JPS6018670A - 高速弁 - Google Patents
高速弁Info
- Publication number
- JPS6018670A JPS6018670A JP12328683A JP12328683A JPS6018670A JP S6018670 A JPS6018670 A JP S6018670A JP 12328683 A JP12328683 A JP 12328683A JP 12328683 A JP12328683 A JP 12328683A JP S6018670 A JPS6018670 A JP S6018670A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- magnet
- sheet plane
- permanent magnet
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/08—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid using a permanent magnet
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空を保持する速断弁やシャッタ等の高速弁の
改良に関する。
改良に関する。
核物理研究所等で、電子又は陽子等を光速（二近く加速
する加速器や、プラズマ実験装置のような超高真空系の
保護装置として速断弁と称する高速弁が用いられる。又
、常時は閉鎖状態で設置され、高圧側から低圧側への気
体の流入を阻止しているが、ビームや燃料の流入動作に
連動して、所定のある。これらは何れも速断性と漏洩阻
止性能が重要視されるものである。
する加速器や、プラズマ実験装置のような超高真空系の
保護装置として速断弁と称する高速弁が用いられる。又
、常時は閉鎖状態で設置され、高圧側から低圧側への気
体の流入を阻止しているが、ビームや燃料の流入動作に
連動して、所定のある。これらは何れも速断性と漏洩阻
止性能が重要視されるものである。
特に従来の速断弁は緊急時の速断性を息視し、漏洩阻止
性能は二次的（二評価されていたが、最近は、漏洩阻止
性能仁ついても、定量的に指定される場合が散見される
よう（二なった。例えば開口部寸法が１５１１１１１Ｘ
１５Ｑ １１１１１で、閉鎖時間は圧力上昇感知装置
の感知後全閉まで１０ ｍ ｓｅｃ ＋全閉時漏洩量は
０．１ｔｏｒｒ−１ｉｔ／ｓｅｅ等の如くである。
性能は二次的（二評価されていたが、最近は、漏洩阻止
性能仁ついても、定量的に指定される場合が散見される
よう（二なった。例えば開口部寸法が１５１１１１１Ｘ
１５Ｑ １１１１１で、閉鎖時間は圧力上昇感知装置
の感知後全閉まで１０ ｍ ｓｅｃ ＋全閉時漏洩量は
０．１ｔｏｒｒ−１ｉｔ／ｓｅｅ等の如くである。
これに対し本発明者は「平板状のブレード（−般の弁の
弁体に相当するンが平面状で開口部のある７一ト平面（
一般の弁の弁座に相当する）上を摺動して前ｉピ開ロ部
を開閉し、シート平面はブレードの運動範囲に拡大して
おき、／−ト平面に垂直方向に拘束を自由にしたブレー
ド駆動係合機構を備えた高速弁」を発明し、ｉ１８＋０
５８年６月８日付で特許出願した。未だ出願番号は沼か
ない。これをＮｔＪ１図ないし第３図に示す。これは速
断弁の場合で必るが、ｔｌ）は分岐真空系と接続する金
属性のフランジ、（２）はフランジ（１）と同一金属性
の隔憾（３）は隔壁（２）に設けた開口部（例えば１５
朋×１５０朋の横に細長い長方形をしているンで、正規
運転状態では加速器から供試線源の通路となシ、大気侵
入が発生した場合（−は閉鎖の対象となる部分である。
弁体に相当するンが平面状で開口部のある７一ト平面（
一般の弁の弁座に相当する）上を摺動して前ｉピ開ロ部
を開閉し、シート平面はブレードの運動範囲に拡大して
おき、／−ト平面に垂直方向に拘束を自由にしたブレー
ド駆動係合機構を備えた高速弁」を発明し、ｉ１８＋０
５８年６月８日付で特許出願した。未だ出願番号は沼か
ない。これをＮｔＪ１図ないし第３図に示す。これは速
断弁の場合で必るが、ｔｌ）は分岐真空系と接続する金
属性のフランジ、（２）はフランジ（１）と同一金属性
の隔憾（３）は隔壁（２）に設けた開口部（例えば１５
