KR20210094614A - 로크 장치, 로크 시스템, 및 로크 장치의 조작 방법 - Google Patents

로크 장치, 로크 시스템, 및 로크 장치의 조작 방법 Download PDF

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KR20210094614A
KR20210094614A KR1020217019533A KR20217019533A KR20210094614A KR 20210094614 A KR20210094614 A KR 20210094614A KR 1020217019533 A KR1020217019533 A KR 1020217019533A KR 20217019533 A KR20217019533 A KR 20217019533A KR 20210094614 A KR20210094614 A KR 20210094614A
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locking
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KR1020217019533A
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아르투르 뷔헬
엘리지오 벨레리
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배트 홀딩 아게
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Abstract

본 발명은, 특히 진공 기밀 밀폐 가능한 적어도 하나의 로크 챔버(10; 10a; 10b)를 구비한 로크 장치(68; 68a; 68b), 특히 진공 로크 장치를 기초로 하는 것이며, 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 적어도 하나의 개구(14, 16; 14a, 16a; 14b, 16b)의 개구 상태, 적합하게는 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 적어도 두 개구(14, 16; 14a, 16a; 14b, 16b)의 개구 상태를 적어도 조정하도록 구성된 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 로크 조작 요소(12; 12a; 12b), 그리고 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)를 이동 가능하게 지지하도록 구성된 지지 유닛(18; 18a; 18b)을 포함한다. 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 적어도 반자동식으로, 그리고 특히 조작 해제 가능한, 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와 적어도 하나의 개구 요소(20; 20a; 20b) 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 형성하도록 적어도 구성되는 것이 제안되어 있으며, 상기 개구 요소(20; 20a; 20b)는, 적어도 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 상기 개구(14, 16; 14a, 16a; 14b, 16b) 및/또는 다른 챔버(26, 28; 26a, 28a; 26b, 28b), 특히 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)와 결합 가능한 처리 챔버(26; 26a; 26b) 또는 이송 챔버(28; 28a; 28b)의 적어도 하나의 개구(24; 24a; 24b)를 폐쇄, 적합하게는 진공 기밀 폐쇄하도록 적어도 구성되어 있다.

Description

로크 장치, 로크 시스템, 및 로크 장치의 조작 방법
본 발명은, 청구항 1의 전제부에 기재된 로크 장치, 청구항 21에 기재된 로크 시스템, 및 청구항 23에 기재된 이송 챔버, 그리고 청구항 24에 기재된 로크 장치를 조작하기 위한 방법에 관한 것이다.
적어도 하나의 로크 챔버를 구비한 로크 장치는 이미 제안되어 있는데, 이는, 상기 로크 챔버의 적어도 하나의 개구의 개구 상태를 조정하도록 적어도 구성된 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 로크 조작 요소를 포함하며, 또한 상기 로크 조작 요소를 이동 가능하게 지지하도록 구성된 지지 유닛을 포함한다. 유럽 특허 공보 EP 2,876,341 B1과 미국 특허 공보 US 9,086,173 B2의 문헌에는, 이와 같은 로크 장치가 개시되어 있는데, 이들 문헌에서는, 로크 챔버의 개구를 덮는 개구 요소가 상기 로크 조작 요소와 고정적이고도 해제 불가능하게 접속되어 있다.
본 발명의 목적은, 특히, 유연성에 관해 유리한 특성을 갖는 일반적인 장치를 제공하는 것이다. 상기 목적은, 청구항 1, 청구항 21, 청구항 23 및 청구항 24에 기재된 특징에 의해 본 발명에 따라서 달성되며, 본 발명의 유리한 실시예 및 더 이상의 개량은 종속항들을 살펴보면 파악할 수 있을 것이다.
본 발명은, 특히 진공 기밀 밀폐 가능한 적어도 하나의 로크 챔버를 구비한 로크 장치, 특히 진공 로크 장치를 기초로 하는 것이며, 상기 로크 챔버의 적어도 하나의 개구의 개구 상태, 적합하게는 상기 로크 챔버의 적어도 두 개구의 개구 상태를 적어도 조정하도록 구성된 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 로크 조작 요소와, 상기 로크 조작 요소를 이동 가능하게 지지하도록 구성된 지지 유닛을 포함한다.
상기 로크 조작 요소는, 적어도 반자동, 특히 전자동식으로, 그리고 특히 조작 해제 가능한, 로크 조작 요소와 적어도 하나의 개구 요소 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 형성하도록 적어도 구성되는 것이 제안되어 있으며, 상기 개구 요소는, 적어도 상기 로크 챔버의 상기 개구 및/또는 다른 챔버, 특히 상기 로크 챔버와 결합 가능한 처리 챔버 또는 이송 챔버의 적어도 하나의 개구를 폐쇄, 적합하게는 진공 기밀 폐쇄하도록 적어도 구성되어 있다. 이와 같이 하여, 상기 로크 장치의 유연성에 관한 특히 유리한 특성이 달성 가능하다. 특히 유리하게는, 복수의 다른 개구, 예를 들면 다른 개구 치수 또는 다른 개구 형상을 갖는 개구들 및/또는 커버, 플레이트 등과 같은 복수의 다른 개구 요소의 교체 및/또는 취급을 하도록 로크 장치를 구성하는 것이 가능하다. 이렇게 하면, 예를 들어, 특히 진공 상태를 유지하면서, 이송 챔버의 내용물을 이송하기 위한 다른 이송 챔버 간의 결합이 가능해져 유리하며, 이에 의해, 로크를 통한 이송 챔버의 내용물의 처리 챔버로의 오염 없는 이송을 촉진하는 것이 가능해져 유리해진다. 특히, 예를 들어 OLED 제조를 위한 기초 재료와 같은 오염에 민감한 제품에 대해 특히 유리한 이송 특성이 달성될 수 있다. 게다가, 이송 과정도 특히 간단하게 유지될 수 있어 유리해진다.
"로크 장치"란, 특히, 서로 혼동되지 않는 다른 특성을 갖고 있는 두 영역 사이의 전이를 위해 구성되는 것으로 이해되어야 할 장치이다. "진공 로크 장치"란, 특히, 두 진공 영역들 사이의 전이 혹은, 적어도 하나의 영역이 진공을 갖는, 압력이 다른 두 영역 사이의 전이를 가능케 하려는 것이다. "개구 상태"란, 특히, 개구의 닫힌(폐쇄된) 상태 및/또는 개구의 열린(개방된) 상태를 의미한다. "개구 상태의 조정"이란, 개구의, 특히 가역적인 개방 및/또는 특히 가역적인 폐쇄를 의미한다. "이동 가능하게 지지체"란, 특히 병진 지지체 및/또는 회전 지지체를 의미한다. 특히, 지지 유닛은, 로크 조작 요소 전체를 이동 가능하게 지지하도록, 및/또는 로크 조작 요소의 적어도 일부를 로크 조작 요소의 다른 부분에 대해 이동 가능하게 지지하도록 구성되며, 로크 조작 요소의 상기 일부와 상기 다른 부분은 적어도 부분적으로 로크 챔버의 내부에 배치되는 것이 바람직하다. 상기 로크 조작 요소는, 특히, 자동 구동 가능한 슬라이더 종류로 실장된다. 특히, 상기 로크 조작 요소는, 적어도 적합하게는 지지 유닛을 거쳐, 개구를 닫는 개구 요소의 시트와 상기 로크 조작 요소의 지지 위치 사이에서 적어도 두 개구 요소를 이동시키도록 구성된다. 지지 위치에 있어서, 개구 요소 및/또는 로크 조작 요소는, 상기 로크 조작 요소 및/또는 상기 로크 조작 요소와 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합된 개구 요소들, 특히 개구 요소 및 제2 개구 요소가 상기 로크 조작 요소에 의해 개구 상태가 조정 가능한 개구들을 잇는 직선과의 교점이 전혀 없게 로크 챔버 내에 배치된다.
"반자동" 기능이란, 특히, 기능이 부분적으로는 인력의 도움 없이 지정된 대로 기능하는 것임을 이해해야 한다. "전자동" 기능이란, 인력의 도움 없이 완전히 지정된 대로 기능하는 것임을 이해해야 한다. "조작 해제 가능" 결합이란, 특히, 적합하게는, 예를 들면 자장을 온 및/또는 오프로 절환함으로써, 및/또는 부압을 발생시키는 펌프 장치를 온 및/또는 오프로 절환함으로써, 적합하게는 로크 조작 요소의 절환 가능한 기능을 통하여 특히 파괴하지 않고 해제 가능 및/또는 접속 가능한 결합임을 이해해야 한다. 특히, 조작 해제 가능 접속은, 로크 장치의 조작 중에 해제 가능 및/또는 접속 가능하다. "억지 끼워 맞춤 결합"이란, 특히, 보유 지지력, 예를 들면 자력, 압력 및/또는 마찰력에 의해 생성되는, 해제 가능한 결합임을 이해해야 한다. 적합하게는, 억지 끼워 맞춤 결합은, 자기 결합, 적합하게는 자석 결합, 및/또는 공기압 결합임을 이해해야 한다. 특히, 억지 끼워 맞춤 결합은, 원격 제어를 통해, 예를 들어 전자석에의 전류 공급 및/또는 흡인 펌프의 절환을 통해 절환 가능하다. "형상 끼워 맞춤 결합"이란, 특히 적어도 두 결합 파트너, 예를 들어 상기 로크 조작 요소의 결합 요소와 개구 요소의 결합 요소가 서로 적어도 부분적으로 걸림 결합함으로써 형성되는 해제 가능한 결합임을 이해해야 한다. 상기 형상 끼워 맞춤 결합은, 특히 래치 또는 클립 접속으로 이해된다. "개구 요소"란, 특히, 로크 챔버의 개구의 적어도 하나에 채택된, 적합하게는 제거 가능한 커버, 또는 상기 로크 조작 요소와는 별도로 실장되는 밸브 판을 의미한다. 개구 요소는, 로크 챔버의 적어도 하나의 개구를 특히 진공 기밀 방식으로 닫도록 구성된다. 개구 요소는, 예를 들어 로크 장치에 속하는 개구 요소로서, 또는 처리 챔버나 이송 챔버의 개구 요소로서 실장된다. "진공 기밀 방식으로 닫는다"란, 특히, 누설률이 10-4 mbar*l/s 미만, 적합하게는 10-5 mbar*l/s 미만, 적합하게는 10-6 mbar*l/s 미만인 것으로 이해해야 한다. "처리 챔버"란, 특히, 예를 들면 전자 칩 및/또는 예를 들어 OLED같은 전자 칩이나 다이오드 같은 전자 부품의 처리 과정 및/또는 제조 과정을 위한 분위기를 제공하도록 된 진공 챔버인 것으로 이해해야 한다. 처리 챔버는, 예를 들어 OLED 제조용 증발 챔버로서 실현되는 것이 바람직하다. "이송 챔버"란, 특히, 진공 이송 컨테이너, 예를 들어 오브젝트, 특히, 반도체 및/또는 OLED를, 적합하게는 진공 하에서 생산하기 위한 생산 재료를 이송하기 위한 진공 포드, FOUP, SMIF 또는 그와 동등한 컨테이너인 것으로 이해해야 한다. 특히, 로크 조작 요소는, 특히 진공 기밀하게 로크 챔버의 개구, 특히 각 개구 요소에 할당된 개구를 닫는 시트로부터 개구 요소, 특히 적어도 두 개구 요소를 적어도 대부분, 적합하게는 완전히, 제거하거나, 및/또는 적어도 개구 요소, 특히 적어도 두 개구 요소를 시트 내로 특히 진공 기밀식으로 가져가서 특히 각각 할당된 개구를 닫도록 구성되는 것을 특히 생각할 수 있다. 대신, 또는 추가적으로, 로크 조작 요소는, 로크 조작 요소와 고정적으로 접속되어 있고, 특히 파괴하지 않고는 해제할 수 없는 추가의 개구 요소에 의해 로크 챔버의 다른 개구, 특히 로크 챔버의 제2 개구를 닫도록 구성할 수도 있다.
