CN105659067A

CN105659067A - 用于测量污染水平的多采样端口监测装置和使用该装置的监测方法

Info

Publication number: CN105659067A
Application number: CN201480058393.XA
Authority: CN
Inventors: 柳承教; 李应先; 李玹旭
Original assignee: WITHTECH Inc
Current assignee: WITHTECH Inc
Priority date: 2013-10-23
Filing date: 2014-10-23
Publication date: 2016-06-08
Also published as: US9880077B2; WO2015060664A1; US20160282235A1; KR20150047097A; JP6284633B2; JP2016538534A

Abstract

提供了一种用于测量预定空间中的污染水平的多采样端口监测装置以及使用该多采样端口监测装置的监测方法。更具体地，提供了一种能够通过以下方式来有效地监测广阔空间中的污染水平的多采样端口监测装置以及使用该多采样端口监测装置的监测方法：包括多个采样端口，使得在被测空间中的若干点处吸取气体；测量从多个采样端口吸取的气体的平均污染水平；以及在平均污染水平超出预定范围的情况下允许单独测量从采样端口吸取的气体的污染水平。

Description

用于测量污染水平的多采样端口监测装置和使用该装置的监测方法

技术领域

本发明涉及用于测量预定空间中的污染水平的多采样端口监测装置以及使用该多采样端口监测装置的监测方法，更具体地，涉及能够通过下述方式来有效地监测广阔空间中的污染水平的多采样端口监测装置以及使用该多采样端口监测装置的监测方法：包括多个采样端口，使得在被测空间中的若干点处吸取气体；测量从多个采样端口吸取的气体的平均污染水平；以及在平均污染水平超出预定范围的情况下允许单独地或者局部地测量从采样端口吸取的气体的污染水平。

背景技术

洁净室，在其中执行半导体制造工艺等的地方，根据洁净度被划分成若干类，洁净度由每单位面积中存在的以及具有预定尺寸的颗粒的数目来确定，并且应该通过精确测量来经常识别污染原因，以始终保持并且管理洁净度的预定水平。

因此，应该识别并且经常测量可能影响洁净度的重要部分，并且应该能够通过有规律地测量洁净室中的若干地方来预测偶然情况。此外，在洁净室中，重要的是恒定地保持并且管理温度、湿度和压力以及通过分析颗粒来识别洁净度。

通常，在半导体制造设施的洁净室中，颗粒测量装置被用于测试洁净室的过滤器的泄漏以及测量洁净室的内部颗粒。当设置在洁净室的天花板上的过滤器被安装之后，该过滤器由于内部和外部的变化而损坏，使得该过滤器的过滤功能可能劣化。

因此，需要测试过滤器的泄漏，以验证稳定的洁净室保证和半导体器件的可靠性保证。泄漏的测试通过下述方案来执行：在与过滤器的下端保持预定距离的同时扫描过滤器的表面，并且测量从过滤器排出的气体中存在的颗粒的数目。

作为与此相关的技术，韩国专利公开公报第2006-0036687号(公开于2006年5月2日，题为“ParticleProbeApparatusforCleanRoom”)已被公开。

然而，由于在其中执行各种半导体工艺的洁净室具有非常广阔的空间，因此通过在特定点处安装传感器来测量污染水平的方法不适合用来测量在广阔空间中的污染水平。

测量浓度的方法难以通过在特定点处安装传感器来表示广阔空间中的浓度，因为传感器仅测量该特定点处的浓度。在安装若干传感器以解决该问题的情况下，在覆盖该广阔空间时过度增加了经济负担。

为了解决这个问题，已经提出了在一个测量仪器中形成多个采样端口并且测量多个采样端口中的浓度的技术。然而，由于多个采样端口中的浓度由一个测量仪器顺序地测量，因此存在花费非常长的时间的缺点。

[相关技术文献]

[专利文献]

韩国专利公开公报第2006-0036687号(公开于2006年5月2日，题为‘ParticleProbeApparatusforCleanRoom’)

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供一种能够通过以下方式来有效地监测广阔空间中的污染水平的多采样端口监测装置以及使用该多采样端口监测装置的监测方法：包括多个采样端口，使得在被测空间中的若干点处吸取气体；测量从多个采样端口吸取的气体的平均污染水平；以及在平均污染水平超出预定范围的情况下允许单独测量从采样端口吸取的气体的污染水平。

