RU2013109133A - Течеискатель - Google Patents

Течеискатель Download PDF

Info

Publication number
RU2013109133A
RU2013109133A RU2013109133/28A RU2013109133A RU2013109133A RU 2013109133 A RU2013109133 A RU 2013109133A RU 2013109133/28 A RU2013109133/28 A RU 2013109133/28A RU 2013109133 A RU2013109133 A RU 2013109133A RU 2013109133 A RU2013109133 A RU 2013109133A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
leak detector
pump
vacuum pump
test
inlet
Prior art date
Application number
RU2013109133/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2567403C2 (ru
Inventor
Ульрих ДЁБЛЕР
Original Assignee
Инфикон Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Инфикон Гмбх filed Critical Инфикон Гмбх
Publication of RU2013109133A publication Critical patent/RU2013109133A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2567403C2 publication Critical patent/RU2567403C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0269—Surge control by changing flow path between different stages or between a plurality of compressors; load distribution between compressors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

1. Течеискатель с испытательным впускным отверстием (10) для подсоединения тестовой камеры, высоковакуумным насосом (12), который соединен с детектором (11) тестового газа, и форвакуумным насосом (20), который содержит по меньшей мере две насосных ступени (22, 23), отличающийся тем, что между насосными ступенями (22, 23) форвакуумного насоса предусмотрен отвод, и эти насосные ступени выполнены с возможностью приведения в действие по выбору последовательно или параллельно.2. Течеискатель по п.1, отличающийся тем, что между насосными ступенями (22, 23) форвакуумного насоса (20) предусмотрено клапанное устройство (V2), которое в первом состоянии соединяет выпускное отверстие первой насосной ступени (22) с впускным отверстием, а во втором состоянии - с выпускным отверстием второй насосной ступени (23).3. Течеискатель по п.2, отличающийся тем, что испытательное впускное отверстие (10) с впускным отверстием второй насосной ступени (23) соединяет перепускной клапан (V4), и что перепускной клапан (V4) открыт в том случае, если клапанное устройство (V2) находится в своем втором состоянии.4. Течеискатель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что течеискатель является противоточным течеискателем, в котором испытательное впускное отверстие (10) соединено с промежуточным подключением (29) высоковакуумного насоса (12).5. Течеискатель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что обе насосных ступени (22, 23) форвакуумного насоса (20) приводятся в действие синхронно общим приводом (35), и что привод управляется таким образом, что для откачки содержащегося в тестовой камере газа задается высокая частота вращения, а по окончании откачки - более низкая частота вращения.6. Течеис�

Claims (6)

1. Течеискатель с испытательным впускным отверстием (10) для подсоединения тестовой камеры, высоковакуумным насосом (12), который соединен с детектором (11) тестового газа, и форвакуумным насосом (20), который содержит по меньшей мере две насосных ступени (22, 23), отличающийся тем, что между насосными ступенями (22, 23) форвакуумного насоса предусмотрен отвод, и эти насосные ступени выполнены с возможностью приведения в действие по выбору последовательно или параллельно.
2. Течеискатель по п.1, отличающийся тем, что между насосными ступенями (22, 23) форвакуумного насоса (20) предусмотрено клапанное устройство (V2), которое в первом состоянии соединяет выпускное отверстие первой насосной ступени (22) с впускным отверстием, а во втором состоянии - с выпускным отверстием второй насосной ступени (23).
3. Течеискатель по п.2, отличающийся тем, что испытательное впускное отверстие (10) с впускным отверстием второй насосной ступени (23) соединяет перепускной клапан (V4), и что перепускной клапан (V4) открыт в том случае, если клапанное устройство (V2) находится в своем втором состоянии.
4. Течеискатель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что течеискатель является противоточным течеискателем, в котором испытательное впускное отверстие (10) соединено с промежуточным подключением (29) высоковакуумного насоса (12).
5. Течеискатель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что обе насосных ступени (22, 23) форвакуумного насоса (20) приводятся в действие синхронно общим приводом (35), и что привод управляется таким образом, что для откачки содержащегося в тестовой камере газа задается высокая частота вращения, а по окончании откачки - более низкая частота вращения.
6. Течеискатель по п.5, отличающийся тем, что соответствующая частота вращения выбирается в зависимости от давления (PE) на испытательном впускном отверстии (10).
RU2013109133/28A 2010-08-04 2011-07-20 Течеискатель RU2567403C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010033373.5 2010-08-04
DE102010033373A DE102010033373A1 (de) 2010-08-04 2010-08-04 Lecksuchgerät
PCT/EP2011/062472 WO2012016838A1 (de) 2010-08-04 2011-07-20 Lecksuchgerät

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013109133A true RU2013109133A (ru) 2014-09-10
RU2567403C2 RU2567403C2 (ru) 2015-11-10

Family

ID=44543198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013109133/28A RU2567403C2 (ru) 2010-08-04 2011-07-20 Течеискатель