또한, 로크 조작 요소는, 적어도 반자동식으로, 특히 로크 조작 요소와 상기 개구 요소와는 다른 적어도 하나의 제2 개구 요소, 특히 로크 개구 요소 및/또는 이송 챔버, 적합하게는 로크 조작 요소와 진공 이송 컨테이너의 개구 요소 사이에, 조작 해제 가능한 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 생성하도록 구성하는 것이 제안되어 있다. 이는, 로크 장치의 관용도를 더욱 향상시킬 수 있어서 유리하다. 특히, 적어도 두 다른 개구 요소가 단일 로크 조작 요소에 의해 절환되는 것이 가능케 하여 유리하다. 이에 의해, 복잡성을 경감시킬 수 있어서 유리하다. 제2 개구 요소는, 특히, 이송 챔버, 특히 제2 진공 이송 컨테이너, 처리 챔버, 특히 제2 처리 챔버, 또는 로크 챔버의 개구의 덮개 및/또는 커버로서 구체화된다. 이런 방식으로 하면, 예를 들어 두 다른 이송 챔버 사이 또는 두 다른 처리 챔버 사이에서의 오브젝트의 용이한 이송이 가능해져 유리하다.
게다가, 로크 조작 요소는, 적어도 하나의 동작 상태에 있어서, 개구 요소 및 제2 개구 요소와, 적어도 동시에, 조작 해제 가능하게 억지 끼워 맞춤 결합 및 형상 끼워 맞춤 결합 방식으로 결합되게 구성되는 것이 제안되어 있다. 이는, 로크 장치의 유연성을 더욱 증강시키는 것을 가능케 하여 유리하다. 특히, 적어도 두 다른 개구 요소가 단일 로크 조작 요소에 의해 동시에 절환되게 되어, 그 결과, 복잡성이 유리하게 저감되는 것이 가능하여 유리하다. 예를 들어, 로크 조작 요소는, 먼저 개구 요소를 개구로부터 제거하여 처리 챔버로의 경로를 확보하고, 이어서 처리 챔버 및 로크 챔버 내의 압력을 바람직하게 한 후, 제2 개구 요소를 개구로부터 제거하여 이송 챔버로의 경로를 확보하도록 구성할 수 있어서, 이송 챔버와 처리 챔버 사이에 특히 압력이 없는 경로를 형성할 수 있게 되어 유리하다. "적어도 동시 결합"이란, 특히 로크 조작 요소가, 적어도 하나의 동작 상태에 있어서, 적어도 두 개구 요소와 동시에 결합되게 구성되는 것임을 이해해야 한다. "구성되었다"란, 특히, 특별히 프로그램, 설계, 및/또는 장비되어 있음을 의미한다. 오브젝트가 특정 기능을 하도록 구성하였다는 것은, 그 오브젝트가 적어도 하나의 작동 상태 및/또는 동작 상태에 있어서 상기 특정 기능을 수행 및/또는 실행하는 것임을 이해해야 한다.
개구 요소에 의해 폐쇄 가능한 로크 챔버의 개구 및 제2 개구 요소에 의해 폐쇄 가능한 로크 챔버의 제2 개구가, 로크 챔버의 양 측부에 배치되는 것도 제안하였다. 이와 같이 하면, 로크 장치를 거친 오브젝트의 단순한 이동이 달성 가능하여 유리하다. 특히, 제2 개구 및 제2 개구는, 적어도 실질적으로 서로 평행하게 배향된 개구면을 갖는다. "실질적으로 평행"이란, 특히, 기준 방향에 대한 방향의 배향을 의미하고, 특히 평면에 있어서, 그 방향은, 기준 방향으로부터의 편차가 특히 8° 보다 작고, 유리하게는 5° 보다 작고, 특히 유리하게는 2° 보다 작다. "개구면"이란, 특히 개구에 의해, 특히 개구의 모서리에 의해 형성되는 평면을 의미한다. 적합하게는, 개구의 개구면은, 적어도 개구 전체에 걸쳐 연장된다. 적합하게는, 개구의 개구면은, 개구의 벽에 대해 적어도 실질적으로 수직으로 뻗는다. 개구의 개구면은, 개구를 지나는 최단 통과 경로인 직선에 대해 적어도 실질적으로 수직으로 뻗는 것이 바람직하다. "실질적으로 수직으로"라는 용어는, 특히 기준 방향에 대한 방향의 배향을 정의하는 것을 의도하는 것이며, 방향 및 기준 방향은, 특히 평면으로 본 경우, 90°의 각도를 포함하고, 상기 각도는 8° 미만, 유리하게는 5° 미만, 특히 유리하게는 2° 미만의 최대 편차를 갖는 각도를 의미한다. 특히 적합하게는, 개구의 개구면은, 개구를 완전히 둘러싸는 최소의 가상의 장방형 직방체의 개구를 덮는 측면에 적어도 실질적으로 평행으로 연장되고, 특히 최소의 가상의 장방형 직방체의 개구를 덮는 측면은, 상기 측면에 수직인 시선 방향으로 개구를 완전히 덮도록 하는 것이 유리하다. "양 측부"란, 특히, 두 측이 서로 반대 방향임을 의미한다. 혹은, 개구는 서로 각도를 두고 배향할 수 있으며, 예를 들면 서로 수직으로 배향할 수 있는 로크 챔버의 측면에 배치하는 것을 생각할 수 있다. 결국, 이송된 오브젝트는, 로크 챔버를 지나는 각도가 있는 또는 만곡된 경로를 따라가게 된다.
게다가, 개구의 개구면에 수직인, 특히 개구 및 제2 개구의 개구면에 수직인 시선 방향에 있어서, 적어도 개구 및 제2 개구는, 적어도 대부분에 걸쳐, 적합하게는 완전히, 겹치는 것이 제안되어 있다. 이는, 로크 장치를 거친 오브젝트의 용이한 및/또는 적합하게는 직접적인 이동을 달성하는 것을 가능케 하여 유리하다. 게다가, 로크 장치를 지나는 경로를 가능한 한 짧게 유지할 수 있어서 유리하다. 이는, 특히 콤팩트한 방식으로 실장되는 로크 장치를 달성하는 것을 가능케 하여 유리하다. "대부분"이란, 특히, 적어도 66%, 적합하게는 적어도 75%, 유리하게는 적어도 85%, 적합하게는 적어도 95%, 특히 적합하게는 적어도 99%를 의미한다. 특히, 개구는 다른 치수를 갖고, 개구의 하나만이 적어도 부분적으로, 적합하게는 적어도 대부분, 다른 개구와 겹치는 것을 생각할 수 있다. 특히, 겹치는 영역은, 아이템, 특히 기판의 이송, 적합하게는 직선 경로를 따라서 적어도 로크 챔버를 관통하는 슬라이딩이 가능할 정도의 충분한 크기로 되어 있다.
나아가, 로크 조작 요소는, 적어도 개구 요소, 특히 로크 챔버의 적어도 하나의 로크 개구 요소와 적어도 자기 결합하도록 구성되는 것이 제안되어 있다. 이렇게 하여, 특히 유리한 결합 특성이 달성 가능하다. 특히, 예를 들어 서로 결합하는 구성 요소의 마찰에 의한 입자 생성을, 로크 챔버의 내부에 있어서 적합하게는 낮은 레벨로 유지하는 것이 가능하다. 유리하게, 특히 높은 진공 적합성이 달성 가능하다. 게다가, 로크 조작 요소와 개구 요소 사이의 단순하고 안전한 및/또는 절환 가능하면서도 조작 해제 가능한 결합이 유리하게 달성 가능해진다. 두 구성 요소의 "자기 결합"에 의해, 특히, 구성 요소들이 서로 자기적 인력을 서로 미치도록 구성되고, 이 인력은 특히 위치적으로 고정되는 방식으로 로크 조작 요소 상에 체결된 개구 요소에 대해서는 충분히 크다는 것이 특히 이해되어야 한다. 특히, 자기 결합을 생성하는 힘, 적합하게는 적어도 자기 결합을 생성하는 자장은, 로크 조작 요소에 의해 작용된다. 특히, 자기 결합을 생성하는 자장은, 적어도 부분적으로 로크 조작 요소 내에 생성된다. 개구 요소는, 적합하게는 로크 조작 요소의 자장과 상호 작용하도록 구성된 적어도 하나의 섹션을 포함한다. 이 섹션은, 예를 들어 자성, 특히 강자성 재료로 실장되고, 및/또는 자석, 예를 들면 영구 자석 또는 전자석을 포함한다. 대신 또는 추가적으로, 자기 결합을 생성하는 힘, 적합하게는 적어도 자기 결합을 생성하는 자장은, 개구 요소에 의해 마찬가지로 가해질 수 있다. 대신 또는 추가적으로, 자기 결합을 생성하는 자장은, 개구 요소 내에 적어도 부분적으로 생성할 수 있다. 대신 또는 추가적으로, 로크 조작 요소는, 예를 들어 자성 재료, 특히 강자성 재료로 실장되고, 및/또는 자석을 포함하고, 특히, 로크 조작 요소의 자장과 상호 작용하도록 구성된 적어도 하나의 섹션을 포함할 수 있다.