问题的解决方案

在一个一般方面中，一种用于测量被测空间中的污染水平的多采样端口监测装置包括：多个采样端口100，其被设置成使得在被测空间中的若干点处吸取气体；吸气管200，其连接至每个采样端口100；歧管300，其从吸气管200分岔；混合部件500，其连接至吸气管200和歧管300的端部以收集并混合所吸取的气体；检测部件600，其测量通过混合部件500然后被引入到检测部件600中的气体的污染水平；第一控制阀410，其连接至吸气管200；第二控制阀420，其连接至歧管；以及控制部件，其控制第一控制阀410、第二控制阀420和检测部件600，其中，控制部件执行控制以打开第一控制阀410，从而允许测量从多个采样端口100吸取的气体的平均污染水平，或者关闭第一控制阀410并且打开多个第二控制阀420中的至少一个，使得气体朝歧管300流动，从而允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平。

在从多个采样端口100吸取的气体的平均污染水平超出预定范围的情况下，第一控制阀410可以被关闭，并且多个第二控制阀420可以一个接一个地被顺序地打开或者多个第二控制阀420中的一些被打开，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平。

多个采样端口100可以被安装在一个分隔空间中或者被分别安装在多个分隔空间中。

第一控制阀410可以是设置在混合部件500的前端以共同控制多个吸气管200的电磁阀。

第二控制阀420可以是设置在吸气管200的一个点处的三通阀，歧管300从该点分岔。

多采样端口监测装置可以还包括布置在混合部件500与真空泵830之间的第二流率调节部件820。

混合部件500可以具有管道形状或者具有包括分立的混合装置的混合室形式，其中在该管道形状中，均连接至多个吸气管200和歧管300的端部的管道被合并成一个管道。

在另一一般方面中，一种使用如上所述的多采样端口监测装置1的多采样端口100监测方法包括：a)打开设置在多个吸气管200上的所有的第一控制阀410，并且关闭所有的第二控制阀420；b)由检测部件600测量通过吸气管200引入的气体的平均污染水平；c)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭所有的第一控制阀410；以及d)一个接一个地顺序地打开第二控制阀420，以允许单独测量从每个采样端口100吸取的气体的污染水平。

在又一一般方面中，一种使用如上所述的多采样端口监测装置1的多采样端口监测方法包括：a)打开设置在多个吸气管200上的所有的第一控制阀410并且关闭所有的第二控制阀420；b)由检测部件600测量通过吸气管200引入的气体的平均污染水平；c)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭所有的第一控制阀410；d)根据预定序列打开多个第二控制阀420，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平；以及e)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭打开的第二控制阀420中的一些，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平，以及在所测量的平均污染水平在预设范围内的情况下关闭打开的第二控制阀420并且打开关闭的第二控制阀420，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平。

本发明的有益效果

根据本发明的多采样端口监测装置以及使用多采样端口监测装置的监测方法包括多个采样端口，使得气体在被测空间中的若干点处被吸取；测量从多个采样端口吸取的气体的平均污染水平；以及在平均污染水平超出预定范围的情况下允许单独测量从采样端口吸取的气体的污染水平，从而能够有效地监测广阔空间中的污染水平。

此外，在本发明中，在广阔空间中布置若干采样端口，并且管理被测空间中的平均污染水平，从而能够在发生事件时迅速找到污染源。

也就是说，在本发明中，对其中安装了采样端口的区域中的污染水平的平均数据进行管理，从而能够使用一个装置来管理广阔空间中的污染水平，并且每个采样端口中的浓度被顺序地扫描，或者按特定序列分别被扫描，以在平均污染水平上升时识别污染源，从而能够迅速找到污染区域。

因此，在本发明中，快速空间污染水平映射和事件捕获是可能的，使用一个测量仪器(检测部件)，从而能够去除测量仪器之间的误差，并且与使用若干测量仪器的现有方案相比可以显著降低成本。

附图说明

本发明的上述和其他目的、特征及优点将从结合附图一起给出的优选实施方式的以下描述中变得明显，在附图中：

图1至图4是示出了根据本发明的多采样端口监测装置的各种示例的概念图。

图5是示出了根据本发明的多采样端口监测方法的第一示例的流程图。

图6是示出了根据本发明的多采样端口监测方法的第二示例的流程图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述根据本发明的用于测量污染水平的多采样端口监测装置和使用该多采样端口监测装置的监测方法。

