JP2007500352A - 漏れ検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 対向流の原理による漏れ検出装置(10)であって、高圧真空ポンプ(22)と予備真空ポンプ(20)とが設けられており、高圧真空ポンプ(22)の入口(21)が質量分析計(24)に接続されていて、予備真空ポンプ(20)の入口(21)が前記高圧真空ポンプ(22)の出口(23)に及び漏れ検出装置の入口(12)に接続されており、漏れ検出装置の入口(12)と高圧真空ポンプ(22)の中間入口(28)との間に接続導管(30)が設けられており、該接続導管(30)内に、コンダクタンスに関連して調節可能な第1の弁(32)が設けられている形式のものにおいて、
接続導管(30)の途中に、調節可能な第1の弁(32)に対して平行に配置された第2の弁(34)が設けられていることを特徴とする、漏れ検出装置。 - 第2の弁(34)が、完全に開放された状態又は完全に閉鎖された状態で切換えられる切換弁である、請求項1記載の漏れ検出装置。
- 調節可能な第1の弁(32)のコンダクタンスが無段階に調節可能である、請求項1又は2記載の漏れ検出装置。
- 弁(32,34)の内径が13mmよりも小さい、請求項1から3までのいずれか1項記載の漏れ検出装置。
- 予備真空ポンプ(20)がオイルシールされたポンプである、請求項1から4までのいずれか1項記載の漏れ検出装置。
- 予備真空ポンプ(20)が乾式ポンプである、請求項1から4までのいずれか1項記載の漏れ検出装置。
- 調整モジュール(48)を備えた調整装置(46)が設けられており、該調整モジュール(48)が、調節可能な第1の弁(32)の開放を制御し、ガス流を前記調節可能な第1の弁(23)によって調整させる、請求項1から6までのいずれか1項記載の漏れ検出装置。
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