200938824 . 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於將檢查被檢查體的有無洩漏的洩漏檢査 裝置的異常予以檢測出的方法及實施該方法的洩漏檢查裝 置。 【先前技術】 Φ 利用空氣壓進行例如氣體流量計，或汽車的燃料槽， 引擎的外殼等的不可有洩漏的容器或機構零件等的檢查有 無洩漏的洩漏裝置被實用化（例如，參照專利文獻1 )。 在傳統上所使用的洩漏檢查裝置，存在著將空氣壓同時地 施加於上述的容器或機構零件等的被檢查體的內部，及沒 有洩漏的基準槽內部，藉由兩者的內部間是否發生壓力差 來判定在被檢查體是否有洩漏的型式（以下將該型式稱爲 差壓式洩漏檢查裝置），及僅將空氣壓施加於被檢查體內 Q 部，藉由在所定時間的範圍內是否變化該空氣壓來判定在 被檢查體是否有洩漏的型式（以下稱爲錶壓力式洩漏檢查 裝置）。 • (傳統的差壓式洩漏檢查裝置） 第1圖是表示傳統的差壓式洩漏檢查裝置的洩漏檢查 裝置100的構成圖式。 差壓式洩漏檢查裝置100是藉由空氣壓裝置200與判 定裝置300所構成 200938824 表示於第1圖的空氣壓裝置20 0是藉由進行被檢查體 內部的加壓的壓縮機等的空氣壓源20 1，及調整從該空氣 壓源201所吐出的空氣量，並將空氣壓源201施加於外部 的空氣壓調整成所定空氣壓的調壓閥202，及可將在調壓 _ 閥202所調壓的空氣壓切換成爲施加於被檢查體A，B側 、及基準槽207側的狀態（埠X-Y間的導通狀態），及將被 檢查體A，B側及基準槽207側的空氣排出至大氣的狀態 Φ (埠Y-Z間的導通狀態）的三通電磁閥203，及在將空氣 壓施加於被檢査體A或B的內部及基準槽207的內部施加 於空氣壓的狀態下用以封閉此些內部的空氣的封閉閥 2 04 A，204B，及測定被檢查體A或B的內部與基準槽207 的內部之差壓的差壓計205，及將空氣壓切換施加於被檢 查體A與被檢查體B的任一方，而在更換一方的被檢查體 中作成可檢查另一方的被檢查體所用的切換閥206A， 206B，及基準槽207，及將空氣壓供應管路連接於被檢查 φ 體A及被檢查體B所用的連接工模208A，208B所構成。
又，空氣壓供應管路是指被連接於空氣壓源201的吐出口 ，而將空氣供應於被檢査體A，B或基準槽207所用的管 路。如第1圖所示地，在該空氣壓供應管路的途中，存在 ‘ 有上述調壓閥202，三通電磁閥203，封閉閥204A，204B » 切換閥 206A’ 206B°
判定裝置300是具備：將差壓計的輸出訊號予以放大 (可將增益切換成低增益狀態與高增益狀態）的可變增益 放大器301，及AD轉換器3 02，及藉由輸入埠303，CPU 200938824 (central processing unit ) 304，及 R〇M ( read-only memory ) 3 05 ’可寫入讀出的記憶體的RAN1 ( random access memory) 3 06及輸出埠307所構成的微電腦，及顯 示洩漏判定結果的顯示器等的洩漏判定顯示器308。 在該例的ROM305’將微電腦作爲動作定時發生手段 ' ’控制資訊生成手段’測定値記憶手段及洩漏判定手段， 分別記憶有進行動作所用的動作定時發生程式，控制資訊 0 生成程式’測定値記憶程式及洩漏判定程式。在起動微電 腦時，從ROM305讀出’作爲動作定時發生程式306A， 控制資訊生成程式306B，測定値記憶程式306b，洩漏判 定程式306C被記憶在RAM306。又，在圖中將「程式」 簡稱爲「PG」。被記憶在RAM 3 06的程式是被讀入在 CPU3 04 ’而CPU3 04是利用解讀，實行此些程式，功能作 爲上述各手段。 第2A圖至第2E圖是表示用以說明洩漏檢查裝置100 〇 的大槪動作的圖表。第2A圖是表示可變增益放大器301 的輸出値的時間變化的圖表。在第2A圖是將可變增益放 大器3 0 1的輸出値作爲縱軸，將時間作爲橫軸。又，第 2B圖是表示在加壓期間T1時成爲Η (高）狀態，而在它 '之外時成爲L (低）狀態的定時訊號C1的圖表。第2C圖 是表示在穩定期間Τ2時成爲Η狀態，而在它之外時成爲 L狀態的定時訊號C2的圖表。第2D圖是表示檢査期間 Τ3時成爲Η狀態，而在它之外時成爲L狀態的定時訊號 C3的圖表。第2Ε圖是表示在排氣期間Τ4之際成爲Η狀 200938824 態，而在它之外時成爲L狀態的定時訊號C4的圖表。在 第2B圖至第2E中，將各控制訊號的電壓作爲縱軸，而將 時間作爲橫軸。 空氣壓裝置200是在推移加壓期間T1，穩定期間T2 ' ，檢查期間T3，排氣期間T4的4個期間分別進行不相同 • 的動作。 在加壓期間T1，導通三通電磁閥203的埠X-Y之間 0 ，又分別導通封閉閥204A與204B。藉由此’起因於空氣 壓源201的動作的空氣壓施加於被檢查體A或被檢查體B 的任一內部與基準槽207的內部。 在穩定期間T2，遮斷封閉閥204A與204B。藉由此 ，空氣壓力施加於被檢查體A或被檢查體B的任一內部與 基準槽207的內部的狀態下，此些內部的空氣分別被封閉 。又，保持該狀態一定時間，穩定此些內部的空氣壓（除 去依空氣壓的隔熱變化的影響）。又，在穩定期間T2， 〇 可變增益放大器301被切換成低增益狀態。判定裝置300 是若在該狀態的可變增益放大器301的輸出値VM (第2A 圖）未達到設定値（NG )，則判定在被檢查體A或被檢 查體B「沒有大洩漏」。判定結果是被顯示在判定顯示器 308。在結束穩定期間T2的時機。可變增益放大器301的 輸出値是被復置成零，又可變增益放大器301被切換成高 增益的狀態，而移往至下一檢査期間T3。 在檢查期間T3，將從差壓計205所輸出的差壓値在 高增益狀態的可變增益放大器3 0 1被放大，而藉由從該可 200938824 變增益放大器30 1所輸出的放大値是否超越設定値（NG )來判定有無洩漏。判定結果是被顯示在洩漏判定顯示器 3 08。在穩定期間T2的期間，被檢查體A或被檢查體B 的任一內部與基準槽207的內部的空氣壓力是穩定。在檢 査期間T3。藉由檢驗在高增益狀態的可變增益放大器30 1 ' 被放大的差壓値，也可檢測出些微的差壓的變化。 在排氣期間T4，封閉閥204A，204B被打開，又，三 Q 通電磁閥203的埠Y-Z成爲導通的狀態。藉由此，被封入 於被檢查體A或被檢查體B的任一內部與基準槽207內部 的空氣從埠Z排氣至大氣，此些內部的空氣壓力成爲大氣 壓力相同。之後，結束檢查。 對於此些的各期間的切換，是例如如下地進行。首先 ，動作定時發生手段發生對應於現在期間的定時訊號C1 ，C2，C3，C4 (從第2A圖至第2E圖）。控制資訊生成 手段，是將動作定時發生手段所發生的定時訊號Cl，C2 〇 ，C3’ C4所表示的期間的動作，生成用以實行於三通電 磁閥203，封閉閥204A，204B，可變增益放大器301的控 制訊號。所生成的控制訊號，是從輸出埠307被輸出到三 通電磁閥203，封閉閥204A，204B，可變增益放大器301 。三通電磁閥203，封閉閥204A，204B，可變增益放大器 3 〇 1是依照控制訊號進行各期間的動作。 又，在差壓式洩漏檢査裝置100的基準槽207。從被 檢查體A或B，使用空氣的溫度穩定優異者。若在被檢查 體的內部與基準槽2〇7的內部施加測試壓力TP ,則即使 200938824 所供應的空氣溫度爲常溫，被檢查體與基準槽207的內部 溫度是也上昇（隔熱特性）。該上昇溫度是依存於測試壓 TP與所供應的空氣溫度。 在加壓期間T1的結束時機，被檢查體的內壓與基準 _ 槽207的內壓是相等之故，因而差壓是大約零。但是，基 ' 準槽207的空氣溫度穩定性是比被檢查體還優異之故’因 而關閉封閉閥204A，204B之後，基準槽207內者比被檢 Q 查體內者，空氣溫度較快穩定。結果，被檢查體內的空氣 溫度的變化出現成爲差壓變化。若被檢查體與基準槽207 沒有洩漏，則該差壓是隨著時間的經過之同時會衰減，不 久成爲一定的差壓値。此爲當關閉封閉閥204A，204B， 則即使在被檢查體等上沒有洩漏，也成爲發生被檢查體與 基準槽207的差壓的理由。 (習知的錶壓式洩漏檢査裝置） 〇 第3圖是表示習知的錶壓力式洩漏檢查裝置的洩漏檢 查裝置110的構成的圖式。又，在第3圖中針對於第1圖 的共通部分，使用與第1圖相同的符號。 錶壓力式的洩漏檢查裝置110是藉由空氣壓裝置400 ‘與判定裝置所構成。有關於判定裝置3 00，與差壓式洩漏 檢查裝置100的判定裝置相同之故，因而在此僅針對於空 氣壓裝置400的構成加以說明。 空氣壓裝置400是藉由空氣壓源201，及調壓閥202 ，及三通電磁閥203，及封閉閥204，及切換閥206A， 200938824 2 06B及連接工模208A，208B，及測定被檢查體A或被檢 查體B的內部壓力的壓力計2 09所構成。 第4A圖是表示從壓力計209所輸出的壓力測定値有 變化的情形的圖表。在第4A圖，將壓力計209的輸出値 採用爲縱軸，而將時間採用作爲橫軸。
• 在洩漏檢查裝置110中，在加壓期間T1將測試壓TP 施加於被檢查體A或被檢查體B的內部。在加壓期間T1 0 的結束時機關閉封閥閥204。當關閉封閉閥204之後，被 檢查體A或被檢查體B內部的空氣壓是藉由隔熱變化（藉 由加壓使得溫度上昇的被檢查體內部的空氣的熱徐徐地被 放出至被檢査體，而依降低該空氣的溫度降低的該空氣壓 的變化）開始徐徐地降低。 第4B圖是表示判定裝置3 00的可變增益放大器的輸 出波形的圖表。 可變增益放大器的輸出値是採用偏動値的測試壓TP ❹ ，與表示於第4A圖的壓力之相差，而放大該相差的値。 穩定期間T2，該可變增益放大器也與差壓式的洩漏檢查 裝置1 00的情形同樣，在低增益的狀態下進行動作，判定 裝置300是該可變增益放大器的輸出値達到設定値（NG 胃 ）的情形，而在被檢查體A或被檢查體B判定爲「有很大 的洩漏」。在穩定期間T2的期間未達到設定値NG時， 可變增益放大器的輸出被復置，使得該可變增益放大器被 切換成高增益的狀態，而移至檢查期間T3。 在檢查期間T3，判定裝置300的可變增益放大器是 -10- 200938824 在局增益的狀態下進行動作。在檢查期間T3之間，若對 應於壓力値的降低量的可變增益放大器的輸出値Μ不超過 設定値（N G ) ’則判定爲「沒有洩漏」而結束檢查。又 ，各期間的控制方法是與差壓式洩漏檢查裝置相同（從第 " 4C圖至第4F圖）。 (洩漏檢查裝置的錯誤動作） 0 上述的洩漏檢查裝置的各動作，是洩漏檢查裝置的各 部正常地進行動作時的動作。