CN101725721A - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀，包括：带有阀开口的阀体；至少一个用于封闭阀开口的封闭件；第一活塞-气缸单元；第二活塞-气缸单元；分别与第一和第二活塞-气缸单元的活塞一起运动的第一和第二控制件，其分别用于控制第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔的压力施加和第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔的压力施加，在开启/关闭真空阀时，在开启/关闭过程的第一阶段，使得用于给第二/第一活塞-气缸单元的开启/关闭-气缸腔施加压力的压力介质管路截止，在开启/关闭过程的第一阶段结束时，用于给第二/第一活塞-气缸单元的开启/关闭-气缸腔施加压力的压力介质管路被第一/第二控制件开通。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，包括：带有阀开口的阀体；至少一个用于封闭阀开口的封闭件；第一活塞-气缸单元，其具有开启-气缸腔和关闭-气缸腔，其中在开启真空阀时，第一活塞-气缸单元的开启-气缸腔经由开启过程的第一阶段通过压力介质被加压，而在关闭真空阀时，第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔经由关闭过程的第二阶段通过压力介质被加压；和第二活塞-气缸单元，其具有开启-气缸腔和关闭-气缸腔，其中在开启真空阀时，第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔经由开启过程的第二阶段通过压力介质被加压，而在关闭真空阀时，第二活塞-气缸单元的关闭-气缸腔经由关闭过程的第一阶段通过压力介质被加压。
背景技术
已知有采用不同设计的真空阀，这些真空阀分两个阶段进行开启和关闭，在这两个阶段中激活不同的执行器。
例如已知一种L形阀，其中在真空阀的关闭状态下，阀瓣压靠到包围阀开口的阀座上。在真空阀开启时，阀瓣从封闭位置移动至中间位置，在该中间位置，阀瓣提升离开阀座，但遮盖住阀开口，并继续移动至打开位置，在该打开位置，阀瓣使得阀开口完全打开。从中间位置至打开位置的移动在此直线地沿着垂直于阀开口轴线的方向进行。阀的关闭按相反的顺序进行。如果阀瓣倾斜于阀开口轴线顶靠到阀座上，则也称为“J形阀”。
就L形阀和J形阀而言，通过各自的活塞-气缸单元来使得阀瓣从其封闭位置移动至其中间位置，并从其中间位置移动至其打开位置，除了所述L形阀和J形阀之外，还已知有非L形且非J形的阀，这种阀设有摆杆导向机构(Kulissenführung)，以便使得支撑阀瓣的阀杆围绕摆动轴线翻摆，并由此使得阀瓣在其中间位置和其封闭位置之间移位，其中阀传动机构只有一个唯一的活塞-气缸单元。
具有用于使得阀瓣从其封闭位置移动至其中间位置，并从其中间位置移动至其打开位置的活塞-气缸单元的L形阀例如由US6,431,518B1、US 6,416,037B1、US 6,056,266B、US 2008/0017822A1、US 6,899,316B2和US 6,561,483B2已知。
另一种真空阀是所谓的往复阀，其中开启以及关闭过程也分两阶段进行。在开启真空阀时，阀瓣在其从其封闭位置沿着阀开口的轴向移动至其中间位置之后，沿着圆弧移动至其打开位置，在该打开位置，阀瓣将阀开口打开。为此将阀瓣设在支撑臂上，支撑臂固定在可围绕其轴线转动的且可沿着其纵向移动的轴上。除了所述类型的只存在一个用于使得轴转动和使得轴向移动的执行器(例如US 6,776,394B2)这种实施方式外，例如由US 7,413,162B或US 2007/02 901 57A1还已知为此设有不同的执行器这种实施方式。为了实现轴向移动，在此可以设置内置到阀瓣上的活塞-气缸单元。为了实现围绕轴的纵轴线的转动，使用一种转动传动机构。这种转动传动机构也可以设有活塞-气缸单元作为执行器。
