CN217499389U - 一种蒸发源结构及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空设备技术领域，公开了一种蒸发源结构及蒸镀设备，该蒸发源结构包括第一管件、第二管件、连接管、导向套以及第一密封件，第一管件、连接管及第二管件能够共同形成介质通道，第二管件通过导向套和第一密封件与连接管进行密封连接，导向套的第一端插接于第二管件内，导向套的第二端插接于连接管内，第一密封件套设于导向套上，沿第一密封件的轴线方向，第一密封件的两端分别抵接连接管和第二管件，保证介质通道的密封性以及外部的真空环境，蒸发源由第一管件移动至第二管件的过程中不发生偏移，能够顺利通过导向套且不与第一密封件和介质通道的内壁发生碰撞而损坏，保证蒸发源有足够的刚度。

Description

一种蒸发源结构及蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源结构及蒸镀设备。

背景技术

超高真空技术在高能粒子加速器、核聚变研究装置以及半导体应用等领域已经是不可或缺的技术，需要在真空环境下进行，加热蒸发器中待形成薄膜的源，使蒸发源从表面气化逸出，并入射到封闭的腔室内，凝固形成固态薄膜。

由于涉及到蒸发器内蒸发源的更换，蒸发器是通过线性驱动装置的驱动来实现，为了保证不破坏真空的环境，需要通过在线性驱动装置和腔室之间设置密封圈，在蒸发器移动至腔室的过程中会发生轨迹偏移而与密封圈发生碰撞，从而对蒸发器的结构产生磨损破坏，造成不可逆的损伤。

因此，亟需一种蒸发源结构及蒸镀设备，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸发源结构，密封性好，保证蒸发源在移动过程中不发生偏移，从而能够避免与第一密封件发生碰撞而造成结构损坏。

为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种蒸发源结构，包括第一管件、第二管件和连接管，所述连接管的两端分别连通所述第一管件和所述第二管件，所述第一管件、所述连接管及所述第二管件能够共同形成介质通道，所述第一管件内设置有能够活动伸缩于所述介质通道的驱动机构，所述蒸发源结构还包括：

导向套，所述导向套的第一端插接于所述第二管件内，所述导向套的第二端插接于所述连接管内；

第一密封件，套设于所述导向套上，沿所述第一密封件的轴线方向，所述第一密封件的两端分别抵接所述连接管和所述第二管件。

优选地，所述连接管的内壁设置有安装槽，所述第一密封件设置于所述安装槽内，且所述第一密封件的外周面抵接于所述安装槽的内侧壁。

优选地，所述导向套设置有环状的卡接槽，所述第一密封件套设于所述卡接槽，且所述第一密封件的内周面抵接于所述卡接槽的底壁。

优选地，所述导向套还设置有两个卡接部，所述卡接槽连接于所述两个卡接部之间，两个所述卡接部分别抵接于所述连接管的内壁和所述第二管件的内壁。

优选地，所述蒸发源结构还包括多个连接件，所述第二管件对应多个所述连接件设置有第一连接孔，所述连接管对应多个所述第一连接孔设置有第二连接孔，所述连接件穿过所述第一连接孔并连接于所述连接管的第二连接孔。

优选地，所述蒸发源结构还包括第二密封件，所述第二密封件位于所述第一管件和所述连接管之间，沿所述第二密封件的轴线方向，所述第二密封件的第一端与所述第一管件相贴合，所述第二密封件的第二端与所述连接管相贴合。

优选地，所述第一管件设置有凹槽，所述第二密封件设置于所述凹槽内，且所述第二密封件抵接于所述凹槽的内侧壁。

优选地，所述蒸发源结构还包括开关阀，所述开关阀设置于所述连接管，所述开关阀用于打开或关闭所述连接管。

优选地，所述导向套由弹性材料制成。

为达上述目的，本实用新型还提供了一种蒸镀设备，包括上述的蒸发源结构。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的一种蒸发源结构，第一管件、连接管及第二管件能够共同形成介质通道，导向套的第一端插接于第二管件内，导向套的第二端插接于连接管内，沿导向套的外周面方向，第一密封件套设于导向套上，第二管件通过导向套和第一密封件与连接管进行密封连接，沿第一密封件的轴线方向，第一密封件的两端分别抵接连接管和第二管件，保证介质通道的密封性以及外部的真空环境，蒸发源由第一管件移动至第二管件的过程中，能够顺利通过导向套且不与第一密封件和介质通道的内壁发生碰撞而损坏，保证蒸发源有足够的刚度。

