CN101371122B - 泄漏检查装置的异常检查方法及泄漏检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种泄漏检查装置的异常检查方法及泄漏检查装置，其在校正过程中，将空气封入作为标准的第一被检查体内，分别计测且存储从空气密封结束时刻起经过规定时间的时刻的第一被检查体内的压力变化值B1、和从该经过时刻再经过相同时间的时刻的压力变化值B2。另外，在检查过程中，将空气封入泄漏检查对象即第二被检查体内，从空气的密封结束时刻起计测相当于压力变化值B1和B2的压力变化值B1′及B2′，根据这些计测值运算波形比K，该波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)。而且，利用波形比K的值判定泄漏检查装置的异常。

Description

泄漏检查装置的异常检查方法及泄漏检查装置
技术领域
本发明涉及检查泄漏检查装置的异常的方法及实施该方法的泄漏检查装置，该泄漏检查装置检查被检查体有无泄漏。
背景技术
一种泄漏检查装置正在实用化，该泄漏检查装置例如利用空气压力对气量计、或汽车的燃料箱、发动机的底壳等不许有泄漏的容器或机构零件等有无泄漏进行检查(例如，参照专利文献1)。一直以来使用的泄漏检查装置存在以下两种型式：一、同时对所述容器或机构零件等即被检查体的内部、和没有泄漏的基准箱的内部施加空气压力，根据两者的内部间是否产生压力差判定被检查体是否有泄漏(以下，将该型式称压差式泄漏检查装置)；二、只对被检查体的内部施加空气压力，根据该空气压力在规定的时间范围内是否产生变化判定被检查体是否有泄漏(以下，称为示压式泄漏检查装置)。
(现有的压差式泄漏检查装置)
图1是表示现有的压差式泄漏检查装置即泄漏检查装置100结构的图。
压差式泄漏检查装置100由空气压力装置200和判定装置300构成。
图1所示的空气压力装置200由以下构成：压缩机等空气压力源201，其对被检查体的内部进行加压；调压阀202，其调节由空气压力源201排出的空气量，且将空气压力源201由外部施加的空气压力调节到规定的空气压力；三通电磁阀203，其能够对将通过调压阀202调压后的空气压力施加到被检查体A、B侧及基准箱207侧的状态(口X-Y之间的导通状态)和将被检查体A、B侧及基准箱207侧的空气排放到大气的状态(口Y-Z之间的导通状态)进行切换；密封阀204A、204B，其用于在对被检查体A或B的内部及基准箱207的内部施加空气压力的状态下密封这些内部的空气；压差计205，其测定被检查体A或B的内部和基准箱207的内部的压差；切换阀206A、206B，其切换对被检查体A和被检查体B的哪一个施加空气压力，且在交换一方的被检查体时用于能够对另一方的被检查体进行检查；基准箱207；连接夹具208A、208B，其用于将空气压力供给管路与被检查体A及被检查体B连接。另外，所谓空气压力供给管路是指连接于空气压力源201的排出口、且用于向被检查体A、B或基准箱207供给空气的管路。如图1所示，在该空气压力供给管路的中途存在所述的调压阀202、三通电磁阀203、密封阀204A、204B、切换阀206A、206B。
判定装置300具备：放大压差计的输出信号的可变增益放大器301(可将增益切换成低增益状态和高增益状态)；AD变换器302；微机，其由输入口303、CPU(central processing unit)304、ROM(read-only meinory)305、可写入读出的内存即RAM(random access memory)306以及输出口307构成；显示泄漏判定结果的显示器等的泄漏判定显示器308。
在该例的ROM305中存储有用于使微机作为动作定时产生装置、控制信息生成装置、测定值存储装置及泄漏判定装置分别动作的动作定时产生程序、控制信息生成程序、测定值存储程序及泄漏判定程序。这些程序在微机起动时由ROM305读出，作为动作定时产生程序306A、控制信息生成程序306AB、测定值存储程序306B、泄漏判定程序306C存储在RAM306中。另外，图中将“程序”简称为“PG”。存储于RAM306的程序被CPU304读入，CPU304通过解读、执行这些程序，由此使作为所述的各装置发挥作用。
图2A～2E是用于说明泄漏检查装置100的大体动作的曲线。图2A是表示可变增益放大器301的输出值随时间变化的曲线。图2A中，纵轴表示可变增益放大器301的输出值，横轴表示时间。另外，图2B是表示加压期间T1时成为H(High)状态，除此之外时成为L(Low)状态的定时信号C1的曲线。图2C是表示稳定期间T2时成为H状态，除此之外时成为L状态的定时信号C2的曲线。图2D是表示检查期间T3时成为H状态，除此之外时成为L状态的定时信号C3的曲线。图2E是表示排气期间T4时成为H状态，除此之外时成为L状态的定时信号C4的曲线。图2B～2E中，纵轴表示各控制信号的电压，横轴表示时间。
空气压力装置200在转移到加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3、排气期间T4的四个期间，分别进行不同的动作。
在加压期间T1使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，而且分别使密封阀204A和204B导通。由此，对被检查体A或被检查体B的任一个的内部和基准箱207的内部施加由空气压力源201的动作产生的空气压力。
在稳定期间T2，关闭密封阀204A、204B。由此，在对被检查体A或被检查体B的任一个的内部和基准箱207的内部施加有空气压力的状态下，分别密封这些内部的空气。而且，将该状态保持一定时间，以使这些内部的空气稳定(除去空气压力的隔热变化的影响)。另外，在稳定期间T2可变增益放大器301切换成低增益的状态。如果在该状态下的可变增益放大器301的输出值VM(图2A)达不到设定值(NG)，则判定装置300判定被检查体A或被检查体B为“没有大的泄漏”。判定结果由泄漏判定显示器308显示。在稳定期间T2结束的时刻，可变增益放大器301的输出值复位为0，而且可变增益放大器301切换成高增益的状态，转移到接着的检查期间T3。
在检查期间T3，通过高增益状态的可变增益放大器301放大由压差计205输出来的压差值，根据由该可变增益放大器301输出来的放大值是否超过设定值(NG)判定有无泄漏。判定结果由判定显示器308显示。在稳定期间T2的期间，被检查体A或被检查体B的任一个的内部和基准箱207的内部的空气稳定。在检查期间T3，通过检验由高增益状态的可变增益放大器301放大后的压差值，也能够检测出很小的压差变化。
在排气期间T4，打开密封阀204A、204B，进一步三通电磁阀203的口Y-Z成为导通的状态。由此，封入被检查体A或被检查体B的任一个的内部和基准箱207的内部的空气由口Z排出到大气中，使这些内部的空气压力与大气压力相同。其后，检查结束。
对这些各期间的切换例如按着以下进行。首先，动作定时产生装置产生与现在期间相对应的定时信号C1、C2、C3、C4(图2B～2E)。控制信息生成装置生成控制信号，该控制信号用于使三通电磁阀203、密封阀204A、204B、可变增益放大器301执行动作定时产生装置产生的定时信号C1、C2、C3、C4所示的期间的动作。生成的控制信号由输出口307向三通电磁阀203、密封阀204A、204B、可变增益放大器301输出。三通电磁阀203、密封阀204A、204B、可变增益放大器301根据控制信号进行各期间的动作。
另外，在压差式泄漏检查装置100的基准箱207中使用空气的温度稳定性比被检查体A或B优良好的空气。当在被检查体的内部和基准箱207的内部施加测试压力TP时，即使供给的空气的温度为常温，被检查体和基准箱207的内部温度也上升(隔热特性)。该上升温度与测试压力TP和供给的空气温度有关。
在加压期间T1的结束时刻，被检查体的内压和基准箱207的内压相等，因此压差大致为零。但是，基准箱207的空气的温度稳定性比被检查体优良，因此关闭密封阀204A、204B后，基准箱207内的空气与被检查体内相比，空气温度稳定较快。其结果是，被检查体内的空气温度的变化表现为压差变化。如果被检查体和基准箱207没有泄漏，则该压差随着时间的经过而衰减，不久便成为一定的压差值。这是由于当关闭密封阀204A、204B时，即使被检查体等没有泄漏，被检查体和基准箱207也会产生压差的缘故。
(现有的示压式泄漏装置)
图3是表示现有的示压式泄漏检查装置即泄漏检查装置110结构的图。另外，有关图3中与图1共通的部分，使用了与图1相同的符号。
示压式泄漏检查装置即泄漏检查装置110由空气压力装置400和判定装置300构成。有关判定装置300，由于其与压差式的泄漏检查装置100相同，所以在此只对空气压力装置400的结构进行说明。
空气压力装置400由空气压力源201、调压阀202、三通电磁阀203、密封阀204、切换阀206A、206B、连接夹具208A、208B、测定被检查体A或被检查体B内部压力的压力计209构成。
图4A是表示由压力计209输出的压力测定值变化的样态的曲线图。图4A中，横轴表示压力计209的输出值。横轴表示时间。
泄漏检查装置110在加压期间T1对被检查体A或被检查体B的内部施加测试压TP。在加压期间T1的结束时刻关闭密封阀204。关闭密封阀204后，被检查体A或被检查体B内部的空气压力随隔热变化(因加压而温度上升后的被检查体内部的空气的热量缓缓从被检查体放出，该空气温度下降引起的该空气压力的变化)而开始缓缓下降。
图4B是表示判定装置300的可变增益放大器的输出波形的曲线。
可变增益放大器的输出值取偏压值即测试压力T和图4A所示的压力之差，为放大该差后的值。在稳定期间T2，该可变增益放大器也与压差式的泄漏检查装置100的情况相同，在低增益的状态下进行动作，在该可变增益放大器的输出值达到设定值(NG)的情况下，判定装置300做出判定为被检查体A或被检查体B为“有大的泄漏”。在稳定期间T2的期间达不到设定值NG的情况下，可变增益放大器的输出被复位，将该可变增益放大器切换到高增益的状态，转移到检查期间T3。
在检查期间T3，判定装置300的可变增益放大器在高增益的状态下进行动作。在检查期间T3，如果与压力值的下降量相对应的可变增益放大器的输出值M没有超过设定值(NG)，则判定装置300判定为“没有泄漏”，结束检查。另外，各期间的控制方法与压差式泄漏检查装置相同(图4C～4F)。
(泄漏检查装置的误动作)
所述的泄漏检查装置的各动作为在泄漏检查装置的各部正常进行动作情况下的动作。但是，有可能随着时间产生误动作，在该误动作没有被检查出来的状态下继续进行检查，导致做出无论有泄漏的被检查体还是没有泄漏的被检查体全部为“没有泄漏”的判定或被检查体全部为“有泄漏”的判定。
下面说明各部的误动作的例子。
(1)压差式的泄漏检查装置100(图1)在以不使三通电磁阀203的口X-Y之间导通、或不打开密封阀204A及204B双方的状态下进行泄漏检查。此时，在被检查体A或被检查体B的内部和基准箱207的内部均不施加空气压力。因此，这些两内部的压差为零，压差计205的计测值也成为零。该结果有可能导致泄漏判定装置做出误判定为“没有泄漏”。
(2)在三通电磁阀203和密封阀204A及204B同时正常进行动作，但切换阀206A、206B均关闭的状态下，压差式的泄漏检查装置100(图1)进行泄漏检查。通常，空气压力供给路径没有泄漏，因此这种情况下的压差计205的计测值很小。该结果有可能导致泄漏判定装置做出误判定为“没有泄漏”。
与此同样的误动作在示压式的泄漏检查装置110(图3)也产生。
(3)在压差计205不能进行动作的状态下，压差式的泄漏检查装置100进行泄漏检查。该情况下，压差计205的输出值成为零，因此，泄漏判定装置可能会与被检查体A、B的状况无关地做出误判定为“没有泄漏”。
这种故障在示压式的泄漏检查装置110上产生的情况下，压力计209的测定值成为零。此时，也有可能导致泄漏判定装置与被检查体A、B的状况无关地做出误判定为“没有泄漏”。
本申请人为了解决所述泄漏检查装置的缺点，提案了一种带自己诊断功能的压差式泄漏测试仪(参照专利文献2)。
最先提案的带自己诊断功能的压差式泄漏测试仪在检查开始之前，在关闭密封阀204A和204B的任一方的状态下，进行使三通电磁阀203的口X-Y之间导通的控制，如果可变增益放大器以低增益放大此时检测出的压差的值超过NG水平，则判定为泄漏测试仪正常。即，当在密封阀204A、204B的任一方关闭着的状态下，控制使三通电磁阀203的口X-Y之间导通时，如果三通电磁阀203正常进行动作，则只对被检查体或基准箱207施加压力。如果在该状态下压差计205正常，而且判定装置300正常，则即使是低增益的放大灵敏度，压差的绝对值也为NG水平以上，因此，泄漏测试仪应该输出为正常的判定结果。因此，此时如果不输出被检查体有泄漏的之意的判定结果，则可以由此判断为任一个为不良。
专利文献1：(日本)特许第1775588号公报
专利文献2：(日本)特公平7-101193号公报
特公平7-101193号公报公开的方法在检查开始时花费极短时间进行自己诊断。该“极短时间”为“0.5秒左右”的意思记载于特公平7-101193号公报中的[0025]。只要工件的数量为从10个到100个的范围，该自己诊断所需的时间的影响很小。然而，随着工件数量增大，该影响加大。因此，理想的是自己诊断所需的时间无限地接近零。
另外，特公平7-101193号公报公开的自己诊断方法只能适用于压差式的泄漏检查装置，不能适用于示压式的泄漏检查装置。
