JP2021110594A - ガスリーク検知器の検査方法、ガスリーク検査方法、ガスリーク検知器 - Google Patents

Abstract

【課題】ガスリーク検査の信頼性を向上させることが可能なガスリーク検知器を提供する。【解決手段】ガスリーク検知器１００は、ガスリークを検知するための第１ガス回路１０１と、第１ガス回路１０１に接続されており且つ所定のガス体積変化を惹起するための第２ガス回路１０２と、第１ガス回路１０１に含まれる弁と、第２ガス回路１０２に含まれる弁と、ガスリーク検知器１００に取り付けられた良品または検査対象物３２と、で閉じられたガス流路における圧力値を得る圧力センサ２５０とを含む。【選択図】図２

Description

本発明は、ガスリーク検査の信頼性を向上させる技術に関する。

加圧された気体を検査対象物に供給することによって検査対象物からの気体の漏れの有無を検査する機器として種々のガスリーク検知器が知られている（非特許文献１参照）。図１を参照して、ガスリーク検知器９００のアウトラインを説明する。使用する気体の種類に限定は無いが、この例では気体は空気である。したがって、エアリーク検知器という呼称が適切である。しかし、一般性を喪失しないために、ガスリーク検知器という呼称を使用する。

ガスリーク検知器９００は、減圧弁２１０ａと、圧力センサ２１３ａと、第１制御弁２２１と、第２制御弁２２３と、第３制御弁２２５と、第１ガス流路２１と、第２ガス流路２２と、第３ガス流路２３と、第４ガス流路２４と、第５ガス流路２５と、第６ガス流路２６と、差圧検出器２５０と、圧力センサ２５３と、処理装置３００と、第１ポート４１と、第２ポート４２と、第３ポート４３と、サイレンサー４０を含んでいる。第１制御弁２２１は、この例では、一つの吸気ポートと二つの排気ポートを持つノーマリークローズドの電磁弁である。第２制御弁２２３は、この例では、二つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの電磁弁である。第３制御弁２２５は、この例では、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの電磁弁である。電磁弁の制御は公知であるからその説明を省略する。この例では、処理装置３００が各制御弁を制御する。

加圧された空気がガスタンク２００から供給される第１ポート４１は、第１ガス流路２１の一端に位置しており、ガスタンク２００に接続することができる。第１ガス流路２１の他端は、ガスリーク検知器９００の一次圧力の安定を保つ減圧弁２１０ａの一端に接続されている。このように、第１ガス流路２１は、第１ポート４１と減圧弁２１０ａとを連絡しており、例えば金属管である。

減圧弁２１０ａの他端は第２ガス流路２２の一端に接続しており、第２ガス流路２２の他端は第１制御弁２２１の吸気ポートに接続している。このように、第２ガス流路２２は、減圧弁２１０ａと第１制御弁２２１とを連絡しており、例えば金属管である。なお、ガスリーク検知器９００の一次圧力を測定するための圧力センサ２１３ａが、第２ガス流路２２に直列に接続されている。圧力センサ２１３ａの測定値は処理装置３００に入力される。

第３ガス流路２３の一端は、第１制御弁２２１の一方の排気ポートに接続している。第３ガス流路２３の他端に、検査対象物３２に対してガスを供給するための第２ポート４２が位置している。第３ガス流路２３は、第１制御弁２２１と第２ポート４２とを連絡する管路の他に二つの管路を持つ。これら二つの管路は、第１制御弁２２１と第２ポート４２とを連絡する管路から分岐している。一方の管路の端部は、差圧検出器２５０の一端に接続している。他方の管路の端部は、第２制御弁２２３の一方の吸気ポートに接続している。このように、第３ガス流路２３は、第１制御弁２２１と第２制御弁２２３と差圧検出器２５０と第２ポート４２とを連絡している。第３ガス流路２３は例えば金属管である。

第４ガス流路２４の一端は、第１制御弁２２１の他方の排気ポートに接続している。第４ガス流路２４の他端に、漏れの無い参照対象物３３に対してガスを供給するための第３ポート４３が位置している。第４ガス流路２４は、第１制御弁２２１と第３ポート４３とを連絡する管路の他に二つの管路を持つ。これら二つの管路は、第１制御弁２２１と第３ポート４３とを連絡する管路から分岐している。一方の管路の端部は、差圧検出器２５０の他端に接続している。他方の管路の端部は、第２制御弁２２３の他方の吸気ポートに接続している。このように、第４ガス流路２４は、第１制御弁２２１と第２制御弁２２３と差圧検出器２５０と第３ポート４３とを連絡している。第４ガス流路２４は例えば金属管である。差圧検出器２５０の測定値は処理装置３００に入力される。

第５ガス流路２５の一端は第２制御弁２２３の排気ポートに接続しており、第５ガス流路２５の他端は第３制御弁２２５の吸気ポートに接続している。なお、圧力センサ２５３が、第５ガス流路２５に直列に接続されている。このように、第５ガス流路２５は、第２制御弁２２３と第３制御弁２２５と圧力センサ２５３とを連絡している。第５ガス流路２５は例えば金属管である。圧力センサ２５３の測定値は処理装置３００に入力される。

第６ガス流路２６の一端は第３制御弁２２５の排気ポートに接続しており、第６ガス流路２６の他端に、ガスリーク検知器９００からの排気音を小さくするサイレンサー４０が取り付けられている。

上述の構成によると、第１制御弁２２１が開放状態であるとき、ガスタンク２００と第１ガス流路２１と第２ガス流路２２と第３ガス流路２３と第４ガス流路２４が互いに連絡する。第１制御弁２２１が閉鎖状態であるとき、第２ガス流路２２と第３ガス流路２３との間の連絡が遮断され、且つ、第２ガス流路２２と第４ガス流路２４との間の連絡が遮断される。つまり、第１制御弁２２１が閉鎖状態であるとき、ガスタンク２００からのエアは、第２ポート４２と第３ポート４３に供給されない。

第２制御弁２２３が開放状態であるとき、第３ガス流路２３と第４ガス流路２４と第５ガス流路２５が互いに連絡する。第２制御弁２２３が閉鎖状態であるとき、第３ガス流路２３と第５ガス流路２５との間の連絡が遮断され、且つ、第４ガス流路２４と第５ガス流路２５との間の連絡が遮断される。