本实用新型提供的一种蒸镀设备，包括上述的蒸发源结构，在蒸发源移动过程中顺利通过导向套且避免与密封结构碰撞而造成损坏，保证蒸发源足够的刚性和强度。

附图说明

图1为本实用新型实施例中蒸发源的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中蒸发源的爆炸图；

图3为本实用新型实施例中导向套的结构示意图。

附图标记：

1、第一管件；

2、第二管件；21、第一连接孔；

3、连接管；

4、第一密封件；

5、导向套；51、卡接部；52、卡接槽；

6、第二密封件；

7、开关阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在现有技术中，由于涉及到蒸发器内蒸发源的更换，蒸发器是通过线性驱动装置的驱动下来实现，为了保证不破坏真空的环境，需要通过在线性驱动装置和腔室之间设置密封圈，在蒸发器移动至腔室的过程中会发生轨迹偏移而与密封圈发生碰撞，从而对蒸发器的结构产生磨损破坏，造成不可逆的损伤。对此，本实施例提供了一种蒸发源结构，密封性好，保证蒸发源在移动过程中不发生偏移，从而能够避免与第一密封件发生碰撞而造成结构损坏。

如图1-图3所示，在本实施例中，一种蒸发源结构包括第一管件1、第二管件2和连接管3，连接管3的两端分别连通第一管件1和第二管件2，第一管件1、连接管3及第二管件2能够共同形成介质通道，第一管件1内设置有能够活动伸缩于介质通道的驱动机构，第一管件1具有用于容纳蒸发源的容纳腔，在驱动机构的驱动作用下，第一管件1内的蒸发源通过连接管3并移动至第二管件2内。蒸发源结构还包括导向套5和第一密封件4，导向套5具有导向的作用，导向套5的第一端插接于第二管件2内，导向套5的第二端插接于连接管3内，第一密封件4套设于导向套5上，沿第一密封件4的轴线方向，第一密封件4的两端分别抵接连接管3和第二管件2。具体地，沿导向套5的外周面方向，第一密封件4套设安装在导向套5上，第二管件2通过导向套5和第一密封件4与连接管3进行密封连接，此时第一密封件4沿其轴线方向的两端分别与连接管3和第二管件2相抵接，保证介质通道的密封性以及外部的真空环境，蒸发源由第一管件1移动至第二管件2的过程中不发生偏移，能够顺利通过导向套5且不与第一密封件4和介质通道的内壁发生碰撞而损坏，保证蒸发源的结构完整性。

进一步地，继续参照图1-图3，连接管3的内壁设置有安装槽，第一密封件4设置于安装槽内，且第一密封件4的外周面抵接于安装槽的内侧壁。具体地，连接管3的管口具有向内凹陷的安装槽，在连接管3和第二管件2的连接处设置有第一密封件4，保证连接管3与第二管件2的连接位置无缝连接，防止介质通道内外相连通而破坏真空环境。第一密封件4安装在安装槽内，进一步提高介质通道的密封性，密封效果好。优选地，第一密封件4由铜制材料制成，密封效果好，使用寿命长。

进一步地，继续参照图1-图3，导向套5设置有环状的卡接槽52，第一密封件4套设于所述卡接槽52，且第一密封件的内周面4抵接于卡接槽52的底壁。具体地，沿导向套5的外周面，导向套5上开设有卡接槽52，第一密封件4套设在导向套5并安装在卡接槽52内，连接稳固，不易脱落，导向套5沿自身的圆周方向能够向外张开，在导向套5的作用力下，第一密封件4的内周面与卡接槽52的槽底抵接，密封性好。

进一步地，继续参照图1-图3，导向套5还设置有两个卡接部51，卡接槽52连接于两个卡接部51之间，两个卡接部51分别抵接于连接管3的内壁和第二管件2的内壁。具体地，卡接槽52相对于两个卡接部51向内凹陷，将第一密封件4安装在导向套5的卡接槽52内，不易晃动，在两个卡接部51中，其中一个卡接部51插接于第二管件2且卡接部51的外周面与第二管件2的内壁相抵接，另外一个卡接部51插接于连接管3且卡接部51的外周面与连接管3的内壁相抵接，最后连接管3与第二管件2连接，在导向套5的作用下，蒸发源在介质通道移动过程中不会和第一密封件4发生碰撞，同时，提高连接管3和第二管件2之间的连接密封性。

进一步地，继续参照图1-图3，蒸发源结构还包括多个连接件，第二管件2对应多个连接件设置有第一连接孔21，连接管3对应多个第一连接孔21设置有第二连接孔，连接件穿过第一连接孔21并连接于连接管3的第二连接孔。具体地，第二管件2通过导向套5和第一密封件4与第二管件2进行密封，第一连接孔21为通孔，第二连接孔为螺纹孔，连接件穿过第一连接孔21并螺纹连接于第二连接孔，通过多个连接件将第二管件2安装在连接管3上，优选地，连接管3和第二管件2通过连接件可拆卸连接，方便更换导向套5和第一密封件4。

