JP2024504908A - 漏れ検査装置及び方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、漏れ検査装置（１）と、装置（１０）の漏れ穴の有無を検査する対応の方法と、を提供する。装置（１０）は、例えば、１つ又は複数の密封可能な開口を有する電気筐体などの工業製品でもよい。漏れ検査装置（１）は、ポンプ（２）と、圧力チャンバ（３）と、圧力検出部（４）と、制御・処理・決定部（５）と、ユーザインタフェイス（６）を含む。第１弁（７）は、ポンプ（２）を圧力チャンバ（３）に接続でき、第２弁（８）は、圧力チャンバ（３）を被検査装置（１０）に接続できる。ポンプ（２） は、大気などの気体源又は槽（９） に接続されている。このため、ポンプ（２）は、圧力チャンバ（３）の内部容量（３３）を加圧又は排気できる。続いて、内部容量（３３）は、装置（１０）の漏れ穴の有無を検査するために、周囲に対して密封された被検査装置（１０）の内部容量（１１）に接続されてもよい。圧力検出部（４）は、被検査装置（１０）用の検査データのセットを導出するために、高分解能を有し、内部容量（３３）内の圧力を高頻度でサンプリングできる。検査データのセットは、被検査装置（１０）の内部形状、構成、及び材料構成によって決定され、被検査装置（１０）に特有である。検査データのセットは、被検査装置（１０）における１つ又は複数の漏れ穴の存在によって影響を受けるので、制御・処理・決定部（５）は、例えば、検査データのセットを制御データのセットと比較することによって検査データのセットを分析して、被検査装置（１０）が漏れ検査に合格か否かを決定でき、漏れ検査の結果をユーザインタフェイス（６）に出力できる。図１

Description

本発明は、請求項１に係る漏れ検査装置と、請求項７に係る装置の漏れ穴の有無を検査する方法に関する。
従来技術においては、漏れ検査手順を実行するために、漏れ検査装置を使って、装置の１又は複数の漏れ穴の有無を検査することが知られている。例えば、米国特許第３８００５８６号明細書、米国特許第４５８７６１９号明細書、及び米国特許第５２３９８５９号明細書は、種々の漏れ検査装置と、それらにそれぞれ記載されている当該種々の装置を使用して装置の漏れ穴の有無を検査する種々の方法と、を開示している。
米国特許第３８００５８６号明細書は、被検査装置を漏れ検査装置に接続することと、被検査装置内を検査圧力にするために弁を閉じて被検査装置に検査圧力を与えることと、圧力の変化を測定することと、を開示している。当該検査装置は、被検査装置が閉められた後に被検査装置内の初期圧力を測定し、そして、初期圧力に対する圧力の変化を比較し、それにより、被検査装置内の漏れ程度を判定する。
米国特許第４５８７６１９号明細書は、電子式動的つりあい漏れ検査システムを使用する電子式な漏れ検査の方法及び装置を開示している。このシステムは、「ライブゼロ」を使用して被検査装置のいかなる漏れ穴も検出するものであり、このシステムでは、所定の所望圧力又は真空状態の試験媒体の供給源が、被検査装置に接続される。被検査装置が試験媒体で満たされ、そして、波面振動による影響を安定させるための時間間隔が与えられた後、被検査装置は、試験媒体の供給源から瞬間的に分離され、そして、マイクロコンピュータシステムが、当該分離を引き起こすためと、検査中の２つの時点に存在する差圧を測定するためと、の両方に使用される。
米国特許第５２３９８５９号明細書は、中空体の漏れ検査をするための方法及び装置を開示しており、中空体は、検査チャンバ内に配置される。中空体は、中空体の内圧と検査チャンバ内の圧力との間の正又は負の差圧のうちの一方にさらされる。検査チャンバ内の圧力は、２つの時点で、検査チャンバから検出され、２つの時点での検査チャンバ内の圧力の値の間の圧力差の信号が生成される。中空体の容量の気密性又は変化は、生成された圧力差の信号に依存して決定される。
従来技術の複数の漏れ検査方法は、圧力減衰検査と真空減衰検査との両方を含み、それらの各々によれば、被検査装置は、正圧又は負圧のいずれかを受ける。
発明の目的
このため、本発明の目的は、改良された漏れ検査装置と、装置の漏れ穴の有無を検査する改良された方法と、を提供することである。
発明の説明
本発明の目的は、請求項１に係る漏れ検査装置によって解決される。漏れ検査装置は、ポンプと、圧力チャンバと、第１弁と、第２弁と、圧力検出部と、制御・処理・決定部と、制御・処理・決定部と繋がっているユーザインタフェイスと、を含む。ポンプは、第１開口と第２開口とを少なくとも含み、第１開口は、気体源又は槽と流体連通しており、ポンプは、第１開口と第２開口との間の気体を移動するように構成されている。圧力チャンバは、内部容量と、内部容量と流体連通する少なくとも第１開口及び第２開口と、を含む。第１弁は、ポンプの第２開口を圧力チャンバの第１開口と流体連通するオン状態と、ポンプの第２開口と圧力チャンバの第１開口との間の流体連通を妨げるオフ状態と、を少なくとも有する。第２弁は、圧力チャンバの第２開口を被検査装置の内部容量と流体連通するオン状態と、圧力チャンバの第２開口と被検査装置の内部容量との間の流体連通を妨げるオフ状態と、を少なくとも有する。圧力検出部は、圧力測定値出力部を少なくとも含み、以下のような第１時点と第２時点との間に、圧力チャンバの内部容量の圧力を繰り返し測定するように構成されている。第１時点は、圧力チャンバの内部容量の圧力が、被検査装置の内部容量の圧力とは異なる所定値を有し、かつ、第２弁のオフ状態が、圧力チャンバの内部容量と被検査装置の内部容量との間の流体連通を妨げているときである。第２時点は、第２弁のオン状態が、圧力チャンバの内部容量を被検査装置の内部容量と流体連通した後に、圧力チャンバの内部容量の圧力が被検査装置の内部容量の圧力とつりあうときである。制御・処理・決定部は、ポンプと、第１弁及び第２弁のオン状態及びオフ状態と、を制御し、圧力検出部の圧力測定値出力部から複数の圧力測定値を受信し、複数の圧力測定値から導出される検査データのセットに基づいて、被検査装置が漏れ検査に合格か否かを決定するように構成されている。