第３制御弁２２５が開放状態であるとき、第５ガス流路２５と第６ガス流路２６が互いに連絡する。第３制御弁２２５が閉鎖状態であるとき、第５ガス流路２５と第６ガス流路２６との間の連絡が遮断される。

処理装置３００は、制御プログラムに従って、第１、第２及び第３の制御弁２２１，２２３，２２５の動作を制御し、圧力センサ２１３ａによって検出される供給圧と圧力センサ２５３によって検出されるテスト圧を観測し、かつ、所定のタイミングで差圧検出器２５０によって得られた検出差圧に基づいて検査対象物３２からの気体の漏れの有無を判定する。

ガスリーク検知器９００の動作手順は、次のとおりである。
まず、処理装置３００は、第１制御弁２２１を閉鎖状態にし、且つ、第２制御弁２２３および第３制御弁２２５を開放状態にする。この結果、第３ガス流路２３と、第４ガス流路２４と、第５ガス流路２５と、第６ガス流路２６が同じ初期状態、つまりこの例では大気圧、になる。第２ガス流路２２の圧力は、減圧弁２１０ａによって所定の圧力に設定されている。この状態において、第３ポート４３に参照対象物３３が接続され、第２ポート４２に検査対象物３２が接続される。

次に、処理装置３００は、第２制御弁２２３を開放状態にしたまま第３制御弁２２５を閉鎖状態にした後で、第１制御弁２２１を予め決められた時間だけ開放状態にする。この結果、ガスタンク２００の加圧空気が第１ガス流路２１と、第２ガス流路２２と、第３ガス流路２３と、第４ガス流路２４を通して参照対象物３３と検査対象物３２に供給される。

次に、処理装置３００は、第２制御弁２２３と第３制御弁２２５の状態を変更せず、第１制御弁２２１を閉鎖状態にし、予め決められた時間だけ圧力変動の減少を待つ。この間に圧力センサ２５３が圧力降下を検出した場合、処理装置３００は「検査対象物３２は大リークを有する」と判定する。

この工程に続いて、処理装置３００は、第１制御弁２２１と第３制御弁２２５を閉鎖状態にしたまま、第２制御弁２２３を閉鎖状態にする。処理装置３００は差圧検出器２５０による検出差圧を観測する。検査対象物３２に穴が開いていれば、検査対象物３２から空気が漏れて、第３ガス流路２３の圧力と第４ガス流路２４の圧力との間に圧力差が生じる、つまり、第３ガス流路２３の圧力が第４ガス流路２４の圧力より低くなる。したがって、第２制御弁２２３を閉じてから所定時間経過後に、差圧検出器２５０によって予め決められた第１基準値より大きな差圧が検出された場合は、処理装置３００は「検査対象物３２は大リークを有する」と判定し、テストを終了する。上記所定時間経過後に第１基準値より大きな差圧が検出されなかった場合には、処理装置３００は、その時点で差圧検出器２５０の検出出力を０にリセットし、圧力検出レンジを感度の高いレンジに切り替えて差圧検出を続行する。処理装置３００は、所定時間経過後に、検出差圧が第２基準値以下であれば「検査対象物３２には漏れが無い」と判定し、第２基準値より大であれば「検査対象物３２は小リークを有する」と判定し、検査を終了する。

総合カタログ、株式会社コスモ計器、［令和元年12月19日検索］、インターネット〈https://www.cosmo-k.co.jp/document-download/〉

何らかの異常が生じているガスリーク検知器を用いたガスリーク検査の検査結果は、当然、信頼できない。また、検査対象物をガスリーク検知器に取り付けるために、シーリングと接続の両方を同時に達成するクランプが使用されるので、ガスリーク検知器が正常に機能しているとしても、クランプに何らかの異常がある場合のガスリーク検査の検査結果も、当然、信頼できない。また、或る検査対象物の内容積が他の検査対象物の内容積と異なる場合も、漏れ検出感度が変化するので、当然、信頼できない。

ガスリーク検査の信頼性を検証するために、例えば、精確な微少漏れ発生器をガスリーク検知器に取り付けたときの漏れ検出感度を測定することが行われている。しかし、この検証は、実質的にガスリーク検査であるのでガスリーク検査と同じ程度の時間がかかることに加えて、厳密に言えば検査対象物のガスリーク検査を実際に行う環境での検証ではない。このため、このような検証は、多数回のガスリーク検査ごとに実行されるのが通例である。したがって、検証によって何らかの異常の存在が判明した場合、前回の検証から今回の検証までに実施された全てのガスリーク検査の信頼が損なわれる。

このような問題に鑑みて、本発明は、ガスリーク検査の信頼性を向上させる技術を提供することを目的とする。

ここで述べる技術事項は、特許請求の範囲に記載された発明を明示的にまたは黙示的に限定するためではなく、さらに、本発明によって利益を受ける者（例えば出願人と権利者である）以外の者によるそのような限定を容認する可能性の表明でもなく、単に、本発明の要点を容易に理解するために記載される。他の観点からの本発明の概要は、例えば、この特許出願の出願時の特許請求の範囲から理解できる。
まず、リークの全く無い良品をガスリーク検知器に取り付けた状態で、所定の閉じたガス流路に所定のガス体積変化を惹起させたときの当該ガス流路の圧力値を得る。次に、検査対象物をガスリーク検知器に取り付けた状態で、当該ガス流路に当該ガス体積変化を惹起させたときの当該ガス流路の圧力値を得る。前者の圧力値と後者の圧力値から、ガスリーク検知器の感度異常の有無がわかる。

本発明に拠れば、検査対象物をガスリーク検知器に取り付けた状態でガスリーク検知器の感度異常の有無を検査するので、ガスリーク検査の信頼性が向上する。

先行技術のガスリーク検知器の機能構成例。 第１実施形態のガスリーク検知器の機能構成例。 第１実施形態において閉じられたガス流路を説明する図。 実施形態におけるガスリーク検知器の検査方法の処理フロー。 実施形態におけるガスリーク検査方法の処理フロー。 第２実施形態のガスリーク検知器の機能構成例。 第２実施形態において閉じられたガス流路を説明する図。