然而，有時會發生誤差動作 ，而仍未被檢測出該錯誤動作之下，仍繼續進行檢查，而 會有洩漏的被檢查體或沒有洩漏的被檢查體都被判定爲「 沒有洩漏」，或是有將被檢查體全體都判定爲「有洩漏」 之虞。 以下說明各部的錯誤動作的例子。 (1) 差壓式洩漏檢查裝置100(第1圖），若未導通 〇 三通電磁閥203的埠Χ-Υ之間，或仍未打開封閉閥204Α 及20 4Β的雙方，進行洩漏檢查。這時候，在被檢查體A 或被檢查體B的內部與基準槽20 7的內部均不會施加空氣 壓力。所以，此些兩內部的差壓是成爲零，而差壓計205 '的計測値也成爲零。結果，洩漏判定手段是會下達「沒有 洩漏」的錯誤判定之虞。 (2) 三通電磁閥203與封閉閥204A及204B都正常 地進行動作，推切換閥206A，206B都在關閉狀態下，差 壓式洩漏檢查裝置1〇〇(第1圖），仍進行洩漏檢查。通 -11 - 200938824 常’在空氣壓供應路沒有洩漏之故，因而這時候的差壓計 2 05的計測値成爲充分小。結果，洩漏判定手段是會下達 「沒有洩漏」的錯誤判定之虞。 與此同樣的錯誤動作是在錶壓力式洩漏檢查裝置110 ' (第3圖）也發生。 ( 3 )在差壓計205成爲不能動作的狀態下，作成差 壓式洩漏檢查裝置100進行洩漏檢查。這時候，差壓計 φ 205的輸出値是成爲零之故，因而洩漏判定手段是與被檢 查體A，B的狀況無關係會下達「沒有洩漏」的錯誤判定 之虞。 此種故障發生在錶壓力式洩漏檢查裝置110時，則壓 力計209的測定値是成爲零。這時候，洩漏判定手段是與 被檢査體A，B的狀況無關係會下達「沒有洩漏」的錯誤 之虞。 本案申請人是爲了解決上述的洩漏檢查裝置的缺點， G 提案著具有自我診斷功能的差壓式洩漏測試器（參照專利 文獻2 )。 在先前所提案的具有自我診斷功能的差壓式洩漏測試 器中，在開始檢查之前，在關閉封閉閥204 A與204B的任 —方的狀態下進行導通三通電磁閥203的埠X-Y之間的控 制，把這時所檢測出的差壓，可變增益放大器以低增益被 放大的値超過NG位準，則洩漏測試器判定爲正常。亦即 ，在封閉閥204A與204A的任一方關閉之狀態下，控制 成導通三通電磁閥203的埠X-Y之間，若三通電磁閥203 -12- 200938824 正 該 常 位 ' 被 的 〇 開 厂 號 9 〇 數 接 斷 於 別 檢 常地動作，則僅在被檢查體或基準槽207給予壓力。在 狀態下，若差壓計2〇5爲正常，而且判定裝置3 00爲正 ，即使低增益的放大感度，差壓的絕對値是也成爲NG 準以上之故，因而當然洩漏測試器爲正常的判定結果會 輸出。因此，這時候，若未輸出洩漏至被檢查體的主旨 判定結果，以此爲準，可判斷爲任一成爲不良。 專利文獻1:日本專利第1775588號公報 專利文獻2:日本特公平7-101193號公報 發明內容】 在被揭示於日本特公平7-101193號公報的方法，爲 始檢查時的些微時間進行自我診斷。該「些微時間」是 0-5秒鐘左右」的主旨，被記載於日本特公平7_101丨93 公報的〔0025〕。若工件數爲數1〇個至數100個左右 則該自我診斷所需的時間的影響是較小。然而隨著工件 變多’則該影響變大。因此，自我診斷所需時間是儘量 近於零較佳。 又’被揭示於日本特公平7-101193號公報的自我診 方法，是僅適用於差壓式的洩漏檢査裝置，而無法適用 錶壓力式洩漏檢查裝置。 本發明的第1目的是在於提供在自我診斷上不必費特 的時間的洩漏檢查裝置的異常檢測方法，及實施該異常 測方法的洩漏檢査裝置。 本發明的第2目的是在於提供不管差壓式或錶壓方式 -13- 200938824 ’都可實行異常檢測動作的洩漏檢查裝置的異常檢測方法 ，及實施該異常檢測方法的洩漏檢查裝置。 爲了解決上述的課題，作爲該發明的第1態樣，提案 一種異常檢測方法，是在將被檢查體內部的空氣壓作成比 該被檢査體外部的氣壓還高的狀態下計測該被檢查體內部 • 的空氣壓變化，藉由該被檢查體內部的空氣壓變化量，檢^ 測出檢查該被檢查體有否洩漏的洩漏檢查裝置的異常動作 0 的異常檢測方法，其特徵爲：包括校對過程與檢查過程， 上述校對過程是包括：加壓在成爲標準的上述被檢查體的 第1被檢查體內部的過程；及封閉上述第1被檢査體內部 的空氣的過程；及計測在封閉上述第1被檢查體內部的空 氣的過程的結束時機，及從該結束時機經過所定時間的第 1時機之期間所產生的上述第1被檢查體內部的壓力變化 値B 1，俾將該壓力變化値B1記憶在記憶部的過程；及計 測上述第1時機，及從該第1時機再經過上述所定時間的 G 第2時機之期間所產生的上述第1被檢查體內部的壓力變 化値B2，俾將該壓力變化値B2記憶在記憶部的過程，上 述檢查過程是包括：加壓在施以洩漏檢查的上述被檢查體 的第2被檢查體內部的過程；及封閉上述第2被檢查體內 '部的空氣的過程；及計測在封閉上述第2被檢查體內部的 空氣的過程的結束時機，及從該結束時機經過上述所定時 間的第3時機之期間所產生的上述第2被檢查體內部的壓 力變化値Β Γ，俾將該壓力變化値B 1 ’記憶在記憶部的過 程；及計測上述第3時機，及從該第3時機再經過上述所 -14- 200938824 定時間的第4時機之期間所產生的上述第1被檢查體內部 的壓力變化値B2 ’，俾將該壓力變化値B2 ’記憶在記憶部 的過程；及將波形比K運算作爲K= ( Β1 ’·Β2’）/ ( B1-B2 )的過程；及使用上述波形比Κ的値來判定動作異常的過 ' 程的方法。又，「計測」是定義爲包括測定物理量的情形 • 及從所測定的物理量算出某一値的情形的雙方的槪念。 在此，在校正過程所測定的壓力變化値的差距Β 1-Β2 n 比零還充分大，則在檢査過程中所測定的壓力變化値的差 距Bl’-B2’的値爲（Bl’-B2’）与0時，則波形比κ是成爲 Κ与0。波形比Κ爲Κ与0時，在檢査過程中，被預測爲空 氣壓未被施加於被檢査體，或是計測器有無法動作的情形 。藉由此，可判定洩漏檢查裝置中的空氣壓裝置系的動作 異常。 又，進行校對過程之後，對於複數第2被檢查體，使 可適用於各該檢查過程。又，在本發明的檢查過程中，洩 © 漏檢査方法中利用成爲必須的穩定期間來進行自我診斷。 所以，在本發明中不必在自我診斷上花費特別的時間。亦 即，不是爲了洩漏檢查裝置的自我診斷而花費特別的時間 之故，因而即使對於所有第2被檢查體實行洩漏檢査裝置 "的自我診斷與洩漏檢查，也在與習知的檢査時間同一時間 就可結束檢查。 又，在該方法中，因測定被檢查體內的壓力變化値來 進行檢查裝置的自我診斷，因此不被限定於差壓式洩漏檢 查裝置而也可適用於錶壓力式洩漏檢查裝置。 -15- 200938824 又，波形比K値爲比1還異常大時，則在校對過程所 測定的壓力變化値的差距（Β 1-Β2 )，與在檢査過程所測 定的壓力變化値的差距（Bl’-B2’）的關係是成爲（Β1-Β2 )<<(Β1’-Β2’） 〔 是比（Β1-Β2)還充分大 〕。從該狀況，可預測到在核對過程所測定成爲標準的第 1被檢查體，與在檢查過程所測定的實際測定對象的第2 被檢查體有異質的情形。此種第1被檢查體與第2被檢査 0 體爲異質的情形的預測是有效。洩漏檢查裝置是起因於被 檢查體的特質不相同，也會有錯誤該洩漏判定的情形。以 下說明其例子。 (4 )例如被檢查體爲鑄物時，不但未存在著從其內 壁貫通於外壁的孔，還在內壁形成有多數模穴，空氣對於 模穴的出入口細小，而存在於模穴內深部的容積較大的情 形。習知的差壓式的洩漏檢查裝置100(第1圖）進行此 種被檢查體的洩漏檢査時，從穩定期間Τ2 —直到檢查期 間Τ3有空氣徐徐地侵入至模穴內之故，因而隨著時間經 過，在差壓計205被計測的差壓値徐徐地變高，結果有判 定爲「有洩漏」的情形。未存在著對於外部之洩漏，本來 爲判定「沒有洩漏」者爲正確者，會成爲藉由存在內部模 穴而被判定爲「有洩漏」。此種錯誤判定是在習知的錶壓 力式的洩漏檢查裝置110也發生。 (5 )加壓期間Τ1及穩定期間Τ2的各時間長度是藉 由被檢查體的內容積所決定。擬多量地檢查某一內容積的 被檢査體時，加壓期間Τ 1及穩定期間Τ2是被設定成適用 -16- 200938824 於此些被檢查體的時間長度。該檢查中，偶爾混入有內容 積不相同的被檢查體時，則針對於該被檢查體會在不適當 的加壓期間T1及穩定期間T2施以檢查。 又，作爲本發明的第2態樣，提案一種異常檢測方法 ' ，是在將被檢查體內部的空氣壓作成比該被檢查體外部的 氣壓還高的狀態下計測該被檢査體內部的空氣壓變化，藉 由該被檢查體內部的空氣壓變化量，檢測出檢查該被檢查 0 體有否洩漏的洩漏檢查裝置的異常動作的異常檢測方法， 其特徵爲：包括校對過程與檢查過程，上述校對過程是包 括：加壓在成爲標準的上述被檢查體的第1被檢查體內部 的過程；及封閉上述第1被檢查體內部的空氣的過程；及 求出從封閉上述第1被檢查體內部的空氣的過程的結束時 機經過第1所定時間的第1時機之有關於上述第1被檢查 體的內部壓力的時間的微分値BB 1，俾將該微分値BB 1記 憶在記憶部的過程；及求出從上述第1時機再經過第2所 φ 定時間的第2時機之有關於上述第1被檢査體的內部壓力 的時間的微分値BB2，俾將該微分値BB2記憶在記憶部的 過程，上述檢查過程是包括：加壓在施以洩漏檢查的上述 被檢查體的第2被檢查體內部的過程；及封閉上述第2被 檢查體內部的空氣的過程；及求出從封閉上述第2被檢查 體內部的空氣的過程的結束時機經過上述第1所定時間的 第3時機之有關於上述第2被檢查體的內部壓力的時間的 微分値BB1’，俾將該微分値BB1’記憶在記憶部的過程； 及計測從上述第3時機再經過上述第2所定時間的第4時 -17- 200938824 機之有關於上述第2被檢査體的內部壓力的時間的微分値 BB2’，俾將該微分値BB2’記憶在記憶部的過程的方法。 在此，在校正過程所得到的微分値的差距BB1-BB2 比零還充分大，則在檢查過程中所測定的微分値的差距 ' BB1’-BB2,的値爲（BB1’-BB2,）与〇時，則波形比K是成 爲K4 0。波形比〖爲K与0時，在檢查過程中，被預測爲 空氣壓未被施加於被檢查體，或是計測器有無法動作的情 0 形。藉由此’可判定洩漏檢查裝置中的空氣壓裝置系的動 作異常。 又，進行校對過程之後，對於複數第2被檢查體，使 可適用於各該檢查過程。又，在本發明的檢查過程中，洩 漏檢査方法中利用成爲必須的穩定期間來進行自我診斷。 所以’在本發明中不必在自我診斷上花費特別的時間。亦 即’不是爲了洩漏檢査裝置的自我診斷而花費特別的時間 之故’因而即使對於所有第2被檢查體實行洩漏檢查裝置 〇 的自我診斷與洩漏檢查，也在與習知的檢查時間同一時間 就可結束檢查。 又’在該方法中，因測定被檢查體內的壓力微分値來 進行檢查裝置的自我診斷，因此不被限定於差壓式洩漏檢 查裝置而也可適用於錶壓力式洩漏檢查裝置。 