JPH11304632A - 洩れ検査用ドリフト補正値算出装置及びこれを用いた洩れ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 取扱いが容易で検査の信頼性が高い洩れ検査
装置を提供する。 【解決手段】 被検査体と基準タンクに空気圧を与え、
両者間に圧力差が発生するか否かにより被検査体に洩れ
が有るか否かを判定する洩れ検査装置において、校正時
に被検査体と環境温度ごとに被検査体と基準タンクとの
間に発生する圧力差をドリフト特性としてドリフト特性
記憶手段に記憶すると共に、ドリフト検出手段により洩
れの成分等を含まない純度の高いドリフト値を検出し、
このドリフト値とドリフト特性記憶手段に記憶したドリ
フト特性との偏差を求め、その偏差をドリフト特性記憶
手段から読み出されるドリフト特性に加え、ドリフト特
性の位置を平行移動させて利用することによりドリフト
補正の精度を高めた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は各種の容器等の洩
れの有無を検査する洩れ検査装置に用いるドリフト補正
値算出装置と、この算出装置によって算出したドリフト
補正値を利用して動作する洩れ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より使用状態で洩れの存在がないこ
とが必要な製品もしくは部品を、その生産工程ライン中
において順次検査し、その検査データを設定基準値と比
較して製品もしくは部品の良否を判定している。図７は
この種の洩れ検査装置の一般的な構成を示すブロック図
で、空圧源１１の出力側に接続された流管１０は調圧弁
１２及び３方電磁弁１４を介して３方電磁弁１４の出口
側で分岐される分岐路１５Ａ，１５Ｂにそれぞれ接続さ
れている。調圧弁１２の出口側と３方電磁弁１４の入口
側の間には検査圧を設定する圧力計１３が接続されてい
る。

【０００３】分岐路１５Ａは電磁弁１６を介して導管１
８の一端に接続され、この導管１８の他端部には洩れが
検査される被検査体２０が接続可能な接続治具２４が設
けられる。この接続治具２４により被検査体２０が順次
接続されて洩れ検査が可能な構成となっている。一方、
分岐路１５Ｂは電磁弁１７を介して導管１９の一端に接
続され、この導管１９の他端部には基準タンク２１が接
続されている。電磁弁１６及び１７の出口側において導
管１８及び１９がそれぞれ延長して取り出され、それぞ
れの端部間に差圧検出器２２が取付けられている。

【０００４】差圧検出器２２の出力信号は増幅器３１を
介して比較器３２に与えられ、比較器３２において基準
値設定器３３の出力基準値と比較可能な構成とされる。
被検査体２０を導管１８の端部に取付け、導管１９には
洩れのない基準タンク２１を取り付けて３方電磁弁１４
のａ−ｂ間を閉状態とし、調圧弁１２を開いて圧力計１
３によって空圧源１１から所定の空気圧が得られるよう
に調整する。電磁弁１６及び１７を開状態とし、３方電
磁弁１４のａ−ｂ間を開状態にして設定された一定の空
気圧を分岐路１５Ａ，１５Ｂ，導管１８，１９を通じて
それぞれ被検査体２０及び基準タンク２１に供給する。

【０００５】一定時間が経過して被検査体２０及び基準
タンク２１内の圧力が安定した後に、電磁弁１６及び１
７を閉状態にする。更に所定の安定時間後に差圧検出器
２２に接続された自動零補正式増幅器３１の出力信号の
読み取りが行われる。被検査体２０の気密が完全で洩れ
が存在しない状態では、増幅器３１からの出力信号は一
定検出時間後において理想的には零となる。被検査体２
０に洩れが存在すると、その内部の圧力が正圧の場合は
漸次減少し、負圧の場合は漸次増加する出力信号が得ら
れ、一定検出時間内の出力信号は負または正の洩れ量に
ほゞ比例した値となる。