由US 5,577,707已知另一种真空阀，这种真空阀分两个阶段进行开启和关闭。在关闭真空阀时，在第一步骤中，阀瓣从打开阀开口的位置移位至遮盖住阀开口的位置。在第二步骤中，相对于阀体密封地可移动地支撑的移动环沿着阀开口的轴向移动，并密封地贴靠到阀瓣上。开启过程与关闭过程相反。为了使得阀瓣移位，设有伺服电机作为执行器，为了使得移动环移位，设有活塞-气缸单元作为执行器。真空阀的开启和关闭分两个阶段进行，针对这两个阶段分别设有各自的执行器，特别是活塞-气缸单元，其按照正确的顺序进行运动，这种真空阀可以设有位置传感器，这些位置传感器检测阀瓣的位置或者在阀瓣移动时一起移动的部分的位置。这些位置传感器的输出值然后被外部的控制装置分析，以便按照所希望的方式控制对这些活塞-气缸单元进行操纵的控制阀。
就由US 6,431,518B1已知的真空阀而言，真空阀开启的正确的运动顺序借助于与第一活塞-气缸单元一起运动的第一控制件来实现，所述第一活塞-气缸单元驱动阀瓣从其封闭位置移动至其中间位置。在活塞运动结束时，该活塞打开压力管路，结果，压力介质可以经由压力管路从第二活塞-气缸单元的气缸腔中排出。在第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔中所施加的压力因而可以使得第二活塞-气缸单元的活塞移动，以便使得阀瓣从其中间位置移动至其封闭位置。在关闭真空阀时，第二活塞-气缸单元的关闭-气缸腔被施加以压力，且其开启-气缸腔通风，其中存在通至第一活塞-气缸单元的开启-气缸腔的连接管路，以便产生动态的动压(Staudruck)。该动压防止第一活塞-气缸单元的活塞的运动，直至第二活塞-气缸单元的活塞的运动结束，所述第一活塞-气缸单元的活塞从真空阀开始关闭时起沿着关闭方向被施加压力。在没有位置传感器的情况下，该真空阀对于在开启和关闭时运动的部件来说足够了，且在正常工作情况下实现运动过程的正确顺序。由于利用差压和动态地产生的压力进行控制，在特殊的工作条件下，例如在不希望的网络压力下，或者在无压力的状态之后在加速时，会产生不希望的运动的危险。
仅仅利用差压进行的对L形阀的运动过程的控制由US 6,056,266B和US 2007/02 72 888A1已知，所述L形阀具有用于两个运动阶段的各自的活塞-气缸单元。如果这种阀失效较长时间，会由于活塞的第一次运动的增大的摩擦系数(粘性滑移)而出现功能失误。
发明内容
本发明的目的是，提出一种开头部分所述类型的真空阀，这种真空阀的运动顺序的可靠性比较高，而无需用于在开启和关闭时运动的阀部件的位置传感器。根据本发明，该目的通过一种具有权利要求1的特征的真空阀得以实现。
根据本发明的真空阀具有：与第一活塞-气缸单元的活塞一起运动的第一控制件，该第一控制件用于控制第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔的压力施加；与第二活塞-气缸单元的活塞一起运动的第二控制件，该第二控制件用于控制第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔的压力施加。在此，在开启真空阀时，在开启过程的第一阶段，使得压力介质管路截止，通过该压力介质管路将压力介质输送给第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔，也就是说，第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔未被压力介质施加压力。在开启过程的第一阶段结束时，在第一活塞-气缸单元的活塞移动的情况下通过第一控制件的移位，使得该压力介质管路被第一控制件开通，由此导致第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔被压力介质施加压力。在关闭真空阀时，在关闭过程的第一阶段，使得压力介质管路截止，该压力介质管路用于将压力介质输送到第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔中，也就是说，第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔未被压力介质施加压力。在关闭过程的第一阶段结束时，在第二活塞-气缸单元的活塞移动的情况下通过第二控制件的移位，使得该压力介质管路被第二控制件开通，由此导致第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔被压力介质施加压力。按本发明的方式构造的真空阀可以实现对开启过程和关闭过程的可靠的控制，同时该真空阀结构简单，成本低廉。