朋×１５０朋の横に細長い長方形をしているンで、正規
運転状態では加速器から供試線源の通路となシ、大気侵
入が発生した場合（−は閉鎖の対象となる部分である。
（４）は閉鎖用の平板状の金属製のブレード、（５）は
ベローズであって、ブレードの駆動軸（６）の図示しな
い支持機構等が設けられる大気雰囲気と加速器の真空系
とを分つための可動５ｉ＞Ａある。（７）は金属製のブ
レードカバーであって、隔壁（２）の開口部（３）を含
む平面状のシート平面（８）との間にブレード（４）が
シート平面（８）と摺動するように厳密に設定し、た間
［（９）を形成するように溝形状のライナーを挾んで取
付けである。シート平面（８）はブレード（４）の運動
範囲（二拡大しである。μυはブレード（４）の駆動部
係合機構であって、ブレード被支持ｓｕ渇を遊侠するよ
うにブレード駆動軸（６）下ｙｔｍｆ二、シート平面（
８）垂直方向の対向突起状に設けたブレード文持部材α
尋（ニブレード支持ピン１４）を取付け、ブレード゛被
支持部醤（二支持穴ｕ９を設け、この支持穴ｕ最を前記
ブレード支持ビン（１４）ｌ二遊低すること（二よシ、
ブレード被支持部＠はシート平面（８）（二垂直な方向
（＝は無拘束であるよう（−構成する。
ベローズであって、ブレードの駆動軸（６）の図示しな
い支持機構等が設けられる大気雰囲気と加速器の真空系
とを分つための可動５ｉ＞Ａある。（７）は金属製のブ
レードカバーであって、隔壁（２）の開口部（３）を含
む平面状のシート平面（８）との間にブレード（４）が
シート平面（８）と摺動するように厳密に設定し、た間
［（９）を形成するように溝形状のライナーを挾んで取
付けである。シート平面（８）はブレード（４）の運動
範囲（二拡大しである。μυはブレード（４）の駆動部
係合機構であって、ブレード被支持ｓｕ渇を遊侠するよ
うにブレード駆動軸（６）下ｙｔｍｆ二、シート平面（
８）垂直方向の対向突起状に設けたブレード文持部材α
尋（ニブレード支持ピン１４）を取付け、ブレード゛被
支持部醤（二支持穴ｕ９を設け、この支持穴ｕ最を前記
ブレード支持ビン（１４）ｌ二遊低すること（二よシ、
ブレード被支持部＠はシート平面（８）（二垂直な方向
（＝は無拘束であるよう（−構成する。
このような構成の高速弁は、＠記した速断弁の仕様条件
く二おける漏洩阻止性能（二対し、十分な特性を保有し
ているが、将来、史に特性向上の期待が生れることも予
想される。高速動作性と漏洩防止性とを両立させ、かつ
、その寿命を維持することは、高速弁の脱ガスのため（
−高温のベーキングを施す必要があることも手伝って、
技術的に甚だ困難で、現時・点では上記の構成（二よる
高速弁が唯一の完成品であフ、このような構成Ｃ二よる
一層の性能向上の期待が集中することが予測される。
く二おける漏洩阻止性能（二対し、十分な特性を保有し
ているが、将来、史に特性向上の期待が生れることも予
想される。高速動作性と漏洩防止性とを両立させ、かつ
、その寿命を維持することは、高速弁の脱ガスのため（
−高温のベーキングを施す必要があることも手伝って、
技術的に甚だ困難で、現時・点では上記の構成（二よる
高速弁が唯一の完成品であフ、このような構成Ｃ二よる
一層の性能向上の期待が集中することが予測される。
本発明は漏洩阻止性能を一層向上した高速弁を提供する
ことを目的とする。
ことを目的とする。
本発明（二おいては、平板状のブレードが平面状で開口
部のおるシート平面上を摺動して前記開口部を開閉し、
シート平面はブレードの運動範囲に拡大しておき、シー
ト平面Ｃ二垂直方向に拘束を自由（ニしたブレード駆動
係合機構を備えた高速弁４二おいて、ブレードを磁性体
で構成し、シート平面のブレード反対側に磁石を埋設封
止することに特徴を有するもので、ブレードをシート平
面側；電磁石で吸引して漏洩阻止性能を向上すると共（
電磁石を埋設することによシ、磁石から発生するアウト
ガスを真空系内に放出させることなく作動できるようじ
するものである。
部のおるシート平面上を摺動して前記開口部を開閉し、
シート平面はブレードの運動範囲に拡大しておき、シー
ト平面Ｃ二垂直方向に拘束を自由（ニしたブレード駆動
係合機構を備えた高速弁４二おいて、ブレードを磁性体
で構成し、シート平面のブレード反対側に磁石を埋設封
止することに特徴を有するもので、ブレードをシート平
