JP7037466B2 - 制御装置、流量感度補正方法、プログラム - Google Patents

Description

本発明は、マスフローセンサの流量感度を補正する制御装置、流量感度補正方法、プログラムに関する。

流量式リークテストシステムの従来例として、例えば非特許文献１がある。図１を参照して従来のストレージタンク方式の漏れ流量計測システムの構成を説明する。同図に示すように、従来のストレージタンク方式の漏れ流量計測システム９は、空圧源９０５と、空圧源９０５とタンク９２０を接続する第１管路に接続された電空変換器９１０と、第１管路を開閉可能に接続され、電空変換器９１０よりもタンク９２０側に位置する第１閉止弁９１５と、タンク９２０と、タンク９２０とワーク９３５を接続する第２管路に接続されたマスフローセンサ９２５と、第２管路を開閉可能に接続され、マスフローセンサ９２５よりもワーク９３５側に位置する第２閉止弁９３０と、ワーク９３５と、タンク９２０とフローマスタ９６０を接続する第３管路を開閉可能に接続された第３閉止弁９４０と、タンク９２０に接続された圧力センサ９４５と、タンク９２０内の気体を排気するための第４閉止弁９５０と、第２閉止弁９３０よりもワーク９３５側の第２管路と、第３閉止弁９４０よりもフローマスタ９６０側の第３管路とを接続する第４管路と、第４管路よりもフローマスタ側の第３管路を開閉可能に接続された第５閉止弁９５５と、フローマスター９６０と、システム全体を制御する制御装置９６５を含む。同図における破線は制御装置９６５の制御信号を伝送する制御線である。

図２を参照して、従来の漏れ流量計測システム９の制御圧設定動作を説明する。まず、制御装置９６５は、第１閉止弁９１５を開き、タンク９２０内の圧力がタンク圧Ｐ_１になるよう電空変換器９１０を制御し、タンク９２０内の圧力を計測する（Ｓ９６５１）。次に制御装置９６５は、第１閉止弁９１５を閉じ、第３閉止弁９４０を開き、ワーク９３５内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測する（Ｓ９６５２）。

ここで、大気圧（ワーク９３５内の圧力の初期値）をＰ_０、タンク９２０の内容積（既知）をＶ_１、ワーク９３５の内容積（未知）をｘとすれば、ステップＳ９６５１におけるタンク圧Ｐ_１、ステップＳ９６５２で計測されたワーク圧Ｐ_２に基づき、ボイルの法則により、

が成り立つ。制御装置９６５は、式（２）に基づき、タンク圧Ｐ_１とワーク圧Ｐ_２とタンクの内容積Ｖ_１からワーク９３５の内容積ｘを求め、予め設定したワーク９３５のテスト圧Ｐ_２’に対応するタンク９２０の制御圧Ｐ_１’を、以下の式（３）により求める（Ｓ９６５３）。

式（３）は、制御圧Ｐ_１’を求めるための数式である。制御装置９６５は、タンク圧を制御圧Ｐ_１’に設定してタンク９２０とワーク９３５を接続する管路の開放を行った場合に、ワーク９３５内の圧力がテスト圧Ｐ_２’を中心とする所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’、ΔＰ_２’は任意の値）に収束するか否かを判定する（Ｓ９６５４）。ワーク９３５内の圧力が所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’）となる場合（Ｓ９６５４－条件分岐Ｙ）、処理を終了し（エンド）、ワーク９３５内の圧力が所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’）とならない場合（Ｓ９６５４－条件分岐Ｎ）ステップＳ９６５１に戻り、制御装置９６５は再度ステップＳ９６５１、Ｓ９６５２、Ｓ９６５３を実行し、再度制御圧Ｐ_１’を求め、ワーク９３５内の圧力が、所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’）となるか否かを検証する（Ｓ９６５４）。条件分岐Ｎのループに入っている限り、ステップＳ９６５１～Ｓ９６５４が繰り返し実行される。

なお、式（３）は絶対圧における表現であるが、Ｐ_１＝Ｐ_０＋Ｐ_１１，Ｐ_２＝Ｐ_０＋Ｐ_２２，Ｐ_１’＝Ｐ_０＋Ｐ_１１’，Ｐ_２’＝Ｐ_０＋Ｐ_２２’とゲージ圧表現で表せば、