圧力チャンバの内部容量の圧力が、被検査装置の内部容量の圧力とつりあおうとしている間、圧力検出部は、圧力チャンバの内部容量の圧力を繰り返し測定するので、複数の圧力測定値から導出される検査データのセットは、被検査装置に特有である。したがって、検査データのセットは、被検査装置の「識別用の特徴」と見なすことができる。検査データのセットは、被検査装置の１つ又は複数の漏れ穴の存在によって影響を受けるので、このため、制御・処理・決定部は、この検査データのセットを分析することによって、被検査装置が漏れ検査に合格か否かを決定できる。従来技術の漏れ検査装置では、被検査装置が漏れ検査に合格か否かを決定するために、漏れ検査の開始時の圧力値を漏れ検査の終了時の圧力値と比較する、又は、被検査装置が所定の圧力に達するのに要する時間を用いており、この従来技術の漏れ検査装置と比較すると、これは、被検査装置において起り得るいかなる漏れ穴についての位置及び性質を、検査データのセットの分析によって特定するために、検査データのセットを使用できるという利点を有する。この分析は、本発明の漏れ検査装置のユーザによって、又は、適切にプログラムされた制御・処理・決定部によって、又は、その２つの組合せによって、実行可能である。
この解決策は、従来技術のいくつかの漏れ検査装置とは異なり、より精工に製造される高価な部品の使用を必要とする、調整される気体源又は槽を必要としないため、有益でもある。さらに、調節された真空又は加圧気体の供給源を使用する従来技術の漏れ検査装置は、互いに異なる内部容量を有する広範囲の種々の複数の装置を、同様の精度レベルで検査することに適していない可能性がある。これは、調節された気体源又は槽を使用して漏れ検査を受ける異なる内部容量を有する複数の装置は、同じ精度レベルを達成するには、互いに異なる気体流量を必要とするからである。その代わりに、本発明の装置は、圧力チャンバの内部容量を変化させることによって、又は、被検査装置の内部容量に適合するように圧力チャンバの内部容量内の圧力の所定値を変化させることによって、互いに異なる内部容量を有する複数の装置を検査することに容易に適合可能である。圧力チャンバの内部容量は、互いに同じ又は類似の内部容量を有する複数の圧力チャンバを互いに接続することによって、又は、圧力チャンバを、異なるサイズのうち、被検査装置の内部容量により一致した１つに交換することによって、容易に変更できる。
本発明の有利な実施形態は、任意の請求項及び／又は以下の詳細な説明の一部に従って構成されてもよい。
いくつかの実施形態では、圧力検出部は、圧力チャンバの内部容量の圧力を、少なくとも１０Ｈｚ、好ましくは少なくとも１００Ｈｚ、より好ましくは少なくとも１ｋＨｚ、最も好ましくは少なくとも１０ｋＨｚの時間周波数で測定可能である。より高い周波数で圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定できる圧力検出部は、生成される検査データのセットの時間分解能を高める利点を有する。これは、被検査装置の１つ又は複数の特徴を明らかにすることにおいて有益であり、そうでなければ、より低い周波数で圧力チャンバの内部容量内の圧力を測定することによって検出不可能になり得る。
いくつかの実施形態では、圧力検出部は、圧力チャンバの内部容量の圧力を、０．１パーセント以下、好ましくは１００００分の１以下、より好ましくは１０５分の１以下、最も好ましくは１０６分の１以下の誤差精度で測定可能である。圧力チャンバの内部容量内の圧力をより高い精度で繰り返し測定できる圧力検出部は、生成される検査データのセットにおける圧力の分解能を高める利点がある。これは、被検査装置の１つ又は複数の特徴を明らかにすることにおいて有益であり、そうでなければ、圧力チャンバの内部容量内の圧力をより低い精度で測定することによって検出不可能になり得る。
本装置のいくつかの実施形態では、制御・処理・決定部は、被検査装置用の検査データのセットを制御データのセットと比較することによって、被検査装置が漏れ検査に合格か否かを決定するように構成されており、検査データのセットが、所定の基準によれば制御データのセットと十分に類似している場合、被検査装置を合格にし、一方、検査データのセットが当該所定の基準によれば制御データのセットと十分に類似していない場合、被検査装置を不合格にする。
制御データのセットは、例えば、複数の検査データのセットから導出されてもよく、当該複数の検査データのセットの各々は、被検査装置と同じタイプの他の複数の装置が同じ漏れ検査装置に接続されて同じ漏れ検査手順を受けたときに、当該被検査装置と同じタイプの他の複数の装置によって生成される。他方、制御データのセットは、そうではなく、被検査装置と同じタイプの１つの装置が同じ漏れ検査装置に接続されて同じ漏れ検査方法を受けたときに、当該被検査装置と同じタイプの１つの装置によって生成された検査データのセットでもよい。この１つの装置は、被検査装置のタイプの標準化された典型でよく、又は、既知の場所の１つ又は複数の漏れ穴などの特定の特徴を有する被検査装置と同じタイプの実例でもよい。
所定の基準は、例えば、検査データのセットと制御データのセットとの間の所定の類似度又は所定の差分の程度であってもよい。所定の基準は、固定された基準、動的基準でもよく、動的基準は、連続する複数の装置が同じ漏れ検査装置に接続されて同じ漏れ検査方法を受けている間に変化する。
もしそうであれば、制御・処理・決定部は、被検査装置と同じタイプの複数の装置から機械学習によって所定の基準を導出するように構成されてもよく、同じタイプの複数の装置の各々は、被検査装置と同じ漏れ検査手順を受けている。この解決策は、同じ漏れ検査装置に接続されて同じ漏れ検査方法を受けている同じタイプの複数の装置の数が増加するほど、制御・処理・決定部が被検査装置を合格にすべきか不合格にすべきと判定できる精度を向上させるので、有益である。
いくつかの実施形態では、制御・処理・決定部は、ポンプ及び第１弁及び第２弁のうちの少なくとも１つから状態情報を受信するように構成されてもよく、状態は、それぞれのオン状態及びオフ状態、及び、オン状態のときのポンプの動作速度等である。この解決策は、制御・処理・決定部が、単になる開ループ制御ではなく、ポンプ及び第１弁及び第２弁のうちの少なくとも１つの閉ループ制御を実行することを可能にするので、有益である。
また、本発明は、装置の漏れ穴の有無を検査する方法に関する。当該方法は、密封された圧力チャンバの内部容量の圧力が所定値に達するまで、密閉された圧力チャンバの中へ又は中から外へ、気体をポンプによって移動することと、その後に気密状態となるように圧力チャンバを閉じることと、被検査装置の内部容量が被検査装置の周囲と流体連通しないように、被検査装置のいかなる開口も閉じることと、被検査装置の内部容量を圧力チャンバの内部容量と流体連通で接続することと、検査データのセットを生成するために、圧力チャンバの内部容量内の圧力が被検査装置の内部容量内の圧力とつりあうまで、圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定することと、このように生成された検査データのセットを制御データのセットと比較することと、を少なくとも含む。検査データのセットが、所定の基準によれば制御データのセットと十分に類似している場合、被検査装置は合格とされ、一方、検査データのセットが、所定の基準によれば制御データのセットと十分に類似していない場合、被検査装置は不合格とされる。