面側；電磁石で吸引して漏洩阻止性能を向上すると共（
電磁石を埋設することによシ、磁石から発生するアウト
ガスを真空系内に放出させることなく作動できるようじ
するものである。
以下、本発明の一実施例（二ついて、第４図および第５
図を参照して説明する。尚、これらの図（−おりて、第
１図ないし第３図と同一部分も−は同一符号を付して説
明を省略する。
図を参照して説明する。尚、これらの図（−おりて、第
１図ないし第３図と同一部分も−は同一符号を付して説
明を省略する。
本実施例においては、ブレード（４）を８１ｍ５４３０
（日本工業規格による表示）からなる磁性鋼板で構成
する。そして粉末状系材を焼結して作った円柱状の高性
能永久磁石μＱを、非磁性金Ｊ’ｊｉ製の隔壁（２）の
シート平面（８）の付近迄グレード反対側から明けた磁
性孔（前二挿入する。この永久磁石−の配置は一石四を
固定用ロンド（至）で磁石孔ｕ７）の奥に押付けて固定
し、固定用ロンドｕ８の磁石反対側端は磁石孔（Ｌ′０
０Å口（二て封止醇接部法呻として浴接し、永久磁石−
を磁石孔μθ内に埋設封止する。
（日本工業規格による表示）からなる磁性鋼板で構成
する。そして粉末状系材を焼結して作った円柱状の高性
能永久磁石μＱを、非磁性金Ｊ’ｊｉ製の隔壁（２）の
シート平面（８）の付近迄グレード反対側から明けた磁
性孔（前二挿入する。この永久磁石−の配置は一石四を
固定用ロンド（至）で磁石孔ｕ７）の奥に押付けて固定
し、固定用ロンドｕ８の磁石反対側端は磁石孔（Ｌ′０
０Å口（二て封止醇接部法呻として浴接し、永久磁石−
を磁石孔μθ内に埋設封止する。
次に作用（二ついて説明する。
シート平面（８）の背部（二で開口部（３）の周囲（二
高性能の永久磁石（ＩＩを埋設し、ブレード（４）を磁
性体で構成したため、閉止状態（二移動したブレード（
４）の−口＃ （３１周辺かシート平面（６）（二＠着
して、漏洩間隙を形成しないよう（二働く。即ち、従来
の高速弁にあっては、シート平面（８）とブレードカバ
ー（７）とで形成されたブレード挿入用の間隙（９）は
、ブレード（４）の高速摺動を可能とするため、平板状
のブレード（４）の厚さよりａないし数十ミクロンだけ
大きく製作されている。又、ブレード（４）はその高速
動作性のため軽量化、薄肉化されている。従って。
高性能の永久磁石（ＩＩを埋設し、ブレード（４）を磁
性体で構成したため、閉止状態（二移動したブレード（
４）の−口＃ （３１周辺かシート平面（６）（二＠着
して、漏洩間隙を形成しないよう（二働く。即ち、従来
の高速弁にあっては、シート平面（８）とブレードカバ
ー（７）とで形成されたブレード挿入用の間隙（９）は
、ブレード（４）の高速摺動を可能とするため、平板状
のブレード（４）の厚さよりａないし数十ミクロンだけ
大きく製作されている。又、ブレード（４）はその高速
動作性のため軽量化、薄肉化されている。従って。
ブレード（４）の閉鎖後、開口部（３）のブレード面（
二人気圧力がかかると、上記間隙（９）の大きさく＝従
ってブレード（４）に変形が生じ、グレード（４）は平
板状でなくなシ、シート平面（８）との密着性が失なわ
れ、微細ながらも漏洩間隙を生ずる恐れがあった。これ
（二対して本実施例は上記のよう（二永久磁石四で漏洩
間隙が出来ないようにブレード（４）をシート平面（８
）（二吸着するので漏洩防止性能が一層向上するもので
ある。そして、永久磁石はｅは磁石孔同内に埋設封止し
であるから、粉末状素材を焼結した高性能の永久磁石で
ありながら、その製造方法に基づく完成後（−多量に発
生するアウトガスを真空系内（＝放出させることなく作
動させることができる。
二人気圧力がかかると、上記間隙（９）の大きさく＝従
ってブレード（４）に変形が生じ、グレード（４）は平
板状でなくなシ、シート平面（８）との密着性が失なわ
れ、微細ながらも漏洩間隙を生ずる恐れがあった。これ
（二対して本実施例は上記のよう（二永久磁石四で漏洩
間隙が出来ないようにブレード（４）をシート平面（８
）（二吸着するので漏洩防止性能が一層向上するもので
ある。そして、永久磁石はｅは磁石孔同内に埋設封止し
であるから、粉末状素材を焼結した高性能の永久磁石で
ありながら、その製造方法に基づく完成後（−多量に発
生するアウトガスを真空系内（＝放出させることなく作
動させることができる。