と表される。

次に、図３を参照して従来の漏れ流量計測システム９の流量感度校正動作について説明する。校正動作の開始にあたり、ワーク９３５として漏れのないワークが使用されるものとする。またフローマスター９６０として漏れ流量値Ｆのフローマスターが使用されるものとする。
まず、制御装置９６５は、第３閉止弁９４０を閉じ、第２閉止弁９３０を開いてマスフローセンサ９２５の計測値である流量Ｓを検出する（Ｓ９６５６）。次に、制御装置９６５は、第５閉止弁９５５を開いてマスフローセンサ９２５の計測値である流量Ｔを検出する（Ｓ９６５７）。ワーク９３５を漏れのないワークであるとみなし、Ｔ－Ｓ≒Ｆとなれば、マスフローセンサ９２５の読み値を真値であるとみなすことができる。従って制御装置９６５は、α＝Ｆ／（Ｔ－Ｓ）として校正係数αを取得し、校正係数αによりマスフローセンサ９２５を校正する（Ｓ９６５８）。校正係数αによりマスフローセンサ９２５を校正することにより、マスフローセンサ９２５の読み値を流量の真値として扱うことができる。

株式会社フクダ、"流量式リークテストの原理と測定方式"、［online］、［平成30年 9月26日検索］、インターネット〈URL：http://www.fukuda-jp.com/leak/f01/〉

従来の漏れ流量計測システムは、ワーク９３５の種類が変わるたびに図３の流量感度校正動作が必須となるため、煩雑かつ高コストになっていた。

そこで本発明では、校正を場合により省略できる制御装置を提供することを目的とする。

本発明の制御装置は、タンク圧制御部と、ワーク圧計測部と、制御圧計算部と、収束判定部と、マスフローセンサ補正部を含む。

タンク圧制御部は、タンク内の圧力をタンク圧Ｐ_１に制御する。ワーク圧計測部は、タンクとワークを接続する管路を開放してワーク内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測する。制御圧計算部は、タンク圧Ｐ_１とワーク圧Ｐ_２とタンクの内容積Ｖ_１からワークの内容積ｘを求め、予め設定したワークのテスト圧Ｐ_２’に対応するタンクの制御圧Ｐ_１’を求める。収束判定部は、タンク圧を制御圧Ｐ_１’に設定して管路の開放を行った場合に、ワーク内の圧力がテスト圧Ｐ_２’を中心とする所定の範囲に収束するか否かを判定する。マスフローセンサ補正部は、ワーク内の圧力が所定の範囲に収束する場合に、制御圧Ｐ_１’とテスト圧Ｐ_２’に基づいて、タンクとワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Ｋを算出し、当該流量補正係数Ｋに基づいてマスフローセンサを補正する。

本発明の制御装置によれば、校正を場合により省略できる。

従来の漏れ流量計測システムの構成を示す空圧回路図。 従来の制御装置の制御圧設定動作を示すフローチャート。 従来の制御装置の流量感度校正動作を示すフローチャート。 実施例１の漏れ流量計測システムの構成を示す空圧回路図。 実施例１の制御装置の構成を示すブロック図。 実施例１の制御装置の制御圧設定動作を示すフローチャート。 実施例１の制御装置の流量感度校正動作を示すフローチャート。 実施例２の漏れ流量計測システムの構成を示す空圧回路図。 実施例２の制御装置の構成を示すブロック図。 実施例２の制御装置の流量補正係数Ｋの算出動作を示すフローチャート。 実施例２の制御装置の流量感度校正動作を示すフローチャート。

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、同じ機能を有する構成部には同じ番号を付し、重複説明を省略する。

以下、図４を参照して実施例１の漏れ流量計測システムの構成を説明する。同図に示すように、本実施例の漏れ流量計測システム１は、従来の漏れ流量計測システム９と同様の空圧源９０５、電空変換器９１０、第１閉止弁９１５、タンク９２０、マスフローセンサ９２５、第２閉止弁９３０、ワーク９３５、第３閉止弁９４０、圧力センサ９４５、第４閉止弁９５０、第５閉止弁９５５、フローマスター９６０を含み、従来の制御装置９６５と異なる制御を実行する制御装置１６５を含む。同図における破線は制御装置１６５の制御信号を伝送する制御線である。

