JP4087773B2 - 洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置 - Google Patents

洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置 Download PDF

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Description

この発明は各種の容器、エンジンのシリンダブロック、ガス器具などの洩れがあってはならない機器の洩れの有無を検査する洩れ検査装置に関し、特に短時間に洩れの有無を正確に判定することができる洩れ検査装置の校正方法及び装置を提案しようとするものである。
洩れ検査装置は被検査体に加圧した空気を封入し、その空気圧の変化を測定して洩れの有無を検査している。然し乍ら、空気は被検査体の温度、或は被検査体に接触する治具或は被検査体を取り巻く外気などの温度の影響を受け、洩れが無いのに洩れのあるような圧力変動(これをドリフトと称している)を来し、洩れの有無の判定を難しいものとしている。
図4に従来から用いられている差圧検出型の洩れ検査装置の概略の構成を示す。この形式の洩れ検査装置は、例えばコンプレッサのような空圧源10と、この空圧源10から供給される圧搾空気圧を調整する調圧弁11と、調圧弁11で調整された空気圧の圧力値を測定して表示する圧力計12と、3方電磁弁13と、電磁弁14A、14Bと、被検査体17の開口部分を塞いで被検査体17に圧搾空気圧を印加するシール治具16と、基準タンク18と、被検査体17と基準タンク18との間の差圧を測定する差圧検出器15と、シール治具16と被検査体17との間の温度差又は外気温度と被検査体17との間の温度差を測定する温度センサ16A,17Aと、差圧検出器15の出力信号を増幅する可変利得増幅器19と、この可変利得増幅器19の出力信号を受けて洩れの有無を判定する判定手段20と、判定手段20の判定結果を表示する表示器21とによって構成される。
非検査モードでは3方電磁弁13がA−B間が導過した状態で電磁弁14Aと14Bが閉じた状態に維持され、その状態で調圧弁11により空圧源10からの空気圧が調整されて圧力計12に所望のテスト圧が表示される。
検査モードでは電磁弁14A、14Bが開の状態に制御され、電磁弁14Aと、14Bを通じて被検査体17と基準タンク18に圧搾空気が印加される。この圧搾空気の印加状態を図5に示すように加圧期間T1と称している。
加圧期間T1が経過(T1=数秒)すると電磁弁14A、14Bが閉じられ、一定期間の安定期間が設けられる。この安定期間を一般に平衡期間T2と称している。平衡期間T2の期間に差圧検出器15が判定値NGを越える大きな差圧検出信号ΔDS(図5参照)を出力した場合は、判定手段20はそのときシール治具16に接続されている被検査体17は大きな洩れがあると判定し、表示器21にその判定結果を表示し、検査を終了する。
平衡期間T2の期間内で差圧検出値が判定値NGを越えなかった場合は「大きな洩れが無い」と判定され、差圧検出器15の検出信号は強制的にゼロリセットされる。ゼロリセット後、可変利得増幅器19の利得は高い利得に切替えられ、測定期間T3に入る。
測定期間T3で差圧検出器15の検出信号が判定値NGを越えなかった場合は「微少な洩れ無し」と判定される。もし測定期間T3の期間内に差圧検出信号が判定値NGを越えると、この場合は「微少な洩れが有る」と判定する。
測定期間T3が終了すると3方電磁弁13はB−C間が導通状態に制御され、また電磁弁14A、14Bが開の状態に制御されて被検査体17及び基準タンク18内の圧縮空気を大気に排気し、初期状態に戻される。
ところで、この種の差圧検出型の洩れ検査装置では被検査体17の温度変化、周囲温度の変化等の外乱要因により洩れが無いのに差圧検出信号を発生する現象が見られる。この現象を一般にドリフトと称している。ドリフトの発生により「洩れが無いのに洩れ有り」と判定したり、「洩れが有るのに洩れ無し」と判定する不都合が生じる。
この不都合を解消するためにドリフト補正が施される。図6乃至図8を用いて従来のドリフト補正の方法を説明する。図6に示す曲線P1は差圧検出器15が出力する差圧検出信号を示す。この差圧検出信号には曲線P2とP3に示すドリフト量と洩れ量とを含んでいる。
洩れによって発生する差圧は平衡期間T2の開始時点からある一定の増加率で上昇する直線で表わされる。これに対し、ドリフト量は検査期間T3の開始直後は指数関数的に上昇するが、ある時点を越えると増加率は一定となり、終局的には飽和し、一定値を維持する。
