JP2700962B2 - 洩れ検査装置の校正方法 - Google Patents
洩れ検査装置の校正方法Info
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- JP2700962B2 JP2700962B2 JP3138702A JP13870291A JP2700962B2 JP 2700962 B2 JP2700962 B2 JP 2700962B2 JP 3138702 A JP3138702 A JP 3138702A JP 13870291 A JP13870291 A JP 13870291A JP 2700962 B2 JP2700962 B2 JP 2700962B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は防水型器具或は密封容
器等の洩れの有無を検査する洩れ検査装置に関し、特に
洩れ量を直読表示させるための演算に利用する校正値を
得るための校正方法を提案するものである。
器等の洩れの有無を検査する洩れ検査装置に関し、特に
洩れ量を直読表示させるための演算に利用する校正値を
得るための校正方法を提案するものである。
【０００２】
【従来の技術】密封容器等の洩れの有無を検査する方法
の一つとして、被検査容器と、洩れのない基準容器に空
圧源から同一の空気圧を与え、その供給路を遮断した後
に、両者間に圧力差つまり差圧が発生するか否かを見
て、差圧の発生が無ければ洩れなしと判定し、差圧が規
定値以上発生した場合は洩れ有りと判定し、良否を判定
する洩れ検査方法が実用されている。
の一つとして、被検査容器と、洩れのない基準容器に空
圧源から同一の空気圧を与え、その供給路を遮断した後
に、両者間に圧力差つまり差圧が発生するか否かを見
て、差圧の発生が無ければ洩れなしと判定し、差圧が規
定値以上発生した場合は洩れ有りと判定し、良否を判定
する洩れ検査方法が実用されている。
【０００３】この洩れ検査方法によれば、測定値は差圧
値として得られるため、容器等の洩れ量を知るには差圧
値を洩れ量（ｃｃ／分）に換算する必要がある。また良
否判定の基準が洩れ量で与えられた場合には、この基準
となる洩れ量（ｃｃ／分）を差圧値に換算し、検査装置
の判定基準値として設定しなければならない。つまり被
検査容器に洩れが有るか否かを問うだけの検査であれ
ば、差圧の発生が有り無しによって検査すればよいから
有能に機能するが、洩れの量を測定したい場合、或は許
容値が洩れ量で与えられたような場合には差圧値−洩れ
量の換算を行なわなくてはならなくなり面倒な作業が強
いられる。
値として得られるため、容器等の洩れ量を知るには差圧
値を洩れ量（ｃｃ／分）に換算する必要がある。また良
否判定の基準が洩れ量で与えられた場合には、この基準
となる洩れ量（ｃｃ／分）を差圧値に換算し、検査装置
の判定基準値として設定しなければならない。つまり被
検査容器に洩れが有るか否かを問うだけの検査であれ
ば、差圧の発生が有り無しによって検査すればよいから
有能に機能するが、洩れの量を測定したい場合、或は許
容値が洩れ量で与えられたような場合には差圧値−洩れ
量の換算を行なわなくてはならなくなり面倒な作業が強
いられる。
【０００４】このため、本出願人は「特願昭６２−３７
２２９号：洩れ検査装置」により被検査容器から洩れる
洩れ量（ｃｃ／分）を直読表示することができる洩れ検
査装置を提案した。図７に先に提案した洩れ検査装置の
構成を示す。図中１１は正又は負の空気圧を発生する空
圧源を示す。空圧源１１で発生した空気圧は減圧弁１２
と３方電磁弁１３を通じて２分されて二つの分岐管２
２，２３に与えられ、二つの分岐管２２，２３に与えら
れた空気圧は２方電磁弁によって構成される第１制御弁
１４と第２制御弁１５を通じて被検査容器１６と基準タ
ンク１７に加えられる。また被検査容器１６と基準タン
ク１７内の圧力差を差圧検出器１８で検出し、その検出
信号を増幅器１９で増幅する。ここまでの構成は一般的
な差圧検出型の洩れ検査装置と同じである。
２２９号：洩れ検査装置」により被検査容器から洩れる
洩れ量（ｃｃ／分）を直読表示することができる洩れ検
査装置を提案した。図７に先に提案した洩れ検査装置の
構成を示す。図中１１は正又は負の空気圧を発生する空
圧源を示す。空圧源１１で発生した空気圧は減圧弁１２
と３方電磁弁１３を通じて２分されて二つの分岐管２
２，２３に与えられ、二つの分岐管２２，２３に与えら
れた空気圧は２方電磁弁によって構成される第１制御弁
１４と第２制御弁１５を通じて被検査容器１６と基準タ
