고, 그리고 이때 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 폐쇄시에는 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (36) 이 차단되어 있으며, 폐쇄 과정의 제 1 단계의 끝에서 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (36) 은 제 2 제어요소 (29) 에 의해 해제된다.

Description

진공밸브{VACUUM VALVE}
본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 밸브 개구부를 가진 밸브 몸체와, 밸브 개구부를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재와, 개방 실린더 챔버 및 폐쇄 실린더 챔버를 구비한 제 1 피스톤-실린더 유닛과 (진공밸브의 개방시 제 1 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버는 개방 과정의 제 1 단계를 통하여 압력매체로 가압되고 진공밸브의 폐쇄시 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버는 폐쇄 과정의 제 2 단계를 통하여 압력매체로 가압된다), 개방 실린더 챔버 및 폐쇄 실린더 챔버를 구비한 제 2 피스톤-실린더 유닛을 (진공밸브의 개방시 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버는 개방 과정의 제 2 단계를 통하여 압력매체로 가압되고, 진공밸브의 폐쇄시 제 2 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버는 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통하여 압력매체로 가압된다) 포함한다.
개방 및 폐쇄가 두 단계로 행해지고 상이한 액츄에이터들이 가동되는 진공밸브가 상이한 디자인들로 공지되어 있다.
예컨대, 진공밸브가 닫힌 상태에서 밸브 플레이트 (valve plate) 가, 밸브 개구부를 둘러싸는 밸브 시트 (valve seat) 에 내리눌려지는 L 밸브가 공지되어 있 다. 진공밸브를 열기 위해 밸브 플레이트는 이 폐쇄 위치로부터 중간 위치로 이동되고, 상기 중간 위치에서 밸브 플레이트는 밸브 시트에서 들어내지나 밸브 개구부를 덮고 있으며, 그리고 계속해서 개방 위치로 이동되고, 상기 개방 위치에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 해제한다. 이 경우, 상기 중간 위치로부터 상기 개방 위치로의 이동은 밸브 개구부의 축선에 대해 직각으로 놓인 방향으로 직선으로 행해진다. 밸브의 폐쇄는 반대 순서로 행해진다. 밸브 시트에의 밸브 플레이트의 작동이 밸브 개구부의 축선에 대해 비스듬히 행해지면, 'J 밸브'라고 한다.
그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로의, 또한 그의 중간 위치로부터 그의 개방 위치로의 밸브 플레이트의 이동이 별도의 피스톤-실린더 유닛들을 통해 행해지는 L 밸브 및 J 밸브 이외에, 밸브 플레이트를 지지하는 밸브 로드 (valve rod) 를 선회축 둘레로 기울이고, 이로 인해 밸브 플레이트를 그의 중간 위치와 그의 폐쇄 위치 사이에서 조절하기 위해 슬롯이 있는 가이드부가 존재하는 비동종 L 밸브 및 J 밸브가 공지되어 있으며, 이때 밸브 드라이브 (valve drive) 는 하나의 유일한 피스톤-실린더 유닛을 구비한다.
밸브 플레이트를 그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로, 또한 그의 중간 위치로부터 그의 개방 위치로 이동시키기 위한 별도의 피스톤-실린더 유닛들을 가진 L 밸브는 예컨대 US 6,431,518 B1, US 6,416,037 B1, US 6,056,266 B, US 2008/0017822 A1, US 6,899,316 B2 및 US 6,561 483 B2 에 공지되어 있다.
개방 및 폐쇄 과정이 마찬가지로 두 단계로 행해지는 진공 밸브의 다른 유형 은 소위 셔틀밸브이다. 진공밸브의 개방시, 밸브 플레이트는 상기 밸브 플레이트가 그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로 밸브 개구부의 축선방향에서 이동된 후 원호를 따라 그의 개방 위치로 이동되며, 상기 개방 위치에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 해제한다. 이를 위해, 밸브 플레이트는 지지 암에 설치되며, 상기 지지 암은, 축선 둘레로 회전 가능하고 종방향으로 이동 가능한 샤프트에 고정된다. 하나의 액츄에이터만 샤프트의 회전을 위해, 또한 샤프트의 축선방향 이동을 위해 존재하는 (예컨대 US 6,776,394 B2) 비동종 실시형태들 이외에, 이를 위해 예컨대 US 7,413,162 B 또는 US 2007/02 901 57 A1 으로부터의 여러 가지 액츄에이터들이 제공되어 있는 실시형태들도 공지되어 있다. 이 경우, 축선방향 이동을 위해, 밸브 플레이트 안에 통합된 피스톤-실린더 유닛이 제공될 수 있다. 샤프트의 종축 둘레의 비틀림을 위해서는 회전 드라이브가 사용된다. 이러한 회전 드라이브는 액츄에이터로서의 피스톤-실린더 유닛과 함께 형성될 수도 있다.
개방 및 폐쇄가 두 단계로 행해지는 그 밖의 진공밸브는 US 5,577,707 에 나타나 있다. 진공밸브를 닫기 위해, 첫번째 단계에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 해제하는 위치로부터 밸브 개구부를 덮는 위치로 조절된다. 두 번째 단계에서는, 밸브 몸체에 대해 밀봉되어 이동 가능하게 설치된 슬라이딩 링 (sliding ring) 이 밸브 개구부의 축선방향에서 이동되고, 밀봉적으로 밸브 플레이트에 기대진다. 개방 과정은 폐쇄 과정과는 반대로 행해진다. 밸브 플레이트를 조절하기 위해서는 액츄에이터로 서보 모터가 제공되고, 슬라이딩 링을 이동하기 위해서는 피스톤-실린더 유닛이 제공된다.
개방 및 폐쇄를 위해 두 단계로, 두 단계를 위한 별도의 액츄에이터들, 특히 피스톤-실린더 유닛들을 갖고 운동들이 정확한 연속으로 실행되는 진공밸브에 위치 센서들이 제공될 수 있고, 상기 위치 센서들은 밸브 플레이트의 위치, 또는 밸브 플레이트의 이동시 함께 움직여진 부품의 위치를 검출한다. 그 후, 이 위치 센서들의 출력값은 피스톤-실린더 유닛들을 가동시키는 제어밸브들을 원하는 방식으로 제어하기 위해 외부 제어장치에 의해 평가된다.