以下、図５を参照して本実施例の制御装置１６５の構成を説明する。同図に示すように本実施例の制御装置１６５は、タンク圧制御部１６５１と、ワーク圧計測部１６５２と、制御圧計算部１６５３と、収束判定部１６５４と、マスフローセンサ補正部１６５５と、第１流量検出部１６５６と、第２流量検出部１６５７と、マスフローセンサ校正部１６５８を含む。

以下、図６を参照して本実施例の制御装置１６５の制御圧設定動作を説明する。まず、タンク圧制御部１６５１は、第１閉止弁９１５を開き、タンク９２０内の圧力がタンク圧Ｐ_１になるよう電空変換器９１０を制御し、タンク９２０内の圧力を計測する（Ｓ１６５１）。ワーク圧計測部１６５２は、第１閉止弁９１５を閉じ、第３閉止弁９４０を開くことにより、タンク９２０とワーク９３５を接続する管路を開放してワーク９３５内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測する（Ｓ１６５２）。制御圧計算部１６５３は、タンク圧Ｐ_１とワーク圧Ｐ_２とタンク９２０の内容積Ｖ_１からワーク９３５の内容積ｘを求め、予め設定したワーク９３５のテスト圧Ｐ_２’に対応するタンク９２０の制御圧Ｐ_１’を求める（Ｓ１６５３）。収束判定部１６５４は、タンク圧を制御圧Ｐ_１’に設定して管路の開放を行った場合に、ワーク９３５内の圧力がテスト圧Ｐ_２’を中心とする所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’）に収束するか否かを判定する（Ｓ１６５４）。

ワーク９３５内の圧力が所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’）に収束する場合（Ｓ１６５４－条件分岐Ｙ）、マスフローセンサ補正部１６５５は、制御圧Ｐ_１’とテスト圧Ｐ_２’に基づいて、タンク９２０とワーク９３５を接続する管路に設けられたマスフローセンサ９２５を補正するための係数である流量補正係数Ｋを、後述する式（６－ａ）により算出し、当該流量補正係数Ｋに基づいてマスフローセンサ９２５を補正する（Ｓ１６５５）。

ワーク９３５内の圧力が所定の範囲（Ｐ_２’±ΔＰ_２’）とならない場合（Ｓ１６５４－条件分岐Ｎ）ステップＳ１６５１に戻り、制御装置１６５は再度ステップＳ１６５１、Ｓ１６５２、Ｓ１６５３を実行し、再度制御圧Ｐ_１’を求める。条件分岐Ｎのループに入っている限り、ステップＳ１６５１～Ｓ１６５４が繰り返し実行される。
＜流量補正係数Ｋの求め方＞
漏れ流量計測のマスフローセンサにおいて、漏れた流量と同じ流量が入力側から供給されたときは、マスフローセンサは正しい漏れ流量を表示するが、漏れた流量と同じ流量が供給されない場合、マスフローセンサは正しい漏れ流量を表示しない。例えば１次側に内容積Ｖ_Ｔのタンク、２次側に内容積Ｖ_Ｗのワークを設け、タンクとワークをつなぐ管路に流量計（マスフローセンサ）を設けた場合、当該管路を開閉する閉止弁を開き、タンク内の圧力とワーク内の圧力が等圧になった後、マスフローセンサはワーク側の漏れ流量を表示するが、１次側タンク内の圧力は漏れ流量の影響を受けて一定ではなく、ワークの漏れ流量に比例してその内圧が変化し、漏れ流量が一定であっても漏れ流量感度が変化することになる。

そこで、マスフローセンサ９２５の計測値（表示値）をＱ’とし、補正後の流量をＱとすれば、流量感度の補正式を以下のように表すことができる。

式（４）におけるＶ_Ｔを上述のＶ_１とし、式（４）におけるＶ_Ｗを上述のｘとし、ｘを式（２）によりＰ_１、Ｐ_２、Ｐ_０を用いた表現に変形すれば式（４）は以下のように変形される。