发明内容
本发明的第一目的在于提供自己诊断不花费特别的时间的泄漏检查装置的异常检查方法、和实施该异常检查方法的泄漏检查装置。
本发明的第二目的在于提供无论压差式或示压式，都能够执行异常检查动作的泄漏检查装置的异常检查方法、和实施该异常检查方法的泄漏检查装置。
为解决所述的课题，作为该发明的第一方式，提案一种泄漏检查装置的异常检查方法，该泄漏检查装置在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据该被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏。其中，该异常检查方法包括校正过程和检查过程。所述校正过程包括：对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；密封所述第一被检查体内部的空气的过程；计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的第一时刻之间产生的所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程；计测在所述第一时刻和从该第一时刻起再经过所述规定时间的第二时刻之间产生的所述第一被检查体内部的压力变化值B2，并将该压力变化值B2存储于存储部的过程。所述检查过程包括：对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；密封所述第二被检查体内部的空气的过程；计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的第三时刻之间产生的所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，将该压力变化值B1′存储于存储部的过程；计测在所述第三时刻和从该第三时刻起再经过所述规定时间的第四时刻之间产生的所述第二被检查体内部的压力变化值B2′，并将该压力变化值B2′存储于存储部的过程；设波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)进行运算的过程；利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
在此，在由校正过程测定出的压力变化值的差B1-B2比0大很多、且由检查过程测定出的压力变化值的差B1′-B2′的值为
Figure S2007800023270D00071
的情况下，波形比K成为
Figure S2007800023270D00072
在波形比K成为时，可以预测在检查过程中不对被检查体施加空气压力，或计测器不能进行动作。由此，能够判定泄漏检查装置中的空气压力装置系统的动作异常。
另外，在进行校正过程后，相对于多个第二被检查体，可分别只适用检查过程。而且，在本发明的检查过程中，泄漏检查方法利用作为必须的稳定期间进行自己诊断。因此，该发明中，自己诊断不用花费特别的时间。即，泄漏检查装置为了自己诊断，不用花费特别的时间，因此，即使相对于全部的第二被检查体，泄漏检查装置执行自己诊断和泄漏检查，也能够在与现有的检查时间相同的时间内完成检查。
另外，该方法测定被检查体内的压力变化值，且进行检查装置的自己诊断，因此，该方法不但能够适用于压差式检查装置，而且也能够适用于示压式泄漏检查装置。
另外，在波形比K的值为比1异常大的情况下，由校正过程测定出的压力变化值的差(B1-B2)和由检查过程测定出的压力变化值的差(B1′-B2′)的关系为(B1-B2)＜＜(B1′-B2′)((B1′-B2′)比(B1-B2)大很多)。根据该状况，可以预测作为由校正过程测定出的标准的第一被检查体、和由检查过程测定出的实际的测定对象即第二被检查体不均质。这样的第一被检查体和第二被检查体为不均质的预测很有效。这是由于泄漏检查装置因被检查体的特质的不同而有时会会错误地进行其泄漏判定的缘故。
(4)例如，在被检查体为铸造物的情况下，有时即使不存在从其内壁穿过外壁的孔，但在内部形成多个气孔，空气向气孔出入的出入口很细，存在于气孔内部的容积比较大。在现有的压差式的泄漏检查装置100(图1)对这样的被检查体进行泄漏检查的情况下，有时从稳定期间T2到检查期间T3，空气渐渐侵入气孔内，因此随着时间的经过，通过压差计205计测出的压差值逐渐增高，最终判定为“有泄漏”。由于不存在向外部的泄漏，所以本来判定为“没有泄漏”是正确的，但由于内部气孔的存在而导致判定为“有泄漏”。这样的误判定也在现有的示压式的泄漏检查装置110中产生。
(5)加压期间T1及稳定期间T2的各时间长度由被检查体的内容积决定。在大量检查一定内容积的被检查体的情况下，加压期间T1及稳定期间T2被设定成适于这些被检查体的时间长度。在该检查中内偶然混入容积不同的被检查体的情况下，对该被检查体来说，在不适合的加压期间T1及稳定期间T2进行检查。
另外，作为该发明的第二方式，还提案一种泄漏检查装置的异常检查方法，该泄漏检查装置在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏。其中，该异常检查方法包括校正过程和检查过程。所述校正过程包括：对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；密封所述第一被检查体内部的空气的过程；求出从密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻到经过第一规定时间的第一时刻的、与所述第一被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1，并将该微分值BB1存储于存储部的过程；求出从所述第一时刻到再经过第二规定时间的第二时刻的、与所述第一被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2，并将该微分值BB2存储于存储部的过程。所述检查过程包括：对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；密封所述第二被检查体内部的空气的过程；求出从密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻到经过所述第一规定时间的第三时刻的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1′，并将该微分值BB1′存储于存储部的过程；计测从所述第三时刻到再经过所述第二规定时间的第四时刻的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2′，并将该微分值BB2′存储于存储部的过程；设波形比K＝(BB1′-BB2′)/(BB1-BB2)并进行运算的过程；利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
在此，在由校正过程得到的微分值的差BB1-BB2比0大很多、由检查过程得到的微分值的差BB1′-BB2′的值为
Figure S2007800023270D00091
的情况下，波形比K为在波形比K为
Figure S2007800023270D00093
时，可以预测在检查过程中不对被检查体施加空气压力，或计测器不能进行动作。由此能够判定泄漏检查装置中的空气压力装置系统的动作异常。
另外，在进行校正过程后，相对于多个第二被检查体，可分别只适用检查过程。而且，在本发明的检查过程中，泄漏检查方法利用作为必须的稳定期间进行自己诊断。因此，该发明中，自己诊断不用花费特别的时间。即，为了泄漏检查装置的自己诊断，不用花费特别的时间，因此即使相对于全部的第二被检查体，泄漏检查装置执行自己诊断和泄漏检查，也能够在与现有的检查时间相同的时间内完成检查。
而且，该方法中，由于利用被检查体内的压力的微分值进行检查装置的自己诊断，所以该方法不但能够适用于压差式检查装置，而且也能够适用于示压式泄漏检查装置。
另外，在波形比K的值为比1异常大的情况下，由校正过程得到的微分值的差(BB1-BB2)、和由检查过程得到的微分值的差(BB1′-BB2′)的关系为(BB1-BB2)＜＜(BB1′-BB2′)。从该状况可以预测作为由校正过程测定出的标准的第一被检查体、和由检查过程测定出的实际的测定对象即第二被检查体不均质。
另外，作为该发明的第三方式，提案一种泄漏检查装置，其在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏。其中，包括：空气压力源，其经由空气压力供给路径与所述被检查体连接，并对该被检查体的内部进行加压；阀门，其可以开闭，且存在于所述空气压力供给路径的中途；计测器，其计测所述被检查体内部的压力；处理机；存储部，其存储由所述计测器计测的计测值。所述处理机控制执行如下过程：打开阀门，对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；关闭阀门，密封第一被检查体内部的空气的过程；由计测器计测在密封第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的第一时刻之间产生的、第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程；由计测器计测在第一时刻和从该第一时刻起再经过规定时间的第二时刻之间产生的、第一被检查体内部的压力变化值B2，并将该压力变化值B2存储于存储部的过程；打开阀门，对进行泄漏检查的被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；关闭阀门，密封第二被检查体内部的空气的过程；由计测器计测在密封第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的第三时刻之间产生的、第二被检查体内部的压力变化值B1′，并将该压力变化值B1′存储于存储部的过程；由计测器计测在第三时刻和从该第三时刻起再经过规定时间的第四时刻之间产生的、第二被检查体内部的压力变化值B2′，并将该压力变化值B2′存储于存储部的过程。且所述处理机执行如下过程：设波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)并进行运算的过程；利用波形比K的值判定动作异常的过程。
另外，作为该发明的第四方式，提案一种泄漏检查装置，其在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏。其中，包括：空气压力源，其经由空气压力供给路径与所述被检查体连接，并对该被检查体的内部进行加压；阀门，其可以开闭，并存在于所述空气压力供给路径的中途；计测器，其计测所述被检查体内部的压力；处理机；存储部，其存储由所述计测器计测的计测值。所述处理机控制执行如下过程：打开所述阀门，对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；关闭所述阀门，密封所述第一被检查体内部的空气的过程；求出从密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻到经过第一规定时间的第一时刻之间的、与所述第一被检查体的内部压力时间有关的微分值BB1，并将该微分值BB1存储于存储部的过程；求出从所述第一时刻起到再经过第二规定时间的第二规定时刻的、与所述第一被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2，并将该微分值BB2存储于存储部的过程；打开所述阀门，对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；关闭所述阀门，密封所述第二被检查体内部的空气的过程；求出从密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻到经过所述第一规定时间的第三时刻之间的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1′，并将该微分值BB1′存储于存储部的过程；求出从第三时刻起到再经过所述第二规定时间的第四时刻的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2′，并将该微分值BB2′存储于存储部的过程。且所述处理机执行如下过程：设波形比K＝(BB1′-BB2′)/(BB1-BB2)进行运算的过程；利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
另外，该发明的第三、四方式优选所述第二被检查体为铸造物。在所述波形比K为与1相比大于规定值以上时，所述处理机判定为所述第二被检查体的内壁有气孔。
另外，该发明的第三、四方式优选所述处理机根据被检查体内部的空气压力变化量判定该第二被检查体是否有泄漏。在判定所述波形比K为0～规定值以内时，判定所述空气压力供给路径或所述阀门或所述计测器有异常。
另外，作为该发明的第三方式之一例，所述计测器为压差计。所述压力变化值B1、B2、B1′、B2′分别为所述第一被检查体或所述第二被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的变化值。