특히, 자기 결합은 절환 가능하며, 적합하게는 활성화 가능 및/또는 비활성화 가능하다. 특히, 자기 결합을 생성하는 적어도 하나의 자장은, 절환 가능하며, 적합하게는 활성화 가능 및/또는 비활성화 가능하다. 특히, 로크 장치 및/또는 개구 요소는, 제어 및/또는 조정 유닛을 구비한다. 특히, 제어 및/또는 조정 유닛은, 자기 결합 및/또는 자기 결합의 적어도 하나의 자장의 스위칭, 적합하게는 활성화를 위해 적어도 구성된다. 혹은, 제어 및/또는 조정 유닛에 의해 절환 가능한 적어도 하나의 자장이, 자기 결합을 생성하는 자장을 변경, 적합하게는 겹치도록 구성되는 것이 생각된다. 특히, 자기 결합은, 그와 같은 겹치는 자장에 의해 해제될 수 있다. 이런 방식으로, 무전류 결합이 유리하게 달성 가능하다. 결국, 예를 들면 일시적인 정전에 의해 개구 요소가 로크 조작 요소로부터 해제되거나, 제어되지 않고 로크 챔버 내를 이동하거나 하는 것을 방지할 수 있는 "페일 세이프 기능"을 실현하는 것도 가능하여, 손상 또는 불필요하게 긴 다운 타임을 유리하게 회피할 수 있다.
"로크 개구 요소"란 특히 로크 챔버에 할당되고, 로크 챔버가 사용되는 이송 컨테이너 또는 처리 챔버와는 관계없이, 로크 챔버의 개구를 닫도록 구성되는, 처리 챔버 및/또는 로크 챔버가 통합되어 있는 개구 요소인 것으로 이해되어야 한다. 특히, 로크 개구 요소는, 처리 챔버의 개구에 접속된 로크 챔버의 개구를 닫도록 구성된 개구 요소이다. "제어 및/또는 조정 유닛"은, 특히 적어도 하나의 제어 전자 부품을 구비한 유닛을 의미한다. "제어 전자 부품"이란, 특히, 프로세서 유닛, 메모리 유닛, 및 메모리 유닛에 저장된 조작 프로그램을 구비한 유닛을 의미한다.
게다가, 로크 조작 요소는, 적어도 개구 요소, 특히 로크의 적어도 하나의 로크 개구 요소와, 조작 해제가능한, 억지 끼워 맞춤 결합 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합의 기계적 결합을 위해 적어도 구성되는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 유리한 결합 특성이 달성 가능하다. 특히, 안전한 및/또는 단순한 조작 해제 가능한 결합이 유리하게 달성 가능하다. 유리하게는, "페일 세이프 기능", 특히 개방 요소와 로크 조작 요소 사이의 페일 세이프 결합을 달성할 수 있다. 로크 조작 요소와 개구 요소 사이의 억지 끼워 맞춤 결합 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합은, 자기 결합과 기계적 결합의 조합을 실현할 수도 있다. 기계적 결합은, 특히 클립 접속, 플러그 접속, 프레스 접속, 나사 접속 등으로서 실시된다. 대신 또는 추가적으로, 기계적 결합은, 기계 결합의 적어도 하나의 보유 지지 요소를 개구 요소와 로크 조작 요소 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 접속이 형성되고 및 또는 해제되는 방식으로 적어도 이동시키도록 구성되어 있는 적어도 하나의 액터를 포함하는 것으로 실시될 수 있다. 특히, 기계 결합, 특히 액터는 제어 및/또는 조정 유닛에 의해 활성화, 적합하게는 활성화 및/또는 비활성화 가능하다.
게다가, 로크 조작 요소는, 적어도 개구 요소, 특히 로크 챔버의 적어도 하나의 로크 개구 요소와 공기압 결합하도록 구성되는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 유리한 결합 특성이 달성 가능하다. 또, 기존 배기 장치, 특히 기존 진공 펌프를, 요소, 적합하게는 적어도 로크 챔버 및/또는 처리 챔버의 내압의 조정은 물론, 로크 조작 요소와 개구 사이의 억지 끼워 맞춤 결합 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합의 적어도 일부의 생성을 위해 사용하는 것이 유리하게 가능하다. 이는, 복잡성의 경감을 유리하게 가능하게 한다. 특히, 공기압 결합을 생성하기 위해, 로크 조작 요소는, 부압에 의해 개구 요소를 로크 조작 요소에 흡인하도록 구성된 적어도 하나의 압력 접속을 구비한다. 특히, 공기압 커플링은, 제어 및/또는 조정 유닛에 의해 작동 가능하며, 적합하게는 활성화 가능 및/또는 비활성화 가능하다.
로크 조작 요소가, 서로 다른 적어도 두 이동 경로를 따라서 이동 가능하게 지지 유닛에 의해 지지되는 적어도 하나의 결합 요소를 포함하는 경우, 특히 유리한 결합 프로세스, 특히 개구로부터의 개구 요소의 특히 유리한 제거 및/또는 개구에 대한 개구 요소의 특히 유리한 장착이 달성 가능하다. 특히, 예를 들면 두 표면의 상호 마찰에 의한 입자의 생성은, 가능한 한 낮게 유지할 수 있다. 따라서, 나아가, 로크 장치가, 특히, 로크 챔버 내의 결합 요소 및/또는 로크 조작 요소를 선회시키는 것과 비교하여, 결합 요소 및/또는 로크 조작 요소의 이동 공간을 필요 최소의, 가능한 한 작은 사이즈로 확보하는 것이 유리하게 가능하다. "결합 요소"란, 특히 로크 조작 요소와 개구 요소의 억지 끼워 맞춤 결합 및/또는 로크 조작 요소와 개구 요소의 형상 끼워 맞춤 결합의 결합력을 전달하도록 구성된 요소임을 이해해야 한다. 결합 요소는, 특히, 결합 상태에서 개구 요소에 직접 접촉하도록 구성된다. 특히, 결합 요소는, 적어도 부분적으로 로크 조작 요소에 통합되도록 실장된다. 이송 경로는, 특히, 적어도 서로 각도를 두고, 적합하게는 적어도 실질적으로 서로 수직으로 배향된다. 특히, 결합 요소의 제1 이동 경로는, 개구 요소를 개구에 배치하도록 및/또는 개구 요소를 개구로부터 제거하도록 구성된다. 특히, 결합 요소의 제1 이동 경로는, 개구의 개구면에 대해 적어도 실질적으로 수직으로 배향되어 있다. 특히, 결합 요소의 제2 이동 경로는, 개구 요소를 로크 챔버 내의 지지 위치로 가져오도록 및/또는 개구 요소를 지지 위치로부터 이동시키도록 구성된다. 특히, 결합 요소의 제2 이동 경로는, 개구의 개구면에 적어도 실질적으로 평행하게 향하고 있다. 혹은 또한, 결합 요소의 이동 경로의 적어도 하나, 특히 제1 이동 경로는, 적어도 실질적으로 호(arc)를 형성할 수 있다.
또, 로크 조작 요소는, 적어도 하나의 제2 결합 요소를 포함하고, 결합 요소 및 제2 결합 요소는, 로크 조작 요소의 양 측부에 배치되는 것도 제안되어 있다. 이런 방식으로, 고도의 유연성이 유리하게 달성 가능하다. 특히, 유리하게는, 복수의 개구 요소를 단일 로크 조작 요소에 의해 집어 올릴 수 있다. 이에 의해, 복잡성을 경감할 수 있는 이점이 있다. "양 측부"란, 특히, 두 측이 서로 반대 방향임을 이해해야 한다.
나아가, 결합 요소 및/또는 제2 결합 요소는, 상기 결합 요소 및/또는 상기 제2 결합 요소를 적어도 운반하는 상기 로크 조작 요소의 적어도 이동 가능하게 지지된 캐리어 요소에 대해 이동 가능하게 지지 유닛에 의해 지지되는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 결합 요소를 개구 요소에 개별적으로 접근시킬 수 있으므로, 유리한 결합 특성을 달성할 수 있다. 유리하게는, 이는 특히 다르게 실장된 개구 요소, 예를 들면 다른 두께를 갖는 개구 요소와의 유리한 접촉 결합을 간단한 방법으로 가능하게 할 수 있으므로, 증강된 유연성을 갖게 된다. 결합 요소 및 제2 결합 요소는, 이것들이 캐리어 요소에 직접 접속되도록 특히 실장된다. 결합 요소 및 제2 결합 요소는, 이것들이 로크 조작 요소, 적합하게는 캐리어 요소에 적어도 부분적으로 통합되도록 특히 실장된다. 결합 요소 및 제2 결합 요소는, 이것들이 적어도 부분적으로, 적합하게는 적어도 대부분, 로크 조작 요소, 적합하게는 캐리어 요소로부터 추출 가능하게 특히 실장된다. 캐리어 요소는, 특히 로크 챔버 내에 적어도 부분적으로, 적합하게는 적어도 대부분이 배치되어 있다. 캐리어 요소는 특히 로크 조작 요소와 일체로 실장되어 있다. 캐리어 요소는 특히 로크 조작 요소를 보유 지지하기 위한 보유 지지 장치와는 다른 방법으로 실장된다. 지지 유닛은, 특히 로크 챔버에 대해 이동 가능한 캐리어 요소를 지지하도록 구성된다. 지지 유닛은, 특히, 캐리어 요소에 대해 이동 가능하게 결합 요소를 지지하도록 구성된다. 지지 유닛은, 특히, 캐리어 요소에 대해 이동 가능하게 제2 결합 요소를 지지하도록 구성된다.
