JP2002368075A

JP2002368075A - 容器および容器の封止方法

Info

Publication number: JP2002368075A
Application number: JP2001173474A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Suzuki; 仁鈴木; Shigeki Ishiyama; 茂樹石山; Toshihiko Miyajima; 俊彦宮嶋; Hiroshi Igarashi; 宏五十嵐; Tsutomu Okabe; 勉岡部
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-06-08
Filing date: 2001-06-08
Publication date: 2002-12-20

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】環状真空吸着用空間を用いて封止を行う容器
の封止保持能力を改善する。【解決手段】一面に開口を有する容器本体１０と容器
本体の開口を閉鎖する蓋２０とを有する容器であって、
容器本体または蓋の少なくとも一方には開口を取り囲む
ように環状溝２１が形成されており、これにより蓋が容
器本体開口を閉鎖した際に蓋と容器本体との間に開口を
取り囲む環状の真空吸着用空間が形成され、環状の真空
吸着空間を真空排気することによって蓋を容器本体に吸
着させて容器を封止する容器において、この環状の真空
吸着用空間に連通する拡張真空空間１３を設けることに
より、真空吸着用空間の容積を増大させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は高い密閉性を有する
容器および容器の封止方法に関わる。本発明は特に半導
体、電子部品関連製品、光ディスク等の製造プロセスに
おける半導体ウエハ等の種々の被処理物品をクリーンな
状態で移送または保存するためのクリーンボックスに好
適に適用できる。

【０００２】

【従来の技術】近年半導体デバイス製造等の高度のクリ
ーン環境を必要とする製造工程において、工場全体をク
リーンルーム化するのではなく、製品の周囲環境のみを
クリーンな状態にするというミニエンバイロンメント
（微少環境）あるいは局所クリーン空間という手法が行
われている。これは簡単に言えば、製造工程内のそれぞ
れの処理装置内部のみをクリーン環境とし、各処理装置
（即ちクリーン装置）どうしの間での被処理物品の運搬
および保管を、内部をクリーンにした容器（クリーンボ
ックスあるいはポッドと称される）を用いて行う、とい
うものである。

【０００３】クリーンボックスは通常、一面に開口した
略方形のボックス本体と、該ボックス本体を封止する着
脱式の蓋とを有する。クリーンボックスにおいては、外
部からの塵埃等の侵入を防止しボックス内部をクリーン
に保つために、蓋と本体との間を有効にシールしなけれ
ばならない。

【０００４】従来、ボックス本体と蓋との間のシールを
もたらす方法として、蓋を閉じた状態でボックス本体の
開口を取り囲むように、ボックス本体側または蓋上にＯ
リング等の弾性のシール部材を取り付け、ボックス本体
と蓋との間で作用するラッチ機構などのメカニカルな機
構によりシール部材を変形させることでシール力を得る
ことが行われていた。

【０００５】しかしながらこのような機構では得られる
シール力に限界があり、所望のシール力が得られない場
合がある。たとえば半導体デバイスの製造過程で用いら
れるクリーンボックスでは、ボックスに収納した半導体
ウエハの自然酸化を防止するためにボックス内を非酸化
性の気体で置換する場合があるが、従来のクリーンボッ
クスのシール方式ではシールが不十分で気体の置換状態
を長い時間維持できない等の問題があった。

【０００６】それに対して本件と同一の出願人により、
ボックスと蓋との間を真空吸着を用いてシールする方法
が提案されている（特開平10-3211696）。これはボック
ス本体と蓋とのあいだにボックス本体の開口を取り巻く
環状の吸着空間が形成されるようにし、該吸着空間を真
空排気することによりボックス本体と蓋とのシールを実
現するものである。この方式の一例を図７および図８を
用いて簡単に説明する。図７および図８に底面に開口を
有する真空吸着式のクリーンボックスを示す。図７はク
リーンボックスの側面断面図、図８は蓋の平面図であ
る。

【０００７】図７に示すようにクリーンボックス１００
はその一つの断面（図７の例では底面）に開口する略方
形のボックス本体１０１と該ボックス本体１０１の開口
を封止する蓋１０２とからなる。図１に示した例では蓋
１０２上には、ボックスに収納される半導体ウエハを等
間隔に重ねて保持するための棚状のキャリア１０３が固
定されている。蓋１０２のボックス本体に面する面（上
面）の周縁部には真空吸着用の環状溝１１０が形成され
ている。図８に示されるように、環状溝１１０の外側と
内側には環状溝１１０に沿ってそれぞれ弾性シール部材
としてのＯリングが取り付けられている。蓋１０２がク
リーンボックス本体１０１の開口を閉じている図７に示
した状態において、環状溝１１０とボックス本体のフラ
ンジ部１０１ａにより形成される吸着空間、即ちボック
ス本体のフランジ部により上部を閉じられた環状溝１１
０の内部の空間を真空排気することにより、蓋１０２を
ボックス本体１０１に吸着する。吸着空間の真空排気は
環状溝１１０に連通して設けられた気体通路１１２を通
じて、不図示の手段により蓋の裏面より行う。