制御データのセットは、例えば、複数の検査データのセットの算術平均又は幾何平均でもよく、複数の検査データのセットの各々は、被検査装置と同じタイプの他の複数の装置が同じ漏れ検査方法を受けたときに、当該被検査装置と同じタイプの他の複数の装置によって生成される。一方、制御データのセットは、被検査装置と同じタイプの１つの装置が同じ漏れ検査方法を受けたときに、当該被検査装置と同じタイプの１つの装置によって生成された検査データのセットでもよい。前述の１つの装置は、被検査装置のタイプの標準化された典型でよく、又は、既知の場所の１つ又は複数の漏れ穴などの特定の特徴を有する被検査装置と同じタイプの実例でもよい。
所定の基準は、例えば、検査データのセットと制御データのセットとの間の所定の類似度又は所定の差分の程度であってもよい。所定の基準は、固定された基準でもよく、あるいは、動的基準でもよく、動的基準は、連続する複数の装置が同じ漏れ検査装置に接続されて同じ漏れ検査方法を受けている間に変化する。
この解決策は、圧力チャンバの内部容量内の圧力が被検査装置の内部容量内の圧力とつりあうまで圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定することが、被検査装置に特有であって被検査装置の「識別用の特徴」と見なされ得る検査データのセットを提供するため、有益である。このため、これは、被検査装置が合格とされるべきか又は不合格とされるべきかを単に判定するのではなく、被検査装置用の検査データのセットを、被検査装置と同じタイプの他の複数の装置によって生成された他の検査データの複数のセットと比較することによって、不合格の装置のいかなる漏れ穴のタイプ及び／又は位置を特定することに役立つこともできる。
いくつかの実施形態では、圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定することは、圧力チャンバの内部容量の圧力を、少なくとも１０Ｈｚ、好ましくは少なくとも１００Ｈｚ、より好ましくは少なくとも１ｋＨｚ、最も好ましくは少なくとも１０ｋＨｚの時間周波数で繰り返し測定することを含む。より高い周波数で圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定することは、被検査装置に特有である検査データのセットの時間分解能を高める利点を有する。したがって、これは、被検査装置の１つ又は複数の特徴を明らかにでき、そうでなければ、より低い周波数で圧力チャンバの内部容量内の圧力を測定することによって検出不可能になり得る。
いくつかの実施形態では、圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定することは、圧力チャンバの内部容量内の圧力を、０．１パーセント以下、好ましくは１００００分の１以下、より好ましくは１０５分の１以下、最も好ましくは１０６分の１以下の誤差精度で繰り返し測定することを含む。圧力チャンバの内部容量内の圧力をより高い精度で繰り返し測定することは、被検査装置に特有な検査データのセットにおける圧力の分解能を高める利点がある。したがって、これは、被検査装置の１つ又は複数の特徴を明らかにもでき、そうでなければ、より低い精度で圧力チャンバの内部容量内の圧力を測定することによって検出不可能になり得る。
いくつかの実施形態では、検査データのセットを制御データのセットと比較することは、検査データのセットを表すグラフの形状を、制御データのセットを表すグラフの形状と比較することを含み、各グラフは、圧力チャンバの内部容量内の圧力を時間と対比して表す。この解決策は、検査データのセットを表すグラフの形状によって、被検査装置の特性が容易に特定可能になるため有益である。同様に、制御データのセットを表すグラフの形状によって、被検査装置と同じタイプの装置の理想的な実例の特性も容易に特定可能になる。
例えば、各グラフの形状は、多項式回帰によって得られる、検査データのセット及び制御データのセットの各々に対するそれぞれの最良適合の線によって定義されてもよく、そして、各グラフの形状を比較することは、各多項式における項の係数を比較することを含んでもよい。多項式表現によってこのような各グラフを定義することと、各多項式における項の係数を比較することによってこのような各グラフの形状を比較することは、２つのグラフの間の類似度を定量化できる容易な方法を提供する。
検査データのセットを表すグラフの形状が、制御データのセットを表すグラフの形状と比較される場合、このような各グラフの形状を比較することは、少なくとも１つ好ましくはいくつかの極大値、少なくとも１つ好ましくはいくつかの極小値、及び／又は、少なくとも１つ好ましくはいくつかの変曲点の、各グラフにおけるそれぞれの位置（すなわち、座標）を比較することを含んでもよい。この解決策は、２つのグラフにおける極大値、極小点、及び／又は変曲点のそれぞれの位置が、被検査装置の特定の特徴の診断、ならびに、被検査装置と同じタイプの装置の理想的な実例の診断となり得るので、有益である。
いくつかの実施形態では、本方法は、被検査装置と同じタイプの複数の装置から機械学習によって所定の基準を導出することを含んでもよく、同じタイプの複数の装置の各々は、被検査装置と同じ漏れ検査方法を受けている。この解決策は、同じ漏れ検査方法を受けている同じタイプの複数の装置の数が増加するほど、漏れ検査方法が被検査装置を合格とすべきか不合格にすべきかを判定できる精度を向上させるので、有益である。
いくつかの実施形態では、本方法は、被検査装置の内部容量にほぼ等しくなるように圧力チャンバの内部容量を選択することをさらに含んでもよい。例えば、圧力チャンバの内部容量は、被検査装置の内部容量の、４倍以下、好ましくは３倍以下、より好ましくは２倍以下、かつ、４分の１以上、好ましくは３分の１以上、より好ましくは２分の１以上となるように選択されてもよい。この解決策は、このようにして圧力チャンバの内部容量を被検査装置の内部容量にほぼ一致させることが、漏れ検査の感度を高めるために使用できるので、有益である。
いくつかの実施形態では、密閉された圧力チャンバの内部容量の圧力が所定値に達するまで、密閉された圧力チャンバの中へ又は中から外へ、気体をポンプによって移動することは、圧力チャンバが完全に排気されるまで、密閉された圧力チャンバの中から外へ、気体をポンプによって移動することを含んでもよい。このような場合、第２弁が開かれると、被検査装置は、真空を用いた漏れ検査を受ける。これは、加圧気体を用いた漏れ検査よりも、内部容量が大きい装置の試験に、より適しているという利点がある。