另外，作为该发明的第四方式之一例，所述计测器为压差计。所述微分值BB1、BB2、BB1′、BB2′分别为所述第一被检查体或所述第二被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的微分值。
另外，作为该发明的第三方式之一例，所述计测器为压力计。所述压力变化值B1、B2、B1′、B2′分别为相对于大气压力的所述第一被检查体或所述第二被检查体的内部压力的变化值。
另外，作为该发明的第四方式之一例，所述计测器为压力计。所述微分值BB1、BB2、BB1′、BB2′分别为相对于大气压力的所述第一被检查体或所述第二被检查体的内部压力的微分值。
另外，作为该发明的第五方式，提案一种泄漏检查装置的异常检查方法，该泄漏检查装置在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据过被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏。其中，该异常检查方法包括校正过程和检查过程。所述校正过程包括：对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；密封所述第一被检查体内部的空气的过程；计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的时刻之间产生的、所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程。所述检查过程包括：对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；密封所述第二被检查体内部的空气的过程；计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的时刻之间产生的、所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，并将该压力变化值B1′存储于存储部的过程；在所述压力变化值B1、B1′相对于常数γ、δ表示为γ·B1+δ＞B1′时，判定为泄漏检查装置的动作异常的过程。
在此，本发明的第五方式利用作为必须的稳定期间，在校正过程中计测作为标准的压力变化值B1，在检查过程中测定作为诊断对象的压力变化值B1′，通过只对其大小关系进行比较，就能够检测泄漏检查装置的异常。
即，校正过程中利用没有泄漏的第一被检查体，并测定该第一被检查体内的压力变化值B1。因此，该压力变化值中不含泄漏成分，只检测伴随封入的空气的隔热变化的压力变化值。
与之相对，由检查过程测定的压力变化值B1′计测有可能泄漏的第二被检查体内的压力变化。因此，如果泄漏检查装置正常进行动作，则在该条件下计测出的压力变化值B1和B1′之间，理想的是，B1≤B1′的关系应该成立。
本发明第五方式中，利用该现象，将由检查过程的稳定期间测定的第二被检查体内的压力变化值B1′与由校正过程测定出的压力变化值B1进行比较，在相对于常数γ、δ，该关系γ·B1+δ＞B1′成立时，判定为泄漏检查装置为异常。其中，γ、δ为考虑误差而设定的常数。
另外，在进行校正过程之后，相对于多个第二被检查体，可分别只适用检查过程。在本发明的检查过程中，泄漏检查方法利用作为必须的稳定期间进行自己诊断。因此，该发明中自己诊断不花费特别的时间。即，为了泄漏检查装置的自己诊断，不用花费特别的时间，因此，即使相对于第二被检查体执行泄漏检查装置的自己诊断和泄漏检查，也能够在与现有的检查时间相同的时间内完成检查。
而且，由于该方法测定被检查体内的压力变化值，且进行检查装置的自己诊断，所以不仅能够适用于压差式泄漏检查装置，而且也能够适用于示压式泄漏检查装置。
另外作为该发明的第六方式，提案一种泄漏检查装置，其在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏。其中，包括：空气压力源，其经由空气压力供给路径与所述被检查体连接，并对该被检查体的内部进行加压；阀门，其可以开闭，且存在于所述空气压力供给路径的中途；计测器，其计测所述被检查体内部的压力；处理机；存储部，其存储由所述计测器计测的计测值。所述处理机控制执行如下过程：打开所述阀门，对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；关闭所述阀门，密封所述第一被检查体内部的空气的过程；由所述计测器计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的时刻之间产生的、所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程；打开所述阀门，对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；关闭所述阀门，密封所述第二被检查体内部的空气的过程；由所述计测器计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的时刻之间产生的、所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，并将该压力变化值B1′存储于存储部的过程。且所述处理机执行如下过程：在所述压力变化值B1、B1′相对于常数γ、δ表示为γ·B1+δ＞B1′的情况下，判定为泄漏检查装置的动作异常的过程。
另外，作为该发明的第六方式之一例，所述计测器为压差计。所述压力变化值B1、B1′分别为所述第一被检查体或所述第二被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的变化值。
另外，作为该发明的第六方式之一例，所述计测器为压力计。所述压力变化值B1、B1′分别为相对于大气压力的所述第一被检查体或所述第二被检查体内部压力的变化值。
如上所示，本发明自己诊断不花费特别的时间就能够检测泄漏检查装置的异常。
另外，本发明中，不论是压差式还是示压式，都能够执行异常检测动作。
附图说明
图1是表示现有的压差式泄漏检查装置结构的图；
图2A～2E是用于说明泄漏检查装置的大体动作的曲线；图2A是表示可变增益放大器的输出值随时间变化的曲线，图2B是表示加压期间T1时成为H(High)，除此之外时成为L(Low)状态的定时信号C1的曲线，图2C是表示稳定期间T2时成为H状态，除此之外时成为L状态的定时信号C2的曲线，图2D是表示检查期间T3时成为H状态，除此之外时成为L状态的定时信号C3的曲线，图2E是表示排气期间T4时成为H状态，除此之外时成为L状态的定时信号C4的曲线。
图3是表示现有的示压式泄漏检查装置结构的图；
图4A是表示由压力计输出的压力测定值变化样态的曲线图。图4B是表示判定装置的可变增益放大器的输出波形的曲线。另外，图4C还是表示加压期间T1时成为H(High)状态，除此之外时成为L(Low)状态的定时信号C1的曲线。图4D是表示稳定期间T2时成为H状态，除此之外成为L状态的定时信号C2的曲线。图4E是表示检查期间T3时成为H状态，除此之外成为L状态的定时信号C3的曲线。图4F是表示排气期间T4时成为H状态，除此之外成为L状态的定时信号C4的曲线；
图5是表示第一实施方式的泄漏检查装置结构的图；
图6是例示用于求出波形比K的测定条件的曲线；
图7是表示在误动作的例(2)的状态下测定的、表示被检查体的内部和基准箱的内部压差随时间变化的曲线X-3、和表示所述的曲线X-1的图；
图8是表示第二实施方式的泄漏检查装置结构的图；
图9是例示使用微分值的压差式的泄漏检查装置用于求出波形比K的测定条件的曲线；
图10是表示第四实施方式的泄漏检查装置结构的图；
图11是例示用于求出第四实施方式的波形比K的测定条件的曲线；
图12是表示在误动作的例(2)的状态下测定的、表示被检查体的内部和基准箱207的内部压差随时间变化的曲线X-3、和表示所述的曲线X-1的图；
图13是表示第五实施方式的泄漏检查装置结构的图。
标记说明
100、110、500、510、700、710泄漏检查装置
200、400空气压力装置
300、600、610、800、810判定装置
具体实施方式
下面，参照图面说明本发明的实施方式。
(第一实施方式)
对该发明的第一实施方式进行说明
(概要)
第一实施方式为将本发明第一、三方式应用于压差式泄漏检查装置的实施方式。
第一实施方式分别在校正过程及检查过程中将稳定期间分成两部分，在稳定期间的前半期间测定所述的压力变化值B1或B1′，在稳定期间的后半期间测定所述的压力变化值B2或B2′。
由校正过程测定出的压力变化值B1和B2作为(B1-B2)存储于存储部，在检查过程中计算波形比K时被利用。由检查过程与判定被检查体有无泄漏一起测定出的变化值B1′和B2′用于波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)的运算。
在此，在计算出来的波形比K为时，可推定为泄漏检查装置正常进行动作。
另外，与被检查体的泄漏的判定结果无关，波形比K为K 0时，可以推定为泄漏检查装置的空气压力装置产生了异常。
另外，与被检查体的泄漏的判定结果无关，波形比K为K＞＞1时，主要可以推定为被检查体与作为标准的被检查体不均质。
(详细)
图5是表示第一实施方式的泄漏检查装置500结构的图。另外，图5与图1共通的部分使用与图1相同的符号，省略说明。
本实施方式的泄漏检查装置500由空气压力装置200和判定装置600构成。空气压力装置200的构成与所述的现有构成相同，其由如下构成：压缩机等的空气压力源201，其对被检查体的内部进行加压等；调压阀202，其调节由该空气压力源201排出来的空气量，并将空气压力源201作用向外部的空气压力调节到规定的空气压力；三通电磁阀203，其能够对将通过调压阀202调压后的空气压力加到被检查体A、B侧及基准箱207侧的状态(口X-Y之间的导通状态)与将被检查体A、B侧及基准箱207侧的空气排放到大气的状态(口Y-Z之间的导通状态)进行切换；密封阀204A、204B，其用于在对被检查体A或B的内部及基准箱207的内部施加空气压力的状态下将这些内部的空气密封；压差计205(相当于“测定器”)，其测定被检查体A或B的内部与基准箱207的内部的压差；切换阀206A、206B，其切换对被检查体A和被检查体B的任一个施加空气压力，在交换一方的被检查体时用于可对另一方的被检查体进行检查；基准箱207；连接夹具208A、208B，其用于将空气压力供给管路与被检查体A及被检查体B连接。另外，所谓空气压力供给管路是指与空气压力源201的排出口连接且用于将空气供给被检查体A、B或基准箱207的管路。如图5所示，在该空气压力供给管路的中途存在所述的调压阀202、三通电磁阀203、密封阀204A、204B、切换阀206A、206B。
判定装置600具备：可变增益放大器301，其使压差计205的输出信号放大(可将增益切换成低增益状态和高增益状态)；AD变换器302；微机，其由输入口303、CPU304、ROM305、RAM306以及输出口307构成；泄漏判定显示器308；异常显示器309，其在检查出泄漏检查装置500异常或被检查体异常后立即显示该异常。
该例的ROM305中存储有用于使微机作为动作定时产生装置、控制信息生成装置、测定值存储装置、泄漏判定装置、标准值测定装置、检查值测定装置、波形比运算装置及异常判定装置分别动作的动作定时产生程序、控制信息生成程序、测定值存储程序、泄漏判定程序、标准值测定程序、检查值测定程序、波形比运算程序及异常判定程序。这些程序在微机起动时由ROM305读出，作为动作定时产生程序306A、控制信息生成程序306AB、测定值存储程序306B、泄漏判定程序306C、标准值测定程序306D、检查值测定程序306E、波形比运算程序306F及异常判定程序306G存储于RAM306。存储于RAM306的程序被CPU304读入，CPU304通过解读、执行这些程序而使作为所述的各装置发挥作用。
本实施方式的异常检查方法，其特征在于，利用在实施泄漏检查之前存在的稳定期间T2求出波形比K，根据波形比K的值判定泄漏检查装置500或被检查体的异常。
图6是例示用于求出波形比K的测定条件的曲线。在此，纵轴表示被检查体A或B的内部和基准箱207的内部的压差，横轴表示时间。图6所示的曲线X-1表示校正过程的压差特性，曲线X-2表示检查过程的压差特性。另外，线C表示在被检查体A或B内部和基准箱207内部的压差中由被检查体泄漏而产生的压差。以下，一边适当引用该图一边说明本实施方式的异常检查方法。
(校正过程)
本实施方式的异常检查方法包括校正过程和检查过程。在校正过程中，连接夹具208A或208B的任一个连接没有泄漏的、作为标准的被检查体A或B的任一个(第一被检查体)。在此，将被检查体A与夹具208A连接时，打开切换阀206A，关闭切换阀206B。反之，在将被检查体B与夹具208B连接时，打开切换阀206B，关闭切换阀206A。
在这种状态下，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3以及排气期间T4的各动作。另外，这些各期间的动作的控制如下进行。
