CN101159217B - 一种离子注入机的测漏桶 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种离子注入机的测漏桶，测漏桶与外部测漏机并行使用，用于对离子各模组进行测漏。它包括测漏桶桶身，测漏桶桶身上具有与外部测漏机连接的抽气孔，测漏桶桶身还开有一敞口，测漏桶桶身的敞口直接与其形成密封型接触的被测漏模组连接，被测漏模组置于桶身内。本发明离子注入机的测漏桶，不仅结构简单，而且能够方便准确定位离子注入机的漏点，避免对离子注入机反复重组进行测试，延误离子注入机的正常使用。

Description

一种离子注入机的测漏桶
技术领域
本发明涉及离子注入机测试装置，尤其涉及一种离子注入机的测漏桶。
背景技术
目前，离子注入机是半导体离子扩散中经常采用的一种机台。它通常包括离子源(source head)、离子分析器(extraction)、可变狭缝(MRS)等模组。这些模组组装完成后需要在机台测试看是否有漏的地方，如果有漏就会影响离子注入机的正常工作。然而经过测试后如果发现离子注入机有漏的地方，就需要将离子注入机的模组重新组装，如果数次重装后仍然通不过漏点的测试，则需要花费较多时间仔细找出有漏的位置。
传统的这种测漏找漏方法显得笨拙，不但比较费时费力而且会影响离子注入机的工作。所以有效测漏找漏装置不但省时省力还会有效提高离子注入机的利用率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种离子注入机的测漏桶，不仅结构简单、成本低，而且能够方便准确地对离子注入机各模组进行漏点测试。
为了达到上述的目的，本发明提供了一种离子注入机的测漏桶，测漏桶与外部测漏机配合使用，用于对离子注入机模组进行测漏，其特征在于，它包括：测漏桶桶身，测漏桶桶身一侧具有与外部测漏机连接的抽气孔，测漏桶桶身顶部开有一敞口，离子注入机的被测漏模组直接与测漏桶桶身的敞口形成密封型连接，被测漏模组置于所述测漏桶桶身内。
本发明离子注入机的测漏桶，通过测漏桶对离子注入机各模组进行测漏可方便快捷地查找离子注入机各模组的漏点，避免对离子注入机的各模组重复组装，节省查漏时间，提高离子注入机的利用率。
附图说明
本发明离子注入机的测漏桶由以下的实施例及附图给出。
图1为用于对离子分析器测漏的测漏桶结构图。
图2为用于对离子源/可变狭缝测漏的测漏桶结构图。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明离子注入机的测漏桶作进一步的详细描述。
如图1所示，本发明离子注入机的测漏桶以用于对离子分析器5进行测漏的测漏桶为例，测漏桶与外部测漏机配合使用，测漏桶包括：测漏桶桶身2，测漏桶桶身2一侧具有与外部测漏机连接的抽气孔4，测漏桶桶身还开有一敞口，位于测漏桶顶部，离子分析器5直接与测漏桶开的敞口密封型连接后置于桶身2内，通气孔4与外部的测漏机连接。外部的测漏机可选择为氦气测漏机。
本发明离子注入机的测漏桶另一实施例以用于离子源或可变狭缝的测漏桶为例，请参阅图2。图2中测漏桶包括：测漏桶桶身2，测漏桶身2的一侧具有与外部测漏机相连的抽气孔4，测漏桶桶身还开有敞口，位于测漏桶顶部，离子源或可变狭缝模组6通过适配板7与测漏桶桶身敞口密封型连接，置于桶身2内。适配板7可通过螺栓8固定于桶身2敞口边。外部的测漏机同样可选择为氦气测漏机。
将所要测试的离子注入机模组与桶身2所开敞口密封型连接，置于桶身2内，然后将测漏桶抽气孔4与外部氦气测漏机进行密封型连接，这样测漏桶就为一密封腔体，打开氦气测漏机，这样就可方便查出离子注入机模组是否存在漏点，节约查漏时间，提高离子注入机利用率。

Claims (1)

1.一种离子注入机的测漏桶，所述测漏桶与外部测漏机配合使用，用于对离子注入机模组进行测漏，其特征在于，它包括：测漏桶桶身，所述测漏桶桶身一侧具有与所述外部测漏机连接的抽气孔，所述测漏桶桶身顶部开有一敞口，所述离子注入机的被测漏模组直接与所述测漏桶桶身的敞口形成密封型连接，所述被测漏模组置于所述测漏桶桶身内。
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