従って、このドリフトが一定値に収束した状態で真の洩れ量を測定することができる。つまり、検査期間T3を終了する時点で差圧値D1を測定しておき、その時点から更に差圧測定状態を維持し、所定の時間、例えば数10秒間程度経過した時点で差圧値D2を測定し、その測定時点から検査期間T3と同じ時間T3(数秒程度)を経過後に再び差圧値D3を測定する。この測定によりD3−D2は洩れによる圧力変化値である。よってD3−D2の減算結果が判定値NGより大きいか小さいかによって洩れの有無を判定すればドリフトに影響されずに正しい判定を下すことができる。
然し乍ら、この検査方法を採った場合には検査時間が数10秒ずつ必要であることから、実際の検査に利用することはできない。このため、一般にはΔD3=D3−D2を演算し、この洩れ量ΔD3を第1測定値D1から減算すると残りはドリフト値となる。つまり、ドリフト値Dは、
D=D1−ΔD3 ……… (1)
で求められる。このドリフト値Dを記憶しておくことにより次回以後の検査では第1測定結果D1からドリフト値Dを除去すれば短時間にドリフト値を除去した洩れ量を算出することができ、正しい判定を行うことができる。尚、差圧値D2とD3を測定し、ドリフト値Dを求める作業を一般にマスタリングと称している。
特開平9-257631号公報
上記した(1)式で得られたドリフト値Dを第1測定値D1から除去すれば正しいドリフト補正を施すことができると説明したが、現実には被検査体17は常温とは限らないため、不都合が発生することがある。以下にその理由を説明する。図7は(1)式で求めたドリフト量Dを第1測定値D1から除去すれば正しくドリフト補正を行うことができる状況を示す。つまり、図7に示す横軸は環境温度として測定するシール治具16と被検査体17との間の温度差、縦軸は差圧値を示す。X1は第1測定値D1の温度差−差圧変化特性、X2は第2測定値D2の温度差−差圧変化特性を示す。尚、X1とX2を測定する際には洩れのない被検査体を用いる。洩れのない被検査体を用いることにより温度差−差圧変化特性X2は原点を通る曲線を得ることができる。
図7に示すように、シール治具16と被検査体17との間の温度差がゼロ(外乱要因が無い状態)を中心に温度差を或る範囲に限ればX1とX2はほぼ直線と見なすことができる。更に、X1とX2がほぼ平行している場合にはどの温度差において検査を行っても、その検査の測定値X1からドリフト量Dを差し引くことによりX2に対応した値を求めることができ、正しいドリフト補正を施すことができる。
これに対し、図8に示すように断熱変化によるドリフトの温度特性のために第1測定値D1の温度差−差圧変化特性X1と第2測定値D2の温度差−差圧変化特性X2の傾斜が異なっている場合には、各温度差毎にドリフト補正量がDA,DB,DCのように異なる値をとるため、ドリフト補正量を求めた温度差以外の温度差では正しいドリフト補正を施すことができない不都合が生じる。
すなわち、温度値変化に対する圧力値の変化の比率(傾斜)はどの時期でも同じで、X1とX2はほぼ平行と考えることができるのであるが、断熱圧縮により被検査体及び周囲が指数関数的に増加している時点と、増加率が一定となった時点では、それぞれ温度値変化に対する圧力値の変化の比率(傾斜)が異なってしまう。
このような場合、被検査体とシール治具又は外気温度の温度差毎にドリフト補正値を予め求めて記憶しておくことも考えられるが、その作業は膨大であり実現は困難である。特に、被検査体の品種毎にその作業を行わなくてはならないため、更にその実現は困難である。
この発明の目的は図8に示したように、第1測定値D1と第2測定値D2の温度差−差圧変化特性X1とX2の傾斜が異なる場合でも、ドリフト補正値を求めた温度差以外の温度差でも正しくX1の特性曲線を修正することができ修正されたドリフト特性曲線から正しい、洩れ量を求めることができる洩れ検査装置の校正方法及びこの校正方法を用いて動作する洩れ検査装置を提供しようとするものである。
この発明の請求項1では、被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に発生する差圧値に応じて被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置において、
