JPH0932966A - 真空ロード・アンロード方法および真空ゲートバルブならびに真空搬送容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の真空処理装置と真空搬送容器との間で
被搬送物をロード・アンロードするためには、各々真空
ゲートバルブが必要でかつロードロック室が必要で設備
機器点数が多くなっていた。 【解決手段】 本発明による真空ロード・アンロード方
法及び真空ゲートバルブならびに真空搬送容器は、真空
処理装置(9)と真空搬送容器(6)とを真空ゲートバルブ
(1)を介して接続し、真空ゲートバルブ(1)は少なくとも
１枚がステム(3)と着脱可能な２枚のシールプレート(4
a,4b)を具備し、シールプレート(4a)が真空搬送容器(6)
の開口部(7a)を直接気密状態に覆うことにより全体形状
を小形・軽量化する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、液晶、太
陽電池などの基板の製造工程において、装置間の移動に
際して高度の清浄度が要求される被搬送物のための真空
ロード・アンロード方法および真空ゲートバルブならび
に真空搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、電子デバイス構造の微細化およ
び精密化に伴い、半導体、液晶、太陽電池などの基板の
製造工程およびサンプリング（検査工程）では、清浄な
環境が要求されている。また、半導体などの基板は、大
気に晒されることにより表面に自然酸化膜が生成した
り、大気中の微粒子が付着して不良発生の原因となるた
め、製造工程およびサンプリングは真空状態で行われ、
処理装置間の搬送に際しても、真空状態に保持した容器
が使用されている。基板を処理装置間で搬送するための
従来の真空ロード・アンロード方法が図６に示されてい
る。図６において、符号２１で示されるものは真空ゲー
トバルブであり、該真空ゲートバルブ２１は、２箇所の
開口部２２ａ，２２ｂにより貫通孔を形成されたバルブ
ボディ２２と、該バルブボディ２２内において前記貫通
孔軸に直角な方向に往復動されるステム２３と、該ステ
ム２３の前記貫通孔軸方向側部（図６において右側）に
貫通孔軸に直交して配置され、ステム２３に保持される
１枚のシールプレート２４と、で構成されている。な
お、前記ステム２３は、その一端が前記バルブボディ２
２を気密状態に貫通し、該バルブボディ２２の外部に設
けられた駆動装置２５に連結されている。前記シールプ
レート２４は、前記ステム２３とともに往復動されると
ともに前記貫通孔の軸線上に位置する状態で、前記駆動
装置２５が作動して前記貫通孔の軸線方向に押出し・引
戻しされ、押出されることにより、前記バルブボディ２
２の開口部２２ｂを内側から気密状態に覆う。前記真空
ゲートバルブ２１の一方の開口部２２ｂには真空処理装
置９の開口部９ａ、他方の開口部２２ａにはロードロッ
ク室１３の一方の開口部１３ｂが気密状態に接続され、
通常シールプレート２４は一方の開口部２２ｂを気密状
態に覆い、真空処理装置９の開口部９ａを閉じている。
前記ロードロック室１３には、それぞれバルブ１０ａ，
１０ｂを介して真空ポンプ１１およびガス源１２が接続
されている。また、真空搬送容器２６は、被搬送物か挿
入・抽出されるための１箇所の開口部２６ａを形成さ
れ、該開口部２６ａの内側に前記真空ゲートバルブ２１
と同様に構成されるゲートバルブ部２６ｂを有し、該ゲ
ートバルブ部２６ｂの内側に被搬送物の収納空間２６ｃ
を有する真空容器である。