首先，使动作定时产生程序306A被CPU304读入而构成的动作定时产生装置产生与各期间相对应的定时信号。控制信息生成程序306AB被CPU304读入而构成的控制信息生成装置生成控制信号，该控制信号用于使三通电磁阀203、密封阀204A、204B、可变增益放大器301执行动作定时产生装置产生的定时信号表示的期间的动作。生成的控制信号由输出口307向三通电磁阀203、密封阀204A、204B、可变增益放大器301输出。三通电磁阀203、密封阀204A、204B、可变增益放大器301按照控制信号进行各期间的动作。以下，说明各期间的动作。
在加压期间T1，在驱动空气压力源201、打开调压阀202的状态下，使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，而且打开密封阀204A和204B且分别使它们导通。由此，对被检查体A或被检查体B的任一个(第一被检查体)的内部和基准箱207的内部施加空气压力。该状态继续到加压期间T1结束。另外，在加压期间T1结束的时刻，关闭密封阀204A和204B，切断各自的导通。由此，第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的空气被密封，基准箱207内部的空气被密封。
在接着的稳定期间T2，测定第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部、和基准箱207内部之间产生的压差，在本实施方式的例子中将稳定期间T2分成两部分，在前半的T2/2期间的结束时刻、和后半的T2/2期间的结束时刻，测定各自期间的压力变化值B1和B2(参照图6的曲线X-1)。
即，首先利用压差计205计测加压期间T1(包括对第一被检查体的内部加压的过程、和密封该内部空气的过程)的结束时刻、和从该结束时刻起经过时间T2/2的第一时刻之间(稳定期间T2的前半的T2/2的期间)生成的、第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于RAM306。接着，计测在第一时刻和从该第一时刻起再经过时间T2/2的第二时刻之间(稳定期间T2后半的T2/2的期间)产生的、第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B2，并将该压力变化值B2存储于RAM306。另外，所谓本实施方式的“压力变化值”是指施加空气压力后的被检查体A或B的内部的空气压力和基准箱207的内部的空气压力的压差的变化值。另外，压力变化值B2能够根据B3-B1求出。另外，B3是指在校正过程的加压期间T1的结束时刻和稳定期间T2的结束时刻之间产生的压力变化值。其后，求出测定出的压力变化值B1和B2的差(B1-B2)，且将其作为标准值存储于RAM306。
另外，在校正过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制通过标准值测定程序306D被CPU304读入而构成的标准值测定装置进行。另外，将压力变化值B1、B2或标准值(B1-B2)存储于RAM306的处理，通过测定值存储程序306B被CPU304读入而构成的测定值存储装置进行控制。
检查期间T3及排气期间T4的动作为如上所述那样，故省略说明。
(检查过程)
检查过程只是对作为泄漏检查对象的被检查体数量进行重复。
在检查过程中，将作为泄漏检查对象的被检查体A或B的任一个(第二被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。在此，在将被检查体A与连接夹具208A连接的情况下，打开切换阀206A，关闭切换阀208B。相反，在将被检查体B与连接夹具208B连接的情况下，打开切换阀206B，关闭切换阀208A。
该种状态下，与校正过程一样，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3及排气期间T4的各动作。另外，检查期间T3及排气期间T4的动作如上所述，故省略说明。下面，说明检查过程中的加压期间T1及稳定期间T2的动作。
在加压期间T1，与校正过程一样，对第二被检查体即被检查体A或B的内部和基准箱207的内部进行加压，在加压期间T1结束的时刻，分别将这些内部的空气密封。
接着，在稳定期间T2测定在第二被检查体即被检查体A或被检查体B的内部和基准箱207的内部之间产生的压差。在本实施方式的例子，将稳定期T2分成两段，在前半的T2/2的期间结束时刻和后半的T2/2期间的结束时刻，测定各自期间的压力变化值B1′和B2′(参照图6的曲线X-2)。
即，首先，计测加压期间T1(包括对第二被检查体的内部进行加压的过程、将其内部的空气密封的过程)的结束时刻和从该结束时刻起经过时间T2/2的第三时刻之间(稳定期间T2的前半的T2/2期间)产生的、第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B1′，且将该压力变化值B1′存储于RAMA306中。接着，在第三时刻和从该第三时刻起再经过时间T2/2的第四时刻之间(稳定期间T2的后半的T2/2期间)产生的、第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B2′，且将该压力变化值B2′存储于RAMA306中。其后，求出测定出的压力变化值B1′和B2′的差(B1′-B2′)，且将其作为测定值存储于RAMA306中。另外，在检查过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制，通过检查值测定程序306E被CPU304读入而构成的检查值测定装置进行。另外，将压力变化值B1′、B2′或测定值(B1′-B2′)存储于RAM306的处理，通过测定值存储装置进行控制。
另外，在检查过程中，被检查体A或被检查体B有无泄漏不确定。但是，即使假设被检查体存在泄漏，也根据以下的理由而由测定值(B1′-B2′)除去泄漏的影响，其结果是，由波形比K除去泄漏的影响。
即，如图6的线C所示，被检查体的内部和基准箱207的内部的压差中，因被检查体存在泄漏而产生的压差随着时间的经过按一定的比例增加。此时，压力变化值B1′中因被检查体有泄漏而引起的压力变化值ΔC1、和压力变化值B2′中因被检查体有泄漏引起的压力变化值ΔC2相等(ΔC1＝ΔC2)。因此，设这些的压力变化值B1′和B2′的差值作为测定值(B1′-B2′)进行运算，由此，除去因被检查体的泄漏而引起的成分ΔC1和ΔC2。
接着，波形比运算程序306F被CPU304读入而构成的波形比运算装置由RAM306读入标准值(B1-B2)和测定值(B1′-B2′)，设波形比K为K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)并进行运算。算出来的波形比K存储于RAM306。
接着，将异常判定程序306G被CPU304读入而构成的异常判定装置由RAM306读入波形比K，在波形比K的值从1离开规定值以上时，判定为泄漏检查装置的动作异常，该判定结果由输出口307输出，且由异常显示器309输出。另外，该“规定值”为基于没有泄漏的被检查体的品质偏差而适宜确定的值，例如，在K≤1-α(0＜α≤1)或K≥1+β(β＞0)时，判定为泄漏检查装置的动作异常。另外，作为α之一例，例如可以例示α＝0.3；作为β之一例，例如可以例示β＝0.5。另外，对β没有可设定的上限，而是根据装置的结构等进行适宜设定。
即，该波形比K作为判断表示由各检查过程计测出的压差变化的曲线X-2(图6)是否与表示由校正过程计测出的压差变化的曲线X-1近似作为指标被利用。K＝1时，可以说检查过程的曲线X-2与校正过程的曲线X-1近似。可以说波形比K的值离1越远，检查过程的曲线X-2离校正过程的曲线X-1越远，泄漏检查装置引起误动作的可能性越高。
例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(1)所示，在以不使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，或不打开密封阀204A及204B的状态进行泄漏检查的情况下，不对被检查体及基准箱207施加空气压力，因此，测定值
Figure S2007800023270D00201
波形比
Figure S2007800023270D00202
另外，同样的状况在空气压力供给路径中产生堵塞的情况下也能够产生。异常判定装置不论泄漏检查的结果如何，以波形比K满足K≤1-α为条件(以波形比K在0～规定值以内为条件)，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”，将该判定结果用异常显示器309显示。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(2)所示，在三通电磁阀203和密封阀204A、204B一起正常进行动作、但切换阀206A、206B均关闭的状态下执行泄漏检查时，压力变化值B1′及B2′大致为0。这是由于被检查体A或B的内部空间通过切换阀206A或206B而由压差计205进行测定的空间遮断，只有空气压力供给路径内部的隔热变化在短时间内收束。
图7是表示在误动作的例子(2)的状态下测定出的、被检查体内部和基准箱207内部的压差随时间变化的曲线X-3和所述的曲线X-1的图。如图7的曲线X-3所示，压力变化值B1′及B2′大致为0。其结果是，波形比运算装置算出的波形比
Figure S2007800023270D00203
另外，同样的状况在空气压力供给路径中产生堵塞的情况下也能够产生。异常判定装置不论泄漏检查的结果如何，以波形比K满足K≤1-α为条件(以波形比K在0～规定值以上为条件)，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”，将该判定结果用异常显示器309显示。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(3)所示，在压差计205不能进行动作的情况下，由检查过程测定的压力变化值B1′及B2′为0。波形比运算装置算出的波形比
Figure S2007800023270D00211
异常判定装置不管泄漏检查结果如何，均以波形比K满足K≤1-α为条件，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”，且使异常显示器309显示泄漏检查装置为异常。
即，异常判定装置可以以K满足K≤1-α为条件，判定空气压供给路径、三通电磁阀203、密封阀204A、204B、切换阀206A、206B的任一个或压差计205的任一个有异常。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(4)所示，被检查体为铸造物的情况的下，在内壁存在气孔时，当被检查体的内容积增大时，成为等效的状态。此时，内部存在气孔的被检查体的内部压差的变化量如图6的曲线X-2所示，比作为曲线X-1所示的标准的被检查体的压差变化量大。这种情况下，由图6可知，压力变化值B1′比压力变化值B1大。其结果是，(B1′-B2′)＞(B1-B2)，波形比K＞1。由此，只要K为与1相比大于规定值以上，即使检查结果为“有泄漏”，异常判定装置也能够检测出泄漏检查装置的判定异常。该情况下，由于被检查体为铸造物，所以与表示被检查体的内壁面存在气孔的情况等效。也可以是如下的构成将被检查体为铸造物的信息输入到异常判定装置，在K≥1+β时，异常判定装置判定被检查体的内壁面存在气孔，且使异常显示器309显示其结果。另外，也可以为如下判定，在波形比K不是1而为接近1的情况下，作为干扰成分引起的误差，被认为是正规的被检查体，在波形比K从1大幅度离开的值时判定在被检查体的内壁有气孔或装置的异常。
另外，本实施方式的结构中，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(5)所示，在大量检查存在的内容积的被检查体的情况下，也能够检查出偶然混入内容积不同的被检查体的情况。
即，由以上说明可知，波形比K通过压差计205从在以作为基准的加压条件对具有与作为标准的第一被检查体相同容积的第二被检查体的内部进行加压(加压期间T1)、加压后、由密封阀204A、204B密封的时刻起测定工件内的压力变化而求出。因此，在第二被检查体的内容积与第一被检查体的内容积不同的情况下，波形比成为从1离开的值。可以进行如下的判定，虽说为从1离开的值，但1附近的值作为干扰成分引起的误差，就被认为是正规的被检查体，在为从1大幅度离开的值时，判定为被检查体不均质或泄漏检查装置有异常。例如也可以为如下构成：在设K≤1-α′(0＜α′≤1)或K≥1+β′(β′＞0)时，异常判定装置判定为测定对象的第二被检查体与其他的被检查体不均质。另外，作为α′之一例，可以例示α′＝0.5；作为β′之一例，可以例示β′＝1。另外，对β′没有可设定上限，而是根据装置的结构等适宜设定。
以上说明所示，根据本方式，泄漏检查装置自身的异常在原来的基础上也能检查出被检查体的不均质性。通过组合该异常判定结果和泄漏检查结果，可以推定在何处存在异常。
另外，本发明不限定于所述的实施方式。例如，在本实施方式中，将稳定期间T2分成两部分，首先设从加压期间T1的结束时刻起经过时间T2/2的时刻为第一、三时刻，设第一、三时刻再经过时间T2/2的时刻设为第二、四时刻。但是，也可以设从加压期间T1的结束时刻起经过除时间T2/2之外的规定时间的时刻设为第一、三时刻，设从第一、三时刻起再经过该规定时间的时刻为第二、四时刻。
(第二实施方式)
对该发明的第二实施方式进行说明。