第1校正モードで洩れのない被検査体を用いて加圧・平衡期間を経て所定の第1測定期間における差圧変化値と、この第1測定期間終了時点から或る時間経過した第2測定期間の差圧変化値を環境温度と被検査体の温度の差毎に測定して第1温度差−差圧変化特性X1及び第2温度差−差圧変化特性X2として記憶し、第2校正モードではこの第2校正モード実行時点の環境温度と被検査体の温度の差ΔT1及びΔT2における第1温度差−差圧変化特性及び第2温度差−差圧変化特性の傾斜値a1とa2を求めると共に洩れ成分b2と初期断熱変化成分に洩れ成分b2を含む成分b1を発生する被検査体と基準タンクに加圧・平衡期間を経て第1測定期間と第2測定期間を与えて、第1測定期間の差圧変化値A1と第2測定期間の差圧変化値A2を測定し、これら差圧変化値A1とA2
1=a1・ΔT1+b1
2=a2・ΔT2+b2
と規定し、これらの式から温度差が零の場合のドリフト値b1とb2を、
1=A1−a1ΔT1
2=A2−a2ΔT2
で求め、これらの演算値から温度差が零におけるドリフト補正値D1
1=b1−b2=(A1−a1ΔT1)−(A2−a2ΔT2
で求め、このドリフト補正値D1により第1校正モードで求めた第1温度差−差圧変化特性を修正し、検査モードでは修正された第1温度差−差圧変化特性を用いて検査時のドリフト補正を施す、洩れ検査装置の校正方法を提案する。
この発明の請求項2では、請求項1記載の洩れ検査装置の校正方法において、第2校正モードを複数回実行し、複数のドリフト補正量D1を算出し、この複数のドリフト補正量の平均値を求め、この平均値を真のドリフト補正量として記憶することを特徴とする洩れ検査装置の校正方法を提案する。
この発明の請求項3では、請求項1記載の洩れ検査装置の校正方法において、予め充分長い周期で第1測定期間の差圧変化値LA1と第2測定期間の差圧変化値LA2を複数回測定し、各差圧変化値LA1とLA2のそれぞれの平均値AVLA1及びAVLA2を求めると共に、短い周期で第1測定期間の差圧変化値ShA1と第2測定期間の差圧変化値ShA2を複数回測定し、各差圧変化値ShA1とShA2のそれぞれの平均値AVShA1、AVShA2を求め、長い周期で測定した差圧変化値の平均値AVLA1とAVLA2及び短い周期で測定した差圧変化値の平均値AVShA1とAVShA2の各誤差ε1とε2をε1=AVLA1−AVShA1及びε2=AVLA2−AVShA2により求め、これらの誤差値ε1とε2を用いて以後に短い周期で測定される差圧変化値ShA1とShA2を補正して実質的に長い周期で測定した測定値LA1とLA2を求める洩れ検査装置の校正方法を提案する。
この発明の請求項4では、被検査体と基準タンクに空気圧を印加する加圧期間及び加圧期間の終了時点から安定期間、測定期間へと切替る検査モード用シーケンス制御手段と、安定期間及び測定期間に被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値を測定する差圧検出器と、被検査体と基準タンクに空気圧を印加する加圧期間及び加圧期間の終了時点から、安定期間、測定期間へと切替え、測定期間終了及び測定期間の終了時点から所定の時間が経過する時点まで、被検査体と基準タンクの空気圧の密封状態を維持する制御を実行するマスタリング用シーケンス制御手段と、このマスタリング用シーケンス制御手段が起動されている状態で、被検査体の温度と環境温度の差毎に差圧変化を測定して温度差−差圧変化特性を取得し、記憶する温度差−差圧変化特性取得・記憶手段と、温度差−差圧変化特性取得・記憶手段に記憶した第1温度差−差圧変化特性X1と第2温度差−差圧変化特性X2の傾きa1,a2を算出する傾き算出手段と、この傾き算出手段が算出した傾きa1,a2と第1温度差−差圧変化特性X1と第2温度差−差圧変化特性の温度差零における仮想切片b1,b2を算出する仮想切片算出手段と、傾き算出手段が算出した傾きa1,a2と、仮想切片b1、b2とから、温度差零におけるドリフト補正量D1
1=b1−b2=(A1−a1ΔT1)(A2−a2ΔT2
により求めるドリフト補正量算出手段と、によって構成した洩れ検査装置を提案する。
この発明によれば、予め温度差−差圧変化特性X1とX2を実測して記憶しておくことにより、爾後はシール治具16又は外気温度と被検査体17との間の温度差を零の状態に設定しなくても、これら温度差−差圧変化特性X1とX2及び或る温度差における測定値A1とA2を実測すれば温度差零の状態のドリフト補正量D1を求めることができる。このドリフト補正量を用いて温度差−差圧変化特性X1をX1′に修正し、この修正した温度差−差圧変化特性X1′を用いてドリフト補正すれば正しいドリフト補正を施すことができる。