【０００３】以上の構成において、真空処理装置９と真
空搬送容器２６との間で被搬送物をロードあるいはアン
ロードするには、まず、真空搬送容器２６の開口部２６
ａをロードロック室１３の他方の開口部１３ａに気密状
態に接続する。つぎに、バルブ１０ａを開、バルブ１０
ｂを閉として真空ポンプ１１を運転し、ロードロック室
１３内の空気を吸引排気する。ロードロック室１３内が
真空処理装置９内と同等の真空度に到達した時点で、つ
ぎに、真空ゲートバルブ２１および真空搬送容器２６の
ゲートバルブ部２６ｂの駆動装置２５を作動させ、シー
ルプレート２４を引戻し、各開口部９ａ，２６ａから退
避させる。その結果、真空処理装置９と真空搬送容器２
６とはロードロック室１３を介して連通状態となり、真
空処理装置９あるいはロードロック室１３に具備された
図示しない搬送ロボットにより、真空処理装置９および
真空搬送容器６の間で被搬送物がロードまたはアンロー
ドされる。ロード・アンロードが終了すると、駆動装置
２５を作動させ、シールプレート２４を各開口部９ａ，
２６ａに進出させた後押出し、真空処理装置９および真
空搬送容器２６のそれぞれの開口部９ａ，２６ａを気密
状態に覆い、真空処理装置９および真空搬送容器２６の
収納空間２６ｃが真空状態に保持される。真空搬送容器
２６を搬送のためにロードロック室１３から分離するに
は、まず、バルブ１０ａを閉として真空ポンプ１１を停
止し、つぎに、バルブ１０ｂを開としてガス源１２から
ロードロック室１３へガスを供給し、ロードロック室１
３内部を大気圧まで昇圧し、その後、真空搬送容器２６
の開口部２６ａをロードロック室１３の他方の開口１３
ａから分離する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空ロード・ア
ンロード方法は以上のように構成されていたため、つぎ
のような課題が存在していた。すなわち、真空処理装置
と真空搬送容器との間で被搬送物をロード・アンロード
するためには、真空処理装置および真空搬送容器それぞ
れの開口部に真空ゲートバルブが必要であるとともに、
双方を連結するためのロードロック室が必要であり、設
備機器点数が多い。また、基板を収納して搬送される真
空搬送容器は真空ゲートバルブを具備しており、重量が
大きくなり、搬送される基板に比較して非常に重量の大
きな真空搬送容器を搬送しなければならない。従って、
搬送設備（例えば搬送ロボット）も能力の大きなものが
必要とされる。

【０００５】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたものであり、設備機器点数を減少し、真空
搬送容器の重量を軽減するための真空ロード・アンロー
ド方法およびそのための真空ゲートバルブならびに真空
搬送容器を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による真空ロード
・アンロード方法は、真空処理装置と真空搬送容器とが
それぞれの開口部を２枚のシールプレートを内蔵する真
空ゲートバルブを介して気密状態に接続され、前記真空
処理装置の開口部は一方の前記シールプレートにより気
密状態に仕切られ、前記真空搬送容器の開口部は他方の
前記シールプレートにより気密状態に仕切られ、前記真
空処理装置と前記真空搬送容器との間で被搬送物を移動
させる場合は、前記真空処理装置および前記真空搬送容
器の開口部が前記シールプレートにより気密状態に仕切
られた前記真空ゲートバルブの閉状態から、まず、前記
真空ゲートバルブ内を吸引排気して真空状態とし、つぎ
に、２枚の前記シールプレートを前記真空処理装置およ
び前記真空搬送容器の開口部の仕切り状態から開放し、
つぎに、２枚の前記シールプレートを開方向に退避させ
て前記真空ゲートバルブを開状態とし、前記真空搬送容
器を前記真空ゲートバルブから分離する場合は、前記真
空処理装置および前記真空搬送容器の開口部が前記シー
ルプレートにより気密状態に仕切られた前記真空ゲート
バルブの閉状態から、まず、前記真空ゲートバルブ内に
給気して大気圧とし、つぎに、前記真空搬送容器の開口
部を仕切る前記シールプレートを前記真空ゲートバルブ
から分離し、つぎに、前記開口部を前記シールプレート
で気密状態に仕切られた前記真空搬送容器を前記真空ゲ
ートバルブから分離する構成である。

【０００７】本発明による真空ゲートバルブは、真空装
置用ゲートバルブであり、貫通孔を有するバルブボディ
と、該バルブボディ内を貫通孔軸に直角な方向に往復動
されるステムと、前記貫通孔軸方向に直交する状態で前
記ステムに保持される２枚のシールプレートと、で構成
され、２枚の該シールプレートは、前記ステムとともに
往復動され、前記バルブボディの貫通孔の位置において
貫通孔軸方向両側に押出し・引戻しされるとともに、少
なくとも１枚の平板形状が前記貫通孔の軸直角面形状よ
り小さく、平板形状が前記貫通孔の軸直角面形状より小
さい前記シールプレートが前記ステムと着脱可能にされ
た構成である。