第二实施方式为将本发明的第一、三方式应用于示压式的泄漏检查装置的实施方式。以下，以与第一实施方式的不同点为中心进行说明，与有关第一实施方式共通的事项，省略说明。
图8是表示第二实施方式的泄漏检查装置510结构的图。另外，有关图8中与图3、图5共通的部分，使用与图3、5相同的符号表示，省略说明。
本实施方式的泄漏检查装置510由空气压力装置400和判定装置610构成。空气压力装置400的构成与所述的目前构成相同。判定装置610具备：放大压力计209(相当于“计测器”)的输出信号(可将增益切换成低增益状态和高增益状态)的可变增益放大器301A、和AD变换器302、和由输入口303、CPU304、ROM305、RAM306及输出口307构成的微机、和泄漏判定显示器308、和异常显示器309。
下面，对本实施方式的异常检侧方法进行说明。
(校正过程)
校正过程与第一实施方式一样，将没有泄漏的、作为标准的被检查体A或B的任一个(第一被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。
在加压期间T1，在驱动空气压力源201、打开调压阀202的状态下，使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，而且打开密封阀204A和204B，分别使它们导通。由此，在被检查体A或被检查体B的任一个(第一被检查体)的内部施加测试压TP。该状态继续到加压期间T1结束。而且，在加压期间T1结束的时刻关闭密封阀204A、204B，切断各自的导通。由此，密封第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的空气。
接着，在稳定期间T2测定相对于第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的大气压力的压力。本实施方式的例子将稳定期间T2分成两部分，在前半的T2/2期间的结束时刻和后半的T2/2期间的结束时刻，测定各自期间的压力变化值B1和B2。
即，首先利用压力计209，计测在加压期间T1(包括对第一被检查体的内部加压的过程、和将该内部空气密封的过程)的结束时刻、和从该结束时刻起经过时间T2/2的第一时刻之间(稳定期间T2的前半的T2/2期间)生成的、第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于RAM306。接着，计测在第一时刻和从该第一时刻起再经过时间T2/2的第二时刻之间(稳定期间T2的后半T2/2的期间)产生的、第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B2，并将该压力变化值B2存储于RAM306。另外，所谓本实施方式的“压力变化值”是指被检查体A或B内部的空气压力相对于大气压的压力的变化值。其后，求出测定出的压力变化值B1和B2的差(B1-B2)，且将其作为标准值存储于RAM306。
另外，在校正过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制通过标准值测定装置进行，将压力变化值B1、B2或标准值(B1-B2)存储于RAM306的处理通过测定值存储装置进行控制。
检查期间T3及排气期间t4的动作如所述所示，故省略说明。
(检查过程)
检查过程只是对作为泄漏检查对象的被检查体的数量进行重复。
检查过程与第一实施方式一样，作为泄漏检查对象的被检查体A或B的任一个(第二被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。
在该状态下，与校正过程一样，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3及排气期间T4的各动作。另外，检查期间T3及排气期间T4的动作如所述所示，故省略说明。以下，说明在检查过程的加压期间T1及稳定期间T2的动作。
在加压期间T1与校正过程一样，对第二被检查体即被检查体A或B的内部进行加压，在加压期间T1结束的时刻，密封这些内部的空气。
接着，在稳定期间T2测定第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力。在本实施方式的例子，将稳定期T2分成两部分，在前半T2/2的期间结束时刻和后半的T2/2期间的结束时刻，测定各自期间的压力变化值B1′和B2′。
即，首先，计测加压期间T1(包括对第二被检查体的内部进行加压的过程、将其内部的空气密封的过程)的结束时刻和从该结束时刻起经过时间T2/2的第三时刻之间(稳定期间T2的前半的T2/2期间)产生的、第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B1′，且将该压力变化值B1′存储于RAMA306。接着，在第三时刻和从该第三时刻起再经过时间T2/2的第四时刻之间(稳定期间T2的后半的T2/2期间)产生的、第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B2′，且将该压力变化值B2′存储于RAMA306。其后，求出测定出的压力变化值B1′和B2′的差(B1′-B2′)，且将其作为测定值存储于RAMA306。另外，在检查过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制，通过检查值测定装置进行，将压力变化值B1′、B2′或测定值(B1′-B2′)存储于RAM306的处理，通过测定值存储装置进行控制。
接着，与第一实施方式相同，异常判定装置在由RAM306读入波形比K、且波形比K的值从1离开规定值以上的情况下，判定为泄漏检查装置的动作异常，该判定结果由输出口307输出，且由异常显示器309显示。
例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(1)所示，在以不使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，或不打开密封阀204的状态进行泄漏检查的情况下，不对被检查体施加空气压力，因此测定值
Figure S2007800023270D00241
波形比
Figure S2007800023270D00242
因此，能够以波形比K满足K≤1-α为条件(以波形比K在0～规定值以内为条件)，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(2)所示，在以三通电磁阀203和密封阀204一起正常进行动作、切换阀206A、206B均关闭的状态执行泄漏检查时，压力变化值B1′及B2′大致为0。这是由于被检查体A或B的内部空间通过切换阀206A或206B而由压力计209进行测定的空间遮断，只有空气压力供给路径内部的隔热变化在短时间内收束。其结果是，即使是示压式的泄漏检查装置510，也在切换阀206A、206B均不打开的情况下，波形比K也成为K≒0。因此，能够以波形比K满足K≤1-α为条件(以波形比K在从0～规定值以内作为条件)，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(3)所示，在压差计209不能进行动作地情况下，完全不能进行压力值的检测，因此理应由检查过程测定的压力变化值B1′及B2′均为0。其结果是，波形比K也成为K≒0。因此，异常判定装置不管泄漏检查结果如何，均能够以波形比K满足K≤1-α为条件，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(4)所示，被检查体为铸造物的情况的下，在内壁存在气孔的情况下，成为与被检查体的内容积增大的等效的状态。此时，内部存在气孔的被检查体的内部压力的变化量比作为标准的被检查体的压力的变化量大。其结果是，(B1′-B2′)＞(B1-B2)，波形比K＞1。由此，只要K为与1相比大于规定值以上，例如即使检查结果为“有泄漏”，异常判定装置也能够检测出泄漏检查装置的判定异常。此时，由于被检查体为铸造物，所以与表示被检查体的内壁面存在气孔的被检查体等效。另外，例如也可以是为如下结构，将被检查体为铸造物的信息输入到异常判定装置，在成为K≥1+β时，异常判定装置判定被检查体的内壁面存在气孔，且使异常显示器309显示其结果。
另外，本实施方式的构成也与第一实施方式相同，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(5)所示，在大量检查存在的内容积的被检查体的情况下，也能够检测偶然混入内容积不同的被检查体的情况。
如以上说明所示，根据本实施方式，泄漏检查装置自身的异常在原来的基础上也能检测出被检查体的不均质性。通过使该异常判定结果和泄漏检查结果组合，可以推定在何处存在异常。
(第三实施方式)
第三实施方式为第一、二的实施方式的变形例。以下，只说明与第一、二的实施方式的不同点。
第一、二的实施方式中说明了以压力变化值B1、B2和B1′、B2′为基础求出波形比K的方法。本实施方式替代以压力变化值B1、B2和B1′、B2′，以与被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1、BB2和BB1′、BB2′为基础求出波形比K。
图9是例示利用微分值的压差式的泄漏装置用于求出波形比K的测定条件的曲线。在此，纵轴表示被检查体A或B的内部和基准箱207的内部的压差，横轴表示时间。图9所示的曲线X-1表示校正过程的压差特性，曲线X-2表示检查过程的压差特性。
在本实施方式的稳定期间T2内，使用任意的两点时刻X1(相当于“第一时刻”及“第三时刻”)和时刻X2(相当于“第二时刻”及“第四时刻”)的、与被检查体的内部压力的时间有关的微分值dPx1/dt＝BB1、dPx2/dt＝BB2、dPx1′/dt＝BB1′、dPx2′/dt＝BB2′，并通过K＝(BB1′-BB2′)/(BB1-BB2)求出波形比。另外，在压差式的泄漏检查装置的情况下，所谓“与被检查体的内部压力的时间有关的微分值”是指与被检查体的内部的压力和基准箱207的内部压力的压差的对于时间的微分值。
另外，在示压式的泄漏检查装置的情况下，也与此一样，能够通过K＝(BB1′-BB2′)/(BB1-BB2)求出波形比K。另外，在示压式的泄漏检查装置的情况下，所谓“与被检查体的内部压力的时间有关的微分值”是指与被检查体的内部压力的对于时间的微分值。
在利用微分值的情况下，在
Figure S2007800023270D00261
时也与上述一样，能够预测空气压力装置400的误动作，在K＞＞1时，可以预测被检查体内壁存在气孔或被检查体的不均质性。
(第四实施方式)
说明该发明的第四实施方式。
(概要)
第四实施方式为将本发明的第五、六方式应用于压差式的泄漏检查装置的实施方式。
第四实施方式分别在校正过程及检查过程测定压力变化值B1及B1′。而且，利用测定出的压力变化值B1及B1′检测泄漏检查装置的异常。
(详细)
图10是表示第四实施方式的泄漏检查装置700结构的图。另外，有关图8中与图1、5相同的部分，标记与图1、5相同的符号，省略说明。
本方式的泄漏检查装置700由空气压力装置200和判定装置800构成。空气压力装置200的构成与所述的目前构成或第一实施方式的构成相同，故省略说明。本实施方式的判定装置800与第一实施方式的判定装置600的不同点为：被CPU304读入的标准值测定程序、检查值测定程序、波形比运算程序及异常判定程序的内容不同。图10将这些程序设定成了标准值测定程序806D、检查值测定程序806E、波形比运算程序806F及异常判定程序806G。
本实施方式的异常检测方法还具有如下特征，利用在实施泄漏检查之前存在的稳定期间T2求出波形比，根据波形比K的值判定泄漏检查装置700或被检查体的异常。
图11是例示用于求出本实施方式的波形比K的测定条件的曲线。在此，纵轴表示被检查体A或B的内部和基准箱207的内部的压差，横轴表示时间。图11所示的曲线X-1表示校正过程的压差特性，曲线X-2表示检查过程的压差特性。另外，线C表示被检查体A或B的内部和基准箱207的内部的压差中因被检查体有泄漏引而产生的压差。以下，一边适当引用该图，一边说明本方式的异常检测方法。
(校正过程)
本方式的异常检测方法也包括校正过程和检查过程。
校正过程与第一实施方式一样，将没有泄漏的、作为标准的被检查体A或B的任一个(第一被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。
在该状态下，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3及排气期间T4的各动作。另外，这些各期间的动作的控制与第一实施方式相同。
在加压期间T1，与第一实施方式相同，对被检查体A或被检查体B的任一个(第一被检查体)的内部和基准箱207的内部施加空气压力。该状态继续到加压期间T1结束，其后将两内部的空气密封。
接着，在稳定期间T2，测定第一被检查体即被检查体A或被检查体B的内部和基准箱207的内部之间产生的压差。在本实施方式中，计测在加压期间T1(包括对第一被检查体的内部进行加压的过程和将其内部空气密封的过程)的结束时刻和从该结束时刻起经过规定期间的时刻之间产生的、第一被检查体即被检查体A或被检查体B的内部的压力变化值B1，且将该压力变化值B1存储于RAM306。本实施方式的例子中，设该规定期间＝稳定期间T2，在稳定期间T2的结束时刻测定压力变化值B1(图11的曲线X-1)。另外，所谓本实施方式的“压力变化值”是指施加了空气压的被检查体A或B内部的空气压和基准箱207内部的空气压的压差的变化值。