ンク１７に加えられる。また被検査容器１６と基準タン
ク１７内の圧力差を差圧検出器１８で検出し、その検出
信号を増幅器１９で増幅する。ここまでの構成は一般的
な差圧検出型の洩れ検査装置と同じである。
【０００５】この先に提案した洩れ検査装置の特徴とす
る構成は被検査容器１６側の配管に容積変化付加器２４
を付設した点と、差圧検出器１８の信号系に演算処理装
置２５を設けた点である。容積変化付加器２４は３方電
磁弁２６の切替操作に応じて、被検査容器１６側の内容
積を一定量変化させる動作を行う。
る構成は被検査容器１６側の配管に容積変化付加器２４
を付設した点と、差圧検出器１８の信号系に演算処理装
置２５を設けた点である。容積変化付加器２４は３方電
磁弁２６の切替操作に応じて、被検査容器１６側の内容
積を一定量変化させる動作を行う。
【０００６】つまり被検査容器１６に連通する室２７
と、３方電磁弁２６を通じて空圧源１１に連通する室２
９を有し、３方電磁弁２６を開いて室２９の圧力を上げ
るとピストン３１は右方向に動く、ピストン３１にはピ
ストンロッド３２が取付けられておりピストン３１の横
動に応じて室２７の内部において進退し、室２７の容積
を変化させる。
と、３方電磁弁２６を通じて空圧源１１に連通する室２
９を有し、３方電磁弁２６を開いて室２９の圧力を上げ
るとピストン３１は右方向に動く、ピストン３１にはピ
ストンロッド３２が取付けられておりピストン３１の横
動に応じて室２７の内部において進退し、室２７の容積
を変化させる。
【０００７】３３はマイクロメーターヘッドを示す。こ
のマイクロメーターヘッドによってピストンロッド３２
の進退量を規定し室２７の容積の変化量を設定できるよ
うにしている。３方電磁弁２６は空圧源１１の圧力を室
２９に直接供給する状態と、室２９を大気に解放する切
替動作を行う。通常において室２９は大気圧の状態にあ
る。この為ピストンはスプリング４０によって左方に押
されて、ピストン３１が左方の壁に当たっている状態に
ある。
のマイクロメーターヘッドによってピストンロッド３２
の進退量を規定し室２７の容積の変化量を設定できるよ
うにしている。３方電磁弁２６は空圧源１１の圧力を室
２９に直接供給する状態と、室２９を大気に解放する切
替動作を行う。通常において室２９は大気圧の状態にあ
る。この為ピストンはスプリング４０によって左方に押
されて、ピストン３１が左方の壁に当たっている状態に
ある。
【０００８】被検査容器１６側の内容積を一定量変化さ
せるには３方電磁弁２６を動作させ、空圧源１１の圧力
を室２９に与える。室２９の圧力がスプリング４０の力
に打ち勝ちピストン３１を右方向に移動させマイクロメ
ーターヘッド３３で設定された位置で停止する。ピスト
ンロッド３２の退出により室２７の内容積はピストンロ
ッド３２の退出量の容積だけ増加する。
せるには３方電磁弁２６を動作させ、空圧源１１の圧力
を室２９に与える。室２９の圧力がスプリング４０の力
に打ち勝ちピストン３１を右方向に移動させマイクロメ
ーターヘッド３３で設定された位置で停止する。ピスト
ンロッド３２の退出により室２７の内容積はピストンロ
ッド３２の退出量の容積だけ増加する。
【０００９】等価内容積を測定する場合は被検査容器１
６として洩れのない良品を取付けると共に被検査容器１
６及び基準タンク１７に一定のテスト圧Ｐを与えた後
に、第１制御弁１４及び第２制御弁１５を閉じる。この
状態で室２７の内容積を変化させる。室２７の容積変化
は被検査容器１６側の配管を含めた内容積に変化を与え
る。内容積変化がΔＶのとき発生差圧がΔＰであれば等
価内容積ＶE は（１）式で求めることができる。
６として洩れのない良品を取付けると共に被検査容器１
６及び基準タンク１７に一定のテスト圧Ｐを与えた後
に、第１制御弁１４及び第２制御弁１５を閉じる。この
状態で室２７の内容積を変化させる。室２７の容積変化
は被検査容器１６側の配管を含めた内容積に変化を与え
る。内容積変化がΔＶのとき発生差圧がΔＰであれば等
価内容積ＶE は（１）式で求めることができる。
【００１０】 ＶE ＝（１．０３＋Ｐ）ΔＶ／ΔＰ………（１） Ｐ：テスト圧〔kg／cm2 Ｇ〕 ΔＶ：容積変化量〔ｃｃ〕 ΔＰ：発生差圧〔kg／cm2 〕 差圧ΔＰは差圧検出器１８によって検出され、増幅器１
９で増幅してＡＤ変換器３４に与えられる。ＡＤ変換器
３４でディジタル信号に変換された差圧信号は演算処理
装置２５に入力される。
９で増幅してＡＤ変換器３４に与えられる。ＡＤ変換器
３４でディジタル信号に変換された差圧信号は演算処理
装置２５に入力される。
【００１１】演算処理装置２５は、例えばマイクロコン