【０００８】本発明による真空搬送容器は、被搬送物を
真空状態で搬送するための容器であり、前記被搬送物を
挿入・抽出する開口部および該開口部の周囲にフランジ
部が形成された真空容器と、前記開口部を気密状態で覆
うシールプレートとよりなる構成である。

【０００９】さらに詳細には、前記シールプレートが、
前記真空ゲートバルブの着脱可能なシールプレートより
なる構成である。

【００１０】本発明による真空ロード・アンロード方法
においては、真空装置と真空搬送容器とがそれぞれの開
口部を真空ゲートバルブを介して気密状態に接続され、
それぞれの開口部がシールプレートにより気密状態に仕
切られた真空ゲートバルブの閉状態において、まず、真
空ゲートバルブ内を吸引排気して真空状態とし、つぎ
に、それぞれの開口部からシールプレートを開放し、つ
ぎに、シールプレートを開方向に退避させることによ
り、真空装置と真空搬送容器とが、開状態の真空ゲート
バルブを介して真空状態で連通した状態となり、真空装
置と真空搬送容器との間の真空雰囲気における被搬送物
の搬入・搬出が行われる。被搬送物の搬入・搬出が終了
すると、まず、シールプレートを閉方向に進出させ、そ
れぞれの開口部をシールプレートで気密状態に仕切って
真空ゲートバルブの閉状態とし、つぎに、真空ゲートバ
ルブ内に吸気して大気圧とし、つぎに、真空搬送容器の
開口部を仕切るシールプレートを真空ゲートバルブから
分離し、つぎに、真空搬送容器を真空ゲートバルブから
分離することにより、真空装置は真空状態に仕切られ、
真空搬送容器は容器内を真空状態に仕切られた状態で真
空ゲートバルブすなわち真空装置から分離され、任意の
場所に移動される。本発明による真空ゲートバルブにお
いては、貫通孔を有するバルブボディと、バルブボディ
内を貫通孔軸に直角な方向に往復動されるステムと、貫
通孔軸方向に直交する状態でステムに保持される２枚の
シールプレートとで構成され、２枚のシールプレート
は、ステムとともに往復動されるとともにバルブボディ
の貫通孔の位置において貫通孔軸方向側に押出し・引戻
しされることにより、貫通孔の両側が箇別に開閉され
る。また、２枚のシールプレートは、少なくとも１枚の
平板形状が貫通孔の軸直角面形状より小さいことによ
り、貫通孔外部の他の機器の貫通孔断面より小さいシー
ル面が気密状態に仕切られる。さらに、平板形状が貫通
孔の軸直角面形状より小さいシールプレートがステムと
着脱可能であることにより、貫通孔外部の他の機器がシ
ールプレートで仕切られた状態で真空ゲートバルブから
分離される。本発明による真空搬送容器においては、真
空容器は被搬送物を挿入・抽出する開口部および開口部
の周囲にフランジ部を形成されていることにより、開口
部を真空ゲートバルブの貫通孔に連通させるように、真
空ゲートバルブに気密状態に接続される。また、真空容
器は開口部をシールプレートにより気密状態で覆われる
ことにより、内部を気密状態に維持される。さらに、本
発明による真空搬送容器においては、真空容器の開口部
を気密状態で覆うシールプレートが真空ゲートバルブの
着脱可能なシールプレートであることにより、真空搬送
容器が真空ゲートバルブに気密状態に接続された状態
で、真空ゲートバルブの操作によりシールプレートが着
脱され、真空搬送容器の開口部が開閉される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空ロード・アンロード方法および真空ゲートバルブなら
びに真空搬送容器の好適な実施例について詳細に説明す
る。図１ないし図３は、本発明による真空ロード・アン
ロード方法の各状態を示している。図１において、符号
１で示されるものは真空ゲートバルブであり、該真空ゲ
ートバルブ１は、２箇所の開口部２ａ，２ｂにより貫通
孔を形成されたバルブボディ２と、該バルブボディ２内
において前記貫通孔軸に直角な方向に往復動されるステ
ム３と、該ステム３の前記貫通孔軸方向両側に貫通孔軸
に直交して配置され、支持部材３ａを介して前記ステム
３に保持される２枚のシールプレート４ａ，４ｂと、で
構成されている。なお、前記ステム３はその一端が前記
バルブボディ２を気密状態に貫通し、該バルブボディ２
の外側に設けられた駆動装置５に連結されている。前記
シールプレート４ａ，４ｂは、前記貫通孔の軸線上に位
置する状態で、前記駆動装置５が作動して前記支持部材
３ａが前記貫通孔軸の方向に伸縮することにより、前記
ステム３の両側貫通孔軸方向に押出し・引戻しされる。
また、一方の前記シールプレート４ａ（図１において左
側）は、その平板形状が前記バルブボディ２の開口部２
ａの軸直角断面形状より小さく、開口部２ａを通過可能
に構成されている。さらに、この一方の前記シールプレ
ート４ａは、前記駆動装置５が作動することにより、前
記支持部材３ａと着脱可能に構成されている。前記真空
ゲートバルブ１の前記シールプレート４ａが通過可能に
構成された開口部２ａには、真空搬送容器６が気密状態
に接続されている。該真空搬送容器６は、被搬送物が挿
入・抽出されるための１箇所の開口部７ａを形成され、
該開口部７ａの周囲にフランジ部７ｂが形成された真空
容器７と、該真空容器７の開口部７ａを気密状態に覆う
シールプレート８と、で構成されている。また、前記真
空搬送容器６は、前記フランジ部７ｂにより前記バルブ
ボディ２の開口部２ａの周囲に気密状態に接続され、前
記シールプレート８を前記バルブボディ２の真空ゲート
バルブ１の開口部２ａから押出されたシールプレート４
ａにより構成されている。前記真空ゲートバルブ１の他
方の開口部２ｂには、真空装置９の開口部９ａが気密状
態に接続されている。