次（電率６図を参照して他の実施例を説明する。
これはケース（至）内に永久磁石四を入れ、蓋切りを被
せ、その周囲をケースレ０にケース封止溶接部（２りに
て溶接封止したものを、シート平面（８）背部へ挿入し
、コーキング（ねじ止めでもよい）して固定したもので
ある。他は第４図および第５図（二示した実施例の通り
である。
せ、その周囲をケースレ０にケース封止溶接部（２りに
て溶接封止したものを、シート平面（８）背部へ挿入し
、コーキング（ねじ止めでもよい）して固定したもので
ある。他は第４図および第５図（二示した実施例の通り
である。
このようζニすれば、隔壁（２）Ｃ二溶接を行なうこと
がないから、シート平面（８）の平面度を熱変形（二よ
って損なう恐れがないほか、第４図および第５図鑑二足
した実施例と同様の作用効果が得られる。
がないから、シート平面（８）の平面度を熱変形（二よ
って損なう恐れがないほか、第４図および第５図鑑二足
した実施例と同様の作用効果が得られる。
又、磁石ｕｌを永久磁石でなく、電磁石に換え、ブレー
ド（４）の閉動作後、電磁石（二通電するように制御し
て吸引作用を生ずるよう（＝構成し、他は第４図および
第５図の実施例、あるいは第６図の実施例のよう（二構
成したものでか机１反＼ｉ。
ド（４）の閉動作後、電磁石（二通電するように制御し
て吸引作用を生ずるよう（＝構成し、他は第４図および
第５図の実施例、あるいは第６図の実施例のよう（二構
成したものでか机１反＼ｉ。
このよう（ニすれば、ブレード（４）の作動時は電磁石
がブレード（４）を吸引することがないから、ブレード
（４）とシート平面（８）との間（二面圧を生ずること
がなく、真空中の高速摺動（二対して滓掻現象を誘発さ
せる若干の恐れをも解消できるほか、第４図および第５
図の実施例、あるいは第６図の実施例と同様の作用効果
が得られる。
がブレード（４）を吸引することがないから、ブレード
（４）とシート平面（８）との間（二面圧を生ずること
がなく、真空中の高速摺動（二対して滓掻現象を誘発さ
せる若干の恐れをも解消できるほか、第４図および第５
図の実施例、あるいは第６図の実施例と同様の作用効果
が得られる。
尚、以上の実施例は、全て速断弁を対象として述べて来
たが、シャッタと称する高速弁についても同様（電通用
することが出来る。即ち、シャッタは、常時は全閉状態
で設置され、低レベルの真壁側即ち高圧側から、高レベ
ルの真壁側即ち低圧側への気体の流入を阻止しているが
ビームや燃料の注入動作（二連動して、所定の時間開口
した後、逸早く閉鎖して元の状態に復帰することが、機
能上要求されているものであって、これも本発明の適用
（二よシ、一層内上した漏洩阻止性能を得られるものＣ
ある。
たが、シャッタと称する高速弁についても同様（電通用
することが出来る。即ち、シャッタは、常時は全閉状態
で設置され、低レベルの真壁側即ち高圧側から、高レベ
ルの真壁側即ち低圧側への気体の流入を阻止しているが
ビームや燃料の注入動作（二連動して、所定の時間開口
した後、逸早く閉鎖して元の状態に復帰することが、機
能上要求されているものであって、これも本発明の適用
（二よシ、一層内上した漏洩阻止性能を得られるものＣ
ある。
そして、本発明はブレードが直線運動するものは勿論の
こと、回転運動するもの（二も適用できる。
こと、回転運動するもの（二も適用できる。
以上述べたよう）二、本発明（二よれば、ブレードの運
動範囲に拡大したシート平面上をブレードが摺動するよ
う（＝構成し、又、ブレードの駆動部係合機構をシート
平面（二垂直方向（−拘束を自由に構成し、ブレードを
磁石がシート平面側（二吸着するように構成し、しかも
磁石はシート平面のブレード反対側Ｃ二埋設封止したの
で、漏洩阻止性能を一層向上した高速弁を提供すること
ができる。
動範囲に拡大したシート平面上をブレードが摺動するよ
う（＝構成し、又、ブレードの駆動部係合機構をシート
平面（二垂直方向（−拘束を自由に構成し、ブレードを
磁石がシート平面側（二吸着するように構成し、しかも
磁石はシート平面のブレード反対側Ｃ二埋設封止したの
で、漏洩阻止性能を一層向上した高速弁を提供すること
ができる。
第１図は本発明に到る途中までに考えられた尚達弁を示
す要部立面図、第２図は第１図のｗｔ、断面図、第３図
は第２図の要部拡大断面図、第４図は本発明の高速弁の