ピュータによって構成することができる。マイクロコン
ピュータは周知のように中央処理装置２５Ａとこの中央
処理装置２５Ａを所定の順序で動作させるプログラムを
収納したＲＯＭ２５Ｂと、入力されるデータ及び演算処
理したデータ等を記憶するＲＡＭ２５Ｃと、入力ポート
２５Ｄと、出力ポート２５Ｅで構成される。
ピュータによって構成することができる。マイクロコン
ピュータは周知のように中央処理装置２５Ａとこの中央
処理装置２５Ａを所定の順序で動作させるプログラムを
収納したＲＯＭ２５Ｂと、入力されるデータ及び演算処
理したデータ等を記憶するＲＡＭ２５Ｃと、入力ポート
２５Ｄと、出力ポート２５Ｅで構成される。
【００１２】被検査容器１６側の等価内容積を測定する
場合は演算処理装置２５を構成するマイクロコンピュー
タを等価内容積測定モードで動作させる。等価内容積測
定モードにおいて、入力ポート２５Ｄに差圧データが入
力されると中央処理装置２５Ａは予めキーボード３５か
ら入力しているテスト圧Ｐと室２７の容積変化量ΔＶを
使って等価内容積ＶE を算出する。算出した等価内容積
ＶE は、例えばＲＡＭ２５Ｃに記憶し、また必要に応じ
て外部に設けたＲＡＭカード或は磁気デスク（特に図示
しない）等に書込み保存する。
場合は演算処理装置２５を構成するマイクロコンピュー
タを等価内容積測定モードで動作させる。等価内容積測
定モードにおいて、入力ポート２５Ｄに差圧データが入
力されると中央処理装置２５Ａは予めキーボード３５か
ら入力しているテスト圧Ｐと室２７の容積変化量ΔＶを
使って等価内容積ＶE を算出する。算出した等価内容積
ＶE は、例えばＲＡＭ２５Ｃに記憶し、また必要に応じ
て外部に設けたＲＡＭカード或は磁気デスク（特に図示
しない）等に書込み保存する。
【００１３】内容積が異なる被検査容器１６が各種存在
する場合は、各種の被検査容器毎に等価内容積ＶE を測
定し、ＲＡＭ２５Ｃ又はその他の記憶手段にその等価内
容積ＶE を記憶する。等価内容積ＶE が求まることによ
り演算処理装置２５は検査モードで動作するとき以下に
示す（２）式から洩れ量ΔＱ〔ｃｃ／分〕を算出するこ
とができる。
する場合は、各種の被検査容器毎に等価内容積ＶE を測
定し、ＲＡＭ２５Ｃ又はその他の記憶手段にその等価内
容積ＶE を記憶する。等価内容積ＶE が求まることによ
り演算処理装置２５は検査モードで動作するとき以下に
示す（２）式から洩れ量ΔＱ〔ｃｃ／分〕を算出するこ
とができる。
【００１４】 ΔＱ＝ＶE （ΔＰ／１．０３）６０／Ｔ3 ………（２） この算出結果を表示器３６に表示することにより、被検
査容器１６の洩れ量を直読表示することができる。
査容器１６の洩れ量を直読表示することができる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】先に提案した洩れ量表
示型の洩れ検査装置では、被検査容器１６の等価内容積
を求めるために容積変化付加器２４を用いている。容積
変化付加器２４はマイクロメーターヘッド３３を調整す
ることにより容積の変化量を各種設定できる。ところで
被検査容器１６の内容積は各種のものが検査対象とな
る。容積変化付加器２４によって与える容積変化は被検
査容器の内容積の約０．５〜１．０％程度必要である。
従って被検査容器１６の内容積が大きい場合は容積変化
付加器２４の容積変化量ΔＶも大きくしなければならな
い。また被検査容器１６の内容積が小さい場合には容積
変化付加器２４の容積変化量ΔＶは小さくしなければな
らない。
示型の洩れ検査装置では、被検査容器１６の等価内容積
を求めるために容積変化付加器２４を用いている。容積
変化付加器２４はマイクロメーターヘッド３３を調整す
ることにより容積の変化量を各種設定できる。ところで
被検査容器１６の内容積は各種のものが検査対象とな
る。容積変化付加器２４によって与える容積変化は被検
査容器の内容積の約０．５〜１．０％程度必要である。
従って被検査容器１６の内容積が大きい場合は容積変化
付加器２４の容積変化量ΔＶも大きくしなければならな
い。また被検査容器１６の内容積が小さい場合には容積
変化付加器２４の容積変化量ΔＶは小さくしなければな
らない。
【００１６】容積変化付加器２４の容積変化量ΔＶは上
述したようにマイクロメーターヘッド３３を調整するこ
とによって調整できるが、その調整範囲は有限である。
従って被検査容器１６の内容積が大きいものから小さい
ものまで各種存在する場合は容積変化付加器２４を容積
の設定範囲が各種異なる容積変化付加器を用意しなけれ
ばならない。
述したようにマイクロメーターヘッド３３を調整するこ