いくつかの実施形態では、装置の漏れ穴の有無を検査する方法は、上述の漏れ検査装置を使用することを含んでもよい。
本発明のさらなる特徴、目的、及び利点が、本発明の例示的な構成要素が示されている添付の図面に関連して説明される。本発明による装置及び方法の構成要素であって、それらの機能に関して少なくとも本質的に互いに等価であるものには、同じ参照番号が付されることができ、そのような構成要素は、全ての図面において示されたり説明されたりする必要はない。
以下の説明において、本発明は、添付の図面に関して単なる例として説明される。
図１は、漏れ検査装置の実施形態を概略的に表すブロック図である。
図２は、図１に示されるような漏れ検査装置を用いて実行され得る、装置の漏れ穴の有無を検査する方法の実施形態を概略的に表す流れ図である。
図３Ａは、図１の漏れ検査装置で測定された検査データのセット及び制御データの、第１の代表例を模式的に示すグラフである。
図３Ｂは、図１の漏れ検査装置で測定された検査データのセット及び制御データの、第２の代表例を模式的に示すグラフである。
詳細な説明
図１は、被検査装置１０の１つ又は複数の漏れ穴を検出するために使用可能な漏れ検査装置１の実施形態を概略的に示す。漏れ検査装置１は、ポンプ２と、圧力チャンバ３と、圧力検出部４と、制御・処理・決定部５と、ユーザインタフェイス６と、第１弁７と、第２弁８と、を含む。漏れ検査装置１は、漏れ穴を検出するように意図されているので、漏れ検査装置１は、それ自体、実質的に漏れ穴がないことが保証される十分に高い基準で製造及び維持されていることが当然重要であり、そうでなければ、正しい動作を妨げてしまう。このため、前述及び以下の説明は、全体を通して、漏れ検査装置１自体には、実質的に漏れ穴がないことを想定している。
漏れ検査装置１のポンプ２は、第１開口２１と第２開口２２とを含む。第１開口２１は、気体源又は槽９と、流体連通しており、気体源又は槽９は、例えば、漏れ検査装置１の周囲からの空気、又は、検査気体のボトルからの空気であり、そして、ポンプ２は、第１開口２１と第２開口２２との間の気体をポンプで移動するように構成されている。このため、ポンプ２は、気体を、気体源９から第１開口２１を介して第２開口２２へ、ポンプで移動してもよく、この場合、ポンプ２は、第２開口２２と流体連通している物を加圧するために使用されてもよく、又は、ポンプ２は、気体を、第２開口２２から第１開口２１を介して槽９に（大気に等）、ポンプで移動してもよく、この場合、ポンプ２は、第２開口２２と流体連通している物において排気するために使用されてもよい。
圧力チャンバ３は、内部容量３３と、第１開口３１と、第２開口３２と、を含み、第１開口３１と第２開口３２の両方は、圧力チャンバ３の内部容量３３と、流体連通している。圧力チャンバ３は十分に堅く、漏れ検査装置１の動作中に、圧力チャンバ３が部分的に又は完全に排気又は加圧されても、圧力チャンバ３の内部容量３３は一定を維持する。圧力チャンバ３の内部容量３３は、以下の２つの方法のうちの１つ方法において、被検査装置１０の内部容量１１とほぼ等しくなるように選択可能である。第１は、互いに異なるサイズの複数の内部容量１１に対する複数の異なる圧力チャンバ３の中から、被検査装置１０の内部容量１１とほぼ等しい１つが、選択可能である。第２は、互いに同じ又は類似のサイズの内部容量１１に対する複数の圧力チャンバ３が互いに接続されて、被検査装置１０の内部容量１１とほぼ等しい結合内部容量が形成可能である。
第１弁７は、オン状態とオフ状態とを有し、オン状態では、ポンプ２の第２開口２２を圧力チャンバ３の第１開口３１と流体連通し、オフ状態では、ポンプ２の第２開口２２と圧力チャンバ３の第１開口３１との間の流体連通を妨げる。第２弁８は、オン状態とオフ状態とを有し、オン状態では、圧力チャンバ３の第２開口３２を被検査装置１０の内部容量１１と流体連通し、オフ状態では、圧力チャンバ３の第２開口３２と被検査装置１０の内部容量１１との間の流体連通を妨げる。
圧力検出部４は、圧力測定値出力部４１を含み、以下のように少なくとも２つの異なる時点の間、圧力チャンバ３の内部容量３３の圧力を繰り返し測定するように構成されている。第１時点は、圧力チャンバ３の内部容量３３の圧力が、被検査装置１０の内部容量１１の圧力とは異なる所定値ｐ１を有し、かつ、第２弁８のオフ状態が、圧力チャンバ３の内部容量３３と被検査装置１０の内部容量１１との間の流体連通を妨げているときである。第２時点は、第２弁８のオン状態が、圧力チャンバ３の内部容量３３を被検査装置１０の内部容量１１と流体連通した後に、圧力チャンバ３の内部容量３３の圧力が被検査装置１０の内部容量１１の圧力とつりあうときである。圧力検出部４は、高い時間周波数（すなわち、高いサンプリング速度）及び高い分解能（すなわち、圧力における高い精度）で、圧力チャンバ３の内部容量３３の圧力を測定可能である。
制御・処理・決定部５は、ポンプ２と、第１弁７及び第２弁８のオン状態及びオフ状態と、を制御するように構成されている。また、制御・処理・決定部５は、圧力検出部４の圧力測定値出力部４１から複数の圧力測定値を受信するように構成されている。制御・処理・決定部５は、複数の圧力測定値から導出される検査データのセット５１ａ、５１ｂに基づいて、被検査装置１０が漏れ検査に合格か否かを決定するように構成されている。最後に、制御・処理・決定部５は、ポンプ２から、及び、第１弁７と第２弁８とから、ポンプ２がオン又はオフに切り換えられているかと、第１弁７と第２弁８がそれぞれオン状態であるかオフ状態であるか等の状態情報を受信するようにも構成されている。制御・処理・決定部５は、検査データ５１ａ、５１ｂ、制御データ、及び／又は、制御・処理・決定部５の動作用の１つ又は複数のプログラムを記憶するためのメモリを含んでもよい。
ユーザインタフェイス６は、制御・処理・決定部５と接続されて双方向通信し、漏れ検査装置１のユーザが制御・処理・決定部５とやり取りすることを可能にするように構成されている。例えば、ユーザインタフェイス６は、ユーザが制御・処理・決定部５に漏れ検査を開始又は停止することを命令し、ユーザが制御・処理・決定部５から漏れ検査の結果を受け取ることを可能にする。
漏れ検査装置１がどのように作動するかは、図２に関連して与えられる以下の詳細な説明を参照することによって、より良く理解されるであろう。