결합 요소 및/또는 제2 결합 요소가, 적어도 로크 챔버의 개구의 개구면, 특히 상기 로크 조작 요소에 의해 닫을 수 있는 로크 챔버의 모든 개구들의 개구면에 적어도 실질적으로 수직으로 뻗는 이동 방향을 따라, 지지 유닛에 의해 이동 가능하게 하는 것이 제안되어 있다. 결과적으로, 개구로부터의 개구 요소의 특히 원만한 장착 및/또는 제거가 유리하게 달성 가능하며, 입자의 생성을 특히 낮은 레벨로 유지하는 것을 가능하게 한다.
게다가, 결합 요소 및/또는 제2 결합 요소가, 지지 유닛에 의해 지지된, 특히 적어도 실질적으로 호형 이동 경로를 따라 이동 가능하게, 로크 조작 요소의 캐리어 요소에 대해 특히 지지된 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 콤팩트한 지지 유닛을 유리하게 실현할 수 있다. 유리하게는, 지지 유닛은, 특히 간단한 방법으로 실장할 수 있다. 특히, 결합 요소 및/또는 제2 결합 요소는, 이것들이 로크 조작 요소의 캐리어 요소에 대해 지지 유닛에 의해 선회 가능하도록 실장된다. 특히, 결합 요소 및/또는 제2 결합 요소는, 개방 요소와 결합된 상태와 개구 요소로부터 분리된 상태 사이의 진동 운동에 의해 전후로 이동할 수 있도록 구성되어 있다.
게다가, 개구 요소를 구비한 결합에 대해, 결합 요소 및 제2 결합 요소는, 적어도 실질적으로 서로 직경 방향으로 대향된 이동 방향으로 이동 가능하며, 특히 이동 가능하게 안내되고, 적합하게는 추출 가능하게 하는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 로크 챔버의 대향 배치된 개구들의 개구 상태를 단일 로크 조작 요소를 통하여 동시에 절환할 수 있으므로, 고도의 유연성이 유리하게 달성 가능하다. 이는 특히, 로크 챔버를 통한 오브젝트의 고속이면서도 간단한 이동을 가능하게 한다. "실질적으로 직경 방향으로"라는 용어는, 특히, 기준 방향에 대한 방향의 배향을 정의하는 것을 의도하고 있으며, 방향 및 기준 방향은, 특히 평면으로 보아, 180°의 각도 및 8°보다 작고, 적합하게는 5°보다 작고, 특히 적합하게는 2°보다 작은 최대 편차를 갖는 각도를 포함한다. 특히, 결합 요소 및 제2 결합 요소는, 로크 조작 요소, 적합하게는 캐리어 요소로부터, 적어도 실질적으로 서로 직경 방향으로 대향된 이동 방향으로 추출 가능하다.
또, 로크 조작 요소, 특히 결합 요소 및/또는 제2 결합 요소는, 자장에 의한 로크 조작 요소와 개구 요소 사이의 억지 끼워 맞춤 결합을 적어도 부분적으로 생성하도록 특히 구성된 적어도 하나의 자석, 특히 영구 자석 또는 전자석을 포함하는 것이 제안되어 있다. 결국, 로크 조작 요소와 개구 요소 사이의 특히 단순한 및/또는 효과적인 결합이 유리하게 달성 가능하다. 특히, 자석, 특히 전자석은, 제어 및/또는 조정 유닛에 의해 절환 가능하며, 적합하게는 활성화 및/또는 비활성화 가능하다. 특히, 자석, 특히 영구 자석은, 제어 및/또는 조정 유닛에 의해 조작, 적합하게는 포갤 수 있다. 특히 로크 조작 요소는, 결합 요소의 수에 상당하는 적어도 자석을 몇 포함한다. 특히, 각 결합 요소에는 적어도 하나의 자석이 할당된다. 특히, 각 결합 요소에는, 결합 요소와 함께 이동 가능한 자석이 포함된다.
또, 로크 조작 요소는, 지지 유닛에 의해, 적합하게는 유도된 방법으로, 이동, 특히 병진 이동 가능하며, 적어도 로크 챔버의 개구의 개구면, 특히, 로크 챔버의 모든 개구의 모든 개구면에 적어도 실질적으로 평행으로 연장되는 평면 내에서 이동 가능한 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 유리하게는, 가능한 한 작은 사이즈의 로크 장치가 달성 가능하다. 또, 이는, 복잡성이 낮아진, 적합하게는 단순한, 로크 장치를 유리하게 달성하게 되는 결과로 된다.
나아가, 로크 조작 요소의 지지 위치에 있어서, 로크 조작 요소 및 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 방식으로 로크 조작 요소와 결합된 개구 요소, 특히 개구 요소와 제2 개구 요소의 지지 위치는 로크 조작 요소에 의해 개구 상태가 조정 가능한 개구와 겹치지 않도록 하는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 유리한 전달 특성이 달성 가능하다. 특히, 이는 유리하게는 이송된 오브젝트가 로크 챔버를 통과하여 지나는 경로를 완전히 해방, 즉 잠재적인 방해물이 전혀 없는 상태를 유지하는 것을 가능하게 한다. "겹치지 않는"이라는 용어는, 특히, 개구 요소의 개구면에 특히 수직으로 뻗는 시선 방향으로 로크 챔버의 개구를 통해 보았을 때, 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 방식으로 결합된 로크 조작 요소와 개구 요소가 관찰자에게는 보이지 않는, 및/또는 개구의 어느 부분도 가리지 않는 것임을 의미한다.
로크 챔버가, 이송 챔버, 특히 진공 이송 컨테이너를 로크 챔버에 진공 기밀 도킹하는 것을 가능하게 하도록 적어도 구성된 적어도 하나의 도킹 장치를 포함하는 경우, 유리한 이송 특성을 달성할 수 있다. 특히, 이송 챔버로부터 처리 챔버로 오브젝트를 진공 기밀 이송하는 것이 유리하게 달성 가능하다. 도킹 장치는 특히, 이송 챔버와 로크 챔버 사이의 기계적, 자기적 및/또는 공기압적, 적합하게는 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 위해 구성된다. 특히, 도킹 프로세스에 이어서, 로크 챔버의 적어도 하나의 개구는, 이송 챔버의 적어도 하나의 개구 및/또는 적어도 하나의 개구 요소와 완전히 겹친다. 이송 챔버가 도킹 장치에 도킹되고, 이송 챔버의 개구 요소가 제거된 상태에서는, 도킹 장치의 누설률은, 특히 10-4 mbar*l/s 미만, 적합하게는 10-5 mbar*l/s 미만, 적합하게는 10-6 mbar*l/s 미만이다.
게다가, 도킹 장치는, 로크 챔버에 대해 이송 챔버, 특히 진공 이송 컨테이너의 적어도 일부를 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤으로 보유 지지하도록 구성된 적어도 하나의 고정 요소를 구비하는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 유리하게는 로크 챔버의 고도의 안전성 및/또는 높은 진공 기밀성이 달성 가능하다. 유리하게는, 예를 들어 이송 챔버 내 및 로크 챔버 내의 압력의 밸런스가 잡힌 후에, 이송 챔버가 로크 챔버로부터 부주의하게 해제되는 것을 회피할 수 있다. 고정 요소는, 특히, 기계적 고정 요소, 예를 들면 클립핑, 또는 나사 조임으로서, 자기 고정 요소, 예를 들면 영구 자석 또는 전자석에 의한 자기 결합으로서, 및/또는 공기압 고정 요소로서 실장된다.
로크 챔버가 적어도 하나의 배기 장치를 포함하는 경우, 로크 챔버와 처리 챔버 및/또는 이송 챔버 사이의 능동적인 압력 보상이 유리하게 가능해진다. 이런 방식으로, 특히 오염이 없는 이송 프로세스가 유리하게 달성 가능하다. 배기 장치는, 특히 로크 챔버의 내부의 압력을 조정하도록 구성되어 있다. 배기 장치는, 특히 로크 챔버의 내부에 부압, 적합하게는 진공을 생성하도록 구성되어 있다. 특히, 배기 장치는, 적어도 하나의 압력 접속, 예를 들면 로크 챔버의 내부로 안내되는 접속 채널 또는 접속 호스를 포함한다. 특히, 배기 장치는, 적어도 하나의 진공 펌프를 포함한다. 배기 장치는, 특히 처리 챔버의 진공 펌프 시스템과 적어도 부분적으로 일제로 실장되어 있다. 제어 및/또는 조정 유닛은, 배기 장치, 특히 배기 장치의 펌프 성능을 제어하도록 구성된다. 특히, 배기 장치는, 로크 챔버의 내부의 압력을 측정하도록 적어도 구성되어 있는 적어도 하나의 압력 센서를 포함한다. 제어 및/또는 조정 유닛은, 특히 압력 센서를 읽고, 그 측정값을 이송 챔버 또는 처리 챔버 내의 압력을 결정하기 위한 센서의 적어도 하나의 다른 측정값과 밸런스를 취하고, 비교를 통해 배기 장치를 제어 및/또는 조정하도록 구성된다. 혹은, 로크 챔버는, 배기 장치 없이 실시할 수도 있는데, 이는 예를 들어 로크 챔버의 내부의 압력을 조정할 가능성이 없음을 의미한다.