また、この発明によれば短い時間間隔で第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を測定しても被検査体17内の内壁の温度変動による影響を加味した誤差値ε1とε2で第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を充分長い周期で測定した第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2に補正することができる。これにより短時間に正しいドリフト値D1を算出することができ、洩れ検査の効率を向上することができる。
この発明によるドリフト補正方法は、第1校正モードで予め第1測定値D1の温度差−差圧変化特性X1と第2測定値D2の温度差−差圧変化特性X2を求めて記憶して用意し、これらの温度差−差圧変化特性X1とX2から第2校正モードでは検査しようとする温度差で得られた測定値から標準状態(外乱要因が無い、例えば温度差が零の状態)におけるドリフト補正量を決定する。この第2校正モードを複数回実行して複数のドリフト補正量を求めて平均することにより温度差零におけるドリフト補正量のバラツキによる影響を小さくした真値に近いドリフト補正量を得ることができ、この真値に近いドリフト補正量を用いて温度差−差圧変化特性X1を修正する。
通常の検査モードでは測定によって得られる第1測定値を修正した温度差−差圧変化特性値X1を用いて検査毎に測定した温度差に従って修正した温度差−差圧変化特性X1から修正されたドリフト補正量を読み取り、このドリフト補正量を測定値から減ずることにより真の洩れ量を求める。
図1を用いて、この発明による校正方法を説明する。この発明による校正方法には、第1校正モードと第2校正モードとがある。図1に示すグラフの横軸は図3に示す温度センサ16Aと17Aで測定したシール治具16と被検査体17との間の温度差、縦軸は差圧値を示す。曲線X1は第1測定値D1の温度差−差圧変化特性、X2は第2測定値D2の温度差−差圧変化特性を示す。ここでは、温度差零をグラフの原点として示す。この温度差−差圧変化特性X1とX2は被検査体17の品種毎に測定する。測定後、X1とX2の傾きa1とa2を求める。
次に、第2校正モードの手順を説明する。
ステップ1:温度差−差圧変化特性X1における温度差による傾きを或る関数f(ΔT)であるが温度差が小さいときは直線とみなされるので傾きa1は一定とする。
ステップ2:温度差−差圧変化特性X2においても同様に傾きa2を一定とする。
ステップ3:加圧・平衡・測定期間を経て第1測定値A1(図2参照)を測定する。第1測定値A1が図1に示す曲線X1″上に存在する測定値と仮定し、その曲線X1″の仮想切片をb1とする。このときの温度差はΔT1であった。
1=a1ΔT1+b1 ……… (2)
1成分の中には断熱変化成分と洩れ成分b2が含まれている。
ステップ4:第2測定値A2を求める。第2測定値A2が図1に示す曲線X2″上に存在する測定値と仮定し、その曲線X2″の仮想切片をb2とする。このときの温度差はΔT2であった。
2=a2ΔT2+b2 ……… (3)
成分b2は洩れと見なされる差圧値、a2は温度差に依存する傾きである。
ステップ5:温度差零の原点の値、つまり曲線X1″とX2″の仮想切片b1とb2の値を算出する。
第1測定値A1の原点b1
1=A1−a1ΔT1 ……… (4)
同様に、第2測定値A2の原点b2
2=A2−a2ΔT2 ……… (5)
ステップ6:原点におけるドリフト量はb1−b2であるから、原点におけるドリフト補正量D1
1=b1−b2=(A1−a1ΔT1)−(A2−a2ΔT2)………(6)
で求められる。
ステップ1〜6を複数回繰り返し、複数のドリフト補正量D1を算出してその平均を求めることにより、信頼性の高いドリフト補正量D1を得ることができる。
検査モードでは、図1に示した温度差−差圧変化特性X1の原点における切片をドリフト補正量D1で修正し、修正された温度差−差圧変化特性X1´を用いて検査毎に測定した温度差に対応するドリフト補正量を読み出して検査を行えばよい。
図3にこの発明の洩れ検査装置の実施例を示す。図3に示す洩れ検査装置の構成において、特に判定手段20の内部構造について詳細に説明する。