とによって調整できるが、その調整範囲は有限である。
従って被検査容器１６の内容積が大きいものから小さい
ものまで各種存在する場合は容積変化付加器２４を容積
の設定範囲が各種異なる容積変化付加器を用意しなけれ
ばならない。
【００１７】また被検査容器２４をその都度交換する手
間が必要となり面倒である。また負圧によって検査しな
ければならない容器の場合には、容積変化付加器２４に
よって容積変化を与えても圧力変化を発生させることが
できない。従って負圧によって検査する場合には洩れ量
を直読表示させる検査方法は採れない欠点がある。この
発明の目的は被検査容器の内容積が大きくても、小さく
ても容積変化付加器を交換する必要がなく、また負圧に
よって検査する型式の洩れ検査装置にも洩れ量を直読表
示させることができる洩れ検査装置の校正方法を提案す
るものである。
間が必要となり面倒である。また負圧によって検査しな
ければならない容器の場合には、容積変化付加器２４に
よって容積変化を与えても圧力変化を発生させることが
できない。従って負圧によって検査する場合には洩れ量
を直読表示させる検査方法は採れない欠点がある。この
発明の目的は被検査容器の内容積が大きくても、小さく
ても容積変化付加器を交換する必要がなく、また負圧に
よって検査する型式の洩れ検査装置にも洩れ量を直読表
示させることができる洩れ検査装置の校正方法を提案す
るものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】この発明では容積変化付
加器の代りに、予め洩れ量が校正された微少リーク弁を
用いる。この微少リーク弁は予め毎分０．１ｃｃ〜数ｃ
ｃ程度の微少リークが得られるようにリーク量ΔＱ 0 (ｃ
ｃ／分）が設定される。この微少リーク弁を例えば被検
査容器側の配管に設けることによって被検査容器側の空
気圧を時間の経過に従って変化させることができ、被検
査容器側の内容積を変化させたと等価な現象を得ること
ができる。
加器の代りに、予め洩れ量が校正された微少リーク弁を
用いる。この微少リーク弁は予め毎分０．１ｃｃ〜数ｃ
ｃ程度の微少リークが得られるようにリーク量ΔＱ 0 (ｃ
ｃ／分）が設定される。この微少リーク弁を例えば被検
査容器側の配管に設けることによって被検査容器側の空
気圧を時間の経過に従って変化させることができ、被検
査容器側の内容積を変化させたと等価な現象を得ること
ができる。
【００１９】従って差圧値をゼロリセットしたタイミン
グから一定時間Ｔ3 を規定し、この一定時間Ｔ3 を経過
した時点で微少リーク弁から洩れた空気の量ΔＱ 1 (ｃ
ｃ) 、つまり微少リーク弁に設定した洩れ量ΔＱ 0 (ｃｃ
／分）と時間Ｔ 3 からΔＱ 1 ＝ΔＱ 0 ・Ｔ 3 ／６０によ
りΔＱ 1 (ｃｃ）を求め、更に差圧値ΔＰ 1 (kg／cm 2 )を演
算処理装置２５に読込んで（３）式の演算を行なうこと
によって等価内容積ＶEを求めることができる。 ＶE ＝１．０３（ΔＱ1 ／ΔＰ1 ） ……（３） ΔＱ 1 ：Ｔ 3 秒間に微少リーク弁からリークした空気の量（ｃｃ） ΔＰ 1 ：微少リーク開始からＴ 3 秒経過した時点で測定した差圧値 Ｔ3 ：検出時間（秒） よってこの発明の校正方法によれば微少リーク弁からリ
ークさせる時間Ｔ3 を変えるだけで被検査容器の容積が
大きいものから小さいものまでの等価内容積を求めるこ
とができる。また空圧源１１が負圧の場合でも校正を行
なうことができる。
グから一定時間Ｔ3 を規定し、この一定時間Ｔ3 を経過
した時点で微少リーク弁から洩れた空気の量ΔＱ 1 (ｃ
ｃ) 、つまり微少リーク弁に設定した洩れ量ΔＱ 0 (ｃｃ
／分）と時間Ｔ 3 からΔＱ 1 ＝ΔＱ 0 ・Ｔ 3 ／６０によ
りΔＱ 1 (ｃｃ）を求め、更に差圧値ΔＰ 1 (kg／cm 2 )を演
算処理装置２５に読込んで（３）式の演算を行なうこと
によって等価内容積ＶEを求めることができる。 ＶE ＝１．０３（ΔＱ1 ／ΔＰ1 ） ……（３） ΔＱ 1 ：Ｔ 3 秒間に微少リーク弁からリークした空気の量（ｃｃ） ΔＰ 1 ：微少リーク開始からＴ 3 秒経過した時点で測定した差圧値 Ｔ3 ：検出時間（秒） よってこの発明の校正方法によれば微少リーク弁からリ
ークさせる時間Ｔ3 を変えるだけで被検査容器の容積が
大きいものから小さいものまでの等価内容積を求めるこ
とができる。また空圧源１１が負圧の場合でも校正を行
なうことができる。
【００２０】
【実施例】図１にこの発明の一実施例を示す。図１にお
いて、図と対応する部分には同一符号を付し、その重複