よって計測値（表示値）Ｑ’を正しい流量Ｑに補正するための流量補正係数Ｋは、

と表される。式（６）は、制御圧Ｐ_１’、テスト圧Ｐ_２’に基づく式としてもよい。その場合、以下のように表される。

式（５）、式（６）をゲージ圧表現で表せば、

となる。様々な種類のワークを用いて、実測感度係数Ｋと、圧力を用いた式（６’）により導出した流量補正係数Ｋと、内容積を用いた式（４）により導出した流量補正係数Ｋを比較した結果を下表に示す。

表１に示すように、実測感度係数の値と式（６’）を用いて導出した流量補正係数の値は近似しており、ワークが剛体の場合にはこの傾向が顕著になる。よって、式（６’）を用いて導出した流量補正係数の値を実測感度係数の値の代用として用いることが可能である。

以下、図７を参照して本実施例の制御装置１６５の流量感度校正動作を説明する。第１流量検出部１６５６は、第３閉止弁９４０を閉じ、第２閉止弁９３０を開くことにより、タンク９２０とワーク９３５を接続する第２管路を開放し、当該管路に設けられたマスフローセンサ９２５の、流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｂを検出する（Ｓ１６５６）。第２流量検出部１６５７は、第５閉止弁９５５を開いて、タンク９２０とワーク９３５と漏れ流量値Ｆのフローマスタ９６０を接続する管路（第２管路、第４管路、第３管路の一部）を開放し、当該管路に設けられたマスフローセンサ９２５の流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｃを検出する（Ｓ１６５７）。マスフローセンサ校正部１６５８は、漏れ流量値Ｆと、流量Ｃと流量Ｂの差分（Ｃ－Ｂ）が等しくなるように校正係数αを取得し、校正係数αに基づいてマスフローセンサ９２５を校正する（Ｓ１６５８）。すなわち、マスフローセンサ校正部１６５８は、校正係数αを

と計算する。

図７に示したステップＳ１６５６～Ｓ１６５８は、場合により省略可能である。例えばあるワークにおいてステップＳ１６５１～Ｓ１６５５を実行することにより、流量補正係数Ｋを算出してマスフローセンサ９２５を補正した場合、補正後かつ校正前の状態においてＦ≒Ｃ－Ｂ（∴α≒１）となっていることを簡易的に目視確認できれば、ステップＳ１６５６～Ｓ１６５８の校正作業は割愛可能である。校正作業は、専門分野の知識を持つ者がマニュアルに従って正しく行わなければならない作業であるため、煩雑かつコストが高い。本実施例の制御装置１６５を用いれば、上記の煩雑な校正作業を多くの場合に割愛できるため、ユーザの利便性が高まる。ただし、Ｆ≠Ｃ－Ｂ（∴α≠１）となる場合には、ステップＳ１６５６～Ｓ１６５８の校正作業を行う必要がある。

以下、図８を参照して実施例２の漏れ流量計測システムの構成を説明する。同図に示すように、本実施例の漏れ流量計測システム２は、空圧源８０５と、空圧源８０５のワークおよびタンク側に接続されたオイルミストセパレータ８１０と、オイルミストセパレータ８１０のワークおよびタンク側に接続された調圧弁８１５と、調圧弁８１５のワークおよびタンク側に接続されたテスト圧計８２０と、テスト圧計８２０のワークおよびタンク側に接続された電磁弁８２５と、電磁弁８２５からワーク、タンクのそれぞれに向かって二股に延伸する管路のうち一方の（タンクにつながる）管路である第１管路に接続された電磁弁８３０と、電磁弁８２５から二股に分かれる管路のうち他方の（ワークにつながる）管路である第２管路に接続された電磁弁８３５と、電磁弁８３０、８３５よりもワークおよびタンク側にあり第１管路と第２管路を接続する第３管路において、当該第３管路の第１管路側に接続されたマスフローセンサ８４０と、当該第３管路の第２管路側に接続された電磁弁８４５と、第３管路よりもタンク側で第１管路から分岐する第４管路の終端に接続される電磁弁８５０と、第３管路よりもワーク側で第２管路から分岐する第５管路の終端に接続される電磁弁８５５と、第３管路よりもタンク側で、第１管路に接続される弁８６０と、第３管路よりもワーク側で、第２管路に接続される弁８６５と、弁８６０よりもタンク側で、第１管路に接続されるテスト圧計８７０と、弁８６５よりもワーク側で、第２管路から分岐する第６管路の終端に接続されるフローマスター８７５と、第１管路の終端に接続されるタンク８８０と、第２管路の終端に接続されるワーク８８５と、上記の一般的な等圧タンク方式の空圧回路の各構成を制御可能な制御装置２６５を含む。なお同図において制御線の表示を省略した。