図２は、装置の漏れ穴の有無を検査する方法１００の一実施形態を概略的に示し、方法１００は、図１の漏れ検査装置１を使用して実行されてもよい。異なる複数の内部容量１１を有する複数の装置１０の漏れ穴を検出することに漏れ検査装置１を適合するために、方法１００は、最初に、被検査装置１０の内部容量１１とほぼ等しい圧力チャンバ３の内部容量３３を選択すること９９を含んでもよい。これは、圧力チャンバ３と被検査装置１０とのそれぞれの内部容量の間の大きな不つりあいを避けることによって、被検査装置１０の漏れ穴の検出に対する漏れ検査装置１の感度を向上させる効果を有する。例えば、圧力チャンバ３の内部容量３３は、被検査装置１０の内部容量１１の３倍以下かつ３分の１以上となるように選択すること９９が行われてもよい。しかしながら、この最初の選択９９は任意であり、被検査装置１０の互いに異なる複数の内部容量１１に適合するように、代替的に又は追加的に、圧力チャンバ３の内部容量３３内の圧力の所定値ｐ１を変更することによって、被検査装置１０の漏れ穴を検出するための漏れ検査装置１の感度が調整されてもよい。例えば、所定値ｐ１は、ユーザインタフェイス６を介して制御・処理・決定部５に入力されてもよい。
方法１００は、密閉された圧力チャンバの内部容量Ｖ１の圧力が所定値ｐ１に達するまで、密閉された圧力チャンバの中へ又は中から外へ、気体をポンプによって移動すること１０１を含む。例えば、図１の漏れ検査装置１では、第２弁８をオフ状態にして、それによって、圧力チャンバ３の第２開口３２と被検査装置１０の内部容量１１との間の流体連通を妨げて、圧力チャンバ３が密閉されてもよい。続いて、第１弁７をオン状態にして、それによって、圧力チャンバ３の第１開口３１をポンプ２の第２開口２２と流体連通し、そして、ポンプ２をオンに切り換えることによって、気体が圧力チャンバ３の中にポンプで送られたり、又は、気体が圧力チャンバ３の中から外へポンプで排出されたりしてもよい１０１。続いて、ポンプ２は、所定値ｐ１に達するまで、気体源又は槽９と圧力チャンバ３との間の気体をポンプで動かすことによって、圧力チャンバ３を加圧又は排気する。圧力チャンバ３内に真空を作り出すためにポンプ２が圧力チャンバ３から完全に気体槽９に排気する特殊なケースでは、所定値ｐ１＝０である。
所定値ｐ１に達したとき、当該方法は、気密状態となるように圧力チャンバを閉じること１０２を含む。例えば、図１の漏れ検査装置１では、第１弁７をオフ状態にして、それによって、圧力チャンバ３の第１開口３１とポンプ２の第２開口２２との間の流体連通を妨げて、圧力チャンバ３が気密状態となるように閉じられてもよい１０２。その後、ポンプ２は、オフに切り換えられてもよい。図１の漏れ検査装置１では、所定の手順に従って、制御・処理・決定部５が、第１弁７及び第２弁８を、それぞれのオン状態及びオフ状態にし、ポンプ２を、オン及びオフに切り換えてもよい。例えば、所定値ｐ１に達する時点を決定するために、制御・処理・決定部５は、圧力検出部４の圧力測定値出力部４１から受信された複数の圧力測定値に依存する閉ループ制御を使用してもよい。この所定の手順は、プログラムとして、制御・処理・決定部５のメモリに記憶されてもよい。圧力チャンバ３内の圧力の所定値ｐ１は、漏れ検査に先立って、又は、ユーザインタフェイス６を介してユーザによって制御・処理・決定部５に入力された後に、制御・処理・決定部５のメモリに記憶されてもよい。
方法１００は、また、被検査装置の内部容量が被検査装置の周囲と流体連通しないように、被検査装置のいかなる開口も閉じること１０３と、その後、被検査装置の内部容量を圧力チャンバの内部容量と流体連通で接続すること１０４と、を含む。例えば、図１の漏れ検査装置１では、制御・処理・決定部５が第２弁８をオン状態にして、それによって、圧力チャンバ３の第２開口３２を被検査装置１０の内部容量１１と流体連通することによって、被検査装置１０の内部容量１１が、圧力チャンバ３の内部容量３３と、流体連通で接続１０４されてもよい。
被検査装置１０の内部容量１１が、圧力チャンバ３の内部容量３３と、流体連通で接続１０４される以前は、被検査装置１０の内部容量１１の数値は、圧力ｐ０の気体を含むＶ０で表されてもよい。そして、被検査装置１０の内部容量Ｖ０と圧力チャンバ３の内部容量Ｖ１との合計は、結合容量Ｖ２＝Ｖ０＋Ｖ１と表されてもよいし、そして、圧力チャンバ３の内部容量の圧力が被検査装置１０の内部容量の圧力とつりあうとき、結合容量Ｖ２内の気体の圧力は、最終的には、新たな値ｐ２となる。被検査装置１０の内部容量が、圧力チャンバ３の内部容量と流体連通で接続１０４される以前に、ポンプ２が圧力チャンバ３を完全に排気してｐ１＝０となる特殊なケースでは、被検査装置１０の内部容量が、圧力チャンバ３の内部容量と流体連通で接続１０４された後、結合容量Ｖ２内の気体の量は、依然として変わらない。そして、このような場合、被検査装置１０の内部容量Ｖ０が漏れ検査の前後で変わらず（例えば、被検査装置１０は、加圧、又は、部分的又は完全に排気されることによって、歪曲される可能性がある）、かつ、漏れ検査装置１と被検査装置１０との両方の温度Ｔが検査の間変化しない（例えば、検査気体の断熱昇温又は断熱冷却によって）、という条件で、ボイルの法則により、ｐ２Ｖ２＝ｐ０Ｖ０となる。
漏れ検査の間、方法１００は、検査データのセットを生成するために、圧力チャンバの内部容量内の圧力が被検査装置の内部容量内の圧力とつりあうまで、圧力チャンバの内部容量内の圧力を繰り返し測定すること１０５を含む。例えば、図１の漏れ検査装置１では、圧力チャンバ３の内部容量３３内の圧力が、圧力検出部４によって測定１０５されてもよく、そして、制御・処理・決定部５が、圧力検出部４の圧力測定値出力部４１から受信した複数の圧力測定値から検査データのセットを生成してもよい。
続いて、方法１００は、このように生成された検査データのセットを制御データのセットと比較すること１０６を含む。例えば、図１の漏れ検査装置１において、制御・処理・決定部５は、このように生成された検査データのセットを、制御・処理・決定部５のメモリに記憶された制御データのセットと比較してもよい。
検査データのセットが、所定の基準によれば制御データのセットと十分に類似している場合、方法１００は、被検査装置を合格とすること１０７ａを含み、一方、検査データのセットが、当該所定の基準によれば制御データのセットと十分に類似していない場合、方法１００は、被検査装置を不合格とすること１０７ｂを含む。例えば、図１の漏れ検査装置１では、制御・処理・決定部５は、所定の基準に従って、被検査装置１０を合格とする１０７ａか、又は、不合格とする１０７ｂかを決定してもよく、被検査装置１０が合格であるか不合格であるかを、ユーザインタフェイス６を介して示してもよい。例えば、ユーザインタフェイス６は、装置１００が合格であるか不合格であるかの可視表示を与える表示画面、及び／又は、装置１００が合格であるか不合格であるかの可聴信号を与えるスピーカを含んでもよい。