第一或第二控制件与相应的活塞-气缸单元的活塞的一起运动可以通过与相应的活塞-气缸单元的活塞的适当的机械耦联来实现，实现方式例如为，将控制件固定在活塞上，或者将控制件固定在活塞杆上，或者固定在与活塞杆连接的部件上。
有益的是，在开启真空阀时，至少在开启过程的第一阶段，第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔与大气压力连通，即无压力地连通，至少在开启过程的第二阶段，第二活塞-气缸单元的关闭-气缸腔与大气压力连通，即无压力地连通。有益的是，在关闭真空阀时，至少在关闭过程的第一阶段，第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔与大气压力连通，即无压力地连通，至少在关闭过程的第二阶段，第一活塞-气缸单元的开启-气缸腔与大气压力连通，即无压力地连通。因此有利的是，对本发明的真空阀规定：在开启的任何阶段，和在关闭的任何阶段，第一活塞-气缸单元的活塞在两侧都不被施加压力；在开启的任何阶段，和在关闭的任何阶段，第二活塞-气缸单元的活塞在两侧都不被施加压力。
在真空阀的关闭状态下，阀瓣遮盖住阀开口，且相对于阀体密封。根据一种优选的实施方式，阀瓣在此压靠到包围阀开口的阀座上，且通过密封件相对于阀座密封。优选在此密封件设置在阀瓣上，且压靠到形成阀座的密封面上。也可考虑且可行的是，密封件设置在阀座上，而密封面设置在阀瓣上。根据另一种实施方式，阀瓣相对于阀体的密封通过移动环来实现，该移动环相对于阀体可移动地被支撑，且在此相对于阀体密封，并在真空阀的关闭状态下继续压靠到阀瓣上，且通过密封件相对于该阀瓣密封。
在真空阀的开启状态下，阀瓣将阀开口打开，优选在此沿着阀开口的轴向观察，该阀瓣完全位于阀开口的旁侧。
在本发明的一种有利的实施方式中，在开启过程的第一阶段，阀瓣被第一活塞-气缸单元从封闭位置移动至提升离开阀座的中间位置，在所述封闭位置，阀瓣压靠到包围阀开口的阀座上，且将阀开口密封，在开启过程的第二阶段，阀瓣被第二活塞-气缸单元从中间位置移动至打开位置，在所述打开位置，阀瓣将阀开口打开。阀瓣因此移动经过开启路径，开启路径的第一区段平行于阀开口的轴线，或者与阀开口的轴线至少夹成小于90°优选小于60°的角度，并从阀瓣的封闭位置延伸至阀瓣的中间位置。根据一种可能的变型设计，如果真空阀构造成L形阀或J形阀，则从阀瓣的中间位置至其打开位置的开启路径第二区段可以直线地且垂直于阀开口轴线伸展。根据另一种变型设计，如果真空阀被构造成往复阀，从中间位置至打开位置的开启路径第二区段可以沿着圆弧伸展。
关闭过程在此与开启过程相反，即在关闭过程的第一阶段，阀瓣从其打开位置移动至其中间位置，而在关闭过程的第二阶段，阀瓣从其中间位置移动至其封闭位置，也就是说，阀瓣的封闭路径的第一区段按相反的方向相应于打开路径的第二区段，封闭路径的第二区段按相反的方向相应于打开路径的第一区段。
附图说明
下面对照附图说明本发明的其它优点和细节。图中示出：
图1为本发明的真空阀的实施例的斜视图；
图2至图7为真空阀在开启状态下(图2)、在开启时(图3)、在开启过程的第一阶段之后(图4)、在开启状态下(图5)、在开始关闭时(图6)和在关闭过程的第一阶段之后(图7)的简单的示意性的横剖视图，在图3、6和7中为明了起见仅示出带有阀杆的阀传动机构；
图8为第一活塞-气缸单元的活塞杆与传动箱的连接区域的示意性的放大图；
图9为传动组的和传动箱的示意性的剖视图(其剖切面垂直于图2至7的剖切面且垂直于阀开口的轴线)；
图10为第一控制件的另一可能的变型设计的示意图；
图11为第二控制件的另一可能的变型设计的示意图。