【００１２】また、前記真空ゲートバルブ１のバルブボ
ディ２には、それぞれバルブ１０ａ，１０ｂを介して真
空ポンプ１１およびガス源１２が接続されている。図１
に示されるように、真空ゲートバルブ１を介して真空装
置９と真空搬送容器６とが気密状態で接続され、真空ゲ
ートバルブ１のステム３がバルブボディ２内に押出さ
れ、２枚のシールプレート４ａ，４ｂが貫通孔の軸線上
で貫通孔軸方向に押出され、一方のシールプレート４ａ
が一方の開口部２ａを通過して真空搬送容器６の開口部
７ａを気密状態に覆い、他方のシールプレート４ｂが他
方の開口部２ｂを内側から気密状態に覆う状態から、真
空搬送容器６に対する被搬送物のロード・アンロードが
行われる。ロード・アンロードを行うには、まず、バル
ブ１０ａを開、バルブ１０ｂを閉として真空ポンプ１１
を運転し、バルブボディ２内の空気を吸引排気する。バ
ルブボディ２内が真空処理装置９内と同等の真空度に到
達した時点で、つぎに、駆動装置５を作動させ、支持部
材３ａを縮めて２枚のシールプレート４ａ，４ｂを引戻
し（シールプレート４ａ，４ｂは両面が均圧状態にある
ので容易に開口部２ａ，７ａから分離する）、その後ス
テム３を引戻して図２に示される状態とする。図２で
は、真空搬送容器６および真空処理装置９それぞれの開
口部７ａ，９ａからシールプレート４ａ，４ｂが取り去
られ、真空ゲートバルブ１の貫通孔を介して真空状態で
連通されている。この連通状態で、真空処理装置に具備
された図示しない搬送ロボットにより、真空処理装置９
および真空搬送容器６の間で被搬送物がロードまたはア
ンロードされる。

