JPH04121658A

JPH04121658A - ガス洩れ検査装置

Info

Publication number: JPH04121658A
Application number: JP24303090A
Authority: JP
Inventors: Eijiro Ochiai; 英二郎落合
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1990-09-13
Filing date: 1990-09-13
Publication date: 1992-04-22
Anticipated expiration: 2015-04-17
Also published as: JP3034927B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、ＩＣパッケージや小型電子部品等の密閉容器
や密閉部品の気密性をテストするのに最適なガス洩れ検
査装置に関する。

［従来の技術及びその問題点］従来、この種の装置としてヘリウムリークディテクタな
るものが知られているが、これには真空法（フード法）
、吸込法（スニファー法）や真空置注等が知られており
、このうち真空室法はヘリウムを充填した試験体を真空
室内に入れ２この真空室を排気し、試験体から洩れるヘ
リウムを検出する方法であるが、本発明はこの方法に係
るものであり、第１６図はこの排気系統の一例を示すも
ので、これは全体として（８０）で示され、テストボー
）−ｆ８１１　（真空室）にガス洩れを検査する試験体
が配設される。このテストボート（８１）には管路（８
２）（９７）が接続され、これに本引用バルブ（８４）
が接続されている。これは更にコールドトラップ（８５
）に接続され、こ＼をテストボート（８１）内に配設さ
れた試験体からの洩れガスが通過するのであるが、この
通路から分岐した管路（７１）にヘリウム分析管（８６
）が接続されており、またこの通路内の真空度をペニン
グ真空計（８７）により測定されるようになっている。

コールドトラップ（８５）から導出されるガスはヘッド
バルブ（８８）を介して油拡散ポンプ（８９Ｌ補助バル
ブ（９０）及び補助ポンプ（９１）により排気されるよ
うに構成されている。

管路（８２）には更にリークバルブ（９３）を介して標
準リーク（９２）が接続されており、更に粗引用バルブ
（９５）を介して粗引用ポンプ（９４）が接続されてい
る。管路（８２）内の真空度はビラニ真空計（９６）に
より測定されるようになっている。従来例のヘリウムリ
ークディテクタの配管系統は以上のように構成されるの
であるが、次にコールドトラップ（８５）に分岐して接
続される分析管（８６）について第１７図を参照して説
明する。

分析管（８６）の詳細は第１７図に示されるが、テスト
ボート（８１）からコールドトラップ（８５）、ガス分
岐管（７１）を通って導入されたガスは分析管（８６）
の上流側端部に配設されるイオンソース部（７２）内に
導かれ、こ＼でイオン化される。すなわち、洩れたヘリ
ウムはヘリウムイオンとなり、他のガスもイオン化され
、これが磁場偏向型質量分析の原理に従って分析管（８
６）内のイオン通路（７４）に沿って配設された電極偏
向板（７５）のスリット（７５ａ）を通って、そのイオ
ン電荷量と質量とにより図に示すような各軌跡に沿って
走行し、マグネット（７６）により、この磁場のいわゆ
るローレンツ力を受けて図示するように偏向し、ヘリウ
ムイオンだけがイオンコ１／クタ（７７）によりコレク
トされて、これがプリアンプ（７８）により増巾され、
更に直流増幅器（７９）により増巾され指示用計器（８
３）で、検査している試験体からヘリウムガスが出てい
るかどうか、すなわちガス洩れがあるかどうかを検査す
るようにしている。

テストを開始するに当たっては粗引用バルブ（９５）を
解放し、粗引用ポンプ（９４）を駆動させることにより
テストボート（８１）や、これに接続される管路内は排
気され、ビラニ真空計（９６）により、これらの真空度
が所定度まで上昇すると本引用バルブＣ３４）を解放し
、テストボート（８１）内に配設された試験体からの洩
れガスとしてのヘリウムがコールドトラップ（８５）を
通り、分析管（８６）側に分流して上述のようにしてヘ
リウムの分圧が測定されるのであるが、この場合、以下
のような欠点が認められる。

