JP2002267565A - 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査の都度、被試験体内外の差圧を検出する
ことなく被試験体内外の排気を制御して試験時間を短縮
することができる漏洩試験装置及び漏洩試験方法を提供
する。 【解決手段】 漏洩試験装置には、チャンバ１２内を排
気する排気ポンプ１５及びこれを制御するバルブＶ１並
びに被試験体１１内を排気する排気ポンプ１６及びこれ
を制御するバルブＶ２が設けられている。この漏洩試験
装置に被試験体１１内外の差圧を検出する差圧計を設
け、この装置を使用して被試験体１１内外の差圧が所定
値以下になるよう被試験体１１内を排気するためのバル
ブＶ１及びＶ２の制御パターンを予め求めておく。漏洩
試験においては前記排気制御パターンでバルブＶ１及び
Ｖ２を制御して、チャンバ１２内及び被試験体１１内を
排気し、その後、被試験体１１内にトレーサガスを導入
し、トレーサガス検出器１３により漏れを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被試験体内又はチ
ャンバ内にトレーサガス（Ｈｅ等）を導入し、トレーサ
ガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否か
を判定する漏洩試験装置及び漏洩試験方法に関し、特
に、強度が低い容器等の被試験体の変形、破損及び漏洩
の拡大を防止できる漏洩試験装置及び漏洩試験方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、漏洩試験装置（リークテスタ）と
して、特開平７−１０３８４５号公報には、燃料タンク
及びドラム缶等の軟弱な容器等のように許容差圧以上の
圧力を印加すると大きな漏れが発生する虞れがある被試
験体の漏洩試験に適用することができる漏洩試験方法及
び漏洩試験装置が開示されている。

【０００３】図３は、特開平７−１０３８４５号公報に
記載の漏洩試験装置を示す模式図である。図３に示すよ
うに、従来の漏洩試験装置においては、真空チャンバ１
１２はその内側に、被試験体（ワーク）１１１を気密的
に格納することができる。この被試験体１１１はパイプ
１１７に連結されており、このパイプ１１７はチャンバ
１２の外側に気密的に導出されている。そして、このパ
イプ１１７を介して被試験体１１１が排気ポンプ１１６
に連結されている。このパイプ１１７にはバルブＶ１２
が設けられている。また、このパイプ１１７には、空気
源１２１及びトレーサガス供給源１２２が夫々パイプ１
２３及び１２４を介して接続されており、被試験体１１
１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ
等）を導入するようになっている。パイプ１２３及びパ
イプ１２４には、夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５が
設けられており、被試験体１１１に導入するエアー及び
トレーサガスの流量を夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１
５の開度及び開閉時間により調整することができる。

【０００４】一方、真空チャンバ１１２はパイプ１１８
に連結されており、このパイプ１１８は排気ポンプ１１
５に連結されている。また、このパイプ１１８にはバル
ブＶ１１が設けられている。更に、パイプ１１８には空
気源１２５がパイプ１２６を介して接続されており、チ
ャンバ１１２内にエアーを導入するようになっている。
このパイプ１２６にはバルブＶ１３が設けられており、
チャンバ１１２に導入するエアの流量をバルブＶ１３の
開度及び開閉時間により調整することができる。差圧計
１１４は、パイプ１１７及びパイプ１１８に接続されて
おり、被試験体１１１内の圧力とチャンバ１１２内の圧
力との差圧を検出する。また、チャンバ１１２には、ト
レーサガス検知器１１３が連結されている。

【０００５】次に、このように構成された従来の漏洩試
験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。な
お、予め、被試験体の強度等に応じて、変形、破損及び
大漏れが生じない差圧の最大許容値が求められている。