US 6,431,518 B1 에 공지되어 있는 진공밸브에서는, 진공밸브의 개방시 운동들의 정확한 연속은 그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로의 밸브 플레이트의 이동을 구동시키는 제 1 피스톤-실린더 유닛과 함께 움직여진 제 1 제어요소의 도움으로 실행된다. 피스톤의 운동의 끝에서 상기 피스톤은 압력라인을 열고, 그 후 상기 압력라인을 통해 압력매체는 제 2 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버 밖으로 새나갈 수 있다. 그 후, 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버 안에 제공된 압력은 밸브 플레이트를 그의 중간 위치로부터 그의 개방 위치로 이동시키기 위해 제 2 피스톤-실린더 유닛의 피스톤을 이동시킬 수 있다. 진공밸브의 폐쇄시 제 2 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버는 압력으로 가압되고, 그의 개방 실린더 챔버는 환기되며, 이때 동압력을 발생시키기 위해 제 1 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버쪽으로의 연결 라인이 존재한다. 상기 동압력은 진공밸브의 폐쇄의 시작에서부터 폐쇄 방향으로 가압된 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤의 운동을 제 2 피스톤-실린더 유닛의 피스톤의 운동이 종료될 때까지 저지한다. 이 진공밸브는 개방 및 폐쇄시 움직여진 부품들을 위한 위치 센서가 없 어도 되고, 정상 작동시 운동 진행들의 정확한 연속이 달성된다. 압력차 또는 동적으로 생기는 압력들을 통한 제어로 인해, 특별한 작동 조건들에서, 예컨대 비통상적인 네트워크 압력들 또는 무압 상태 후의 시동시 원치 않는 운동들이 생기는 위험이 있다.
두 운동 단계들을 위한 분리된 피스톤-실린더 유닛들을 가진 L 밸브의 운동들의 연속을 압력차만을 통해 제어하는 것은 US 6,056,266 B 및 US 2007/02 72 888 A1 에 나타나 있다. 이러한 밸브들이 긴 시간 동안 작동되지 않으면, 피스톤의 제 1 운동을 위한 상승된 마찰계수를 통해 (Slip-Stick) 오작동이 발생될 수 있다.
본 발명의 목적은, 밸브의 개방 및 폐쇄시 움직여진 부품들을 위한 위치 센서들이 필요하지 않고, 운동들의 연속을 위해 높은 신뢰성을 가진, 도입부에 언급된 유형의 진공밸브를 제공하는 것이다.
상기 목적은 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징을 가진 진공밸브에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 진공밸브는 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버의 압력 가압을 제어하기 위해 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤과 함께 움직여진 제 1 제어요소와, 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버의 압력 가압을 제어하기 위해 제 2 피스톤-실린더 유닛의 피스톤과 함께 움직여진 제 2 제어요소를 구비한다. 이 경우, 개방 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 개방시, 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버쪽으로의 압력매체의 공급이 안내되는 압력매체 라인이 차단되어 있으며, 즉 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버는 압력매체의 압력으로 가압되지 않는다. 개방 과정의 제 1 단계의 끝에서, 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤의 이동시 제 1 제어요소의 조절을 통해 이 압력매체 라인은 제 1 제어요소에 의해 해제되고, 이로 인해, 그 후 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버는 압력매체의 압력에 의해 가압된다. 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 폐쇄시, 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버 안 으로의 압력매체의 공급에 사용되는 압력매체 라인이 차단되어 있으며, 즉 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버는 압력매체의 압력으로 가압되지 않는다. 폐쇄 과정의 제 1 단계의 끝에서, 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤의 이동시 제 2 제어요소의 조절을 통해 이 압력매체 라인은 제 2 제어요소에 의해 해제되고, 이로 인해, 그 후 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버는 압력매체의 압력에 의해 가압된다.
본 발명에 따른 방식으로 형성된 진공밸브에 있어서, 진공밸브는 간단하게 적절한 비용으로 제조될 수 있고, 또한 개방 및 폐쇄 과정의 신뢰성 있는 제어가 실현될 수 있다.
제 1 또는 제 2 제어요소와 각각의 피스톤-실린더 유닛의 피스톤과의 운동은, 각각의 피스톤-실린더 유닛의 피스톤과의 적합한 기계적 커플링을 통해, 예컨대 피스톤에 제어요소를 고정시킴으로써, 피스톤 로드에, 또는 피스톤 로드와 연결된 부품에 제어요소를 형성하거나 고정시킴으로써 실현된다.
바람직하게는, 진공밸브의 개방시, 적어도 개방 과정의 제 1 단계를 통하여 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버와, 적어도 개방 과정의 제 2 단계를 통하여 제 2 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버는 대기압 (atmospheric pressure) 과 연결되어 있다 (즉, 압력 없이 스위칭된다). 바람직하게는, 진공밸브의 폐쇄시, 적어도 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통하여 제 1 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버와, 적어도 폐쇄 과정의 제 2 단계를 통하여 제 1 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버는 대기압과 연결되어 있다 (즉, 압력 없이 스위칭된 다). 그러므로, 바람직하게는, 본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 개방의 단계에서, 또한 폐쇄의 단계에서 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤은 양쪽에서 가압되지 않고, 개방의 단계에서, 또한 폐쇄의 단계에서 제 2 피스톤-실린더 유닛의 피스톤은 양쪽에서 가압되지 않는다.
진공밸브가 닫힌 상태에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 덮고, 밸브 몸체에 대해 밀봉되어 있다. 이 경우, 바람직한 실시형태에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 둘러싸는 밸브 시트에 내리눌려지고, 실링 (sealing) 을 이용해 밸브 시트에 대해 밀봉된다. 이 경우, 바람직하게는 실링은 밸브 플레이트에 배치되고, 밸브 시트를 형성하는 실링면 (sealing surface) 에 대해 내리눌려진다. 밸브 시트에 실링을 배치하고 밸브 플레이트에 실링면을 배치하는 것도 가능하다. 다른 실시형태에서, 밸브 몸체에 대한 밸브 플레이트의 밀봉은 슬라이딩 링 (sliding ring) 을 통해 행해질 수 있고, 상기 슬라이딩 링은 밸브 몸체에 대해 이동 가능하게 설치되어 있으며, 이 경우 밸브 몸체에 대해 밀봉되어 있고, 진공밸브가 닫힌 상태에서는 계속 밸브 플레이트에 내리눌려지며, 실링을 이용해 밸브 플레이트에 대해 밀봉되어 있다.