具体实施方式
下面对照图1至9说明本发明的真空阀的实施例。真空阀包括壳体状结构的阀体1，阀体1具有带有轴线3的阀开口2。真空阀的封闭件由阀瓣4构成，阀瓣4在真空阀的关闭状态下压靠到包围阀开口2的阀座5上，并真空密封地将阀开口2封闭。为此在阀瓣4上设有由弹性材料构成的环形的密封件6，该密封件压靠到具有密封面的阀座5上。在真空阀的关闭状态下(图2)，阀瓣4处于其封闭位置。
在真空阀的开启状态下(图5)，阀开口2被阀瓣4打开。优选地，处于其打开位置的阀瓣4沿着阀开口2的轴向观察完全位于阀开口2的旁侧附近，阀瓣4在真空阀的开启状态下处于所述打开位置。
在本实施例中，真空阀按照L形阀的类型来构造。在此，在真空阀开启情况下，在开启过程的第一阶段，阀瓣4从其封闭位置首先移动至中间位置，在该中间位置，阀瓣4提升离开阀座5，但沿着阀开口2的轴向观察仍然遮盖着阀开口2。因此，阀瓣4从其封闭位置至其中间位置的移动最好至少几乎沿着阀开口2的轴线3的方向进行(与轴向的偏差优选小于20°)。
从其在图4中所示的中间位置，在开启过程的第二阶段，阀瓣4移动至图5中所示的其打开位置。该移动最好至少几乎垂直于阀开口2的轴线3进行(与轴线3的直角的偏差优选小于10°)。
关闭则沿着相反的顺序进行。在关闭过程的第一阶段，阀瓣4从其打开位置(图6)移动至其中间位置(图7)，在关闭过程的第二阶段，从其中间位置(图7)移动至其关闭位置(图2)。运动的方向分别与开启相反。
在开启过程的第一阶段，阀瓣移动经过其打开路径的第一区段，在开启过程的第二阶段，移动经过其打开路径的第二区段，在关闭过程的第一阶段，移动经过其关闭路径的第一区段，在关闭过程的第二阶段，移动经过其关闭路径的第二区段。
阀瓣4装在阀杆7上，在开启和关闭真空阀时，阀瓣4通过阀传动机构移位，阀传动机构包括第一和第二活塞-气缸单元8、12。通过第一活塞-气缸单元8，在开启真空阀时，阀瓣4从其封闭位置移位至其中间位置，在关闭真空阀时，阀瓣4从其中间位置移位至其封闭位置。为此，在所示实施例中，阀杆7围绕摆动轴线16摆动，摆动轴线16垂直于阀杆7，且垂直于阀开口2的轴线3。
通过第二活塞-气缸单元12，在开启真空阀时，阀瓣4从其中间位置移位至其打开位置，在关闭真空阀时，阀瓣4从其打开位置移位至其中间位置，其中阀杆7沿着其轴向移动。
为了形成摆动轴线16，阀传动机构的传动组17相对于阀传动机构的传动箱18可摆动地被支撑，所述阀传动机构包括第一和第二活塞-气缸单元8、12。为此例如可以设置传动组17的支撑臂19、20，这些支撑臂通过摆动销21可转动地支撑在传动箱18的摆动套筒中。
在所示实施例中，为了使得阀杆7通过第二活塞-气缸单元12轴向移位，将阀杆7直接固定在第二活塞-气缸单元12的活塞13上，也就是说，阀杆7由第二活塞-气缸单元12的活塞杆构成。替代地，第二活塞-气缸单元12例如也可以具有单独的与阀杆7机械连接的活塞杆。
为了使得传动组17通过第一活塞-气缸单元8摆动，将第一活塞-气缸单元8的活塞杆23围绕摆动轴线22可摆动地与传动箱18连接。如图8中示意性地示出，为此例如可以使得连接栓钉25伸入到在活塞杆23的端部区域中的凹口26内，所述连接栓钉25装在连接板24上，连接板24固定在传动箱18上。在此，所述凹口26构造成垂直于活塞杆23的纵轴线延伸的长孔，以便实现在传动组17围绕摆动轴线16摆动时活塞杆23能够沿着该方向移动。
在开启过程的第一阶段和关闭过程的第二阶段，代替阀杆7围绕摆动轴线16的摆动，也可以规定阀杆7沿着阀开口2的轴线3的方向平行移动，或者至少沿着几乎平行于轴线3，优选与轴线3夹成小于20°的角度的方向平行移动。这种设计方案已经被前述现有技术公开。为此，例如可以使得传动组17按照滑块的方式相对于传动箱18可移动地被支撑。
阀杆7从真空阀的真空区域伸出。为此，在所示实施例中，设有波纹管27，例如膜盒波纹管或折叠波纹管。
活塞9、13在气缸组34、35的凹口中可移动地被支撑，这些凹口形成气缸腔10、11、14、15。替代地，也可以设置各自的气缸，这些气缸容纳着活塞9、13。