【０００６】基準値設定器３３から与えられる基準差圧
値と増幅器３１の出力値が比較器３２で比較され、出力
信号が基準差圧値を越えたか否かにより、良品もしくは
不良品を示す良否判定出力３５が得られる。この一般的
な洩れ検査装置においては基準タンク２１を被検査体２
０と全く同一状態で洩れのないものを使用しても、主に
被検査体２０と基準タンク２１との温度差によって影響
を受ける。被検査体２０と基準タンク２１の形状が異な
れば気体を加圧したとき断熱変化による気体温度の上昇
が被検査体２０と基準タンク２１の温度に等しくなって
いく過程での気体温度差が発生し、出力信号が理想的に
零の状態にならない。即ち、被検査体２０に全く洩れが
なくても、一定検出時間中の出力信号は理想的な零状態
とならず、正または負の相当な洩れ量に匹敵する差圧値
を示すのが通常である。この洩れ量に匹敵する差圧値を
一般にドリフト量と称している。

【０００７】この様子を図８を用いて説明する。図８に
示す曲線Ａはドリフト量、曲線Ｂは洩れ量、曲線Ｃはド
リフト量に洩れ量を加えた実質的に差圧検出器２２によ
って検出される差圧値を示す。図８から解るように、曲
線Ｃで示す差圧値は大部分がドリフト量であり、洩れ量
に相当する差圧値はわずかである。この差圧値（曲線
Ｃ）から洩れ量だけを取り出す方法として、ドリフトに
よって発生する差圧値は時間が経過するとその増加率は
ほゞ０に近づく、これに対して洩れ量によって発生する
差圧値は時間が経過してもいつまでも一定の増加率で上
昇する現象を呈する。

【０００８】この点に着目して図７に示す構成の洩れ検
査装置では、自動零補正式増幅器３１の出力を或る時間
（ドリフト量の増加が０に近づいた時点以後のタイミン
グ）ＴＩＭ−１で強制的にゼロにリセットし、ゼロリセ
ット後に利得を高めて差圧検出器２２の検出信号を増幅
させ、出力信号ＳＤ（曲線Ｄ）を得るようにし、この出
力信号ＳＤを比較器３２に供給し、一定時間後に発生す
る出力信号ＳＤを比較器３２で基準値と比較し、一定時
間が経過した時点で出力信号ＳＤが基準値を越えていれ
ば不良と判定している。

【０００９】この検査方法によれば、ドリフト量の増加
率が０に近づくのを待って検査を開始するから、１個の
被検査体に要する検査時間が長くなる欠点がある。この
ため、差圧が発生し始めた初期の時点でドリフト量を除
去し、洩れ量に相当する差圧値だけを取り出すことがで
きると検査時間を短縮できる利点が得られる。しかしな
がら、ドリフト量によって発生する差圧値（曲線Ａ）は
温度、特に被検査体２０の温度等によって大きく変動す
るから一概にドリフト量だけを除去することは難しい。

【００１０】この欠点を解消するために、例えば特公平
１−５７７２８号公報に見られるように被検査体２０と
基準となる環境温度として、例えば基準タンク２１との
間の温度差を測定し、各温度差ごとに発生する差圧値を
メモリに記憶させ、図９に示す温度差ΔＴ℃−差圧値Δ
Ｐのドリフト特性曲線Ａを求め、検査時は被検査体２０
と基準タンク２１との間の温度差に応じて、各温度差ご
とにメモリに記憶したドリフト特性曲線Ａからドリフト
値を読み出し、この読み出したドリフト値を測定した差
圧値から差し引くことにより、測定した差圧値からドリ
フト量を除去し、差圧の発生開始の初期の段階でドリフ
ト量を除去し、検査を短時間に済ませることができる洩
れ検査装置を提案した。

【００１１】図１０に先に提案した洩れ検査装置の概略
の構成を示す。この先に提案した洩れ検査装置では、被
検査体２０と基準タンク２１の温度を測定する温度セン
サ４０Ａ，４０Ｂを設け、これら各温度センサ４０Ａと
４０Ｂで測定した被検査体２０と基準タンク２１の温度
を差動増幅器４１で差を求め、その温度差をＡＤ変換器
４２でＡＤ変換してマイクロコンピュータによって構成
した制御器４３に入力する。