【０００６】先ず、チャンバ１１２内に被試験体１１１
を装入し、被試験体１１１とパイプ１１７とを連結す
る。次に、排気ポンプ１１５，１１６を駆動し、バルブ
Ｖ１１，Ｖ１２を開にして、チャンバ１１２内及び被試
験体１１１内を排気する。このとき、被試験体１１１の
内側の圧力が外側の圧力（即ち、チャンバ１１２内の圧
力）よりも大きくその差圧が前記最大許容値に近い場合
は、マニュアルでバルブＶ１２を閉じて差圧を小さくす
る。逆に、被試験体１１１の外側の圧力が内側の圧力よ
りも大きくその差圧が最大許容値に近い場合は、マニュ
アルでバルブＶ１１を閉じて差圧を小さくする。差圧が
小さくなれば、バルブＶ１２又はバルブＶ１１を再度開
にする。このようにして、ユーザが差圧を管理しなが
ら、マニュアルで被試験体１１１の内側と外側との差圧
を最大許容値以下に維持しつつ、チャンバ１１２内の圧
力をトレーサガス検知器１１３が正常に動作する圧力
（例えば、１０ｍｂ以下）にする。その後、バルブＶ１
１，Ｖ１２を閉じ、バルブＶ１５を開いて、被試験体１
１１の内側と外側との差圧を最大許容値以下に維持しつ
つ、被試験体１１１内にトレーサガスを導入する。そし
て、トレーサガス検知器１１３により被試験体１１１か
ら漏れて出たトレーサガスを検出する。

【０００７】測定終了後は、以下のようにして大気圧ま
で戻す。先ず、バルブＶ１３，Ｖ１４を開く。そして、
被試験体１１１の内側の圧力が外側の圧力よりも大き
く、差圧が最大許容値に近い場合は、マニュアルでバル
ブＶ１４を閉じる。逆に、被試験体１１１の外側の圧力
が内側の圧力よりも大きく、差圧が最大許容値に近い場
合は、マニュアルでバルブＶ１３を閉じる。これによ
り、差圧を小さくすることができる。差圧が小さくなれ
ば、バルブＶ１３又はＶ１４を再度開く。このようにし
て、ユーザが差圧を管理しながらマニュアルで差圧を最
大許容値以下に維持しつつ、バルブＶ１３，Ｖ１４を開
閉して、被試験体１１１及びチャンバ１１２内の圧力を
大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１１２内から被試
験体１１１を取り出す。

【０００８】従来の技術においては、被試験体１１１の
内側の圧力と外側の圧力との差圧が被試験体１１１の強
度等に基づいて設定された最大許容値以下になるよう
に、差圧計１１４で差圧を測定しつつ、各バルブを操作
して、被試験体１１１内及びチャンバ１１２内を排気す
るので、被試験体１１１が軟弱な容器等であっても、被
試験体１１１の変形、破損及び大きな漏れの発生を回避
できる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術においては、被試験体１１１内外の圧力差を計測し
ながら、被試験体１１１及びチャンバ１１２内の排気を
制御していたため、被試験体１１１内外の圧力差を計測
する差圧計を取り付け、検査の都度、被試験体１１１内
外の圧力差を検出する必要がある。また、ユーザが検査
の都度、差圧を検出し、バルブを操作するため、試験時
間が長くかかってしまうという問題点がある。

【００１０】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、検査の都度、被試験体内外の差圧を検出す
ることなく被試験体内外の排気を制御して試験時間を短
縮することができる漏洩試験装置及び漏洩試験方法を提
供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係る漏洩試験装
置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、この
チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記被試
験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体
又はチャンバの内部にトレーサガスを導入するトレーサ
ガス導入手段と、導入されたトレーサガスが被試験体を
通して漏れてくるトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少な
くとも一方について、気体導入時及び排気時の少なくと
も一方に予め定められた制御パターンで前記チャンバ内
排気手段及び前記被試験体内排気手段を制御する制御手
段と、を有することを特徴とする。

【００１２】前記制御パターンは、同一又は類似の装置
を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を
測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め求
められたものとすることができる。また、シュミレーシ
ョン計算により前記制御パターンを求めることもでき
る。

【００１３】また、前記チャンバ内排気手段及び前記被
試験体内排気手段は、夫々第１のバルブ及び第２のバル
ブを有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づい
て前記第１及び第２のバルブの開閉時間及び／又は開度
を制御するものとすることができる。更に、前記第１及
び第２のバルブは、互いにバルブ径が異なるものであっ
てもよい。

【００１４】本発明に係る漏洩試験方法は、被試験体内
にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガ
スの漏れを検出する漏洩試験方法において、チャンバ内
及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差が所
定値以内になる排気制御パターンを予め求めておき、漏
洩試験における前記チャンバ内及び前記被試験体内の少
なくともどちらかについて、気体導入時及び排気時の少
なくとも一方のときに前記予め定められた排気制御パタ
ーンで前記チャンバ内及び前記被試験体内の排気を制御
することを特徴とする。