第一控制件28和第二控制件29用于在开启和关闭真空阀时控制第一和第二活塞-气缸单元8、12的运动顺序，第一控制件28在第一活塞-气缸单元8的活塞9运动时与该活塞9一起移动，第二控制件29在第二活塞-气缸单元12的活塞13运动时与该活塞13一起移动。就图1至9中所示的实施例而言，第一控制件28构造在活塞杆23上，其中该第一控制件28由活塞杆23的邻接活塞9的区段构成，该区段的直径大于活塞杆23的远离活塞9的区段。第二控制件29由装在法兰30上的控制杆构成，该法兰30固定在阀杆7上。
优选使用压缩空气作为用于开启和关闭真空阀的压力介质，真空阀开启和关闭的方式在下面说明。原则上可以考虑采用液压设计，但这种设计并不优选。
为了使得阀从其在图2中所示的关闭状态开启，给阀传动机构的开启接头31供应以压力介质，而关闭接头32则与大气压力连通，即通风。为此，如图所示，例如可以使得4/2路阀从图2中所示的位置切换至图3中所示的位置。图3示出在切换之后不久的状态，但此时，活塞-气缸单元8、12的活塞9、13尚未移动。
压力介质通过压力介质管路39输送给第一活塞-气缸单元8的开启-气缸腔10。第一活塞-气缸单元的关闭-气缸腔11通过压力介质管路36和压力介质管路38而与关闭接头32连通，进而与大气压力连通或通风，所述压力介质管路38与压力介质管路36相叉开，所述压力介质管路36使得第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11与第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔15连通。在第一活塞-气缸单元8的开启-气缸腔10和第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14之间的通过使得它们连通的压力介质管路37实现的连通首先被第一控制件28锁止。第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔15通过压力介质管路36的邻接关闭-气缸腔15的区段且通过压力介质管路38而与关闭接头32连通，因而与大气压力连通或通风。
第一活塞-气缸单元8的活塞9现在从其在图3中所示的位置通过压力介质而移动，由此使得阀瓣4朝向其中间位置移动，直到开启过程的第一阶段结束时第一控制件28开通在第一活塞-气缸单元8的开启-气缸腔10和第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14之间的通过压力介质管路37实现的连通(参见图4)。紧接着是开启过程的第二阶段，通过该第二阶段现在也给第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14供应以压力介质，并使得第二活塞-气缸单元的活塞13移动，其中阀瓣4朝向其打开位置移动。在开启过程的第二阶段结束时，到达图5中所示的开启状态。
为了从开启状态(图5)关闭真空阀，给关闭接头32供应以压力介质，并使得开启接头31与大气压力连通，如图所示，其方式例如为，切换4/2路阀33。图6示出在第一和第二活塞-气缸单元8、12的活塞9、13移动之前，在切换后不久的状态。第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔15通过压力介质管路38并通过压力介质管路36的与压力介质管路38的入口连通的通至关闭-气缸腔15的区段被供应以压力介质。但第二控制件29将压力介质管路36的在压力介质管路38的入口和第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11之间伸展的区段截止。第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11因而通过关闭过程的第一阶段未被供应以压力介质。第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14与第一活塞-气缸单元8的开启-气缸腔10通过压力介质管路37建立的连通被第一控制件28开通。因此，活塞-气缸单元12、8的开启-气缸腔14、10通过在第一活塞-气缸单元的开启-气缸腔10和开启接头31之间伸展的压力介质管路39而与大气压力连通。