【００１２】これと共に、そのとき差圧検出器２２から
出力されている差圧値を必要に応じて増幅器３６で増幅
し、その増幅器出力をＡＤ変換器３７でＡＤ変換し、そ
のＡＤ変換した差圧値を制御器４３に入力する。ドリフ
ト特性曲線Ａ（図９参照）を取り込む際には、被検査体
２０として良品を用いて模擬的に試験を実行する。制御
器４３にはメモリ４４が接続され、このメモリ４４に各
温度差ごとに差圧値を記憶させる。つまり、メモリ４４
には複数の記憶領域Ａ〜Ｎが設けられる。各記憶領域Ａ
〜Ｎにそれぞれ温度差を割り当てる。温度差が０℃であ
れば記憶領域Ａにそのとき差圧検出器２２が測定した差
圧値を書き込む。温度差が１℃の場合は記憶領域Ｂに、
温度差が２℃の場合は記憶領域Ｃに書き込む。このよう
に各温度差ごとに記憶領域を割り当てる。

【００１３】各記憶領域Ａ〜Ｎには、例えば２０〜３０
程度のアドレスを用意し、同一温度差で発生した差圧値
（ドリフトと等価）を記憶できるように構成し、読み出
し時にはこれら複数のアドレスに記憶した差圧値の平均
を平均値算出手段４６で求めその平均値をドリフト補正
値として減算器３８に与える。メモリ４４に用意した温
度差の全ての領域に差圧値を短時間に取り込むことはむ
ずかしい。このため、現実には温度差が異なる２点の差
圧値を取り込んだ場合に、この２点の差圧値から直線近
似して全ての温度差に対応する差圧値を演算して求め、
その演算により求めた差圧値を各温度差に対応して記憶
領域に記憶させ、この記憶したデータ列をドリフト特性
曲線Ａとして利用することも考えられている。

【００１４】実際の検査に当たっては、被検査体２０と
基準タンク２１の温度差に対応してメモリ４４から差圧
値を読み出し、その差圧値を減算器３８で測定値から引
き算し、その残差分を良否判定手段３２に入力し、この
良否判定手段３２において基準値設定器３３から与えら
れる基準値と比較し、残差値が基準値より小さければ
良、大きければ不良と判定し、その判定結果を表示器３
９に表示させる。

【００１５】検査中に良否判定手段３２で良と判定した
場合には、良否判定手段３２から制御器４３に制御信号
が出され、そのとき差圧検出器２２で測定した差圧値
を、そのとき測定した温度差に対応した記憶領域に書き
込むことを繰り返す。この動作により同一温度差で良品
であるにも係わらず、徐々に差圧値がドリフトした場合
でも、その変化がメモリ４４に記憶されるから、ドリフ
ト分を減算器３８で除去し、ドリフトによって差圧値が
変動して良品であるにも係わらず、不良品と判定してし
まう事故を防止することができる。

【００１６】このように、先に提案した洩れ検査装置に
よれば検査中でも良品と判定した場合には、そのとき測
定した差圧値をメモリ４４に書込み、検査装置に学習さ
せて周囲温度の変化等に対応してドリフト特性曲線Ａを
ドリフト特性曲線ＢまたはＣ（図９参照）に移動させ、
常に最適なドリフト補正値が得られるように考慮したも
のである。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】先に提案した洩れ検査
装置では、検査中も良品と判定するごとに、そのとき測
定した差圧値を、そのとき測定した温度差に対応したメ
モリの記憶領域に記憶させている。しかしながら、良品
と判定された被検査体２０でも、例えばわずかな洩れが
あった場合には、その洩れに相当する差圧を含んだデー
タがドリフト特性曲線ＡまたはＢ，またはＣを決めるデ
ータとしてメモリに記憶されることになるから、メモリ
に蓄積されるドリフト特性曲線ＡまたはＢ，またはＣを
決定する差圧値には温度差ΔＴ℃の変化に追従しない他
の要素（例えば洩れ量）をパラメータとする変化成分が
混入することになり、正確なドリフト補正を行っている
とは言えない状況となる。