すなわち１本引用バルブとしてのテストバルブ（８４）
よりコールドトラップに導入されたガス量Ｑは分析管で
一部Ｑ゛として分流する。分析管ではヘリウムに対する
分圧を測定していることになるので、有効排気速度（Ｓ
ｅｆｆ）との関係より実際に測定できるヘリウム分圧（
ｐ’、ｉｌは、Ｐ　’　ｓｔ＝　Ｑ　’　／　５ｅｆｆ
　・＝−・−となる。ところが導入されたヘリウムガス
全てに対する分圧（Ｐｎｇ）は。

Ｐｏｔ＝Ｑ／５ｅｆｆ・・・・・・・・となるため、Ｑ
）Ｑ’であるのでＰ　Ｈｔ＞　Ｐ　’　Ｈｔとなる。よって第１６図に示すような従来のリークディ
テクタにおいては排気径路に起因する感度の損失がある
ことがわかる。

従って、実際の使用に際しては以下のような欠点があっ
た。

ｌ）導入されるガス量のうちＱ゛しがイオン化されない
ため、イオン化効率が低く、従って検出感度が低い。

２）ｌ）の欠点をカバーするためには有効排気速度（Ｓ
ｅｆｆ）を低く設定する必要がある。この有効排気速度
を低く設定すると、導入されたヘリウムガスの残留時間
が長くなるため、バックグラウンドが高（なる。又、ヘ
リウムガスを検知するまでの感応時間も長くなる。

３）配管に大きなスペースを必要とし、またデッドスペ
ースも大きいので放出ガス、吸着ガス量も多く、粗引時
間が長くなり、よってテスト時間を長（していた。

［発明が解決しようとする問題点］本発明は以上のような問題に鑑みてなされ、省スペース
化し、導入されるガスのイオン化効率が高（、分析管部
の排気速度も速（することができテスト時間も大巾に短
縮し得るガス洩れ検査装置を提供することを目的として
いる。

［問題点を解決するための手段］上記目的は、少なくとも第１通路と第２通路とから成る
内部空間を備えたブロック体に前記第１通路とガス洩れ
を検査すべき試験体を収容する真空室とを連通させるた
めの試験用開口と、前記第２通路と本引用真空ポンプと
を連通させるための本引用開口と、前記第１通路と粗引
用ポンプとを連通させるための粗引用開口と、ガス洩れ
検査用のガスイオンを検知するための分析管内と連通さ
せるためのガスイオン導入用開口とを形成させ、前記第
１通路と前記第２通路との間を開閉する弁を内在させ、
かつ前記第２通路内に検査用のガスをイオン化するため
のイオン化手段を設けたことを特徴とするガス洩れ検査
装置、によって達成される。

［作　　　用］ブロック体に各部材を接続させるための開口を形成させ
ているのでデッドスペースを減少させ、よって放出ガス
や吸着ガスを低減させ、粗引き時間の短縮を図ることが
でき、よって単位時間当たりのガス洩れ検査処理量を増
大させることができる。

またイオン化手段がブロック体内にあり、ガスの排気通
路内に設けられているので洩れガスのイオン化率が高く
、よって従来より検出感度を向上させることができる。

またこのイオン化手段と被検査体との距離を小さくする
ことができるので応答性や感度を向上させることができ
る。

またブロック体に各部材を取り付けるようにしているの
で装置全体を小型化することができる。

［実　施　例］以下、本発明の実施例によるガス洩れ検査装置について
図面を参照して説明する。

第１図は実施例によるガス洩れ検査装置における主たる
構成である排気系ブロックを示すものであるが、これは
全体として（１）で示され、はｆ直方形状のステンレス
で形成されるブロック本体（２）からなっており、その
上面は段付となっていて上段部にはワークチャンバ連通
用孔（３）、またこの下段部にはイオンソース部取付孔
（４）が形成され、ブロック本体（２）の一方の側面部
には標準リークボート（５）、更にその上方部にはゲー
ジボート取付孔（６）　（７）が形成されている。