以下、図９を参照して本実施例の制御装置２６５の構成を説明する。同図に示すように本実施例の制御装置２６５は、テスト圧制御部２６５１と、ワーク圧計測部２６５２と、マスフローセンサ補正部２６５５と、第１流量検出部２６５６と、第２流量検出部２６５７と、マスフローセンサ校正部２６５８を含む。

以下、図１０を参照して本実施例の制御装置２６５の流量補正係数Ｋの算出動作を説明する。まず、テスト圧制御部２６５１は、電磁弁８２５、８３０、弁８６０を開き、タンク８８０内の圧力をテスト圧Ｐ_１になるよう、調圧弁８１５を制御し、タンク８８０内の圧力を計測する（Ｓ２６５１）。ワーク圧計測部２６５２は、電磁弁８２５を閉じ、電磁弁８３５、弁８６５を開き、タンク８８０とワーク８８５を接続する管路を開放してワーク８８５内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測する（Ｓ２６５２）。

マスフローセンサ補正部２６５５は、テスト圧Ｐ_１とワーク圧Ｐ_２に基づいて、タンク８８０とワーク８８５を接続する第３管路に設けられたマスフローセンサ８４０を補正するための係数である流量補正係数Ｋを、式（６）により算出し、当該流量補正係数Ｋに基づいてマスフローセンサ８４０を補正する（Ｓ２６５５）。

制御装置２６５は、通常の流量計測では、テスト圧Ｐ_１をタンク８８０とワーク８８５に同時に加圧し、電磁弁８３０、８３５を閉じ、電磁弁８４５を開く。マスフローセンサ８４０は、上記のステップで求めた流量補正係数Ｋにより補正された流量を表示する。

以下、図１１を参照して本実施例の制御装置２６５の流量感度校正動作を説明する。第１流量検出部２６５６は、電磁弁８３０、８３５を閉じ、電磁弁８４５を開くことにより、タンク８８０とワーク８８５を接続する第３管路を開放し、当該管路に設けられたマスフローセンサ８４０の、流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｂを検出する（Ｓ２６５６）。第２流量検出部２６５７は、フローマスター８７５の弁を開いて、タンク８８０とワーク８８５と漏れ流量値Ｆのフローマスター８７５を接続する管路を開放し、マスフローセンサ８４０の流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｃを検出する（Ｓ２６５７）。マスフローセンサ校正部２６５８は、漏れ流量値Ｆと、流量Ｃと流量Ｂの差分（Ｃ－Ｂ）が等しくなるように校正係数αを取得し、マスフローセンサ８４０を校正する（Ｓ２６５８）。

実施例１と同様に、マスフローセンサ校正部２６５８は、校正係数αを

と計算する。

実施例２の制御装置２６５によれば、等圧タンク方式の漏れ流量計測システムにおいても実施例１と同様の効果（校正作業の適宜省略）が得られる。
＜補記＞
本発明の装置は、例えば単一のハードウェアエンティティとして、キーボードなどが接続可能な入力部、液晶ディスプレイなどが接続可能な出力部、ハードウェアエンティティの外部に通信可能な通信装置（例えば通信ケーブル）が接続可能な通信部、ＣＰＵ（Central Processing Unit、キャッシュメモリやレジスタなどを備えていてもよい）、メモリであるＲＡＭやＲＯＭ、ハードディスクである外部記憶装置並びにこれらの入力部、出力部、通信部、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、外部記憶装置の間のデータのやり取りが可能なように接続するバスを有している。また必要に応じて、ハードウェアエンティティに、ＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体を読み書きできる装置（ドライブ）などを設けることとしてもよい。このようなハードウェア資源を備えた物理的実体としては、汎用コンピュータなどがある。