【００１８】このため、従来は検査開始ごとに良品と判
定されている被検査体を用意し、この被検査体を用いて
模擬的に検査を実行し、この模擬検査時に得られる温度
差ΔＴ℃と差圧値ΔＰを測定し、この測定値をメモリに
記憶させて正しいドリフト特性曲線ＡまたはＢ，または
Ｃを記憶させ、データが一通り得られた段階で検査を開
始させ、検査中はメモリへのデータ書替えを禁止し、メ
モリに記憶しているドリフト特性曲線に温度差の変化を
パラメータとする差圧変化成分以外の成分が混入するこ
とを阻止する状態で実用している。

【００１９】従って、従来のドリフト補正方法では固定
されたドリフト特性曲線を利用しているに過ぎないか
ら、周囲温度の変化等に応動してドリフト特性曲線が図
９に示した曲線ＡからＢに、またはＡからＣに変化し、
正しいドリフト補正を実行しようとする目的が達せられ
ない状況にある。この発明の目的は、ドリフト特性曲線
をメモリに記憶させ、このメモリに記憶したドリフト特
性曲線を利用して測定される。差圧値に含まれるドリフ
ト成分を除去し、洩れの有無を判定する型式の洩れ検査
装置において、被検査体に洩れがあっても、洩れとドリ
フトとを区別し、ドリフト変動だけを検出し、ドリフト
変動に従ってドリフト特性曲線の位置を平行移動させ、
常に正しいドリフト補正値を発生させることができるド
リフト補正値算出装置を設け、このドリフト補正値算出
装置を用いた洩れ検査装置を提供しようとするものであ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この発明では、マスタリ
ングと呼ばれる技術を利用してドリフトを洩れと区別し
て測定し、測定したドリフト値を利用してドリフト特性
曲線の位置を修正し、常に正しいドリフト補正を実現す
ることができるドリフト補正値算出装置と、このドリフ
ト補正値算出装置を用いた洩れ検査装置を提案するもの
である。

【００２１】この発明によれば、良品を使ってドリフト
特性曲線をメモリに取り込む動作を一度だけ実行すれ
ば、爾後は被検査体の形状、内容積等が変更されない限
りマスタリング動作だけを実行すればマスタリング動作
によりその時点における正しいドリフト量を求めること
ができる。この結果、正しいドリフト量を用いてメモリ
に記憶したドリフト特性曲線の位置を修正すればドリフ
ト特性曲線から温度差に対応した正しいドリフト補正値
を算出することができる。

【００２２】従って、この発明によるドリフト補正値算
出装置によればどのような環境下にあっても正しいドリ
フト補正値を得ることができるから、このドリフト補正
値算出装置を用いた洩れ検査装置によれば常に正しい洩
れ検査を実行することができる利点が得られる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１にこの発明による洩れ検査装
置の概略の構成を示す。図７及び図１０と対応する部分
には同一符号を付して示す。この発明ではドリフト補正
値算出装置１００を設け、このドリフト補正値算出装置
１００において、常に正しいドリフト補正値を算出し、
この算出したドリフト補正値を差圧検出器２２で測定し
た差圧値から減算器３８で減算し、その減算結果を比較
器３２で基準値と比較し、良否を判定する構成としたも
のである。

【００２４】ドリフト補正値算出装置１００は大きく分
けてドリフト検出手段１１０と、ドリフト特性記憶手段
１２０と、偏差算出手段１３０と、ドリフト補正手段１
４０とによって構成することができる。ドリフト検出手
段１１０は洩れ検査装置を校正する場合に起動され、後
述するマスタリング動作を実行してその時点におけるド
リフト値を洩れ等他の要素を含むことなく検出する。

【００２５】ドリフト特性記憶手段１２０は図１０で説
明したメモリ４４と同じ構成を有し、被検査体２０と環
境温度（この例では接続治具２４の温度を環境温度とし
た場合を示す）との差に従って差圧値ΔＰを記憶する。
ここでは説明を簡素にするためにドリフト特性記憶手段
１２０に各温度差ごとに良否を検査した場合に発生する
差圧値が既に記憶されているものとして説明する。図３
にドリフト特性記憶手段１２０に記憶したドリフト特性
の一例を示す。図３に示すドリフト特性Ａは洩れ検査装
置を出荷する際にドリフト特性記憶手段１２０に記憶さ
せ、実用中は被検査体２０の形状、内容積等が変更され
ない限り書替えを行う必要はない。従って、このドリフ
ト特性記憶手段１２０は例えば読出専用メモリによって
構成することができる。複数種の被検査体を検査する利
用者にあっては、各品種の被検査体ごとに、ドリフト特
性を予め測定し、その測定結果をメモリに用意すればよ
い。