第２図に明示されるようにブロック本体（２）には更に
その後面部には真空差圧電磁弁取付用の孔（８）、底面
部にはベントバルブ取付用のペントボー　トｆ９１及び
分析管連通用の孔（ｌＯ）が形成されている。更にブロ
ック本体（２）の他側面部及び前面部には排気ポンプ取
付用の孔（２８１（Ｉｌｌが形成されている。

ブロック本体（２）には以上のように各面に孔または取
付孔が形成されるが、孔［６）　（７）にはビラニ真空
計ゲージボート（１１’）及びペニング真空計ゲージボ
ート（１２）が溶接により気密に固定されている。上面
部の取付孔（４）にはシールリング（１５）を介在させ
て取付部材（１４）に保持されたイオンソース部（１３
）がブロック本体（２）の内部空間Ａに位置するように
挿入され、かつ取付部材（１４）を介しブロック本体（
２）に固定されている。

上面部の孔（３）にはシールリング（１７）を介在させ
て第３図及び第４図にその詳細が示されるワークチャン
バ（１６）が気密に取付られている。またブロック本体
（２）の後面部の開口（８）には第５図にその構造が明
示される真空差圧電磁弁（１８）の要部を挿通させてフ
ランジ部材（１９）により気密に取付られている。また
ブロック本体（２）の前面部の開口（１１）には真空ポ
ンプ取付短管（２０）が溶接により固定されている。本
実施例に用いられる本引用狛空ポンプはターボ分子ポン
プ（２１）であって、こり吸気ボート＋２２１に上述の
短管（２０）が整合し、気連に取付られるようになって
いる。排気ブロック本体（２）の一方の側面部に形成さ
れる開口（２８）に番」粗引用の真空ポンプを接続する
ための短管（２３）力溶接により固定されている。また
ブロック本儲（２）の下面部に形成される開口（９）に
は孔（２４ａ）を有する取付板（２４）を介して気密に
ベントバルフ（２５）が固定されており、また他方の開
口（ｌＯ）には取付板（２６）を介してこの開口ｆ２６
ａ）と整合させて気密に分析管（２７）が取付られてい
る。この分析管（２７）は第１７図の分析管と比べると
イオンソース■を含まないことを除いて同一である。

次に第３図及び第４図を参照してワークチャンバ（１６
）の詳細について説明する。

ワークチャンバ（１６）は主として第３図に示すような
略半トラツク形状のケーシング（３０）からなっており
、この上面部の環状の溝に嵌着されたシールリング（３
２）により開閉自在の蓋（３３）を−点鎖線で示すよう
に閉状態としたときにケーシング（３０）内に気密な空
間（３４１を画成するように構成されている。蓋（３３
）の下端部の両側には耳部ｆ３５ａ）　ｆ３５ｂ）が一
体的に形成され、これがケーシング（３０）に回動自在
に取付られた軸（３６）の両端部で支持されでおり、こ
の軸（３６）の中央部にはねじりスプリング（３７）が
取り付けられ、このばね力で通常は第４図の実線で示す
ような開状態を保持するようにしており、また−点鎖線
で示すように開状態をとるときには図示しないクランプ
機構によりこの閉状態を保持するようにしている。また
ケーシング（３０）の底壁部には開口（３８）が形成さ
れており、これが第２図に示される排気ブロック本体（
２）の上面部に形成された孔（３）と整列して配設され
、ケーシング（３０）の底壁部に一体形成される複数の
突起（３１）をブロック本体（２）に形成された対応孔
に嵌合させて位置決めした上で気密に、即ち第２図に明
示されるシールリング（１７）を介在させて固定される
ようになっている。

