JP2018072262A - リークテスタ、リーク係数算出方法、プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】上限基準リークQSに相当するか、あるいはそれよりも少し大きい漏れ流量に相当するリークマスタを一つ用意するだけでリーク係数Veを算出することができるリークテスタを提供する。【解決手段】マスタとワークに対する等圧工程の終了時刻Y0から、マスタとワークの間に発生する差圧の単位時間当たりの変化量ΔP/Δtが所定値X0となる時刻Z0までの経過時間を平衡時間T0として計測する平衡時間計測部と、マスタとリークマスタを接続したワークに対する等圧工程の終了時刻Y1から平衡時間T0経過後の時刻Z1を基準として、マスタとリークマスタを接続したワークの間に発生する差圧ΔPが所定値U1となる時刻W1を求め、時刻W1と時刻Z1の差分を検出時間T1として計測する検出時間計測部を含む。【選択図】図7
Description
本発明は、リークテスタ、リーク係数算出方法、プログラムに関する。
リークテスタとは、検査対象となる製品や部品の気密性を検査する装置である。検査対象となる製品や部品はワークとも呼ばれる。リークテスタは、ワークと基準となるマスタの差圧を測定することで、ワークからの漏れ流量を検査する(例えば非特許文献1)。
以下、図1を参照して従来のリーク検査システムのリーク検査手順について説明する。図1に示すように従来のリーク検査システム1は、エアー源91と、リークテスタ92と、閉止栓93と、マスタ94と、ワーク95を含む。閉止栓93は、リークテスタ92のCALポート(校正ポート)に接続されている。CALポート(校正ポート)は、ワーク95につながる管路に接続されている。
リークテスタ92は、エアー源91からマスタ94とワーク95の双方につながる管路を開放または閉鎖する第1バルブ921と、マスタ94とワーク95をつなぐ管路を開放または閉鎖する第2バルブ922と、マスタ94とワーク95の間に発生する差圧を計測する差圧センサ923を含む構成である。なお、明細書内で説明しない構成要件については図示を省略し、リークテスタ92内部の構成についても適宜簡略化して必要な構成要件のみを表示した。
まず、第1バルブ921、第2バルブ922を全て開き、エアー源91からマスタ94とワーク95に所定時間空気を送り込み、マスタ94とワーク95に規定圧を加圧する(加圧工程、CHG)。次に、第2バルブ922を開放したまま、第1バルブ921を閉鎖して空気の供給を停止し、マスタ94−ワーク95間を等圧に保ったまま所定時間待機し、加圧封入した気体の温度を安定させる(等圧工程、BAL1)。なお、加圧工程と等圧工程は区別されずに一つの工程として処理される場合もある。次に、第2バルブ922を閉鎖して、マスタ94とワーク95を等圧条件から切り離して所定時間待機し、単位時間当たりの差圧変化を安定させる(平衡工程、BAL2)。最後に、所定の検出時間T9[sec]における差圧ΔP=U9[Pa]を検出する(検出工程、DET)。ワーク95の漏れ流量をQ9[ml/min]とすると、Q9は(1)式により求められる。
なお、Patm[Pa]は大気圧、Ve[ml]は、リーク係数(等価内容積)と呼ばれ、差圧を漏れ流量に変換する係数である。図1に示すように、この例ではVeが既知であるものとする。ワークの種類ごとにVeは異なるため、ワークの種類ごとにVeを前もって調べておく必要がある。
以下、図2、図3を参照して従来のリーク検査システム9におけるリーク係数Veの算出手順を説明する。図2の構成は、図1の構成とほとんど同じであるが、閉止栓93の代わりに、漏れ流量の規格がQ1[ml/min]のリークマスタ96がCALポート(校正ポート)に接続されている。またワーク95のVeは未知であるものとし、その漏れ流量をQ0[ml/min]としておく。同図の条件下で、上述と同様に、加圧(CHG)−等圧(BAL1)−平衡(BAL2)工程が実行される。検出工程(DET)では、図3に示すように、目安として5.0[s]あたり100[Pa]程度の差圧を発生させることができれば成功である。この時検出した差圧ΔP=U8[Pa]と検出時間T8[sec]を用い、Ve[ml]を式(2)により算出する。
なお、ワーク95からの漏れ流量Q0[ml/min]は式(2)では考慮されていない。これは、5.0[s]あたり100[Pa]程度の漏れは、漏れの程度としては、大きなリーク(大リーク)であり、Q0[ml/min]が通常考えられる程度の微小な量であれば、Q0がVeに与える影響はごくわずかであるため、無視することができるからである。
