CN111024334A - 控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够根据情况省略校正的控制装置。该控制装置包括：将罐内的压力控制为罐压P₁的罐压控制部、开放将罐和工件连接的管路并测量工件压P₂的工件压测量部、根据罐压P₁和工件压P₂和罐的内容积V₁求出工件的内容积x并求出与预先设定的工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’的控制压计算部、在将罐压设定为控制压P₁’并进行管路的开放的情况下判断工件内的压力是否收敛于以测试压P₂’为中心的规定范围的收敛判定部、以及在工件内的压力收敛于规定范围的情况下基于控制压P₁’和测试压P₂’算出用于修正在将罐和工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K并基于该流量修正系数K修正质量流量传感器的质量流量传感器修正部。

Description

控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质

技术领域

本发明涉及修正对质量流量(mass flow)传感器的流量灵敏度进行修正的控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质。

背景技术

作为流量式泄漏测试系统的现有例子，例如存在非专利文献1。参照图1来说明现有的储罐方式的泄漏流量测量系统的结构。如同图所示，现有的储罐方式的泄漏流量测量系统9包含：空压源905、与将空压源905和罐920连接的第一管路连接的电空转换器910、将第一管路可开闭地连接并比电空转换器910更位于罐920侧的第一截止阀915、罐920、与将罐920和工件935连接的第二管路连接的质量流量传感器925、将第二管路可开闭地连接并比质量流量传感器925更位于工件935侧的第二截止阀930、工件935、将把罐920和流量控制器960连接的第三管路可开闭地连接的第三截止阀940、与罐920连接的压力传感器945、用于排出罐920内的气体的第四截止阀950、将比第二截止阀930更位于工件935侧的第二管路和比第三截止阀940跟位于流量控制器960侧的第三管路连接的第四管路、将比第四管路更位于流量控制器侧的第三管路可开闭地连接的第五截止阀955、流量控制器960、控制系统整体的控制装置965。同图的虚线是传送控制装置965的控制信号的控制线。

参照图2来说明现有的泄漏流量测量系统9的控制压设定动作。首先，控制装置965打开第一截止阀915，控制电空转换器910以使罐920内的压力成为罐压P₁，并测量罐920内的压力(S9651)。接下来控制装置965关闭第一截止阀915，打开第三截止阀940，测量工件935内的压力即工件压P₂(S9652)。

在此，将大气压(工件935内的压力的初始值)设为P₀、罐920的内容积(已知)设为V₁，工件935的内容积(未知)设为x，基于步骤S9651的罐压P₁、在步骤S9652测量的工件压P₂，根据博伊尔定律，

【算式1】

P₁V₁+P₀x＝P₂(V₁+x)…(1)

成立。控制装置965基于式(2)，根据罐压P₁和工件压P₂和罐的内容积V₁求出工件935的内容积x，将与预先设定的工件935的测试压P₂’对应的罐920的控制压P₁’通过以下的式(3)求出(S9653)。

【算式2】

式(3)是用于求出控制压P₁’的算式。控制装置965在将罐压设为控制压P₁’并开放将罐920和工件935连接的管路的情况下，判定工件935内的压力是否收敛于以测试压P₂’为中心的规定范围(P₂’±ΔP₂’，ΔP₂’为任意值)(S9654)。在工件935内的压力变成规定范围(P₂’±ΔP₂’)的情况下(S9654-条件分支Y)，结束处理(完毕)，在工件935内的压力没有变成规定范围(P₂’±ΔP₂’)的情况下(S9654-条件分支N)返回步骤S9651，控制装置965再次执行步骤S9651、S9652、S9653，再次求出控制压P₁’，验证工件935内的压力是否变成规定范围(P₂’±ΔP₂’)(S9654)。只要不进入条件分支N的循环，就反复执行步骤S9651～S9654。

此外，式(3)是绝对压的表达，如果以P₁＝P₀+P₁₁、P₂＝P₀+P₂₂、P₁’＝P₀+P₁₁’、P₂’＝P₀+P₂₂’、表压(gage pressure)表达来表示的话，则表示为