次に第５図を参照して真空差圧電磁弁（１８）の詳細に
ついて説明する。

これは主として上方から順に電磁弁コイル部（６０）、
シリンダ部（６１）及び弁部（６２）からなっている。

電磁弁コイル部（６０）において、ケーシング（６３）
には電磁コイル（６４）が取付られており、この内側に
は明示せずどもばねで付勢され摺動自在なプランジャ（
６５）が配設されており、この下端面にはシール部材（
６６）が取付られている。またケーシング（６３）の下
方部には真空ポンプ接続口（６８）が形成されており、
これはプランジャ（６５）を摺動自在に配設させている
ケーシング（６３）内の空間に連通可能とされており、
更にケーシング（６３）に上下方向に形成された通路（
６９）と連通可能としている。

シリンダ部（６１）においてはケーシング（４０）内に
シリンダ孔［Ｌｌ）を形成させており、これにシールリ
ング（４３）を嵌着させたピストン（４２）を摺動自在
に嵌合させでおり、この中央部には駆動ロッドｆ４４）
を固定させている。ピストン（４２）により上方に第１
空気室旦及び下方に第２空気室Ωを画成させており第２
空気室立はケーシング（４０）に固定されたブロック（
４５）に形成されたＬ字型の通路（４６）を介して大気
を吸気するように構成されている。

駆動ロッド（４４）はシールリング（４７）を介在させ
てリング部材（４８）に摺動自在に嵌合しており、この
下端部に取り付けられた下方ばね受け（５１）とリング
部材（４８）に嵌着されたリング状の上方ばね受は部材
（４９）との間にスプリング（５０）を圧縮状態で張設
させている。下方ばね受は部材（５１）には弁ゴム（５
２）が固定されている。真空差圧電磁弁（１８）は以上
のように構成されるが、通常は図示するような状態をと
っており、プランジャ（６５）の下端に取付られたシー
ル部材（６６）は弁座（６７）に着座しており真空ポン
プ接続口（６８）と通路（６９）とを遮断しており、ま
たピストン（４２）はスプリング（５０）のばね力によ
り図示するような下方位置をとっており、またこのばね
力により弁部材（５２）を弁座（５３）に着座させてお
り、この側方に形成された開口（５４）と弁座（５３）
を形成させている排気口（５５）とを遮断状態にしてい
る。真空差圧電磁弁（１８）は通常は以上のような状態
をとっているのであるが、開口（５４）を形成させてい
る短管（２３’）は第１図に示される短管（２３）に対
応するものであり、従って本実施例ではこの部分を備え
ない真空差圧電磁弁（１８）を用意し、短管（２３）を
別途加工して第１図に示すブロック本体（２）に真空差
圧電磁弁（１８）の駆動ロッド（４４）やスプリング（
３７）を挿通させた後、溶接して取り付けるようにして
おり、同様に弁座（５３）を形成させている短管部（５
５）を省略した真空差圧電磁弁を用いておりブロック本
体（２）の内部に第２図に示されるように弁座（５３）
に対応する弁座（５３°）を形成し、これに弁部材（５
２）を着座させるように構成している。

次に本実施例による排気系統について第６図を参照して
説明する。

第６図においてこの排気系統は全体として（５６）で示
されテストボート（５７）が第１図及び第２図に示され
る開口（３）もしくはこれに連通して配設されるワーク
チャンバ（１６）に対応するものである。これに連通ず
る管路（５８）はテストバルブとしての真空差圧電磁弁
（１８）を介して分析管（２７）、タボ分子ポンプ（２
１）及び補助ポンプ（９１）に接続されている。また分
析管（２７）にはペニング真空計（８７）が接続されて
いるが、これは第１図において真空計ボート（１２）に
接続されるものである。