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9316559B2 (ru)
EP (1) EP2601498B1 (ru)
JP (1) JP2013532833A (ru)
CN (1) CN103119413B (ru)
BR (1) BR112013002706B1 (ru)
DE (1) DE102010033373A1 (ru)
RU (1) RU2567403C2 (ru)
WO (1) WO2012016838A1 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011107334B4 (de) * 2011-07-14 2023-03-16 Leybold Gmbh Lecksucheinrichtung sowie Verfahren zum Überprüfen von Gegenständen auf Dichtigkeit mittels einer Lecksucheinrichtung
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe
RU2644024C1 (ru) * 2017-01-11 2018-02-07 Анатолий Константинович Дриндрожик Установка для контроля герметичности с вакуумной рамкой
FR3070489B1 (fr) * 2017-08-29 2020-10-23 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester
FR3072774B1 (fr) * 2017-10-19 2019-11-15 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester
GB2581799B (en) * 2019-02-26 2021-08-11 Edwards Ltd Determining pressure of gas pumped by a turbomolecular pump
US20220316978A1 (en) * 2021-03-31 2022-10-06 Packaging Technologies and Inspection, LLC System and method for dynamic signal processing for vacuum decay leak detection
FR3121749B1 (fr) * 2021-04-13 2023-10-13 Pfeiffer Vacuum Système de détection de fuites perfectionné par reniflage
FR3121750B1 (fr) * 2021-04-13 2023-10-13 Pfeiffer Vacuum Système de détection de fuites perfectionné par aspersion
WO2024094566A1 (en) 2022-10-31 2024-05-10 Credoxys GmbH Indacene and azaindacene compounds and higher homologues and the use thereof

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH025107Y2 (ru) * 1985-09-19 1990-02-07
US4735084A (en) * 1985-10-01 1988-04-05 Varian Associates, Inc. Method and apparatus for gross leak detection
EP0344345B1 (de) * 1988-06-01 1991-09-18 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
DE4228313A1 (de) 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
US5870199A (en) 1992-09-02 1999-02-09 Betriebsforschungsinstitut Vdeh Institut Fur Angewandte Forschung Gmbh Method and apparatus for highly accurate distance measurement with respect to surfaces
DE4229313A1 (de) 1992-09-02 1994-03-03 Betr Forsch Inst Angew Forsch Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen Abstandsmessung von Oberflächen
JP3390506B2 (ja) * 1993-12-24 2003-03-24 株式会社アルバック ガス漏れ検査装置
DE4442174A1 (de) * 1994-11-26 1996-05-30 Leybold Ag Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu
DE19522466A1 (de) * 1995-06-21 1997-01-02 Leybold Ag Lecksuchgerät mit Vorvakuumpumpe
DE19638506A1 (de) * 1996-09-20 1998-03-26 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Lecksucher
JPH11326108A (ja) * 1998-05-07 1999-11-26 Shimadzu Corp ヘリウムリークディテクタ
FR2787192B1 (fr) 1998-12-10 2001-01-05 Cit Alcatel Vitesse variable sur le pompage primaire d'un detecteur de fuites par gaz traceur
DE10150015A1 (de) * 2001-10-11 2003-04-17 Leybold Vakuum Gmbh Mehrkammeranlage zur Behandlung von Gegenständen unter Vakuum, Verfahren zur Evakuierung dieser Anlage und Evakuierungssystem dafür
DE10319633A1 (de) * 2003-05-02 2004-11-18 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
GB0411426D0 (en) * 2004-05-21 2004-06-23 Boc Group Plc Pumping arrangement
DE102005008887A1 (de) * 2005-02-26 2006-08-31 Leybold Vacuum Gmbh Einwellige Vakuum-Verdränderpumpe
DE102006047856A1 (de) * 2006-10-10 2008-04-17 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher
DE102006056215A1 (de) 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
JP5948349B2 (ja) * 2011-02-03 2016-07-06 オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー 漏れ検出デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
CN103119413A (zh) 2013-05-22
EP2601498B1 (de) 2015-09-23
JP2013532833A (ja) 2013-08-19
EP2601498A1 (de) 2013-06-12
RU2567403C2 (ru) 2015-11-10
BR112013002706A2 (pt) 2016-05-31
CN103119413B (zh) 2015-05-27
DE102010033373A1 (de) 2012-02-09
BR112013002706B1 (pt) 2020-02-18
US9316559B2 (en) 2016-04-19
WO2012016838A1 (de) 2012-02-09
US20130186183A1 (en) 2013-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013109133A (ru) Течеискатель
FR2883934B1 (fr) Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie
ATE498071T1 (de) Schraubenkompressor
RU2016141616A (ru) Холодильный аппарат
WO2015036282A3 (de) Schnüffellecksucher mit mehrstufiger membranpumpe
WO2011121322A3 (en) Vacuum pumping system
GB0914697D0 (en) Vacuum pump or vacuum apparatus having a vacuum pump
RU2015155592A (ru) Упаковочная машина с жидкостным насосом в сборе
RU2012155580A (ru) Устройство параллельного динамического компрессора и способы, относящиеся к нему
RU2011100836A (ru) Устройство для взбивания молока и способ очистки такого устройства
SA517390118B1 (ar) نظام تشغيل لمضخات حقن كيميائية ومعدات ضغط الهواء
EP2626562A3 (en) Pump
RU2013127277A (ru) Устройство обнаружения утечки
RU2011128585A (ru) Реверсивная система ввода и вывода газа для вращательных машин, работающих с текучей средой
RU2014131264A (ru) Тепловой насос, в частности, для нагрева внутреннего пространства транспортного средства, а также способ функционирования теплового насоса
EA200702432A1 (ru) Устройство и способ объединения двух потоков текучей среды
RU2012157300A (ru) Гидродинамическая муфта
WO2013087713A3 (de) Vorrichtung und verfahren zum evakuieren eines raums und zum reinigen des aus dem raum abgesaugten gases
RU2583203C1 (ru) Способ откачки газа из отключенного участка магистрального газопровода в его действующий участок и система для его осуществления
RU2008132803A (ru) Компрессор высокого давления, его применение и способ его работы
RU2019100225A (ru) Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу
US11519811B2 (en) Leak detector and leak detection method for leak-testing objects
DE502008003230D1 (de) Mehrstufige membran-saugpumpe
WO2011141725A3 (en) Vacuum pumping system
EA200800551A1 (ru) Устройство для концентрирования жидкости и дифференциальный поршневой насос