另外，由校正过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制通过标准值测定成形806D被CPU304读入而构成的标准值测定装置进行。另外，将压力变化值B1存储于RAM306的处理，通过测定值存储装置进行控制。
检查期间T3及排气期间T4的动作与所述的相同，故省略说明。
(检查过程)
检查是过程只是对作为泄漏检查对象的被检查体的数量进行重复。
检查过程与第一实施方式相同，将作为泄漏被检查体A或B的任一个(第二被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。
在该状态下，与校正过程一样，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3及排气期间T4的各动作。另外，检查期间T3及排气期间T4的动作与所述的相同，故省略说明。以下，对检查过程中的加压期间T1及稳定期间T2的动作进行说明。
加压期间T1与校正过程一样，对第二被检查体即被检查体A或B的内部和基准箱207的内部进行加压，在加压期间T1结束的时刻，分别将这些内部的空气密封。
接着，在稳定期间T2测定第二被检查体即被检查体A或B的内部和基准箱207的内部之间产生的压差。在本实施方式中，计测在加压期间T1(包括对第二被检查体的内部进行加压的过程和将其内部的空气密封的过程)的结束时刻和从该结束时刻起经过规定期间(与校正过程的规定期间相同)的时刻之间产生的、第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B′，且将该压力变化值B′存储于RAM306。本实施方式的例子设该规定期间＝稳定期间T2，在稳定期间T2的结束时刻测定压力变化值B′(参照图11的曲线X-2)。
另外，在检查过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制通过检查值测定程序806E被CPU304读入而构成的检查值测定装置进行。另外，将压力变化值B′存储于RAM306的处理通过测定值存储装置进行控制。
接着，波形比运算程序806F被CPU304读入而构成的波形比运算装置，由RAM306读入压力变化值B1、B′，并将波形比K设为K＝B′/B1进行运算。计算出的波形比K存于RAM306。
另外，压力变化值B′中因第二被检查体的泄漏而引起的变化值成分
Figure S2007800023270D00291
Figure S2007800023270D00292
(参照图11的线C)。在稳定期间T2的结束时刻测定的压力变化值B1′包括因该第二被检查体的泄漏引起的压力变化值成分ΔC。在检查过程中，第二被检查体即被检查体A或被检查体B有无泄漏不确定。在第二被检查体多少存在泄漏的情况下，为ΔC＞0，在第二被检查体没有泄漏的情况下，为ΔC＝0。因此，无论何种情况，只要泄漏检查装置正常进行动作，则B1≤B1′成立。当适用波形比K时，则
K＝B′/B1≥1
接着，异常判定成形806G被CPU304读入而构成的异常判定装置由RAM306读入波形比K，在波形比K的值不足1的情况下，即压力变化值B1、B′表示B1＞B1′的情况下，判定为泄漏检查装置的动作异常。
即，该波形比K将表示在各检查过程计测出的压差变化的曲线X-2(图1)是否与表示在校正过程计测出的压差变化的曲线X-1近似作为指标被利用。K＝1时，可以说检查过程的曲线X-2与校正过程的曲线X-1近似。可以说波形比K的值离1越远，检查过程的曲线X-2离校正过程的曲线X-1越远，泄漏检查装置引起误动作的可能性越高。
例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(1)所示，在以不使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，或不打开密封阀204A及204B状态进行泄漏检查时，不对被检查体及基准箱207施加空气压力，因此测定值为
Figure S2007800023270D00293
Figure S2007800023270D00294
波形比K也成为
Figure S2007800023270D00295
因此，异常判定装置能够以满足B1＞B1′为条件，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”。该判定结果由异常显示器309显示。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(2)所示，在以三通电磁阀203和密封阀204A、204B一起正常进行动作、切换阀206A、206B均关闭的状态执行泄漏检查时，压力变化值B1′及B2′大致为0。这是由于被检查体A或B的内部空间通过切换阀206A或206B而由压差计205进行测定的空间遮断，仅空气压力供给路径内部的隔热变化在短时间内收束。
图12是表示在误动作的例子(2)的状态下测定的、被检查体内部和基准箱207内部的压差随时间变化的曲线X-3和所述的曲线X-1的图。如图12的曲线X-3所示，压力变化值B1′大致为0。其结果是，波形比运算装置算出的波形比
Figure S2007800023270D00296
异常判定装置不论泄漏检查的结果如何，均以满足B1＞B1′为条件，判定为泄漏检查装置有异常，并将该判定结果用异常显示器309显示。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(3)所示，在压差计205不能进行动作的情况下，在检查过程测定的压力变化值B1′为0，因此波形比运算装置算出的波形比
Figure S2007800023270D00301
异常判定装置无论泄漏检查结果如何，均以B1＞B1′为条件，判定为泄漏检查装置有异常，且使异常显示器309显示泄漏检查装置为异常。
另外，在检查过程中，当以密封阀204A、204B的任一方关闭的状态使三通电磁阀203的口X-Y之间导通时，如以前说明的特公平7-101193号公报(专利文献2)所示，误判定为有泄漏，该判定结果由泄漏判定显示器308显示。但是，该误判定实际上无论被检查体没有泄漏，而做出有泄漏的误判定，因此，实际危害少。
另外，本发明不限定于所述的实施方式。例如，在所述的实施方式中，异常判定装置以满足B1＞B1′为条件，判定为泄漏检查装置有异常。但是，例如，也考虑因压差计205的检测灵敏度下降导致B1＞B1′的关系的情况。这种情况下，只要压差计205的检测灵敏度的下降为允许范围内，则也有时最好不判定泄漏检查装置有异常。灵敏度的下降例如在可以允许到比正常时下降30％时，设定波形比K为：
K＝B1′/B1＞0.7
如果K超过0.7，则也可以进行判定为正常动作范围的设定。
另外，也可以为能够任意设定判定为异常的阈值δ的构成。这种情况下，异常判定装置判定在B1′-B1＜δ时判定为泄漏检查装置异常。
在此，如果泄漏检查装置为正常的状态，则满足B1′-B1≥0。因而，泄漏检查装置在正常的状态下，最小的B1′为B1′＝B1。
另外，利用泄漏检查装置的异常进行检查时，压力变化值B1′成为B1′＝0时，满足
B1′-B1＝-B1
因此，可设定的阈值δ的范围成为：
0≥δ＞-B1
当将这些一般化时，异常判定装置以满足γ·B1+δ＞B1′(γ为常数)为条件，判定为泄漏检查装置有异常。另外，γ的可设定的范围为γ＞0。γ的上限没有特别限定，其根据计测器的特性或被检查体等适宜设定。但是，例如为了只是避免压差计205的检测灵敏度下降引起的误判定，只要在0＜γ≤1的范围内设定γ即可。
另外，在本实施方式中，虽然设规定期间等于稳定期间T2，在稳定期间T2的结束时刻测定了压力变化值B1′、B1，但也可以为如下构成：设规定期间小于稳定期间T2，在从加压期间T1的结束时刻经过该规定时间的时刻测定压力变化值B1′、B1。
(第五实施方式)
对该发明的第五实施方式进行说明。
第五实施方式为将本发明的第五、六方式应用于示压式的泄漏检查装置的实施方式。下面，以与到目前为至叙述的实施方式的不同点为中心进行说明。
图13是表示第五实施方式的泄漏检查装置710结构的图。另外，有关图13中与图1、3、8相同的部分，标记与图1、3、8相同的符号，省略说明。
本实施方式的泄漏检查装置710由空气压力装置400和判定装置810构成。空气压力装置400的构成与所述的目前构成或第二实施方式的构成相同，故省略说明。本方式的判定装置810与第四实施方式的判定装置800的不同点为替代可变增益放大器301而具备所述的可变增益放大器301A。
本实施方式的异常检测方法还具有如下特征，利用在实施泄漏检查之前存在的稳定期间T2求出波形比，根据波形比K的值判定泄漏检查装置710或被检查体的异常。
下面，说明本方式的异常检测方法。
(校正过程)
本实施方式的异常检测方法也包括校正过程和检查过程。
校正过程与第一实施方式一样，将没有泄漏的、作为标准的被检查体A或B的任一个(第一被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。
在该状态下，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3及排气期间T4的各动作。另外，这些各期间的动作的控制与第一实施方式相同。
在加压期间T1，与第一实施方式相同，对被检查体A或被检查体B的任一个(第一被检查体)的内部施加空气压力。该状态继续到加压期间T1结束，其后将第一被检查体内部的空气密封。
接着，在稳定期间T2，测定第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力。本实施方式中，计测在加压期间T1(包括对第一被检查体的内部进行加压的过程和将其内部空气密封的过程)的结束时刻和从该结束时刻起经过规定期间的时刻之间产生的、第一被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B1，且将该压力变化值B1存储于RAM306。本实施方式的例子中，设该规定期间等于稳定期间T2，在稳定期间T2的结束时刻测定压力变化值B1。另外，所谓本实施方式的“压力变化值”是指施加了空气压力的被检查体A或B内部的压力的变化值。
另外，在校正过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制通过标准值测定装置进行。将压力变化值B1存储于RAM306的处理，通过测定值存储装置进行控制。
检查期间T3及排气期间T4的动作与所述的相同，故省略说明。
(检查过程)
检查过程只是对作为泄漏检查对象的被检查体的数量进行重复。
检查过程与第一实施方式相同，将作为泄漏被检查体A或B的任一个(第二被检查体)与连接夹具208A或208B的任一个连接。
在该状态下，与校正过程一样，进行加压期间T1、稳定期间T2、检查期间T3及排气期间T4的各动作。另外，检查期间T3及排气期间T4的动作与所述的相同，故省略说明。以下，对检查过程中的加压期间T1及稳定期间T2的动作进行说明。
加压期间T1与校正过程一样，对第二被检查体即被检查体A或B的内部进行加压，在加压期间T1结束的时刻，将这些内部的空气密封。
接着，在稳定期间T2测定第二被检查体即被检查体A或B的内部的压力。
在本实施方式中，测定在加压期间T1(包括对第二被检查体的内部进行加压的过程和将其内部的空气密封的过程)的结束时刻和从该结束时刻经过规定期间(与校正过程的规定期间相同)的时刻之间产生的、第二被检查体即被检查体A或被检查体B内部的压力变化值B′，且将该压力变化值B′存储于RAM306。本实施方式的例子中，设该规定期间等于稳定期间T2，在稳定期间T2的结束时刻测定压力变化值B′。
另外，在检查过程的稳定期间T2进行的计测处理的控制通过检查值测定装置进行。另外，将压力变化值B′存储于RAM306的处理通过测定值存储装置进行控制
接着，波形比运算程序806F被CPU304读入而构成的波形比运算装置由RAM306读入压力变化值B1、B1′，设波形比K为K＝B1′/B1进行运算。计算出的波形比K存于RAM306。
接着，与第四实施方式一样，异常判定装置在由RAM306读入波形比K、波形比K的值不足1的情况下，即压力变化值B1、B1′表示为B1＞B1′的情况下，判定为泄漏检查装置的动作异常。
例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(1)所示，在以不使三通电磁阀203的口X-Y之间导通，或不打开密封阀204状态进行泄漏检查时，不对被检查体施加空气压力，因此
Figure S2007800023270D00331
波形比K也成为
Figure S2007800023270D00332
因此，异常判定装置能够以满足B1＞B1′为条件，判定为“泄漏检查装置进行了误动作”。该判定结果由异常显示器309显示。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(2)所示，在以三通电磁阀203和密封阀204一起正常进行动作、切换阀206A、206B均关闭的状态执行泄漏检查时，压力变化值B1′及B2′大致为0。这是由于被检查体A或B的内部空间通过切换阀206A或206B而由压差计209进行测定的空间遮断，仅空气压力供给路径内部的隔热变化在短时间内收束。该情况下，压力变化值B1′及B2′大致为0。其结果是，波形比运算装置算出的波形比异常判定装置不管泄漏检查结果如何，均以满足B1＞B1′为条件，判定为泄漏检查装置有异常，且由异常显示器309显示该判定结果。