ハードウェアエンティティの外部記憶装置には、上述の機能を実現するために必要となるプログラムおよびこのプログラムの処理において必要となるデータなどが記憶されている（外部記憶装置に限らず、例えばプログラムを読み出し専用記憶装置であるＲＯＭに記憶させておくこととしてもよい）。また、これらのプログラムの処理によって得られるデータなどは、ＲＡＭや外部記憶装置などに適宜に記憶される。

ハードウェアエンティティでは、外部記憶装置（あるいはＲＯＭなど）に記憶された各プログラムとこの各プログラムの処理に必要なデータが必要に応じてメモリに読み込まれて、適宜にＣＰＵで解釈実行・処理される。その結果、ＣＰＵが所定の機能（上記、…部、…手段などと表した各構成要件）を実現する。

本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。また、上記実施形態において説明した処理は、記載の順に従って時系列に実行されるのみならず、処理を実行する装置の処理能力あるいは必要に応じて並列的にあるいは個別に実行されるとしてもよい。

既述のように、上記実施形態において説明したハードウェアエンティティ（本発明の装置）における処理機能をコンピュータによって実現する場合、ハードウェアエンティティが有すべき機能の処理内容はプログラムによって記述される。そして、このプログラムをコンピュータで実行することにより、上記ハードウェアエンティティにおける処理機能がコンピュータ上で実現される。

この処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等どのようなものでもよい。具体的には、例えば、磁気記録装置として、ハードディスク装置、フレキシブルディスク、磁気テープ等を、光ディスクとして、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＤＶＤ－ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＣＤ－ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＣＤ－Ｒ（Recordable）／ＲＷ（ReWritable）等を、光磁気記録媒体として、ＭＯ（Magneto-Optical disc）等を、半導体メモリとしてＥＥＰ－ＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory）等を用いることができる。

また、このプログラムの流通は、例えば、そのプログラムを記録したＤＶＤ、ＣＤ－ＲＯＭ等の可搬型記録媒体を販売、譲渡、貸与等することによって行う。さらに、このプログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することにより、このプログラムを流通させる構成としてもよい。

このようなプログラムを実行するコンピュータは、例えば、まず、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、一旦、自己の記憶装置に格納する。そして、処理の実行時、このコンピュータは、自己の記録媒体に格納されたプログラムを読み取り、読み取ったプログラムに従った処理を実行する。また、このプログラムの別の実行形態として、コンピュータが可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することとしてもよく、さらに、このコンピュータにサーバコンピュータからプログラムが転送されるたびに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することとしてもよい。また、サーバコンピュータから、このコンピュータへのプログラムの転送は行わず、その実行指示と結果取得のみによって処理機能を実現する、いわゆるＡＳＰ（Application Service Provider）型のサービスによって、上述の処理を実行する構成としてもよい。なお、本形態におけるプログラムには、電子計算機による処理の用に供する情報であってプログラムに準ずるもの（コンピュータに対する直接の指令ではないがコンピュータの処理を規定する性質を有するデータ等）を含むものとする。

また、この形態では、コンピュータ上で所定のプログラムを実行させることにより、ハードウェアエンティティを構成することとしたが、これらの処理内容の少なくとも一部をハードウェア的に実現することとしてもよい。

Claims (9)

1. タンク内の圧力をタンク圧Ｐ_１に制御するタンク圧制御部と、
   前記タンクとワークを接続する管路を開放して前記ワーク内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測するワーク圧計測部と、
   前記タンク圧Ｐ_１と前記ワーク圧Ｐ_２と前記タンクの内容積Ｖ_１から前記ワークの内容積ｘを求め、予め設定した前記ワークのテスト圧Ｐ_２’に対応するタンクの制御圧Ｐ_１’を求める制御圧計算部と、
   前記タンク圧を前記制御圧Ｐ_１’に設定して前記管路の開放を行った場合に、前記ワーク内の圧力が前記テスト圧Ｐ_２’を中心とする所定の範囲に収束するか否かを判定する収束判定部と、
   前記ワーク内の圧力が前記所定の範囲に収束する場合に、前記制御圧Ｐ_１’と前記テスト圧Ｐ_２’に基づいて、前記タンクと前記ワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Ｋを算出し、当該流量補正係数Ｋに基づいて前記マスフローセンサを補正するマスフローセンサ補正部を含む
   制御装置。
2. 請求項１に記載の制御装置であって、
   前記マスフローセンサ補正部は、
   Ｐ_０を前記ワーク内の圧力の初期値とし、前記流量補正係数Ｋを
   