図面を参照して本発明の実施形態を説明する。実施形態の説明では、防塵用フィルタ、オートリークキャリブレーター（差圧変化を漏れ流量変化に変換するための装置）など、実際には使用されるが実施形態の説明と理解において非本質的な構成要素を省略している。したがって、実施形態の説明で使用している「接続」との用語は、当該「接続」との用語に係る構成要素が直接的に（換言すれば、他の構成要素を介さずに）接続されていることに限定する意味ではなく、実際の必要に応じて、当該「接続」との用語に係る構成要素が間接的に（換言すれば、他の構成要素を介して）接続されている場合も許容することを含意する。

＜第１実施形態＞
図２は、本発明のガスリーク検知器の第１実施形態の機能構成を示している。

＜構成＞
第１実施形態のガスリーク検知器１００は、ガスリークを検知するための第１ガス回路１０１と、第１ガス回路１０１に接続されており且つ所定のガス体積変化を惹起するための第２ガス回路１０２と、第１ガス回路１０１に含まれる弁と第２ガス回路１０２に含まれる弁とガスリーク検知器１００に取り付けられた良品または検査対象物で閉じられたガス流路における圧力値を得る圧力センサを含む。

第１ガス回路１０１は、例えば、直圧式ガスリーク検知器のガス回路または差圧式ガスリーク検知器のガス回路である。この第１実施形態では、第１ガス回路１０１は、差圧式ガスリーク検知器のガス回路、つまり、図１に示す先行技術のガスリーク検知器９００のガス回路であり、減圧弁２１０ａと、圧力センサ２１３ａと、第１制御弁２２１と、第２制御弁２２３と、第３制御弁２２５と、第１ガス流路２１と、第２ガス流路２２と、第３ガス流路２３と、第４ガス流路２４と、第５ガス流路２５と、第６ガス流路２６と、差圧検出器２５０と、圧力センサ２５３と、第１ポート４１と、第２ポート４２と、第３ポート４３と、サイレンサー４０を含んでいる。このため、図１に示すガス回路と図２に示すガス回路において共通の構成要素に同じ参照符号を割り当てることによって重複説明を省略する。なお、処理装置３００は、その性質ゆえに第１ガス回路に含まれないと考えるのが適切であろうものの、ガスリーク検知器１００の構成要素である。

第２ガス回路１０２は、減圧弁２１０ｂと、圧力センサ２１３ｂと、第４制御弁２２７と、ソニックノズル２８０と、第７ガス流路２７と、第８ガス流路２８と、第９ガス流路２９と、第１０ガス流路２９１を含んでいる。第４制御弁２２７は、この第１実施形態では、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリークローズドの電磁弁である。この第１実施形態では、処理装置３００が各制御弁を制御する。

第７ガス流路２７の一端は、第１ガス回路１０１に接続しており、具体的には、加圧された空気がガスタンク２００から供給される第１ポート４１を持つガス流路、つまり、第１ガス流路２１に接続されている。第７ガス流路２７の他端は、ソニックノズル２８０の一次圧力の安定を保つ減圧弁２１０ｂの一端に接続されている。第７ガス流路２７は例えば金属管である。

減圧弁２１０ｂの他端は第８ガス流路２８の一端に接続しており、第８ガス流路２８の他端は第４制御弁２２７の吸気ポートに接続している。このように、第８ガス流路２８は、減圧弁２１０ｂと第４制御弁２２７とを連絡しており、例えば金属管である。なお、ソニックノズル２８０の一次圧力を測定するための圧力センサ２１３ｂが、第８ガス流路２８に直列に接続されている。圧力センサ２１３ｂの測定値は処理装置３００に入力される。

第４制御弁２２７の排気ポートは第９ガス流路２９の一端に接続しており、第９ガス流路２９の他端はソニックノズル２８０の一端に接続している。ソニックノズル２８０の他端は第１０ガス流路２９１の一端に接続しており、第１０ガス流路２９１の他端は第１ガス回路１０１に接続している。

第１０ガス流路２９１の他端が接続される第１ガス回路１０１の位置は、「第１ガス回路１０１に含まれる弁と第２ガス回路１０２に含まれる弁とガスリーク検知器１００に取り付けられた良品または検査対象物で閉じられたガス流路を形成できる」という条件を満たす位置である。この第１実施形態では、第１０ガス流路２９１の他端は、第３ガス流路２３に接続されている。この場合、第１ガス回路１０１に含まれる第１制御弁２２１および第２制御弁２２３と第２ガス回路１０２に含まれる第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、且つ、第２ポートに良品または検査対象物３２を取り付けることによって、閉じられたガス流路７０（図３参照）を形成できる。閉じられたガス流路７０における圧力値を得る圧力センサは、この第１実施形態では、差圧検出器２５０である。

＜原理＞
ソニックノズル２８０（臨界ノズル、音速ノズルなどとも呼称される）の一例として、下記参考文献１に開示される臨界ノズル（ネジ式パイプ）を挙げることができる。ソニックノズル２８０は、一次圧力（絶対圧Ｐ₁）と二次圧力（絶対圧Ｐ₂）の比が臨界値以下であるとき、ソニックノズル２８０を流れるガスの速さが音速になる特徴を持つ。例えば、パイプ内径φ0.2あるいはφ0.3のネジ式パイプの臨界値は約0.375であり、この条件下でソニックノズル２８０は定流量のエアを吐出する。具体例として、一次圧力が400kPa（ゲージ圧300kPa）のとき、150kPa（ゲージ圧50kPa）以下の二次圧力において、ソニックノズル２８０は定流量のエアを吐出する。また、パイプ内径φ0.2のソニックノズル２８０によるとソニックノズル２８０の標準大気圧に換算された流量Ｑは1.2L/minであり、パイプ内径φ0.3のソニックノズル２８０によるとソニックノズル２８０の標準大気圧に換算された流量Ｑは2.5L/minである。このように、ソニックノズル２８０について、一次圧力（絶対圧Ｐ₁）における標準大気圧に換算された流量Ｑは既知である。
（参考文献１）特許第5758546号公報

