JP3764563B2 - 電気駆動制御器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造設備等で使用されてソレノイドやモータ等の電気アクチュエータに依り駆動される電気駆動制御器の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の電気駆動制御器としては、流体を開閉制御するバルブ本体と、これを駆動する電気アクチュエータとから構成されたものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この様なものは、電気アクチュエータへの初期通電時や保持通電時に於て、漏洩磁界が発生し、これが半導体製造設備等に設けられた他の機器に悪影響を及ぼす惧れがあった。
本発明は、叙上の問題点に鑑み、これを解消する為に創案されたもので、その課題とする処は、電気アクチュエータからの漏洩磁界を遮断して他の機器への悪影響を防止する様にした電気駆動制御器を提供するにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
請求項1の電気駆動制御器は、流体を開閉制御するバルブ本体2と、バルブ本体2を駆動する電気アクチュエータ3と、前記電気アクチュエータ3のケース本体15の外側に僅かな間隙を置いて挿着され、ケース本体15から外部空間への漏洩磁界を遮断するシールドケース4とから成る電気駆動制御器1に於いて、前記シールドケース4を電気アクチュエータ3の側方を覆う周壁19と上方を覆う上壁20とを有する下方が開口したパーマロイ又は純鉄製の筒体とすると共に、前記上壁20にリード線18を挿通させる貫孔21を穿設し、更に、上壁20の内側面のリード線18を挿通させた貫孔21の外周縁に、リード線18を挿通させた状態で環状のフエライトビーズ22を密着させ、当該フエライトビーズ22によりリード線18と貫孔21との間隙を閉鎖することにより、貫孔21を通して外部空間へ漏洩する磁界を遮断するようにしたことを発明の基本構成とするものである。
【0005】
電気アクチュエータへの通電時には、電気アクチュエータが励磁されるので、ここから漏洩磁界が発生する。
然しながら、請求項1の電気駆動制御器では、電気アクチュエータの外側に、電気アクチュエータの側方を覆う周壁と、電気アクチュエータの上方を覆いリード線が貫通された上壁とを備えたシールドケースが設けられているので、電気アクチュエータから外部へ漏れる漏洩磁界がシールドケースに依り遮断される。
また、シールドケースは、リード線の貫通箇所に設けられて漏洩磁界を遮断するフェライトビーズを備えているので、電気アクチュエータからリード線の貫通箇所を経て外部へ漏れる漏洩磁界をフェライトビーズに依り遮断する事ができる。
更に、シールドケースは、パーマロイや純鉄に依り作製されているので、漏洩磁界の遮断効果が大きい。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の電気駆動制御器を示す縦断正面図である。
【0008】
電気駆動制御器1は、バルブ本体2、電気アクチュエータ3、シールドケース4とからその主要部が構成されて居り、この例では、電気アクチュエータ3をソレノイドにした電磁弁している。
【0009】
バルブ本体2は、流体を開閉制御するもので、この例では、常閉型にしてあり、流路5及びその途中にシート6を備えたボディ7と、これの内部に設けられてシート6に当座可能な金属(ステンレス鋼)製のダイヤフラム8と、これをボディ7との間で挾持するボンネット9と、これをボディ7に締め付けるボンネットナット10と、ボンネット9を貫通して昇降可能に設けられたステム11と、これに設けられてダイヤフラム8を押圧するダイヤフラム押え12と、ステム11を常に下方向(閉弁方向)に付勢するスプリング13とから成っている。
【0010】
電気アクチュエータ3は、バルブ本体2を駆動するもので、この例では、ソレノイドにしてあり、バルブ本体2のボンネット9にナット14に依り取付けられるケース本体15と、これの内部に昇降可能に設けられてバルブ本体2のステム11に連繋されたプランジャ16と、これの外側でケース本体15の内部に設けられてプランジャ16を昇降させる励磁コイル17及び鉄心17aと、これに供電する為のリード線18とから成っている。
尚、前記ケース本体15は、アルミニウム製の筒体から形成されているが、これを高透磁率の材料、例えばパーマロイや純鉄等から形成するようにしてもよいことは勿論である。
【0011】
シールドケース4は、電気アクチュエータ3のケース本体15の外側にこれと僅かな間隙を置いて設けられており、漏洩磁界を遮断する。この例では、下方が開放した筒状を呈し、電気アクチュエータ3の側方を覆う周壁19と、これの上方を閉塞すべく設けられて電気アクチュエータ3の上方を覆う上壁20と、これに穿設されてリード線18が貫通される貫孔21とから成って居り、電気アクチュエータ3のケース本体15に外嵌されている。尚、シールドケース4は、厚さが1mmの板状のパーマロイや純鉄に依り作製されている。また、シールドケース4は、リード線18の貫通箇所に設けられて漏洩磁界を遮断するフェライトビーズ22を備えている。フェライトビーズ22は、環状を呈し、リード線18と貫孔21との間隙を閉塞すべく上壁20の内側(下側)のリード線18に外嵌されている。
【0012】
次に、この様な構成に基づいてその作用を述解する。
ソレノイド3に通電されない時は、図1に示す如く、ソレノイド3の励磁コイル17が消磁されてプランジャ16、ステム11、ダイヤフラム押え12がスプリング13に依り下降され、ダイヤフラム8がダイヤフラム押え12に依り下動されてシート6に当座され、閉弁状態を呈している。
ソレノイド3に通電されると、ソレノイド3の励磁コイル17が励磁されてプランジャ16、ステム11、ダイヤフラム押え12がスプリング13に抗して上昇され、ダイヤフラム8が流路5からの流体に依り上動されてシート6から離座され、開弁状態になる。
【0013】
ソレノイド3への通電時(初期通電時及び保持通電時)には、ソレノイド3の励磁コイル17が励磁されるので、ここから漏洩磁界が発生する。
然しながら、ソレノイド3の外側には、シールドケース4が設けられているので、ソレノイド3から外部へ漏れる漏洩磁界がシールドケース4に依り遮断される。
【0014】
表1は、初期通電時に於て、シールドケース4をパーマロイ製にしたもの、シールドケース4を純鉄製にしたもの、シールドケース4が無いものにし、電気駆動制御器1の上方(上面)及び側方(側面)へ夫々10,20,50mmだけ離れた位置で漏洩磁界を測定した結果であり、フェライトビーズ22の有無も考慮している。尚、この場合のソレノイド3は、アルミニウム製のケース本体15を備えたものである。