又’波形比K値爲比1還異常大時，則在校對過程所 測定的微分値的差距（BB1-BB2 )，與在檢查過程所測定 的微分値的差距（BB1’-BB2，）的關係是成爲（ΒΒι_ΒΒ2 )<< (BB1’-BB2’）。從該狀況，可預測到在校對過程所 -18- 200938824 測定成爲標準的第1被檢查體，與在檢查過程所測定的實 際測定對象的第2被檢査體有異質的情形。 又，作爲本發明第3態樣，提案一種洩漏檢查裝置， 是在將被檢查體內部的空氣壓作成比該被檢查體外部的氣 壓還高的狀態下計測該被檢査體內部的空氣壓變化，藉由 該被檢查體內部的空氣壓變化量，來檢査該被檢查體有否 洩漏的洩漏檢査裝置，其特徵爲：包括：經由空氣壓供應 Q 路被連接於被檢查體，而加壓於該被檢查內部的空氣壓源 :及存在於空氣壓供應路的途中的可開閉的閥；及計測被 檢查體的內部壓力的計測器；及處理器；及貯存上述計測 器的計測値的記憶部，處理器是控制實行：打開閥，加壓 在成爲標準的被檢査體的第1被檢查體內部的過程；及關 閉上述閥，封閉第1被檢査體內部的空氣的過程；及將產 生在封閉第1被檢查體內部的空氣的過程的結束時機，及 從該結束時機經過所定時間的第1時機之期間的第1被檢 Ο 査體內部的壓力變化値B 1，計測於上述計測器，俾將該 壓力變化値B1記憶在記憶部的過程；及將產生在第1時 機，及從該第1時機再經過所定時間的第2時機之期間的 第1被檢查體內部的壓力變化値B2計測於計測器，俾將 ^ 該壓力變化値B2記憶在記憶部的過程；及打開閥，加壓 在施以洩漏檢查的被檢查體的第2被檢査體內部的過程； 及關閉閥，封閉第2被檢查體內部的空氣的過程；及將產 生在封閉第2被檢查體內部的空氣的過程的結束時機，及 從該結束時機經過所定時間的第3時機之期間的第2被檢 -19- 200938824 査體內部的壓力變化値B 1，計測於計測器’俾將該壓力變 化値B1’記憶在記憶部的過程；及將產生在第3時機’及 從該第3時機再經過所定時間的第4時機之期間的第1被 檢查體內部的壓力變化値B 2 ’計測於計測器，俾將該壓力 ' 變化値B2 ’記憶在記憶部的過程，實行：將波形比κ運算 作爲Κ=(Β1’-Β2，）/(Β1-Β2)的過程；及使用波形比Κ 的値來判定動作異常的過程的裝置。 φ 又，作爲本發明的第4態樣，提案一種洩漏檢査裝置 ，是在將被檢查體內部的空氣壓作成比該被檢查體外部的 氣壓還高的狀態下計測該被檢查體內部的空氣壓變化’藉 由該被檢查體內部的空氣壓變化量，來檢査在該被檢查體 有否洩漏的洩漏檢查裝置，其特徵爲：包括：經由空氣壓 供應路被連接於上述被檢查體，而加壓於該被檢查內部的 空氣壓源；及存在於上述空氣壓供應路的途中的可開閉的 閥；及計測上述被檢查體的內部壓力的計測器；及處理器 〇 ;及貯存上述計測器的計測値的記憶部，上述處理器是控 制實行：打開上述閥，加壓在成爲標準的上述被檢查體的 第1被檢査體內部的過程；及關閉上述閥，封閉上述第1 被檢查體內部的空氣的過程；及求出從封閉上述第1被檢 查體內部的空氣的過程的結束時機經過第1所定時間的第 1時機之有關於上述第1被檢查體的內部壓力的時間的微 分値ΒΒ1，俾將該微分値ΒΒ1記憶在記憶部的過程；及求 出從上述第1時機再經過第2所定時間的第2時機之有關 於上述第1被檢查體的內部壓力的時間的微分値ΒΒ2，俾 -20- 200938824 將該微分値BB 2記憶在記憶部的過程； 壓在施以洩漏檢查的上述被檢查體的第 過程；及關閉上述閥，封閉上述第2 η 的過程；及求出從封閉上述第2被檢查 程的結束時機經過上述第1所定時間的 上述第2被檢查體的內部壓力的時間Ε 將該微分値BB 1 ’記憶在記憶部的過程； φ 時機再經過上述第2所定時間的第4時 2被檢查體的內部壓力的時間的微分値 値Β Β 2 ’記憶在記憶部的過程，實行： 爲 K= ( ΒΒ1’-ΒΒ2’）/ ( ΒΒ1-ΒΒ2 )的過 形比Κ的値來判定動作異常的過程的裝 又，在本發明的第3，4態樣中， 檢查體是鑄物，上述處理器是上述波形 値以上時，判定爲在上述第2被檢査體 φ 又，在本發明的第3，4態樣中， 器是藉由上述第2被檢查體內部的空氣 在該第2被檢查體是否有洩漏，若判定 定値以內時’則判定在上述空氣壓供應 計測器有異常。 又，作爲本發明的第3態樣的一例 差壓計，上述壓力變化値Β1，Β2，Β1 上述第1被檢查體或上述第2被檢查體 內部之間的差壓的變化値。 及打開上述閥，加 2被檢查體內部的 【檢查體內部的空氣 i體內部的空氣的過 第3時機之有關於 1¾微分値ΒΒΓ，俾 及求出從上述第3 ;機之有關於上述第 BB2’，俾將該微分 夺波形比K運算作 !程；及使用上述波 置。 較佳爲上述第2被 比K比1還大所定 的內壁具有模穴。 較佳爲：上述處理 ,壓變化量，來判定 波形比K爲零至所 路或上述閥或上述 子，上述計測器是 ’，B2’，是分別爲 的內部與基準槽的 -21 - 200938824 又，作爲本發明的第4態樣的一例子，上述計測器是 差壓計，上述微分値BB1，BB2，BB1’，BB2’，是分別爲 上述第1被檢查體或上述第2被檢查體的內部與基準槽的 內部之間的差壓的微分値。 又’作爲本發明的第3態樣的一例子，上述計測器是 壓力計，上述壓力變化値Bl，B2，Bl，，B2，，是分別爲 對於大氣壓的上述第1被檢查體或上述第2被檢査體的內 0 部壓力的變化値。 又，作爲本發明的第4態樣的一例子，上述計測器是 壓力計，上述微分値BB1，BB2，BB1，，BB2’，是分別爲 對於大氣壓的上述第1被檢查體或上述第2被檢查體的內 部壓力的微分値。 又，作爲本發明的第5態樣，一種異常檢測方法，是 在將被檢查體內部的空氣壓作成比該被檢查體外部的氣壓 還高的狀態下計測該被檢查體內部的空氣壓變化，藉由該 〇 被檢查體內部的空氣壓變化量，檢測出檢查該被檢查體有 否洩漏的洩漏檢查裝置的異常動作的異常檢測方法，其特 徵爲：包括校對過程與檢查過程，上述校對過程是包括： 加壓在成爲標準的上述被檢查體的第1被檢查體內部的過 ’程；及封閉上述第1被檢查體內部的空氣的過程；及計測 在封閉上述第1被檢查體內部的空氣的過程的結束時機， 及從該結束時機經過所定時間的時機之期間所產生的上述 第1被檢查體內部的壓力變化値B 1 ’俾將該壓力變化値 B 1記憶在記憶部的過程’上述檢查過程是包括：加壓在 -22- 200938824 施以洩漏檢查的上述被檢查體的第2被檢查體內部的過程 ;及封閉上述第2被檢查體內部的空氣的過程；及計測在 封閉上述第2被檢査體內部的空氣的過程的結束時機，及 從該結束時機經過上述所定時間的時機之期間所產生的上 ' 述第2被檢查體內部的壓力變化値ΒΓ，俾將該壓力變化 値B 1 ’記憶在記憶部的過程；及上述壓力變化値B 1，B 1 ’ ，爲對於常數r ，5表示7 ·Β1+5>Β1’時，判定爲洩漏 n 檢查裝置的動作異常的過程的方法。 在此，在本發明的第5態樣，利用成爲必須的穩定期 間，在校對過程中計測成爲標準的壓力變化値Β 1，而在 檢查過程中測定成爲診斷對象的壓力變化値Β 1 ’，僅比較 其大小關係就可檢測洩漏檢查裝置的異常。 亦即，在校對過程，利用沒有洩漏的第1被檢查體， 進行測定該第1被檢查體內的壓力變化値Β1。因此，僅 檢測在該壓力變化値未包含洩漏成分而隨著所封入的空氣 〇 的隔熱變化的壓力變化値。 對於此，在檢查過程所測定的壓力變化値Β 1 ’，是計 測可能有洩漏的第2被檢查體內的壓力變化。因此，若洩 漏檢查裝置正常地動作，則在此種條件下所計測的壓力變 化値Β 1與Β 1 ’之間，理想上必定會成立Β 1 S Β 1 ’的關係。 在本發明的第5態樣，利用該現象，比較在檢查過程 的穩定期間所測定的第2被檢查體內的壓力變化値Β1’， 與在校對過程所測定的壓力變化値Β 1，對於常數γ ，δ ，若爲r · Β1+(5>Β1’時，則檢查裝置判定爲異常。又， -23- 200938824 r，<5是考慮誤差所設定的常數。 又，進行校對過程之後，對於複數第2被檢查體，可 僅適用於各該檢查過程。在本發明的檢查過程，利用在浅 漏檢查方法成爲必需的穩定期間來進行自我診斷。所以在 本發明，不必在自我診斷上花費特別的時間。亦即，不是 爲了洩漏檢査裝置的自我診斷而花費特別的時間之故，因 而即使對於所有第2被檢查體實行洩漏檢查裝置的自我診 0 斷與洩漏檢査，也在與習知的檢査時間同一時間就可結束 檢查。 又，在該方法中，因決定被檢査體內的壓力變化値來 進行檢查裝置的自我診斷，因此不被限定於差壓式洩漏檢 查裝置而也可適用於錶壓方式洩漏檢查裝置。 又，作爲本發明的第6態樣，提案一種洩漏檢查裝置 ，是在將被檢查體內部的空氣壓作成比該被檢查體外部的 氣壓還高的狀態下計測該被檢查體內部的空氣壓變化，藉 〇 由該被檢査體內部的空氣壓變化量’來檢查在該被檢査體 有否洩漏的洩漏檢查裝置，其特徵爲：包括：經由空氣壓 供應路被連接於上述被檢查體，而加壓於該被檢查內部的 空氣壓源；及存在於上述空氣壓供應路的途中的可開閉的 閥；及計測上述被檢查體的內部壓力的計測器；及處理器 ;及貯存上述計測器的計測値的記憶部’上述處理器是控 制實行：打開上述閥’加壓在成爲標準的上述被檢查體的 第1被檢查體內部的過程；及關閉上述閥’封閉上述第1 被檢查體內部的空氣的過程；及將產生在封閉上述第1被 -24- 200938824 檢查體內部的空氣的過程的結束時機，及從該結束時機經 過所定時間的時機之期間的上述第1被檢查體內部的壓力 變化値B 1計測於上述計測器，俾將該壓力變化値B1記憶 在上述記憶部的過程；及打開上述閥，加壓在施以洩漏檢 ' 查的上述被檢查體的第2被檢查體內部的過程；及關閉上 述閥，封閉上述第2被檢查體內部的空氣的過程；及將產 生在封閉上述第2被檢查體內部的空氣的過程的結束時機 ❹ ，及從該結束時機經過上述所定時間的時機之期間的上述 第2被檢査體內部的壓力變化値B 1 ’計測於上述計測器， 俾將該壓力變化値B 1 ’記憶在上述記憶部的過程，實行上 述壓力變化値B1，B1’，爲對於常數r ，δ表示r ·Β1 + δ >Β1’時’判定爲洩漏檢查裝置的動作異常的過程的裝置 〇 又，作爲本發明的第6態樣的一例子，上述計測器是 差壓計，上述壓力變化値Bl，Β1’，是分別爲上述第1被 〇 檢查體或上述第2被檢查體的內部與基準槽的內部之間的 差壓的變化値。 又，作爲本發明的第6態樣的一例子，上述計測器是 壓力計.，上述壓力變化値Β 1 ’ Β 1 ’，是分別爲對於大氣壓 的上述第1被檢查體或上述第2被檢查體的內部壓力的變 化値。 如上所述地’在本發明，不必在自我診斷上花費特別 的時間，就可檢測出洩漏檢查裝置的異常。 