また管路（５８）にはビラニ真空計（５９）が接続され
ているが、これは第１図に示される真空計ゲージボー１
−　（１１１に取り付けられるゲージである。また管路
（５８）には第１粗引用バルブ（９８）、管路（９９）
を介して粗引用ポンプ（１００１に接続され、これと管
路（５８）との間には第２粗引用バルブｆ１０１）　、
第２のターボ分子ポンプ（１０２）及び第３の粗引用バ
ルブｆ１０３１が接続されている。

管路（５８）には更に標準リーク（９２）がリークバル
ブ（９３）を介して接続されており、またベントバルブ
（２５）が接続されている。

管路（５８）には上述したように第１粗引用バルブ（９
８）、ポンプ（１００）　、ターボ分子ポンプ（１０２
１等が接続されているのであるが、これらのテストボー
ト（５７）側の接続部位Ｑが第２図に示される開口（２
８）に対応するものである。またリークバルブ（９３）
が接続される管路（５８）との接続部位Ｐがブロック本
体（２）に形成される孔（９）である。また第６図にお
いては管路（５８）は従来例と同様に、ある長さを有す
る配管として図示されているが、実施例では第１図及び
第２図に示されるようにブロック本体（２）に形成され
る開口（３）　＋２８１等にワクチャンバ（１６）やベ
ントバルブ（２５）等が接続されるので配管ではなくて
単に開口と開口とを整合させて通路としたものである。

従って全体としてコンパクトな装置構成を有するもので
ある。

第７図乃至第１Ｏ図は第６図に示すような配管系統を有
し、これらは第１図及び第２図に示されるブロック本体
（２）に結合させたものであるが、これらの結合体を示
すものであり第７図は第２図に対応するものであるが更
に配管系統等を付加して示すものであり、第８図〜第１
θ図はこれを各方向からみた図であって、これら図から
も明らかなように本実施例は粗引用バルブ（９５）を介
して粗引用ポンプとしてターボ分子ポンプ（２１）を接
続させており、また第６図に示すように第１、第２及び
第３粗引用バルブ＋９８１　ｆｌｏｌ）　（１０３）を
設けているが、これらがブロック本体（２）の開口（２
８）側に接続されるものである。

また本実施例によれば共通のブロック本体（２）を用い
てターボ分子ポンプは本引用のみとし粗引用には従来と
同様に安価な真空ポンプを用いることもできる。第１１
図〜第１４図は１個のターボ分子ポンプ（２１）を用い
た場合の構成であるが、これらは第７図〜第１Ｏ図に対
応して各方向からみた図であり、この構造においても明
らかなように全体としてはコンパクトな構成を示してい
る。なお、この場合、開口（２８）の大きさは若干減少
させられ、例えば４５ｗ＋ｍから２５−鯖とされる。

本発明の実施例によるガス洩れ検査装置は以上のように
構成されるが、次にこの作用について説明する。

第２図においてワークチャンバ（１６）にガス洩れを検
査すべき試験体、例えばＩＣパッケージ等の密閉部品（
ヘリウムガスを充填させている）が収容され、蓋（３３
）を閉じた後、図示しないクランプ機構によりこの閉状
態を保持させる。テスト信号入力後、第１粗引用バルブ
（９８）を開き真空ポンプ（１００）によりテストボー
ト（５７）、即ちワークチャンバ（１６）の空間（３Ａ
）を排気する。この真空度がビラニ真空計（９６）によ
り計測されこの真空度が１Ｔｏｒｒの値に達すると第２
、第３粗引用バルブ（１０１）　（１０３１を開放し第
２のターボ分子ポンプ（１０２１をテストボートｆ５７
）に連通させる。よって高速でテストボート（５７）及
びこれに接続される管路（５８）内は減圧されビラニ真
空計で１０−’Ｔｏｒｒまで低下すると、しばらくして
テストバルブ、即ち第１図及び第２図に示される真空差
圧電磁弁（１８）が駆動される。即ち第５図においてコ
イル（６４）が励磁される。なおテスト信号入力後、テ
ストバルブ（１８）が開かれるまでのタイムチャートを
第１５図に示す。これによりプランジャ（６５）が図に
おいて上方へと移動する。弁部材（６６）が弁座（６７
）から離座する。ポート（６８）に接続されている真空
ポンプにより、これに連通ずる通路（６９）が排気され
る。即ちシリンダ（６１）内の第１空気室旦が減圧され
る。