説明は省略する。この発明の特徴は被検査容器１６側の
配管に微少リーク弁３７を設けた構造である。つまりこ
の側では２方弁から成る制御弁３８を介して微少リーク
弁３７を被検査容器１６の配管に接続した場合を示す。
制御弁３８は校正モードにおいて開に制御され、校正モ
ードにおいて微少リーク弁３７を被検査容器１６の配管
に連通させる。
いて、図と対応する部分には同一符号を付し、その重複
説明は省略する。この発明の特徴は被検査容器１６側の
配管に微少リーク弁３７を設けた構造である。つまりこ
の側では２方弁から成る制御弁３８を介して微少リーク
弁３７を被検査容器１６の配管に接続した場合を示す。
制御弁３８は校正モードにおいて開に制御され、校正モ
ードにおいて微少リーク弁３７を被検査容器１６の配管
に連通させる。
【００２１】微少リーク弁３７は例えば本出願人が提案
した「実願平１−８７２６０号：微少リーク弁」を用い
ることができる。図２乃至図５に先に提案した微少リー
ク弁の構造を示す。図２において１は金属ブロックを示
す。この金属ブロック１は例えば図３に示すように円柱
体の胴を１８０°対向する位置で切り落とした断面形状
とされる。
した「実願平１−８７２６０号：微少リーク弁」を用い
ることができる。図２乃至図５に先に提案した微少リー
ク弁の構造を示す。図２において１は金属ブロックを示
す。この金属ブロック１は例えば図３に示すように円柱
体の胴を１８０°対向する位置で切り落とした断面形状
とされる。
【００２２】金属ブロック１の両端面には同軸芯上に孔
２Ａ，２Ｂが形成され、この孔２Ａ，２Ｂの内周面に雌
ネジ３Ａ，３Ｂが形成される。この雌ネジ３Ａ，３Ｂに
図４及び図５に示す継手２０が接続される。孔２Ａ，２
Ｂの奥に細管貫通孔４が形成され、この細管貫通孔４に
よって孔２Ａと２Ｂの間が連通される。細管貫通孔４に
細管５を貫通させる。細管５は例えば外径が０．８mm
φ，内径０．５mmφのステンレス製のパイプを用いるこ
とができる。細管貫通孔４は細管５の外径よりわずかに
大きい程度の内径を有して形成され、シール材６Ａ，６
Ｂによって細管５の外周と細管貫通孔４の内壁との間を
シールする。シール材６Ａ，６Ｂはオーリングを用いる
ことができ、このオーリングをリング状のネジによって
形成されたシール抑え７Ａ，７Ｂで細管貫通孔４の内壁
面に抑え付け、細管５の外周と細管貫通孔４の内壁との
間をシールする。
２Ａ，２Ｂが形成され、この孔２Ａ，２Ｂの内周面に雌
ネジ３Ａ，３Ｂが形成される。この雌ネジ３Ａ，３Ｂに
図４及び図５に示す継手２０が接続される。孔２Ａ，２
Ｂの奥に細管貫通孔４が形成され、この細管貫通孔４に
よって孔２Ａと２Ｂの間が連通される。細管貫通孔４に
細管５を貫通させる。細管５は例えば外径が０．８mm
φ，内径０．５mmφのステンレス製のパイプを用いるこ
とができる。細管貫通孔４は細管５の外径よりわずかに
大きい程度の内径を有して形成され、シール材６Ａ，６
Ｂによって細管５の外周と細管貫通孔４の内壁との間を
シールする。シール材６Ａ，６Ｂはオーリングを用いる
ことができ、このオーリングをリング状のネジによって
形成されたシール抑え７Ａ，７Ｂで細管貫通孔４の内壁
面に抑え付け、細管５の外周と細管貫通孔４の内壁との
間をシールする。
【００２３】細管貫通孔４にはこの細管貫通孔４と直交
する方向に形成したネジ孔８が連通される。ネジ孔８に
はネジ９が螺入されネジ９を締め付けることによって細
管５を押しつぶすことができる。なお、この例ではネジ
９の先端に、ネジ９とは別に作られたコマ９Ａを連結
し、コマ９Ａを介してネジ９の締付力を細管５に与える
構造としている。このようにコマ９Ａを介挿することに
よって細管５にネジ９の捩り力を直接与えることがな
く、細管５をネジ切ってしまう事故を防止するようにし
ている。
する方向に形成したネジ孔８が連通される。ネジ孔８に
はネジ９が螺入されネジ９を締め付けることによって細
管５を押しつぶすことができる。なお、この例ではネジ
９の先端に、ネジ９とは別に作られたコマ９Ａを連結
し、コマ９Ａを介してネジ９の締付力を細管５に与える
構造としている。このようにコマ９Ａを介挿することに
よって細管５にネジ９の捩り力を直接与えることがな
く、細管５をネジ切ってしまう事故を防止するようにし
ている。
【００２４】図６は微少リーク弁の洩れ量を校正するた
めの測定器を示す。この測定器は基台４０の上面に透明
な外筒４１が植設され、この外筒４１の軸芯に同様に透
明な内筒４２が植設される。内筒４２の上端は蓋４３で
密封され、下端側は外筒４１と内筒４２は互いに連通さ
れている。内筒４２には微少リーク弁から延長された細