另外，例如，如所述的泄漏检查装置的误动作的例子(3)所示，在压差计205不能进行动作的情况下，在检查过程测定的压力变化值B1′为0，因此波形比运算装置算出的波形比
Figure S2007800023270D00334
异常判定装置不管泄漏检查结果如何，均以满足B1＞B1′为条件，判定为泄漏检查装置异常，且由异常显示器309显示泄漏检查装置为异常。
另外，本实施方式不限于所述的实施方式。例如，在所述的实施方式中，异常判定装置以满足B1＞B1′为条件，判定为泄漏检查装置有异常。但是，如第四实施方式说明的那样，异常判定装置也可以以满足γ·B1+δ＞B1′(γ为常数)为条件，判定泄漏检查装置有异常。
另外，本实施方式中，设定规定期间等于稳定期间T2，在稳定期间T2的结束时刻测定压力变化值B1′、B2′，但也可以为如下构成：设定规定期间小于稳定期间T2，在加压期间T1的结束时刻起经过该规定时间的时刻测定压力变化值B1′、B2′。
另外，各实施方式中所述的程序可预先存储于可通过计算机读取的记录介质。作为可以通过计算机读取的记录介质，例如可以是磁记录装置、光盘、光磁记录介质、半导体存储器等这样的介质。具体地说，例如，作为磁存储装置，可以使用硬盘装置、软盘、磁带等；作为光盘，可以使用DVD(DigitaleVersatile Disc)、DVD-RAM(Random Access Memory)、CD-ROM(CompactDisc Read Only Memory)、CD-R(Recordable)/RW(ReWritable)等；作为光磁记录介质，可以使用MO(Magneto-Optical disc)等；作为半导体内存，可以使用EEP-ROM(Electronically Erasable and Programmable-OnlyMemory)等。
另外，该程序的流通例如通过销售、转让、出借记录有该程序的DVD、CD-ROM等便携式型记录介质而进行。另外，也可以为如下构成：将该程序存于服务器的存储装置中，通过网络由服务器将该程序传输到其他的计算机，由此使该程序流通。
执行这样的程序的计算机，例如，首先是暂时将存储于可擦写型记录介质的程序或由服务器输送的程序存储于自己的存储装置。然后，在执行处理时，该计算机读取存储于自己的记录介质中的程序，执行按照读取的程序的处理。另外，作为该程序的其他的执行方式，计算机也可以从便携式记录介质中直接读取程序，执行按照该程序的处理，另外，也可以在每次由服务器向该计算机输送程序时，逐次执行按照接受的程序的处理。另外，也可以不通过服务器向该计算机输送程序，利用只通过执行指示和结果取得实现处理功能的所谓ASP(Application Service Provider)型的服务执行所述的处理。另外，本实施方式的程序中包括供电子计算机处理之用的信息，即遵循程序标准的信息(不是相对于计算机的直接的指令，但具有规定计算机的处理性质的数据等)。
另外，所述的各实施方式中，也可以在计算机上通过执行规定的程序而构成的部分的至少一部分由硬件实现。
工业上的可利用性
利用该发明的泄漏检查装置的异常检测方法及使用该异常检测方法进行动作的泄漏检查装置，例如可以在各种容器制造公司等中有效运用。

Claims (16)

1.一种泄漏检查装置的异常检查方法，该泄漏检查装置在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据该被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏，其中，
该异常检查方法包括校正过程和检查过程，
所述校正过程包括：
对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；
密封所述第一被检查体内部的空气的过程；
计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的第一时刻之间产生的所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程；
计测在所述第一时刻和从该第一时刻起再经过所述规定时间的第二时刻之间产生的所述第一被检查体内部的压力变化值B2，并将该压力变化值B2存储于存储部的过程，
所述检查过程包括：
对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；
密封所述第二被检查体内部的空气的过程；
计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的第三时刻之间产生的所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，将该压力变化值B1′存储于存储部的过程；
计测在所述第三时刻和从该第三时刻起再经过所述规定时间的第四时刻之间产生的所述第二被检查体内部的压力变化值B2′，并将该压力变化值B2′存储于存储部的过程；
设波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)并进行运算的过程；
利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
2.一种泄漏检查装置的异常检查方法，该泄漏检查装置在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏，其中，
该异常检查方法包括校正过程和检查过程，
所述校正过程包括：
对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；
密封所述第一被检查体内部的空气的过程；
求出从密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻到经过第一规定时间的第一时刻的、与所述第一被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1，并将该微分值BB1存储于存储部的过程；
求出从所述第一时刻到再经过第二规定时间的第二时刻的、与所述第一被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2，并将该微分值BB2存储于存储部的过程，
所述检查过程包括：
对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；
密封所述第二被检查体内部的空气的过程；
求出从密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻到经过所述第一规定时间的第三时刻的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1′，并将该微分值BB1′存储于存储部的过程；
计测从所述第三时刻到再经过所述第二规定时间的第四时刻的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2′，并将该微分值BB2′存储于存储部的过程；
设波形比K＝(BB1′-BB2′)/(BB1-BB2)并进行运算的过程；
利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
3.一种泄漏检查装置，其在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏，其中，
该泄漏检查装置包括：
空气压力源，其经由空气压力供给路径与所述被检查体连接，并对该被检查体的内部进行加压；
阀门，其可以开闭，且存在于所述空气压力供给路径的中途；
计测器，其计测所述被检查体内部的压力；
处理机；
存储部，其存储由所述计测器计测的计测值，
所述处理机控制执行如下过程：
打开所述阀门，对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；
关闭所述阀门，密封所述第一被检查体内部的空气的过程；
由所述计测器计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的第一时刻之间产生的、所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于所述存储部的过程；
由所述计测器计测在所述第一时刻和从该第一时刻起再经过所述规定时间的第二时刻之间产生的、所述第一被检查体内部的压力变化值B2，并将该压力变化值B2存储于所述存储部的过程；
打开所述阀门，对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程，
关闭所述阀门，密封所述第二被检查体内部的空气的过程，
由所述计测器计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的第三时刻之间产生的、所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，并将该压力变化值B1′存储于所述存储部的过程；
由所述计测器计测在所述第三时刻和从该第三时刻起再经过所述规定时间的第四时刻之间产生的、所述第二被检查体内部的压力变化值B2′，并将该压力变化值B2′存储于所述存储部的过程，
且所述处理机执行如下过程：
设波形比K＝(B1′-B2′)/(B1-B2)并进行运算的过程；
利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
4.如权利要求3所述的泄漏检查装置，其中，
所述计测器为压差计，
所述压力变化值B1、B2为所述第一被检查体与基准箱的内部之间的压差的变化值，所述压力变化值B1′、B2′为所述第二被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的变化值。
5.如权利要求3所述的泄漏检查装置，其中，
所述计测器为压力计，
所述压力变化值B1、B2为相对于大气压力的所述第一被检查体内部压力的变化值，所述压力变化值B1′、B2′为相对于大气压力的所述第二被检查体的内部压力的变化值。
6.如权利要求3所述的泄漏检查装置，其中，
所述第二被检查体为铸造物，
所述处理机在所述波形比K为与1相比大于规定值以上的情况下，判定为所述第二被检查体的内壁有气孔。
7.如权利要求3所述的泄漏检查装置，其中，
所述处理机根据所述第二被检查体内部的空气压力变化量，判定该第二被检查体是否有泄漏，
在判定为所述波形比K为0～规定值以内时，
判定为所述空气压力供给路径或所述阀门或所述计测器有异常。
8.一种泄漏检查装置，其在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏，其中，
该泄漏检查装置包括：
空气压力源，其经由空气压力供给路径与所述被检查体连接，并对该被检查体的内部进行加压；
阀门，其可以开闭，并存在于所述空气压力供给路径的中途；
计测器，其计测所述被检查体内部的压力；
处理机；
存储部，其存储由所述计测器计测的计测值，
所述处理机控制执行如下过程：
打开所述阀门，对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；
关闭所述阀门，密封所述第一被检查体内部的空气的过程；
求出从密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻到经过第一规定时间的第一时刻之间的、与所述第一被检查体的内部压力时间有关的微分值BB1，并将该微分值BB1存储于存储部的过程；
求出从所述第一时刻起到再经过第二规定时间的第二规定时刻的、与所述第一被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2，并将该微分值BB2存储于存储部的过程；
打开所述阀门，对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程，
关闭所述阀门，密封所述第二被检查体内部的空气的过程，
求出从密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻到经过所述第一规定时间的第三时刻之间的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB1′，并将该微分值BB1′存储于存储部的过程，
求出从第三时刻起到再经过所述第二规定时间的第四时刻的、与所述第二被检查体的内部压力的时间有关的微分值BB2′，并将该微分值BB2′存储于存储部的过程，
且所述处理机执行如下过程：
设波形比K＝(BB1′-BB2′)/(BB1-BB2)并进行运算的过程；
利用所述波形比K的值判定动作异常的过程。
9.如权利要求8所述的泄漏检查装置，其中，
所述计测器为压差计，