第二活塞-气缸单元12的活塞13现在从其在图6中所示的位置通过压力介质而移动，且通过所述压力介质，阀瓣4从其打开位置朝向其中间位置移动。在第二活塞-气缸单元12的活塞13的冲程结束时，第二控制件29开通在第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔15和第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11之间的通过压力介质管路36建立的连通，由此第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11被供应以压力介质。紧接着是关闭过程的第二阶段，通过该第二阶段实现第一活塞-气缸单元8的活塞9的冲程，直至到达图2中所示的关闭位置。
如果在开启过程的第二阶段开始时，在第一控制件28已经开通给第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14输送压力之后，第一活塞-气缸单元8的活塞9的移动尚未结束，则通过开启过程的第二阶段的第一部分，两个活塞-气缸单元8、12的活塞9、13同时移动。如果在关闭过程的第二阶段开始时，在第二控制件29已经开通给第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11输送压力之后，第二活塞-气缸单元12的活塞13的移动尚未结束，则通过关闭过程的第二阶段的第一部分，两个活塞-气缸单元8、12的活塞9、13同时移动。
如果在真空阀的关闭状态下，取消了输送压力介质，因而两个接头31、32处于大气压力，则由于在第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14与第一活塞-气缸单元8的开启-气缸腔10之间的连通被第一控制件28锁止，直至活塞9未移动至第一控制件28开通，所以第二活塞-气缸单元12的活塞13保持在其图2中所示的位置。此点对于第一活塞-气缸单元8的活塞9来说，方式类似，活塞9保持在其图5中所示的位置，如果在真空阀的打开状态下取消了输送压力介质，且活塞13并不移动，直至控制件29开通在第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔与第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11之间的连通。
可以为活塞9和/或13设置弹性件，这些弹性件使得活塞9或13在未通过压力介质被施加压力的情况下预夹紧在所希望的位置。
在图10和11中示意性地示出了第一和第二控制件的可能的改型的实施方式的实例。在图10的变型设计中，在第一活塞-气缸单元8的活塞9上设有第二活塞杆40，在该第二活塞杆40上装有法兰41，在法兰41上设有杆状的第一控制件28′。在活塞9的相应于阀瓣4的封闭位置的位置，第一控制件28′使得在第一活塞-气缸单元8的开启-气缸腔10与第二活塞-气缸单元12的开启-气缸腔14之间的通过压力介质管路37′建立的连通截止，进而使得对第二活塞-气缸单元的开启-气缸腔14的压力输送截止。压力介质管路39′使得第一活塞-气缸单元的开启-气缸腔10与开启接头31连通。
根据在图11中示意性地示出的变型设计，在第二活塞-气缸单元的活塞13上设有形成第二控制件29′的控制杆，该控制杆在活塞13的相应于阀瓣4的打开位置的位置使得在第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔15和第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11之间的通过压力介质管路36′建立的连通截止，进而使得对第一活塞-气缸单元8的关闭-气缸腔11的压力输送截止。压力介质管路38′使得第二活塞-气缸单元12的关闭-气缸腔15与关闭接头32连通。