【算式3】

接下来，参照图3来关于现有的泄漏流量测量系统9的流量灵敏度校正动作进行说明。在校正动作的开始时，假设工件935使用不泄漏的工件。另外假设流量控制器960使用泄漏流量值F的流量控制器。首先，控制装置965关闭第三截止阀940，打开第二截止阀930来检测质量流量传感器925的测量值即流量S(S9656)。接下来，控制装置965打开第五截止阀955来检测质量流量传感器925的测量值即流量T(S9657)。将工件935看作不泄漏的工件，如果T-S≒F，则能够将质量流量传感器925的读取值看作真值。从而控制装置965假设α＝F/(T-S)而得到校正系数α，通过校正系数α来校正质量流量传感器925(S9658)。通过校正系数α来校正质量流量传感器925，由此能够将质量流量传感器925的读取值作为流量的真值来处理。

现有技术文献

非专利文献

非专利文献1：株式会社福田，《流量式リークテストの原理と測定方式(流量式泄漏测量的原理和测定方式)》，[online]，[平成30年9月26日检索]，网址〈URL：http://www.fukuda-jp.com/leak/f01/〉

发明内容

发明所要解决的课题

现有的泄漏流量测量系统在每次工件935的种类变化时需要进行图3的流量灵敏度校正动作，所以复杂且高成本。

因此在本发明中，目的在于提供一种能够根据情况省略校正的控制装置。

用于解决课题的手段

本发明的控制装置包含：罐压控制部、工件压测量部、控制压计算部、收敛判定部、质量流量传感器修正部。

罐压控制部将罐内的压力控制为罐压P₁。工件压测量部开放将罐和工件连接的管路，测量工件内的压力即工件压P₂。控制压计算部根据罐压P₁和工件压P₂和罐的内容积V₁来求出工件的内容积x，并求出与预先设定的工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’。收敛判定部在将罐压设定为控制压P₁’并开放管路的情况下，判定工件内的压力是否收敛于以测试压P₂’为中心的规定范围。质量流量传感器修正部在工件内的压力收敛于规定范围的情况下，基于控制压P₁’和测试压P₂’，算出用于修正在将罐和工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K来修正质量流量传感器。

发明效果

根据本发明的控制装置，能够根据情况省略校正。

附图说明

图1是表示现有的泄漏流量测量系统的结构的空压电路图。

图2是表示现有的控制装置的控制压设定动作的流程图。

图3是表示现有的控制装置的流量灵敏度校正动作的流程图。

图4表示实施例1的泄漏流量测量系统的结构的空压电路图。

图5是表示实施例1的控制装置的结构的方框图。

图6是表示实施例1的控制装置的控制压设定动作的流程图。

图7表示实施例1的控制装置的流量灵敏度校正动作的流程图。

图8表示实施例2的泄漏流量测量系统的结构的空压电路图。

图9表示实施例2的控制装置的结构的方框图。

图10是表示实施例2的控制装置的流量修正系数K的算出动作的流程图。

图11表示实施例2的控制装置的流量灵敏度校正动作的流程图。

具体实施方式

以下，关于本发明的实施方式进行详细的说明。此外，对具有相同功能的结构部赋予相同附图标记，并省略重复说明。

【实施例1】

以下，参照图4对实施例1的泄漏流量测量系统的结构进行说明。如同图所示，本实施例的泄漏流量测量系统1含有：与现有的泄漏流量测量系统9同样的空压源905、电空转换器910、第一截止阀915、罐920、质量流量传感器925、第二截止阀930、工件935、第三截止阀940、压力传感器945、第四截止阀950、第五截止阀955、流量控制器960、执行与现有的控制装置965不同的控制的控制装置165。同图的虚线是传送控制装置165的控制信号的控制线。

以下，参照图5对本实施例的控制装置165的结构进行说明。如同图所示本实施例的控制装置165含有：罐压控制部1651、工件压测量部1652、控制压计算部1653、收敛判定部1654、质量流量传感器修正部1655、第一流量检测部1656、第二流量检测部1657、质量流量传感器校正部1658。