【００１３】ロード・アンロードが終了すると、駆動装
置５を作動させ、ステム３を押出し、その後支持部材３
ａを伸ばして２枚のシールプレート４ａ，４ｂを押出
し、真空搬送容器６および真空処理装置９のそれぞれの
開口部７ａ，９ａを覆い、図１で示される状態に戻し、
真空搬送容器６および真空処理装置９は、内部を真空状
態に保持してそれぞれの開口部７ａ，９ａがシールプレ
ート４ａ，４ｂで気密状態に覆われた状態となる。真空
搬送容器６を搬送のために真空ゲートバルブ１から分離
するには、まず、バルブ１０ａを閉として真空ポンプ１
１を停止し、つぎに、バルブ１０ｂを開としてガス源１
２からバルブボディ２へガスを供給し、バルブボディ２
内部を大気圧まで昇圧する。つぎに、駆動装置５を作動
させ、支持部材３ａからシールプレート４ａを分離す
る。この状態で真空搬送容器６のフランジ部７ｂを真空
ゲートバルブ１の開口部２ａから分離することにより、
図３に示されるように真空搬送容器６は、開口部７ａを
真空ゲートバルブ１のシールプレート４ａにより気密状
態に覆われ、内部を真空に保持された状態で真空ゲート
バルブ１から分離される。分離状態の真空搬送容器６を
真空ゲートバルブ１に接続するには、図１に示されるよ
うに真空搬送容器６のフランジ部７ｂを真空ゲートバル
ブ１の開口部２ａに接続し、駆動機５を作動させてシー
ルプレート４ａを支持部材３ａに接続する。以上のロー
ド・アンロード操作において、ガス源１２は大気でもよ
いが、除湿除塵された不活性ガス（例えば窒素ガス）が
好ましい。また、真空搬送容器６の開口部７ａを覆うシ
ールプレート４ａは、真空容器７内外の圧力差により開
口部７ａに押付けられ、そのままの状態で外れることは
ないが、念のためクランプ（図示せず）を設けて外れを
防止してもよい。図１ないし図３に示されるように開口
部７ａのシールプレート４ａが当接する部分をフランジ
部７ａからシールプレート４ａの厚み分掘込み、シール
プレート４ａに外力が掛からないようにしてもよい。

【００１４】図４および図５は他の実施例を示してお
り、２枚のシールプレート４ａ，４ｂは、その平板形状
が前記バルブボディ２の開口部２ａ，２ｂの軸直角面形
状より小さく、それぞれ開口部２ａ，２ｂを通過可能に
構成されている。さらに、２枚のシールプレート４ａ，
４ｂは、駆動装置５が作動して支持部材３ａと着脱可能
に構成されている。従って、図４では、２枚のシールプ
レート４ａ，４ｂがそれぞれ真空ゲートバルブ１の開口
部を通過して真空搬送容器６の開口部７ａ、真空処理装
置９の開口部９ａを気密状態で覆っている。この状態で
駆動装置５を作動させ、支持部材３ａからシールプレー
ト４ａ，４ｂを分離すると、図５に示されるように、真
空搬送容器６、真空ゲートバルブ１および真空処理装置
９を分離することが可能となる。

【００１５】

【発明の効果】本発明による真空ロード・アンロード装
置および真空ゲートバルブならびに真空搬送容器は、以
上のように構成されているため、つぎのような効果を得
ることができる。 (1) ２枚のシールプレートを具備した１台の真空ゲー
トバルブを使用することにより、この１台の真空ゲート
バルブのステムを操作して真空処理装置および真空搬送
容器の開口部を同時に開閉することが可能となった。 (2) 真空ゲートバルブのシールプレートの平面形状を
真空ゲートバルブの貫通孔の軸直角面形状より小さくす
るとともに、ステムと着脱可能に構成されていることに
より、真空搬送容器あるいは真空処理装置の開口部をシ
ールプレートで覆うとともに、真空ゲートバルブから分
離することが可能となった。 (3) ステムと着脱可能な２枚のシールプレートを具備
した１台の真空ゲートバルブを使用することにより、真
空搬送容器には真空ゲートバルブが不要となり、ロード
ロック室が不要となり、真空ロード・アンロード装置の
設備機器点数が減少した。 (4) 真空搬送容器は、その開口部が真空ゲートバルブ
に代わってシールプレートで覆われることにより、重量
および形状が大きく減少し、搬送設備も小形のものが使
用されるようになった。 (5) ロード・アンロードの際の吸引排気容積が減少
し、大気からの汚染の影響が減少するとともに、排気お
よび給気に要する時間が短縮され、製造工程およびサン
プリングの生産性を向上させることが可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例において、真空ロード・ア
ンロード方法におけるシールプレート閉状態を示す構成
断面図である。