また、ソニックノズル２８０の流量は一次圧力に比例する。一次圧力（絶対圧）がＰ_xである場合の流量Ｑは、式（２）によって計算できる。式（２）は、Ｐ_x=Ｐ₁の場合にも成立する。式（２）の矢印は、右辺のＱの値が、左辺のＱの値に変更されることを意味している。

上述のとおりソニックノズル２８０の一次圧力（絶対圧Ｐ_x）が決まるとソニックノズル２８０の標準大気圧に換算された流量Ｑ[L/min]も決まるので、ソニックノズル２８０によって供給される標準大気圧に換算されたエアの体積Ｖ_T[L]は式（３）で計算される。Ｔ[s]は、ガス供給時間、つまり、ソニックノズル２８０が作動している時間である。この第１実施形態では、ガスリーク検知器１００の感度異常の有無を検査するので、ガス供給時間Ｔ[s]として0.01s〜1s程度の短時間が想定される。

閉じられたガス流路７０の体積をＶ_E[L]とし、標準大気圧値をＰ₀とし、閉じられたガス流路７０にソニックノズル２８０によって標準大気圧に換算された体積Ｖ_T[L]のエアを供給した後の閉じられたガス流路７０における圧力値をＰ_Aとしたとき、式（４）が成立する。閉じられたガス流路７０の体積Ｖ_Eは、ガスリーク検知器１００に取り付けられた物（つまり良品あるいは検査対象物３２）と差圧検出器２５０のそれぞれの内圧による容積変化を含む体積であり、当業者によって例えば閉じられたガス流路７０の「等価内容積」などと呼称される。Ｐ_A≠Ｐ₀の場合、式（５）が成立する。Ｐ_A=Ｐ₀の場合は、ソニックノズル２８０によって供給されたエアのほぼ全部がガス流路７０から漏れていることを意味し、ガス流路７０に亀裂等の不具合があることがわかる。

したがって、良品を用いることによって形成された閉じられたガス流路７０にソニックノズル２８０を経由して体積Ｖ_Tのガスが供給された後の閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_G（絶対圧）と、検査対象物３２を用いることによって形成された閉じられたガス流路７０にソニックノズル２８０を経由して体積Ｖ_Tのガスが供給された後の閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_T（絶対圧）とを比較することによって、ガスリーク検知器１００の感度異常の有無を検査できる。当該圧力値Ｐ_G（絶対圧）と当該圧力値Ｐ_T（絶対圧）との差異が大きいならば、ガスリーク検知器１００の感度異常を認めることができる。この異常は、例えば、ガス流路７０に生じた亀裂、良品の容積と異なる検査対象物３２の容積、検査対象物３２の大きな漏れ、クランプの不具合、などに由来するであろう。

体積Ｖ_T[L]は、ガス供給時間Ｔ[s]によって制御される。ガス供給時間Ｔ[s]は、例えば、所定の圧力変化ΔＰ=Ｐ_A-Ｐ₀を発生させるために式（３）から予め計算された値として、あるいは、圧力変化ΔＰを発生させたときの実際のガス供給時間として定められる。

この第１実施形態では、ガス供給時間Ｔ[s]が0.01s〜1s程度の短時間であり、且つ、ソニックノズル２８０によって供給されるエアの圧力は閉じられたガス流路７０内を音速で伝播するので、閉じられたガス流路７０内の圧力は短時間で安定する。また、ソニックノズル２８０によって供給されるエアの体積Ｖ_T[L]と比較して閉じられたガス流路７０の体積Ｖ_Eが十分に大きい場合、エアが供給されることによる断熱変化の影響は極めて小さいと言える。クランプを用いて検査対象物３２をガスリーク検知器１００に取り付けることによって検査対象物３２の変形が生じるとしても、この変形は、通常、短時間で安定する。したがって、ガスリーク検知器１００の感度異常の有無を検査するために必要な時間は、検査対象物３２のガスリーク検査に必要な時間よりも、十分に短い。

閉じられたガス流路７０にソニックノズル２８０を経由して体積Ｖ_Tのガスが供給された後に差圧検出器２５０が検出する差圧は、閉じられたガス流路７０における圧力値と第４ガス流路２４における圧力値（つまり大気圧値）との差であり、通常、閉じられたガス流路７０の圧力が第４ガス流路２４の圧力より高くなる。ところで、第１実施形態において第１ガス回路１０１は差圧式ガスリーク検知器のガス回路であるので、ガスリーク検査において差圧検出器２５０が検出する差圧は、閉じられたガス流路７０における圧力値と第４ガス流路２４における圧力値（つまりテスト圧値）との差であり、漏れがある場合、閉じられたガス流路７０の圧力が第４ガス流路２４の圧力より低くなる。このように、差圧検出器２５０は、ガスリーク検知器１００の検査における差圧検出およびガスリーク検知器１００を用いたガスリーク検査における差圧検出に使用されるが、前者の検出差圧の符号は後者の検出差圧の符号と異なる。また、等価内容積は、ガスリーク検知器１００の検査における指標として使用されるのみならず、ガスリーク検査において漏れ量の算出に使用される。したがって、差圧検出器２５０として、圧力が加わる方向に対する感度の対称性が良好な差圧検出器を使用するのが好ましい。

＜ガスリーク検知器の検査方法＞
ガスリーク検知器１００の検査の手順は、次のとおりである（図４参照）。

ステップＳ１
第２ポート４２に良品を取り付け、且つ、第３ポート４３に参照対象物３３を取り付けた状態で、処理装置３００は、第１制御弁２２１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、第２制御弁２２３と第３制御弁２２５を開放状態にする。この結果、第３ガス流路２３と第４ガス流路２４と第９ガス流路２９と第１０ガス流路２９１と良品と参照対象物３３の内圧が大気圧になる。良品は、例えば、水没方式ガスリーク検査あるいはヘリウムリーク検査などによって漏れの無いことが事前に確認された物であり、つまり、基準としての検査対象物である。