又’在本發明’不管差壓式或錶壓式之區別，就可實 -25- 200938824 ί了異常檢測動作。 【實施方式】 以下，參照圖式來說明本發明的實施形態。 (第1實施形態） 說明本發明的第1實施形態。 ❹ (槪要） 第1實施形態是將本發明的第1，3態樣適用於差壓 式洩漏檢査裝置的實施形態。 在第1實施形態，在各該校對過程或檢查過程將穩定 期間分成兩半，而在穩定期間的前半期間測定上述的壓力 變化値Β 1或Β 1 ’，而在後半期間測定壓力變化値Β2或 Β2，。 〇 在檢查過程所測定的壓力變化値Β 1與Β2，是作爲（ Β 1-Β2 )被記憶在記憶部，而在檢查過程時計算波形比Κ 之際被利用。在檢査過程中與有無被檢查體的洩漏判定之 同時所測定的壓力變化値Β1’與Β2’，是被使用於波形比 K> ( B1，-Β2’）/ ( Β1 -Β2 )的運算。 在此，若經算出的波形比Κ爲Κ与1時，則可推定洩 漏檢査裝置正常地動作。 又，與被檢查體的洩漏判定結果無關，而波形比Κ爲 Κ与0時，則可推定在洩漏檢查裝置的空氣壓裝置上發生 -26- 200938824 異常。 又’與被檢查體的洩漏判定結果無關，而波形比K爲 κ>> 1 ’則可推定主要爲被檢查體爲與成爲標準的被檢查體 異質。 • (詳細） 第5圖是表示第1實施形態的洩漏檢查裝置5 00的構 Q 成的圖式。又’在第5圖中針對於與第1圖共通的部分， 附於與第1圖相同符號，而簡化說明。 本形態的洩漏檢查裝置500是藉由空氣壓裝置200與 判定裝置600所構成。空氣壓裝置200的構成是與上述習 知構成同一，藉由加壓於被檢查體內部的壓縮機等的空氣 壓源20 1，及調整從該空氣壓源20 1所吐出的空氣量，俾 將空氣壓源201施加於外部的空氣壓調整成所定空氣壓的 調壓閥202，及可將在調壓閥202被調壓的空氣壓切換成 〇 施加於被檢査體A，Β側及基準槽207側的狀態（埠χ-γ 之間的導通狀態），與將被檢查體A，B側及基準槽207 側的空氣排出至大氣的狀態（埠Y-Z之間的導通狀態）的 三通電磁閥203，及在將空氣壓施加於被檢査體A或B內 部及基準槽2 0 7的內部的狀態下用以封閉內部空氣的封閉 閥2 04A，204B，及測定被檢查體 A或B內部與基準槽 207內部的差壓的差壓計205 (相當於「測定器」），及 將施加空氣壓予以切換於被檢查體A與被檢查體B的任一 方，而在更換一方的被檢查體中作成可檢查另一方的被檢 -27- 200938824 查體所用的切換閥2 06 A，206B，及基準槽207，及用以將 空氣壓供應管路連接於被檢查體A及被檢查體B的連接工 模208 A，208B所構成。又，空氣壓供應管路是指被連接 於空氣壓源20 1的吐出□，而用以將空氣供應於被檢查體 ‘ A，B或基準槽207的管路。如第5圖所示地，在該空氣 壓供應管路的途中，存在著上述的調壓閥202，三逋電磁 閥 203，封閉機 204A，204B，切換閥 206A，206B。 φ 判定裝置600是具備：可放大差壓計205的輸出訊號 (將增益可切換成低增益狀態與高增益狀態）的可變增益 放大器 301，及 AD轉換器 302，藉由輸入埠 3 03， CPU3 04，及ROM3 05，RAM306及輸出埠307所構成的微 電腦，及洩漏判定顯示器3 08，及在檢測出洩漏檢查裝置 5 00的異常或被檢查體的異常之際顯示該異常的異常顯示 器 3 09。 在該例的ROM3 05，將微電腦作爲動作定時發生手段 φ 、控制資訊生成手段、測定値記憶手段、洩漏判定手段、 標準値測定手段、檢査値測定手段、波形比運算手段及異 常判定手段，分別記憶著用以進行動作的動作定時發生程 式、控制資訊生成程式、測定値記憶程式、洩漏判定程式 、標準値測定程式、檢查測定程式、波形比運算程式及異 常判定程式。此些程式是在起動微電腦時，從ROM305被 讀出’而作爲動作定時發生程式3 06A、控制資訊生成程 式3 06B、測定値記憶程式306B、洩漏判定程式306C、標 準値測定程式306D、檢查測定程式306E、波形比運算程 -28- 200938824 式3 06F及異常判定程式306G被記憶在RAM306。被記憶 在RAM306的程式是被讀入在CPU304，而CPU304是藉 由解碼•實行此些程式俾功能作爲上述的各手段。 本形態的異常檢測方法，是利用存在於實施洩漏檢査 之前的穩定期間T2求出波形比K，而因應於波形比K的 値作成欲判定洩漏檢査裝置500或被檢查體的異常之處具 有特徵。 Q 第6圖是例示用以求出波形比K的測定條件的圖表。 在此，縱軸是表示被檢查體A或B的內部與基準槽207的 內部的差壓，而橫軸是表示時間。表示於第6圖的曲線 X-1是表示校對過程的差壓特性，而曲線X-2是表示檢査 過程的差壓特性。又，線C是表示被檢查體A或B的內 部與基準槽207的內部的差壓中，起因於在被檢查體有洩 漏的情形所產生的差壓。以下，一面適當地引用該圖一面 說明本形態的異常檢測方法。 ❹ <<校對過程>> . 本形態的異常檢測方法，是包括校對過程與檢查過程 。在校對過程中，在連接工模208A或208B的任一工模， 連接沒有浅漏，而成爲標準的被檢查體A或B的任一被檢 查體（第1被檢查體）。在此，在連接工模208A連接被 檢查體A時’則打開切換閥206A，而關閉切換閥206B。 相反地’在連接之模208B連接被檢查體B時，則打開切 換閥206B，而關閉切換閥2〇6A。 -29- 200938824 在該狀態下，進行加壓期間τι、穩定期間 期間Τ3及排氣期間Τ4的各動作。又，控制此些 動作是如下地進行。 首先，在CPU304讀入有動作定時發生程式 構成的動作定時發生手段，發生對應於各期間的 。在CPU304讀入有控制資訊生成程式306ΑΒ所 制資訊生成手段，是將動作定時發生手段所發生 φ 號所表示的期間的動作，生成用以實行在三通電 ，封閉閥204Α，204Β，可變增益放大器301的 。所生成的控制訊號是從輸出埠307被輸出至三 203，封閉閥204Α，204Β，可變增益放大器301 磁閥203，封閉閥204Α，204Β，可變增益放大器 照控制訊號進行各期間的動作。以下，說明各期 〇 在加壓期間Τ1’驅動空氣壓源201，在打 ❹ 202的狀態下，導通三通電磁閥20 3的埠Χ-Υ間 封閉閥204Α與204Β ’而分別導通此些。藉由此 查體A或被檢查體B的任一被檢查體（第丨被檢 內部與基準槽207的內部施加有空氣壓。該狀態 期間T1結束爲止仍繼續。又，在加壓期間T1結 ，關閉封閉閥204A與204B而遮斷各該導通。藉 閉第1被檢查體的被檢查體A或被檢查體B的內 並封閉基準槽207的內部空氣。 在下一穩定期間T2 ’測定發生在第1被檢 T2、檢查 各期間的 3 06 A 所 定時訊號 構成的控 的定時訊 磁閥203 控制訊號 通電磁閥 。三通電 301是依 間的動作 開調壓閥 ，又打開 ，在被檢 查體）的 是在加壓 束的時機 由此，封 部空氣， 查體的被 -30- 200938824 檢查體A或被檢查體B的內部，及基準槽2 07的內部之間 的差壓。在本形態的例子，將穩定期間T2分成兩半，在 前半的T2/2的期間的結束時機，及後半的T2/2的期間的 結束時機，測定各該期間的壓力變化値B1與B2(參照第 6圖的曲線X-1 )。 亦即，首先，使用差壓計2 0 5，來計測加壓期間T1 ( 包括加壓於第1被檢查體內部的過程，及封閉該內部空氣 φ 的過程）的結束時機，及從該結束時機經過時間T2/2的 第1時機之期間（穩定期間T2的前半的T2/2的期間）所 產生的第1被檢查體的被檢查體A或被檢查體B內部的壓 力變化値B1，並將該壓力變化値B1記憶在RAM306。之 後，計測在第1時機，及從該第1時機再經過所定時間的 第2時機之期間（穩定時機T2的後半的T2/2的期間）所 產生的第1被檢查體的被檢查體A或被檢查體B內部壓力 變化値B2，並將該壓力變化値B2記憶在RAM306。又， 〇 本形態的「壓力變化値」，是指施加空氣壓的被檢查體A 或B內部的空氣壓，及基準槽207內部的空氣壓的差壓的 變化値。又，壓力變化値B2是可藉由B3-B1求出。又， B 3是指在校對過程的加壓期間T 1的結束時機與穩定期間 T2的結束時機之期間所產生的壓力變化値。之後，求出 所測定的壓力變化値B1與B2的差距（B1-B2 )，而把該 値作爲標準値被記憶在RAM3 06。 又，在校對過程的穩定期間T 2所進行的計測處理的 控制，是藉由在CPU304讀入標準測定程式3 06D所構成 -31 - 200938824 的基準値測定手段所進行。又，將壓力變化値 標準値（B1-B2 )記憶在RAM3 06的處理， CPU304讀入測定値記憶程式3 06B所構成的測 段所控制。 檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上 因而省略說明。 <<檢査過程>> 檢查過程是僅重複成爲洩漏檢查對象的被檢 量。 在檢查過程中，在連接工模208A或208B的 ，連接成爲洩漏檢查對象的被檢查體A或B的任 體（第2被檢查體）。在此，在連接工模208A 查體A時，則打開切換閥206A，而關閉切換閥 反地，在連接工模208B連接於被檢查體B時， ❿ 換閥206B，而關閉切換閥206A。 在該狀態下，與校對過程同樣地進行加壓其 穩定期間T2、檢查期間T3及排氣期間T4的各 ，檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上述之 省略說明，在以下說明檢查過程的加壓期間T 1 間T2的動作。 在加壓期間τ 1，與校對過程同樣地，加壓] 檢查體的被檢查體A或B的內部與基準槽207的 在結束加壓期間T1的時機，分別封閉此些內部& U，B2 或 是藉由在 :値記憶手 :述之故， 查體的數 任一工模 一被檢查 連接被檢 206B 。相 則打開切 Ϊ 間 T1、 動作。又 故，因而 及穩定期 E第2被 內部，而 J空氣。 -32- 200938824 在下一穩定期間T2，測定發生在第2被檢查體的被 檢查體A或被檢査體B的內部，及基準槽207的內部之間 的差壓。在本形態的例子，將穩定期間T2分成兩半，在 前半的T2/2的期間的結束時機，及後半的T2/2的期間的 結束時機，測定各該期間的壓力變化値B1’與B2’（參照 第6圖的曲線X-2 )。 亦即，首先，計測加壓期間T1 (包括加壓於第2被 0 檢査體內部的過程，及封閉該內部空氣的過程）的結束時 機，又從該結束時機經過時間T2/2的第3時機之期間（ 穩定期間T2的前半的T2/2的期間）所產生的第2被檢查 體的被檢查體A或被檢查體B內部的壓力變化値B1’，並 將該壓力變化値B1’記憶在RAM3 06。