【００２６】次に洩れ検査装置の校正動作について説明
する。校正モードではドリフト検出手段１１０が起動さ
れ、被検査体２０と接続治具２４の温度差を測定し、そ
の温度差におけるドリフト値を求める。このドリフト値
を求める方法については後で説明するが、温度差ΔＴ℃
が例えばΔＴ℃＝０℃であり、更にそのとき測定された
ドリフト値が図３に示すように、ΔＰ₀₂であったとする
と、ドリフト特性記憶手段１２０に記憶しているドリフ
ト特性は図３に示す曲線Ａであるから、温度差ΔＴ℃＝
０℃に記憶している差圧値ΔＰ₀₁を読み出し、この差圧
値ΔＰ₀₁と測定されたドリフト値ΔＰ₀₂との偏差を偏差
算出手段１３０で求める。偏差はΔＰ₀₂−ΔＰ₀₁＝−Δ
Ｐ₁ となる。

【００２７】偏差算出手段１３０が偏差ΔＰ₁ を算出す
ると、その偏差ΔＰ₁ をドリフト補正手段１４０に渡
し、この偏差ΔＰ₁ をドリフト特性記憶手段１２０から
読み出されるドリフト特性に加算してドリフト補正を施
す。従って、この場合には図３に示すドリフト補正値は
曲線Ａ′に従ってドリフト補正が施されることになる。
ドリフト測定値がΔＰ₀₁より小さい図３に示すΔＰ₀₃で
あった場合には、偏差はΔＰ₀₃−ΔＰ₀₁＝ΔＰ₂ とな
る。この場合にはドリフト補正手段１４０で偏差−ΔＰ
₂ を加算すれば、結果的にドリフト特性曲線Ａから偏差
ΔＰ₂ だけ減算された曲線Ａ″が得られ、この曲線Ａ″
に従ってドリフト補正が施されることになる。

【００２８】偏差ΔＰ₁ または−ΔＰ₂ が算出された時
点で校正が終了し、爾後はドリフト特性記憶手段１２０
から読み出すドリフト特性の値に偏差ΔＰ₁ または−Δ
Ｐ₂を加算してドリフト補正を施せばよい。ドリフト補
正が施されたドリフト補正値はドリフト補正値記憶器２
００に記憶される。このドリフト補正値記憶器２００に
格納したドリフト補正値は被検査体２０と接続治具２４
との温度差ΔＴ℃が変化し、ドリフト特性記憶手段１２
０から読み出される差圧値が変化するごとに新しいドリ
フト補正値に書き替えられる。

【００２９】以上により、この発明の概略の構成及び動
作について理解されよう。以下ではドリフト検出手段１
１０の構成及び動作について図２を用いて詳細に説明す
る。ドリフト補正値算出装置１００はパーソナルコンピ
ュータ或いはマイクロコンピュータ等によって構成する
ことができる。コンピュータシステムは既に良く知られ
ているように、中央演算処理装置１０１と、読出専用メ
モリ１０２と、書替え可能なメモリ１０３と、入力ポー
ト１０４，出力ポート１０５等によって構成される。

【００３０】この実施例では、ドリフト特性記憶手段１
２０を読出専用メモリ１０２に格納した場合を示す。ま
たドリフト検出手段１１０と、偏差算出手段１３０，ド
リフト補正手段１４０は書替え可能なメモリ１０３に格
納したプログラムによって構成した場合を示す。ドリフ
ト検出手段１１０はマスタリング制御手段１１１と、第
１メモリ１１２と、収束判定手段１１３と、第２メモリ
１１４と、演算手段１１５とによって構成される。先
ず、マスタリング制御手段１１１について説明する。