これによりピストン（６２）の下方の第２空気室Ωとの
圧力差によりピストン（６２）は上方に付勢される。こ
の付勢力がスプリング（５０）のばね力に打ち勝つとピ
ストン（４２）は上方に移動する。即ち駆動ロッド（４
４）の下端に固定された下方ばね受け（５１）即ち弁部
材（５１）が弁座（５３’ｌ　から離座する。

即ち、第２図において弁座（５３°）から弁部材（５１
）が離座することによって開口（３）が空間Ａ　１１１
．１１と連通ずる。従って第１のターボ分子ポンプ（２
１）により高速にテストボート即ちワークチャンバ（１
６）内の空間（３Ａ）が排気される。よってテスト状態
におかれ、もしワークチャンバ（１６）内に配設された
ＩＣパッケージからヘリウムが洩れていたとすれば、こ
のヘリウムはイオンソース部（１３）で陽イオンとなり
、これが分析管（２７）に導かれ従来例で述べたように
その分圧が測定される。よってワークチャンバ（１６）
内に配設されているＩＣパッケージの洩れ度が検出され
ることになる。

テストバルブ（１８）を閉じるときには第５図において
コイル（６４）の励磁が断たれ、これによりプランジャ
（６５）は図において下方に移動し弁座（６７）に着座
する。よってボート（６８）と通路（６９）とは遮断状
態におかれる。第２空気室Ωに空気が吸入されることに
より、ピストン（４２）に対する上方への付勢力及びス
プリング（５０）のばね力によりピストン（４２）は再
び下方に移動し、弁部材（５３）は弁座（５３°）に着
座し再び第２図において空間Ａ側と開口（３）側とを遮
断する。また、第６図において第１、第２及び第３粗引
用バルブ（９８）　（１０１）　（１０３１については
、上記では詳細に述べなかったが、第５図と同様な真空
差圧電磁弁が用いられており、これらのコイルの励磁も
断たれることにより、各弁部が閉じられた後、ワークチ
ャンバ（１６）における蓋（３３）を開放して大気圧に
おかれて後、試験体が取り出される。

本発明の実施例は１以上のような構成を有し、かつ作用
を行なうのであるが、次のような効果を奏するものであ
る。即ち、本実施例によれば、第１図に明示されるよう
なブロック本体（２）の各面に粗引用ポンプ接続用の開
口、本引用の真空ポンプ接続用の開口などを形成し、従
来のような長い配管を介することな（、直接粗引用ポン
プや本引用ポンプなどを接続し、更にテストボートにワ
ークチャンバ（１６）を取り付けるようにしたので、装
置全体として非常にコンパクトな構成になり、これによ
り粗引用ポンプまたは本引用ポンプが排気すべき空間の
内容積が従来より一段と小さ（なり、従って従来では粗
引用ポンプとしては用いることができなかったターボ分
子ポンプ（２１）を用いることができ、よって粗引時間
を従来より大巾に短くすることができる。これは、デッ
ドスペースが従来より小さくなることにより放出ガスや
吸着ガスが従来より大巾に低減し、従って通常の真空ポ
ンプでわずかＩ　Ｔｏｒｒ付近まで減圧させた後、ター
ボ分子ポンプ（２りに切り換えることができ、よって高
速で粗引することができる。従ってテスト時間を大巾に
減少させることができる。