진공밸브가 열린 상태에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 해제하며, 이 경우 바람직하게는 밸브 플레이트는 밸브 개구부의 축선방향에서 볼 때 완전히 측면으로 밸브 개구부의 옆에 놓여 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 밸브 플레이트는 제 1 피스톤-실린더 유닛의 개방 과정의 제 1 단계에서는 폐쇄 위치로부터 (상기 폐쇄 위치에서 밸브 플 레이트는 밸브 개구부를 둘러싸는 밸브 시트에 내리눌려지고 밸브 개구부를 밀봉한다) 밸브 시트에서 들어내지는 중간 위치로 이동되고, 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 과정의 제 2 단계에서는 상기 중간 위치로부터 개방 위치로 이동되며, 상기 개방 위치에서 밸브 플레이트는 밸브 개구부를 해제한다. 즉, 밸브 플레이트는 개방 경로를 통하여 이동되고, 상기 개방 경로의 제 1 구역은 밸브 개구부의 축선에 대해 평행으로 또는 밸브 개구부의 축선에 대해 적어도 90°보다 작은 각도로, 바람직하게는 60°보다 작은 각도로 밸브 플레이트의 폐쇄 위치로부터 밸브 플레이트의 중간 위치로 이동된다. 밸브 플레이트의 중간 위치로부터 개방 위치로의 개방 경로의 제 2 구역은 진공밸브가 L 밸브 또는 J 밸브로 형성되어 있는 실시 변형예에서는 직선으로, 또한 밸브 개구부의 축선에 대해 직각으로 이동될 수 있다. 진공밸브가 셔틀밸브로 형성되어 있는 다른 실시 변형예에서는, 중간 위치로부터 개방 위치로의 개방 경로의 제 2 구역은 원호를 따라 연장될 수 있다.
이 경우, 폐쇄 과정은 개방 과정과 반대로 행해지며, 즉 폐쇄 과정의 제 1 단계에서는 그의 개방 위치로부터 그의 중간 위치로의 밸브 플레이트의 이동이 행해지고, 폐쇄 과정의 제 2 단계에서는 그의 중간 위치로부터 그의 폐쇄 위치로의 밸브 플레이트의 이동이 행해지며, 즉 밸브 플레이트의 폐쇄 경로의 제 1 구역은 반대 방향으로 개방 경로의 제 2 구역에 일치하고, 폐쇄 경로의 제 2 구역은 반대 방향으로 개방 경로의 제 1 구역에 일치한다.
이하, 본 발명의 그 밖의 장점 및 상세내용을 첨부된 도면을 참조로 설명한다.
이하, 본 발명의 진공밸브를 위한 실시예를 도 1 내지 도 9 를 참조로 설명한다. 진공밸브는 하우징쪽에 형성된 밸브 몸체 (1) 를 포함하며, 상기 밸브 몸체는 축선 (3) 을 가진 밸브 개구부 (2) 를 갖는다. 진공밸브의 폐쇄 부재는 밸브 플레이트 (4) 에 의해 형성되며, 상기 밸브 플레이트는 진공밸브가 닫힌 상태에서는 밸브 개구부 (2) 를 둘러싸는 밸브 시트 (valve seat, 5) 에 내리눌려지고, 밸브 개구부 (2) 를 진공밀봉적으로 폐쇄한다. 이를 위해, 밸브 플레이트 (4) 에는 탄성 재료로 만들어진 링 모양의 실링 (sealing, 6) 이 제공되며, 상기 실링은 실링면을 구비한 밸브 시트 (5) 에 내리눌려진다. 진공밸브가 닫힌 이 상태에서 (도 2) 밸브 플레이트 (4) 는 폐쇄 위치를 갖는다.
진공 밸브가 열린 상태에서 (도 5) 밸브 개구부 (2) 는 밸브 플레이트 (4) 에게서 해제된다. 바람직하게는, 밸브 플레이트 (4) 는 진공밸브가 열린 상태에서 갖는 그의 개방 위치에서는 밸브 개구부 (2) 의 축선방향에서 볼 때 완전히 측면으로 밸브 개구부 (2) 의 옆에 놓여 있다.
실시예에서 진공밸브는 L 밸브의 유형으로 형성되어 있다. 이 경우, 밸브 플레이트 (4) 는 진공밸브의 개방시 개방 과정의 제 1 단계에서는 그의 폐쇄 위치에서 시작하여 우선 중간 위치로 이동되고, 상기 중간 위치에서 상기 밸브 플레이트는 밸브 시트 (5) 에서 들어내지나, 밸브 개구부 (2) 의 축선방향에서 볼 때 밸브 개구부 (2) 를 아직 덮고 있다. 그러므로, 그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로의 밸브 플레이트 (4) 의 이동은 바람직하게는 적어도 거의 밸브 개구부 (2) 의 축선 (3) 의 방향으로 행해진다 (축선방향으로부터의 편차는 바람직하게는 20°보다 작다).
개방 과정의 제 2 단계에서, 밸브 플레이트 (4) 는 도 4 에 도시되어 있는 그의 중간 위치로부터 도 5 에 도시되어 있는 그의 개방 위치로 이동된다.
이 이동은 밸브 개구부 (2) 의 축선 (3) 에 대해 바람직하게는 적어도 거의 직각으로 행해진다 (축선 (3) 에 대한 직각으로부터의 편차는 바람직하게는 10°보다 작다).
폐쇄는 반대 방향으로 행해진다. 폐쇄 과정의 제 1 단계에서 밸브 플레이트 (4) 는 그의 개방 위치 (도 6) 로부터 그의 중간 위치로 (도 7) 로 이동되며, 폐쇄 과정의 제 2 단계에서는 그의 중간 위치 (도 7) 로부터 그의 폐쇄 위치 (도 2) 로 이동된다. 상기 운동 방향들은 각각 개방때와 반대이다.
상기 개방 과정의 제 1 단계에서 밸브 플레이트는 그의 개방 경로의 제 1 구역을 통하여 이동하고 상기 개방 과정의 제 2 단계에서는 그의 개방 경로의 제 2 구역을 통하여 이동하며, 상기 폐쇄 과정의 제 1 단계에서는 그의 폐쇄 경로의 제 1 구역을 통하여 이동하고 상기 폐쇄 과정의 제 2 단계에서는 그의 폐쇄 경로의 제 2 구역을 통하여 이동한다.