本发明可采用类似的方式用于其它类型的真空阀，这些其它类型的真空阀分两阶段通过第一和第二活塞-气缸单元进行开启和关闭，例如就其它类型的L形阀和J形阀而言，针对开启和关闭过程的两个阶段分别设置单独的活塞-气缸单元，此点特别是由在说明书开头部分所述的现有技术已知。
本发明也可用于往复阀，往复阀例如由在说明书开头部分所述的现有技术已知，此时无论为了旋转传动，还是为了阀瓣的从其中间位置至其封闭位置的移位，都使用活塞-气缸单元作为执行器，所述移位优选平行于阀开口的轴线或者与该轴线夹成小于30°的角度进行。
本发明例如也可用于如下的阀，这种阀的阀瓣在第一步骤中从开通阀开口的位置移位至遮盖住阀开口的位置，且在第二步骤中，相对于阀体密封地可移动地支撑的移动环沿着阀开口的轴向移动，并紧密地贴靠到阀瓣上，此点例如由在说明书开头部分所述的现有技术已知，此时无论使得阀移位的传动机构，还是使得移动环移动的传动机构，都具有作为执行器的活塞-气缸单元。
可以考虑且可行的是，使用两个或多个被并行控制的第一活塞-气缸单元，和/或两个或多个被并行控制的第二活塞-气缸单元。例如，真空阀可以具有两个或多个阀杆，这些阀杆分别被第二活塞-气缸单元驱动。
可以考虑且可行的是，真空阀具有两个或多个阀瓣，这些阀瓣固定在一个阀杆上或者多于一个的阀杆上。
阀开口也可以开设在真空腔的壁上，其中该壁于是形成阀体。
本发明的真空阀也可以被设置用于仅在一个方向上起作用的差压，其中这种关闭装置也称为“门”。阀瓣在此也可以设置在真空区域之外，例如设置在真空腔的外侧。
附图标记列表
1            阀体
2            阀开口
3            轴线
4            阀瓣
5             阀座
6             密封件
7             阀杆
8             第一活塞-气缸单元
9             活塞
10            开启-气缸腔
11            关闭-气缸腔
12            第二活塞-气缸单元
13            活塞
14            开启-气缸腔
15            关闭-气缸腔
16            摆动轴线
17            传动组
18            传动箱
19            支撑臂
20            支撑臂
21            摆动销
22            摆动轴线
23            活塞杆
24            连接板
25            连接栓钉
26            凹口
27            波纹管
28，28′      第一控制件
29，29′      第二控制件
30            法兰
31            开启接头
32            关闭接头
33            4/2路阀
34            第一气缸组
35            第二气缸组
36，36′    压力介质管路
37，37′        压力介质管路
38，38′        压力介质管路
39，39′        压力介质管路
40              活塞杆
41              法兰

Claims (9)

1.一种真空阀，包括：
带有阀开口(2)的阀体(1)；
至少一个用于封闭所述阀开口(2)的封闭件(4)；
第一活塞-气缸单元(8)，其具有开启-气缸腔(10)和关闭-气缸腔(11)，其中在开启所述真空阀时，所述第一活塞-气缸单元(8)的开启-气缸腔(10)经由开启过程的第一阶段通过压力介质被加压，而在关闭所述真空阀时，所述第一活塞-气缸单元(8)的关闭-气缸腔(11)经由关闭过程的第二阶段通过压力介质被加压；和
第二活塞-气缸单元(12)，其具有开启-气缸腔(14)和关闭-气缸腔(15)，其中在开启所述真空阀时，所述第二活塞-气缸单元(12)的开启-气缸腔(14)经由开启过程的第二阶段通过压力介质被加压，而在关闭所述真空阀时，所述第二活塞-气缸单元(12)的关闭-气缸腔(15)经由关闭过程的第一阶段通过压力介质被加压，