所述微分值BB1、BB2为所述第一被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的微分值，所述微分值BB1′、BB2′为所述第二被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的微分值。
10.如权利要求8所述的泄漏检查装置，其中，
所述计测器为压力计，
所述微分值BB1、BB2为相对于大气压力的所述第一被检查体的内部压力的微分值，所述微分值BB1′、BB2′为相对于大气压力的所述第二被检查体的内部压力的微分值。
11.如权利要求8所述的泄漏检查装置，其中，
所述第二被检查体为铸造物，
所述处理机在所述波形比K为与1相比大于规定值以上的情况下，判定为所述第二被检查体内有气孔。
12.如权利要求8所述的泄漏检查装置，其中，
所述处理机根据所述第二被检查体内部的空气压力变化量，判定该第二被检查体是否有泄漏，
在判定为所述波形比K为0～规定值以内时，
判定所述空气压力供给路径或所述阀门或所述计测器有异常。
13.一种泄漏检查装置的异常检查方法，该泄漏检查装置在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏，其中，
该异常检查方法包括校正过程和检查过程，
所述校正过程包括：
对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；
密封所述第一被检查体内部的空气的过程；
计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的时刻之间产生的、所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程，
所述检查过程包括：
对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；
密封所述第二被检查体内部的空气的过程；
计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的时刻之间产生的、所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，并将该压力变化值B1′存储于存储部的过程；
在所述压力变化值B1、B1′相对于常数γ、δ表示为γ·B1+δ＞B1′时，判定为泄漏检查装置的动作异常的过程。
14.一种泄漏检查装置，其在使被检查体内部的空气压力比该被检查体外部的气压高的状态下，计测该被检查体内部的空气压力变化，根据被检查体内部的空气压力变化量检查该被检查体是否有泄漏，其中，
该泄漏检查装置包括：
空气压力源，其经由空气压力供给路径与所述被检查体连接，并对该被检查体的内部进行加压；
阀门，其可以开闭，且存在于所述空气压力供给路径的中途；
计测器，其计测所述被检查体内部的压力；
处理机；
存储部，其存储由所述计测器计测的计测值，
所述处理机控制执行如下过程：
打开所述阀门，对作为标准的所述被检查体即第一被检查体的内部进行加压的过程；
关闭所述阀门，密封所述第一被检查体内部的空气的过程；
由所述计测器计测在密封所述第一被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过规定时间的时刻之间产生的、所述第一被检查体内部的压力变化值B1，并将该压力变化值B1存储于存储部的过程；
打开所述阀门，对进行泄漏检查的所述被检查体即第二被检查体的内部进行加压的过程；
关闭所述阀门，密封所述第二被检查体内部的空气的过程；
由所述计测器计测在密封所述第二被检查体内部空气过程的结束时刻和从该结束时刻起经过所述规定时间的时刻之间产生的、所述第二被检查体内部的压力变化值B1′，并将该压力变化值B1′存储于存储部的过程，
且所述处理机执行如下过程：
在所述压力变化值B1、B1′相对于常数γ、δ表示为γ·B1+δ＞B1′的情况下，判定为泄漏检查装置的动作异常的过程。
15.如权利要求14所述的泄漏检查装置，其中，
所述计测器为压差计，
所述压力变化值B1为所述第一被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的变化值，所述压力变化值B1′为所述第二被检查体的内部与基准箱的内部之间的压差的变化值。
16.如权利要求14所述的泄漏检查装置，其中，
所述计测器为压力计，
所述压力变化值B1为相对于大气压力的所述第一被检查体的内部压力的变化值，所述压力变化值B1′为相对于大气压力的或所述第二被检查体的内部压力的变化值。
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10031042B2 (en) * 2009-08-18 2018-07-24 Innovative Pressure Testing, Llc System and method for detecting leaks
US8464590B2 (en) * 2010-09-17 2013-06-18 Cameron International Corporation Pressure sensor configuration for pressurized tank
US8551214B2 (en) 2011-03-08 2013-10-08 Ford Global Technologies, Llc Fuel system diagnostics
JP5842271B2 (ja) * 2011-09-30 2016-01-13 オムロン株式会社 検知装置、検知方法、プログラムおよび記録媒体
CN102564500B (zh) * 2011-11-09 2013-11-13 北京爱社时代科技发展有限公司 一种压缩空气系统用气量的估算方法
TW201411109A (zh) * 2012-09-14 2014-03-16 Askey Computer Corp 防水測試系統及其方法
CN102928178B (zh) * 2012-10-31 2014-12-24 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 一种压差密封测试装置及其测试方法
CN103076144B (zh) * 2012-12-28 2016-01-20 厦门顶科电子有限公司 一种用于继电器的密封检漏方法及其装置
WO2015057226A1 (en) 2013-10-17 2015-04-23 Innovative Pressure Testing, Llc System and method for a benchmark pressure test
AU2013403285A1 (en) 2013-10-17 2016-04-28 Innovative Pressure Testing, Llc System and method for a benchmark pressure test
JP6425206B2 (ja) * 2014-09-10 2018-11-21 島津エミット株式会社 ヘリウムリークディテクタ
CN104535278A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 珠海凌达压缩机有限公司 工件气密性的检测方法和装置
ES2550689B1 (es) * 2015-03-12 2016-07-04 Europlus De Hidrocarburos, S.L. Método para detección y medida de fugas en tanques y sistema para puesta en práctica de dicho método
CN106525348B (zh) * 2016-11-29 2019-05-17 维沃移动通信有限公司 一种气密性检测方法及终端
JP6757696B2 (ja) * 2017-04-21 2020-09-23 株式会社荏原製作所 漏れ検査方法、およびこの漏れ検査方法を実行するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
DE102017110112A1 (de) * 2017-05-10 2018-11-15 Grohe Ag Verfahren zum Detektieren einer Leckage in einer Flüssigkeitsleitung sowie Wasserzähler mit einer Steuerung zur Durchführung des Verfahrens
CN107588910A (zh) * 2017-08-02 2018-01-16 芜湖职业技术学院 电池检漏装置及检漏方法
IT201700117930A1 (it) * 2017-10-18 2019-04-18 Comecer Spa Metodo e sistema per rilevare le perdite di un contenitore
JP2021110594A (ja) * 2020-01-08 2021-08-02 株式会社コスモ計器 ガスリーク検知器の検査方法、ガスリーク検査方法、ガスリーク検知器
JP6956989B1 (ja) * 2021-02-12 2021-11-02 東京瓦斯株式会社 ガス配管気密検査装置、ガス配管気密検査システム及びプログラム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1611924A (zh) * 2003-10-30 2005-05-04 通电株式会社 漏液传感器及漏液检测系统
CN1704744A (zh) * 2004-06-02 2005-12-07 旺宏电子股份有限公司 反应腔室泄漏的检测方法以及蚀刻/沉积制程

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0128329B2 (zh) * 1980-10-24 1989-06-02 Noreku Shisutemu Ab
US4441357A (en) * 1982-03-04 1984-04-10 Meadox Instruments, Inc. Pressure monitoring and leak detection method and apparatus
US4811252A (en) 1986-04-04 1989-03-07 Kabushiki Kaisha Kosumo Keiki Leakage test equipment
US4715214A (en) * 1986-10-03 1987-12-29 S. Himmelstein And Company Leak tester
GB8707231D0 (en) * 1987-03-26 1987-04-29 Analytical Instr Ltd Temperature compensation in pressure leak detection
JPH07101193B2 (ja) 1990-12-25 1995-11-01 株式会社コスモ計器 自己診断機能付差圧式リークテスタ
JP3375677B2 (ja) 1992-08-28 2003-02-10 善美 星野 用紙綴じ具
JP3382727B2 (ja) * 1994-08-04 2003-03-04 長野計器株式会社 漏れ試験装置
JP3643185B2 (ja) * 1996-08-23 2005-04-27 本田技研工業株式会社 巣穴等の検査装置
SE509087C2 (sv) * 1997-04-30 1998-12-07 Volvo Ab Förfarande och anordning för täthetsmätning i ett tanksystem
JPH11118657A (ja) * 1997-10-21 1999-04-30 Cosmo Keiki:Kk ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置
JP2005077310A (ja) * 2003-09-02 2005-03-24 Nagano Keiki Co Ltd 気体測定装置及びその自己診断方法
JP4087773B2 (ja) 2003-09-29 2008-05-21 日産自動車株式会社 洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置
JP4788920B2 (ja) * 2006-03-20 2011-10-05 日立金属株式会社 質量流量制御装置、その検定方法及び半導体製造装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1611924A (zh) * 2003-10-30 2005-05-04 通电株式会社 漏液传感器及漏液检测系统
CN1704744A (zh) * 2004-06-02 2005-12-07 旺宏电子股份有限公司 反应腔室泄漏的检测方法以及蚀刻/沉积制程

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2005-106539A 2005.04.21
JP特开2005-77310A 2005.03.24
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