判定手段20は一般にコンピュータで構成される。コンピュータはよく知られているように、CPUと呼ばれている中央演算処理装置1と、この中央演算処理装置1を起動させるためのプログラム等を記憶したROM2と、この発明による洩れ検査用プログラムを格納し、このプログラムを中央演算処理装置1で実行させるRAM3と、入力ポート4及び出力ポート5等により構成される。
入力ポート4には可変利得増幅器19から差圧検出器15で検出した差圧信号が入力される。正確には可変利得増幅器19の出力側にA/D変換器(特に図示していない)が設けられ、差圧検出信号をデジタル信号に変換して入力ポート4に入力する。入力ポート4に入力された差圧検出信号は中央演算処理装置1に読み込まれてRAM3のデータ格納部3Aに格納される。
RAM3に格納されている洩れ検査用プログラムは検査用シーケンス制御手段3Bを構成するプログラム、マスタリング用シーケンス制御手段3Cを構成するプログラム、温度差−差圧変化特性取得・記憶手段3Dを構成するプログラム、傾き算出手段3Eを構成するプログラム、仮想切片算出手段3Fを構成するプログラム、ドリフト補正量算出手段3Gを構成するプログラムである。
検査用シーケンス制御手段3Bは被検査体17が交換される毎に、3方電磁弁13と電磁弁14A、14Bを開閉制御し、加圧・平衡・測定期間を生成し、図2に示す第1測定値A1を得るまでの動作を繰返す制御を実行し、被検査体17の洩れの有無を判定する。
マスタリング用シーケンス制御手段3Cは3方電磁弁13と電磁弁14A、14Bを開閉制御し、加圧・平衡・測定期間を生成し、図2に示す第1測定値A1と第2測定値A2を得るまでの動作を繰返す制御を実行し、第1校正モードでは温度差−差圧変化特性X1とX2を測定する場合に起動される。また、第2校正モードでは上述したステップ3で説明したA1とA2を測定する場合に起動される。
温度差−差圧変化特性取得・記憶手段3Dは上記したマスタリング用シーケンス制御手段3Cと共に起動され、シール治具16又は外気温度と被検査体17との温度差を異ならせながら図2に示した第1測定値A1と第2測定値A2を測定し、図1に示した温度差−差圧変化特性X1及びX2となるデータ列を取得し、これを記憶する。
傾き算出手段3Eは温度差−差圧変化特性取得・記憶手段3Dが記憶した温度差−差圧変化特性X1、X2を利用して上記した第2校正モードのステップ3で説明した傾きa1とa2を求める。
仮想切片算出手段3Fは上記した(4)式及び(5)式を用いて仮想切片b1とb2を算出する。
ドリフト補正量算出手段3Gは仮想切片検出手段3Fが算出した仮想切片b1とb2を(6)式に代入し、ドリフト補正量D1を求める。
ドリフト補正量D1が算出されることにより、温度差−差圧変化特性X1をドリフト補正量D1に従って平行移動させ、各温度差毎に修正された温度差−差圧変化特性X1´(図2参照)を得る。
検査モードではこの修正された温度差−差圧変化特性X1´を用いて、各温度差におけるドリフト補正を行うことにより正しいドリフト補正を施すことができる。
この発明では更に、図2に示した第1差圧変化値A1と第2差圧変化値A2を得るための時間を短縮する方法を提案する。つまり、毎日洩れ検査を行っている現場では始業時に洩れ検査装置を起動させ、検査を開始する場合に、第1差圧値A1と第2差圧変化値A2を測定し、その差圧変化値を利用して当日に最適なドリフト補正量D1を求める校正作業を行うことになる。
この校正作業は図2に示すように、第2差圧変化値A2を測定するまでの時間が長いため、第1差圧変化値A1と第2差圧変化値A2を複数測定するとかなりの時間を費やすことになる。更に、第1差圧変化値A1と第2差圧変化値A2を測定する毎に、被検査体17に圧縮空気を印加し、測定終了時に排気するから、被検査体17の内壁の温度が排気毎に変化する。この温度変化の影響を除くには次の測定までに時間をとらなければならないため、第1差圧変化値A1と第2差圧変化値A2を正確に求めるためには複数回測定しなければならないため、更に長い時間が必要となる。
この発明ではこの校正作業を短時間に済ませることができる校正方法をも提案することである。
この発明では予め時間を掛けて(繰り返しの周期を充分長く採る)第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2を各温度差毎に複数回求め、複数回測定した第1差圧変化値LA1及び第2差圧変化値LA2の平均値AVLA1とAVLA2を求め記録する。これと共に短い繰り返し周期で第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を複数回求め、各差圧変化値ShA1及びShA2の平均値AVShA1とAVShA2とを求め、その差ε1とε2を誤差値として求める。