以下，参照图6对本实施例的控制装置165的控制压设定动作进行说明。首先，罐压控制部1651打开第一截止阀915，控制电空转换器910以使罐920内的压力成为罐压P₁，并测量罐920内的压力(S1651)。工件压测量部1652通过关闭第一截止阀915，打开第三截止阀940，从而开放将罐920和工件935连接的管路，并测量工件935内的压力即工件压P₂(S1652)。控制压计算部1653根据罐压P₁和工件压P₂和罐920的内容积V₁来求出工件935的内容积x，并求出与预先设定的工件935的测试压P₂’对应的罐920的控制压P₁’(S1653)。收敛判定部1654在将罐压设定为控制压P₁’而进行管路的开放的情况下，判定工件935内的压力是否收敛于以测试压P₂’为中心的规定范围(P₂’±ΔP₂’)(S1654)。

在工件935内的压力收敛于规定范围(P₂’±ΔP₂’)的情况下(S1654-条件分支Y)，质量流量传感器修正部1655基于控制压P₁’和测试压P₂’，通过后述的式(6-a)算出用于修正在将罐920和工件935连接的管路上设置的质量流量传感器925的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正质量流量传感器925(S1655)。

在工件935内の压力没有变成规定范围(P₂’±ΔP₂’)的情况下(S1654-条件分支N)回到步骤S1651，控制装置165再次执行步骤S1651、S1652、S1653，再次求出控制压P₁’。只要不进入条件分支N的循环，就反复执行步骤S1651～S1654。

＜流量修正系数K的求法＞

在泄漏流量测量的质量流量传感器中，在从输入侧供给与泄漏的流量相同的流量时，质量流量传感器表示正确的泄漏流量，但没有供给与泄漏的流量相同的流量的情况下，质量流量传感器不表示正确的泄漏流量。例如在1次侧设置内容积V_T的罐，在2次侧设置内容积V_W的工件，在将罐和工件连接的管路上设置流量计(质量流量传感器)的情况下，将开闭该管路的截止阀打开，在罐内的压力与工件内的压力成为等压后，质量流量传感器表示工件侧的泄漏流量，但1次侧罐内的压力受到泄漏流量的影响而不恒定，其内压与工件的泄漏流量成比例地发生变化，即使泄漏流量恒定，泄漏流量灵敏度也会发生变化。

因此，如果将质量流量传感器925的测量值(表示值)设为Q’，将修正后的流量设为Q，则流量灵敏度的修正式能够以如下方式表示。

【算式4】

将式(4)的V_T设为上述的V₁，将式(4)的V_W设为上述的x，将x通过式(2)变形为利用P₁、P₂、P₀的表达的话，则式(4)以如下方式变形。

【算式5】

因此，用于将测量值(表示值)Q’修正为正确的流量Q的流量修正系数K表示为，

【算式6】

式(6)也可以是基于控制压P₁’、测试压P₂’的式子。在该情况下，以如下方式表示。

【算式7】

如果以表压表达来表示式(5)、式(6)的话，则

【算式8】

在下表中表示利用各种种类的工件而将实测灵敏度系数K、通过利用压力的式(6’)导出的流量修正系数K、通过利用内容积的式(4)导出的流量修正系数K进行比较的结果。

【表1】

如表1所示，实测灵敏度系数的值和利用式(6’)导出的流量修正系数的值近似，工件在刚体的情况下该倾向变得显著。因此，利用式(6’)导出的流量修正系数的值能够作为实测灵敏度系数的值的代替来使用。

以下，参照图7说明本实施例的控制装置165的流量灵敏度校正动作。第一流量检测部1656关闭第三截止阀940，打开第二截止阀930，从而开放将罐920和工件935连接的第二管路，检测设置在该管路上的质量流量传感器925的通过流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B(S1656)。第二流量检测部1657打开第五截止阀955，开放将罐920和工件935和泄漏流量值F的流量控制器960连接的管路(第二管路、第四管路、第三管路的一部分)，检测在该管路上设置的质量流量传感器925的通过流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C(S1657)。质量流量传感器校正部1658以泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分(C-B)用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，基于校正系数α来校正质量流量传感器925(S1658)。即，质量流量传感器校正部1658将校正系数α作为