【００１５】更に詳しく説明すると、被試験体内にトレ
ーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガスの漏
れを検出する漏洩試験方法において、被試験体を気密的
に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気可能の
チャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気可能の被
試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガ
スを導入可能のトレーサガス導入手段と、前記チャンバ
に連結されチャンバ内のトレーサガスを検出するトレー
サガス検出手段とを有する漏洩試験装置又はその類似の
装置を使用して前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧
力を測定しつつその圧力差が所定値以内になる排気制御
パターンを予め求めておき、前記漏洩試験装置を使用す
る漏洩試験における前記チャンバ内及び前記被試験体内
の排気時に前記予め定められた排気制御パターンで前記
チャンバ内及び前記被試験体内の排気を制御する。

【００１６】本発明に係る他の漏洩試験方法は、被試験
体内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレー
サガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、チャン
バ内及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差
が所定値以内になるように予め求められた排気制御パタ
ーンを使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少
なくともどちらかについて、気体導入時及び排気時の少
なくとも一方のときに前記予め定められた排気制御パタ
ーンで前記チャンバ内及び前記被試験体内の排気を制御
することを特徴とする。

【００１７】更に詳しく説明すると、被試験体を気密的
に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチ
ャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気する被試験
体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを
導入するトレーサガス導入手段と、前記チャンバに連結
されチャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段とを有する漏洩試験装置を使用して、被試験体
内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサ
ガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、前記漏洩
試験装置又はその類似の装置を使用して前記チャンバ内
及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差が所
定値以内になるように予め求められた排気制御パターン
を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の排気時
に前記予め定められた排気制御パターンで前記チャンバ
内及び前記被試験体内の排気を制御する。

【００１８】本発明においては、チャンバ内及び被試験
体内の排気時に、予め定められた制御パターンにより、
被試験体内制御手段及びチャンバ内制御手段を制御する
ため、被試験体の検査毎に被試験体内外の差圧を検出す
る必要がなく、試験時間が短縮化されると共に、チャン
バ内及び被試験体内の排気を制御パターンで制御するた
め、試験精度が向上する。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発
明の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。

【００２０】図１に示すように、真空チャンバ１２はそ
の内側に、検査対象である被試験体（ワーク）１１を気
密的に格納することができる。この被試験体１１はパイ
プ１７に連結されており、このパイプ１７はチャンバ１
２の外側に気密的に導出されている。そして、このパイ
プ１７を介して被試験体１１が排気ポンプ１６に連結さ
れている。このパイプ１７にはバルブＶ２が設けられて
いる。また、このパイプ１７には、空気源２１及びトレ
ーサガス供給源２２が夫々パイプ２３及び２４を介して
接続されており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空
気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっ
ている。パイプ２３及びパイプ２４には、夫々バルブＶ
４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導
入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４
及びバルブＶ５の開度により調整することができる。こ
れらのパイプ１７、排気ポンプ１６及びバルブＶ２から
被試験体内排気手段が構成されている。

【００２１】一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連
結されており、このパイプ１８は排気ポンプ１５に連結
されている。また、このパイプ１８にはバルブＶ１が設
けられている。更に、パイプ１８には空気源２５がパイ
プ２６を介して接続されており、チャンバ１２内にエア
ーを導入するようになっている。このパイプ２６にはバ
ルブＶ３が設けられており、チャンバ１２に導入するエ
アの流量をバルブＶ３の開度及び開閉時間により調整す
ることができる。これらのパイプ１８、排気ポンプ１５
及びバルブＶ１からチャンバ内排気手段が構成されてい
る。また、チャンバ１２には、トレーサガス検知器１３
が連結されている。