制御・処理・決定部５が被検査装置１０の合格１０７ａ又は不合格１０７ｂをどのように決定するかは、図３Ａ及び図３Ｂに関連して与えられる以下の詳細な説明を参照することによって、より良く理解されるであろう。図３Ａ及び図３Ｂは両方ともグラフであり、これらのグラフは、ｙ軸すなわち縦座標上のパスカルＰａで測定された圧力ｐを、ｘ軸すなわち横座標上の秒ｓで測定された時間ｔと対比して表す。
図３Ａは、実線によって表される検査データの第１のセット５１ａの一例と、破線によって表される制御データのセット５２と、を示し、両方とも図１の漏れ検査装置によって測定されている。図３Ａに描かれている漏れ検査では、漏れ検査の開始時に、ポンプ２が圧力チャンバ３を完全に排気し、圧力チャンバ３内の圧力の所定値ｐ１＝０となる。
検査データの第１のセット５１ａは、圧力検出部４の圧力測定値出力部４１からの複数の圧力測定値から導出される。これらの圧力計測値は、圧力チャンバ３の内部容量３３が被検査装置１０の内部容量１１と流体連通で接続されたとき（図３Ａにおいて、ｔ１によって示されている）と、内部容量３３内の圧力が内部容量１１内の圧力とつりあうとき（図３Ａにおいて、ｔ２によって示されている）と、の間の時間中に作られる。制御・処理・決定部５が、いかなる極大値、最小値、及び変曲点をも含む線５１ａの形状を捉えることができるように、圧力検出部４は、これらの圧力測定値を、高い時間周波数で、かつ、高い圧力分解能で作成する。例えば、圧力検出部４は、少なくとも１０Ｈｚの時間周波数で、０．１パーセント未満の圧力分解能で、圧力チャンバ３の内部容量３３の圧力を測定する。
いかなる極大値、最小値、及び変曲点をも含む線５１ａの形状は、被検査装置１０の内部容量１１の形状、構成、及び材料構成によって決定される。被検査装置１０のこれらの特徴は、内部容量３３内の気体の圧力が内部容量１１内の気体の圧力とつりあおうとしている間、木管楽器又は金管楽器等の楽器の音色が、当該楽器の内部形状、構成、及び材料構成によって影響されるのと同様の方法で、気体において音響振動を引き起こし、当該音響振動が、結合された内部容量１１、３３の中へ拡散する。このため、線５１ａの形状は、被検査装置１０に特有な「識別用の特徴」と見なすことができる。
制御データのセット５２は、被検査装置１０と同じタイプの１又は複数の装置から導出され、これらの装置の各々は、被検査装置１０と同じ漏れ検査手順を受けている。例えば、制御データのセット５２は、被検査装置１０と同じタイプの複数の装置のうちの１つの標準化された実例（すなわち、典型）から導出されてもよく、又は、制御データのセット５２は、被検査装置１０と同じタイプの複数の装置から導出されてもよく、同じ漏れ検査手順を使用して同じタイプの複数の装置のそれぞれから得られた検査データのセットは、制御データのセット５２を得るために、統計分析（例えば、算術平均又は幾何平均）を受けている。制御データのセット５２が導出される複数の装置は、被検査装置１０と同じタイプであるので、線５２の形状は、線５１ａの形状とほぼ類似し、対応する極大値、極小値、及び変曲点を表す。しかしながら、製造ばらつきのために、図３Ａに示されるように、検査データの第１のセット５１ａは、制御データのセット５２とわずかに異なる。図３Ａは、検査データの第１のセット５１ａが、所定の基準によれば制御データのセット５２と十分に類似している例示的なケースを示し、制御・処理・決定部５が、被検査装置１０を合格１０７ａとする。
対照的に、図３Ｂは、検査データの第２のセット５１ｂが、同じ所定の基準によれば同じ制御データのセット５２と十分に類似していない例示的なケースを示し、制御・処理・決定部５が、被検査装置１０と同じタイプの他の実例を合格１０７ａとする。これは、そうではなく、制御・処理・決定部５が、被検査装置の当該他の実例を不合格１０７ｂにすることを引き起こす。
図３Ｂでは、図３Ａに表されているものと同じ制御データのセット５２も破線で表されている。しかしながら、図３Ｂでは、連続線が、検査データの第２のセット５１ｂを代わりに表し、検査データの第２のセット５１ｂは、同じ漏れ検査手順に従って図１の漏れ検査装置によって測定される。この場合、被検査装置は１つ又は複数の漏れ穴を有するので、線５１ｂの形状は線５２の形状とほぼ類似しているが、図３Ｂと図３Ａとの比較によってわかるように、圧力チャンバ３の内部容量３３内の圧力は、図３Ａよりも、ｐ２に達するのに時間がかからず、したがって、図３Ｂの時間ｔ２－ｔ１は、図３Ａの時間ｔ２－ｔ１よりも短い。このため、線５１ｂにおける極大値、極小値、及び変曲点の位置は、線５１ａにおけるそれぞれの極大値、極小値、及び変曲点の位置と異なる。したがって、線５１ｂは、図３Ａとは異なり、線５２に密接に沿っていない。
制御・処理・決定部５が被検査装置１０を合格又は不合格とする所定の基準は、いくつかの異なる方法のうちの１つで確立されてもよい。例えば、所定の基準は、検査データの各セット５１ａ、５１ｂの統計分析によって確立されてもよく、例えば、多項式回帰を使用して、検査データの各セット５１ａ、５１ｂについての最良適合の線を見つけるだけでなく、制御データのセット５２を形成し、検査データの各セット５１ａ、５１ｂが、制御データのセット５２の標準偏差の所定の数の内に入るか否かを調べることによって確立されてもよい。しかしながら、好ましくは、制御・処理・決定部５は、被検査装置１０と同じタイプの複数の装置から機械学習によって前記所定の基準を導出し、ここで、上述の同じタイプの複数の装置の各々は、被検査装置と同じ漏れ検査手順を受けている。この方法では、制御・処理・決定部５は、同じ漏れ検査手順を受ける同じタイプの装置の数が増えるほど高くなる精度で、制御データのセットからの外れ値である検査データのセットを特定可能である。
図３Ａ及び図３Ｂは、漏れ検査の開始時に圧力チャンバ３がポンプ２によって排気される漏れ検査を示しており、その結果、ｐ２＞ｐ１であるが、そうではなく、図１の同じ漏れ検査装置１を使用し、図２に示されているのと同じ手法に従って行われた他の漏れ検査では、圧力チャンバ３は、漏れ検査の開始時にポンプ２によって加圧されてもよく、そのような場合には、ｐ２＜ｐ１である。