また、第２図に明示されるようにイ才ンソース部（１３
）をブロック本体（２）の内部空間Ａ内に配設している
。即ち排気通路中に配設していることにより、ワークチ
ャンバ（１６）から導出されるヘリウムガス全体をイオ
ン化することができ、よって分析管（２７）における検
知感度を大１】に上昇させることができる。また、これ
により排気速度を大としても検知可能となり、上述の効
果と相俟ってテスト時間をますます短縮することができ
る。

また、第１図に示すようなブロック本体（２）を用いて
いることにより、上記実施例では粗引用にもターボ分子
ポンプを用いたが、これは高価であるので、もしコスト
低下を図りたいのであれば５この取付ブロック本体（２
）をそのまＳ用いて従来の真空ポンプを適用すればよい
ので、その汎用性は極めて優れたものである。

また、ガス洩れ装置を全自動化するためにはバルブとし
ては電磁弁を用いることが望ましいが一般の電磁弁はそ
の機構上コンダクタンスが小さ（、その直径は大きくて
もφ８ぐらいである。オリフィスが太き（なればなるほ
どコイル部も太きくなり、スペース的な問題がある。最
低でもφ２５ぐらいが望ましいので通常の電磁弁の採用
は無理である。またエア圧を利用して開閉させるニュー
マチックバルブは圧縮エアをユーザーから貰うか、コン
プレッサな内蔵するかが問題になり設置場所を限定しな
いということには不適当であり、またコンプレッサはス
ペースとノイズの問題がある。しかしながら本実施例の
ように真空差圧電磁弁を用いた場合には小型の真空ポン
プ（到達圧約１５０Ｔｏｒｒ　）でシート面とつながっ
ているシリンダを引き上げることができ、コンダクタン
スはφ２５と大きくすることができる。またコンプレッ
サによるノイズの影響もなく全自動の排気系にとっては
非常に好都合なバルブである。

また本実施例によれば以上では詳述しなかったが真空差
圧電磁弁用の真空ポンプにはいわゆる「リニアモータ駆
動フリーピストン方式のポンプ」が用いられ、これはモ
ータと空気圧縮部が一体構造となったシリンダ内をピス
トンだけが電磁石の「吸引力」とスプリングの「復元力
」により電源周波数にシンクロした回数でスムーズに往
復駆動するものであるがその構造上極めてコンパクトで
あり、これがまた本実施例のガス洩れ検査装置全体を更
にコンパクトなものとすることができる。

また一般に、ＩＣパッケージ等の密閉部品や内容積の小
さい小型量産部品のガス洩れ検査の排気系には、次のよ
うなスペックが要求される。

ａ、検出感度は１０−”　〜ｌＧ−”Ｔｏｒｒ−Ａ　／
５ｅｃｂ、連続試験に耐える高速クリーンアップ（分析
管部の排気速度向上）Ｃ３粗引き時間の短縮ｄ、省スペースｅ、バルブコンダクタンスの拡大（排気速度の向上）ｆ、液体窒素不要［近年のＨＬＤ　（ヘリウムリークデ
ィテクタ）の傾向より］ｇ、バルブ駆動用エア不要（設置場所の関係で）ｈ、メンテナンス容易以上の実施例はこれらの要求にすべて応えるものである
。

以上、本発明の実施例について説明したが、勿論１本発
明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に
基いて種々の変形が可能である。

例えば、以上の実施例では、ワークチャンバ（１６）内
にはヘリウムを充填させたＩＣパッケージを試験体とし
て収容させたが、勿論試験体はこれに限定されることな
（、各種の密閉容器や密閉部品のガス洩れの検査に適用
可能であり、この場合、洩れガスとしてはヘリウムに限
定されることなく、各種のガスが適用可能である。

また以上の実施例では、ワークチャンバ（１６）を取付
ブロック本体（２）に直接取り付けるようにしたが、こ
のワークチャンバについては、取付ブロックに、ある長
さの配管を取付けこれにワークチャンバを取り付けるよ
うにしても従来よりはるかにコンパクトな構成で、かつ
上述した効果を得ることができる。