之後，計測在第3 時機，及從該第3時機再經過時間T2/2的第4時機之期 間（穩定時機T2的後半的T2/2的期間）所產生的第2被 檢查體的被檢查體A或被檢查體B內部壓力變化値B2’， 〇 並將該壓力變化値B2’記憶在RAM3 06。之後，求出所測 定的壓力變化値B1’與B2’的差距（Bl’-B2’），而把該値 作爲標準値被記憶在RAM3 06。又，在檢査過程的穩定期 間T2所進行的計測處理的控制，是藉由在CPU304讀入 檢查値測定程式3 06E所構成的檢查値測定手段所進行。 又，將壓力變化値Bl ’，B2’或測定値（B1 ’-B2’）記憶在 RAM3 06的處理，是藉由測定値記憶手段被控制。 又，在檢查過程中，有無被檢查體A或被檢查體B的 洩漏是不定。但是，假設在被檢查體存在著洩漏，也利用 -33- 200938824 以下的理由，從測定値（B 1 ’ - B 2 ’）除去依洩漏的影響’ 結果從波形比K也除去依洩漏的影響。 亦即，如第6圖的線C所示地，被檢查體內部與基準 槽207內部的差壓中，若起因於在被檢查體有洩漏所產生 的差壓，是隨著時間的經過以一定比率增加。這時候，起 因於壓力變化値B1’中在被檢査體有洩漏的壓力變化値 AC1，及起因於壓力變化値B2’中在被檢査體有洩漏的壓 0 力變化値AC2是成爲相等（AC1=AC2)。因此，藉由將此 些壓力變化値B1’與B2’之差分運算作爲測定値（Bl’-B2’ )，被除去起因於被檢査體的洩漏的成分AC1與AC2。 之後，在CPU304讀入有波形形比運算程式3 06F所 構成的波形比運算手段，從RAM3 06讀入標準値（B1-B2 )與測定値（Bl’-B2’），而將波形比K運算作爲K=( Bl’-B2’）/ ( Β1-Β2 )。被算出的波形比K是被貯存於 RAM3 06。 〇 然後，在CPU304讀入有異常判定程式306G所構成 的異常判定手段，從RAM3 06讀入波形比K，而波形比K 値從1遠離所定値以上時，則判定爲洩漏檢查裝置的動作 異常，該判定結果，是從輸出埠3 07被輸出，而從異常顯 示器3 09被輸出。又，該「所定値」，是依據無洩漏的被 檢查體的品質參差不齊而適當被決定的數値，例如爲K2 1-α ( 0<α^ 1 )，或是爲Κ2 1+β ( β>0 )時，則判定爲洩 漏檢査裝置的動作異常。又，作爲a的一例子，例如可例 示α = 0.3，而作爲β的一例子，例如可例示β = 〇.5。又，在 -34- 200938824 β沒有可設定的上限，因應於裝置之構成等可適當地設定 〇 亦即，該波形比Κ是表示在各檢查過程所計測的差壓 推移的曲線Χ-2 (第6圖），被利用作爲是否爲近似於表 示在校對過程所計測的差壓推移的曲線X-1的指標。Κ= 1 時，檢查過程的曲線Χ-2，是可說近似於校對過程的曲線 X-1。波形比Κ的數値愈從1遠離，則檢査過程的曲線χ-2 是從校 對過程 的曲線 Χ-1 遠離 ，可說洩漏 檢查裝 置產生 錯誤動作的可能性較高。 例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子（1 )地，三通電磁閥20 3的埠Χ-Υ之間未導通，或是封閉閥 2 04 Α及20 4Β未打開就進行洩漏檢查時，則空氣壓未施加 於被檢查體及基準槽207之故，因而成爲測定値（B1’-B2’）与0，而波形比K也成爲K与0。又，同樣的狀況， 是在空氣壓供應路產生塞住時也會發生。異常判定手段是 不管洩漏檢査的結果，以波形比K滿足KSl-a(以波形 比K爲零至所定値以內），判定爲「洩漏檢査裝置進行錯 誤動作」，而將該判定結果顯示在異常顯示器309。 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (2)地，三通電磁閥203與封閉閥204A’ 204B都正常動 作，惟切換閥206A，206B都仍關閉的狀態下，實行洩漏 檢查時，則壓力變化値B1’及B2’是大約成爲零。藉由切 換閥206A或206B，被檢查體A或B的內部空間，會從差 壓計205進行測定的空間被遮斷，而僅空氣壓供應路內部 -35- 200938824 的隔熱變化是在短時間內會收歛。 第7圖是表示在錯誤動作的例子（2 )的狀態所測定 的被檢查體內部與基準槽207內部的差壓的時間變化的曲 線X-3，及表示上述的曲線X-1的圖式。如第7圖的曲線 . X-3所示地，壓力變化値B1’及B2’是大約成爲零。結果 ，波形比運算手段所算出的波形比K是成爲K与0。又， 同樣的狀況，是在空氣壓供應路產生塞住時也會發生。異 0 常判定手段是不管洩漏檢查的結果，以波形比K滿足K $ 1 -α (以波形比K爲零至所定値以內），判定爲「洩漏檢 查裝置進行錯誤動作」，而將該判定結果顯示在異常顯示 器 3 09。 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (3 )地，在差壓計2 0 5成爲不能動作時，則在檢查過程 所測定的壓力變化値Β1’及Β2’都成爲零之故，因而波形 比運算手段所算出的波形比Κ是成爲Κ与0。異常判定手 〇 段是不管洩漏檢查結果，以波形比Κ滿足Κ$1-α，判定 爲「洩漏檢查裝置進行錯誤動作」，而在異常顯示器3 09 顯不著浅漏檢查裝置有異常。 亦即，異常判定手段是以滿足K S 1 - α的情形，可判 定空氣壓供應路，三通電磁閥203、封閉閥204A，204Β， 切換閥206A、206B的任一或差壓計2 05的任一有異常。 又，例如，如上述的洩漏檢査裝置的錯誤動作的例子 (4)地’在被檢查體爲鑄物的情形中’在內壁存在著模 穴時，則成爲與被檢查體的內容積變大的等値的狀態。這 -36- 200938824 時候，存在著內部模穴的被檢查體內部的差壓變化量，是 如第6圖的曲線X-2所示地，成爲比表示於曲線X-1成爲 標準的被檢查體的差壓變化量還大。這時候，由第6圖可 知，壓力變化値B1’是壓力變化値B1還大。結果，成爲 (B1’-B2’）>(B1-B2)，而波形比K是成爲K>1。藉由 此，若Κ比1還大所定値以上，即使洩漏檢查結果爲「有 洩漏」，異常判定手段是也可檢測出洩漏檢查裝置的判定 0 有異常。這時候，因被檢查體爲鑄物，因此顯示在被檢查 體的內壁面存在著模穴者等値。又，在異常判定手段輸入 有被檢查體爲鑄物的主旨的資訊，而成爲Kgl+β時，則 異常判定手段是判定爲在被檢查體內壁面存在著模穴，而 將該結果顯示於異常顯示器309的構成也可以。又，即使 波形比Κ不是1而在近旁時，則作爲依雜音成分的誤差， 認定作爲正規的被檢查體，而從1遠離較大的數値時，則 判定作爲在被檢查體的內壁有模穴或是有裝置的異常。 φ 又，本形態的構成，例如如上述的洩漏檢查裝置的錯 誤動作的例子（5)所示地，在多量地檢測某一內容積的 被檢查體時，則也可檢測出偶而混入有內容積不相同的被 檢查體的情形。 _ 亦即，如上所述就可知，波形比Κ是在具有與成爲標 準的第1被檢查體同一容積的第2被檢查體的內部，以成 爲基準的加壓條件施以加壓（加壓期間Τ 1 )，經加壓後 ，從以封閉閥204Α，204Β被封閉的時機，使用差壓計 205來測定並求出工件內的壓力變化。因此，第2被檢査 -37- 200938824 體的內容積’與第1被檢査體的內容積不相同時，則波形 比K是成爲由1遠離的數値。即使指由！遠離的數値，1 近旁的數値是依雜音成分者而也認定作爲正規的被檢査體 ’若從1遠離較大的數値時，則就可判定爲被檢查體爲異 質或在洩漏判定裝置成爲異常。例如成爲1-α，（0<α， SI)，或是成爲Κ21+β’（β’>0)時，則異常判定手段判 定爲測定對象的第2被檢查體與其他被檢查體異質·的構成 φ 也可以。又’作爲α’之一例子，例如可例示α，= 0.5，而作 爲β’之一例子’例如可例示β’ = 1’又，在β’並沒有可設 定的上限，而因應於裝置的構成等可適當地設定。 如以上所述地，依照本形態，除了洩漏檢查裝置本體 的異常之外，還可檢測出被檢查體的異質性。藉由組合該 異常判定結果與洩漏檢查結果，就可推定在那裏存在著異 常。 又，本發明是並不被限定於上述的實施形態者。例如 〇 ，在本形態，將穩定期間Τ2分成兩半，首先，將從加壓 期間Τ1的結束時機經過時間Τ2/2的時機作爲第1、3時 機，而將從第1、3時機再經過時間Τ2/2的時機作爲第2 、4時機。但是，將從加壓期間Τ1的結束時機經過Τ2/2 以外的所定時間的時機作爲第1、3時機，而將從第1、3 時機再經過該所定時間的時機作爲第2、4時機也可以。 (第2實施形態） 說明本發明的第2實施形態。 -38- 200938824 第2實施形態是將本發明的第1、3態樣適用於錶壓 力式的洩漏檢查裝置的實施形態。在以下，以與第1實施 形態的不同處爲中心加以說明，而針對於與第1實施形態 共通的事項省略說明。 第8圖是表示第2實施形態的洩漏檢查裝置510的構 • 成的圖式。又，在第8圖中，針對於與第3圖，第5圖共 通的部分，給予與第3圖，第5圖相同符號，而簡化說明 ❹ 本形態的洩漏檢查裝置5 10是藉由空氣壓裝置400與 判定裝置610所構成。空氣壓裝置400的構成是與上述的 習知構成同一，判定裝置610是具備：可放大壓力計209 (相當於「計測器」）的輸出訊號（將增益可切換成低增 益狀態與高增益狀態）的可變增益放大器301A，及AD轉 換器 302，藉由輸入埠 303，CPU304，及 ROM305， RAM306及輸出埠3 07所構成的微電腦，及洩漏判定顯示 Q 器3 08，及異常顯示器309。 以下，說明本形態的異常檢測方法。 <<校對過程>> 在校對過程中’與第1實施形態同樣地，在連接工模 20 8A或20 8B的任一工模，連接沒有洩漏，而成爲標準的 被檢查體A或B的任一被檢査體（第1被檢査體）。 在加壓期間T1，驅動空制壓源201，在打開調壓閥 2 02的狀態下，導通三通電磁閥203的埠X-Y間，又打開 -39- 200938824 封閉閥204A與204B，而分別導通此些。藉由此’在被檢 査體A或被檢查體B的任一被檢査體（第1被檢查體）的 內部施加有測試壓TP。該狀態是在加壓期間T 1結束爲止 仍繼續。又，在加壓期間T1結束的時機，關閉封閉閥 2 04 A與204B而遮斷各該導通。藉由此，封閉第1被檢查 體的被檢查體A或被檢查體B的內部空氣。 在下一穩定期間T2，測定第1被檢查體的被檢查體A 0 或被檢查體B的內部對於大氣壓的壓力。在本形態的例子 ，將穩定期間T2分成兩半，在前半的T2/2的期間的結束 時機，及後半的T2/2的期間的結束時機，測定各該期間 的壓力變化値B1與B2。 