したがって、要約すると、本発明は、漏れ検査装置、及び、装置の漏れ穴の有無を検査する方法を提供する。被検査装置は、工業製品であってもよい。例えば、被検査装置は、電気ケーブルの入り口のための１つ又は複数の開口を含む電気筐体でもよく、この開口は、当該筐体に防塵・防水性を提供するために電気的なパッキン押えによって封止可能である。漏れ検査装置は、ポンプと、圧力チャンバと、圧力検出部と、制御・処理・決定部と、ユーザインタフェイスと、を含む。制御・処理・決定部の制御下の第１弁は、ポンプを圧力チャンバに接続でき、制御・処理・決定部の制御下の第２弁は、圧力チャンバを被検査装置に接続可能である。ポンプは、大気又は検査気体のボトルなどの、気体源又は槽に接続されている。このため、ポンプは、制御・処理・決定部の制御下で、圧力チャンバの内部容量を加圧又は排気できる。続いて、この内部容量は、例えば、被検査装置の密封可能な複数の開口の１つを介して、被検査装置の内部容量に接続されてもよく、被検査装置の他の開口は、被検査装置の漏れ穴の有無を検査するために、周囲に対して密封されている。圧力検出部は、被検査装置用の検査データのセットを導出するために、高分解能を有し、高頻度で圧力チャンバの内部容量内の圧力をサンプリングできる。検査データのセットは、被検査装置の内部形状、構成、及び、材料構成によって決定され、被検査装置に特有である。検査データのセットは、被検査装置における１つ又は複数の漏れ穴の存在によって影響を受けるので、制御・処理・決定部は、例えば、検査データのセットを制御データのセットと比較することによって検査データのセットを分析して、被検査装置が漏れ検査に合格か否かを決定でき、漏れ検査の結果をユーザインタフェイスに出力できる。
１ 漏れ検査装置
２ ポンプ
３ 圧力チャンバ
４ 圧力検出部
５ 制御・処理・決定部
６ ユーザインタフェイス
７ 第１弁
８ 第２弁
９ 気体源又は槽
１０ 被検査装置
１１ 被検査装置の内部容量
２１ ポンプの第１開口
２２ ポンプの第２開口
３１ 圧力チャンバの第１開口
３２ 圧力チャンバの第２開口
３３ 圧力チャンバの内部容量
４１ 圧力検出部の圧力測定値出力部
５１ａ 検査データの第１のセット
５１ｂ 検査データの第２のセット
５２ 制御データ
１００ 漏れ検査方法
１０１ 密閉された圧力チャンバの中へ又は中から外へ流体をポンプで移動すること
１０２ 密封状態となるように圧力チャンバを閉じること
１０３ 被検査装置の開口を閉じること
１０４ 被検査装置の内部容量と圧力チャンバの内部容量とを接続すること
１０５ 圧力チャンバの内部容量の圧力の繰り返し測定すること
１０６ 検査データと制御データとを比較すること
１０７ａ 被検査装置を合格とすること
１０７ｂ 被検査装置を不合格とすること

Claims (15)

  1. 第１開口（２１）と第２開口（２２）とを少なくとも含み、前記第１開口（２１）が、気体源又は槽（９）と流体連通しており、前記第１開口と前記第２開口（２１、２２）の間の気体を移動するように構成されているポンプ（２）と、
    内部容量（３３）と、前記内部容量（３３）と流体連通する少なくとも第１開口（３１）及び第２開口（３２）と、を含む圧力チャンバ（３）と、
    前記ポンプ（２）の前記第２開口（２２）を前記圧力チャンバ（３）の前記第１開口（３１）と流体連通するオン状態と、前記ポンプ（２）の前記第２開口（２２）と前記圧力チャンバ（３）の前記第１開口（３１）との間の流体連通を妨げるオフ状態と、を少なくとも有する第１弁（７）と、
    前記圧力チャンバ（３）の前記第２開口（３２）を被検査装置（１０）の内部容量（１１）と流体連通するオン状態と、前記圧力チャンバ（３）の前記第２開口（３２）と前記被検査装置（１０）の前記内部容量の間の流体連通を妨げるオフ状態と、を少なくとも有する第２弁（８）と、
    圧力測定値出力部（４１）を少なくとも含み、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）の圧力を、第１時点（ｔ１）と第２時点（ｔ２）との間に、繰り返し測定するように構成されている圧力検出部（４）であって、
    前記第１時点（ｔ１）は、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）の前記圧力が、前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）の圧力とは異なる所定値（ｐ１）を有し、かつ、前記第２弁（８）の前記オフ状態が、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）と前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）との間の流体連通を妨げているときであり、
    前記第２時点（ｔ２）は、前記第２弁（８）の前記オン状態が、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）を前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）と流体連通した後に、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）の前記圧力が、前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）の前記圧力（ｐ２）とつりあうときである、前記圧力検出部（４）と、
    前記ポンプ（２）と、前記第１弁及び前記第２弁（７，８）の前記オン状態及び前記オフ状態と、を制御し、前記圧力検出部（４）の前記圧力測定値出力部（４１）から複数の圧力測定値を受信し、前記複数の圧力測定値から導出される検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）に基づいて、前記被検査装置（１０）が漏れ検査に合格か否かを決定するように構成されている制御・処理・決定部（５）と、
    前記制御・処理・決定部（５）と繋がっているユーザインタフェイス（６）と、
    を少なくとも含む漏れ検査装置（１）。
  2. 前記圧力検出部（４）は、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）の前記圧力を少なくとも１０Ｈｚの時間周波数で測定可能である、請求項１に記載の漏れ検査装置（１）。
  3. 前記圧力検出部（４）は、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）の前記圧力を０．１パーセント以下の誤差精度で測定可能である、請求項１又は請求項２に記載の漏れ検査装置（１）。
  4. 前記制御・処理・決定部（５）は、前記被検査装置（１０）用の前記検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）を制御データのセット（５２）と比較することによって、前記被検査装置（１０）が漏れ検査に合格か否かを決定するように構成されており、前記検査データのセット（５１ａ）が、所定の基準によれば前記制御データのセット（５２）と十分に類似している場合、前記被検査装置（１０）を合格にし、一方、前記検査データのセット（５１ｂ）が、前記所定の基準によれば前記制御データのセット（５２）と十分に類似していない場合、前記被検査装置（１０）を不合格にする、前述の請求項のいずれか１項に記載の漏れ検査装置（１）。