进一步地，继续参照图1-图3，蒸发源结构还包括第二密封件6，第二密封件6位于第一管件1和连接管3之间，沿第二密封件6的轴线方向，第二密封件6的第一端与第一管件1相贴合，第二密封件6的第二端与连接管3相贴合。具体地，为了保证第一管件1与连接管3的连接密封性，第一管件1通过第二密封件6与连接管3密封连接，且第二密封件6与第一管件1采用较小的间隙配合，第一管件1设置有安装孔，连接管3对应位置设置有螺纹孔，通过螺栓或者螺钉穿过第一管件1的安装孔并螺纹连接于连接管3的螺纹孔，因此，第一管件1和连接管3可拆卸连接，方便对第二密封件6进行更换。

进一步地，继续参照图1-图3，第一管件1设置有凹槽，第二密封件6设置于凹槽内，且第二密封件6抵接于凹槽的内侧壁。具体地，在第一管件1的开口位置开设有凹槽，将第二密封件6安装在凹槽内，优选地，连接管3朝向第一管件1开口位置对应设置有台阶槽，第一管件1和连接管3对扣能形成用于安装第二密封件6的容纳空间，第二密封件6用于对第一管件1和连接管3之间的连接处起到密封的作用。

进一步地，继续参照图1-图3，蒸发源结构还包括开关阀7，开关阀7设置于连接管3，开关阀7用于打开或关闭连接管3。具体地，开关阀7为闸板阀，主要用来接通或截断介质通道中的介质，打开开关阀7，蒸发源能够通过连接管3移动至第二管路中，关闭开关阀7，用于截断连接管3的通路，以切断介质通道使得蒸发源无法穿过连接管3。

进一步地，继续参照图1-图3，导向套5由弹性材料制成。具体地，导向套5能够产生弹性形变，根据介质通道的大小来改变导向套5的外径，同时能够对第一密封件4起到支撑的作用，使第一密封件4的内周面与导向套5相贴合，第一密封件4的外周面与第二管路的内侧壁相贴合，从而保证第一密封件4具有较好的密封效果。

本实施例还提供了一种蒸镀设备，包括上述的蒸发源结构，涉及真空设备技术领域，导向套5具有导向的作用，在蒸发源移动过程中顺利通过导向套5且避免与密封结构碰撞而造成损坏，保证蒸发源的刚性和强度。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发源结构，包括第一管件(1)、第二管件(2)和连接管(3)，所述连接管(3)的两端分别连通所述第一管件(1)和所述第二管件(2)，所述第一管件(1)、所述连接管(3)及所述第二管件(2)能够共同形成介质通道，所述第一管件(1)内设置有能够活动伸缩于所述介质通道的驱动机构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括：

导向套(5)，所述导向套(5)的第一端插接于所述第二管件(2)内，所述导向套(5)的第二端插接于所述连接管(3)内；

第一密封件(4)，套设于所述导向套(5)上，沿所述第一密封件(4)的轴线方向，所述第一密封件(4)的两端分别抵接所述连接管(3)和所述第二管件(2)。

2.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述连接管(3)的内壁设置有安装槽，所述第一密封件(4)设置于所述安装槽内，且所述第一密封件(4)的外周面抵接于所述安装槽的内侧壁。

3.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述导向套(5)设置有环状的卡接槽(52)，所述第一密封件(4)套设于所述卡接槽(52)，且所述第一密封件(4)的内周面抵接于所述卡接槽(52)的底壁。

4.根据权利要求3所述的蒸发源结构，其特征在于，所述导向套(5)还设置有两个卡接部(51)，所述卡接槽(52)连接于所述两个卡接部(51)之间，两个所述卡接部(51)分别抵接于所述连接管(3)的内壁和所述第二管件(2)的内壁。

5.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括多个连接件，所述第二管件(2)对应多个所述连接件设置有第一连接孔(21)，所述连接管(3)对应多个所述第一连接孔(21)设置有第二连接孔，所述连接件穿过所述第一连接孔(21)并连接于所述连接管(3)的第二连接孔。

6.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括第二密封件(6)，所述第二密封件(6)位于所述第一管件(1)和所述连接管(3)之间，沿所述第二密封件(6)的轴线方向，所述第二密封件(6)的第一端与所述第一管件(1)相贴合，所述第二密封件(6)的第二端与所述连接管(3)相贴合。

7.根据权利要求6所述的蒸发源结构，其特征在于，所述第一管件(1)设置有凹槽，所述第二密封件(6)设置于所述凹槽内，且所述第二密封件(6)抵接于所述凹槽的内侧壁。

8.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括开关阀(7)，所述开关阀(7)设置于所述连接管(3)，所述开关阀(7)用于打开或关闭所述连接管(3)。

9.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述导向套(5)由弹性材料制成。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发源结构。

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