亦即，首先，使用壓力計209，來計測加壓期間T1 ( 包括加壓於第1被檢查體內部的過程，及封閉該內部空氣 的過程）的結束時機，及從該結束時機經過時間T2/2的 第1時機之期間（穩定期間T2的前半的T2/2的期間）所 〇 產生的第1被檢查體的被檢查體A或被檢查體B內部的壓 力變化値B1，並將該壓力變化値B1記憶在RAM3 06。之 後，計測在第1時機，及從該第1時機再經過所定時間的 第2時機之期間（穩定期間T2的後半的T2/2的期間）所 產生的第1被檢查體的被檢查體A或被檢查體B內部壓力 變化値B2，並將該壓力變化値B2記憶在RAM306。又， 本形態的「壓力變化値」，是指對於大氣壓的被檢査體A 或B內部的壓力的變化値。之後，求出所測定的壓力變化 値B1與B2的差距（B1-B2 )，而把該値作爲標準値被記 -40- 200938824 憶在 RAM3 06。 又，在校對過程的穩定期間T2所進行的計測處理的 控制，是藉由將壓力變化値Bl ’ Β2或標準値（Β1-Β2 ) 記憶在RAM306的處理，是藉由測定値記憶手段所構成。 檢查期間Τ3及排氣期間Τ4的動作是如上所述之故， 因而省略說明。 <<檢查過程>:> 檢查過程是僅重複成爲洩漏檢查對象的被檢查體的數 量。 在檢查過程中，與第1實施形態同樣，在連接工模 208Α或208Β的任一工模，連接成爲洩漏檢查對象的被檢 查體Α或Β的任一被檢查體（第2被檢查體）。 在該狀態下，與校對過程同樣地進行加壓期間T 1、 穩定期間T2、檢查期間T3及排氣期間T4的各動作。又 〇 ，檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上述之故，因而 省略說明，在以下說明檢查過程的加壓期間T 1及穩定期 間T2的動作。 在加壓期間T1，與校對過程同樣地，加壓在第2被 檢查體的被檢查體A或B的內部與基準槽207的內部，而 在結束加壓期間T1的時機，封閉該內部的空氣。 在下一穩定期間T2,測定發生在第2被檢查體的被 檢查體A或被檢查體B的內部的壓力。在本形態的例子， 將穩定期間T2分成兩半，在前半的T2/2的期間的結束時 -41 - 200938824 機’及後半的T2/2的期間的結束時機，測定各該期間的 壓力變化値B1’與B2’。 亦即’首先’計測加壓期間T1 (包括加壓於第2被 檢查體內部的過程，及封閉該內部空氣的過程）的結束時 機，及從該結束時機經過時間T2/2的第3時機之期間（ • 穩定期間T2的前半的T2/2的期間）所產生的第2被檢查 體的被檢查體A或被檢查體B內部的壓力變化値B1’，並 0 將該壓力變化値B 1 ’記憶在RAM3 06。之後，計測在第3 時機，及從該第3時機再經過時間T2/2的第4時機之期 間（穩定時機T2的後半的T2/2的期間）所產生的第2被 檢查體的被檢查體A或被檢查體B內部壓力變化値B2’， 並將該壓力變化値B 2 ’記憶在R A Μ 3 0 6。之後，求出所測 定的壓力變化値Β1’與Β2’的差距（Bl’-B2，），而把該値 作爲標準値被記憶在RAM3 06。又，在檢查過程的穩定期 間Τ2所進行的計測處理的控制，是藉由檢查値測定手段 〇 所進行。又，將壓力變化値Β 1 ’，Β 2 ’或測定値（Β 1 ’ - Β 2 ’ )記憶在RAM3 06的處理，是藉由測定値記憶手段被控制 〇 然後，與第1實施形態同樣，異常判定手段，從 R ΑΜ3 0 6讀入波形比Κ，而波形比Κ値從1遠離所定値以 上時，則判定爲洩漏檢查裝置的動作異常，該判定結果， 是從輸出埠307被輸出，而從異常顯示器309被輸出。 例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子（1 )地，三通電磁閥203的埠Χ-Υ之間未導通，或是封閉閥 -42- 200938824 2 04未打開就進行洩漏檢查時’則空氣壓未施加於被檢查 體之故，因而成爲測定値与〇，而波形比κ也 成爲K与0。以波形比K滿足1 -α (以波形比κ爲零至 所定値以內），可判定爲「洩漏檢查裝置進行錯誤動作」 〇 •又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (2)地，三通電磁閥203與封閉閥204都正常動作，惟 ❹ 切換閥206Α，206Β都仍關閉的狀態下，實行洩漏檢查時 ，則壓力變化値Β1’及Β2’是大約成爲零。藉由切換閥 2 06 Α或206Β，被檢查體Α或Β的內部空間，會從壓力計 2 09進行測定的空間被遮斷，而僅空氣壓供應路內部的隔 熱變化是在短時間內會收歛。結果’在錶壓力式洩漏檢查 裝置510，即使切換閥20 6A’ 20 6B都未打開時，波形比 K是成爲K与0。因此，以波形比K滿足κ$1-α(以波形 比Κ爲零至所定値以內），可判定爲「洩漏檢查裝置進行 Q 錯誤動作」。 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (3 )地，在壓力計209成爲不能動作時，則在檢查過程 應測定的壓力變化値Β1’及Β2’都成爲零。結果波形比κ 也成爲Κ4 0。因此，異常判定手段是不管洩漏檢查結果 ，以波形比Κ滿足KSl-α，可判定爲「洩漏檢查裝置進 行錯誤動作」。 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (4)地，在被檢查體爲鑄物的情形中’在內壁存在著模 -43- 200938824 穴時，則成爲與被檢査體的內容積變大的等値的狀態。這 時候，存在著內部模穴的被檢查體內部的壓力變化量，是 成爲標準的被檢查體的壓力變化量還大。結果，成爲（ B1’-B2’）>(B1-B2)，而波形比K是成爲K>1。藉由此 ，若Κ比1還大所定値以上，即使洩漏檢查結果爲「有洩 漏」，異常判定手段是也可檢測出洩漏檢查裝置的判定有 異常。這時候，因被檢查體爲鑄物，因此顯示在被檢查體 φ 的內壁面存在著模穴者等値。又，例如在異常判定手段輸 入有被檢查體爲鑄物的主旨的資訊，而成爲Κ21+β時， 則異常判定手段是判定爲在被檢查體內壁面存在著模穴， 而將該結果顯示於異常顯示器309的構成也可以。 又，本形態的構成，也與第1實施形態同樣，例如如 上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子（5 )所示地，在 多量地檢測某一內容積的被檢查體時，則也可檢測出偶而 混入有內容積不相同的被檢查體的情形。 〇 如以上所述地，依照本形態，除了洩漏檢查裝置本體 的異常之外，還可檢測出被檢查體的異質性。藉由組合該 異常判定結果與洩漏檢查結果，就可推定在那裏存在著異 常。 (第3實施形態） 第3實施形態是第1、2實施形態的變形例。在以下 ，僅說明與第1、2實施形態的不同點。 在第1、2實施形態中，說明了以壓力變化値Β1，Β2 -44 - 200938824 與B1’，B2’爲基礎來求出波形比K的方法。在本形態中 ，代替壓力變化値Bl、Β2與Bl’、Β2’，以有關於被檢查 體的內部壓力的時間的微分値ΒΒ1、ΒΒ2與ΒΒ1’、ΒΒ’爲 基準來求出波形比Κ。 第9圖是例示使用微分値在差壓式洩漏檢查裝置中用 以求出波形比Κ的測定條件的圖表。在此，縱軸是表示被 檢査體Α或Β的內部與基準槽20 7的內部的差壓，而橫軸 0 是表示時間。表示於第9圖的曲線X-1是表示校對過程的 差壓特性，而曲線X-2是表示檢查過程的差壓特性。 在本形態中，在穩定期間T2內，使用有關於任意2 點的時刻X1 (相當於“第1時機”及“第3時機”）與時刻 X2 (相當於“第2時機”及“第4時機”）的被檢查體的內部 壓力的時間的微分値 dPxl/dt = BBl、dPX2/dt = BB2、 dPXi，/dt = BB 1 ’、dPX2，/dt = BB2，，而以 Κ = ( Β Β 1 ’ - Β Β 2，）/ (ΒΒ1-ΒΒ2)求出波形比Κ。又，差壓式的洩漏檢査裝置 〇 的情形，“有關於被檢查體的內部壓力的時間的微分値”， 是指有關於被檢査體的內部壓力與基準槽207的內部壓力 的差壓時間的微分値。 又’錶壓式的洩漏檢查裝置時，也與此同樣地，以 Κ=(ΒΒ1、ΒΒ2’）/(ΒΒ1-ΒΒ2)可求出波形比 Κ。又，錶 壓式的洩漏檢查裝置時，“有關於被檢查體的內部壓力的 時間的微分値”是指有關於被檢査體的內部的壓力的時間 的微分値。 使用微分値時，Κ与0時，則與上述同樣地可預測空 -45 - 200938824 氣壓裝置400的錯誤動作，而K>>1時，則可預測被檢查 體的內壁的模穴存在，或被檢查體的異質性。 (第4實施形態） 說明本發明的第4實施形態。 要 槪 0 第4實施形態是適用於本發明的第5、6態樣的差壓 式的洩漏檢査裝置的實施形態。 在第4實施形態中，在各該校對過程及檢查過程，進 行測定壓力變化値B 1及B 1 ’。又，使用所測定的壓力變 化値B 1及Β Γ，進行檢測出洩漏檢查裝置的異常。 (詳細） 第10圖是表示第4實施形態的洩漏檢查裝置700的 Q 構成的圖式。又，在第10圖中針對於與第1，5圖共通的 部分，附予與第1，5圖相同符號，而簡化說明。 本形態的洩漏檢查裝置700是藉由空氣壓裝置200與 判定裝置800所構成。空氣壓裝置200的構成是與上述的 •習知構成或第1實施形態的構成同一之故，因而省略說明 。本形態的判定裝置800，及第1實施形態的判定裝置 600之不同點，是輸入於CPU304的標準値測定程式，檢 查値測定程式’波形比運算程式及異常判定程式的內容不 同點的點。在第1 〇圖’將此些的程式，表記爲標準値測 -46- 200938824 定程式806D檢查値測定程式806E，波形比運算程式806F 及異常判定程式806G。 本形態的異常檢測方法，是利用存在於實施洩漏檢查 之前的穩定期間T2求出波形比κ，而因應於波形比K的 値作成欲判定洩漏檢查裝置700或被檢查體的異常之處具 有特徵。 第1 1圖是例示用以求出本形態的波形比K的測定條 件的圖表。在此，縱軸是表示被檢查體A或B的內部與基 準槽20 7的內部的差壓，而橫軸是表示時間。表示於第11 圖的曲線X-1是表示校對過程的差壓特性，而曲線X-2是 表示檢査過程的差壓特性。又，線C是表示被檢查體A或 B的內部與基準槽207的內部的差壓中，起因於在被檢查 體有洩漏的情形所產生的差壓。以下，一面適當地引用該 圖一面說明本形態的異常檢測方法。 〇 <<校對過程>> 本形態的異常檢測方法，是包括校對過程與檢查過程 〇 在校對過程中’與第1實施形態同樣，在連接工模 20 8A或20 8B的任一工模，連接沒有洩漏，而成爲標準的 被檢查體A或B的任一被檢查體（第1被檢查體）。 