나아가, 로크 장치, 특히 진공 로크 장치와, 특히 진공 하에서 처리 스텝을 실행하기 위한 처리 챔버, 그리고 적어도 하나의, 적합하게는 복수의 이송 챔버, 특히 진공 이송 컨테이너를 구비한, 로크 시스템, 특히 진공 로크 시스템이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 이송 챔버, 특히 진공 이송 컨테이너로부터 처리실로의, 적합하게는 오염이 없는 오브젝트 및/또는 생산 재료의 이송이 유리하게 가능해질 수 있다.
또, 로크 장치, 특히 진공 로크 장치는, 처리 챔버에 고정적으로 접속되고, 및/또는 처리 챔버 내에 적어도 부분적으로 배치되는 것이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 유리한 전달 특성을 얻을 수 있다. 특히, 로크 장치의 특히 높은 기밀성이 달성 가능해진다. 또, 로크 시스템의 높은 콤팩트성을 실현할 수 있다. "고정 접속"이라는 용어는 특히, 파괴하지 않고는 분리할 수 없음을 의미한다. 특히, 로크 챔버는 처리 챔버의 일체적인 구성 요소를 형성한다. 적합하게는, 로크 챔버의 적어도 하나의 벽은, 동시에 처리 챔버의 벽을 형성한다.
게다가, 로크 시스템의 이송 챔버, 특히 진공 이송 컨테이너가 제안되어 있다.
나아가, 로크 장치, 특히 진공 로크 장치, 및/또는 로크 시스템, 특히 진공 로크 시스템을 조작하기 위한 방법이 제안되어 있다. 이런 방식으로, 특히 유리한 전달 특성이 얻어진다. 특히, 이런 방식으로, 로크 장치의 높은 유연성 및/또는 로크 장치의 특히 높은 기밀성이 유리하게 달성 가능하다.
로크 장치를 조작하기 위한 방법의 방법 스텝의 적어도 하나의 시퀀스에 있어서, 이송 챔버의 내용물은, 로크 장치에 의해 이송 챔버로부터 처리 챔버로, 또는 그 역으로 취출되는 것도 제안되어 있고, 여기서, 이송 챔버는 이송 챔버 내의 압력이 로크 장치의 로크 챔버 내의 압력과 적어도 실질적으로 동등한 경우에만, 특히 로크 장치의 로크 챔버를 향해 열리는 이송 챔버이다. 이런 방식으로, OLED 제조를 위한 오브젝트 및/또는 출발 재료를, 압력 차 및/또는 가스 흐름에 노출되는 일 없이, 이송 챔버로부터 처리 챔버로 취출하는 것이 유리하게 가능하며, 그 결과, 오브젝트 및/또는 OLED 제조용 출발 재료를 위한 특히 낮은 레벨의 오염 및/또는 이상적인 보관 조건을 송달 체인을 따라서 유리하게 확보할 수 있다. 두 압력이 "실질적으로 동등"이란, 특히 두 압력의 압력차가 10 mbar 미만, 적합하게는 1 mbar 미만이며, 적합하게는 10-3 mbar 미만, 특히 적합하게는 10-6 mbar 미만을 의미한다 것을 이해해야 한다.
본 발명에 따른 로크 장치, 본 발명에 따른 로크 시스템, 및 본 발명에 따른 방법은, 본 명세서에서 상술한 용도 및 실시에 한정되지 않는 것으로 한다. 특히, 본 명세서에 기재된 기능을 실현하기 위해, 본 발명에 따른 로크 장치, 본 발명에 따른 로크 시스템, 및 본 발명에 의한 방법은, 본 명세서에 주어진 수와는 다른 몇몇 요소, 구성 요소 및 유닛을 포함할 수도 있다.
이하의 도면의 설명으로부터, 또다른 이점이 명백해질 것이다. 도면에는, 본 발명의 세 예시적인 실시 형태가 도시되어 있다. 도면, 설명 및 청구범위는, 조합된 복수의 특징들을 포함한다. 기술 분야에서 숙련된 자라면, 의도적으로 특징을 개별 검토하여 더 적절한 조합을 찾을 수도 있을 것이다.
도 1은, 로크 장치 및 도킹되지 않은 상태의 이송 챔버를 구비한 로크 시스템의 개략적 단면도다.
도 2는, 이송 챔버가 도킹 상태에 있고 로킹 장치가 닫혀 있는 로크 시스템의 개략적 단면도다.
도 3은, 이송 챔버가 도킹 상태에 있고, 로킹 장치가 열려 있는 로크 시스템의 개략적 단면도다.
도 4는, 로크 장치의 조작 방법의 흐름도다.
도 5는, 다른 로크 장치를 구비한 다른 로크 시스템을 도시한 도면이다.
도 6은 제2의 다른 로크 장치를 구비한 제2의 다른 로크 시스템을 도시한 도면이다.
도 1은 로크 시스템(66)을 도시한 것이다. 로크 시스템(66)은 진공 로크 시스템으로서 실장되어 있다. 로크 시스템(66)은 로크 장치(68)를 구비한다. 로크 시스템(66)은 진공 로크 장치로서 실장된다. 로크 시스템(66)은, 처리 챔버(26)를 구비한다. 처리 챔버(26)는 진공 하의 오브젝트에 대해 처리 스텝을 실행하도록 구성된다. 로크 시스템(66)은 이송 챔버(28)를 구비한다. 이송 챔버(28)는 진공 이송 컨테이너로서 구현된다. 이송 챔버(28)는 진공 하에 아이템(70)을 이송하도록 구성된다. 로크 시스템(66)은, 이송 챔버(28)와 처리 챔버(26) 사이에서 아이템(70)을 전후로 이송하도록 구성된다. 이송 챔버(28)는, 개구 요소(22)를 구비한다. 이송 챔버(28)의 개구 요소(22)는, 이송 챔버(28)의 내부(80)를 폐쇄하도록 구성된다. 개구 요소(22)는, 로크 챔버(10)와 결합 가능한 이송 챔버(28)의 적어도 하나의 개구(88), 및/또는 로크 챔버(10)의 적어도 하나의 개구(16)를 진공 기밀하게 닫도록 구성된다. 로크 시스템(66)은, 로크 챔버(10)를 구비한다. 로크 챔버(10)는, 처리 챔버(26)에 고정적으로 접속되어 있다. 로크 챔버(10)는, 진공 기밀 밀폐 가능하다. 로크 챔버(10)는, 진공 기밀하게 처리 챔버(26)에 접속되어 있다. 로크 챔버(10)는, 하드 시일 방식으로 처리 챔버(26)에 접속되어 있다. 로크 장치(68)는, 로크 챔버(10)를 구비하고 있다. 로크 장치(68)는, 처리 챔버(26)에 고정적으로 접속되어 있다.
로크 챔버(10)는, 개구(14)를 구비한다. 개구(14)는 제1 개구이다. 로크 챔버(10)의 개구(14)는 로크 챔버(10)의 내부(74)와 처리 챔버(26)의 내부(76) 사이의 접속을 생성하도록 구성된다. 진공 기밀 폐쇄의 경우, 로크 챔버(10)의 개구 요소(20)에 의해 개구(14)를 닫을 수 있다. 개구 요소(20)는, 로크 챔버(10)의 로크 개구 요소로서 실장된다. 로크 개구 요소는, 적어도 로크 챔버(10)의 개구(14) 및/또는 적어도 로크 챔버(10)에 고정적으로 접속된 처리 챔버(26)의 적어도 하나의 개구(24)를 진공 기밀 밀폐하도록 구성된다. 로크 챔버(10)는 밀봉 요소(78)를 포함한다. 로크 챔버(10)의 밀봉 요소(78)는, 개구 요소(20), 특히 로크 개구 요소의 진공 기밀성을 확보하도록 구성된다. 로크 챔버(10)의 밀봉 요소(78)는, O링으로 구체화되어 있다. 로크 챔버(10)는, 진공 기밀하게 이송 챔버(28)와 접속 가능하다. 로크 챔버(10)는, 제2 개구(16)를 구비한다. 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)는, 로크 챔버(10)의 내부(74)와 이송 챔버(28)의 내부(80) 사이의 접속을 생성하도록 구성된다.
로크 챔버(10)는 도킹 장치(60)를 구비한다. 도킹 장치(60)는, 이송 챔버(28)의 로크 챔버(10)로의 진공 기밀 도킹을 가능하게 하도록 구성된다. 로크 챔버(10)는 특히 다른 방법으로 실장되는 복수의 이송 챔버(28)와 기밀 결합하도록 구성된다. 도킹 장치(60)는, 적어도 하나의 고정 요소(62)를 구비한다. 고정 요소(62)는 로크 챔버(10)에 대해 적어도 이송 챔버(28)를 보유 지지하는 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤을 위해 구성된다. 고정 요소(62)는 클램프 요소로서 구현된다. 혹은, 고정 요소(62)는, 나사 요소, 자석 요소, 공기 흡인 장치 등으로서 구현될 수 있다. 이송 챔버(28)는, 밀봉 요소(72)를 구비한다. 이송 챔버(28)의 밀봉 요소(72)는, O링으로서 구체화된다. 이송 챔버(28)의 밀봉 요소(72)는, 로크 시스템을 감싸는 분위기에 대하여, 도킹된 이송 챔버(28)의 진공 기밀성을 확보하도록 구성된다.
이송 챔버(28)가 로크 챔버(10)에 도킹되어 있는 로크 장치(68)의 동작 상태에서는, 제2 개구 요소(22)는, 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)를 닫는다. 개구 요소(20)에 의해 폐쇄 가능하며, 제2 개구 요소(22)에 의해 폐쇄 가능한 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)는, 로크 챔버(10)의 양 측부(84. 86)에 배치된다. 로크 챔버의 제1 개구(14)는 처리 챔버(16)를 향하는 로크 챔버(10)의 측부(84)에 배치되어 있다. 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)는 처리 챔버(26)으로부터 먼 측부를 향하는 로크 챔버(10)의 측부(86)에 배치되어 있다. 개구(14)의 개구면(50)에 수직인 방향으로 보면, 로크 챔버(10)의 개구(14)와, 반대측에 위치하는 로크 챔버(10)의 개구(16)는 완전히 겹쳐 있다.