【0015】
【表1】
【0016】
表2は、保持通電時に於ける表1と同様の結果である。
【0017】
【表2】
【0018】
表1及び表2の何れの場合も、シールドケース4及びフェライトビーズ22の有無に依り漏洩磁界が大幅に異なって居り、シールドケース4及びフェライトビーズ22の有効性が一目瞭然で判る。
【0019】
シールドケース4に依り電気アクチュエータ3のケース本体15の外側が覆われているので、電気アクチュエータ3を外力から防護する事ができ、これの損傷等を防止できる。
シールドケース4は、下方が開放しているので、その内外に空気が流通し、これに依り電気アクチュエータ3の発熱等を防止する事ができる。
【0020】
尚、電気駆動制御器1は、先の例では、電気アクチュエータ3をソレノイドにして所謂電磁弁にしたが、これに限らず、例えば電気アクチュエータ3をモータにして所謂電動弁にしても良い。
また、シールドケース4は、先の例では、厚さが1mmの板状のもので作製したが、これに限らず、例えば厚さが0.1mmのものを10枚積層して作製しても良い。
更に、図1の実施態様では、電気アクチュエータ3のケース本体15をアルミニウム製としているが、これをパーマロイや純鉄製等の高透磁率の材料により形成し、ケース本体15とシールドケース4の両方でもって漏洩磁界を遮断するようにしてもよい。
加えて、電気アクチュエータ3のケース本体15を高透磁率の材料により形成した場合には、シールドケース4を省略することも可能となる。
【0021】
【発明の効果】
以上、既述した如く、本発明に依れば、次の様な優れた効果を奏する事ができる。
(1)バルブ本体、電気アクチュエータ、シールドケースとで構成し、とりわけ、電気アクチュエータのケース本体の外側に漏洩磁界を遮断するシールドケースを設けたので、電気アクチュエータからの漏洩磁界が遮断され、他の機器への悪影響を防止する事ができる。
(2)また、シールドケースの上壁内側面のリード線を挿通させた貫孔の外周縁に、リード線を挿通させた状態で環状のフェライトビーズを密着させ、当該フェライトビーズによりリード線と貫孔との間隙を閉鎖するようにしているので、貫孔を通して外部へ漏洩する磁束(磁界)をほぼ完全に遮断することができる。
(3)電気アクチュエータのケース本体の外側にシールドケースを設けるだけであるので、コストが余り掛からず、既存のものへも容易に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電気駆動制御器を示す縦断正面図。
【符号の説明】
1…電気駆動制御器、2…バルブ本体、3…電気アクチュエータ、4…シールドケース、5…流路、6…シート、7…ボディ、8…ダイヤフラム、9…ボンネット、10…ボンネットナット、11…ステム、12…ダイヤフラム押え、13…スプリング、14…ナット、15…ケース本体、16…プランジャ、17…励磁コイル、17a…鉄心、18…リード線、19…周壁、20…上壁、21…貫孔、22…フェライトビーズ。
Claims (2)
- 流体を開閉制御するバルブ本体(2)と、バルブ本体(2)を駆動する電気アクチュエータ(3)と、前記電気アクチュエータ(3)のケース本体(15)の外側に僅かな間隙を置いて挿着され、ケース本体(15)から外部空間への漏洩磁界を遮断するシールドケース(4)とから成る電気駆動制御器(1)に於いて、前記シールドケース(4)を電気アクチュエータ(3)の側方を覆う周壁(19)と上方を覆う上壁(20)とを有する下方が開口したパーマロイ又は純鉄製の筒体とすると共に、前記上壁(20)にリード線(18)を挿通させる貫孔(21)を穿設し、更に、上壁(20)の内側面のリード線(18)を挿通させた貫孔(21)の外周縁に、リード線(18)を挿通させた状態で環状のフエライトビーズ(22)を密着させ、当該フエライトビーズ(22)によりリード線(18)と貫孔(21)との間隙を閉鎖することにより、貫孔(21)を通して外部空間へ漏洩する磁界を遮断する構成としたことを特徴とする電気駆動制御器。
- シールドケース(4)を、複数枚の薄板の積層から形成する構成とした請求項1に記載の電気駆動制御器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22655097A JP3764563B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 電気駆動制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22655097A JP3764563B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 電気駆動制御器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1163275A JPH1163275A (ja) | 1999-03-05 |
JP3764563B2 true JP3764563B2 (ja) | 2006-04-12 |
Family
ID=16846919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22655097A Expired - Fee Related JP3764563B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 電気駆動制御器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3764563B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001248749A (ja) | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Canon Inc | 液流路開閉器 |
JP2001253089A (ja) | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Canon Inc | 液体加圧供給装置およびそれを用いた液体吐出記録装置 |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP22655097A patent/JP3764563B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1163275A (ja) | 1999-03-05 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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