【００２２】更に、制御装置（制御手段）２０は、予め
定められた制御パターンでバルブＶ１及びバルブＶ２の
開度又は開閉時間を調整して、被試験体１１内及びチャ
ンバ１２内の排気を制御する。なお、制御装置２０は、
その内部に、例えば、予め定められた制御パターンにバ
ルブＶ１及びバルブＶ２を制御するプログラムを記憶し
たメモリ及びこのプログラムを実行するＣＰＵ等を有し
ており、バルブＶ１及びＶ２の開閉を駆動している駆動
部（図示せず）に所定の開閉パターンでバルブＶ１及び
Ｖ２の開閉を指示する信号を出力する。駆動部は、制御
装置２０からの制御信号によりバルブＶ１及びＶ２を開
閉する。

【００２３】また、制御装置２０は、予め定められた制
御パターンでバルブＶ３、バルブＶ４及びバルブＶ５の
開度又は開閉時間も調整して、夫々チャンバ１２内への
大気の導入時、被試験体１１内への大気の導入時及び被
試験体１１内へのトレーサガスの導入時にその供給量を
制御する。

【００２４】制御パターンは、漏洩試験を行う前に排気
テストを行うか、又はシミュレーション計算によって、
予め求めることができる。制御パターンを排気テストに
よって求める場合は、図１に示す漏洩試験装置又はこれ
に類似の装置を使用して、被試験体毎に、チャンバ１２
内及び被試験体１１内の排気時に、チャンバ１２内及び
被試験体１１内の圧力を測定しつつその圧力差を所定値
以内とするバルブＶ１及びＶ２の排気制御パターンを求
める。また、バルブＶ３乃至バルブＶ５においても、被
試験体１１内へのトレーサガス導入時及びチャンバ１２
内及び被試験体１１内へのエアー導入時に、被試験体１
１内外の差圧を所定値以内とするバルブＶ３乃至Ｖ５の
制御パターンを求める。

【００２５】また、排気テストを行わず、例えば、被試
験体１１及びチャンバ１２の容積及び強度、並びにエア
ー及びトレーサガスの流量等からシミュレーション計算
により各バルブＶ１乃至Ｖ５を制御する制御パターンを
求めてもよいが、排気テストを行って制御パターンを作
成する方がその精度が高いため好ましい。

【００２６】このように、各バルブＶ１乃至Ｖ５を制御
する制御パターンにより、被試験体１１内外の差圧を検
出することなく各バルブＶ１乃至Ｖ５を制御することが
できるため、上述の図３に示す従来例の漏洩試験装置の
ように、差圧計を設けて検査の都度、被試験体内外の差
圧を検出する必要がない。

【００２７】次に、本実施例の漏洩試験装置の制御パタ
ーンの求め方について更に詳細に説明する。制御パター
ンは、漏洩試験を行う装置と同一又は類似の装置を使用
し、排気テストを行って作成することができる。本実施
例に係る漏洩試験装置と同一の装置を使用する場合は、
チャンバ１２内の圧力と被試験体１１内の圧力との差圧
を検出する差圧計を取り付ける。即ち、上述の図１の漏
洩試験装置において、チャンバ１２内と被試験体１１内
との差圧を検出するための差圧計をパイプ１８とパイプ
１７との間に接続する。また、類似の装置としては、例
えば図３に示す従来と同様の漏洩試験装置等がある。排
気テストでは、漏洩試験を行う装置の被試験体１１内及
びチャンバ１２内の圧力差を所定値内に維持しつつ、排
気又はエアー等を導入するための各バルブＶ１乃至Ｖ５
の制御パターンを作成することができる装置であれば排
気テスト装置として適用可能である。

【００２８】本実施例においては、図１に示す漏洩試験
装置に差圧計を接続したテスト用漏洩試験装置を使用
し、チャンバ１２内及び被試験体１１内の排気時、被試
験体１１内へのトレーサガス導入時、及びチャンバ１２
内及び被試験体１１内へのエアー導入時にバルブＶ１乃
至バルブＶ５を制御するための制御パターンを作成する
場合について説明する。