在該狀態下’進行加壓期間T1、穩定期間T2、檢查 期間T 3及排氣期間T 4的各動作。又，控制此些各期間的 動作是如下地進行。 -47- 200938824 在加壓期間τι ’與第1實施形態同樣％ ’在被檢查 體Α或被檢查體Β的任一被檢查體（第1被檢查體）的內 部與基準槽207的內部施加有空氣壓°該狀態是在力卩壓期 間T 1結束爲止仍繼續，之後’被封閉兩內部的空氣。 & T -胃t Μ間T2，測定發生在第1被檢查體的被 檢査體A或被檢查體B的內部’及基準槽207的內部之間 的差壓。在本形態的例子’計測加壓期間τ 1 (包括加壓 ❹ 於第1被檢查體的內部的過程’及封閉該內部空氣的過程 )的結束時機，及從該結束時機經過所定時間的時機的期 間所產生的第1被檢查體的被檢查體Α或被檢查體Β內部 的壓力變化値Β1，並將該壓力變化値Β1記憶在RAM306 。在本形態的例子，令該所定期間=穩定期間Τ2，而在穩 定期間Τ2的結束時機，測定壓力變化値Β 1 (參照第11 圖的曲線X-1 )。又，本形態的「壓力變化値」，是指施 加空氣壓的被檢查體Α或Β內部的空氣壓，及基準槽207 ❹ 內部的空氣壓的差壓的變化値。 又，在校對過程的穩定期間T2所進行的計測處理的 控制是藉由在CPU3 04讀入標準値測定程式8 06D所構成 的標準値測定程式8〇6D所構成的標準値測定手段所進行 。又’將壓力變化値B1記憶在RAM306的處理，是藉由 測定値記憶手段所控制。 檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上所述之故， 因而省略說明。 -48- 200938824 <<檢查過程>> 檢查過程是僅重複成爲洩漏檢査對象的被檢查體的數 量。 在檢查過程中，與第1實施形態同樣，在連接工模 ’ 208A或208B的任一工模，連接成爲洩漏檢查對象的被檢 查體A或B的任一被檢査體（第2被檢查體）。 在該狀態下，與校對過程同樣地進行加壓期間T 1、 Q 穩定期間T2、檢査期間T3及排氣期間T4的各動作。又 ，檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上述之故，因而 省略說明，在以下說明檢查過程的加壓期間T 1及穩定期 間T2的動作。 在加壓期間T1，與校對過程同樣地，加壓在第2被 檢査體的被檢查體A或B的內部與基準槽2 0 7的內部，而 在結束加壓期間T 1的時機，分別封閉此些內部的空氣。 在下一穩定期間T2，測定發生在第2被檢查體的被 〇 檢査體A或被檢査體B的內部，及基準槽207的內部之間 的差壓。在本形態計測加壓期間τ 1 (包括加壓於第2被 檢查體內部的過程，及封閉該內部空氣的過程）的結束時 機，及從該結束時機經過所定期間（與校對過程相同）的 時機之期間所產生的第2被檢查體的被檢查體A或被檢查 體B內部的壓力變化値B1’，並將該壓力變化値B1，記憶 在RAM306。在本形態的例子中，作爲該所定期間=穩定 期間T2，而在穩定期間T2的結束時機來測定壓力變化値 B 1 ’（參照第1 1圖的曲線X-2 )。 -49-
200938824 又，在檢查過程的穩定期間T2所進行的計測虔 控制，是藉由在CPU3 04讀入檢查値測定程式806Ε 成的檢查値測定手段所構成。又，將壓力變化値Β 1 在RAM 3 0 6的處理，是藉由測定値記憶手段所控制。 之後，在CPU3 04讀入波形比運算程式806F两 的波形比運算手段，從RAM3 06讀入壓力變化値B1 ，而將波形比K運算作爲K = B1’/B1。被算出的波形 是被貯存於RAM3 06。 又，壓力變化値B1’中，起因於第2被檢查體白< 的壓力變化値成分是成爲4(：与：81’-：81(參照第11圍 C )。在穩定期間T2的結束時機所測定的壓力變化伯 ，是包括起因於該第2被檢查體的洩漏的壓力變化傕 △ C。在檢查過程中，第2被檢查體的被檢查體A窜 查體B的有無洩漏是不定。在第2被檢查體有幾個汚 ，則成爲△〇0’而在第2被檢查體沒有洩漏時，貝| △ C = 0。所以’在任何情形，只要洩漏檢查裝置正常却 ’會成立Β 1 S Β 1 ’。若適用於波形比κ，則成爲 K = B 1 ’/Β 1 2 1。 之後，在CPU304讀入異常判定程式806G所_ 異常判定手段’從RAM3 06讀入波形比K，而波形比 數値不足1時，亦即，壓力變化値Bl，B1，表示Bl> ，則判定爲洩漏檢查裝置的動作異常。 亦即，該波形比K是表示在各檢查過程所計測的 推移的曲線X-2(第1圖），被利用作爲是否爲近似 i理的 所構 ’記憶 f構成 ，Β 1， :比K J拽漏 丨的線 I Β 1， ί成分 5被檢 !漏時 J成爲 !動作 I成的 Κ的 Β 1 ’時 ]差壓 (於表 -50- 200938824 示在校對過程所計測的差壓推移的曲線X-1的指標。κ= 1 時，檢查過程的曲線Χ-2，是可說近似於校對過程的曲線 x-l。波形比Κ的數値愈從1遠離，則檢査過程的曲線X-2是從校對過程的曲線Χ-1遠離，可說洩漏檢查裝置產生 錯誤動作的可能性較高。 例如，如上述的洩漏檢査裝置的錯誤動作的例子（1 )地，三通電磁閥203的埠Χ-Υ之間未導通，或是封閉閥 204Α及204Β未打開就進行洩漏檢查時，則空氣壓未施加 於被檢查體及基準槽2 07之故，因而成爲B1’与〇，而波形 比K也成爲K与0。因此，異常判定手段是以滿足B1>B1’ ，可判定爲「洩漏檢查裝置進行錯誤動作」，該判定結果 顯示在異常顯示器309。 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (2 )地，三通電磁閥203與封閉閥204A ’ 204B都正常動 作，惟切換閥206A，206B都仍關閉的狀態下，實行洩漏 檢查時，則壓力變化値B1’是大約成爲零。藉由切換閥 206 A或20 6B，被檢査體A或B的內部空間，會從差壓計 205進行測定的空間被遮斷，而僅空氣壓供應路內部的隔 熱變化是在短時間內會收歛。 第12圖是表示在錯誤動作的例子（2)的狀態所測定 的被檢查體內部與基準槽207內部的差壓的時間變化的曲 線X-3，及表示上述的曲線X-1的圖式。如第12圖的曲 線X-3所示地，壓力變化値B1’是大約成爲零。結果’波 形比運算手段所算出的波形比κ是成爲K与0。異常判定 -51 - 200938824 手段是不管洩漏檢查的結果，以滿足B1>B1’，就判定爲 在洩漏檢查裝置有異常，而將該判定結果顯示在異常顯示 器 309。 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (3 )地，在差壓計205成爲不能動作時，則在檢查過程 所測定的壓力變化値B 1 ’成爲零之故，因而波形比運算手 段所算出的波形比K是成爲K~〇。異常判定手段是不管 洩漏檢查結果，以滿足B>B1’判定洩漏檢查裝置有異常， 而在異常顯示器309顯示著洩漏檢査裝置有異常。 又，在檢查過程中，若封閉閥204A，204B的任一方 仍關閉的狀態下導通三通電磁閥203的埠X-Y之間，則如 先前所說明的日本特公平7-101193號公報（專利文獻2 ) 所示地被錯誤判定爲有洩漏，把該判定結果被顯示在洩漏 判定顯示器3 08。但是，該錯誤判定是實際上不但在被檢 查體沒有洩漏，還錯誤判定具有洩漏之故，因而實害較少 〇 又，本發明是並不被限定於上述的實施形態者。例如 ，在上述的實施形態，異常判定手段是以滿足B 1 >Β Γ ’ 判定在洩漏檢查裝置有異常。但是，例如起因於差壓計 205的檢測感度降低而也有成爲B1>B1’的關係的情形。此 種情形若差壓計205的檢測感度降低爲容許範圍，也有在 洩漏檢查裝置不要判定爲有異常的情形，感度降低爲例如 比正常時降低3 0%時，則將波形比K設定爲 K = B 1 VB 1 >0.7 -52- 200938824 ，若K超過〇·7 ’則進行判定爲正常動作範圍的設定 也可以。 又，可任意地設定判定爲異常的臨界値5的構成也可 以。這時候，異常判定手段是爲Β1’-Β1<()時’則判定洩 漏檢查裝置的異常° • 在此，若洩漏檢查裝置爲正常的狀態’則滿足 Β 1 ’-Β1 2 0 ^ 。因此，洩漏檢查裝置在正常狀態爲最小的Β1’’是 Β 1 ’ = Β 1 ° 又，藉由洩漏檢查裝置的異常，在檢查時使得壓力變 化値Β1’成爲ΒΓ=〇時滿足Β1’-Β1=-Β1。 因此，可設定的臨界値（5的範圍是成爲 0 g 5 >-Β1。 將此些作成一般化，則異常判定手段是以滿足r · Bl+(5>Bl’（r是常數），成爲在洩漏檢查裝置判定爲異 Q 常。又，r的可設定的範圍是r>〇。r的上限並無特別， 因應於計測器的特性或被檢查體等被適當地設定。但是， 例如爲了僅避免降低差壓計205的檢測感度降低所致的錯 誤判定而在〇< r s 1的範圍內設定r就可以。 又，在本形態中，作成所定期間=穩定時間T2，而在 穩定期間T2的結束時機，作成測定壓力變化値B 1，B 1 ’ ’惟作成所定期間 <穩定期間T2，而在從加壓期間T 1的 結束時機經過該所定時間的時機來測定壓力變化値B 1， B 1 ’的構成也可以。 -53- 200938824 (第5實施形態） 說明本發明的第5實施形態。 第5實施形態是適用於本發明的第5、6態樣的錶壓 '式的洩漏檢查裝置的實施形態。在以下，以與以上所述的 • 實施形態的不同處爲中心加以說明。 第13圖是表示第5實施形態的洩漏檢查裝置710的 φ 構成的圖式。又，在第13圖中針對於與第1，3，8圖共 通的部分，附於與第1，3，8圖相同符號，而簡化說明。 本形態的洩漏檢查裝置710是藉由空氣壓裝置400與 判定裝置810所構成。空氣壓裝置400的構成是與上述的 習知構成或第2實施形態的構成同一之故，因而省略說明 。本形態的判定裝置8 1 〇，及第4實施形態的判定裝置 800之不同點，是具備上述的可變增益放大器301A來代 替可變增益放大器301之點。 〇 本形態的異常檢測方法，是利用存在於實施洩漏檢查 之前的穩定期間T2求出波形比K，而因應於波形比K的 値作成欲判定洩漏檢查裝置710或被檢查體的異常之處具 有特徵。 以下’說明本形態的異常檢測方法。 <<校對過程>> 本形態的異常檢測方法，是包括校對過程與檢查過程 -54- 200938824 在校對過程中，與第1實施形態同樣在連接工模 208A或208B的任一工模，連接沒有洩漏，而成爲標準的 被檢查體A或B的任一被檢查體（第1被檢查體）。 在該狀態下，進行加壓期間T1 '穩定期間T2、檢查 期間T3及排氣期間T4的各動作。