이송 챔버(28)는 추가의 밀봉 요소(82)를 구비한다. 이송 챔버(28)의 추가의 밀봉 요소(82)는, O링으로서 구체화된다. 이송 챔버(28)의 추가의 밀봉 요소(82)는, 이송 챔버(28)를 둘러싸는 분위기에 대해서 폐쇄된 이송 챔버(28)의 진공 기밀성을 확보하도록 구성된다. 혹은, 밀봉 요소(72, 78, 82)는 O링과는 다른 임의의 종류의 밀봉체로 구체화할 수도 있다.
로크 장치(68)는, 배기 장치(64)를 구비한다. 배기 장치(64)는, 적어도 로크 챔버(10) 내의 내압을 조정, 적합하게는 저하시키도록 구성된다. 배기 장치(64)는, 압력 접속(32)을 구비한다. 압력 접속(32)은, 로크 챔버(10)의 벽을 관통하는 관통 구멍으로서 실현된다. 배기 장치(64)는, 진공 펌프(34)를 구비한다. 진공 펌프(34) 및 압력 접속(32)은, 압력 덕트(90)를 통하여 접속된다. 압력 덕트(90)는, 밸브(92)를 구비한다. 밸브(92)는, 로크 챔버(10) 내의 압력을 조정, 특히 증가시키도록 구성된다. 제어 및/또는 조정 유닛(30)은, 밸브(92)를 제어하도록 구성되어 있다. 로크 장치(68)는 제어 및/또는 조정 유닛(30)을 포함한다. 제어 및/또는 조정 유닛(30)은 로크 챔버(10) 내의 내압을 적어도 조정하도록 되어 있다. 제어 및/또는 조정 유닛(30)은 진공 펌프(34)를 제어하도록 구성되어 있다. 배기 장치(64)는 압력 센서(100)를 구비한다. 압력 센서(100)는, 로크 챔버(10)의 내부(74) 내의 내압을 결정하도록 구성된다.
로크 장치(68)는, 로크 조작 요소(12)를 구비한다. 로크 조작 요소(12)는, 일종의 슬라이더로서 실장되어 있다. 로크 조작 요소(12)는, 로크 챔버(10)의 적어도 하나의 개구(14, 16)의 개구 상태를 조정하도록 구성된다. 로크 조작 요소(12)는, 로크의 적어도 두 개구(14, 16)의 개구 상태를 조정하도록 구성된다. 로크 조작 요소(12)는, 로크 챔버(10)의 적어도 두 개구(14, 16)의 개구 상태를 조정하도록 되어 있다. 로크 조작 요소(12)는 가동적으로 지지되어 있다. 로크 장치(68)는, 지지 유닛(18)을 구비한다. 지지 유닛(18)은, 적어도 로크 조작 요소(12)를 이동 가능하게 지지하도록 구성된다. 로크 조작 요소(12)는, 로크 조작 요소(12)와 적어도 하나의 개구 요소(20) 사이의 조작 해제 가능한 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 적어도 반자동식으로, 적어도 생성하도록 되어 있다. 로크 조작 요소(12)의 자세는, 로크 챔버(10) 내에서 변위 가능하다. 로크 조작 요소(12)는 지지 유닛(18)에 의해, 병진적으로 변위 가능하다. 로크 조작 요소(12)는 로크 챔버(10)의 개구(14)의 개구면(50)에 평행하게 연장되는 평면 내에서 이동 가능하다. 제어 및/또는 조정 유닛(30)은, 로크 조작 요소(12)의 움직임을 적어도 반자동 제어하도록 구성되어 있다.
로크 조작 요소(12)는, 적어도 반자동식으로, 로크 조작 요소(12)와 적어도 제2 개구 요소(22) 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 생성하도록 적어도 구성되어 있다. 로크 동작 요소(12)는, 적어도 하나의 동작 상태에 있어서, 두 개구 요소(20, 22)와 동시에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 방식으로 결합되도록 구성되어 있다. 로크 조작 요소(12)는, 적어도 하나의 동작 상태에 있어서, 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 방식으로 개구 요소(20) 및 이 개구 요소(20)와는 다른 제2 개구 요소(22)와 동시에 결합된다.
로크 조작 요소(12)는, 개구 요소(20, 22)와 자기 결합을 하도록 구성된다. 로크 조작 요소(12)는 자석(56, 94)을 구비한다. 자석(56, 94)은, 자장에 의해 로크 조작 요소(12)와 개구 요소(20, 22) 사이의 억지 끼워 맞춤 결합을 적어도 부분적으로 생성하도록 구성된다. 자석(56, 94)은 전자석으로서 구체화된다. 개구 요소(20, 22)는, 적어도 부분적으로 강자성 재료, 예를 들어 철로 실장되어 있다. 제어 및/또는 조정 유닛(30)은, 전자석의 자장을 제어하도록 구성된다. 개구 요소(20, 22)는, 자석(56, 94)에 의해 이끌리게 된다. 개구 요소(20, 22)는, 자기적 인력에 의해, 로크 조작 요소(12)에 부착된다. 대신 또는 추가적으로, 자석(56, 94)은 영구 자석으로서 구체화된다. 그런 경우, 로크 조작 요소(12)는 역자장을 생성하기 위한 적어도 하나의 전자석을 포함한다. 역자장은, 로크 조작 요소(12)의 영구 자석이 개구 요소(20, 22)에 적어도 일시적으로 미치는 인력의 충격을 상쇄하도록 구성된다.
로크 조작 요소(12)는 개구 요소(20, 22)와 조작 해제 가능한, 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 기계적 결합을 하도록 구성된다. 로크 조작 요소(12)는, 래치 기구(도시 않음)를 구비한다. 래치 기구는, 조작 해제 가능하도록 실장되어 있다.
로크 조작 요소(12)는 결합 요소(36)를 구비한다. 로크 조작 요소(12)는, 캐리어 요소(48)를 구비한다. 캐리어 요소(48)는, 결합 요소(36)를 운반한다. 캐리어 요소(48)는, 로크 조작 요소(12)와 일체적으로 실장된다. 결합 요소(36)는 적어도 하나의 동작 상태에 있어서, 로크 챔버(10)의 개구(14)에 면하는 캐리어 요소(48)의 일측부(46)에 배치된다. 캐리어 요소(48)는 로크 챔버(10)의 개구(14)의 개구면(50)에 평행으로 연장되는 평면 내에서 이동 가능하다. 결합 요소(36)는, 서로 다른 두 이동 경로(38, 40)를 따라서 이동 가능하게 지지 유닛(18)에 의해 지지된다. 결합 요소(36)는, 로크 챔버(10)의 개구(14)의 개구면(50)에 평행으로 연장되는 평면 내의 제1 이동 경로(38)를 따라, 로크 조작 요소(12)와 함께 이동할 수 있다. 제1 이동 경로(38)는 선형으로 뻗는다. 게다가, 결합 요소(36)는, 이동 가능하게 지지된 캐리어 요소(48)에 대해 이동 가능하도록, 지지 유닛(18)에 의해 지지된다. 결합 요소(36)는, 이동 가능하게 지지된 캐리어 요소(48)에 대해 이동 가능하도록, 지지 유닛(18)에 의해 지지된다. 결합 요소(36)는, 지지 유닛(18)에 의해, 제2 이동 경로(40)를 따라 두 대향하는 이동 방향(52, 54)으로 이동 가능하다. 제2 이동 경로(40)는, 로크 챔버(10)의 개구(14)의 개구면(50)에 대해 수직으로 뻗는다. 제2 이동 경로(40)는 선형으로 뻗는다. 제1 이동 경로(38)와 제2 이동 경로(40)는 수직으로 교차한다. 결합 요소(36)는, 캐리어 요소(48)로부터 추출 가능하도록 실장된다. 결합 요소(36)는, 캐리어 요소(48) 내에 부분적으로 격납될 수 있도록 실장된다.
결합 요소(36)는, 개구 요소(20)와 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합에 들어갈 수 있도록 구성된다. 결합 요소(36)는, 개구 요소(20)에 접근함으로써 로크 조작 요소(12)와 개구 요소(20) 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 생성하도록 구성된다. 결합 요소(36)는, 개구 요소(20)를 픽업하도록 구성된다. 결합 요소(36)는, 제1 결합 요소를 형성한다. 결합 요소(36)는 자석(56)을 포함한다. 자석(56)은, 결합 요소(36)와 함께 이동한다. 자석(56)은 결합 요소(36)에 통합되게 실장된다.
로크 조작 요소(12)는, 적어도 하나의 제2 결합 요소(42)를 구비한다. 캐리어 요소(48)는, 제2 결합 요소(42)를 운반한다. 제2 결합 요소(42)는, 결합 요소(36)와 실질적으로 동일하게 실장된다. 결합 요소(36) 및 제2 결합 요소(42)는, 로크 조작 요소(12)의 양 측부(44, 46)에 배치된다. 제2 결합 요소(42)는, 적어도 하나의 동작 상태에 있어서, 로크 챔버(10)의 개구(14)와는 반대 방향을 향하는 캐리어 요소(48)의 일측부(44)에 배치되어 있다. 제2 결합 요소(42)는, 서로 다른 두 이동 경로(38, 40)를 따라 이동 가능하도록, 지지 유닛(18)에 의해 지지되어 있다. 제2 결합 요소(42)는 로크 챔버(10)의 개구(14)의 개구면(50)에 평행으로 연장되는 평면 내에서 제1 이동 경로(38)를 따라 로크 조작 요소(12)와 함께 이동할 수 있다. 또, 제2 결합 요소(42)는 지지된다. 게다가, 제2 결합 요소(42)는, 이동 가능하게 지지된 캐리어 요소(48)에 대해 이동 가능하도록, 지지 유닛(18)에 의해 지지되어 있다. 제2 결합 요소(42)는, 제2 이동 경로(40)에 따라서 두 대향하는 이동 방향(52, 54)으로 이동 가능하도록, 지지 유닛(18)에 의해 지지된다. 제2 결합 요소(42)는, 캐리어 요소(48)로부터 추출 가능하도록 실장된다. 제2 결합 요소(42)는, 캐리어 요소(48) 내에 부분적으로 격납 가능하게 실장된다.
