JP2002267565A - 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 - Google Patents
漏洩試験装置及び漏洩試験方法Info
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Abstract
ことなく被試験体内外の排気を制御して試験時間を短縮
することができる漏洩試験装置及び漏洩試験方法を提供
する。 【解決手段】 漏洩試験装置には、チャンバ12内を排
気する排気ポンプ15及びこれを制御するバルブV1並
びに被試験体11内を排気する排気ポンプ16及びこれ
を制御するバルブV2が設けられている。この漏洩試験
装置に被試験体11内外の差圧を検出する差圧計を設
け、この装置を使用して被試験体11内外の差圧が所定
値以下になるよう被試験体11内を排気するためのバル
ブV1及びV2の制御パターンを予め求めておく。漏洩
試験においては前記排気制御パターンでバルブV1及び
V2を制御して、チャンバ12内及び被試験体11内を
排気し、その後、被試験体11内にトレーサガスを導入
し、トレーサガス検出器13により漏れを検出する。
Description
ャンバ内にトレーサガス(He等)を導入し、トレーサ
ガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否か
を判定する漏洩試験装置及び漏洩試験方法に関し、特
に、強度が低い容器等の被試験体の変形、破損及び漏洩
の拡大を防止できる漏洩試験装置及び漏洩試験方法に関
する。
して、特開平7−103845号公報には、燃料タンク
及びドラム缶等の軟弱な容器等のように許容差圧以上の
圧力を印加すると大きな漏れが発生する虞れがある被試
験体の漏洩試験に適用することができる漏洩試験方法及
び漏洩試験装置が開示されている。
記載の漏洩試験装置を示す模式図である。図3に示すよ
うに、従来の漏洩試験装置においては、真空チャンバ1
12はその内側に、被試験体(ワーク)111を気密的
に格納することができる。この被試験体111はパイプ
117に連結されており、このパイプ117はチャンバ
12の外側に気密的に導出されている。そして、このパ
イプ117を介して被試験体111が排気ポンプ116
に連結されている。このパイプ117にはバルブV12
が設けられている。また、このパイプ117には、空気
源121及びトレーサガス供給源122が夫々パイプ1
23及び124を介して接続されており、被試験体11
1の内部に夫々エアー(空気)及びトレーサガス(He
等)を導入するようになっている。パイプ123及びパ
イプ124には、夫々バルブV14及びバルブV15が
設けられており、被試験体111に導入するエアー及び
トレーサガスの流量を夫々バルブV14及びバルブV1
5の開度及び開閉時間により調整することができる。
に連結されており、このパイプ118は排気ポンプ11
5に連結されている。また、このパイプ118にはバル
ブV11が設けられている。更に、パイプ118には空
気源125がパイプ126を介して接続されており、チ
ャンバ112内にエアーを導入するようになっている。
このパイプ126にはバルブV13が設けられており、
チャンバ112に導入するエアの流量をバルブV13の
開度及び開閉時間により調整することができる。差圧計
114は、パイプ117及びパイプ118に接続されて
おり、被試験体111内の圧力とチャンバ112内の圧
力との差圧を検出する。また、チャンバ112には、ト
レーサガス検知器113が連結されている。
験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。な
お、予め、被試験体の強度等に応じて、変形、破損及び
大漏れが生じない差圧の最大許容値が求められている。
を装入し、被試験体111とパイプ117とを連結す
る。次に、排気ポンプ115,116を駆動し、バルブ
V11,V12を開にして、チャンバ112内及び被試
験体111内を排気する。このとき、被試験体111の
内側の圧力が外側の圧力(即ち、チャンバ112内の圧
力)よりも大きくその差圧が前記最大許容値に近い場合
は、マニュアルでバルブV12を閉じて差圧を小さくす
る。逆に、被試験体111の外側の圧力が内側の圧力よ
りも大きくその差圧が最大許容値に近い場合は、マニュ
アルでバルブV11を閉じて差圧を小さくする。差圧が
小さくなれば、バルブV12又はバルブV11を再度開
にする。このようにして、ユーザが差圧を管理しなが
ら、マニュアルで被試験体111の内側と外側との差圧
を最大許容値以下に維持しつつ、チャンバ112内の圧
力をトレーサガス検知器113が正常に動作する圧力
(例えば、10mb以下)にする。その後、バルブV1
1,V12を閉じ、バルブV15を開いて、被試験体1
11の内側と外側との差圧を最大許容値以下に維持しつ
つ、被試験体111内にトレーサガスを導入する。そし