其特征在于，所述真空阀具有：与所述第一活塞-气缸单元(8)的活塞(9)一起运动的第一控制件(28、28′)，所述第一控制件用于控制所述第二活塞-气缸单元(12)的开启-气缸腔(14)的压力施加；与所述第二活塞-气缸单元(12)的活塞(13)一起运动的第二控制件(29、29′)，所述第二控制件用于控制所述第一活塞-气缸单元(8)的关闭-气缸腔(11)的压力施加，
其中在开启所述真空阀时，在开启过程的第一阶段，使得用于给所述第二活塞-气缸单元(12)的开启-气缸腔(14)施加压力的压力介质管路(37、37′)截止，且在开启过程的第一阶段结束时，用于给所述第二活塞-气缸单元(12)的开启-气缸腔(14)施加压力的压力介质管路(37)被所述第一控制件(28、28′)开通，和
其中在关闭所述真空阀时，在关闭过程的第一阶段，使得用于给所述第一活塞-气缸单元(8)的关闭-气缸腔(11)施加压力的压力介质管路(36、36′)截止，且在关闭过程的第一阶段结束时，用于给所述第一活塞-气缸单元(8)的关闭-气缸腔(11)施加压力的压力介质管路(36、36′)被所述第二控制件(29、29′)开通。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，在开启所述真空阀时，在开启过程的第一阶段，所述第一活塞-气缸单元(8)的关闭-气缸腔(11)与大气压力连通。
3.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，在开启所述真空阀时，在开启过程的第二阶段，所述第二活塞-气缸单元(12)的关闭-气缸腔(15)与大气压力连通。
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空阀，其特征在于，在关闭所述真空阀时，在关闭过程的第一阶段，所述第二活塞-气缸单元(12)的开启-气缸腔(14)与大气压力连通。
5.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，在关闭过程的第二阶段，所述第一活塞-气缸单元(8)的开启-气缸腔(10)与大气压力连通。
6.如权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述封闭件由阀瓣(4)构成，所述阀瓣在封闭位置压靠到包围所述阀开口(2)的阀座(5)上，并将所述阀开口(2)密封，而在打开位置则将所述阀开口(2)打开，在所述真空阀的关闭状态下，所述阀瓣处于所述封闭位置，在所述真空阀的开启状态下，所述阀瓣处于所述打开位置。
7.如权利要求6所述的真空阀，其特征在于，在所述真空阀的开启过程的第一阶段，所述阀瓣(4)从其封闭位置移动至提升离开所述阀座(5)的中间位置，而在开启过程的第二阶段，则从其中间位置移动至其打开位置；和在所述真空阀的关闭过程的第一阶段，所述阀瓣(4)从其打开位置移动至其中间位置，而在关闭过程的第二阶段，则从其中间位置移动至其封闭位置。
8.如权利要求1至7中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第一控制件(28、28′)在开启过程的第一阶段使得在所述第一活塞-气缸单元(8)的开启-气缸腔(10)与所述第二活塞-气缸单元(12)的开启-气缸腔(14)之间的连通截止，而在开启过程的第二阶段开始时将所述连通开通。
9.如权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第二控制件(29、29′)在关闭过程的第一阶段使得在所述第二活塞-气缸单元(12)的关闭-气缸腔(15)与所述第一活塞-气缸单元(8)的关闭-气缸腔(11)之间的连通截止，而在关闭过程的第二阶段开始时将所述连通开通。
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