【０００８】このようにして環状溝内を排気することに
より、蓋１０２がクリーンボックス本体１０１のフラン
ジ部１０１ａに吸着され、緊密なシールが得られる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上に説明した環状の
吸着空間を用いた真空吸着式の容器封止方式はシール力
がきわめて強く、密閉性に優れた方式である。しかし、
装置および保管スペースの省スペース化等の要請により
上に説明したボックス本体のフランジ部の縮小が望まれ
ており、環状吸着空間の設置スペースも狭まっている。
そのため真空吸着空間の容積が減少し、封止状態の保持
時間の低下を招いている。

【００１０】またこの環状吸着空間を用いた真空吸着式
の容器（封止方法）は優れたシール力を有するが、もち
ろん真空漏れが皆無ではないので、シールが長時間にわ
たると吸着空間の真空度が低下し、それに伴ってシール
力も低下する。よってこの方式による封止状態の保持時
間にはある限界があるが、容器内に保管される物品によ
ってはより長い封止保持時間が要求される。

【００１１】本発明は以上のような課題に鑑みてなされ
なものであり、従来の環状吸着空間を用いた真空吸着式
の容器よりも長期の封止保持能力を有する容器および容
器の封止方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の容器は一面に開口を有する容器本体と該容
器本体の開口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容
器本体または蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲
むように環状溝が形成されており、これにより蓋が容器
本体開口を閉鎖した際に蓋と容器本体との間に開口を取
り囲む環状の真空吸着用空間が画成され、かつ容器は真
空吸着用空間に連通する拡張真空空間と、真空吸着空間
と拡張真空空間とを外部から真空排気／真空解除するた
めの吸排気口手段を有することを特徴とする。

【００１３】このように拡張真空空間を設けているの
で、吸着用空間の容積が拡大され、それに伴って吸着用
空間の圧力上昇速度が低下するので、封止の保持時間が
延長される。上記の拡張真空空間は例えば、容器本体の
側壁の少なくとも一部を間に空間を挟む内壁と外壁の二
重壁で構成し、該内壁と外壁との間の空間を拡張真空空
間とすることができる。

【００１４】また本発明の別の態様による容器は、一面
に開口を有する容器本体と該容器本体の開口を閉鎖する
蓋とを有する容器であって、容器本体または蓋の少なく
とも一方には前記開口を取り囲むように環状溝が形成さ
れており、これにより蓋が容器本体開口を閉鎖した際に
蓋と容器本体との間に開口を取り囲む環状の真空吸着用
空間が画成される。この容器は更に、容器本体に取り付
けられた真空タンク装置を備え、該真空タンク装置は真
空吸着用環状空間と連通するタンクを有していることを
特徴とする。

【００１５】好適には前記真空タンク装置は容器本体に
対して着脱可能に構成する。この場合タンクサイズの異
なる複数の真空タンク装置を準備しておき、必要な封止
保持時間に応じて真空タンク装置を選択することもでき
る。

【００１６】好適には容器本体に真空吸着用環状溝に接
続された開閉可能な容器閉止弁を設け、また真空タンク
装置にはタンクに接続された開閉可能なタンク閉止弁を
設け、容器と真空タンク装置とを前記容器閉止弁および
タンク閉止弁を介して接続し、環状の真空吸着用空間と
タンクとが容器閉止弁およびタンク閉止弁が共に開かれ
ているときに互いに連通するようにする。

【００１７】また本発明による容器システムは、一面に
開口を有する容器本体と容器本体の開口を閉鎖する蓋と
を有する容器であって、容器本体または蓋の少なくとも
一方には前記開口を取り囲むように環状溝が形成されて
おり、これにより該蓋が容器本体開口を閉鎖した際に蓋
と容器本体との間に該開口を取り囲む環状の真空吸着用
空間が画成され、かつ前記環状の真空吸着用空間と連通
するタンクを有する真空タンク装置を着脱可能に取り付
ける手段を有する容器と、該容器に着脱可能に取り付け
られる真空タンク装置であって、容器に取り付けられた
ときに前記環状の真空吸着用空間と連通するタンクを有
する真空タンク装置とからなる容器システムである。