제2 결합 요소(42)는, 개구 요소(20)와는 다른 제2 개구 요소(22)와의 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합에 들어갈 수 있도록 구성되어 있다. 제2 결합 요소(42)는, 제2 개구 요소(22)에 접근함에 따라서 로크 조작 요소(12)와 제2 개구 요소(22) 사이의 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 촉진하도록 구성된다. 제2 결합 요소(42)는 제2 개구 요소(22)를 픽업하도록 되어 있다. 개구 요소(20, 22)와의 결합을 위해서, 결합 요소(36) 및 제2 결합 요소(42)는 서로 직경 방향으로 대향하는 이동 방향(52, 54)으로 이동 가능하다. 결합 요소(36) 및 제2 결합 요소(42)는, 정반대의 이동 방향(52, 54)에 있어서, 로크 조작 요소(12)의 캐리어 요소(48)로부터 추출 가능하다(도 2도 참조할 것). 제2 결합 요소(42)는 제2 자석(94)을 구비한다. 제2 자석(94)은, 제2 결합 요소(42)와 함께 이동된다. 제2 자석(94)은, 제2 결합 요소(42)에 통합되도록 실장된다. 자석(56) 및 제2 자석(94)은, 서로 정반대의 이동 방향(52, 54)으로 이동 가능하다. 자석(56) 및 제2 자석(94)은, 정반대의 이동 방향(52, 54)에 있어서, 로크 조작 요소(12)의 캐리어 요소(48)로부터 적어도 부분적으로 추출 가능하다. 결합 요소(36, 42)와의 억지 끼워 맞춤 결합의 경우, 개구 요소(20, 22), 자석(56, 94)은 각각, 개구 요소(20, 22)의 부근으로 오게 되어 작동된다. 자기 결합에서는, 결합 요소(36, 42)의 자석(56, 94)과, 개구 요소(20, 22)의 강자성 구성 요소들 사이에 자기적 인력이 생성된다.
로크 조작 요소(12)는, 로크 장치(68)를 개폐하도록 구성되어 있다. 도 3에서는, 로크 장치(68)는, 열린 상태로 도시되어 있다. 열린 상태에서는, 이송, 즉 로크 챔버(10)를 거친 처리 챔버(26)와 이송 챔버(28) 사이의 아이템(70)의 이송이 가능하다. 로크 조작 요소(12)는, 로크 장치(68)를 거친 아이템(70)의 이동을 가능하게 하기 위해, 개구 요소(20, 22)를 지지 위치(58)로 가져오도록 구성된다. 도 3에 도시된 도면에서는, 로크 조작 요소(12)는 지지 위치(58)에 배치되어 있다. 상기 로크 조작 요소(12)와, 상기 로크 조작 요소(12)와 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤식으로 결합되어 있는 개구 요소(20, 22)는, 개구(14, 16, 24, 88)와의 겹침이 없는 로크 조작 요소(12)의 지지 위치(58)에 있으며, 그 개구 상태는 로크 조작 요소(12)를 통해 조정 가능하다(도 3 참조).
도 4는 로크 장치(68)를 조작하기 위한 방법의 플로우 차트를 도시한 것이다. 적어도 하나의 방법 스텝(96)에 있어서, 이송 챔버(28)는 로크 챔버(10)를 향해 이동된다. 방법 스텝(96)에 있어서, 로크 챔버(10)의 개구(14)는 진공 기밀 밀폐된다. 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)는, 방법 스텝(96)에서는 폐쇄되지 않는다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(98)에서는, 이송 챔버(28)는 도킹 장치(60)에 의해 로크 챔버(10)에 도킹된다. 방법 스텝(98)에서는, 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)는, 이송 챔버(28)에 의해, 특히 제2 개구 요소(22)에 의해 진공 기밀 밀폐된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(102)에 있어서, 로크 챔버의 내부(74) 내의 내압은 배기 장치(64)에 의해 처리 챔버(26)의 내부(76) 내의 내압과 같아진다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(104)에 있어서, 로크 조작 요소(12)는 개구 요소(20)의 부근에 배치된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(106)에 있어서, 결합 요소(36)는, 지지 유닛(18)에 의해 로크 조작 요소(12)의 캐리어 요소(48)로부터 인출되어 개구 요소(20)에 접촉하게 된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(108)에 있어서, 결합 요소(36)의 자석(56)이 활성화되면 개구 요소(36)는 결합 요소(36)에 의해 자기적으로 견인된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(110)에 있어서, 개구 요소(20)와 결합된 결합 요소(36)는 로크 조작 요소(12)의 캐리어 요소(48) 내로 격납된다. 방법 스텝(110)에 있어서, 개구 요소(20)는, 로크 챔버(10)의 개구(14)로부터 제거된다. 방법 스텝(110)에 있어서, 로크 챔버(10)는, 처리 챔버(26)를 향해 개방된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(112)에 있어서, 로크 챔버(10)의 내부(74) 및 이송 챔버(28)의 내부(80)에 있어서의 내압은, 처리 챔버(26)의 내부(76) 내의 내압에 바람직하게 된다. 혹은, 적어도 하나의 다른 방법 스텝(112')에 있어서, 로크 챔버(10)의 내부(74) 및 처리 챔버(26)의 내부(76)의 내압은, 이송 챔버(28)의 내부(80) 내의 내압에 바람직하게 된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(114)에 있어서, 제2 결합 요소(42)는 제2 개구 요소(22)에 접촉하도록, 지지 유닛(18)에 의해 로크 조작 요소(12)의 캐리어 요소(48)로부터 인출된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(116)에 있어서, 제2 결합 요소(42)의 제2 자석(94)이 활성화되면 제2 개구 요소(22)는 제2 결합 요소(42)에 의해 자기적으로 견인된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(118)에 있어서, 제2 개구 요소(22)와 결합된 제2 결합 요소는 로크 조작 요소(12)의 캐리어 요소(48) 내로 격납된다. 방법 스텝(118)에 있어서, 제2 개구 요소(22)는, 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)로부터 제거된다. 방법 스텝(118)에 있어서, 제2 개구 요소(22)는, 로크 챔버(10)의 제2 개구(16)로부터 제거된다. 방법 스텝(118)에 있어서, 로크는 챔버(10)는 이송 챔버(28)를 향해 개방된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(120)에 있어서, 로크 조작 요소(12) 및 상기 로크 조작 요소(12)와 결합된 개구 요소(20, 22)는 지지 위치(58)에 오게 된다. 방법 스텝(118)에 있어서, 완전히 압력 평형이 이루어진 진공 환경 내에서, 이송 챔버(28)로부터 처리 챔버(26)로, 또는 그 역으로, 아이템(70)을 이송하기 위한 경로가 해방된다. 적어도 하나의 다른 방법 스텝(120)에 있어서, 아이템(70)은, 로크 챔버(10)를 통해 이송된다. 로크 시스템(66)의 다음 폐쇄를 위해, 상기 방법 스텝(96, 98, 102 내지 120)은 역순으로 실행된다.
요약하면, 기재된 일련의 방법 스텝(96, 98, 102 내지 120)에 있어서, 이송 챔버(28)의 내용물은, 이송 챔버(28) 내의 내압이 로크 챔버(10)의 내압과 적어도 실질적으로 동등한 경우에만, 이송 챔버(28)가 개방되는 로크 장치(68)에 의해 처리 챔버(26)에 들어가거나, 또는 그 반대이다.
도 5 및 도 6에는, 본 발명의 두 다른 예시적인 실시 형태가 도시되어 있다. 이하 설명 및 도면은, 예시적인 실시 형태 사이의 차이로 실질적으로 한정되고, 동일한 명칭의 구성 요소에 관해, 특히 동일한 참고 부호를 갖는 구성 요소에 관해서 주로 도면 및/또는 다른 예시적인 실시 형태의 설명, 특히 도 1 내지 도 4도 참조할 수 있다. 예시적인 실시 형태를 구별하기 위해, 도 1 내지 도 4의 예시적인 실시 형태의 참조 부호에 문자는 부가하지 않았다. 도 5 및 도 6의 예시적인 실시 형태에서는, 참고 부호의 숫자에 문자 a 또는 문자 b를 부가하였다.
도 5는 대체적 로크 장치(68a)를 구비한 대체적 로크 시스템(66a)을 도시하고 있다. 대체적 로크 시스템(66a)은, 처리 챔버(26a), 이송 챔버(28a), 및 로크 챔버(10a)를 구비하고 있다. 로크 챔버(10a)는, 적어도 부분적으로 처리 챔버(26a) 내에 배치되어 있다.
도 6은, 제2 대체적 로크 장치(68b)를 구비한 제2 대체적 로크 시스템(66b)의 절결을 도시하고 있다. 로크 장치(68b)는, 로크 챔버(10b)를 구비한다. 로크 장치(68b)는, 로크 조작 요소(12b)를 포함한다. 로크 조작 요소(12b)는 결합 요소(36b)를 구비한다. 로크 조작 요소(12b)는 제2 결합 요소(42b)를 구비한다. 로크 조작 요소(12b)는, 캐리어 요소(48b)를 구비한다. 결합 요소(36b)는, 이동 가능하게 지지된 캐리어 요소(48b)에 대해 이동 가능하도록, 지지 유닛(18b)에 의해 지지되어 있다. 결합 요소(36b)는, 지지 유닛(18b)에 의해, 제2 이동 경로(40.1b)를 따라, 두 대향하는 이동 방향(52b, 54b)으로 이동 가능하다. 제2 결합 요소(42b)는 지지 유닛(18b)에 의해, 그리고 제2 이동 경로(40.2b)를 따라, 두 대향하는 이동 방향(52b, 54b)으로 이동 가능하다. 제2 이동 경로(40.1b, 40.2b)는 적어도 실질적으로 호형으로 연장된다. 제2 이동 경로(40.1b, 40.2b)는 거의 4분원의 형상을 갖는 호를 형성한다. 제1 결합 요소(36b) 및 제2 결합 요소(42b)는, 이것들이 캐리어 요소(48b)에 대해 선회 가능 및/또는 절첩 가능하도록 실현된다.