밸브 플레이트 (4) 는 밸브 로드 (7) 에 설치되며, 상기 밸브 로드는 진공밸브의 개방 및 폐쇄를 위해 밸브 드라이브를 이용해 조절되고, 상기 밸브 드라이브는 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 과 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 을 포함한다. 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 을 이용해 밸브 플레이트 (4) 는 진공밸브의 개방 시에는 그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로 조절되고, 진공밸브의 폐쇄시에는 그의 중간 위치로부터 그의 폐쇄 위치로 조절된다. 이를 위해, 도시되어 있는 실시예에서, 밸브 로드 (7) 는 상기 밸브 로드 (7) 에 대해 직각으로 있고 또한 밸브 개구부 (2) 의 축선 (3) 에 대해 직각으로 있는 선회축 (16) 둘레로 선회된다.
제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 를 이용해 밸브 플레이트 (4) 는 진공밸브의 개방시에는 그의 중간 위치로부터 그의 개방 위치로 조절되고 진공밸브의 폐쇄시에는 그의 개방 위치로부터 그의 중간 위치로 조절되며, 이때 밸브 로드 (7) 는 그의 축선방향으로 이동된다.
선회축 (16) 을 형성하기 위해, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 과 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 을 구비한 밸브 드라이브의 드라이브 블록 (17) 은 밸브 드라이브의 드라이브 하우징 (18) 에 대해 선회 가능하게 설치된다. 이를 위해, 예컨대 드라이브 블록 (17) 의 베어링 암 (bearing arm, 19, 20) 들이 제공될 수 있으며, 상기 베어링 암들은 피봇팅 저널 (21) 을 이용해 드라이브 하우징 (18) 의 선회 부시들 안에 회전 가능하게 설치되어 있다.
제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 을 이용해 밸브 로드 (7) 를 축선방향으로 조절하기 위해, 도시되어 있는 실시예에서 밸브 로드 (7) 는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 에 바로 고정된다 (즉, 밸브 로드 (7) 는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 로드에 의해 형성된다). 그 대신 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 은 예컨대 분리된 피스톤 로드를 구비할 수도 있으며, 상기 피스톤 로드는 밸브 로드 (7) 와 기계적으로 연결되어 있다.
제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 을 통하여 드라이브 블록 (17) 을 선회시키기 위해, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 로드 (23) 는 선회축 (22) 둘레로 선회 가능하게 드라이브 하우징 (18) 과 연결되어 있다. 이를 위해, 예컨대 도 8 에 개략적으로 도시되어 있는 바와 같이, 드라이브 하우징 (18) 에 고정된 연결 플랜지 (24) 에 제공되어 있는 연결 핀 (25) 은 피스톤 로드 (23) 의 단부 영역에서의 리세스 (recess, 26) 안으로 돌출한다.
이때, 리세스 (26) 는 피스톤 로드 (23) 의 종축에 대해 직각으로 연장되는 장방형 구멍으로 형성되어 있는데, 이는 선회축 (16) 둘레로 드라이브 블록 (17) 이 선회할 때 이 방향으로의 피스톤 로드 (23) 의 이동을 가능하게 하기 위해서이다.
개방 과정의 제 1 단계에서, 또한 폐쇄 과정의 제 2 단계에서, 선회축 (16) 둘레의 밸브 로드 (7) 의 선회 대신 밸브 개구부 (2) 의 축선 (3) 방향으로의 밸브 로드 (7) 의 평행 이동도 가능하며, 또는 축선 (3) 에 대해 거의 평행으로 있고 바람직하게는 상기 축선과 함께 20°보다 작은 각도를 포함하는 적어도 한 방향으로의 평행 이동도 가능하다. 이러한 구성은 도입부에 언급된 선행기술로부터 이미 공지되어 있다. 이를 위해, 예컨대 드라이브 블록 (17) 은 슬라이딩 프레임의 유형으로 드라이브 하우징 (18) 에 대해 이동 가능하게 설치될 수 있다.
밸브 로드 (7) 는 진공밸브의 진공 영역 밖으로 안내된다. 이를 위해, 도시되어 있는 실시예에서 벨로우즈 (bellows, 27), 예컨대 멤브레인 벨로우즈 (membrane bellows) 또는 폴딩 벨로우즈 (folding bellows) 가 제공된다.
피스톤 (9, 13) 들은 실린더 챔버 (10, 11, 14, 15) 들을 형성하는 실린더 블록 (34, 35) 들의 리세스들 안에 이동 가능하게 설치되어 있다. 그 대신 피스톤 (9, 13) 들을 수용하는 별도의 실린더들이 제공될 수도 있다.
진공밸브의 개방 및 폐쇄시 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 과 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 운동들의 연속을 제어하는 데에 제 1 제어요소 (28) 와 제 2 제어요소 (29) 가 사용되며, 상기 제 1 제어요소는 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 의 운동시 상기 피스톤과 함께 움직이고, 상기 제 2 제어요소는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 의 운동시 상기 피스톤과 함께 움직인다. 도 1 내지 도 9 에 도시되어 있는 실시예에서, 제 1 제어요소 (28) 는 피스톤 로드 (23) 에 형성되어 있으며, 이때 상기 제어요소는 피스톤 (9) 에 이어지는 피스톤 로드 (23) 의 구역에 의해 형성되고, 상기 구역은 피스톤 (9) 으로부터 더 멀리 놓인 피스톤 로드 (23) 의 구역보다 큰 지름을 갖는다. 제 2 제어요소 (29) 는 제어 로드 (control rod) 에 의해 형성되고, 상기 제어 로드는 밸브 로드 (7) 에 고정된 플랜지 (30) 에 설치되어 있다.
진공밸브의 개방 및 폐쇄를 위한 압력매체로는 압축공기가 사용되는 것이 바람직하며, 이러한 방식의 진공밸브의 개방 및 폐쇄를 하기에서 설명한다. 유압식 형성도 기본적으로 가능하나, 덜 선호된다.