【００３１】マスタリング動作を実行するには図１に示
すように被検査体２０と、基準タンク２１との間を自由
に導通させることができる平衡手段４７を必要とする。
この平衡手段４７は導管１８と１９の間に導管４７Ｂを
差し渡すと共に、この導管４７Ｂの中間に電磁弁４７Ａ
を介挿して構成することができ、電磁弁４７Ａを開の状
態に制御することにより、被検査体２０と基準タンク２
１との間に発生している差圧を平衡させる動作を実行す
る。温度センサ４０Ａと４０Ｂは、例えば熱電対のよう
な温度センサを用いることができる。温度センサ４０Ａ
は被検査体２０の装着位置近傍に設けられ、被検査体２
０を接続治具２４に装着すると必然的に被検査体２０が
温度センサ４０Ａに接触し、被検査体２０の温度Ｔ１を
測定する。温度センサ４０Ｂは接続治具２４に直接取り
付けられ、接続治具２４の温度Ｔ２を測定する。これら
温度センサ４０Ａ，４０Ｂの検出信号は差動増幅器４１
とＡＤ変換器４２を通じてドリフト補正値算出装置１０
０に取り込まれ、ドリフト値の算出及びドリフト特性の
読み出しに利用される。

【００３２】ここで、ドリフト補正値算出装置１００に
ついて詳細に説明する。ドリフト補正値算出装置１００
において、ドリフト値Ｄ１を求める場合は被検査体２０
の温度Ｔ１と環境温度Ｔ２を測定し、この測定温度を初
期温度差として記憶する。この状態でマスタリング制御
手段１１１を起動させて図４に示すマスタリング動作を
実行する。

【００３３】マスタリング動作とは、被検査体２０と基
準タンク２１に加圧気体を印加し、加圧気体の供給路を
遮断すると共に、加圧気体の供給路を遮断した後、一定
時間経過後に発生する初回の差圧検出値Ｄａを測定し、
その初回の差圧測定値Ｄａを第１メモリ１１２に記憶さ
せる。差圧検出値Ｄａを測定した後に平衡手段４７を動
作させて被検査体２０と基準タンク２１の間の圧力を平
衡させる動作を実行させる。

【００３４】差圧の発生と平衡を繰り返すうちに被検査
体２０と接続治具２４との間の温度差がＴ１＝Ｔ２＝０
℃に近づくため、差圧の発生値は図４に示すように徐々
に小さくなり、被検査体２０に洩れが全く無い場合は差
圧値は最終的に０に収束するが、洩れが有る場合は一定
値Ｄｂに収束する。収束判定手段１１３は複数回にわた
って差圧検出器２２が一定値Ｄｂを測定したことを検出
し、差圧値が一定値に収束したと判定し、この一定値Ｄ
ｂを第２メモリ１１４に記憶させる。

【００３５】このようにマスタリング動作によって最終
的に得られる差圧値Ｄｂは現在接続している被検査体２
０の洩れ量に相当し、この洩れ量Ｄｂを最初に測定した
差圧値Ｄａから演算手段１１５において減算することに
より、その環境下におけるドリフト値Ｄ１＝Ｄａ−Ｄｂ
を求めることができる。このドリフト値Ｄ１は洩れ量Ｄ
ｂを含まない純粋なドリフト量を示す。このドリフト値
Ｄ１を偏差算出手段１３０に与え、偏差算出手段１３０
においてドリフト特性記憶手段１２０から読み出したド
リフト特性曲線上の初期温度差における差圧値との偏差
を求める。この例では初期温度差が０℃の差圧値ΔＰ₀₁
（図３参照）との偏差ΔＰ₁ または−ΔＰ₂ （図３）を
求める。

【００３６】偏差算出手段１３０において偏差を求め
る。この偏差をドリフト補正手段１４０に与え、このド
リフト補正手段１４０でドリフト特性記憶手段１２０か
ら読み出される各温度差毎の差圧値に偏差を加えてドリ
フト補正値とし、このドリフト補正値をドリフト補正値
記憶器２００に記憶させ校正が終了する。検査モードで
は被検査体２０が交換される毎に、被検査体２０の温度
と環境温度とを温度センサ４０Ａと４０Ｂで測定し、そ
の温度差によりドリフト特性記憶手段１２０からドリフ
ト特性値を毎回読み出し、ドリフト補正手段１４０にお
いてこのドリフト特性値に偏差算出手段が算出した偏差
を加え、この加算動作によってドリフト特性曲線を平行
移動させてドリフト値を求め、このドリフト値を検査中
に発生した差圧値から減算器３６で減算してドリフト成
分を除去し、その残差を比較器３２で基準値と比較して
良否を判定する。