【００１８】この容器システムで真空タンク装置はタン
クのサイズの異なる複数の真空タンク装置を含むように
すれば、必要とされる封止保持時間に応じて真空タンク
装置を選択することができるので好適である。

【００１９】本発明の容器封止方法は、一面に開口を有
する容器本体と容器本体の開口を閉鎖する蓋とを有する
容器であって、容器本体または蓋の少なくとも一方には
前記開口を取り囲むように環状溝が形成されており、こ
れにより蓋が容器本体開口を閉鎖した際に該蓋と容器本
体との間に開口を取り囲む環状の真空吸着用空間が画成
され、容器は更に環状の真空吸着空間を外部から真空排
気／真空解除するための開閉可能な吸排気口手段と前記
環状の真空吸着用空間と連通するタンクを有する着脱可
能な真空タンク装置とを有する容器の封止方法であっ
て、真空タンク装置が容器に取り付けられかつ蓋を容器
本体に取り付けた状態で吸排気口手段より前記環状の真
空吸着用空間およびそれに連通する真空タンク装置の前
記タンクとを真空排気することによって容器を封止し、
時間経過により環状の真空吸着用空間の真空度が低下し
た際に真空タンク装置をあらかじめタンク内部を真空に
した別の真空タンク装置に交換することによって前記環
状の真空吸着用空間の真空度を回復することを特徴とす
る。

【００２０】この封止方法で、真空タンク装置は、容器
本体に設けられ前記環状の真空吸着用空間に接続された
開閉可能な容器閉止弁と真空タンク装置に設けられタン
クに接続された開閉可能なタンク閉止弁とを介して容器
に取り付けられ、真空タンク装置の交換の際にはまず容
器閉止弁とタンク閉止弁とを閉鎖し、真空タンク装置を
あらかじめ内部を真空にした別の真空タンク装置に交換
し、そして該別の真空タンク装置のタンク閉止弁と前記
容器閉止弁を開くようにすることができる。

【００２１】また本発明のまた別の態様による容器の封
止方法は、一面に開口を有する容器本体と容器本体の開
口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容器本体また
は蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲むように環
状溝が形成されており、これにより蓋が容器本体開口を
閉鎖した際に蓋と容器本体との間に開口を取り囲む環状
の真空吸着用空間が画成され、容器は更に環状の真空吸
着用空間と連通するタンクを有する着脱可能な真空タン
ク装置とを有し、真空タンク装置は容器本体に設けられ
環状の真空吸着用空間に接続された開閉可能な容器閉止
弁と真空タンク装置に設けられタンクに接続された開閉
可能なタンク閉止弁とを介して容器に取り付けられる容
器の封止方法であって、あらかじめタンク内部を真空に
してタンク閉止弁を閉じておいた真空タンク装置を容器
に取り付け、蓋を容器本体に取り付けて開口を閉鎖した
状態でタンク閉止弁および容器閉止弁を共に開いた状態
になし、これによりタンク内部と環状の真空吸着用空間
とを連通させて真空吸着用空間内の圧力を低下させて蓋
を容器本体に吸着させて容器を封止する容器封止方法で
ある。

【００２２】この容器封止方法において、時間経過によ
り環状の真空吸着用空間の圧力が上昇した場合に、真空
タンク装置をあらかじめタンク内部を真空にした別の真
空タンク装置に交換することによって環状の真空吸着用
空間の圧力を低下させ、封止能力を回復させることもで
きる。

【００２３】なお以上に説明した本発明の容器、容器シ
ステム、および容器封止方法は、半導体デバイス製造過
程等で用いられるクリーンボックスに最も好適に用いら
れるものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下において図面を参照して本発
明の実施の形態を説明する。図１は本発明の容器の一つ
の実施形態である半導体製造プロセスにおいてクリーン
ボックスとして用いられる容器の断面図である。この容
器は半導体デバイス製造プロセスにおいて半導体ウエハ
の搬送および保存（保管）に用いられるものである。

【００２５】容器１は底面が開口した略方形の容器本体
１０とその開口を閉止する蓋２０とで構成される。容器
本体の側壁は内側壁１１と外側壁１２の二重構造となっ
ており、その間に空間１３が形成されている。空間１３
内には、数カ所に内側壁１１と外側壁１２とをつなぐ補
強のためのリブ１４が設けられている。なおそれぞれの
リブ１４は空間１３を別々の空間に分断してしまうこと
のないように少なくとも一カ所で不連続とする。空間１
３は容器の封止時には真空とされるので、大気圧のため
に空間１３がつぶされないためにリブ１４が必要となる
が、リブの数、位置、大きさ、形状などは図示の例に限
定されず、容器本体の強度、空間１３に加えるべき真空
の程度などに応じて適宜決められるべきものである。