株式会社コスモ計器、″エアリークテスタの検査方式概要″、[online]、[平成28年10月27日検索]、インターネット<URL:https://www.cosmo-k.co.jp/leak-test/leak-technology/leak-inspection/>
上述した5.0[s]あたり100[Pa]程度のリークを発生させるために、ユーザは適切な校正用リークマスタを使用する必要がある。しかし、ワークの種類が変われば、ワークの内容積や形状も変わるため、適切な校正用リークマスタもワークの種類によって変化する。上記の理由により、ユーザは複数の校正用リークマスタを用意したうえで、これらを付け替えて試行錯誤し、5.0[s]あたり100[Pa]程度のリークを実現しなくてはいけない。上述のようにVe算出のために多くの校正用リークマスタが必須となるのはユーザの負担が大きい。また、試行錯誤によりVeを算出する手順は、ユーザの手間が大きい。
一方、ユーザはほとんどの場合、ワークごとに上限基準リークQSに相当するリークマスタ96Sを所持している。上限基準リークQSとは、検査対象のワークにおいて必ず発見できなければならない漏れ流量のことである。漏れゼロと上限基準リークQSの中間のリークは中間基準リーク(Q1/2S)と呼ばれ、通常は良判定の基準リークである。以下、図4を参照して上限基準リークQSに相当するリークマスタ96Sの使用方法について説明する。
図4の構成は、図2の構成とほとんど同じであるが、リークマスタ96の代わりに、ワーク95の上限基準リークQSに相当するリークマスタ96SがCALポート(校正ポート)に接続されている。同図において使用されるワーク95は漏れのない良品であるものとする。同図の条件において、加圧(CHG)−等圧(BAL1)−平衡(BAL2)−検出(DET)工程を実行し、ユーザはリークテスタ92の表示に注目する。このとき、リークテスタ92が「ワーク側NG」判定を出力すれば、リークテスタ92が正常に動作していることの証明になる。すなわちユーザは、リークテスタ92の動作が正常であるか否かを定期的に点検するために、上限基準リークQSに相当するリークマスタ96Sを所持しているのである。
このように、ユーザはワークの種類ごとに上限基準リークQSに相当するリークマスタ96Sを所持している場合がほとんどであるため、当該リークマスタ96Sのみを使用するリーク係数算出方法があれば、ユーザの利便性が飛躍的に高まる。しかしながら、上限基準リークQSは、ワークの良/不良を分ける境界値の一種であるため、これに相当するリークマスタ96Sでは漏れ流量が小さい。従って、リークマスタ96Sを用いた場合、上述の規定量の差圧(100[Pa])に到達するまでの検出時間が長くなるため、様々な誤差の要因となる。またQSが小さいことにより、前述の計算において無視していたQ0が相対的に大きくなるため、Q0がVeに与える影響が大きくなる。従って、上限基準リークQSに相当するリークマスタ96Sを用いたリーク係数Veの算出は事実上困難であった。
そこで本発明では、上限基準リークQSに相当するか、あるいはそれよりも少し大きい漏れ流量に相当するリークマスタを一つ用意するだけでリーク係数Veを算出することができるリークテスタを提供することを目的とする。
本発明のリークテスタは、平衡時間計測部と、検出時間計測部を含む。
平衡時間計測部は、マスタとワークに対する等圧工程の終了時刻Y0から、マスタとワークの間に発生する差圧の単位時間当たりの変化量ΔP/Δtが所定値X0となる時刻Z0までの経過時間を平衡時間T0として計測する。
検出時間計測部は、マスタとリークマスタを接続したワークに対する等圧工程の終了時刻Y1から平衡時間T0経過後の時刻Z1を基準として、マスタとリークマスタを接続したワークの間に発生する差圧ΔPが所定値U1となる時刻W1を求め、時刻W1と時刻Z1の差分を検出時間T1として計測する。
本発明のリークテスタによれば、上限基準リークQSに相当するか、あるいはそれよりも少し大きい漏れ流量に相当するリークマスタを一つ用意するだけでリーク係数Veを算出することができる。
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、同じ機能を有する構成部には同じ番号を付し、重複説明を省略する。
実施例1のリーク検査システムにおいて、リーク係数Veを算出するために二つの校正モード(第1の校正モード、第2の校正モード)が用意される。