首先，根据本发明的用于测量被测空间中的污染水平的多采样端口监测装置1已被特别地设计成有效地测量甚至是广阔空间中的污染水平。

如图1中所示，根据本发明的多采样端口监测装置1被配置成包括采样端口100、吸气管200、歧管300、混合部件500、检测部件600以及控制部件(未示出)。

设置有多个采样端口100，其在被测空间中的若干点处吸取气体。

此处，在根据本发明的多采样端口监测装置1中，多个采样端口100可以被安装在一个分隔空间中或者被分别安装在多个分隔空间中。

通过举例的方式来描述半导体洁净室，在根据本发明的多采样端口监测装置1中，多个采样端口100可以被安装在若干点处，以识别一个洁净室中的哪个点被暴露于污染。

另外，当根据本发明的多采样端口监测装置1要使用一个设备来测量若干半导体洁净室的污染水平时，采样端口100也可以被安装在每个洁净室中。

吸气管200是连接至采样端口100的管道，并且可以由安装在吸气管200上的第一控制阀410调节气流。

吸气管200的数目与采样端口100的数目对应，并且第一控制阀410的数目也与采样端口100的数目对应。

作为另一示例，如图2中所示，第一控制阀410是单独设置在混合部件500的前端处以共同控制多个吸气管200的电磁阀。

歧管300是从吸气管200分岔的管道，并且可以由安装在歧管300上的第二控制阀420调节气流。

吸气管200和歧管300是两个通道，通过一个采样端口100吸取的气体流动通过这两个通道，并且根据第一控制阀410和第二控制阀420的打开和关闭操作来确定气体是否流动。

此处，优选的是第一控制阀410和第二控制阀420是电磁阀，使得第一控制阀410和第二控制阀420被容易地控制。

另外，第二控制阀420可以是如图2中所示的设置在吸气管200的一点处的三通阀，其中歧管300从该点分岔；或者第二控制阀420可以是如图1中所示的二通阀。

连接至吸气管200和歧管300的端部以收集和混合从多个采样端口100吸取的气体的混合部件500可以具有管道形状，其中在该管道形状中，均连接至多个吸气管200和歧管300的端部的管道被合并成一个管道。

作为另一示例，混合部件500可以是包括诸如搅拌器的分立的混合装置的混合室。另外，可以对混合部件500进行各种修改，只要混合部件500可以均匀地混合从多个吸气管200和歧管300吸取的气体即可。

检测部件600是测量通过混合部件500然后引入到检测部件600中的气体的污染水平的装置，检测部件600可以包括布置在检测部件600中以吸取气体的泵或者在不将泵布置在检测部件600中的情况下可以包括附接至检测部件600的分隔的泵。

在此，作为检测部件600，可以根据被测污染源或测量方法而使用适当类型的设备。

控制部件控制第一控制阀410、第二控制阀420和检测部件600的操作。

特别地，在本发明中，控制部件同时打开多个第一控制阀410，以允许检测部件600测量从多个采样端口100吸取的气体的平均污染水平。

在从多个采样端口100吸取的气体的平均污染水平超出预定范围的情况下，控制部件关闭第一控制阀410，并一个接一个地顺序地打开多个第二控制阀420或者打开多个第二控制阀420中的一些，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平。

如图1中所示，根据本发明的多采样端口监测装置1可以包括设置在吸气管200上并且调节吸取气体的流率的第一流率调节部810。

如上所述，为了测量平均污染水平，根据本发明的多采样端口监测装置1通过打开所有的多个吸气管200来吸取气体。在这种情况下，与通过只打开一个歧管300来吸取气体的情况相比，通过每个吸气管200吸取的气体的量被降低。

例如，在设置有四个采样端口100的情况下，当2.5lpm的气体通过每个吸气管200被吸取时，10lpm的气体通过一个歧管300被吸取。

也就是说，在根据本发明的多采样端口监测装置1中，由于检测部件600中可以吸取和测量的样品的量应当被恒定地保持，因此应当进行调节，使得可以被吸取的全部气体量的1/N(此处，N指示采样端口100的数目)通过一个吸气管200来引入。