ステップＳ２
処理装置３００は、第１制御弁２２１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま、第２制御弁２２３を閉鎖状態にする。この結果、閉じられたガス流路７０が形成される。

ステップＳ３
処理装置３００は、第１制御弁２２１と第２制御弁２２３を閉鎖状態にしたまま、第４制御弁２２７を一時的に開放状態にし、その後、再び第４制御弁２２７を閉鎖状態にする。第４制御弁２２７を開放状態にする時間、つまり、ガス供給時間Ｔ[s]は、この第１実施形態では、圧力変化ΔＰを発生させたときの実際のガス供給時間であり、処理装置３００がガス供給時間Ｔ[s]を計測する。この結果、ソニックノズル２８０によって、標準大気圧に換算された体積Ｖ_T[L]のエアが閉じられたガス流路７０に供給される。体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７０に一度に供給してもよいし、体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７０に２回以上に分けて供給してもよい。

ステップＳ４
処理装置３００は、良品を用いた場合において、体積Ｖ_T[L]のエアを供給した後の閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_G（絶対圧）を、処理装置３００のメモリに記憶する。圧力値Ｐ_Gは、閉じられたガス流路７０における圧力を直接的に示す値でもよいし、閉じられたガス流路７０における圧力を間接的に示す値でもよい。差圧検出器２５０が測定する差圧は、閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_Gと第４ガス流路２４における圧力値（つまり大気圧値Ｐ₀）との差ΔＰ_G=Ｐ_G-Ｐ₀である。したがって、圧力値Ｐ_Gは、差圧検出器２５０が測定する差圧ΔＰ_Gに大気圧値Ｐ₀を加算した値として、間接的に理解される。この第１実施形態では、閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_Gとして差圧検出器２５０が測定した差圧ΔＰ_G=Ｐ_G-Ｐ₀が処理装置３００のメモリに記憶される。

ステップＳ５
第２ポート４２に検査対象物３２を取り付け、且つ、第３ポート４３に参照対象物３３を取り付けた状態で、処理装置３００は、第１制御弁２２１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、第２制御弁２２３と第３制御弁２２５を開放状態にする。この結果、第３ガス流路２３と第４ガス流路２４と検査対象物３２と参照対象物３３の内圧が大気圧になる。

ステップＳ６
処理装置３００は、第１制御弁２２１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま、第２制御弁２２３を閉鎖状態にする。この結果、閉じられたガス流路７０が形成される。

ステップＳ７
処理装置３００は、第１制御弁２２１と第２制御弁２２３を閉鎖状態にしたまま、第４制御弁２２７を一時的に開放状態にし、その後、再び第４制御弁２２７を閉鎖状態にする。第４制御弁２２７を開放状態にする時間、つまり、ガス供給時間Ｔ[s]は、ステップＳ３の処理で得られたガス供給時間Ｔ[s]と同じである。この結果、ソニックノズル２８０によって、標準大気圧に換算された体積Ｖ_T[L]のエアが閉じられたガス流路７０に供給される。体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７０に一度に供給してもよいし、体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７０に２回以上に分けて供給してもよい。

ステップＳ８
処理装置３００は、検査対象物３２を用いた場合において、体積Ｖ_T[L]のエアを供給した後の閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_T（絶対圧）を、処理装置３００のメモリに記憶する。上述のとおり、この第１実施形態では、閉じられたガス流路７０における圧力値Ｐ_Tとして差圧検出器２５０が測定した差圧ΔＰ_T=Ｐ_T-Ｐ₀が処理装置３００のメモリに記憶される。

ステップＳ９
処理装置３００は、ステップＳ４で得られた圧力値Ｐ_G（絶対圧）とステップＳ８で得られた圧力値Ｐ_T（絶対圧）に基づいて、ガスリーク検知器１００の感度を検査する。処理装置３００は、圧力値Ｐ_Gと圧力値Ｐ_Tの差異、例えばΔＰ_T/ΔＰ_GまたはΔＰ_T-ΔＰ_G、が予め定められた範囲に含まれない場合、ガスリーク検知器１００の感度が異常であると判定する。あるいは、処理装置３００は、圧力値Ｐ_Gから算出される閉じられたガス流路７０の体積Ｖ_E,Gと圧力値Ｐ_Tから算出される閉じられたガス流路７０の体積Ｖ_E,Tの差異、例えばＶ_E,T/Ｖ_E,GまたはＶ_E,T-Ｖ_E,G、が予め定められた範囲に含まれない場合、ガスリーク検知器１００の感度が異常であると判定する。

ステップＳ１〜Ｓ４の処理は、基準値を測定するための処理であるから、必要に応じて随時に実施される。ステップＳ５〜Ｓ９の処理は、検査対象物３２のガスリーク検査の信頼性を確保するための処理であるから、好ましくは、検査対象物３２のガスリーク検査の前に実施される。しかし、検査対象物３２のガスリーク検査ごとにステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施せず、所定の回数のガスリーク検査ごとにステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施してもよいし、定期的にステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施してもよいし、不定期的にステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施してもよい。

＜ガスリーク検査方法＞
ガスリーク検知器１００を用いたガスリーク検査の手順は、次のとおりである（図５参照）。
上述のステップＳ１〜Ｓ９の処理に続いて、ステップＳ１０の処理を行う。
ステップＳ１０
ステップＳ９においてガスリーク検知器１００の感度に異常が無いと判定された後に、検査対象物３２を第２ポート４２に取り付けたまま、第１ガス回路１０１を用いて検査対象物３２のガスリークの有無を検査する。この検査は、例えば上述の先行技術と同じであるから、重複説明を省略する。なお、ガスリーク検査では、第４制御弁２２７は常に閉鎖状態である。

＜第２実施形態＞
図６は、本発明のガスリーク検知器の第２実施形態の機能構成を示している。

＜構成＞
第２実施形態のガスリーク検知器２００において、第１ガス回路１０１は、直圧式ガスリーク検知器のガス回路である（図６参照）。具体的には、第１ガス回路１０１は、減圧弁２１０ａと、圧力センサ２１３ａと、第１制御弁２４１と、第２制御弁２４３と、第１ガス流路２１と、第２ガス流路２２と、第３ガス流路２３と、第４ガス流路２４と、圧力センサ２５３と、第１ポート４１と、第２ポート４２と、サイレンサー４０を含んでいる。なお、処理装置３００は、その性質ゆえに第１ガス回路に含まれないと考えるのが適切であろうものの、ガスリーク検知器２００の構成要素である。第１制御弁２４１は、この例では、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリークローズドの電磁弁である。第２制御弁２４３は、この例では、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの電磁弁である。この例では、処理装置３００が各制御弁を制御する。