【図２】図１のシールプレート開状態を示す構成断面図
である。

【図３】図１の真空搬送容器分離状態を示す構成断面図
である。

【図４】本発明による他の実施例において、真空ロード
・アンロード方法におけるシールプレート閉状態を示す
構成断面図である。

【図５】図４の分離状態を示す構成断面図である。

【図６】従来の真空ロード・アンロード方法を示す構成
断面図である。

【符号の説明】

１，２１，２６ｂ 真空ゲートバルブ ２ バルブボディ ２ａ，２ｂ，２２ａ，２２ｂ 開口部（バルブボディ
の） ４ａ，４ｂ，８，２４ シールプレート ６，２６ 真空搬送容器 ７ａ，２６ａ 開口部（真空搬送容器の） ９ 真空処理装置 １３ ロードロック室

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空処理装置(9)と真空搬送容器(6)とが
   それぞれの開口部(9a,7a)を２枚のシールプレート(4a,4
   b)を内蔵する真空ゲートバルブ(1)を介して気密状態に
   接続され、前記真空処理装置(9)の開口部(9a)は一方の
   前記シールプレート(4b)により気密状態に仕切られ、前
   記真空搬送容器(6)の開口部(7a)は他方の前記シールプ
   レート(4a)により気密状態に仕切られ、 前記真空処理装置(9)と前記真空搬送容器(6)との間で被
   搬送物を移動させる場合は、前記真空処理装置(9)およ
   び前記真空搬送容器(6)の開口部(9a,7a)が前記シールプ
   レート(4b,4a)により気密状態に仕切られた前記真空ゲ
   ートバルブ(1)の閉状態から、まず、前記真空ゲートバ
   ルブ(1)内を吸引排気して真空状態とし、つぎに、２枚
   の前記シールプレート(4b,4a)を前記真空処理装置(9)お
   よび前記真空搬送容器(6)の開口部(9a,7a)の仕切り状態
   から開放し、つぎに、２枚の前記シールプレート(4a,4
   b)を開方向に退避させて前記真空ゲートバルブ(1)を開
   状態とし、 前記真空搬送容器(6)を前記真空ゲートバルブ(1)から分
   離する場合は、前記真空処理装置(9)および前記真空搬
   送容器(6)の開口部(9a,7a)が前記シールプレート(4b,4
   a)により気密状態に仕切られた前記真空ゲートバルブ
   (1)の閉状態から、まず、前記真空ゲートバルブ(1)内に
   給気して大気圧とし、つぎに、前記真空搬送容器(6)の
   開口部(7a)を仕切る前記シールプレート(4a)を前記真空
   ゲートバルブ(1)から分離し、つぎに、前記開口部(7a)
   を前記シールプレート(4a)で気密状態に仕切られた前記
   真空搬送容器(6)を前記真空ゲートバルブ(1)から分離す
   る、ことを特徴とする真空ロード・アンロード方法。
2. 【請求項２】 真空装置用ゲートバルブであり、貫通孔
   を有するバルブボディ(2)と、該バルブボディ(2)内を貫
   通孔軸に直角な方向に往復動されるステム(3)と、前記
   貫通孔軸方向に直交する状態で前記ステム(3)に保持さ
   れる２枚のシールプレート(4a,4b)と、で構成され、２
   枚の該シールプレート(4a,4b)は、前記ステム(3)ととも
   に往復動され、前記バルブボディ(2)の貫通孔の位置に
   おいて貫通孔軸方向両側に押出し・引戻しされるととも
   に、少なくとも１枚の平板形状が前記貫通孔の軸直角面
   形状より小さく、平板形状が前記貫通孔の軸直角面形状
   より小さい前記シールプレート(4a,4b)が前記ステム(3)
   と着脱可能に構成されていることを特徴とする真空ゲー
   トバルブ。
3. 【請求項３】 被搬送物を真空状態で搬送するための容
   器であり、前記被搬送物を挿入・抽出する開口部(7a)お
   よび該開口部(7a)の周囲にフランジ部(7b)が形成された
   真空容器(7)と、前記開口部(7a)を気密状態で覆うシー
   ルプレート(8)と、で構成されていることを特徴とする
   真空搬送容器。
4. 【請求項４】 前記シールプレート(8)が、請求項２記
   載の真空ゲートバルブ(1)の着脱可能なシールプレート
   (4a)であることを特徴とする請求項３記載の真空搬送容
   器。