ε1=AVLA1−AVShA1
ε2=AVLA2−AVShA2
これらの誤差値ε1とε2を予め求め記憶しておく、この誤差値ε1とε2は短い時間間隔で測定した場合の被検査体17内の内壁の温度変化による影響を受けた測定値ShA1、ShA2と、充分時間を掛けて測定した第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2の誤差である。この誤差値ε1とε2を予め記憶しておくことにより、以後短い時間間隔で第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を測定し、これらの第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を誤差値ε1とε2で補正すれば充分時間を掛けて測定した第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2を求めることができる。特に短い周期で第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を複数回測定し、各測定値ShA1とShA2を誤差値ε1とε2で補正し、その補正した第1差圧変化値と第2差圧変化値のそれぞれの平均を求めることにより信頼性の高い差圧変化値LA1とLA2を求めることができる。
従って、洩れ検査の始業時に短い時間間隔で第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2を複数回求め、この複数の第1差圧変化値ShA1と第2差圧変化値ShA2をそれぞれ誤差値ε1とε2で補正し、実質的に長い時間間隔で測定した第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2を求め、各差圧変化値LA1とLA2の平均値を求めることにより信頼性の高い第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2を求めることができる。更に、この信頼性の高い第1差圧変化値LA1と第2差圧変化値LA2を用いてドリフト補正量D1を求めることにより信頼性の高いドリフト補正量D1を求めることができる。よって短時間に信頼性の高いドリフト補正量D1を得ることができ、洩れ検査を効率よく実施できる利点が得られる。
この発明による洩れ検査装置の校正方法及び洩れ検査装置は、例えば自動車等のエンジンブロックの洩れ検査に利用することができる。特にエンジンブロックは蓄熱容量が大きいため、温度ドリフトが大きい。この発明によれば温度ドリフトの影響を除去することができ、短時間に多量の検査を実行することができる。
この発明による洩れ検査装置の校正方法を説明するためのグラフ。 この発明による洩れ検査装置の校正方法により正しいドリフト補正量を得るための過程を説明するためのグラフ。 この発明による洩れ検査装置の一実施例を説明するためのブロック図。 従来の洩れ検査装置を説明するためのブロック図。 図4に示した洩れ検査装置の動作を説明するためのタイミングチャート。 洩れ検査装置で発生するドリフト現象と、ドリフト補正量と、洩れの差圧発生関係を説明するためのタイミングチャート。 従来の一般的なドリフト補正方法を説明するためのグラフ。 この発明で解決しようとする課題を説明するためのグラフ。
符号の説明
1 第1測定期間の差圧変化値 14A 電磁弁
2 第2測定期間の差圧変化値 14B 電磁弁
X1 第1温度差−差圧変化特性 15 差圧検出器
X2 第2温度差−差圧変化特性 16 シール治具
1,a2 傾き 17 被検査体
10 空圧源 16A,17A 温度センサ
11 調圧弁 18 基準タンク
12 圧力計 19 可変利得増幅器
13 3方電磁弁 21 表示器
3A データ格納部 3B 検査用シーケンス制御手段
3C マスタリング用シーケンス制御手段
3D 温度差−差圧変化特性取得・記憶手段
3E 傾き算出手段 3F 仮想切片算出手段
3G ドリフト補正量算出手段

Claims (4)

  1. 被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に発生する差圧値に応じて被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置において、