도 2 에 도시되어 있는 그의 폐쇄된 상태에서 시작하여 진공밸브를 열기 위해, 밸브 드라이브의 개방 연결부 (31) 는 압력매체로 가압되고, 폐쇄 연결부 (32) 는 대기압과 연결된다 (즉 환기된다). 이를 위해, 도시되어 있는 바와 같이 예 컨대 4/2 방 밸브는 도 2 에 도시되어 있는 위치로부터 도 3 에 도시되어 있는 위치로 전환될 수 있다. 도 3 은 전환 바로 후의 상태, 그러나 피스톤-실린더 유닛 (8, 12) 들의 피스톤 (9, 13) 들의 운동이 아직 없는 상태를 나타낸다.
압력매체는 압력매체 라인 (39) 을 통하여 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 에 공급된다. 상기 제 1 피스톤-실린더 유닛의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 는 압력매체 라인 (36) (상기 압력매체 라인은 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 를 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 와 연결한다) 및 상기 압력매체 라인에서 분기되는 압력매체 라인 (38) 을 통해 폐쇄 연결부 (32) 와 연결되어 있고, 그러므로 대기압과 연결된다 (또는 환기된다). 연결 압력매체 라인 (37) 을 통한 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 와 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 사이의 연결은 우선 제 1 제어요소 (28) 에 의해 차단된다. 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 는 상기 폐쇄 실린더 챔버 (15) 에 이어지는 압력매체 라인 (36) 및 압력매체 라인 (38) 을 통하여 폐쇄 연결부 (32) 와 연결되어 있으며, 즉 대기압과 연결되어 있다 (또는 환기된다).
제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 은 이제 도 3 에 도시되어 있는 그의 위치에서 시작하여 압력매체에 의해 이동되고, 이로 인해 밸브 플레이트 (4) 는, 개방 과정의 제 1 단계의 끝에서 제 1 제어요소 (28) 가 압력매체 라인 (37) 를 통한 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 와 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 사이의 연결이 이루어질 때까지 (도 4 참조) 그의 중간 위치의 방향으로 이동된다. 개방 과정의 제 2 단계가 뒤따르고, 상기 개방 과정을 통하여 이제 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 도 압력매체로 가압되고 제 2 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 (13) 이 이동되며, 이때 밸브 플레이트 (4) 는 그의 개방 위치의 방향으로 이동된다. 개방 과정의 제 2 단계의 끝에서, 도 5 에 도시되어 있는 개방된 상태가 실현된다.
진공밸브를 폐쇄하기 위해 (개방된 상태 (도 5) 에서 시작하여), 폐쇄 연결부 (32) 는 압력매체로 가압되고, 개방 연결부 (31) 는 예컨대 도시되어 있는 바와 같이 4/2 방 밸브 (33) 가 전환됨으로써 대기압과 연결된다. 도 6 은 피스톤-실린더 유닛 (8, 12) 들의 피스톤 (9, 13) 들이 움직이기 전에, 즉 전환 바로 후의 상태를 나타낸다. 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 는 압력매체 라인 (38), 및 상기 압력매체 라인 (38) 의 합류부에 이어지는, 또한 폐쇄 실린더 챔버 (15) 쪽으로 이어지는 압력매체 라인 (36) 의 구역을 통하여 압력매체로 가압된다. 그러나 제 2 제어요소 (29) 는 압력매체 라인 (38) 의 합류부와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 사이에서 연장되는 압력매체 라인 (36) 의 구역을 차단한다. 그러므로, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 는 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통하여 압력매체로 가압되지 않는다. 압력매체 라인 (37) 을 통한 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 와의 연결은 제 1 제어요소 (28) 에 의해 이루어진다. 그러므로, 피스톤-실린더 유닛 (12, 8) 들의 개방 실린더 챔버 (14, 10) 들은 제 1 피스톤-실린더 유 닛의 개방 실린더 챔버 (10) 와 개방 연결부 (31) 의 사이에 연장되는 압력매체 라인 (39) 을 통하여 대기압과 연결되어 있다.
제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 은 이제 도 6 에 도시되어 있는 그의 위치에서 시작하여 압력매체에 의해 이동되고, 상기 피스톤과 함께 밸브 플레이트 (4) 는 그의 개방 위치로부터 그의 중간 위치의 방향으로 이동된다. 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 의 리프트 (lift) 의 끝에서, 제 2 제어요소 (29) 는 압력매체 라인 (36) 을 통한 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 사이의 연결이 이루어지게 하고, 이로 인해 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 는 압력매체로 가압된다. 폐쇄 과정의 제 2 단계가 뒤따르며, 상기 폐쇄 과정을 통하여 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 의 리프트는 도 2 에 도시되어 있는 폐쇄 위치에 도달될 때까지 행해진다.
제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 쪽으로의 압력공급이 제 1 제어요소 (28) 에 의해 이루어지게된 후, 개방 과정의 제 2 단계의 시작시 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 의 운동이 아직 종료되지 않았으면, 개방 과정의 제 2 단계의 제 1 부분을 통하여 두 피스톤-실린더 유닛 (8, 12) 들의 피스톤 (9, 13) 들은 동시에 움직일 수 있다. 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 쪽으로의 압력공급이 제 2 제어요소 (29) 에 의해 해제된 후, 폐쇄 과정의 제 2 단계의 시작시 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 의 운동이 아직 종료되지 않았으면, 폐쇄 과정의 제 2 단계의 제 1 부분 을 통하여 두 피스톤-실린더 유닛 (8, 12) 들의 피스톤 (9, 13) 들은 동시에 움직일 수 있다.
진공밸브가 닫힌 상태에서 압력매체의 공급이 생략되면, 그러므로 두 연결부 (31, 32) 가 대기압에 놓이면, 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 은, 제 1 제어요소 (28) 에 의한 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 사이의 연결의 차단으로 인해, 피스톤 (9) 이 제 1 제어요소 (28) 의 해제까지는 이동되지 않는 한 도 2 에 도시되어 있는 그의 위치에 남아 있다. 이는 유사한 방식으로 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 에 적용되며, 상기 피스톤은, 진공밸브가 열린 상태에서 압력매체의 공급이 생략되고 또한 피스톤 (13) 이 제어요소 (29) 가 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 사이의 연결을 이루어지게 하기까지는 이동되지 않으면 도 5 에 도시되어 있는 그의 위치에 남아 있다.
피스톤 (9 및/또는 13) 을 위해 스프링 요소들이 제공될 수 있으며, 상기 스프링 요소들은 피스톤 (9 또는 13) 을 압력매체를 통한 압력 가압 없이 원하는 위치로 예압 (pretension) 한다.