10: 로크 챔버
12: 로크 조작 요소
14: 개구
16: 개구
18: 지지 유닛
20: 개구 요소
22: 개구 요소
24: 개구
26: 처리 챔버
28: 이송 챔버
30: 제어 및/또는 조정 유닛
32: 압력 접속
34: 진공 펌프
36: 결합 요소
38: 이동 경로
40: 이동 경로
42: 제2 결합 요소
44: 측부
46: 측부
48: 캐리어 요소
50: 개구면
52: 이동 방향
54: 이동 방향
56: 자석
58: 지지 위치
60: 도킹 장치
62: 고정 요소
64: 배기 장치
66: 로크 시스템
68: 로크 장치
70: 아이템
72: 밀봉 요소
74: 내부
76: 내부
78: 밀봉 요소
80: 내부
82: 밀봉 요소
84: 측부
86: 측부
88: 개구
90: 압력 덕트
92: 밸브
94: 자석
96: 방법 스텝
98: 방법 스텝
100: 압력 센서
102: 방법 스텝
104: 방법 스텝
106: 방법 스텝
108: 방법 스텝
110: 방법 스텝
112: 방법 스텝
114: 방법 스텝
116: 방법 스텝
118: 방법 스텝
120: 방법 스텝

Claims (25)

  1. 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 적어도 하나의 개구(14, 16; 14a, 16a; 14b, 16b)의 개구 상태, 바람직하게는 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 적어도 두 개구(14, 16; 14a, 16a; 14b, 16b)의 개구 상태를 적어도 조정하도록 구성된 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)를 이동 가능하게 지지하도록 구성된 지지 유닛(18, 18a; 18b)을 포함하고, 특히 진공 기밀 밀폐 가능한 적어도 하나의 로크 챔버(10; 10a; 10b)를 구비한, 로크 장치(68; 68a; 68b), 특히 진공 로크 장치에 있어서,
    상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는 적어도 반자동식으로, 그리고 조작 해제 가능하게, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와 적어도 하나의 개구 요소(20; 20a; 20b) 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 생성하도록 적어도 구성되어 있으며, 상기 개구 요소(20; 20a; 20b)는 적어도 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 상기 개구(14, 16; 14a, 16a; 14b, 16b) 및/또는 추가의 챔버(26, 28; 26a, 28a; 26b, 28b), 특히 처리 챔버(26; 26a; 26b) 또는 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)와 결합 가능한 이송 챔버(28; 28a; 28b)의 적어도 하나의 개구(24; 24a; 24b)를 폐쇄, 바람직하게는 진공 기밀 폐쇄하도록 적어도 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  2. 제1항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 적어도 반자동식으로, 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와 상기 개구 요소(20; 20a; 20b)와는 다른 적어도 하나의 제2 개구 요소(22; 22a; 22b)의 사이에 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합을 적어도 생성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  3. 제2항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는 적어도 동시에 상기 개구 요소(20; 20a; 20b) 및 상기 제2 개구 요소(22; 22a; 22b)와 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤식으로 결합하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 개구 요소(20; 20a; 20b)에 의해 폐쇄 가능한 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 상기 개구(14; 14a; 14b)와, 상기 제2 개구 요소(22; 22a; 22b)에 의해 폐쇄 가능한 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 제2 개구(16; 16a; 16b)가, 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 양 측부(84, 86; 84a, 86a; 84b, 86b)에 배치된 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  5. 제4항에 있어서, 개구(14; 14a; 14b)의 개구면(50; 50a; 50b)에 수직인 시선 방향으로, 적어도 상기 개구(14; 14a; 14b)와 상기 제2 개구(16; 16a; 16b)가 적어도 대부분 겹치는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  6. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는 적어도 상기 개구 요소(20, 22; 20a, 22a; 20b, 22b)와 적어도 자기 결합하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  7. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 적어도 상기 개구 요소(20, 22; 20a, 22a; 20b, 22b)와 조작 해제 가능한, 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 기계 결합을 하도록 적어도 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  8. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 적어도 상기 개구 요소(20, 22; 20a, 22a; 20b, 22b)와 공압 결합을 하도록 적어도 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로크 장치.
  9. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 상기 지지 유닛(18; 18a; 18b)에 의해 서로 다른 적어도 두 이동 경로(38, 40; 38a, 40a; 38b, 40b)를 따라 이동 가능하게 지지된 적어도 하나의 결합 요소(36; 36a; 36b)를 구비하는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  10. 제9항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 적어도 하나의 제2 결합 요소(42; 42a; 42b)를 포함하고, 상기 결합 요소(36; 36a; 36b)와 상기 제2 결합 요소(42; 42a; 42b)는 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)의 양 측부(44, 46; 44a, 46a; 44b, 46b)에 배치된 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 결합 요소(36, 36a; 36b) 및/또는 제2 결합 요소(42; 42a; 42b)는 적어도 상기 결합 요소(36, 36a; 36b) 및/또는 제2 결합 요소(42; 42a; 42b)를 운반하는 적어도 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)의 이동 가능하게 지지된 캐리어 요소(48; 48a; 48b)에 대해 이동 가능하도록 지지 유닛(18; 18a; 18b)에 의해 지지된 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 결합 요소(36, 36a) 및/또는 제2 결합 요소(42; 42a)는 적어도 로크 챔버(10; 10a)의 개구(14; 14a)의 개구면(50; 50a)에 적어도 실질적으로 수직으로 연장되는 이동 방향(52, 54; 52a, 54a)을 따라 지지 유닛(18; 18a)에 의해 이동 가능한 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a).
  13. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 결합 요소(36b) 및/또는 제2 결합 요소(42b)는 지지 유닛(18b)에 의해, 적어도 실질적으로 호형인 이동 경로(40.1b; 40.2b)를 따라 적어도 이동 가능하게 지지된 것을 특징으로 하는 로크 장치(68b).
  14. 제10항에 있어서, 개구 요소(20, 22; 20a, 22a; 20b, 22b)와의 결합을 위해, 상기 결합 요소(36; 36a; 36b)와 제2 결합 요소(42; 42a; 42b)는 적어도 실질적으로 서로 반대 방향인 이동 방향(52, 54; 52a, 54a; 52b; 54b)으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  15. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는, 자장에 의해, 특히 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와 상기 개구 요소(20, 22; 20a, 22a; 20b, 22b)의 사이에 적어도 부분적으로 억지 끼워 맞춤 결합을 생성하는 적어도 하나의 자석(56; 56a; 56b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  16. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)는 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)의 개구(14; 14a; 14b)의 개구면(50; 50a; 50b)에 적어도 실질적으로 평행으로 연장되는 평면 내에서 상기 지지 유닛(18; 18a; 18b)에 의해 적어도 이동 가능한 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  17. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조작 요소(12; 12a; 12b)의 상기 지지 위치(58; 58a; 58b)에서, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와, 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)와 억지 끼워 맞춤 및/또는 형상 끼워 맞춤 결합 방식으로 결합된 상기 개구 요소(20, 22; 20a, 22a; 20b, 22b)는, 개구 상태가 상기 로크 조작 요소(12; 12a; 12b)에 의해 조정 가능한 개구(14, 16, 24; 14a, 16a, 24a; 14b, 16b, 24b)와 겹침이 없는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  18. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)는, 적어도 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)에 이송 챔버(28; 28a; 28b)의 진공 기밀 도킹을 가능하게 하도록 구성된 적어도 하나의 도킹 장치(60; 60a; 60b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  19. 제18항에 있어서, 상기 도킹 장치(60; 60a; 60b)는, 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)에 대해 적어도 상기 이송 챔버(28; 28a; 28b)를 억지 끼워 맞춤식 및/또는 형상 끼워 맞춤식 보유 지지하도록 구성된 적어도 하나의 고정 요소(62; 62a; 62b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  20. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로크 챔버(10; 10a; 10b)는 적어도 하나의 배기 장치(64; 64a; 64b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 로크 장치(68; 68a; 68b).
  21. 선행항들 중 어느 한 항에 기재된 로크 장치(68; 68a; 68b), 특히 진공 로크 장치와, 특히 진공 하에서 처리 스텝의 실행을 위한 처리 챔버(26; 26a; 26b), 그리고 이송 챔버(28; 28a; 28b), 특히 진공 이송 컨테이너를 구비하는, 로크 시스템(66; 66a; 66b), 특히 진공 로크 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 상기 로크 장치(68; 68a; 68b)는 상기 처리 챔버(26; 26a; 26b)와 고정 접속되고 및/또는 상기 처리 챔버(26; 26a; 26b) 내에 적어도 부분적으로 배치된 것을 특징으로 하는 로크 시스템(66; 66a; 66b).
  23. 제21항 또는 제22항에 기재된 로크 시스템(66; 66a; 66b)의 이송 챔버(28; 28a; 28b), 특히 진공 이송 컨테이너.
  24. 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 기재된 로크 장치(68; 68a; 68b), 특히 진공 로크 장치, 및/또는 제21항 또는 제22항에 따른 로크 시스템(66; 66a; 66b), 특히 진공 로크 시스템을 조작하는 방법.
  25. 제24항에 있어서, 방법 스텝(96, 98, 102 내지 120; 96a, 98a, 102a 내지120a; 96b, 98b, 102b 내지 120b)의 적어도 하나의 시퀀스에서, 이송 챔버(28; 28a; 28b)의 내용물은 이송 챔버(28; 28a; 28b)로부터 처리 챔버(26; 26a; 26b)로, 그리고 그 역으로 상기 로크 장치(68; 68a; 68b)에 의해 운반되며, 상기 이송 챔버(28; 28a; 28b)는, 이송 챔버(28; 28a; 28b)의 압력이 상기 로크 장치(68; 68a; 68b)의 로크 챔버(10; 10a; 10b) 내의 압력과 적어도 실질적으로 동등할 때만 개방되는 것을 특징으로 하는 방법.
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