て、トレーサガス検知器113により被試験体111か
ら漏れて出たトレーサガスを検出する。
で戻す。先ず、バルブV13,V14を開く。そして、
被試験体111の内側の圧力が外側の圧力よりも大き
く、差圧が最大許容値に近い場合は、マニュアルでバル
ブV14を閉じる。逆に、被試験体111の外側の圧力
が内側の圧力よりも大きく、差圧が最大許容値に近い場
合は、マニュアルでバルブV13を閉じる。これによ
り、差圧を小さくすることができる。差圧が小さくなれ
ば、バルブV13又はV14を再度開く。このようにし
て、ユーザが差圧を管理しながらマニュアルで差圧を最
大許容値以下に維持しつつ、バルブV13,V14を開
閉して、被試験体111及びチャンバ112内の圧力を
大気圧にまで戻す。その後、チャンバ112内から被試
験体111を取り出す。
内側の圧力と外側の圧力との差圧が被試験体111の強
度等に基づいて設定された最大許容値以下になるよう
に、差圧計114で差圧を測定しつつ、各バルブを操作
して、被試験体111内及びチャンバ112内を排気す
るので、被試験体111が軟弱な容器等であっても、被
試験体111の変形、破損及び大きな漏れの発生を回避
できる。
技術においては、被試験体111内外の圧力差を計測し
ながら、被試験体111及びチャンバ112内の排気を
制御していたため、被試験体111内外の圧力差を計測
する差圧計を取り付け、検査の都度、被試験体111内
外の圧力差を検出する必要がある。また、ユーザが検査
の都度、差圧を検出し、バルブを操作するため、試験時
間が長くかかってしまうという問題点がある。
のであって、検査の都度、被試験体内外の差圧を検出す
ることなく被試験体内外の排気を制御して試験時間を短
縮することができる漏洩試験装置及び漏洩試験方法を提
供することを目的とする。
置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、この
チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記被試
験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体
又はチャンバの内部にトレーサガスを導入するトレーサ
ガス導入手段と、導入されたトレーサガスが被試験体を
通して漏れてくるトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少な
くとも一方について、気体導入時及び排気時の少なくと
も一方に予め定められた制御パターンで前記チャンバ内
排気手段及び前記被試験体内排気手段を制御する制御手
段と、を有することを特徴とする。
を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を
測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め求
められたものとすることができる。また、シュミレーシ
ョン計算により前記制御パターンを求めることもでき
る。
試験体内排気手段は、夫々第1のバルブ及び第2のバル
ブを有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づい
て前記第1及び第2のバルブの開閉時間及び/又は開度
を制御するものとすることができる。更に、前記第1及
び第2のバルブは、互いにバルブ径が異なるものであっ
てもよい。
にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガ
スの漏れを検出する漏洩試験方法において、チャンバ内
及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差が所
定値以内になる排気制御パターンを予め求めておき、漏
洩試験における前記チャンバ内及び前記被試験体内の少
なくともどちらかについて、気体導入時及び排気時の少
なくとも一方のときに前記予め定められた排気制御パタ
ーンで前記チャンバ内及び前記被試験体内の排気を制御
することを特徴とする。
ーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサガスの漏
れを検出する漏洩試験方法において、被試験体を気密的
に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気可能の
チャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気可能の被
試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガ
スを導入可能のトレーサガス導入手段と、前記チャンバ
に連結されチャンバ内のトレーサガスを検出するトレー
サガス検出手段とを有する漏洩試験装置又はその類似の
装置を使用して前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧
力を測定しつつその圧力差が所定値以内になる排気制御
パターンを予め求めておき、前記漏洩試験装置を使用す
る漏洩試験における前記チャンバ内及び前記被試験体内
の排気時に前記予め定められた排気制御パターンで前記
チャンバ内及び前記被試験体内の排気を制御する。
体内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレー
サガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、チャン
バ内及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差
が所定値以内になるように予め求められた排気制御パタ
ーンを使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の少
なくともどちらかについて、気体導入時及び排気時の少
なくとも一方のときに前記予め定められた排気制御パタ
ーンで前記チャンバ内及び前記被試験体内の排気を制御
することを特徴とする。
に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチ
ャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気する被試験
体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを
導入するトレーサガス導入手段と、前記チャンバに連結
されチャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段とを有する漏洩試験装置を使用して、被試験体
内にトレーサガスを導入しこの被試験体からのトレーサ
ガスの漏れを検出する漏洩試験方法において、前記漏洩
試験装置又はその類似の装置を使用して前記チャンバ内
及び前記被試験体内の圧力を測定しつつその圧力差が所
定値以内になるように予め求められた排気制御パターン
を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の排気時
に前記予め定められた排気制御パターンで前記チャンバ
内及び前記被試験体内の排気を制御する。
体内の排気時に、予め定められた制御パターンにより、
被試験体内制御手段及びチャンバ内制御手段を制御する
ため、被試験体の検査毎に被試験体内外の差圧を検出す
る必要がなく、試験時間が短縮化されると共に、チャン
バ内及び被試験体内の排気を制御パターンで制御するた
め、試験精度が向上する。
添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は、本発
明の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
の内側に、検査対象である被試験体(ワーク)11を気
密的に格納することができる。この被試験体11はパイ
プ17に連結されており、このパイプ17はチャンバ1
2の外側に気密的に導出されている。そして、このパイ
プ17を介して被試験体11が排気ポンプ16に連結さ
れている。このパイプ17にはバルブV2が設けられて
いる。また、このパイプ17には、空気源21及びトレ
ーサガス供給源22が夫々パイプ23及び24を介して
接続されており、被試験体11の内部に夫々エアー(空
気)及びトレーサガス(He等)を導入するようになっ
ている。パイプ23及びパイプ24には、夫々バルブV
4及びバルブV5が設けられており、被試験体11に導
入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブV4
及びバルブV5の開度により調整することができる。こ
れらのパイプ17、排気ポンプ16及びバルブV2から
被試験体内排気手段が構成されている。
結されており、このパイプ18は排気ポンプ15に連結
されている。また、このパイプ18にはバルブV1が設
けられている。更に、パイプ18には空気源25がパイ
プ26を介して接続されており、チャンバ12内にエア
ーを導入するようになっている。このパイプ26にはバ
ルブV3が設けられており、チャンバ12に導入するエ
アの流量をバルブV3の開度及び開閉時間により調整す
ることができる。これらのパイプ18、排気ポンプ15
及びバルブV1からチャンバ内排気手段が構成されてい
る。また、チャンバ12には、トレーサガス検知器13
が連結されている。
定められた制御パターンでバルブV1及びバルブV2の
開度又は開閉時間を調整して、被試験体11内及びチャ
ンバ12内の排気を制御する。なお、制御装置20は、
その内部に、例えば、予め定められた制御パターンにバ
ルブV1及びバルブV2を制御するプログラムを記憶し
たメモリ及びこのプログラムを実行するCPU等を有し
ており、バルブV1及びV2の開閉を駆動している駆動