因此，当根据本发明的多采样端口监测装置1测量平均污染水平时，可以以在吸气管200中设置的流率，通过第一流率调节部件810在每个点处吸取气体。

此外，根据本发明的多采样端口监测装置1可以包括真空泵830，真空泵830连接至混合部件500并且施加负压，使得来自采样端口100中的气体被吸取。

真空泵830用于在检测部件600的吸取流率慢的情况下，为了迅速反应，迅速吸取每个采样端口100的气体。优选地，根据本发明的多采样端口监测装置1包括真空泵830，真空泵830用于气体的迅速吸取和分析，因为通过采样端口100吸取的气体的流率非常小，使得气体的流率可能非常慢。

此处，根据本发明的多采样端口监测装置1可以还包括如图3中所示的连接至真空泵830的后端的排气管831，并且还包括布置在混合部件500与真空泵830之间的第二流率调节部件820。

因此，根据本发明的多采样端口监测装置1可以通过反映准确的浓度来均匀地对广阔空间进行采样。

如上所述，由于通过采样端口100吸取的气体的流率是采用lpm单位的小量，因此根据本发明的多采样端口监测装置1可以允许对除了应该被吸取到检测部件600中以通过排气管831排出的气体的量以外的气体采样，而不是增加通过采样端口100吸取的气体的流率来增加到达混合部件500的气体的流率。

也就是说，根据本发明的多采样端口监测装置1由真空泵830以高流率吸气，从而能够抑制气体吸气管200和歧管300中的气体的吸附，并且允许由检测部件600迅速并且准确地测量污染水平。

使用具有上述结构和特征的多采样端口监测装置1的监测方法的第一示例可以包括：a)打开设置在多个吸气管200上的所有的第一控制阀410，并且关闭所有的第二控制阀420；b)由检测部件600测量通过吸气管200引入的气体的平均污染水平；c)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭所有的第一控制阀410；以及d)一个接一个地顺序地打开第二控制阀420，以允许单独测量从各采样端口100吸取的气体的污染水平。

也就是说，在根据本发明的监测方法中，在未发生特定事件的情况下，所有的第一控制阀410被打开，以通过多个采样端口100吸取气体，从而由检测部件600测量平均污染水平。

此外，在发生特定事件(污染)的情况下，所有的第一控制阀410被关闭，并且第二控制阀420一个接一个地被顺序地打开，使得由检测部件600单独测量通过每个采样端口100吸取的气体的污染水平。

将参照图5来描述使用如图4中所示的根据本发明的多采样端口监测装置1的监测方法的第一示例。首先，为了便于说明，从左侧开始，将歧管300称为第一歧管310、第二歧管320、第三歧管330和第四歧管340，并且将吸气管200称为第一吸气管210、第二吸气管220、第三吸气管230和第四吸气管240。

在未发生事件的情况下，在根据本发明的多采样端口监测装置1中，第一至第四吸气管210、220、230和240上的第一控制阀410被打开，并且第一至第四歧管310、320、330和340上的第二控制阀420被关闭。

当真空泵830和检测部件600中的泵运行时，采样气体通过采样端口100沿第一至第四吸气管210、220、230和240到达混合部件500，到达混合部件500并且在混合部件500中被混合的气体中的一些被引入到检测部件600中，使得这些气体的污染水平被测量，并且其他气体通过排气管831被排出。

此处，大约5lpm的气体通过第一至第四吸气管210、220、230和240中的每个被吸取，并且只有吸取流率的总和20lpm中的2lpm被引入到检测部件600中，并且被用于测量平均污染水平，而剩余的18lpm通过排气管831被排出。

当如上所述测量的平均污染水平超出预定范围时，所有的第一控制阀410被关闭，并且仅第一歧管310上的第二控制阀420被打开。

20lpm的气体通过第一歧管310被吸取，仅2llpm的气体被引入到检测部件600中并且被用于测量污染水平，而剩余的18lpm通过排气管831被排出。

然后，第二歧管320、第三歧管330和第四歧管340上的第二控制阀420被顺序地打开，使得单独测量吸取气体的污染水平，从而分析通过哪个采样端口100引入了污染源。

此外，在使用根据本发明的多采样端口监测装置1的监测方法中，即使在通过第一至第四歧管310、320、330和340吸取的气体的污染水平被单独测量的时段期间没有发生事件，第一至第四吸气管210、220、230和240上的第一控制阀410也被打开，并且第一至第四歧管310、320、330和340上的第二控制阀420在预定时间点处被关闭，从而能够测量平均污染水平。