【００３７】従って、一度校正モードを実行すると、そ
の環境下における最適なドリフト値Ｄ１が求められ、そ
のドリフト値Ｄ１とドリフト特性曲線の偏差を求め、そ
の偏差をドリフト特性曲線に加算して平行移動させて使
用するから、ドリフト補正値は常に正しいドリフト値に
維持され、また検査開始の起動も簡単に行うことができ
る。

【００３８】図５はこの発明の変形実施例を示す。この
図５に示す例では被検査体２０の温度と環境温度との差
を測定する温度差測定手段として差圧検出器２２を代用
する実施例を示す。つまり、電磁弁１６、１７が開の状
態において３方電磁弁１４のｂ−ｃ間を導通させ、被検
査体２０と基準タンク２０と２１に大気圧を与える。大
気圧を与えた状態のまま電磁弁１６、１７を閉じ、被検
査体２０と基準タンク２１との間に発生する圧力差を差
圧検出器２２で測定する。差圧検出器２２で検出した差
圧値は被検査体２０と環境温度の差に対応する。

【００３９】つまり、被検査体２０の温度と環境温度と
の差が大きければ圧力差が大きく発生する。このとき被
検査体２０と基準タンク２１内の圧力は大気圧であるか
ら、被検査体２０に洩れが有ってもその洩れの影響を受
ける率は小さい。従ってこの状態で発生する差圧値は温
度差に対するドリフト値と見ることができる。このドリ
フト値の検出方法に関しては本出願人により「特公昭５
３−２５２６号公報」で示すように既に提案されてい
る。

【００４０】被検査体２０に各種の温度を与え環境温度
との間に温度差を発生させ、各温度毎に発生する差圧値
を測定することにより図６に示す差圧値対ドリフト値と
するドリフト特性曲線Ａを得ることができる。このドリ
フト特性曲線Ａを予め測定し、ドリフト特性記憶手段１
２０に記憶させ、検査モードにおいてこのドリフト特性
を被検査体２０が交換される毎に数秒間づつ大気圧を密
封して差圧の発生を検出し、その発生した差圧値により
ドリフト特性記憶手段１２０からドリフト特性値を読み
出し、そのドリフト特性値にドリフト補正手段１４０に
おいて偏差算出手段１３０で算出した偏差を加えてドリ
フト補正すれば、図１の実施例と同様のドリフト補正を
行うことができる。

【００４１】この図５に示した実施例によれば温度セン
サを必要とせず、差圧検出器２２で温度測定差手段を代
用することができる。この結果構成部品の数を少なくで
きることから、故障の少ない洩れ検査装置を提供するこ
とができる利点が得られる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
ドリフト検出手段１１０とドリフト特性記憶手段１２０
とを組み合わせることにより取扱いが容易で、しかも検
査の信頼性が高い洩れ検査装置を提供できる。従って、
その効果は実用に供して頗る大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の概要を説明するためのブロック図。