部(図示せず)に所定の開閉パターンでバルブV1及び
V2の開閉を指示する信号を出力する。駆動部は、制御
装置20からの制御信号によりバルブV1及びV2を開
閉する。
御パターンでバルブV3、バルブV4及びバルブV5の
開度又は開閉時間も調整して、夫々チャンバ12内への
大気の導入時、被試験体11内への大気の導入時及び被
試験体11内へのトレーサガスの導入時にその供給量を
制御する。
テストを行うか、又はシミュレーション計算によって、
予め求めることができる。制御パターンを排気テストに
よって求める場合は、図1に示す漏洩試験装置又はこれ
に類似の装置を使用して、被試験体毎に、チャンバ12
内及び被試験体11内の排気時に、チャンバ12内及び
被試験体11内の圧力を測定しつつその圧力差を所定値
以内とするバルブV1及びV2の排気制御パターンを求
める。また、バルブV3乃至バルブV5においても、被
試験体11内へのトレーサガス導入時及びチャンバ12
内及び被試験体11内へのエアー導入時に、被試験体1
1内外の差圧を所定値以内とするバルブV3乃至V5の
制御パターンを求める。
験体11及びチャンバ12の容積及び強度、並びにエア
ー及びトレーサガスの流量等からシミュレーション計算
により各バルブV1乃至V5を制御する制御パターンを
求めてもよいが、排気テストを行って制御パターンを作
成する方がその精度が高いため好ましい。
する制御パターンにより、被試験体11内外の差圧を検
出することなく各バルブV1乃至V5を制御することが
できるため、上述の図3に示す従来例の漏洩試験装置の
ように、差圧計を設けて検査の都度、被試験体内外の差
圧を検出する必要がない。
ーンの求め方について更に詳細に説明する。制御パター
ンは、漏洩試験を行う装置と同一又は類似の装置を使用
し、排気テストを行って作成することができる。本実施
例に係る漏洩試験装置と同一の装置を使用する場合は、
チャンバ12内の圧力と被試験体11内の圧力との差圧
を検出する差圧計を取り付ける。即ち、上述の図1の漏
洩試験装置において、チャンバ12内と被試験体11内
との差圧を検出するための差圧計をパイプ18とパイプ
17との間に接続する。また、類似の装置としては、例
えば図3に示す従来と同様の漏洩試験装置等がある。排
気テストでは、漏洩試験を行う装置の被試験体11内及
びチャンバ12内の圧力差を所定値内に維持しつつ、排
気又はエアー等を導入するための各バルブV1乃至V5
の制御パターンを作成することができる装置であれば排
気テスト装置として適用可能である。
装置に差圧計を接続したテスト用漏洩試験装置を使用
し、チャンバ12内及び被試験体11内の排気時、被試
験体11内へのトレーサガス導入時、及びチャンバ12
内及び被試験体11内へのエアー導入時にバルブV1乃
至バルブV5を制御するための制御パターンを作成する
場合について説明する。
入し、被試験体11とパイプ17とを連結する。次に、
排気ポンプ15,16を駆動し、バルブV1,V2を開
にして、チャンバ12内及び被試験体11内を排気す
る。このとき、被試験体11の内側の圧力が外側の圧力
(即ち、チャンバ12内の圧力)よりも大きくその差圧
が大きい場合は、バルブV2を閉じて差圧を小さくす
る。逆に、被試験体11の外側の圧力が内側の圧力より
も大きくその差圧が大きい場合は、バルブV1を閉じて
差圧を小さくする。差圧が小さくなれば、バルブV2又
はバルブV1を再度開にする。なお、チャンバ12内及
び被試験体11内の差圧の最大許容値を被試験体の強度
等に基づいて予め求めておき、この最大許容値以下にな
るようにバルブV1及びV2を開閉してもよい。このよ
うにして、被試験体11の内側と外側との差圧を所定値
以下に維持しつつ、チャンバ12内の圧力をトレーサガ
ス検知器13が正常に動作する圧力(例えば、10mb
以下)にする。その後、バルブV1,V2を閉じ、バル
ブV5を開いて、被試験体11の内側と外側との差圧が
大きくなりすぎないように維持しつつ、被試験体11内
にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知
器13により被試験体11から漏れて出たトレーサガス
を検出する。
で戻す。先ず、バルブV3,V4を開く。そして、被試
験体11の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧
が大きい場合は、バルブV4を閉じる。逆に、被試験体
11の外側の圧力が内側の圧力よりも大きく、差圧が大
きい場合は、バルブV3を閉じる。これにより、差圧を
小さくすることができる。差圧が小さくなれば、バルブ
V3又はV4を再度開く。このようにして、差圧を所定
値以下に維持しつつ、バルブV3,V4を開閉して、被
試験体11及びチャンバ12内の圧力を大気圧にまで戻
す。その後、チャンバ12内から被試験体11を取り出
す。
外側と内側との差圧を所定値以下に維持しつつチャンバ
12内及び被試験体11内の排気、被試験体11内への