【００２９】先ず、チャンバ１２内に被試験体１１を装
入し、被試験体１１とパイプ１７とを連結する。次に、
排気ポンプ１５，１６を駆動し、バルブＶ１，Ｖ２を開
にして、チャンバ１２内及び被試験体１１内を排気す
る。このとき、被試験体１１の内側の圧力が外側の圧力
（即ち、チャンバ１２内の圧力）よりも大きくその差圧
が大きい場合は、バルブＶ２を閉じて差圧を小さくす
る。逆に、被試験体１１の外側の圧力が内側の圧力より
も大きくその差圧が大きい場合は、バルブＶ１を閉じて
差圧を小さくする。差圧が小さくなれば、バルブＶ２又
はバルブＶ１を再度開にする。なお、チャンバ１２内及
び被試験体１１内の差圧の最大許容値を被試験体の強度
等に基づいて予め求めておき、この最大許容値以下にな
るようにバルブＶ１及びＶ２を開閉してもよい。このよ
うにして、被試験体１１の内側と外側との差圧を所定値
以下に維持しつつ、チャンバ１２内の圧力をトレーサガ
ス検知器１３が正常に動作する圧力（例えば、１０ｍｂ
以下）にする。その後、バルブＶ１，Ｖ２を閉じ、バル
ブＶ５を開いて、被試験体１１の内側と外側との差圧が
大きくなりすぎないように維持しつつ、被試験体１１内
にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知
器１３により被試験体１１から漏れて出たトレーサガス
を検出する。

【００３０】測定終了後は、以下のようにして大気圧ま
で戻す。先ず、バルブＶ３，Ｖ４を開く。そして、被試
験体１１の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧
が大きい場合は、バルブＶ４を閉じる。逆に、被試験体
１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大きく、差圧が大
きい場合は、バルブＶ３を閉じる。これにより、差圧を
小さくすることができる。差圧が小さくなれば、バルブ
Ｖ３又はＶ４を再度開く。このようにして、差圧を所定
値以下に維持しつつ、バルブＶ３，Ｖ４を開閉して、被
試験体１１及びチャンバ１２内の圧力を大気圧にまで戻
す。その後、チャンバ１２内から被試験体１１を取り出
す。

【００３１】この一連の工程において、被試験体１１の
外側と内側との差圧を所定値以下に維持しつつチャンバ
１２内及び被試験体１１内の排気、被試験体１１内への
トレーサガス導入及び被試験体１１及びチャンバ１２内
への大気圧導入を可能にする各バルブＶ１乃至Ｖ５の開
閉時間及び開度等の制御パターンを作成する。

【００３２】被試験体１１の外側と内側の差圧を所定値
以下に維持する各バルブＶ１乃至Ｖ５の制御パターンと
しては、例えば、各バルブＶ１乃至Ｖ５の開閉（オン・
オフ）時間を制御するものがある。例えば、バルブＶ１
のオン及びオフ（開く及び閉じる）時間を夫々１０及び
２秒とし、バルブＶ２のオン及びオフ時間を夫々８秒及
び４秒とし、バルブＶ１、Ｖ２のオン・オフの動作を、
例えば５回を１サイクル（１分間）等として繰り返すこ
とにより、排気を制御する。

【００３３】また、各バルブＶ１乃至Ｖ５の開度を制御
してもよい。例えば、バルブＶ１の開度を１分間に２０
ｃｍ^３／ｍｍとし、バルブＶ２の開度を１分間に１００
ｃｍ ^３／ｍｍ等として排気を制御する。このように、各
バルブＶ１乃至Ｖ５の制御パターンを、同種の寸法形状
を有する被試験体１１毎に排気テストを行って作成す
る。

【００３４】更に他の方法としては、各バルブＶ１乃至
Ｖ５の径を異ならせ、バルブＶ１乃至Ｖ５の開度を調整
することなく、バルブを開閉するのみで排気又は導入で
きる気体の流量を調整してもよい。例えば、１分間に５
０ｃｍ^３／ｍｍ、７５ｃｍ^３／ｍｍ、１００ｃｍ^３／ｍ
ｍ等の流量となるバルブを用意し、各バルブの開閉時間
を制御する。

【００３５】図２は、本実施例のバルブの取付例を示す
模式図である。更にまた、図２に示すように、１本のパ
イプに複数のバルブＶ_A，Ｖ_B，Ｖ_Cを並列に設け、これ
らのバルブを選択的に開閉することにより差圧を調整す
るようにしてもよい。また、これらの方法を組み合わせ
ることにより、より正確な圧力調整が可能となる。