【００２６】容器本体の内壁１１と外側壁の下端面はボ
ックスの下部開口を取り巻く内周フランジ１１ａと外周
フランジ１２ａとを形成する。内周フランジ１１ａと外
周フランジ１２ａとの間には空間１３に連通する複数の
連絡路１５（図２）が開口周囲に沿って間欠的に開口し
ている。蓋２０が容器本体の開口を閉鎖する際には蓋上
面の周縁部がこれら内周フランジ１１ａおよび外周フラ
ンジ１２ａに当接する。（詳しくは図２に関連して後に
説明する）

【００２７】容器１の蓋２０はほぼ正方形の板状の形態
である。蓋の上面上には半導体ウエハを収容するキャリ
ア５が固定されている。キャリア５は棚状の構造体であ
り、多数のウエハをほぼ等間隔で収容するようになされ
ている。図１に示すように、蓋２０を容器本体１０に取
り付けた際にはキャリアは容器１０内部に収容される。

【００２８】蓋２０の上面の周縁部付近には環状溝２１
が設けられている。環状溝２１は、蓋２０を容器本体１
０に取り付けた際に容器本体１０の上記複数の連絡路１
５が環状溝２１と整列するような位置に設けられてい
る。さらに環状溝２１に隣接する内側と外側にはそれぞ
れ溝２３，２４を設け、それぞれの中にシール用のＯリ
ング２５，２６を設置している。

【００２９】図３は蓋２０を上から見た平面図である。
蓋２０の周囲に環状溝２１が形成され、その内側および
外側に環状のＯリング２５および２６がそれぞれ設置さ
れている様子が示されている。環状溝２１の底部の一カ
所には環状溝２１およびそれに連通する拡張真空吸着空
間１３を真空排気／真空解除するための真空排気路２２
に連絡する孔２２ａが設けられている。

【００３０】図２は容器本体２０と蓋２０の周縁部のみ
を側面から見た断面図として拡大して示している。この
図は上述の蓋２０に形成された真空排気路２２を含む断
面である。

【００３１】図２からわかるように、環状溝２１の底面
側には蓋２０下面に連通する真空排気路２２が形成され
ている。この真空排気路２２の蓋下面側の端部には開閉
可能な吸排気口手段としての気密ポート２８が設けられ
ている。気密ポート２８はシールを有する閉止部材３１
がばね３２に付勢されて押しつけられた状態で真空排気
路２２を閉止している。閉止部材３１に固定されたフッ
ク部３３を外部の真空吸排気装置により下方に引くこと
により気密ポート２８を開くことができる。以上に説明
した気密ポート２８および真空排気路２２を通じて環状
溝２１内の空間、およびその空間に連絡路１５を介して
連通する空間１３の真空排気および真空解除（大気開
放）を行う。なお、半導体製造過程において用いられる
クリーンボックスの場合、気密ポート２８を介しての真
空排気／真空解除は半導体処理装置にクリーンボックス
を取り付けるためのロードポートと呼ばれる装置により
行われる。

【００３２】図２からわかるように、蓋２０を容器本体
１０に設置した状態で、蓋２０の吸着用環状溝２１が容
器本体の連絡路１５と整列する。またこのとき、環状溝
２１の内側に設置されたＯリング２５は内側壁１１下部
の内周フランジ１１ａに、また環状溝２１の外側に設置
されたＯリング２６は外側壁１２下部の外周フランジ１
２ａにそれぞれ接している。

【００３３】従来の環状溝を備える容器あるいはクリー
ンボックスでは本実施形態における環状溝２１に相当す
る空間のみが吸着用の真空空間とされていたが、本実施
形態の容器では環状溝２１が連絡路１５を介して空間１
３に連通しているので、環状溝２１内の環状の真空吸着
用空間を真空排気すると空間１３も真空排気される。即
ち空間１３が吸着空間を拡張する拡張真空吸着空間を構
成しており、これにより環状溝のみを真空排気する場合
に比べて真空吸着用空間の容積を数倍あるいは数十倍に
増大することすることができる。これに比例して容器の
封止保持時間も従来の容器に比べて大幅に延長される。

【００３４】以上に説明した実施形態では容器本体１０
の側面を全周にわたって二重壁（内側壁１１と外側壁１
２）としている、言い換えると４つの側面の全てを二重
壁としてる。しかし二重壁とする面を減らして、３面、
２面あるいは１面のみを二重壁としてもよい。但し二重
壁とする面の数を増やす程、真空吸着用の空間の容積が
増すので、容器の封止時間を長くすることができる。