   

   
   として算出する
   制御装置。
3. 請求項１または２に記載の制御装置であって、
   前記タンクと前記ワークを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｂを検出する第１流量検出部と、
   前記タンクと前記ワークと漏れ流量値Ｆのフローマスタを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｃを検出する第２流量検出部と、
   前記漏れ流量値Ｆと、流量Ｃと流量Ｂの差分が等しくなるように校正係数αを取得し、前記マスフローセンサを校正するマスフローセンサ校正部を含む
   制御装置。
4. タンク内の圧力をタンク圧Ｐ_１に制御するタンク圧制御ステップと、
   前記タンクとワークを接続する管路を開放して前記ワーク内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測するワーク圧計測ステップと、
   前記タンク圧Ｐ_１と前記ワーク圧Ｐ_２と前記タンクの内容積Ｖ_１から前記ワークの内容積ｘを求め、予め設定した前記ワークのテスト圧Ｐ_２’に対応するタンクの制御圧Ｐ_１’を求める制御圧計算ステップと、
   前記タンク圧を前記制御圧Ｐ_１’に設定して前記管路の開放を行った場合に、前記ワーク内の圧力が前記テスト圧Ｐ_２’を中心とする所定の範囲に収束するか否かを判定する収束判定ステップと、
   前記ワーク内の圧力が前記所定の範囲に収束する場合に、前記制御圧Ｐ_１’と前記テスト圧Ｐ_２’に基づいて、前記タンクと前記ワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Ｋを算出し、当該流量補正係数Ｋに基づいて前記マスフローセンサを補正するマスフローセンサ補正ステップを含む
   流量感度補正方法。
5. 請求項４に記載の流量感度補正方法であって、
   前記マスフローセンサ補正ステップは、
   Ｐ_０を前記ワーク内の圧力の初期値とし、前記流量補正係数Ｋを
   

   

   
   として算出する
   流量感度補正方法。
6. 請求項４または５の何れかに記載の流量感度補正方法であって、
   ストレージタンク方式の漏れ流量計測システムに対して前記各ステップを実行する
   流量感度補正方法。
7. 等圧タンク方式の漏れ流量計測システムに対する流量感度補正方法であって、
   タンク内の圧力をテスト圧Ｐ_１に制御するテスト圧制御ステップと、
   前記タンクとワークを接続する管路を開放して前記ワーク内の圧力であるワーク圧Ｐ_２を計測するワーク圧計測ステップと、
   前記テスト圧Ｐ_１と前記ワーク圧Ｐ_２に基づいて、前記タンクと前記ワークを接続する管路に設けられたマスフローセンサを補正するための係数である流量補正係数Ｋを算出し、当該流量補正係数Ｋに基づいて前記マスフローセンサを補正するマスフローセンサ補正ステップを含む
   流量感度補正方法。
8. 請求項４から７の何れかに記載の流量感度補正方法であって、
   前記タンクと前記ワークを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｂを検出する第１流量検出ステップと、
   前記タンクと前記ワークと漏れ流量値Ｆのフローマスタを接続する管路を開放し、当該管路に設けられた前記マスフローセンサの前記流量補正係数Ｋによる補正済みの計測値である流量Ｃを検出する第２流量検出ステップと、
   前記漏れ流量値Ｆと、流量Ｃと流量Ｂの差分が等しくなるように校正係数αを取得し、前記マスフローセンサを校正するマスフローセンサ校正ステップを含む
   流量感度補正方法。
9. コンピュータを請求項１から３の何れかに記載の制御装置として機能させるプログラム。

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