以下、図5を参照して第1の校正モードにおける本実施例のリーク検査システム1の構成を説明する。同図の構成は、図1の構成とほとんど同じであるが、従来のリークテスタ92は、リークテスタ12に置き換えられており、ワーク95のVeは当然ながら未知である。リークテスタ12は、従来のリークテスタ92と同様の構成(921〜923)に加え、リーク係数算出部124を含む構成である。リーク係数算出部124は差圧センサ923などから信号を受信できるように差圧センサ923などと電気的に接続されている(同図の破線は信号線を表す)。なお、上述同様リークテスタ12内部の構成は適宜簡略化して表示した。
次に、図6を参照して第2の校正モードにおける本実施例のリーク検査システム1の構成を説明する。同図の構成は、図4の構成とほとんど同じであるが、上述同様、従来のリークテスタ92は、リークテスタ12に置き換えられており、理由は後述するが、第2の校正モードにおけるワーク95として、第1の校正モードにおいて使用されたワーク95と同じものが用いられる。
次に、図7を参照して本実施例のリークテスタ12のリーク係数算出部124の構成について説明する。同図に示すように、リーク係数算出部124は、平衡時間計測部1241と、検出時間計測部1242と、係数算出部1243を含む。なお、リーク係数算出部124は、一般的には電子回路の一部として実現され、同図に示されていない記憶領域や演算処理ユニットなどを適宜備えているものとする。
以下、図8、図9、図10を参照して、リーク係数算出部124の動作について説明する。まず、第1の校正モードの条件下で加圧(CHG)−等圧(BAL1)−平衡(BAL2)工程が実行され、平衡時間計測部1241の動作(ステップS1241)が実行される。平衡時間計測部1241は、マスタ94とワーク95に対する等圧工程の終了時刻Y0から、マスタ94とワーク95の間に発生する差圧の単位時間当たりの変化量ΔP/Δtが所定値X0となる時刻Z0までの経過時間を平衡時間T0として計測する(S1241、図9の例を参照)。ここで、所定値X0を例えば、5[sec]あたり2〜10[Pa]の範囲で決定することができる(すなわち0.4≦X0[Pa/sec]≦2.0)。この値は、漏れが非常に小さい良品ワークにおける平衡工程終了時の差圧変化量を参考にして決定された値である。ステップS1241において漏れが大きいワークを用いた場合、差圧変化量(図9の下のグラフにおける傾き)が大きくなりすぎて、いつまでも所定値X0に収束しない(T0=∞)場合がある。この場合は、ワークの選びなおしとなる。従ってステップS1241では、平衡時間の計測と同時に漏れが非常に小さい良品ワークの選定を行っていると考える事もできる。ステップS1241において上記の所定値X0を充たすワークは、下記のステップS1242においても引き続き使用される。
次に、第2の校正モードの条件下で加圧(CHG)−等圧(BAL1)−平衡(BAL2)工程が実行され、検出時間計測部1242の動作(ステップS1242)が実行される。検出時間計測部1242は、マスタ94と、リークマスタ96Sを接続したワーク95に対する等圧工程の終了時刻Y1から平衡時間T0経過後の時刻Z1を基準として、マスタ94と、リークマスタ96Sを接続したワーク95の間に発生する差圧ΔPが所定値U1となる時刻W1を求め、時刻W1と時刻Z1の差分を検出時間T1として計測する(S1242、図10の例を参照)。所定値U1は、例えば100[Pa]とすることができる。
次に、係数算出部1243の動作(ステップS1243)が実行される。係数算出部1243は、検出時間T1と、所定値U1と、リークマスタ96Sの漏れ流量QSに基づいて、ワークのリーク係数Veを次式により算出する(S1243)。
本実施例のリークテスタ12によれば、ステップS1241において平衡時間を計測するとともに漏れが非常に小さい良品ワークを選定し、ステップS1242において計測された平衡時間を基準として上記の良品ワークにリークマスタを接続した状態で検出工程を実行するため、上限基準リークQSに相当するか、あるいはそれよりも少し大きい漏れ流量に相当するリークマスタを使用した場合であってもリーク係数Veを精度よく算出することができ、ユーザの利便性が向上する。またユーザが使用するリークマスタは上記条件を充たす一種類のみでよく、リークマスタの付け替えによる試行錯誤が発生しない。上記の実施例に開示したように、上限基準リークに相当するリークマスタ96Sを使用すれば、ユーザの利便性はさらに向上する。ただし、本明細書では上記条件を充たす一種類のリークマスタのみを用いて、リーク係数を算出する構成、および方法を開示したのであって、上記のリークマスタ96Sは本発明で使用できるリークマスタの一例に過ぎない。