    第1校正モードで洩れのない被検査体を用いて加圧・平衡期間を経て所定の第1測定期間における差圧変化値と、この第1測定期間終了時点から或る時間経過した第2測定期間の差圧変化値を環境温度と被検査体の温度の差毎に測定して第1温度差−差圧変化特性及び第2温度差−差圧変化特性として記憶し、
    第2校正モードではこの第2校正モード実行時点の環境温度と被検査体の温度の差ΔT1及びΔT2における上記第1温度差−差圧変化特性及び第2温度差−差圧変化特性の傾斜値a1とa2を求めると共に洩れ成分b2と初期断熱変化成分に洩れ成分b2を含む成分b1を発生する被検査体と基準タンクに加圧・平衡期間を経て第1測定期間と第2測定期間を与えて、第1測定期間の差圧変化値A1と第2測定期間の差圧変化値A2を測定し、これら差圧変化値A1とA2
    1=a1・ΔT1+b1
    2=a2・ΔT2+b2
    と規定し、これらの式から上記温度差が零の場合のドリフト値b1とb2を、
    1=A1−a1ΔT1
    2=A2−a2ΔT2
    で求め、これらの演算値から上記温度差が零におけるドリフト補正値D1
    1=b1−b2=(A1−a1ΔT1)−(A2−a2ΔT2
    で求め、このドリフト補正値D1により上記第1校正モードで求めた第1温度差−差圧変化特性を修正し、
    検査モードでは上記修正された第1温度差−差圧変化特性を用いて検査時のドリフト補正を施す、
    ことを特徴とする洩れ検査装置の校正方法。
  2. 請求項1記載の洩れ検査装置の校正方法において、上記第2校正モードを複数回実行し、複数のドリフト補正量D1を算出し、この複数のドリフト補正量の平均値を求め、この平均値を真の温度差零におけるドリフト補正量として記憶することを特徴とする洩れ検査装置の校正方法。
  3. 請求項1記載の洩れ検査装置の校正方法において、予め充分長い周期で第1測定期間の差圧変化値LA1と第2測定期間の差圧変化値LA2を複数回測定し、各差圧変化値LA1とLA2のそれぞれの平均値AVLA1及びAVLA2を求めると共に、短い周期で第1測定期間の差圧変化値ShA1と第2測定期間の差圧変化値ShA2を複数回測定し、各差圧変化値ShA1とShA2のそれぞれの平均値AVShA1、AVShA2を求め、長い周期で測定した差圧変化値の平均値AVLA1とAVLA2及び短い周期で測定した差圧変化値の平均値AVShA1とAVShA2の各誤差ε1とε2をε1=AVLA1−AVShA1及びε2=AVLA2−AVShA2により求め、これらの誤差値ε1とε2を用いて以後に短い周期で測定される差圧変化値ShA1とShA2を補正して実質的に長い周期で測定した測定値LA1とLA2を求めることを特徴とする洩れ検査装置の校正方法。
  4. A.被検査体と基準タンクに空気圧を印加する加圧期間及び加圧期間の終了時点から安定期間、測定期間へと切替る検査モード用シーケンス制御手段と、
    B.上記安定期間及び測定期間に上記被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値を測定する差圧検出器と、
    C.被検査体と基準タンクに空気圧を印加する加圧期間及び加圧期間の終了時点から、安定期間、測定期間へと切替え、測定期間終了及び測定期間の終了時点から所定の時間が経過する時点まで、上記被検査体と基準タンクの空気圧の密封状態を維持する制御を実行するマスタリング用シーケンス制御手段と、
    D.このマスタリング用シーケンス制御手段が起動されている状態で、上記被検査体の温度と環境温度の差毎に差圧変化を測定して温度差−差圧変化特性を取得し、記憶する温度差−差圧変化特性取得・記憶手段と、
    E.上記温度差−差圧変化特性取得・記憶手段に記憶した第1温度差−差圧変化特性X1と第2温度差−差圧変化特性X2の傾きa1、a2を算出する傾き算出手段と、
    F.この傾き算出手段が算出した傾きa1、a2と第1温度差−差圧変化特性X1と第2温度差−差圧変化特性X2の上記温度差零における仮想切片b1、b2を算出する仮想切片算出手段と、
    G.上記傾き算出手段が算出した傾きa1、a2と、上記仮想切片b1、b2とから、温度差零におけるドリフト補正量D1
    1=b1−b2=(A1−a1ΔT1)(A2−a2ΔT2
    により求めるドリフト補正量算出手段と、
    によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
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