【００３５】また本実施形態では容器本体の側面を二重
壁とし、その間の空間１３を環状溝に連通する拡張真空
吸着空間としている。しかしながら本発明はこれに限定
されず、容器のその他の部位に吸着用環状溝の作る吸着
空間と連通する空間を設けることも可能である。例えば
拡張真空吸着空間を容器本体内部でウエハキャリアと干
渉しない角隅部に設けてもよいし、蓋を中空とすること
で蓋の内部に設けてもよい。

【００３６】また上記実施形態では、蓋２０の周縁部に
環状溝２１を形成し、これにより蓋と容器本体との間の
吸着用環状空間を画成しているが、環状溝を蓋に設けず
に、容器本体側に設けることも可能である。要するに本
発明においては、蓋を容器本体に取り付けた状態（即ち
蓋が容器本体の開口を閉鎖した状態）において、蓋と容
器本体との間に容器本体の開口を取り囲むような環状の
真空吸着用空間が形成され、かつ容器本体または蓋に該
吸着用環状空間に連通する拡張真空吸着空間が形成され
ればよい。

【００３７】また上記実施形態では吸着用環状空間をシ
ールするために環状溝の内側および外側にＯリングを設
けている。しかしながらシールするための部材を環状溝
内に設けることも可能である。そのような構成を図４に
示す。図４において図２と同様の部分には同じ参照符号
を付している。図４の構成では吸着用環状溝２９の中に
断面が亜鈴形のゴム製シール部材３０が設置されてい
る。このシール部材３０は図示の幅方向断面の両端部に
おいて肉厚になされ、それらを連結する中央部が薄肉に
なされている。そしてその両端の厚肉部においてシール
を行いつつ、中央薄肉部において吸着空間が確保され
る。中央薄肉部には間欠的に穴があけられ、シール部材
上下の空間どうしを連通をさせている。このタイプのシ
ール部材を用いた真空吸着方式については、同じ出願人
による特開2001-2145号公報に詳しく記載されている。

【００３８】上記実施形態では吸着用空間の真空排気／
真空解除を蓋２０に設けた真空排気路２２を介して蓋２
０の下面側から行っているが、本発明はこのような構成
に限らず、その他適宜の位置に真空排気／真空解除用の
ポートを設けてもよい。例えば、容器本体の側面にポー
トを設けて拡張真空空間１３から真空排気／真空解除を
行うこともできる。

【００３９】続いて図５を参照して本発明の第２の実施
形態としての容器を説明する。この実施形態の容器は拡
張真空空間を着脱式の真空タンクを用いて構成する形態
である。

【００４０】図５において図１乃至３に示した第１の実
施形態と同様の要素には同様の参照符号を付して説明を
省略する。この容器は容器本体５１の底面開口部周囲の
フランジ部の外側に容器閉止弁５２を有している。蓋２
０が容器本体５１を閉鎖している状態において、閉止弁
５２はフランジ部に形成された貫通孔５４を介して蓋２
０上の環状溝２１と連通するように接続されている。
（なお蓋２０の構成は上に説明した第１の実施形態のも
のと同様であるので説明は省略する。）該容器閉止弁５
２にチューブ６４を介して着脱可能に真空タンク装置６
０が取り付けられる。真空タンク装置６０は内部に空間
６５を有するタンク６４とその下部に設けられたタンク
閉止弁６２を有する。このタンク閉止弁６２と容器閉止
弁５２とがチューブ６４を介して着脱可能にかつ気密に
接続される。なお各閉止弁５２，６２およびチューブ６
４は外部に対して気密シールされることは言うまでもな
い。ここでは容器閉止弁５２とチューブ６４とが真空タ
ンク装置６０を容器本体に着脱可能に取り付ける手段を
構成するが、この着脱可能な取り付け手段はこれに限定
されず、様々な構成があり得る。例えば、真空タンク装
置６０を着脱可能に取り付けるだけであれば、容器閉止
弁５２は省略可能である。

【００４１】真空タンク装置６０を容器に取り付けた状
態において容器閉止弁５２およびタンク閉止弁をともに
開くことにより、これら閉止弁とチューブ６４とを介し
て蓋２０の真空吸着用環状溝２１（正確には環状溝２１
と容器本体のフランジ部とにより画成される環状の真空
吸着用空間）とタンク６４内の空間６５とが連通する。
これによりタンク６４内の空間６５を拡張真空吸着空間
として機能させることができる。環状溝２１とタンクの
空間６５とは上記第１の実施形態の場合と同様に、環状
溝から外部に通ずる真空排気路２２を通じて真空排気／
真空解除することができる。