一実施例を示す要部立面図、第５図は第４図の■−■線
に沿う矢視断面図、第６図は他の実施例を示す要部縦断
面図である。 ３・・・開口部 ４・・・ブレード ８・・・シート平面 １１・・・ブレード駆動係合機構
１６・・・磁石 １７・・・磁石孔 １９・・・封止溶接部 匹・・・クース封止済接部代理
人 弁理士 井 上 −切 第 １ 図□ 第４図 ム 第 ！５ｒｇＪ 第 ６ 図
す要部立面図、第２図は第１図のｗｔ、断面図、第３図
は第２図の要部拡大断面図、第４図は本発明の高速弁の
一実施例を示す要部立面図、第５図は第４図の■−■線
に沿う矢視断面図、第６図は他の実施例を示す要部縦断
面図である。 ３・・・開口部 ４・・・ブレード ８・・・シート平面 １１・・・ブレード駆動係合機構
１６・・・磁石 １７・・・磁石孔 １９・・・封止溶接部 匹・・・クース封止済接部代理
人 弁理士 井 上 −切 第 １ 図□ 第４図 ム 第 ！５ｒｇＪ 第 ６ 図
Claims (3)
- （１）平板状のブレードが平面状で開口部のあるシート
平面、上を摺動して前記開口部を開閉し、シート平面は
ブレードの運動範囲（二拡大しておき。 シート平面（＝垂直方向に拘束を自由（ニしたブレード
駆動係８−機構を備えた高速弁（二おいて、ブレードを
磁性体で構成し、シート平面のブレード反対側（電磁石
を埋設封止したことを特徴とする高速弁。 - （２） 磁石は粉末状素材を焼結して作られた永久磁石
としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の高
速弁。 - （３）磁石はブレードが開口部を閉鎖後通電するよう（
二制御された電磁石としたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の、高速弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12328683A JPS6018670A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 高速弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12328683A JPS6018670A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 高速弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6018670A true JPS6018670A (ja) | 1985-01-30 |
Family
ID=14856803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12328683A Pending JPS6018670A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 高速弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018670A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020099313A1 (en) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | Danhydra A/S | Valve unit |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP12328683A patent/JPS6018670A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020099313A1 (en) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | Danhydra A/S | Valve unit |
| US11906106B2 (en) | 2018-11-14 | 2024-02-20 | Danhydra A/S | Valve unit |
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