トレーサガス導入及び被試験体11及びチャンバ12内
への大気圧導入を可能にする各バルブV1乃至V5の開
閉時間及び開度等の制御パターンを作成する。
以下に維持する各バルブV1乃至V5の制御パターンと
しては、例えば、各バルブV1乃至V5の開閉(オン・
オフ)時間を制御するものがある。例えば、バルブV1
のオン及びオフ(開く及び閉じる)時間を夫々10及び
2秒とし、バルブV2のオン及びオフ時間を夫々8秒及
び4秒とし、バルブV1、V2のオン・オフの動作を、
例えば5回を1サイクル(1分間)等として繰り返すこ
とにより、排気を制御する。
してもよい。例えば、バルブV1の開度を1分間に20
cm3/mmとし、バルブV2の開度を1分間に100
cm 3/mm等として排気を制御する。このように、各
バルブV1乃至V5の制御パターンを、同種の寸法形状
を有する被試験体11毎に排気テストを行って作成す
る。
V5の径を異ならせ、バルブV1乃至V5の開度を調整
することなく、バルブを開閉するのみで排気又は導入で
きる気体の流量を調整してもよい。例えば、1分間に5
0cm3/mm、75cm3/mm、100cm3/m
m等の流量となるバルブを用意し、各バルブの開閉時間
を制御する。
模式図である。更にまた、図2に示すように、1本のパ
イプに複数のバルブVA,VB,VCを並列に設け、これ
らのバルブを選択的に開閉することにより差圧を調整す
るようにしてもよい。また、これらの方法を組み合わせ
ることにより、より正確な圧力調整が可能となる。
いて説明する。前述のようにして制御パターンを作成し
た後、図1に示す漏洩試験装置により、漏洩試験を開始
する。先ず、チャンバ12内に被試験体11を装入し、
被試験体11とパイプ17とを連結する。次に、排気ポ
ンプ15,16を駆動し、チャンバ12内及び被試験体
11内を排気する。このとき、制御装置20により、上
述した排気テストで求められた制御パターンでバルブV
1及びV2が開閉されることにより、被試験体11内外
の差圧が所定値以内に維持されたまま、チャンバ12内
及び被試験体11内が排気され、チャンバ12内の圧力
がトレーサガス検知器13が正常に動作する圧力(例え
ば、10mb以下)に減圧される。その後、トレーサガ
ス検知器13により被試験体11から漏れて出たトレー
サガスを検出する。このときも、制御装置20により、
排気テストで求められた制御パターンでバルブV1,V
2が閉じ、バルブV5が開き、被試験体11の内側と外
側との差圧が所定値以下に維持されたまま、被試験体1
1内にトレーサガスが導入される。
12内の圧力を大気圧にまで戻す。このときも、排気テ
ストで求められた制御パターンでバルブV3,V4が開
閉し、被試験体11内外の差圧が所定値以下に維持され
たまま、被試験体11内及びチャンバ12内にエアーが
導入される。その後、チャンバ12内から被試験体11
を取り出す。
の圧力と外側の圧力との圧力差が所定値以内になる排気
制御パターンを予め求め、この制御パターンで各バルブ
を開閉して、被試験体内及びチャンバ内を排気する。こ
の制御パターンにより、チャンバ12内及び被試験体1
1内の排気時に、被試験体11内外の圧力差が所定値以
内で維持できる。これにより、試験の都度、被試験体内
外の差圧を検出することなく、自動的に被試験体11内
外の排気が制御できるため、被試験体が軟弱な容器等又
はエンジン本体であっても、被試験体の変形、破損及び
漏れの発生を回避できると共に、バルブV3乃至V5に
おいても制御装置20の制御パターンにより制御される
ため、作業時間を短縮化し、作業効率を向上することが
できる。
について説明する。図1に示す漏洩試験装置における制
御装置20の制御パターンは、漏洩試験を行う前に排気
テストを行うか、又はシミュレーション計算によって、
予め求めるものであるが、この制御パターンは、漏洩試
験装置を製造するメーカ又は漏洩試験装置を使用するユ
ーザ等により求めることができる。漏洩試験を実施する
被試験体11には、例えばオートバイの燃料タンク等が
あるが、予めその被試験体11毎の制御パターンを求め
ておけば、同一の被試験体11を試験する場合、同一の
制御パターンを使用して漏洩試験を実施することができ
る。
制御パターンを求めると、漏洩試験装置を使用するユー
ザは、排気テストをして制御パターンを求めることな
く、漏洩試験を行うことができ、更にユーザが排気テス
ト用の装置が不要であるため、更に作業効率が向上する
と共に漏洩試験を行う際のコストが低減される。
排気テスト又はシミュレーション等を行って制御パター
ンを求めれば、ユーザが使用する環境等に応じて、最適
な制御パターンを求めることができる。また、漏洩試験
を実施する被試験体の寸法又は使用する材質等の設計変
更等により、制御パターンを変更する必要がある場合等
に迅速に対応することができる。
御パターンは、漏洩装置を製造するメーカ及び使用する
ユーザのいずれか、又は両者により予め求めることがで