【００４２】図５に示した例では容器が対向する側面に
設けられた２つの容器閉止弁５２を有し、それぞれに真
空タンク装置６０が取り付けられている。しかしながら
容器閉止弁５２の数はこれに限定されず、１つのみでも
よいしまた３つ以上設けてもよい。また取り付ける真空
タンク装置６０の数もそれに応じて増減させることがで
きるが、必ずしも全ての閉止弁５２に真空タンク装置６
０を取り付ける必要はない。即ちたとえば２つの容器閉
止弁５２を有する容器に対して真空タンク装置６０を一
つのみ取り付けても容器は動作可能である。この場合真
空タンク装置６０を取り付けていない閉止弁５２は閉じ
ておく。もちろん、取り付ける真空タンク装置６０の数
が多いほど拡張真空空間の容積が大きくなるので、より
良好な封止性能が得られる。言い換えると要求される封
止性能（封止保持時間）に応じて真空タンク装置６０の
数を変えることができる。

【００４３】また異なるサイズのタンク６４（内部の空
間６５の容積も異なる）を有する複数の真空タンク装置
６０を用意しておいて容器システムを構成し、要求され
る封止保持時間に応じて取り付ける真空タンク装置６０
の大きさを変えることも可能である。もちろんタンク内
の空間６５の容積が大きいほど良好な封止性能（即ち長
期の封止保持時間）が得られる。

【００４４】なお図５に示した例では容器本体５１が容
器閉止弁５２を有し、真空タンク装置６０がタンク閉止
弁を有しているが、これらの閉止弁は必ずしも必要では
なく、蓋を閉じた際に蓋２０（の環状溝２１）と容器本
体５１のフランジ部との間に形成される環状吸着空間と
真空タンク装置のタンク内部空間６５とが気密に連通す
るように構成されていれば閉止弁はなくともよい。

【００４５】この第２の実施形態の構成の応用例とし
て、真空タンク装置のタンク内空間６５を容器への取り
付け前にあらかじめ真空にしておいた真空タンク装置を
用いることができる。これにより例えば容器を環状溝２
１の真空吸着により封止している際に、時間と共に環状
溝の真空度が低下しても、真空タンクをあらかじめ内部
を真空にしたタンクと交換することにより、真空度を回
復することができる。このようにして例えば所定時間ご
とにあらかじめ内部を真空にした真空タンクに交換する
ことにより、容器の封止保持能力を半永久的に保ち続け
ることができる。

【００４６】この真空タンクの交換は、まず容器閉止弁
５２とタンク閉止弁６２とを閉じる、続いて真空タンク
６０を取り外し、あらかじめ内部を真空にした真空タン
ク６０を代わりに取り付ける、その後タンク閉止弁６
２，容器閉止弁５２を共に開く、という手順で行うこと
ができる。なお以上の説明からわかるように、この応用
例においては、容器閉止弁５２およびタンク閉止弁は必
須となる。

【００４７】またあらかじめ内部を真空にしておいた真
空タンクを用いることで環状溝２１を真空排気／真空解
除するための真空排気路および気密ポートを省略して環
状溝内即ち環状の真空吸着用空間内を真空化（低圧化）
することもできる。そのような構成を図６に示す。これ
は図５に示す構成から真空排気路２２をなくしたもので
ある。この容器を用いた蓋の真空吸着封止は以下のよう
にして行う。

【００４８】容器本体５１の容器閉止弁５２に、あ
らかじめ内部を真空にしておいた真空タンク装置６０を
取り付ける。この際当然タンク閉止弁６２は閉じた状態
としておく。容器閉止弁５２は開いていても閉じていて
もよい。

【００４９】蓋２０を容器本体５１の開口を塞ぐよ
うに容器本体５１にとりつけ、環状溝を形成された蓋の
周囲部分を容器本体の開口周りのフランジ部に密着させ
る。

【００５０】タンク閉止弁６２と、もし閉じられて
いれば容器閉止弁５２とを開く。

【００５１】以上の操作により、環状溝と容器本体のフ
ランジ部により画成される環状吸着空間が真空タンク装
置６０のタンク内の真空に連通し、これにより環状吸着
空間の真空度が高まり、該空間内外の圧力差により蓋２
０が容器本体５１（のフランジ部）に吸着される。なお
上記およびの工程は順序を逆にしてもよい。

【００５２】この後上記の応用例と同様に、所定時間経
過後に真空タンク装置を、あらかじめ内部を真空にした
別の真空タンク装置に交換することで封止時間を延長す
ることもできる。

【００５３】以上に説明したいくつかの実施形態の容器
はそれらの下面に開口を有するクリーンボックスであっ
たが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば側
面側に開口を有するクリーンボックスに対しても本発明
を適用することができる。