また以上の実施例では、テストバルブや粗引用バルブと
して真空差圧電磁弁を用いたが、これに代えてエア圧を
利用して開閉させるニューマチックバルブを用いても上
述の効果が失われることはない。しかしながら、上記実
施例のように真空差圧電磁弁を採用した場合には、ユー
ザーから圧縮空気を供給してもらう必要がないので、ま
たコンプレッサは大きなスペースとノイズの問題がある
ので、上記実施例のように真空差圧電磁弁を用いた方が
はるかに効果的である。

［発明の効果］以上述べたように、本発明によるガス洩れ検査装置によ
れば、ＩＣパッケージなどの密閉部品や密閉容器などの
リークテストを迅速かつ精度よ（検査することができ、
また装置全体を従来より大巾に小型化することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例によるガス洩れ検査装置におけ
る排気ブロックの斜視図、第２図は同ブロックに各部材
を取り付けた状態の側断面図、第３図は第２図における
ワークチャンバの平面図、第４図は同側断面図、第５図
は第２図における真空差圧電磁弁の断面図、第６図は同
実施例の配管系統図、第７図は本実施例のガス洩れ検査
装置の概略側面図５第８図は同概略正面図、第９図は同
概略平面図、第１Ｏ図は他側面からみた同概略側面図、
第１１図は同実施例における、一部を変更させたガス洩
れ検査装置の概略側面図、第１２図は同概略正面図、第
１３図は同概略平面図、第１４図は他側面からみた同概
略側面図、第１５図は同実施例の作用を説明するための
タイムチャート、第１６図は従来例のガス洩れ検査装置
の排気系統を示す配管系統図及び第１７図は同装置にお
ける分析管の断面図である。なお、図において（１）・・・・・・・・・（２）・・・・・・・・・（３）・・・・・・・・・（１０ン　・・・・−・　・・（１３）・・・・・・・・（１６）・・・・・・・・（２１）・・・・・・・・排気系ブロック全体ブ　　ロ　　ッ　　り　　本　　体達　　　通　　　用　　　孔分析計取付用の孔イオンソース部ワークチャンバターボ分子ポンプ（２７）・・・・・・・・分析管代理人飯阪泰雄図１・・・・・・・・排気系ブロック全体２・−・・・ブ
ロック本体３・・・・・・・連通用孔第４図第６因第９図第１１図第１２因第１３図第１４ＩＲ第１６ｗＪ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少なくとも第１通路と第２通路とから成る内部空
間を備えたブロック体に前記第１通路とガス洩れを検査
すべき試験体を収容する真空室とを連通させるための試
験用開口と、前記第２通路と本引用真空ポンプとを連通
させるための本引用開口と、前記第１通路と粗引用ポン
プとを連通させるための粗引用開口と、ガス洩れ検査用
のガスイオンを検知するための分析管内と連通させるた
めのガスイオン導入用開口とを形成させ、前記第１通路
と前記第２通路との間を開閉する弁を内在させ、かつ前
記第２通路内に検査用のガスをイオン化するためのイオ
ン化手段を設けたことを特徴とするガス洩れ検査装置。
（２）前記真空室は開閉自在な蓋を備えたケーシング内
に形成され、該ケーシングの一側壁部に開口を形成し、
該開口を前記ブロック体の前記試験用開口と連通させる
ように前記ケーシングを前記ブロック体に気密に取り付
けた請求項（１）に記載のガス洩れ検査装置。
（３）前記本引用ポンプはターボ分子ポンプであり、前
記粗引用ポンプは複数のポンプ部から成り、これらポン
プ部の少なくとも一つにターボ分子ポンプを用いる請求
項（１）又は（２）に記載のガス洩れ検査装置。
（４）前記弁は真空差圧電磁弁である請求項（１）乃至
（３）のうちいずれか１項に記載のガス洩れ検査装置。