きるため、コスト、及び作業性等の最適な条件を選択す
ることができる。
及びチャンバ12の排気時及び被試験体11内への大気
導入時、被試験体11内へのトレーサガス導入時のいず
れもパターン制御するものとしたが、これに限らず、少
なくともいずれかのときに、パターン制御できるものと
してもよい。
内にトレーサガスを導入するものとしたが、チャンバ1
2内にトレーサガスを導入し、被試験体11を通して被
試験体11内に漏れ出てくるトレーサガスを検査するも
のとしてもよい。
ば、制御手段により、チャンバ内及び被試験体内の排気
時に、予め定められた制御パターンでチャンバ内排気手
段及び被試験体内排気手段を制御するため、装置に被試
験体とチャンバとの差圧を検出する検出手段を設ける必
要がなく、また、漏洩試験を行う都度、被試験体内外の
差圧を検出する必要がないので、簡便で短時間且つ高精
度で漏洩試験を行うことができる。また、本発明方法に
よれば、本発明装置を製造するメーカ又は使用するユー
ザのいずれにおいても制御パターンを求めることがで
き、最適な条件で作成された制御パターン使用すること
により、漏洩試験を更に低コストで効率よく行うことが
できる。
式図である。
図である。
試験装置を示す模式図である。
17、18、117、118;パイプ、 15、1
6、115、116;排気ポンプ、 13、113;ト
レーサガス検知器、 20;制御装置、 V1〜V5、
V11〜V15;バルブ、 114;差圧計
Claims (7)
- 【請求項1】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、
前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記
被試験体又はチャンバの内部にトレーサガスを導入する
トレーサガス導入手段と、導入されたトレーサガスが被
試験体を通して漏れてくるトレーサガスを検出するトレ
ーサガス検出手段と、前記チャンバ内及び前記被試験体
内の少なくとも一方について、気体導入時及び排気時の
少なくとも一方に予め定められた制御パターンで前記チ
ャンバ内排気手段及び前記被試験体内排気手段を制御す
る制御手段と、を有することを特徴とする漏洩試験装
置。 - 【請求項2】 前記制御パターンは、同一又は類似の装
置を使用し、前記チャンバ内及び前記被試験体内の圧力
を測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め
求められたものであることを特徴とする請求項1に記載
の漏洩試験装置。 - 【請求項3】 前記チャンバ内排気手段及び前記被試験
体内排気手段は、夫々第1のバルブ及び第2のバルブを
有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前
記第1及び第2のバルブの開閉時間を制御するのもであ
ることを特徴とする請求項1又は2に記載の漏洩試験装
置。 - 【請求項4】 前記チャンバ内排気手段及び前記被試験
体内排気手段は、夫々第1のバルブ及び第2のバルブを
有し、前記制御手段は、前記制御パターンに基づいて前
記第1及び第2のバルブの開度を制御するのもであるこ
とを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の
漏洩試験装置。 - 【請求項5】 前記第1及び第2のバルブは、互いにバ
ルブ径が異なることを特徴とする請求項3又は4に記載
の漏洩試験装置。 - 【請求項6】 被試験体内にトレーサガスを導入しこの
被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
方法において、チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を
測定しつつその圧力差が所定値以内になる排気制御パタ
ーンを予め求めておき、漏洩試験における前記チャンバ
内及び前記被試験体内の少なくともどちらかについて、
気体導入時及び排気時の少なくとも一方のときに前記予
め定められた排気制御パターンで前記チャンバ内及び前
記被試験体内の排気を制御することを特徴とする漏洩試
験方法。 - 【請求項7】 被試験体内にトレーサガスを導入しこの
被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
方法において、チャンバ内及び前記被試験体内の圧力を
測定しつつその圧力差が所定値以内になるように予め求
められた排気制御パターンを使用し、前記チャンバ内及
び前記被試験体内の少なくともどちらかについて、気体
導入時及び排気時の少なくとも一方のときに前記予め定
められた排気制御パターンで前記チャンバ内及び前記被
試験体内の排気を制御することを特徴とする漏洩試験方