【００５４】また以上全ての実施形態は半導体デバイス
の製造プロセスにおいて半導体ウエハの移動・保管に用
いられるクリーンボックスを例として説明したが、本発
明の容器、容器システム、容器封止方法はこれに限ら
ず、高性能の封止を必要とする様々な用途の容器に適用
することができる。

【００５５】

【発明の効果】本発明の容器においては蓋と容器本体と
の間に形成される環状の真空吸着用空間に連通する拡張
真空吸着空間を設けることにより真空吸着空間の容積を
増大させているので、吸着による封止保持時間を延長す
ることができる。

【００５６】また、容器に対してその環状の真空吸着用
空間に連通するタンクを有する別体の真空タンク装置を
着脱可能に取り付ける構成をとり、タンクサイズの異な
る複数の真空タンク装置から必要とされる封止保持時間
に応じた真空タンク装置を選択して取り付けることで、
所望の封止保持時間にあわせた真空吸着封止が可能とな
る。

【００５７】また、容器に取り付けた真空タンク装置
を、あらかじめタンク内部を真空にした真空タンク装置
と交換することにうより、容器の真空吸着による封止保
持時間を延長することができ、また交換を繰り返すこと
で半永久的に容器の封止状態を保持し続けることができ
る。

【００５８】また、容器に対してその環状の真空吸着用
空間と連通するタンクを有する真空タンク装置を着脱可
能とし、かつ容器本体に環状の真空吸着用空間に接続さ
れた開閉可能な容器閉止弁を設け、また真空タンク装置
にタンクに接続された開閉可能なタンク閉止弁を設け、
それら閉止弁を介して真空タンク装置を容器に取り付け
るようにする構成とすれば、あらかじめタンク内部を真
空にしたタンクを取り付けるだけで環状の真空吸着用空
間内を真空（低圧）にすることができる。即ちこのよう
な構成では環状の真空吸着用空間を真空排気／真空解除
するための吸排気口を別途設ける必要はなく、また真空
排気／真空解除のための特別な外部装置も必要としな
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態としての容器（クリーンボッ
クス）の側面断面図である。