加圧された空気がガスタンク２００から供給される第１ポート４１は、第１ガス流路２１の一端に位置しており、ガスタンク２００に接続することができる。第１ガス流路２１の他端は、ガスリーク検知器２００の一次圧力の安定を保つ減圧弁２１０ａの一端に接続されている。このように、第１ガス流路２１は、第１ポート４１と減圧弁２１０ａとを連絡しており、例えば金属管である。

減圧弁２１０ａの他端は第２ガス流路２２の一端に接続しており、第２ガス流路２２の他端は第１制御弁２４１の吸気ポートに接続している。このように、第２ガス流路２２は、減圧弁２１０ａと第１制御弁２４１とを連絡しており、例えば金属管である。なお、ガスリーク検知器２００の一次圧力を測定するための圧力センサ２１３ａが、第２ガス流路２２に直列に接続されている。圧力センサ２１３ａの測定値は処理装置３００に入力される。

第３ガス流路２３の一端は、第１制御弁２４１の排気ポートに接続している。第３ガス流路２３の他端に、検査対象物３２に対してガスを供給するための第２ポート４２が位置している。第３ガス流路２３は、第１制御弁２４１と第２ポート４２とを連絡する管路の他に一つの管路を持つ。この一つの管路は、第１制御弁２４１と第２ポート４２とを連絡する管路から分岐している。この一つの管路の端部は、第２制御弁２４３の吸気ポートに接続している。なお、圧力センサ２５３が、第３ガス流路２３に直列に接続されている。このように、第３ガス流路２３は、第１制御弁２４１と第２制御弁２４３と第２ポート４２と圧力センサ２５３を連絡している。第３ガス流路２３は例えば金属管である。圧力センサ２５３の測定値は処理装置３００に入力される。

第４ガス流路２４の一端は第２制御弁２４３の排気ポートに接続しており、第４ガス流路２４の他端に、ガスリーク検知器２００からの排気音を小さくするサイレンサー４０が取り付けられている。

処理装置３００は、制御プログラムに従って、第１及び第２の制御弁２４１，２４３の動作を制御し、圧力センサ２１３ａによって検出される供給圧と圧力センサ２５３によって検出されるテスト圧を観測し、かつ、所定のタイミングで圧力センサ２５３によって得られた圧力値に基づいて検査対象物３２からの気体の漏れの有無を判定する。

ガスリーク検知器２００に含まれる第２ガス回路１０２は、ガスリーク検知器１００に含まれる第２ガス回路１０２と同じである。したがって、その重複説明を省略する。なお、第２実施形態においても、第１０ガス流路２９１の他端が接続される第１ガス回路１０１の位置は、「第１ガス回路１０１に含まれる弁と第２ガス回路１０２に含まれる弁とガスリーク検知器１００に取り付けられた良品または検査対象物で閉じられたガス流路を形成できる」という条件を満たす位置である。この第２実施形態では、第１０ガス流路２９１の他端は、第３ガス流路２３に接続されている。この場合、第１ガス回路１０１に含まれる第１制御弁２４１および第２制御弁２４３と第２ガス回路１０２に含まれる第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、且つ、第２ポートに良品または検査対象物３２を取り付けることによって、閉じられたガス流路７１（図７参照）を形成できる。閉じられたガス流路７１における圧力値を得る圧力センサは、この第２実施形態では、圧力センサ２５３である。

＜原理＞
第２実施形態のガスリーク検知器２００の原理は、第１実施形態のガスリーク検知器１００の原理と同じである。

＜ガスリーク検知器の検査方法＞
ガスリーク検知器２００の検査の手順は、次のとおりである（図４参照）。

ステップＳ１
第２ポート４２に良品を取り付けた状態で、処理装置３００は、第１制御弁２４１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、第２制御弁２４３を開放状態にする。この結果、第３ガス流路２３と第９ガス流路２９と第１０ガス流路２９１と良品の内圧が大気圧になる。良品は、例えば、水没方式ガスリーク検査あるいはヘリウムリーク検査などによって漏れの無いことが事前に確認された物であり、つまり、基準としての検査対象物である。

ステップＳ２
処理装置３００は、第１制御弁２４１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま、第２制御弁２４３を閉鎖状態にする。この結果、閉じられたガス流路７１が形成される。

ステップＳ３
処理装置３００は、第１制御弁２４１と第２制御弁２４３を閉鎖状態にしたまま、第４制御弁２２７を一時的に開放状態にし、その後、再び第４制御弁２２７を閉鎖状態にする。第４制御弁２２７を開放状態にする時間、つまり、ガス供給時間Ｔ[s]は、この第２実施形態では、圧力変化ΔＰを発生させたときの実際のガス供給時間であり、処理装置３００がガス供給時間Ｔ[s]を計測する。この結果、ソニックノズル２８０によって、標準大気圧に換算された体積Ｖ_T[L]のエアが閉じられたガス流路７１に供給される。体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７１に一度に供給してもよいし、体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７１に２回以上に分けて供給してもよい。

ステップＳ４
処理装置３００は、良品を用いた場合において、体積Ｖ_T[L]のエアを供給した後の閉じられたガス流路７１における圧力値Ｐ_G（絶対圧）を、処理装置３００のメモリに記憶する。圧力値Ｐ_Gは、圧力センサ２５３が測定した圧力である。

ステップＳ５
第２ポート４２に検査対象物３２を取り付けた状態で、処理装置３００は、第１制御弁２４１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、第２制御弁２４３を開放状態にする。この結果、第３ガス流路２３と第４ガス流路２４と第９ガス流路２９と第１０ガス流路２９１と検査対象物３２の内圧が大気圧になる。