【００３６】次に、本実施例の漏洩試験装置の動作につ
いて説明する。前述のようにして制御パターンを作成し
た後、図１に示す漏洩試験装置により、漏洩試験を開始
する。先ず、チャンバ１２内に被試験体１１を装入し、
被試験体１１とパイプ１７とを連結する。次に、排気ポ
ンプ１５，１６を駆動し、チャンバ１２内及び被試験体
１１内を排気する。このとき、制御装置２０により、上
述した排気テストで求められた制御パターンでバルブＶ
１及びＶ２が開閉されることにより、被試験体１１内外
の差圧が所定値以内に維持されたまま、チャンバ１２内
及び被試験体１１内が排気され、チャンバ１２内の圧力
がトレーサガス検知器１３が正常に動作する圧力（例え
ば、１０ｍｂ以下）に減圧される。その後、トレーサガ
ス検知器１３により被試験体１１から漏れて出たトレー
サガスを検出する。このときも、制御装置２０により、
排気テストで求められた制御パターンでバルブＶ１，Ｖ
２が閉じ、バルブＶ５が開き、被試験体１１の内側と外
側との差圧が所定値以下に維持されたまま、被試験体１
１内にトレーサガスが導入される。

【００３７】試験終了後、被試験体１１内及びチャンバ
１２内の圧力を大気圧にまで戻す。このときも、排気テ
ストで求められた制御パターンでバルブＶ３，Ｖ４が開
閉し、被試験体１１内外の差圧が所定値以下に維持され
たまま、被試験体１１内及びチャンバ１２内にエアーが
導入される。その後、チャンバ１２内から被試験体１１
を取り出す。

【００３８】本実施例においては、被試験体１１の内側
の圧力と外側の圧力との圧力差が所定値以内になる排気
制御パターンを予め求め、この制御パターンで各バルブ
を開閉して、被試験体内及びチャンバ内を排気する。こ
の制御パターンにより、チャンバ１２内及び被試験体１
１内の排気時に、被試験体１１内外の圧力差が所定値以
内で維持できる。これにより、試験の都度、被試験体内
外の差圧を検出することなく、自動的に被試験体１１内
外の排気が制御できるため、被試験体が軟弱な容器等又
はエンジン本体であっても、被試験体の変形、破損及び
漏れの発生を回避できると共に、バルブＶ３乃至Ｖ５に
おいても制御装置２０の制御パターンにより制御される
ため、作業時間を短縮化し、作業効率を向上することが
できる。

【００３９】次に、本発明の実施例に係る漏洩試験方法
について説明する。図１に示す漏洩試験装置における制
御装置２０の制御パターンは、漏洩試験を行う前に排気
テストを行うか、又はシミュレーション計算によって、
予め求めるものであるが、この制御パターンは、漏洩試
験装置を製造するメーカ又は漏洩試験装置を使用するユ
ーザ等により求めることができる。漏洩試験を実施する
被試験体１１には、例えばオートバイの燃料タンク等が
あるが、予めその被試験体１１毎の制御パターンを求め
ておけば、同一の被試験体１１を試験する場合、同一の
制御パターンを使用して漏洩試験を実施することができ
る。

【００４０】漏洩試験装置を製造するメーカにより予め
制御パターンを求めると、漏洩試験装置を使用するユー
ザは、排気テストをして制御パターンを求めることな
く、漏洩試験を行うことができ、更にユーザが排気テス
ト用の装置が不要であるため、更に作業効率が向上する
と共に漏洩試験を行う際のコストが低減される。

【００４１】また、漏洩試験装置を使用するユーザが、
排気テスト又はシミュレーション等を行って制御パター
ンを求めれば、ユーザが使用する環境等に応じて、最適
な制御パターンを求めることができる。また、漏洩試験
を実施する被試験体の寸法又は使用する材質等の設計変
更等により、制御パターンを変更する必要がある場合等
に迅速に対応することができる。

【００４２】本実施例によれば、漏洩装置を制御する制
御パターンは、漏洩装置を製造するメーカ及び使用する
ユーザのいずれか、又は両者により予め求めることがで
きるため、コスト、及び作業性等の最適な条件を選択す
ることができる。

【００４３】なお、本実施例においては、被試験体１１
及びチャンバ１２の排気時及び被試験体１１内への大気
導入時、被試験体１１内へのトレーサガス導入時のいず
れもパターン制御するものとしたが、これに限らず、少
なくともいずれかのときに、パターン制御できるものと
してもよい。