제 1 제어요소 및 제 2 제어요소의 변경된 실시형태들을 위한 예들은 도 10 및 도 11 에 개략적으로 도시되어 있다. 도 10 의 실시 변형예에서, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 에는 제 2 피스톤 로드 (40) 가 설치되며, 상기 피스톤 로드에는 플랜지 (41) 가 설치되고, 상기 플랜지에는 로드 모양의 제 1 제 어요소 (28') 가 설치된다. 밸브 플레이트 (4) 의 폐쇄 위치에 상응하는 피스톤 (9) 의 위치에서, 제 1 제어요소 (28') 는, 압력매체 라인 (37') 을 통한 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 와 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 사이의 연결, 또한 그러므로 제 2 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버 (14) 쪽으로의 압력공급을 차단한다. 압력매체 라인 (39') 은 제 1 피스톤-실린더 유닛의 개방 실린더 챔버 (10) 와 개방 연결부 (31) 를 연결한다.
도 11 에 개략적으로 도시된 실시 변형예에서, 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 (13) 에는 제 2 제어요소 (29') 를 형성하는 제어 로드가 설치되며, 상기 제어 로드는 밸브 플레이트 (4) 의 개방 위치에 상응하는 피스톤 (13) 의 위치에서, 압력매체 라인 (36') 을 통한 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (12) 사이의 연결, 또한 그러므로 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 쪽으로의 압력공급을 차단한다. 압력매체 라인 (38') 은 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 를 폐쇄 연결부 (32) 와 연결한다.
본 발명은 개방 및 폐쇄가 제 1 피스톤-실린더 유닛과 제 2 피스톤-실린더 유닛을 이용해 두 단계로 행해지는 진공밸브의 다른 유형들에서, 예컨대 특히 본 설명의 도입부에 언급된 선행기술로부터 공지된 바와 같이 개방 과정 및 폐쇄 과정의 두 단계를 위해 별도의 피스톤-실린더 유닛들이 제공되어 있는 L 밸브 및 J 밸브의 다른 유형들에서도 동일한 방식으로 이용될 수 있다.
본 설명의 도입부에 언급된 선행기술로부터 공지되어 있는 바와 같이, 회전 드라이브를 위해서뿐만 아니라 그의 중간 위치로부터 그의 폐쇄 위치로의 밸브 플레이트의 조절 (상기 조절은 바람직하게는 밸브 개구부의 축선에 대해 평행으로 행해지거나 또는 30°보다 작은 각도에서 행해진다) 을 위해 피스톤-실린더 유닛들이 액츄에이터들로 이용되면, 본 발명은 셔틀밸브에서도 이용될 수 있다.
본 발명은, 밸브 플레이트를 조절하기 위한 드라이브뿐만 아니라 슬라이딩 링의 이동을 위한 드라이브도 액츄에이터로서의 피스톤-실린더 유닛을 구비하면, 예컨대 본 설명의 도입부에 언급된 선행기술로부터 도출되는 바와 같이, 예컨대 밸브 플레이트가 제 1 단계에서는 밸브 개구부를 해제하는 위치로부터 밸브 개구부를 덮는 위치로 조절되고 제 2 단계에서는 밸브 몸체에 대해 밀봉되어 이동 가능하게 설치된 슬라이딩 링이 밸브 개구부의 축선방향에서 이동되고 밀봉적으로 밸브 플레이트에 기대지는 밸브에서도 이용될 수 있다.
평행으로 제어되는 2 개 이상의 제 1 피스톤-실린더 유닛과, 평행으로 제어되는 2 개 이상의 제 2 피스톤-실린더 유닛을 이용하는 것이 가능하다. 예컨대 진공밸브는 2 개 이상의 밸브 로드를 구비할 수 있고, 상기 밸브 로드들은 각각 제 2 피스톤-실린더 유닛에 의해 구동된다.
또한, 진공밸브가 2 개 이상의 밸브 플레이트를 구비하고, 상기 밸브 플레이트들이 1 개의 밸브 로드에 고정되거나 또는 2 개 이상의 밸브 로드에 고정되는 것이 가능하다.
밸브 개구부는 진공챔버의 벽 안에 제공될 수도 있고, 이때 이 벽은 진공 몸 체를 형성한다.
본 발명에 따른 진공밸브는 한 방향으로만 작용하는 압력차를 위해 제공될 수도 있고, 이때 이러한 폐쇄 장치들은 '도어 (door) 들' 이라고도 불리운다. 이 경우, 밸브 플레이트는 진공 영역의 외부에, 예컨대 진공챔버의 외면에 배치될 수도 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 진공밸브의 실시예의 비스듬한 도면;
도 2 내지 도 7 은 폐쇄된 상태에서 (도 2), 개방의 시작시 (도 3), 개방 과정의 제 1 단계 후 (도 4), 개방된 상태에서 (도 5), 폐쇄의 시작시 (도 6), 폐쇄 과정의 제 1 단계 후 (도 7) 진공밸브의 개략적인 단면도들 (도 3, 도 6, 도 7 에는 간단하게 하기 위해 밸브 로드와 함께 밸브 드라이브만 도시되어 있음);
도 8 은 드라이브 하우징을 가진 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 로드의 연결 영역에서의 개략적으로 확대된 도면;
도 9 는 드라이브 블록 및 드라이브 하우징의 개략적인 단면도 (도 2 내지 도 7 의 절단 평면에 대해 직각으로, 또한 밸브 개구부의 축선에 대해 직각으로 있는 절단 평면);
도 10 은 제 1 제어요소를 위한 다른 가능한 실시 변형예의 개략적인 도면;
도 11 은 제 2 제어요소를 위한 다른 가능한 실시 변형예의 개략적인 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 밸브 몸체 2 : 밸브 개구부
3 : 밸브 개구부의 축선 4 : 밸브 플레이트
5 : 밸브 시트 6 : 실링
7 : 밸브 로드 8 : 제 1 피스톤-실린더 유닛
9 : 피스톤 10 : 개방 실린더 챔버
11 : 폐쇄 실린더 챔버 12 : 제 2 피스톤-실린더 유닛
13 : 피스톤 14 : 개방 실린더 챔버
15 : 폐쇄 실린더 챔버 16 : 선회축
17 : 드라이브 블록 18 : 드라이브 하우징
19 : 베어링 암 20 : 베어링 암
21 : 피봇팅 저널 22 : 선회축
23 : 피스톤 로드 24 : 연결 접합판
25 : 연결 핀 26 : 리세스
27 : 벨로우즈 28, 28' : 제 1 제어요소
29, 29' : 제 2 제어요소 30 : 플랜지
31 : 개방 연결부 32 : 폐쇄 연결부
33 : 4/2 방 밸브 34 : 제 1 실린더 블록
35 : 제 2 실린더 블록 36, 36' : 압력매체 라인
37, 37' : 압력매체 라인 38, 38' : 압력매체 라인
39, 39' : 압력매체 라인 40 : 피스톤 로드
41 : 플랜지

Claims (9)

  1. 진공밸브로서, 상기 진공밸브는 밸브 개구부 (2) 를 가진 밸브 몸체 (1) 와, 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (4) 와, 개방 실린더 챔버 (10) 및 폐쇄 실린더 챔버 (11) 를 구비한 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 과 (진공밸브의 개방시 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 는 개방 과정의 제 1 단계를 통하여 압력매체로 가압되고, 진공밸브의 폐쇄시 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 는 폐쇄 과정의 제 2 단계를 통하여 압력매체로 가압된다), 개방 실린더 챔버 (14) 및 폐쇄 실린더 챔버 (15) 를 구비한 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 을 (진공밸브의 개방시 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 는 개방 과정의 제 2 단계를 통하여 압력매체로 가압되고, 진공 밸브의 폐쇄시 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 는 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통하여 압력매체로 가압된다) 포함하는 진공밸브에 있어서, 이 진공밸브는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 의 압력 가압을 제어하기 위해 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 피스톤 (9) 과 함께 움직여지는 제 1 제어요소 (28, 28') 와, 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 압력 가압을 제어하기 위해 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 피스톤 (13) 과 함께 움직여지는 제 2 제어요소 (29, 29') 를 구비하며, 이때 개방 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 개방시에는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (37, 37') 이 차단되어 있으며, 개방 과정의 제 1 단계의 끝에서 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (37) 은 제 1 제어요소 (28, 28') 에 의해 해제되고, 그리고 이때 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 폐쇄시에는 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (36, 36') 이 차단되어 있으며, 폐쇄 과정의 제 1 단계의 끝에서 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 