ステップＳ６
処理装置３００は、第１制御弁２４１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま、第２制御弁２４３を閉鎖状態にする。この結果、閉じられたガス流路７１が形成される。

ステップＳ７
処理装置３００は、第１制御弁２４１と第２制御弁２４３を閉鎖状態にしたまま、第４制御弁２２７を一時的に開放状態にし、その後、再び第４制御弁２２７を閉鎖状態にする。第４制御弁２２７を開放状態にする時間、つまり、ガス供給時間Ｔ[s]は、ステップＳ３の処理で得られたガス供給時間Ｔ[s]と同じである。この結果、ソニックノズル２８０によって、標準大気圧に換算された体積Ｖ_T[L]のエアが閉じられたガス流路７１に供給される。体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７１に一度に供給してもよいし、体積Ｖ_T[L]のエアを閉じられたガス流路７１に２回以上に分けて供給してもよい。

ステップＳ８
処理装置３００は、検査対象物３２を用いた場合において、体積Ｖ_T[L]のエアを供給した後の閉じられたガス流路７１における圧力値Ｐ_T（絶対圧）を、処理装置３００のメモリに記憶する。圧力値Ｐ_Tは、圧力センサ２５３が測定した圧力である。

ステップＳ９
処理装置３００は、ステップＳ４で得られた圧力値Ｐ_G（絶対圧）とステップＳ８で得られた圧力値Ｐ_T（絶対圧）に基づいて、ガスリーク検知器２００の感度を検査する。処理装置３００は、圧力値Ｐ_Gと圧力値Ｐ_Tの差異、例えばＰ_T/Ｐ_GまたはＰ_T-Ｐ_G、が予め定められた範囲に含まれない場合、ガスリーク検知器２００の感度が異常であると判定する。あるいは、処理装置３００は、圧力値Ｐ_Gから算出される閉じられたガス流路７１の体積ＶV_E,Gと圧力値Ｐ_Tから算出される閉じられたガス流路７１の体積Ｖ_E,Tの差異、例えばＶ_E,T/Ｖ_E,GまたはＶ_E,T-Ｖ_E,G、が予め定められた範囲に含まれない場合、ガスリーク検知器２００の感度が異常であると判定する。

ステップＳ１〜Ｓ４の処理は、基準値を測定するための処理であるから、必要に応じて随時に実施される。ステップＳ５〜Ｓ９の処理は、検査対象物３２のガスリーク検査の信頼性を確保するための処理であるから、好ましくは、検査対象物３２のガスリーク検査の前に実施される。しかし、検査対象物３２のガスリーク検査ごとにステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施せず、所定の回数のガスリーク検査ごとにステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施してもよいし、定期的にステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施してもよいし、不定期的にステップＳ５〜Ｓ９の処理を実施してもよい。

＜ガスリーク検査方法＞
ガスリーク検知器２００を用いたガスリーク検査の手順は、次のとおりである（図５参照）。
上述のステップＳ１〜Ｓ９の処理に続いて、ステップＳ１０の処理を行う。
ステップＳ１０
ステップＳ９においてガスリーク検知器２００の感度に異常が無いと判定された後に、検査対象物３２を第２ポート４２に取り付けたまま、第１ガス回路１０１を用いて検査対象物３２のガスリークの有無を検査する。

まず、処理装置３００は、第１制御弁２４１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にし、且つ、第２制御弁２４３を開放状態にする。この結果、第３ガス流路２３と、第４ガス流路２４と、第９ガス流路２９と、第１０ガス流路２９１が同じ初期状態、つまりこの例では大気圧、になる。第２ガス流路２２の圧力は、減圧弁２１０ａによって所定の圧力に設定されている。同様に、第８ガス流路２８の圧力は、減圧弁２１０ｂによって所定の圧力に設定されている。

次に、処理装置３００は、第１制御弁２４１と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま、第２制御弁２４３を閉鎖状態にする。

次に、処理装置３００は、第２制御弁２４３と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま第１制御弁２４１を予め決められた時間だけ開放状態にする。この結果、ガスタンク２００の加圧空気が検査対象物３２に供給される。

次に、処理装置３００は、第２制御弁２４３と第４制御弁２２７を閉鎖状態にしたまま第１制御弁２４１を閉鎖状態にし、予め決められた時間だけ圧力変動の減少を待つ。この間に圧力センサ２５３が圧力降下を検出した場合、処理装置３００は「検査対象物３２はリークを有する」と判定する。

＜補遺＞
上述の第１実施形態および第２実施形態では検査対象物の内側にガス圧を供給することによって漏れ検査をする内圧式ガスリーク検査を説明したが、本発明は検査対象物の外側にガス圧を供給することによって漏れ検査をする外圧式ガスリーク検査にも適用され得る。外圧式ガスリーク検査の場合、第２ポート４２に取り付けられたチャンバーの中に良品または検査対象物３２が収容され、第３ポート４３に取り付けられたチャンバーの中に参照対象物３３が収容される。

例示的な実施形態を参照して本発明を説明したが、当業者は本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変更を行い、その要素を均等物で置き換えることができることを理解するであろう。さらに、本発明の本質的な範囲から逸脱することなく、特定のシステム、デバイス、またはそのコンポーネントを本発明の教示に適合させるために、多くの修正を加えることができる。したがって、本発明は、本発明を実施するために開示された特定の実施形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲に含まれるすべての実施形態を含むものとする。

さらに、「第１」、「第２」などの用語の使用は順序や重要性を示すものではなく、「第１」、「第２」などの用語は要素を区別するために使用される。本明細書で使用される用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を限定することを意図するものでは決してない。用語「含む」とその語形変化は、本明細書および/または添付の特許請求の範囲で使用される場合、言及された特徴、ステップ、操作、要素、および/またはコンポーネントの存在を明らかにするが、1つまたは複数の他の特徴、ステップ、操作、要素、コンポーネント、および/またはそれらのグループの存在または追加を排除しない。「および/または」という用語は、それがもしあれば、関連するリストされた要素の1つまたは複数のありとあらゆる組み合わせを含む。特許請求の範囲および明細書において、特に明記しない限り、「接続」、「結合」、「結合」、「インターロック」、またはそれらの同義語、およびそのすべての語形は、例えば互いに「接続」または「結合」されているか互いに「連動」している二つの間の一つ以上の中間要素の存在を必ずしも否定しない。