管５が上向きに挿入される。外筒４１及び内筒４２には
Ｆで示す位置まで液体が封入される。
めの測定器を示す。この測定器は基台４０の上面に透明
な外筒４１が植設され、この外筒４１の軸芯に同様に透
明な内筒４２が植設される。内筒４２の上端は蓋４３で
密封され、下端側は外筒４１と内筒４２は互いに連通さ
れている。内筒４２には微少リーク弁から延長された細
管５が上向きに挿入される。外筒４１及び内筒４２には
Ｆで示す位置まで液体が封入される。
【００２５】微少リーク弁を通じて内筒４２に空気を送
り込むことにより、内筒４２内の液面はＦで示す位置か
ら漸次降下する。内筒４２内の容積に対応した目盛りを
外筒４１に付しておくことにより内筒４２に溜まる空気
の量を計測することができ、内筒４２の内径を適当に選
ぶことによって１分間０．１ｃｃ〜１ｃｃのような微少
な空気の量を計測することができる。
り込むことにより、内筒４２内の液面はＦで示す位置か
ら漸次降下する。内筒４２内の容積に対応した目盛りを
外筒４１に付しておくことにより内筒４２に溜まる空気
の量を計測することができ、内筒４２の内径を適当に選
ぶことによって１分間０．１ｃｃ〜１ｃｃのような微少
な空気の量を計測することができる。
【００２６】上述したように、この微少リーク弁によれ
ば絞りとなるべき部分を細管５を押しつぶして形成した
から、微少な断面積を安定に維持することができ、従っ
て微少な洩れ量を正確に設定することができる。また細
管５を押しつぶした状態でネジ９の締め付けを緩めるこ
とによって細管５は元の状態に戻る。よって細管５の断
面積を任意に設定することができ、リーク量を自由に設
定することができる。また図６に示した校正器を利用す
ることによって微少リークを正確に設定することができ
る。
ば絞りとなるべき部分を細管５を押しつぶして形成した
から、微少な断面積を安定に維持することができ、従っ
て微少な洩れ量を正確に設定することができる。また細
管５を押しつぶした状態でネジ９の締め付けを緩めるこ
とによって細管５は元の状態に戻る。よって細管５の断
面積を任意に設定することができ、リーク量を自由に設
定することができる。また図６に示した校正器を利用す
ることによって微少リークを正確に設定することができ
る。
【００２７】説明は再び図１に戻る。被検査容器１６側
の等価内容積を求めるには次のように動作する。被検査
容器１６として洩れのない容器を選んで接続する。３方
電磁弁１３と第１制御弁１４と第２制御弁１５を開き、
被検査容器１６と基準タンク１７に空圧源１１が発生す
る空気圧を与える。所定の時間（１〜２秒程度）経過し
た時点で第１制御弁１４及び第２制御弁１５を閉じ空圧
源１１を被検査容器１６及び基準タンク１７から切離
す。
の等価内容積を求めるには次のように動作する。被検査
容器１６として洩れのない容器を選んで接続する。３方
電磁弁１３と第１制御弁１４と第２制御弁１５を開き、
被検査容器１６と基準タンク１７に空圧源１１が発生す
る空気圧を与える。所定の時間（１〜２秒程度）経過し
た時点で第１制御弁１４及び第２制御弁１５を閉じ空圧
源１１を被検査容器１６及び基準タンク１７から切離
す。
【００２８】この状態で被検査容器１６及び基準タンク
１７内の圧力を安定化させる（１〜２秒程度）。空気が
安定化したと予想されるタイミングで差圧検出器１８か
ら出力される検出電圧を増幅器１９の入力側で強制的に
ゼロリセットし、このゼロリセットのタイミングで２方
電磁３８を開き、微少リーク弁３７に空気圧を与え、予
め校正した量のリーク量ΔＱ 0 (ｃｃ／分）で被検査側の
空気をリークさせる（負圧の場合は外気から被検査容器
１６に空気が侵入する）。
１７内の圧力を安定化させる（１〜２秒程度）。空気が
安定化したと予想されるタイミングで差圧検出器１８か
ら出力される検出電圧を増幅器１９の入力側で強制的に
ゼロリセットし、このゼロリセットのタイミングで２方
電磁３８を開き、微少リーク弁３７に空気圧を与え、予
め校正した量のリーク量ΔＱ 0 (ｃｃ／分）で被検査側の
空気をリークさせる（負圧の場合は外気から被検査容器
１６に空気が侵入する）。
【００２９】リークの開始から所定の時間（Ｔ3 秒）経
過した時点で差圧値ΔＰ 1 を演算処理装置２５に取込
む。時間Ｔ3 を規定することによってリーク開始からＴ
3 秒間に微少リーク弁３７を通じてリークした空気の量
ΔＱ 1 （ｃｃ）をΔＱ 1 ＝ΔＱ 0 ・Ｔ 3 ／６０（ｃｃ／
分）から求める。よって時間Ｔ3 （秒）が経過した時点
で差圧ΔＰを読込むことによって（３）式の演算を行な
うことができる。（３）式の演算によって被検査容器１