  5. 前記制御・処理・決定部（５）は、前記被検査装置（１０）と同じタイプの複数の装置から機械学習によって前記所定の基準を導出するように構成されており、前記同じタイプの複数の装置の各々は、前記被検査装置（１０）と同じ漏れ検査手順を受けている、請求項４に記載の漏れ検査装置（１）。
  6. 前記制御・処理・決定部（５）は、前記ポンプ（２）及び前記第１弁及び前記第２弁（７、８）のうちの少なくとも１つから状態情報を受信するように構成されている、前述の請求項のいずれか１項に記載の漏れ検査装置（１）。
  7. 装置（１０）の漏れ穴の有無を検査する方法（１００）であって、
    密閉された圧力チャンバ（３）の内部容量（３３）の圧力が所定値（ｐ１）に達するまで、前記密閉された圧力チャンバ（３）の中へ又は中から外へ、気体をポンプによって移動すること（１０１）と、
    前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力が前記所定値（ｐ１）に達したとき、気密状態となるように前記圧力チャンバ（３）を閉じること（１０２）と、
    前記被検査装置（１０）の内部容量（１１）が前記被検査装置（１０）の周囲と流体連通しないように、前記被検査装置（１０）のいかなる開口も閉じること（１０３）と、
    前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）を前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）と流体連通で接続すること（１０４）と、
    検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）を生成するために、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力が、前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）内の圧力とつりあうまで、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力を繰り返し測定すること（１０５）と、
    生成された前記検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）を制御データのセット（５２）と比較すること（１０６）と、
    前記検査データのセット（５１ａ）が所定の基準によれば前記制御データのセット（５２）と十分に類似している場合、前記被検査装置（１０）を合格とすること（１０７ａ）と、
    一方、前記検査データのセット（５１ｂ）が前記所定の基準によれば前記制御データのセット（５２）と十分に類似していない場合、前記被検査装置（１０）を不合格とすること（１０７ｂ）と、
    を少なくとも含む、装置（１０）の漏れ穴の有無を検査する方法（１００）。
  8. 前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力を繰り返し測定すること（１０５）は、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力を、少なくとも１０Ｈｚの時間周波数で繰り返し測定すること（１０５）を含む、請求項７に記載の方法（１００）。
  9. 前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力を繰り返し測定すること（１０５）は、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力を０．１パーセント以下の誤差精度で繰り返し測定すること（１０５）を含む、請求項７又は請求項８に記載の方法（１００）。
  10. 前記検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）を制御データのセット（５２）と比較すること（１０６）は、前記検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）を表すグラフの形状を、前記制御データのセット（５２）を表すグラフの形状と比較することを含み、前記グラフの各々は、前記圧力チャンバ（３）の前記内部容量（３３）内の前記圧力を時間と対比して表す、請求項７から９のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  11. 前記検査データのセット（５１ａ、５１ｂ）を表すグラフの形状を、前記制御データのセット（５２）を表すグラフの形状と比較することは、少なくとも１つの極大値、少なくとも１つの極小値、又は、少なくとも１つの変曲点の、各グラフにおけるそれぞれの位置を比較することを含む、請求項１０に記載の方法（１００）。
  12. 前記被検査装置（１０）と同じタイプの複数の装置から機械学習によって前記所定の基準を導出することを含み、前記同じタイプの複数の装置の各々は、前記被検査装置（１０）と同じ漏れ検査方法を受けている、請求項７から１１のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  13. 前記圧力チャンバ３の前記内部容量３３を、前記被検査装置（１０）の前記内部容量（１１）の３倍以下かつ３分の１以上となるように選択すること（９９）を
    さらに含む、請求項７から１２のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  14. 前記密閉された圧力チャンバ（３）の内部容量（３３）の圧力が所定値（ｐ１）に達するまで、前記密閉された圧力チャンバ（３）の中へ又は中から外へ、気体をポンプによって移動すること（１０１）は、前記圧力チャンバ（３）が完全に排気される（ｐ１＝０）まで、前記密閉された圧力チャンバ（３）の中から外へ、気体をポンプによって移動することを含む、請求項７から１３のいずれか１項に記載の方法（１００）。
  15. 前記装置（１０）の漏れ穴の有無を検査するために請求項１から６のいずれか１項に記載の装置を使用することを含む、請求項７から１４のいずれか１項に記載の方法（１００）。
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