特に断りが無い限り、本明細書で使用されるすべての用語（技術用語および科学用語を含む）は、本発明が属する分野の当業者によって一般に理解されるのと同じ意味を有する。さらに、一般的に使用される辞書で定義されている用語などの用語は、関連技術および本開示の文脈におけるそれらの意味と一致する意味を有すると解釈されるべきであり、明示的に定義されていない限り、理想化的にまたは過度に形式的に解釈されるものではない。

本発明の説明において、多くの技法およびステップが開示されていることが理解されるであろう。これらのそれぞれには個別の利点があり、それぞれ他の開示された技法の一つ以上、または場合によってはすべてと組み合わせて使用することもできる。したがって、煩雑になることを避けるため、本明細書では、個々の技法またはステップのあらゆる可能な組み合わせを説明することを控える。それでも、明細書および請求項は、そのような組み合わせが完全に本発明および請求項の範囲内であることを理解して読まれるべきである。

以下の請求項において手段またはステップと結合したすべての機能的要素の対応する構造、材料、行為、および同等物は、それらがあるとすれば、他のクレームされた要素と組み合わせて機能を実行するための構造、材料、または行為を含むことを意図する。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更と変形が許される。選択され且つ説明された実施形態は、本発明の原理およびその実際的応用を解説するためのものである。本発明は様々な変更あるいは変形を伴って様々な実施形態として使用され、様々な変更あるいは変形は期待される用途に応じて決定される。そのような変更および変形のすべては、添付の特許請求の範囲によって規定される本発明の範囲に含まれることが意図されており、公平、適法および公正に与えられる広さに従って解釈される場合、同じ保護が与えられることが意図されている。

Claims (8)

1. ガスリークを検知するための第１ガス回路と、当該第１ガス回路に接続されており且つ所定のガス体積変化を惹起するための第２ガス回路と、を含むガスリーク検知器の検査方法であって、
   上記第１ガス回路に含まれる弁と、上記第２ガス回路に含まれる弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた良品と、で閉じられたガス流路に、上記第２ガス回路を用いて上記所定のガス体積変化を惹起した後に、上記ガス流路における圧力値を得る基準ステップと、
   上記第１ガス回路に含まれる上記弁と、上記第２ガス回路に含まれる上記弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた検査対象物と、で閉じられた上記ガス流路に、上記第２ガス回路を用いて上記所定のガス体積変化を惹起した後に、上記ガス流路における圧力値を得る対象ステップと、
   上記基準ステップで得られた上記圧力値と上記対象ステップで得られた上記圧力値に基づいて、上記ガスリーク検知器の感度を検査する検査ステップと
   を有する検査方法。
2. 請求項１に記載の検査方法において、
   上記検査ステップでは、上記基準ステップで得られた上記圧力値と上記対象ステップで得られた上記圧力値との差異から、上記ガスリーク検知器の感度を検査する
   ことを特徴とする検査方法。
3. 請求項１に記載の検査方法において、
   上記検査ステップでは、上記基準ステップで得られた上記圧力値から算出される上記ガス流路の体積と上記対象ステップで得られた上記圧力値から算出される上記ガス流路の体積との差異から、上記ガスリーク検知器の感度を検査する
   ことを特徴とする検査方法。
4. ガスリークを検知するための第１ガス回路と、当該第１ガス回路に接続されており且つ所定のガス体積変化を惹起するための第２ガス回路と、を含むガスリーク検知器を用いて、検査対象物のガスリークの有無を検査するガスリーク検査方法であって、
   上記第１ガス回路に含まれる弁と、上記第２ガス回路に含まれる弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた良品と、で閉じられたガス流路に、上記第２ガス回路を用いて上記所定のガス体積変化を惹起した後に、上記ガス流路における圧力値を得る基準ステップと、
   上記第１ガス回路に含まれる上記弁と、上記第２ガス回路に含まれる上記弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた上記検査対象物と、で閉じられた上記ガス流路に、上記第２ガス回路を用いて上記所定のガス体積変化を惹起した後に、上記ガス流路における圧力値を得る対象ステップと、
   上記基準ステップで得られた上記圧力値と上記対象ステップで得られた上記圧力値に基づいて、上記ガスリーク検知器の感度を検査する検査ステップと、
   上記検査ステップにおいて上記ガスリーク検知器の感度に異常が無いと判定された後に、上記第１ガス回路を用いて上記検査対象物のガスリークの有無を検査するリーク検査ステップと
   を有するガスリーク検査方法。
5. ガスリーク検知器であって、
   ガスリークを検知するための第１ガス回路と、
   上記第１ガス回路に接続されており且つ所定のガス体積変化を惹起するための第２ガス回路と、
   上記第１ガス回路に含まれる弁と、上記第２ガス回路に含まれる弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた良品または検査対象物と、で閉じられたガス流路における圧力値を得る圧力センサと
   を含むガスリーク検知器。
6. 請求項５に記載のガスリーク検知器において、
   上記第１ガス回路に含まれる上記弁と、上記第２ガス回路に含まれる上記弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた上記良品と、で閉じられた上記ガス流路に上記所定のガス体積変化を惹起させた後の上記ガス流路の圧力値と、上記第１ガス回路に含まれる上記弁と、上記第２ガス回路に含まれる上記弁と、上記ガスリーク検知器に取り付けられた上記検査対象物と、で閉じられた上記ガス流路に上記所定のガス体積変化を惹起させた後の上記ガス流路の圧力値と、から上記ガスリーク検知器の感度を表す情報を出力する処理装置を含む
   ことを特徴とするガスリーク検知器。
7. 請求項６に記載のガスリーク検知器において、
   上記処理装置が、上記所定のガス体積変化に要した時間を計測する
   ことを特徴とするガスリーク検知器。
8. 請求項５から請求項７のいずれかに記載のガスリーク検知器において、
   上記第２ガス回路は、ソニックノズルを含む
   ことを特徴とするガスリーク検知器。

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