６の等価内容積ＶE を求めることができる。
過した時点で差圧値ΔＰ 1 を演算処理装置２５に取込
む。時間Ｔ3 を規定することによってリーク開始からＴ
3 秒間に微少リーク弁３７を通じてリークした空気の量
ΔＱ 1 （ｃｃ）をΔＱ 1 ＝ΔＱ 0 ・Ｔ 3 ／６０（ｃｃ／
分）から求める。よって時間Ｔ3 （秒）が経過した時点
で差圧ΔＰを読込むことによって（３）式の演算を行な
うことができる。（３）式の演算によって被検査容器１
６の等価内容積ＶE を求めることができる。
【００３０】被検査容器１６の等価内容積ＶE が求まる
ことにより、検査モードに切換えることができる。尚各
種の大きさの被検査容器１６の等価内容積ＶE を予め求
めておき、各等価内容積ＶE を演算処理装置２５に記憶
させておくことにより、爾後校正を行なうことなく直接
検査モードに入ることができる。
ことにより、検査モードに切換えることができる。尚各
種の大きさの被検査容器１６の等価内容積ＶE を予め求
めておき、各等価内容積ＶE を演算処理装置２５に記憶
させておくことにより、爾後校正を行なうことなく直接
検査モードに入ることができる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
被検査容器１６の等価内容積を求め、この等価内容積を
基に被検査容器１６の洩れ量を直読表示する洩れ検査装
置において、校正に用いる容積変化付加器を微少リーク
弁３７に代えたから、微少リーク弁を通じてリークさせ
る空気の量を時間の長短によって自由に設定することが
できる。
被検査容器１６の等価内容積を求め、この等価内容積を
基に被検査容器１６の洩れ量を直読表示する洩れ検査装
置において、校正に用いる容積変化付加器を微少リーク
弁３７に代えたから、微少リーク弁を通じてリークさせ
る空気の量を時間の長短によって自由に設定することが
できる。
【００３２】従って被検査容器１６の容積が大きい場合
は時間Ｔ3 を長く採ればよい。また被検査容器１６の容
積が小さい場合は時間Ｔ3 を短かく採ればよい。この結
果被検査容器１６の容積の大小に関係なく共通の微少リ
ーク弁３７を使って被検査容器１６の等価内容積ＶE を
求める校正を行なうことができる利点が得られる。また
微少リーク弁３７を設けたから、検査モードにおいて微
少リーク弁３７を使って校正を行なうことができる。つ
まり演算処理装置２５で（２）式を用いて算出した洩れ
量ΔＱ（ｃｃ／分）と微少リーク弁３７に設定したリー
ク量ΔＱ 0 （ｃｃ／分）とを比較することにより測定系
の感度の校正とチェックを行なうことができる。
は時間Ｔ3 を長く採ればよい。また被検査容器１６の容
積が小さい場合は時間Ｔ3 を短かく採ればよい。この結
果被検査容器１６の容積の大小に関係なく共通の微少リ
ーク弁３７を使って被検査容器１６の等価内容積ＶE を
求める校正を行なうことができる利点が得られる。また
微少リーク弁３７を設けたから、検査モードにおいて微
少リーク弁３７を使って校正を行なうことができる。つ
まり演算処理装置２５で（２）式を用いて算出した洩れ
量ΔＱ（ｃｃ／分）と微少リーク弁３７に設定したリー
ク量ΔＱ 0 （ｃｃ／分）とを比較することにより測定系
の感度の校正とチェックを行なうことができる。
【図１】この発明の一実施例を示すブロック図。
【図２】この発明に用いる微少リーク弁の構造を説明す
るための断面図。
るための断面図。
【図３】図２に示した微少リーク弁の正面図。
【図４】図２に示した微少リーク弁に用いる継手の構造
を説明するための断面図。
を説明するための断面図。
【図５】図４の正面図。
【図６】図２に示した微少リーク弁を校正する場合に用
いる校正器の構造を説明するための断面図。
いる校正器の構造を説明するための断面図。
【図７】従来の技術を説明するためのブロック図。
１１ 空圧源 １２ 減圧弁 １３ ３方電磁弁 １４ 第１制御弁 １５ 第２制御弁 １６ 被検査容器 １７ 基準タンク １８ 差圧検出器 １９ 増幅器 ２５ 演算処理装置 ３７ 微少リーク弁３８ 制御弁
Claims (1)
- 【請求項１】 正圧又は負圧の空気圧を発生する空圧源
と、この空圧源から与えられる空気圧を第１制御弁を通
じて与えられ終端部に洩れのない被検査容器が接続され
た測定側配管と、上記空圧源から与えられる空気圧を第
２制御弁を通じて与えられ、終端部に基準容器が接続さ
れた基準側配管と、これら基準側配管と測定配管との間
の圧力差を測定する差圧検出器とを具備して成る洩れ検
査装置において、上記被検査容器の洩れ量を算出するた
めの定数として用いる等価内容積ＶE を求める洩れ検査