<補記>
本発明の装置は、例えば単一のハードウェアエンティティとして、キーボードなどが接続可能な入力部、液晶ディスプレイなどが接続可能な出力部、ハードウェアエンティティの外部に通信可能な通信装置(例えば通信ケーブル)が接続可能な通信部、CPU(Central Processing Unit、キャッシュメモリやレジスタなどを備えていてもよい)、メモリであるRAMやROM、ハードディスクである外部記憶装置並びにこれらの入力部、出力部、通信部、CPU、RAM、ROM、外部記憶装置の間のデータのやり取りが可能なように接続するバスを有している。また必要に応じて、ハードウェアエンティティに、CD−ROMなどの記録媒体を読み書きできる装置(ドライブ)などを設けることとしてもよい。このようなハードウェア資源を備えた物理的実体としては、汎用コンピュータなどがある。
本発明の装置は、例えば単一のハードウェアエンティティとして、キーボードなどが接続可能な入力部、液晶ディスプレイなどが接続可能な出力部、ハードウェアエンティティの外部に通信可能な通信装置(例えば通信ケーブル)が接続可能な通信部、CPU(Central Processing Unit、キャッシュメモリやレジスタなどを備えていてもよい)、メモリであるRAMやROM、ハードディスクである外部記憶装置並びにこれらの入力部、出力部、通信部、CPU、RAM、ROM、外部記憶装置の間のデータのやり取りが可能なように接続するバスを有している。また必要に応じて、ハードウェアエンティティに、CD−ROMなどの記録媒体を読み書きできる装置(ドライブ)などを設けることとしてもよい。このようなハードウェア資源を備えた物理的実体としては、汎用コンピュータなどがある。
ハードウェアエンティティの外部記憶装置には、上述の機能を実現するために必要となるプログラムおよびこのプログラムの処理において必要となるデータなどが記憶されている(外部記憶装置に限らず、例えばプログラムを読み出し専用記憶装置であるROMに記憶させておくこととしてもよい)。また、これらのプログラムの処理によって得られるデータなどは、RAMや外部記憶装置などに適宜に記憶される。
ハードウェアエンティティでは、外部記憶装置(あるいはROMなど)に記憶された各プログラムとこの各プログラムの処理に必要なデータが必要に応じてメモリに読み込まれて、適宜にCPUで解釈実行・処理される。その結果、CPUが所定の機能(上記、…部、…手段などと表した各構成要件)を実現する。
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。また、上記実施形態において説明した処理は、記載の順に従って時系列に実行されるのみならず、処理を実行する装置の処理能力あるいは必要に応じて並列的にあるいは個別に実行されるとしてもよい。
既述のように、上記実施形態において説明したハードウェアエンティティ(本発明の装置)における処理機能をコンピュータによって実現する場合、ハードウェアエンティティが有すべき機能の処理内容はプログラムによって記述される。そして、このプログラムをコンピュータで実行することにより、上記ハードウェアエンティティにおける処理機能がコンピュータ上で実現される。
この処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等どのようなものでもよい。具体的には、例えば、磁気記録装置として、ハードディスク装置、フレキシブルディスク、磁気テープ等を、光ディスクとして、DVD(Digital Versatile Disc)、DVD−RAM(Random Access Memory)、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、CD−R(Recordable)/RW(ReWritable)等を、光磁気記録媒体として、MO(Magneto-Optical disc)等を、半導体メモリとしてEEP−ROM(Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory)等を用いることができる。