【００４４】また、本実施例においては、被試験体１１
内にトレーサガスを導入するものとしたが、チャンバ１
２内にトレーサガスを導入し、被試験体１１を通して被
試験体１１内に漏れ出てくるトレーサガスを検査するも
のとしてもよい。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明装置によれ
ば、制御手段により、チャンバ内及び被試験体内の排気
時に、予め定められた制御パターンでチャンバ内排気手
段及び被試験体内排気手段を制御するため、装置に被試
験体とチャンバとの差圧を検出する検出手段を設ける必
要がなく、また、漏洩試験を行う都度、被試験体内外の
差圧を検出する必要がないので、簡便で短時間且つ高精
度で漏洩試験を行うことができる。また、本発明方法に
よれば、本発明装置を製造するメーカ又は使用するユー
ザのいずれにおいても制御パターンを求めることがで
き、最適な条件で作成された制御パターン使用すること
により、漏洩試験を更に低コストで効率よく行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係る漏洩試験装置を示す模
式図である。

【図２】 本発明の実施例のバルブの取付例を示す模式
図である。

【図３】 特開平７−１０３８４５号公報に記載の漏洩
試験装置を示す模式図である。

【符号の説明】

１１、１１１；被試験体 、１２、１１２；チャンバ、
１７、１８、１１７、１１８；パイプ、 １５、１
６、１１５、１１６；排気ポンプ、 １３、１１３；ト
レーサガス検知器、 ２０；制御装置、 Ｖ１〜Ｖ５、
Ｖ１１〜Ｖ１５；バルブ、 １１４；差圧計

フロントページの続き (72)発明者 高橋 秀美 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2G067 AA06 BB02 BB12 CC13 DD05

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
   と、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、
   前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記
   被試験体又はチャンバの内部にトレーサガスを導入する
   トレーサガス導入手段と、導入されたトレーサガスが被
   試験体を通して漏れてくるトレーサガスを検出するトレ
   ーサガス検出手段と、前記チャンバ内及び前記被試験体
   内の少なくとも一方について、気体導入時及び排気時の
   少なくとも一方に予め定められた制御パターンで前記チ
   ャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段を制御す
   る制御手段と、を有することを特徴とする漏洩試験装
   置。
2. 【請求項２】 前記制御パターンは、同一又は類似の装
   置を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧力
   を測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め
   求められたものであることを特徴とする請求項１に記載
   の漏洩試験装置。
3. 【請求項３】 前記チャンバ内排気手段及び前記被試験
   体内排気手段は、夫々第１のバルブ及び第２のバルブを
   有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前
   記第１及び第２のバルブの開閉時間を制御するのもであ
   ることを特徴とする請求項１又は２に記載の漏洩試験装
   置。
4. 【請求項４】 前記チャンバ内排気手段及び前記被試験
   体内排気手段は、夫々第１のバルブ及び第２のバルブを
   有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前
   記第１及び第２のバルブの開度を制御するのもであるこ
   とを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
   漏洩試験装置。
5. 【請求項５】 前記第１及び第２のバルブは、互いにバ
   ルブ径が異なることを特徴とする請求項３又は４に記載
   の漏洩試験装置。
6. 【請求項６】 被試験体内にトレーサガスを導入しこの
   被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
   方法において、チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を
   測定しつつその圧力差が所定値以内になる排気制御パタ
   ーンを予め求めておき、漏洩試験における前記チャンバ
   内及び前記被試験体内の少なくともどちらかについて、
   気体導入時及び排気時の少なくとも一方のときに前記予
   め定められた排気制御パターンで前記チャンバ内及び前
   記被試験体内の排気を制御することを特徴とする漏洩試
   験方法。
7. 【請求項７】 被試験体内にトレーサガスを導入しこの
   被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
   方法において、チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を
   測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め求
   められた排気制御パターンを使用し、前記チャンバ内及
   び前記被試験体内の少なくともどちらかについて、気体
   導入時及び排気時の少なくとも一方のときに前記予め定
   められた排気制御パターンで前記チャンバ内及び前記被
   試験体内の排気を制御することを特徴とする漏洩試験方
   法。