装置の校正方法であって、 測定側配管に常時閉に制御されている制御弁を通じて微
少リーク弁を接続し、 上記測定側配管及び上記基準側配管に同一空気圧を与
え、 その後、上記制御弁を開に制御して上記微少リーク弁を
通じて単位時間当り既知の量ΔＱ 0 (ｃｃ／分）の空気を
洩らし、 上記測定側配管と上記基準側配管の間に差圧を発生さ
せ、 一定時間Ｔ3 （秒）で発生する差圧値ΔＰ 1 と、上記微
少リーク弁を通じて洩れる空気の量ΔＱ 1 (ｃｃ) とによ
って上記測定側配管の等価内容積ＶE ＝１．０３（ΔＱ
1 ／ΔＰ 1 ）を校正値として求める洩れ検査装置の校正
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138702A JP2700962B2 (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 洩れ検査装置の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138702A JP2700962B2 (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 洩れ検査装置の校正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04364436A JPH04364436A (ja) | 1992-12-16 |
| JP2700962B2 true JP2700962B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=15228132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3138702A Expired - Lifetime JP2700962B2 (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 洩れ検査装置の校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2700962B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200098961A (ko) * | 2019-02-13 | 2020-08-21 | 오경근 | 누설 측정기용 누설 검지기 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5702992B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2015-04-15 | 株式会社フクダ | リーク量標準器 |
| CN111174980B (zh) * | 2020-01-12 | 2024-09-13 | 北京化工大学 | 一种微小泄漏量测量装置及方法 |
| CN115127750B (zh) * | 2022-06-24 | 2024-05-10 | 北京海德利森科技有限公司 | 一种氢气微小泄漏检测方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4811252A (en) * | 1986-04-04 | 1989-03-07 | Kabushiki Kaisha Kosumo Keiki | Leakage test equipment |
| JPH01276036A (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-06 | Hitachi Metals Ltd | 洩れ検査機の評価方法 |
-
1991
- 1991-06-11 JP JP3138702A patent/JP2700962B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200098961A (ko) * | 2019-02-13 | 2020-08-21 | 오경근 | 누설 측정기용 누설 검지기 |
| KR102230127B1 (ko) * | 2019-02-13 | 2021-03-18 | 오경근 | 누설 측정기용 누설 검지기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04364436A (ja) | 1992-12-16 |
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