也就是说，本发明可以根据需要不同地选择和使用共同测量针对每个采样端口100的平均污染水平的模式以及单独测量针对每个采样端口100的污染水平的模式。

另一方面，使用多采样端口监测装置1的监测方法的第二示例包括：a)打开设置在多个吸气管200上的所有的第一控制阀410并且关闭所有的第二控制阀420；b)由检测部件600测量通过吸气管200引入的气体的平均污染水平；c)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭所有的第一控制阀410；d)根据预定序列打开多个第二控制阀420，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平；以及e)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭打开的第二控制阀420中的一些，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平，以及在所测量的平均污染水平在预设范围内的情况下关闭打开的第二控制阀420并且打开被闭的第二控制阀420，以允许测量从采样端口100吸取的气体的污染水平。

此外，在发生特定事件(污染)的情况下，所有的第一控制阀410被关闭，并且第二控制阀420中的一些被打开，使得由检测部件600测量通过采样端口100吸取的气体的污染水平。

将参照图6来描述使用根据本发明的多采样端口监测装置1的监测方法的第二示例。在第二示例中，使用与在第一示例中使用的多采样端口监测装置相同的监测装置1，并且在未发生事件的情况下，在根据本发明的多采样端口监测装置1中，第一至第四吸气管210、220、230和240上的第一控制阀410被打开，并且第一至第四歧管310、320、330和340上的第二控制阀420被关闭。

当如上所述测量的平均污染水平超出预定范围时，所有的第一控制阀410被关闭。到目前为止，处理与第一示例的处理相同。

然后，不是打开所有的第二控制阀420，而是仅打开第二控制阀420中的一些。例如，在第一至第四歧管310、320、330和340上的第二控制阀420中，第一歧管310和第二歧管320上的第二控制阀420被打开，而第三歧管330和第四歧管340上的第二控制阀420被关闭。在这种情况下，气体通过第一歧管310和第二歧管320被吸取，使得由检测部件600测量污染水平。

当由检测部件600测量的平均污染水平超出预定范围时，在第一歧管310和第二歧管320上的打开的第二控制阀420中，第二歧管320上的第二控制阀420被关闭，并且第一歧管310上的第二控制阀420被保持在其被打开的状态。气体通过第一歧管310被吸取，使得由检测部件600测量污染水平。在此，当由检测部件600测量的平均污染水平在预定范围内时，第一歧管310上的第二控制阀420被关闭，而第二歧管320上的第二控制阀420被打开，使得吸取的气体的污染水平被测量。

另一方面，当由检测部件600测量的平均污染水平在预定范围内时，在第一歧管310和第二歧管320上的第二控制阀420被打开的状态下，第一歧管310和第二歧管320上的打开的第二控制阀420二者被关闭，并且第三歧管330和第四歧管340上的第二控制阀420被打开。然后，第三歧管330和第四歧管340上的打开的第二控制阀420中的第四歧管330上的第二控制阀420被关闭，并且第三歧管330上的第二控制阀420被保持在其被打开的状态。气体通过第三歧管330被吸取，使得由检测部件600测量污染水平。在此，当由检测部件600测量的平均污染水平在预定范围内时，第三歧管330上的第二控制阀420被关闭，并且第四歧管340上的第二控制阀420被打开，使得被吸取的气体的污染水平被测量。

该监测方法的第二示例可以具有下述优点：当歧管的数目为多个时，迅速发现被测空间内的污染点。

因此，根据本发明的多采样端口监测装置1和使用该多采样端口监测装置的监测方法包括多个采样端口100，使得气体在被测空间中的若干点处被吸取，测量从多个采样端口100吸取的气体的平均污染水平，以及在平均污染水平超出预定范围的情况下允许单独地或者局部地测量从采样端口100吸取的气体的污染水平，从而能够有效地监测广阔空间中的污染水平。

此外，在本发明中，在广阔空间中布置若干采样端口100，并且管理被测空间中的平均污染水平，从而能够在发生事件的时间迅速找到污染源。

也就是说，在本发明中，对其中安装了采样端口100的区域中的污染水平的平均数据进行管理，从而能够使用一个装置来管理广阔空间中的污染水平，并且每个采样端口中的浓度被顺序地扫描，或者按特定序列分别被扫描，以在平均污染水平上升时识别污染源，从而能够迅速找到污染区域。