また、このプログラムの流通は、例えば、そのプログラムを記録したDVD、CD−ROM等の可搬型記録媒体を販売、譲渡、貸与等することによって行う。さらに、このプログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することにより、このプログラムを流通させる構成としてもよい。
このようなプログラムを実行するコンピュータは、例えば、まず、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、一旦、自己の記憶装置に格納する。そして、処理の実行時、このコンピュータは、自己の記録媒体に格納されたプログラムを読み取り、読み取ったプログラムに従った処理を実行する。また、このプログラムの別の実行形態として、コンピュータが可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することとしてもよく、さらに、このコンピュータにサーバコンピュータからプログラムが転送されるたびに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することとしてもよい。また、サーバコンピュータから、このコンピュータへのプログラムの転送は行わず、その実行指示と結果取得のみによって処理機能を実現する、いわゆるASP(Application Service Provider)型のサービスによって、上述の処理を実行する構成としてもよい。なお、本形態におけるプログラムには、電子計算機による処理の用に供する情報であってプログラムに準ずるもの(コンピュータに対する直接の指令ではないがコンピュータの処理を規定する性質を有するデータ等)を含むものとする。
また、この形態では、コンピュータ上で所定のプログラムを実行させることにより、ハードウェアエンティティを構成することとしたが、これらの処理内容の少なくとも一部をハードウェア的に実現することとしてもよい。
Claims (8)
- マスタとワークに対する等圧工程の終了時刻Y0から、前記マスタと前記ワークの間に発生する差圧の単位時間当たりの変化量ΔP/Δtが所定値X0となる時刻Z0までの経過時間を平衡時間T0として計測する平衡時間計測部と、
前記マスタとリークマスタを接続した前記ワークに対する等圧工程の終了時刻Y1から前記平衡時間T0経過後の時刻Z1を基準として、前記マスタと前記リークマスタを接続した前記ワークの間に発生する差圧ΔPが所定値U1となる時刻W1を求め、前記時刻W1と前記時刻Z1の差分を検出時間T1として計測する検出時間計測部と、
を含むリークテスタ。 - 請求項1に記載のリークテスタであって、
前記リークマスタが、
前記ワークの上限基準リークに相当するリークマスタである
リークテスタ。 - 請求項1または2に記載のリークテスタであって、
前記所定値X0を、
0.4[Pa/sec]以上2.0[Pa/sec]以下の値とする
リークテスタ。 - リークテスタが実行するリーク係数算出方法であって、
マスタとワークに対する等圧工程の終了時刻Y0から、前記マスタと前記ワークの間に発生する差圧の単位時間当たりの変化量ΔP/Δtが所定値X0となる時刻Z0までの経過時間を平衡時間T0として計測するステップと、
前記マスタとリークマスタを接続した前記ワークに対する等圧工程の終了時刻Y1から前記平衡時間T0経過後の時刻Z1を基準として、前記マスタと前記リークマスタを接続した前記ワークの間に発生する差圧ΔPが所定値U1となる時刻W1を求め、前記時刻W1と前記時刻Z1の差分を検出時間T1として計測するステップと、
を含むリーク係数算出方法。 - 請求項4に記載のリーク係数算出方法であって、
前記リークマスタが、
前記ワークの上限基準リークに相当するリークマスタである
リーク係数算出方法。 - 請求項4または5に記載のリーク係数算出方法であって、
前記所定値X0を、
0.4[Pa/sec]以上2.0[Pa/sec]以下の値とする
リーク係数算出方法。 - コンピュータを、請求項1から3の何れかに記載のリークマスタとして機能させるプログラム。
- コンピュータに、請求項4から6の何れかに記載のリーク係数算出方法を実行させるプログラム。
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CN113390587A (zh) * | 2020-03-11 | 2021-09-14 | 深圳市美好创亿医疗科技股份有限公司 | 箱体的密封性的检测方法及其检测系统 |
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