又，控制此些各期間的 動作是與第1實施形態同樣。· 在加壓期間T1，與第1實施形態同樣地，在被檢查 φ 體A或被檢查體B的任一被檢查體（第1被檢查體）的內 部施加有空氣壓。該狀態是在加壓期間T 1結束爲止仍繼 續，之後，封閉第1被檢查體的內部的空氣。 在下一穩定期間T2，測定發生在第1被檢查體的被 檢查體A或被檢查體B的內部的壓力。在本形態，計測加 壓期間Tl(包括加壓於第1被檢查體的內部的過程，及 封閉該內部空氣的過程）的結束時機，及從該結束時機經 過所定時間的時機的期間所產生的第1被檢查體的被檢查 〇 體Α或被檢查體Β內部的壓力變化値Β1，並將該壓力變 化値B 1記憶在RAM3 06。在本形態的例子，令該所定期 間=穩定期間T2，而在穩定期間T2的結束時機，測定壓 力變化値Β 1。又，本形態的「壓力變化値」，是指施加 空氣壓的被檢查體A或B內部的空氣壓的變化値。 又，在校對過程的穩定期間T2所進行的計測處理的 控制是藉由標準値測定手段所進行，而將壓力變化値Β 1 記憶在RAM3 06的處理，是藉由測定値記憶手段所控制。 檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上所述之故， -55 - 200938824 因而省略說明。 <<檢查過程>> 檢查過程是僅重複成爲洩漏檢査對象的被檢查體的數 量。 在檢查過程中，與第1實施形態同樣，在連接工模 20 8A或20 8B的任一工模，連接成爲洩漏檢査對象的被檢 ❹ 查體A或B的任一被檢查體（第2被檢查體）。 在該狀態下，與校對過程同樣地進行加壓期間T 1、 穩定期間T2、檢查期間T3及排氣期間T4的各動作。又 ’檢查期間T3及排氣期間T4的動作是如上述之故，因而 省略說明，在以下說明檢查過程的加壓期間T1及穩定期 間T 2的動作。 在加壓期間T1，與校對過程同樣地，加壓在第2被 檢查體的被檢查體A或B的內部，而在結束加壓期間丁1 〇 的時機，封閉該內部的空氣。 在下一穩定期間T2 ’測定第2被檢查體的被檢查體A 或被檢查體B的內部的壓力。 在本形態’計測加壓期間T1 (包括加壓於第2被檢 查體內部的過程，及封閉該內部空氣的過程）的結束時機 ，及從該結束時機經過所定期間（與校對過程相同）的時 機之期間所產生的第2被檢査體的被檢查體A或被檢查體 B內部的壓力變化値B 1 ’，並將該壓力變化値b 1 ’記憶在 RAM3 00 〇在本形態的例子中，作爲該所定期間=穩定期間 -56- 200938824 T2，而在穩定期間T2的結束時機來測定壓力變化値Bl’ 〇 又，在檢查過程的穩定期間T2所進行的計測處理的 控制，是藉由檢查値測定手段所進行。又，將壓力變化値 ' B1’記憶在RAM306的處理，是藉由測定値記憶手段所控 ' 制。 之後，在CPU3 04讀入波形比運算程式806F所構成 φ 的波形比運算手段，從RAM3 06讀入壓力變化値Bl，B1’ ，而將波形比K運算作爲K = B1’/B1。被算出的波形比K 是被貯存於RAM306。 然後，與第 4實施形態同樣，異常判定手段從 R AM3 06讀入波形比K，而波形比K的數値不足1時，亦 即，壓力變化値Bl，B1’表示B1>B1’時，則判定爲洩漏檢 查裝置的動作異常。 例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子（1 〇 )地，三通電磁閥203的埠X-Y之間未導通，或是封閉閥 204A未打開就進行洩漏檢查時’則空氣壓未施加於被檢 查體之故，因而成爲B1’与0，而波形比K也成爲K4 0。 因此，異常判定手段是以滿足B 1 >B 1 ’，可判定爲「洩漏 檢查裝置進行錯誤動作」，該判定結果顯示在異常顯示器 309 ° 又，例如，如上述的洩漏檢查裝置的錯誤動作的例子 (2 )地，三通電磁閥203與封閉閥204都正常動作，惟 切換閥206 A，20 6B都仍關閉的狀態下，實行洩漏檢査時 -57- 200938824 ，則壓力變化値B1’是大約成爲零。藉由切換閥206A或 206B，被檢查體A或B的內部空間，會從壓力計209進 行測定的空間被遮斷，而僅空氣壓供應路內部的隔熱變化 是在短時間內會收歛。這時候，壓力變化値B1’是大約成 '爲零。結果，波形比運算手段所算出的波形比K是成爲K ~〇。異常判定手段是不管洩漏檢查的結果，以滿足 B1>B1’，就判定爲在洩漏檢查裝置有異常，而將將該判定 0 結果顯不在異常顯不器309。 又，例如，如上述的洩漏檢査裝置的錯誤動作的例子 (3 )地，在壓力計209成爲不能動作時，則在檢查過程 所測定的壓力變化値B 1 ’成爲零之故，因而波形比運算手 段所算出的波形比K是成爲K4 0。異常判定手段是不管 洩漏檢查結果，以滿足B1>B1’，判定洩漏檢查裝置有異 常，而在異常顯示器309顯示著洩漏檢查裝置有異常。 又，本發明是並不被限定於上述的實施形態。例如， 〇 在上述的實施形態，異常判定手段是以滿足B 1 >B 1，，判 定在洩漏檢査裝置有異常。但是如第4實施形態所述地， 異常判定手段是以滿足7 ·Β1+5>Β1’.（χ是常數），成 爲在洩漏檢查裝置判定爲異常的構成也可以。 又，在本形態中，作成所定期間=穩定時間Τ2，而在 穩定期間Τ2的結束時機，作成測定壓力變化値Β丨，β 1， ，惟作成所定期間 < 穩定期間T 2，而在從加壓期間τ 1的 結束時機經過該所定時間的時機來測定壓力變化値B 1， B 1 ’的構成也可以。 -58- 200938824 又’在各實施形態所述的程式，是可記錄在使用電腦 可讀取的記錄媒體。作爲使用電腦可讀取的記錄媒體，有 例如磁性記錄裝置、光碟、光磁性記錄媒體、半導體記憶 體等任何者都可以，惟具體地，例如作爲磁性記錄裝置， '可使用硬碟裝置、撓性碟、磁帶等，作爲光碟，可使用 DVD ( Digital Versagile Disc ) 、DVD-RAM ( Random
Access Memory) ' CD-ROM ( Compact Disc Read Only ❹ Memory ) 、CD-R ( Recordable ) /RW ( Rewritable )等， 作爲光磁性記錄媒體，可使用MO (Magneto-Optical disc )等，而作爲半導體記憶體，可使用EEP-ROM ( Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory )等。 又，該程式的流通，是例如將記錄該程式的DVD、 CD-ROM等的可搬型記錄媒體藉由販賣、讓渡、借貨等所 進行。又，將該程式貯存於伺服電腦的記錄裝置，經由網 ❹ 際網路，將該程式從伺服電腦轉送至其他電腦，而作成流 通該程式的構成也可以。 實行此種程式的電腦，是例如，首先，將從被記錄在 可搬型記錄媒體的程式或伺服電腦所轉送的程式，一旦貯 存在自己的記憶裝置。又，實行處理時，該電腦是讀取被 貯存在自己的記錄媒體的程式，而實行依照所讀取的程式 的處理。又’作爲該程式的其他實施形態，電腦從可搬型 記錄媒體直接讀取程式，而作成實行依照該程式的處理也 可以’又’每當程式從伺服電腦轉送至該電腦之際，依次 -59- 200938824 實行依照所接受的程式的處理也可以。又，從伺服電腦， 來進行對該電腦的程式的轉送’僅藉由該實行指示與結果 取得就可實現處理功能的所謂ASP ( Application Service Provider )型的服務，作成實行上述處理的構成也可以。 又，在本形態的程式’包括乃爲給予依電子計算機的處理 用的資訊而依據程式者（並不是直接對於電腦的指令，惟 具有規定電腦的處理的性質的資料等）。 又，在上述各形態中，將藉由在電腦上實行所定的程 式所構成的部分的至少一部分，作成僅實現硬體也可以。 依本發明的洩漏檢查裝置的異常檢測方法及使用檢測 方法使之動作的洩漏檢査裝置，是例如在各種的容器製造 公司等被活用。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示習知的差壓式洩漏檢查裝置的構成的圖 ❹ 式。 第2A圖至第2E圖是表示用以說明洩漏檢査裝置的大 槪動作的圖表。第2A圖是表示可變增益放大器的輸出値 的時間變化的圖表。又，第2B圖是表示加壓期間T1之際 成爲H (High)狀態，其以外之際成爲L( Low)狀態的 定時訊號Cl的圖表。第2C圖是表示在穩定期間T2之際 成爲Η狀態，其以外之際成爲L狀態的定時訊號C2的圖 表。第2D圖是表示檢查期間Τ3之際成爲Η狀態，其以 外之際成爲L狀態的定時訊號C3的圖表。第2Ε圖是表示 -60- 200938824 排氣期間T4之際成爲Η狀態’其以外之際成爲L狀態的 定時訊號C4的圖表。 第3圖是表示習知的差壓式洩漏檢查裝置的構成的圖 式。 '第4A圖是表示從壓力計所輸出的壓力測定値有變化 的樣子的圖表。第4B圖是表示判定裝置的可變增益放大 器的輸出波形的圖表。又，第4C圖是表示加壓期間T1之 φ 際成爲H ( High)狀態，其以外之際成爲L( Low)狀態 的定時訊號Cl的圖表。第4D圖是表示在穩定期間T2之 際成爲Η狀態，其以外之際成爲L狀態的定時訊號C2的 圖表。第4Ε圖是表示檢查期間Τ3之際成爲Η狀態，其 以外之際成爲L狀態的定時訊號C3的圖表。第4F圖是表 示排氣期間Τ4之際成爲Η狀態，其以外之際成爲L狀態 的定時訊號C4的圖表。 第5圖是表示第1實施形態的洩漏檢查裝置的構成的 圖式。 第6圖是例示用以求出波形比Κ的測定條件的圖表。 第7圖是表示在錯誤動作的例子（2)的狀態所測定 的被檢查體內部與基準槽內部的差壓的時間變化的曲線 Χ-3，及表示上述的曲線Χ-1的圖表。 第8圖是表示第2實施形態的洩漏檢查裝置的構成的 圖式。 第9圖是例示使用微分値在差壓式的洩漏檢査裝置中 用以求出波形比Κ的測定條件的圖表。 -61 - 200938824 第10圖是表示第4實施开 的圖式。 第1 1圖是例示用以求出第 測定條件的圖表。 第12圖是表示在錯誤動作 的被檢査體內部與基準槽207內 線X-3，及表示上述的曲線X-1 第13圖是表示第5實施： 的圖式。 【主要元件符號說明】 100 、 110' 500 、 510 、 700 、 200、400 :空氣壓裝置 300 ' 600 、 610' 800、 810: 態的洩漏檢查裝置的構成 4實施形態的波形比大的 ij例子（2)的狀態所測定 部的差壓的時間變化的曲 3圖表。 態的洩漏檢查裝置的構成 710:洩漏檢查裝置 判定裝置
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