因此，在本发明中，迅速空间污染水平映射和事件捕获是可能的，使用一个测量仪器(检测部件600)，从而能够去除测量仪器之间的误差，并且与使用若干测量仪器的现有方案相比可以显著降低成本。

本发明不限于上述示例性实施方式，而是可以以各种方式被应用，并且可以在不偏离权利要求中请求保护的本发明的要旨的情况下由本发明所属的领域的技术人员以各种方式进行修改。

[主要单元的详细描述]

1：多采样端口监测设备

100：采样端口

200：吸气管

210、220、230、240：第一吸气管至第四吸气管

300：歧管

310、320、330、340：第一歧管至第四歧管

410：第一控制阀420：第二控制阀

500：混合部件

600：检测部件

810：第一流率调节部件820：第二流率调节部件

830：真空泵831：排气管

Claims

1.一种用于测量被测空间中的污染水平的多采样端口监测装置，包括：

多个采样端口100，其被设置成使得在所述被测空间中的若干点处吸取气体；

吸气管200，其连接至每个采样端口100；

歧管300，其从所述吸气管200分岔；

混合部件500，其连接至所述吸气管200和所述歧管300的端部以收集并混合所吸取的气体；

检测部件600，其测量通过所述混合部件500并且然后被引入到所述检测部件600中的气体的污染水平；

第一控制阀410，其连接至所述吸气管200；

第二控制阀420，其连接至所述歧管；以及

控制部件，其控制所述第一控制阀410、所述第二控制阀420和所述检测部件600，

其中，所述控制部件执行控制以打开所述第一控制阀410，从而允许测量从所述多个采样端口100吸取的气体的平均污染水平，或者关闭所述第一控制阀410并且打开所述多个第二控制阀420中的至少一个，使得气体朝所述歧管300流动，从而允许测量从所述采样端口100吸取的气体的污染水平。

2.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，其中，在从所述多个采样端口100吸取的气体的所述平均污染水平超出预定范围的情况下，所述第一控制阀410被关闭，并且所述多个第二控制阀420一个接一个地被顺序地打开，或者所述多个第二控制阀420中的一些被打开以允许测量从所述采样端口100吸取的气体的污染水平。

3.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，其中，所述多个采样端口100被安装在一个分隔空间中或者被分别安装在多个分隔空间中。

4.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，其中，所述第一控制阀410是设置在所述混合部件500的前端处以共同控制所述多个吸气管200的电磁阀。

5.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，其中，所述第二控制阀420是设置在所述吸气管200的一个点处的三通阀，其中所述歧管300从所述点分岔。

6.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，还包括设置在所述吸气管200上并且调节所吸取的气体的流率的第一流率调节部件810。

7.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，还包括真空泵830，所述真空泵830连接至所述混合部件500并且施加负压，使得来自所述采样端口100的气体被吸取。

8.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，还包括布置在所述混合部件500与真空泵830之间的第二流率调节部件820。

9.根据权利要求1所述的多采样端口监测装置，其中，所述混合部件500具有管道形状，或者具有包括分立的混合装置的混合室形式，其中在所述管道形状中，均连接至所述多个吸气管200和所述多个歧管300的端部的管道被合并成一个管道。

10.一种使用根据权利要求1至9中的任一项所述的多采样端口监测装置1的多采样端口100监测方法，包括：

a)打开设置在所述多个吸气管200上的所有的所述第一控制阀410，并且关闭所有的所述第二控制阀420；

b)由所述检测部件600测量通过所述吸气管200引入的气体的平均污染水平；

c)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭所有的所述第一控制阀410；以及

d)一个接一个地顺序地打开所述第二控制阀420，以允许单独测量从每个采样端口100吸取的气体的污染水平。

11.一种使用根据权利要求1至9中的任一项所述的多采样端口监测装置1的多采样端口监测方法，包括：

a)打开设置在所述多个吸气管200上的所有的所述第一控制阀410并且关闭所有的所述第二控制阀420；

c)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭所有的所述第一控制阀410；

d)根据预定序列打开多个第二控制阀420，以允许测量从所述采样端口100吸取的气体的污染水平；以及

e)在所测量的平均污染水平超出预设范围的情况下关闭打开的第二控制阀420中的一些，以允许测量从所述采样端口100吸取的气体的污染水平，以及在所测量的平均污染水平在所述预设范围内的情况下关闭打开的第二控制阀420并且打开关闭的第二控制阀420，以允许测量从所述采样端口100吸取的气体的污染水平。