【図２】図１に示した容器の周縁部の拡大断面図であ
る。

【図３】図１に示した容器の蓋の上面図である。

【図４】図１に示した容器の変形例であり亜鈴型のシー
ル部材を用いた容器の周縁部の拡大断面図である。

【図５】本発明の別の実施形態である真空タンク装置を
有する容器（クリーンボックス）の側面断面図である。

【図６】図５に示した容器の変形例を示す側面断面図で
ある。

【図７】従来の真空吸着方式の封止機構を有するクリー
ンボックスの側面断面図である。

【図８】図１に示した従来のクリーンボックスの蓋の上
面図である。

【符号の説明】

１容器（クリーンボックス）５キャリア１０容器本体１１内側壁１２外側壁１３空間（拡張真空空間）２０蓋２１環状溝２２真空排気路５０容器５１容器本体５２容器閉止弁６０真空タンク装置６２タンク閉止弁６４タンク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮嶋俊彦東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内 (72)発明者五十嵐宏東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内 (72)発明者岡部勉東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内Ｆターム(参考） 3E067 AA12 AB99 AC01 BA01A BB14A BC06A EA18 EB17 EB27 FA01 FC01 GA30 5F031 CA02 DA08 EA12 EA14 EA18 NA01 PA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一面に開口を有する容器本体と該容器本
体の開口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容器本
体または蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲むよ
うに環状溝が形成されており、これにより該蓋が容器本
体開口を閉鎖した際に該蓋と該容器本体との間に該開口
を取り囲む環状の真空吸着用空間が画成され、かつ該容
器は前記環状の真空吸着用空間に連通する拡張真空空間
と、前記真空吸着空間と拡張真空空間とを外部から真空
排気／真空解除するための吸排気口手段を有することを
特徴とする容器。
【請求項２】前記容器本体の側壁の少なくとも一部は
間に空間を挟んで内壁と外壁の二重壁で構成され、該内
壁と外壁との間の空間が前記環状の真空吸着空間に連通
する前記拡張真空空間を構成することを特徴とする請求
項１記載の容器。
【請求項３】一面に開口を有する容器本体と該容器本
体の開口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容器本
体または蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲むよ
うに環状溝が形成されており、これにより該蓋が容器本
体開口を閉鎖した際に該蓋と該容器本体との間に該開口
を取り囲む環状の真空吸着用空間が画成され、前記容器
は更に、前記容器本体に取り付けられた真空タンク装置
を備え、該真空タンク装置は前記環状の真空吸着用空間
と連通するタンクを有していることを特徴とする容器。
【請求項４】前記真空タンク装置は容器本体に対して
着脱可能であることを特徴とする請求項３記載の容器。
【請求項５】前記容器本体は前記真空吸着用環状溝に
接続された開閉可能な容器閉止弁を有し、また前記真空
タンク装置は前記タンクに接続された開閉可能なタンク
閉止弁を有し、前記容器と真空タンク装置とは前記容器
閉止弁およびタンク閉止弁を介して接続され、前記環状
の真空吸着用空間と前記タンクとは前記容器閉止弁およ
びタンク閉止弁が共に開かれているときに互いに連通す
ることを特徴とする請求項４記載の容器。
【請求項６】一面に開口を有する容器本体と該容器本
体の開口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容器本
体または蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲むよ
うに環状溝が形成されており、これにより該蓋が容器本
体開口を閉鎖した際に該蓋と該容器本体との間に該開口
を取り囲む環状の真空吸着用空間が画成され、該容器は
前記環状の真空吸着用空間と連通するタンクを有する真
空タンク装置を着脱可能に取り付ける手段を有すること
を特徴とする容器。
【請求項７】請求項６に記載の容器と、該容器に着脱
可能に取り付けられる真空タンク装置であって該容器に
取り付けられたときに前記環状の真空吸着用空間と連通
するタンクを有する真空タンク装置と、からなる容器シ
ステム。
【請求項８】前記真空タンク装置はタンクのサイズの
異なる複数の真空タンク装置を含むことを特徴とする請
求項７記載の容器システム。
【請求項９】一面に開口を有する容器本体と該容器本
体の開口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容器本
体または蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲むよ
うに環状溝が形成されており、これにより該蓋が容器本
体開口を閉鎖した際に該蓋と該容器本体との間に該開口
を取り囲む環状の真空吸着用空間が画成され、該容器は
更に前記環状の真空吸着空間を外部から真空排気／真空
解除するための開閉可能な吸排気口手段と前記環状の真
空吸着用空間と連通するタンクを有する着脱可能な真空
タンク装置とを有する容器の封止方法であって、真空タ
ンク装置が容器に取り付けられかつ蓋を容器本体に取り
付けた状態で前記吸排気口手段より前記環状の真空吸着
用空間およびそれに連通する真空タンク装置の前記タン
クとを真空排気することによって容器を封止し、時間経
過により前記環状の真空吸着用空間の真空度が低下した
際に前記真空タンク装置をあらかじめタンク内部を真空
にした別の真空タンク装置に交換することによって前記
環状の真空吸着用空間の真空度を回復することを特徴と
する容器の封止方法。
【請求項１０】前記真空タンク装置は、容器本体に設
けられ前記環状の真空吸着用空間に接続された開閉可能
な容器閉止弁と真空タンク装置に設けられ前記タンクに
接続された開閉可能なタンク閉止弁とを介して容器に取
り付けられ、前記真空タンク装置の交換の際にはまず容
器閉止弁とタンク閉止弁とを閉鎖し、真空タンク装置を
あらかじめ内部を真空にした別の真空タンク装置に交換
し、そして該別の真空タンク装置のタンク閉止弁と前記
容器閉止弁とを開くことを特徴とする容器の封止方法。
【請求項１１】一面に開口を有する容器本体と該容器
本体の開口を閉鎖する蓋とを有する容器であって、容器
本体または蓋の少なくとも一方には前記開口を取り囲む
ように環状溝が形成されており、これにより該蓋が容器
本体開口を閉鎖した際に該蓋と該容器本体との間に該開
口を取り囲む環状の真空吸着用空間が画成され、該容器
は更に前記環状の真空吸着用空間と連通するタンクを有
する着脱可能な真空タンク装置とを有し、該真空タンク
装置は容器本体に設けられ前記環状の真空吸着用空間に
接続された開閉可能な容器閉止弁と真空タンク装置に設
けられ前記タンクに接続された開閉可能なタンク閉止弁
とを介して容器に取り付けられる容器の封止方法であっ
て、あらかじめタンク内部を真空にしてタンク閉止弁を
閉じておいた真空タンク装置を容器に取り付け、前記蓋
を前記容器本体に取り付けて開口を閉鎖した状態でタン
ク閉止弁および容器閉止弁を共に開いた状態になし、こ
れによりタンク内部と前記環状の真空吸着用空間とを連
通させて前記環状の真空吸着用空間内の圧力を低下させ
て蓋を容器本体に吸着させて容器を封止する容器封止方
法。
【請求項１２】時間経過により前記環状の真空吸着用
空間の圧力が上昇した際に前記真空タンク装置をあらか
じめタンク内部を真空にした別の真空タンク装置に交換
することによって前記環状の真空吸着用空間の圧力を低
下させることを特徴とする容器の封止方法。