의 압력 가압을 위한 압력매체 라인 (36, 36') 은 제 2 제어요소 (29, 29') 에 의해 해제되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 개방 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 개방시 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 는 대기압과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 개방 과정의 제 2 단계를 통한 진공밸브의 개방시 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 는 대기압과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폐쇄 과정의 제 1 단계를 통한 진공밸브의 폐쇄시 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 는 대기압과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폐쇄 과정의 제 2 단계를 통하여 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 는 대기압과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폐쇄 부재는 밸브 플레이트 (4) 에 의해 형성되며, 상기 밸브 플레이트는 진공밸브가 닫힌 상태에서 갖는 그의 폐쇄 위치에서는 밸브 개구부 (2) 를 둘러싸는 밸브 시트 (5) 에 내리눌려지고 밸브 개구부 (2) 를 밀봉하며, 진공밸브가 열린 상태에서 갖는 그의 개방 위치에서는 밸브 개구부 (2) 를 해제하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  7. 제 6 항에 있어서, 진공밸브의 개방 과정의 제 1 단계에서 밸브 플레이트 (4) 는 그의 폐쇄 위치로부터, 밸브 시트 (5) 에서 들어내지는 중간 위치로 이동되고, 개방 과정의 제 2 단계에서는 그의 중간 위치로부터 그의 개방 위치로 이동되며, 진공밸브의 폐쇄 과정의 제 1 단계에서 밸브 플레이트 (4) 는 그의 개방 위치로부터 그의 중간 위치로 이동되고 폐쇄 과정의 제 2 단계에서는 그의 중간 위치로부터 그의 폐쇄 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 제 1 제어요소 (28, 28') 는 개방 과정의 제 1 단계에서는 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 개방 실린더 챔버 (10) 와 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 개방 실린더 챔버 (14) 사이의 연결을 차단하고, 개방 과정의 제 2 단계의 시작시 이 연결이 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 제 2 제어요소 (29, 29') 는 폐쇄 과정의 제 1 단계에서는 제 2 피스톤-실린더 유닛 (12) 의 폐쇄 실린더 챔버 (15) 와 제 1 피스톤-실린더 유닛 (8) 의 폐쇄 실린더 챔버 (11) 사이의 연결을 차단하고, 폐쇄 과정의 제 2 단계의 시작시 이 연결이 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
KR1020090097563A 2008-10-15 2009-10-14 진공밸브 KR101653407B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008051349.0 2008-10-15
DE102008051349A DE102008051349B3 (de) 2008-10-15 2008-10-15 Vakuumventil

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100042231A true KR20100042231A (ko) 2010-04-23
KR101653407B1 KR101653407B1 (ko) 2016-09-01

Family

ID=41152928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090097563A KR101653407B1 (ko) 2008-10-15 2009-10-14 진공밸브

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8177190B2 (ko)
JP (1) JP5592096B2 (ko)
KR (1) KR101653407B1 (ko)
CN (1) CN101725721B (ko)
DE (1) DE102008051349B3 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011153562A1 (de) * 2010-06-09 2011-12-15 Vat Holding Ag Vakuumventil
EP2728226B1 (de) * 2012-10-31 2015-03-25 VAT Holding AG Vakuumventil
EP2740979A1 (de) 2012-12-05 2014-06-11 VAT Holding AG Vakuumventil
GB2517904A (en) * 2013-07-31 2015-03-11 Ingegneria Ceramica S R L An Improved Obturator and Method of Fabrication Thereof
TWI656293B (zh) * 2014-04-25 2019-04-11 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 閥
JP6584829B2 (ja) * 2014-07-04 2019-10-02 バット ホールディング アーゲー バルブ
JP6679594B2 (ja) * 2014-12-19 2020-04-15 バット ホールディング アーゲー 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア
US9470319B2 (en) 2015-01-26 2016-10-18 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Gate valve with linkage structure
CN107407443B (zh) * 2015-03-09 2019-05-10 Vat控股公司 真空阀
JP6778206B2 (ja) * 2015-03-27 2020-10-28 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
KR101725251B1 (ko) * 2015-05-04 2017-04-11 프리시스 주식회사 진공밸브
JP6853812B2 (ja) 2015-08-10 2021-03-31 バット ホールディング アーゲー 空気圧式バルブアクチュエータ
TWI705212B (zh) 2016-01-19 2020-09-21 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
TWI740981B (zh) * 2016-08-22 2021-10-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 真空閥
EP3421850A1 (de) 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit positionssensor
JP6607428B1 (ja) * 2019-05-07 2019-11-20 入江工研株式会社 ゲートバルブ
DE102019129344A1 (de) * 2019-10-30 2021-05-06 Vat Holding Ag Vakuumventil
NL2030241B1 (en) * 2021-12-22 2023-06-29 Rheavita Bv Device and method for freeze-drying liquid-containing composition

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6056266A (en) * 1997-10-20 2000-05-02 Vat Holding Ag Device for closing an opening of a tank or a tubular conduit
US6416037B1 (en) * 2001-01-11 2002-07-09 Vat Holding Ag Vacuum pipe
US6431518B1 (en) * 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
US20040206925A1 (en) * 2003-04-16 2004-10-21 Bernhard Duelli Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5577707A (en) * 1995-12-18 1996-11-26 Vat Holding Ag Slide valve
US5755255A (en) * 1996-10-29 1998-05-26 Benkan Corporation Gate valve for regulating gas flow in semiconductor manufacturing
US5934646A (en) * 1997-04-04 1999-08-10 Nok Corporation Gate valve and cylinder apparatus
US5975492A (en) * 1997-07-14 1999-11-02 Brenes; Arthur Bellows driver slot valve
CH692821A5 (de) * 1998-02-04 2002-11-15 Unaxis Trading Ag Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen.