【図２】この発明の要部の構成を説明するためのブロッ
ク図。

【図３】この発明の要部の動作を説明するためのグラ
フ。

【図４】図３と同様のグラフ。

【図５】この発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図。

【図６】図５の動作を説明するためのグラフ。

【図７】従来の技術を説明するためのブロック図。

【図８】図５の動作を説明するためのグラフ。

【図９】図５の動作を説明するためのグラフ。

【図１０】従来の技術の他の例を説明するためのブロッ
ク図。

【符号の説明】

１１ 空圧源 １２ 調圧弁 １３ 圧力計 １４ ３方電磁弁 １５Ａ，１５Ｂ 分岐器 １６，１７ 電磁弁 １８，１９ 導管 ２０ 被検査体 ２１ 基準タンク ２２ 差圧検出器 ２４ 接続治具 ３２ 比較器 １００ ドリフト補正値算出装置 １１０ ドリフト検出手段 １２０ ドリフト特性記憶手段 １３０ 偏差算出手段 １４０ ドリフト補正手段 ２００ ドリフト補正値記憶器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ａ．被検査体と基準タンクに加圧気体を
   印加し、印加完了時点で加圧気体の供給路を遮断し、上
   記印加完了時点から一定時間が経過した時点で上記被検
   査体と基準タンクとの間の差圧値を差圧検出器によって
   測定し、その差圧値からドリフト補正値を除去し、その
   残差値が所定値以上か以下かによって上記被検査体に洩
   れが有るか否かを判定する洩れ検査装置において、 Ｂ．上記被検査体の温度と環境温度との差を測定する温
   度差測定手段と、 Ｃ．この温度差測定手段によって測定した温度差ごとに
   測定した差圧値をドリフト特性として記憶したドリフト
   特性記憶手段と、 Ｄ．上記被検査体と基準タンクとの間を導通状態と非導
   通状態に制御する平衡手段と、 Ｅ．上記温度差測定手段により上記被検査体の温度と環
   境温度との初期温度差を測定すると共に、 上記被検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、加圧気
   体の印加後に加圧気体の供給路を遮断し、この遮断状態
   において一定時間が経過するごとに上記差圧検出器で被
   検査体と基準タンク間に発生する差圧値を測定すると共
   に、この差圧値の測定が終了するごとに一定時間ずつ上
   記平衡手段を動作させて、上記被検査体と基準タンク間
   の圧力差を平衡させる動作を繰り返し、平衡動作を実行
   するごとに発生する差圧値が一定値に収束したことを検
   出して、その収束した差圧値を初回に発生した差圧値か
   ら減算し、その減算結果をドリフト値として検出するド
   リフト検出手段と、 Ｆ．このドリフト検出手段が検出したドリフト値と、上
   記ドリフト特性記憶手段に記憶したドリフト特性曲線上
   の上記初期温度差におけるドリフト値との偏差を算出す
   る偏差算出手段と、 Ｇ．この偏差算出手段が算出した偏差を上記ドリフト特
   性記憶手段から読み出されるドリフト特性値に加算し、
   各温度差ごとにドリフト補正値を算出するドリフト補正
   手段と、 によって構成したことを特徴とする洩れ検査用ドリフト
   補正値算出装置。
2. 【請求項２】 Ａ．被検査体と基準タンクに加圧気体を
   印加し、印加完了時点で加圧気体の供給路を遮断し、上
   記印加完了時点から一定時間が経過した時点で上記被検
   査体と基準タンクとの間の差圧値を差圧検出器によって
   測定し、その差圧値からドリフト補正値を除去し、その
   残差値が所定値以上か以下かによって上記被検査体に洩
   れが有るか否かを判定する洩れ検査装置において、 Ｂ．上記被検査体の温度と環境温度との差を測定する温
   度差測定手段と、 Ｃ．この温度差測定手段によって測定した温度差ごとに
   測定した差圧値をドリフト特性として記憶したドリフト
   特性記憶手段と、 Ｄ．上記ドリフト特性記憶手段から読み出されるドリフ
   ト特性値に請求項１記載の偏差算出手段が算出した偏差
   を加算し、各被検査体ごとにドリフト補正値を算出する
   ドリフト補正手段と、 Ｅ．検査工程において上記差圧検出器で測定した値か
   ら、上記ドリフト補正手段が算出したドリフト補正値を
   減算する減算器と、 を具備し、この減算器の減算出力が所定値以上か以下か
   によって上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する構
   成としたことを特徴とする洩れ検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の洩れ検査用ドリフト補正
   値算出装置又は請求項２記載の洩れ検査装置の何れかに
   おいて、上記温度差測定手段は被検査体の温度と環境温
   度との差を測定する一対の温度センサによって構成した
   ことを特徴とする洩れ検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の洩れ検査用ドリフト補正
   値算出装置又は請求項２記載の洩れ検査装置の何れかに
   おいて、上記温度差測定手段は被検査体と基準タンクに
   大気圧を与えた状態で両者を密封し、この密封状態で両
   者間に発生する発生差圧を温度差として測定する差圧検
   出器によって構成としたことを特徴とする洩れ検査装
   置。