法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007500352A (ja) * | 2003-05-30 | 2007-01-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出装置 |
CN100427913C (zh) * | 2005-04-30 | 2008-10-22 | 武汉理工大学 | 燃油泵阀门性能测试装置 |
JP2010127688A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Fuso Co Ltd | リークディテクタ |
JP2015017846A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 株式会社アルバック | 漏洩検知装置 |
CN109163865A (zh) * | 2018-09-10 | 2019-01-08 | 东风亚普汽车部件有限公司 | 汽车燃油箱泄漏测试工装 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104677569B (zh) * | 2015-03-23 | 2017-07-11 | 苏州鸿普精密模具有限公司 | 冷凝器氦气检漏机的氦气检漏机构 |
FR3039273B1 (fr) * | 2015-07-20 | 2017-08-11 | Pfeiffer Vacuum Sas | Procede de controle de l'etancheite de produits scelles et installation de detection de fuites |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000275134A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Yamaha Corp | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6256831A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-12 | Shinkosumosu Denki Kk | 容器の漏洩検知方法と装置 |
JPH01201131A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Fujitsu Ltd | 気密試験方法 |
JP2888241B2 (ja) * | 1988-10-31 | 1999-05-10 | 株式会社島津製作所 | リークテスト装置 |
JPH0489542A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-23 | Nissan Motor Co Ltd | 中空容器の気密性検査方法 |
JP3348484B2 (ja) * | 1993-10-07 | 2002-11-20 | ヤマハ株式会社 | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 |
-
2001
- 2001-03-08 JP JP2001065710A patent/JP4562303B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000275134A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Yamaha Corp | 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007500352A (ja) * | 2003-05-30 | 2007-01-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出装置 |
CN100427913C (zh) * | 2005-04-30 | 2008-10-22 | 武汉理工大学 | 燃油泵阀门性能测试装置 |
JP2010127688A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Fuso Co Ltd | リークディテクタ |
JP2015017846A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 株式会社アルバック | 漏洩検知装置 |
CN109163865A (zh) * | 2018-09-10 | 2019-01-08 | 东风亚普汽车部件有限公司 | 汽车燃油箱泄漏测试工装 |
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Publication number | Publication date |
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