JP3388435B2 (ja) * 1999-12-28 2003-03-24 株式会社ブイテックス ゲートバルブ
JP2002106729A (ja) * 2000-09-28 2002-04-10 Ckd Corp ゲート弁
JP3425937B2 (ja) * 2000-12-04 2003-07-14 入江工研株式会社 ゲート弁
US6431516B1 (en) * 2000-12-14 2002-08-13 B E Aerospace, Inc. Hot cup apparatus with locking device
US6471181B2 (en) * 2001-01-11 2002-10-29 Vat Holding Ag Suspension of a valve plate of a vacuum valve
DE20110754U1 (de) * 2001-06-28 2001-10-18 Prebena Wilfried Bornemann, 63679 Schotten Netzunabhängiges Eintreibgerät für Befestigungsmittel
US6776394B2 (en) * 2002-12-30 2004-08-17 Mks Instruments, Inc. Pendulum valve assembly
US7270311B1 (en) * 2003-07-14 2007-09-18 Brenes Arthur J Pendulum gate valve
KR100960030B1 (ko) * 2004-03-12 2010-05-28 배트 홀딩 아게 진공 게이트 밸브
US7422653B2 (en) * 2004-07-13 2008-09-09 Applied Materials, Inc. Single-sided inflatable vertical slit valve
US7396001B2 (en) * 2005-12-20 2008-07-08 Vat Holding Ag Valve for essentially gastight closing a flow path
JP4979429B2 (ja) * 2006-03-31 2012-07-18 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
KR101474786B1 (ko) * 2006-05-05 2014-12-22 배트 홀딩 아게 진공밸브 구동장치
KR20070113122A (ko) * 2006-05-24 2007-11-28 배트 홀딩 아게 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치
TWI388754B (zh) * 2006-06-16 2013-03-11 Vat Holding Ag 真空閥
DE102007030006B4 (de) * 2006-07-19 2009-12-17 Vat Holding Ag Vakuumventil
CN200940713Y (zh) * 2006-08-01 2007-08-29 肇庆市科润真空设备有限公司 双通高真空阀门装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6056266A (en) * 1997-10-20 2000-05-02 Vat Holding Ag Device for closing an opening of a tank or a tubular conduit
US6416037B1 (en) * 2001-01-11 2002-07-09 Vat Holding Ag Vacuum pipe
US6431518B1 (en) * 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
US20040206925A1 (en) * 2003-04-16 2004-10-21 Bernhard Duelli Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve

Also Published As

Publication number Publication date
US8177190B2 (en) 2012-05-15
CN101725721B (zh) 2013-07-10
JP5592096B2 (ja) 2014-09-17
JP2010096349A (ja) 2010-04-30
US20100090145A1 (en) 2010-04-15
KR101653407B1 (ko) 2016-09-01
DE102008051349B3 (de) 2009-11-12
CN101725721A (zh) 2010-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20100042231A (ko) 진공밸브
KR101110494B1 (ko) 전기 공압식 위치 조절부가 통합된 공압식 작동 드라이브 및 그의 제어 방법
US7413162B2 (en) Vacuum valve
US8424843B2 (en) Shuttle valve having two drives
KR101762984B1 (ko) 개구부를 폐쇄하기 위한 도어
US8800956B2 (en) Non-sliding gate valve
US6431518B1 (en) Vacuum valve
JP6679594B2 (ja) 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア
WO2018236223A2 (en) VALVE SEALING DEVICE
KR101717042B1 (ko) 공압을 이용한 밸브 개폐용 액츄에이터
KR20180043168A (ko) 밸브 및 이와 같은 밸브를 구비한 유압 작동 장치
JP2022528653A (ja) チェックバルブ
TWI682999B (zh) 用於高爐填料設備之密封閥配置
KR100489553B1 (ko) 진공 게이트밸브
KR20200023472A (ko) 왕복동 피스톤 기계로 가스를 팽창시키기 위한 방법 및 장치
JP2002161990A (ja) バタフライ弁の駆動装置
KR102682673B1 (ko) 나선형 캠홈 및 볼을 이용한 볼밸브 개폐장치
US20110309283A1 (en) Device for the Hydropneumatic Control of a Valve with a Pneumatic Locking Means
KR200292552Y1 (ko) 진공 게이트밸브
KR100338178B1 (ko) 볼밸브등의 기밀유지용시트어셈블리
KR102489675B1 (ko) 유압 밸브 및 농업용 트랙터 프론트 로더의 유압 제어장치
US20030155544A1 (en) High-pressure valve
JPH03630Y2 (ko)
KR20180020540A (ko) 진공밸브용 실린더 공기압 유지장치
KR200389702Y1 (ko) 공압식 액츄에이터

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant