CN108361400B - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够使可靠性提高的真空阀。真空阀1包括收纳阀板6的阀体4、对阀板6进行开关驱动的驱动轴72、对驱动轴72进行真空密封的轴封80、以及防止微粒100侵入到轴封80的突出部8a。因此，即使在微粒100沿驱动轴72的方向产生有移动的情况下，也会通过突出部8a来阻止移动，从而可以防止微粒100侵入到轴封80部分。其结果为，可以防止由微粒100所引起的真空阀1的运行不良，从而使真空阀1的可靠性提高。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀。
背景技术
众所周知有对固定在驱动轴上的阀板(vlave plate)进行摆动驱动，而进行开关动作的真空阀(例如，参照专利文献1)。在驱动轴上设置有用以真空密封的轴封(shaftseal)。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2011-137537号公报
创作内容
[发明所要解决的问题]
然而，当使用真空阀的真空装置是进行成膜工序的装置时，会通过成膜工序而产生生成物。由此，微粒(particle)会落下到安装在真空装置与真空泵之间的真空阀内，如果微粒进入到轴封部，就有可能导致旋转不良或真空密封不良。
[解决问题的技术手段]
本发明的优选实施方式的真空阀包括收纳阀板的阀体(valve body)、对所述阀板进行开关驱动的驱动轴、对所述驱动轴进行真空密封的轴封、以及防止微粒侵入到所述轴封的防侵入壁。
在更优选的实施方式中，包括保持所述轴封的密封保持构件，所述密封保持构件的阀体侧的端部从所述阀体的内周面突出而形成所述防侵入壁。
在更优选的实施方式中，在所述阀体上，具有所述驱动轴所贯通并且供配置所述轴封的贯通孔，所述防侵入壁是以从所述阀体的内周面突出的方式设置在所述贯通孔的周围。
在更优选的实施方式中，固定在所述驱动轴上的所述阀板的一部分与所述防侵入壁的突出方向上的端面的整个区域相向。
[发明的效果]
根据本发明，可以使真空阀的可靠性提高。
附图说明
图1是第一实施方式的真空阀的外观立体图。
图2是表示驱动轴的密封构造的一例的图。
图3(a)及图3(b)是表示本发明的真空阀的第二实施方式的图。
图4(a)及图4(b)是表示本发明的真空阀的第三实施方式的图。
图5是表示现有构成的一例的图。
【主要元件符号说明】
1：真空阀 2：阀本体
4：阀体 6：阀板
7：驱动部 8、800：密封壳体
8a：突出部 40：阀开口
41：吸气口法兰 61：遮蔽部
62：支撑部 71：壳体
72：驱动轴 73：固定用螺栓
80：轴封 81：密封件
100：微粒 400：内周面
410、420、440：突出部 430：贯通孔
600：背面 620：相向部
A：箭头 B：区域
具体实施方式
以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。
-第一实施方式-
图1、图2是说明本发明的真空阀的第一实施方式的图。图1是真空阀1的外观立体图。真空阀1包括设置有阀板6的阀本体2、以及用于对阀板6进行开关驱动的驱动部7。在阀体4上形成有阀开口40。在阀开口40的吸气侧，即，在阀体4的图示上表面侧设置有吸气口法兰41。另一方面，在阀开口40的排气侧，即，在阀体4的图示背面侧设置有排气口法兰。阀板6由设置在驱动部7上的马达如虚线箭头所示受到摆动驱动。
图2是表示对阀板6进行驱动的驱动轴的密封构造的图。在设置在阀体4的背面侧的驱动部7的壳体71内，设置有对驱动轴72进行旋转驱动的马达(未图示)。在驱动轴72的上端通过固定用螺栓73而固定有阀板6。再者，阀板6包括用于使阀开口40开关的圆形的遮蔽部61、以及形成为从遮蔽部61沿径向延伸的支撑部62。将支撑部62的前端部分固定在驱动轴72上。当通过马达对驱动轴72进行旋转驱动时，如以图1的虚线箭头所示阀板6受到摆动驱动。其结果为，阀开口40通过阀板6的遮蔽部61而进行开关。
在壳体71上，设置有保持轴封80的密封壳体8。驱动轴72贯通密封壳体8的贯通孔，而突出于阀体4的内部。并且，在密封壳体8与阀体4之间也设置有真空用的密封件(sea l)81。在使用阀时，阀体4内成为真空状态，所以设置有如上所述对驱动轴72进行密封的轴封80、以及对密封壳体8与阀体4之间进行密封的密封件81。
在密封壳体8的轴向上端，形成有从阀体4的内周面400突出的环状的突出部8a。所述突出部8a的突出量是以使突出部8a的上端与阀板6的背面600的空隙尺寸成为1mm左右的方式设定。或者，考虑到微粒100的平均大小，将突出量设定为1mm左右。如上所述，侵入到阀体4内的微粒100有可能因为重力或气体的流动等而如以箭头所示移动到驱动轴侧。
但是，在本实施方式中，在密封壳体8上设置有突出部8a，因而可以防止微粒100侵入到驱动轴72的轴封部分。如上所述，突出部8a作为针对微粒100的侵入的遮蔽部而发挥作用。图5是表示现有构成的一例的图。密封壳体800的上端比阀体4的内周面400更凹陷。在这种构造的情况，微粒100容易侵入到驱动轴72的轴封部分。
(1)如以上所述，在本实施方式的真空阀1中，包括收纳阀板6的阀体4、对阀板6进行开关驱动的驱动轴72、对驱动轴72进行真空密封的轴封80、以及防止微粒100侵入到轴封80的防侵入壁即突出部8a。因此，即使在微粒100沿驱动轴72的方向产生有移动的情况下，也会通过突出部8a来阻止移动，从而可以防止微粒100侵入到轴封80部分。其结果为，可以防止由微粒100引起的真空阀1的运行不良，使真空阀1的可靠性提高。
(2)再者，本实施方式的真空阀1是包括作为保持轴封80的密封保持构件的密封壳体8的构成的真空阀，通过使密封壳体8的阀体侧的端部从阀体4的内周面400突出，而使突出部8a构成防侵入壁。通过如上所述设为密封壳体8的一部分兼作防侵入壁的构成，可以抑制成本上升。
-第二实施方式-
图3(a)及图3(b)是表示本发明的真空阀的第二实施方式的图。在所述第一实施方式的真空阀1中，包括保持轴封80的密封壳体8。另一方面，在第二实施方式中，如图3(a)及图3(b)所示形成为在阀体4上直接设置轴封80的构造。
在图3(a)及图3(b)中，图3(b)是表示驱动轴72的密封构造的图，图3(a)是A向视图。驱动轴72贯通阀体4的贯通孔而突出于阀体内。而且，与图2的情况相同，在突出的驱动轴72的上端固定阀板6。在阀体4的贯通孔430内，设置有对阀体4与驱动轴72的外周面之间进行密封的轴封80。在阀体4的内周面400上，形成有防止微粒100侵入到轴封80的部分的环状的突出部410。突出部410的突出量是与所述突出部8a的情况同样地设定。
再者，也可以不在贯通孔430的部分上形成环状的突出部410，而在远离贯通孔430的位置上形成环状的突出部420。但是，如图3(a)所示，阀板6的支撑部62并非覆盖突出部410、突出部420的整个上方，所以如果突出部420过度远离贯通孔430，微粒100落下到突出部420的内侧的区域的可能性就会升高。
在这里，是将突出部410、突出部420设为环状，但是不一定必须是环状。例如，也可以是在微粒100侵入的可能性高的阀开口40侧，设置防止微粒侵入的突出部440的构成。
(3)在所述第二实施方式中，在阀体4上，形成有供配置轴封80并且驱动轴72所贯通的贯通孔430。而且，在贯通孔430的周围，设置有从阀体4的内周面400突出的突出部410，并将所述突出部410设为防侵入壁。因此，即使在微粒100沿驱动轴72的方向产生有移动的情况下，也会通过突出部410来阻止移动，从而可以防止微粒100侵入到轴封80部分。其结果为，可以防止由微粒100所引起的真空阀1的运行不良，从而使真空阀1的可靠性提高。
-第三实施方式-
图4(a)及图4(b)是表示本发明的真空阀的第三实施方式的图。在第三实施方式中，与第二实施方式的情况相同，在阀体4上直接设置有轴封80。而且，在阀体4的内周面400上形成有环状的突出部410。此外，在阀板6的支撑部62上，形成有与突出部410相向的圆盘状的相向部620。相向部620是遍及环状的突出部410的整个360度区域而相向。因此，无论阀板6处于何种开关位置，环状的突出部410的上表面的所有区域均始终被相向部620覆盖着。在突出部410与相向部620相向的区域B内，只形成有微小的间隙。
如上所述，相向部620经由微小的间隙与突出部410相向，所以即使在落到内周面400上的微粒100如图4(b)的箭头所示朝驱动轴72的方向产生有移动的情况下，也可以防止微粒100侵入到轴封80的部分。并且，即使在阀板6受到开关驱动的情况下，相向部也遍及环状的突出部410的整个圆周而相向。因此，如以图4(a)的箭头所示无论微粒100从哪个方向移动而来，都可以防止微粒100侵入到轴封80部分。
(4)如以上所述，在第4实施方式中，固定在驱动轴72上的阀板6的一部分即相向部620与作为防侵入壁的突出部410的突出方向上的端面的整个区域相向。因此，可以遍及驱动轴72的周围360度范围，提高微粒100的防侵入效果。
再者，对于如图2所示的在密封壳体8上形成突出部8a的构成，也可以通过在阀板6上设置与突出部8a相向的相向部620，来获得同样的效果。
在所述图2所示的构成中，是通过使密封壳体8的上端部分(突出部8a)从内周面400突出而形成为防侵入壁，也可以不形成突出部8a，而设为设置如图3(a)及图3(b)所示的突出部410、突出部420、突出部440的构成。
以上，已对各种实施方式及变形例进行了说明，但是本创作并不限定于这些内容。在本创作的技术思想的范围内所想到的其它实施形态也包含在本创作的范围内。例如，在本创作中冷却装置并非必需。本创作的一个实施形态是真空泵，另一个实施形态是所述电源装置。

Claims (3)

1.一种真空阀，其特征在于包括：
阀体，收纳阀板；
驱动轴，对所述阀板进行开关驱动；
轴封，对所述驱动轴进行真空密封；以及
密封保持构件，保持所述轴封；
防侵入壁，突出于所述阀体的内部，并且防止微粒侵入到所述轴封，
所述防侵入壁为形成在所述密封保持构件的轴向上端并且从所述阀体的内周面突出的环状的突出部，所述突出部的突出量是以考虑到微粒的平均大小而设定。
2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：
所述阀体包括所述驱动轴所贯通并且供配置所述轴封的贯通孔，
所述防侵入壁是以从所述阀体的内周面突出的方式设置在所述贯通孔的周围。
3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于：
固定在所述驱动轴上的所述阀板的一部分与所述防侵入壁的突出方向上的端面的整个区域相向。
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