JP5702992B2 - リーク量標準器 - Google Patents
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Description
Qw: 流量(リーク量)
ΔP:キャピラリ部の入口と出口間の圧力差
r: キャピラリ部の内半径
μ: 流体の粘性係数
L: キャピラリ部の長さ
リーク管を流れる流体が圧縮性流体であるときは、リーク量は次式(2)で表わされる。
Qn:圧力P2での圧縮性流体の体積流量
P1 :一次側圧力
P2 :二次側圧力
通常、リークテストでは圧力を大気圧換算し、リークの単位を[圧力×体積/時間]で表わす。代表的なリーク量の単位は、Pa・m3/secである。
本発明は、微小なリーク量を発現できるリーク量標準器を簡易に製造できるようにし、製品コストを安価にすることを目的とする。
前記リーク管の素材として、比較的大きな真円形断面の管を用いることができる。この素材管を一の径方向に潰すことでキャピラリ部を容易に形成できる。これによって、リーク量標準器を簡易に製造でき、製造コストを安価にすることができる。更には、キャピラリ路の内径ないしは流路断面積を十分に小さくでき、微小なリーク量を発現できる。
図1に示すように、リークテスタ1は、ガス圧路10を備えている。ガス圧路10は、共通路10aと、2つの枝路10b,10cとを有している。共通路10aの上流端が、加圧ガス源2に接続されている。共通路10aには、レギュレータ11と電磁開閉弁12が上流側から順次設けられている。共通路10aの下流端から2つの枝路10b,10cが分岐されている。
開口部21bに接続路10eが接続されて、開口部21aが開放されていてもよい。
なお、接続路10eが開口部21bに接続される場合には、各キャピラリ路32aの上記他端(図2において右)が開口部21bを介してガス圧路10の接続路10eに連なり、
各キャピラリ路32aの上記一端(図2において左)が、基部内通路31a、ナット24の中心穴、開口部21aを順次介して大気に開放される。
図4(a)に示すように、リーク管30となる素管39を用意する。加工前の素管39は、図3(a)に示す基部31と同一の真円形断面になっている。素管39の内部空間39aの内直径は、0.1mm〜0.数mm程度でよい。この程度の大きさの管は低コストで入手可能である。一対のロール3,3の間に素管39を挟む。図4において、素管39の外直径は、ロール3,3に対して誇張されている。また、図4において、素管内空間39aの内直径は、素管39の管壁の肉厚に対し誇張されている。
ワークWを漏れ検査する際は、開閉弁16を閉じ、開閉弁17,18を開いておく。そして、電磁開閉弁12,13,14を開き、加圧ガス源2の圧縮エア(加圧ガス)をガス圧路10に導入し、ひいてはワークW及びマスタ容器Mに導入する。次に、開閉弁12を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁13,14を閉じる。そして、差圧センサ15の検出差圧を読み取る。ワークWが良品であれば、ワークWからの漏れが無く、差圧が発生しない。ワークWに欠損等があれば、そこから漏れが起き、差圧センサ15によって差圧が検出される。これによって、ワークWの良否判定を行なうことができる。
1つのキャピラリ部32にキャピラリ路32aを2つ形成できる。
図5は、本発明の第2実施形態に係るリーク量標準器20Aを示したものである。リーク量標準器20Aの本体21Aの内部にリーク管30Aが収容されている。リーク管30Aのキャピラリ部32は、リーク管30Aの管軸方向(図5において左右)に複数回折り返されている。これによって、キャピラリ路32aの路長を本体21Aの長さより長くできる。
キャピラリ部32の全体ではなく一部が、コイル状に巻かれていてもよい。キャピラリ部32がコイル状に巻かれるとともに本体21の軸方向に折り返されていてもよい。
素管39からキャピラリ部32を形成する装置は、プレス機であってもよい。
間隙32dの厚さが、キャピラリ路32aと同程度であってもよい。
2 加圧ガス源
3 ロール
10 ガス圧路
10a 共通路
10b ワーク側枝路
10c マスタ側枝路
10d ワーク側センサ路
10e リーク量標準器接続路
10f マスタ側センサ路
11 レギュレータ
12 共通路の開閉弁
13 ワーク側枝路の開閉弁
14 マスタ側枝路の開閉弁
15 圧力センサ
15a ダイヤフラム
15b ワーク側センサ室
15c マスタ側センサ室
16 リーク量標準器接続路の開閉弁
20 リーク量標準器
21 本体
21a 開口部(接続部)
21b 開口部(開放部)
21c 雌ねじ
21d 段差
22 ホルダ
22f 鍔
23 シール部材
24 ナット
25 接続部
30,30A リーク管
31 基部(ガス圧路連通部)
31a 基部内通路
32 キャピラリ部
32a キャピラリ路
32b 管壁部
32c 閉塞部
33 折り返し部
34 開放連通部
39 素管
39a 素管内路
Claims (3)
- リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、
前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、
前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含み、前記キャピラリ部の前記一の径方向と直交する巾方向の両端部には前記接続部を介して前記ガス圧路にそれぞれ連なるキャピラリ路が形成され、前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されており、
前記キャピラリ部が、長さ方向のどの位置でも前記扁平形状の毛細管状であることを特徴とするリーク量標準器。 - リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、
前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、
前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含み、前記キャピラリ部の前記一の径方向と直交する巾方向の両端部には前記接続部を介して前記ガス圧路にそれぞれ連なるキャピラリ路が形成され、前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されており、
前記キャピラリ部が、コイル状に巻かれていることを特徴とするリーク量標準器。 - リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、
前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、
前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含み、前記キャピラリ部の前記一の径方向と直交する巾方向の両端部には前記接続部を介して前記ガス圧路にそれぞれ連なるキャピラリ路が形成され、前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されており、
前記キャピラリ部が、前記本体の軸方向に折り返されていることを特徴とするリーク量標準器。
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