【算式9】

来进行计算。

图7所示的步骤S1656～S1658因情况而能够省略。例如在某个工件中通过执行步骤S1651～S1655，算出流量修正系数K来修正质量流量传感器925的情况下，如果在修正后且校正前的状态下能够简单地目视确认F≒C-B(∴α≒1)，则能够省略步骤S1656～S1658的校正作业。校正作业因为是具有专业领域的知识的人必须按照手册正确地实施的作业，所以复杂且成本高。如果利用本实施例的控制装置165，能够在多数情况下省略上述复杂的校正作业，所以用户的便利性变高。但是，在F≠C-B(∴α≠1)的情况下，需要进行步骤S1656～S1658的校正作业。

【实施例2】

以下，参照图8说明实施例2的泄漏流量测量系统的结构。如同图所示，本实施例的泄漏流量测量系统2含有:空压源805、比空压源805更位于工件及罐侧且与空压源805连接的油雾分离器810、比油雾分离器810更位于工件及罐侧且与油雾分离器810连接的调压阀815、比调压阀815更位于工件及罐侧且与调压阀815连接的测试压计820、比测试压计820更位于工件及罐侧且与测试压计820连接的电磁阀825、与从电磁阀825分别向工件、罐两岔延伸的管路中的一方的(与罐连接的)管路即第一管路连接的电磁阀830、与从电磁阀825分成两岔的管路中的另一方的(与工件连接的)管路即第二管路连接的电磁阀835、在比电磁阀830、835更位于工件及罐侧且将第一管路和第二管路连接的第三管路上与该第三管路的第一管路侧连接的质量流量传感器840、与该第三管路的第二管路侧连接的电磁阀845、比第三管路更位于罐侧且与从第一管路分支的第四管路的终端连接的电磁阀850、比第三管路更位于工件侧且与从第二管路分支的第五管路的终端连接的电磁阀855、比第三管路更位于罐侧且与第一管路连接的阀860、比第三管路更位于工件侧且与第二管路连接的阀865、比阀860更位于罐侧且与第一管路连接的测试压计870、比阀865更位于工件侧且与从第二管路分支的第六管路的终端连接的流量控制器875、与第一管路的终端连接的罐880、与第二管路的终端连接的工件885、能够控制上述通常的等压罐方式的空压电路的各结构的控制装置265。此外在同图中省略控制线的表示。

以下，参照图9来说明本实施例的控制装置265的结构。如同图所示，本实施例的控制装置265含有：测试压控制部2651、工件压测量部2652、质量流量传感器修正部2655、第一流量检测部2656、第二流量检测部2657、质量流量传感器校正部2658。

以下，参照图10来说明本实施例的控制装置265的流量修正系数K的算出动作。首先，测试压控制部2651打开电磁阀825、830、阀860(假设其它阀关闭)，控制调压阀815以使罐880内的压力成为测试压P₁，并测量罐880内的压力(S2651)。工件压测量部2652关闭电磁阀825，打开电磁阀835、阀865，开放将罐880和工件885连接的管路并测量工件885内的压力即工件压P₂(S2652)。

质量流量传感器修正部2655基于测试压P₁和工件压P₂，通过式(6)算出用于修正在将罐880和工件885连接的第三管路上设置的质量流量传感器840的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正质量流量传感器840(S2655)。

控制装置265在通常的流量测量下，将测试压P₁向罐880和工件885同时加压，关闭电磁阀830、835，打开电磁阀845。质量流量传感器840表示通过在上述步骤求出的流量修正系数K修正的流量。

以下，参照图11来说明本实施例的控制装置265的流量灵敏度校正动作。第一流量检测部2656关闭电磁阀830、835，打开电磁阀845，由此开放将罐880和工件885连接的第三管路，检测在该管路上设置的质量流量传感器840的通过流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B(S2656)。第二流量检测部2657打开流量控制器875的阀，开放将罐880和工件885和泄漏流量值F的流量控制器875连接的管路，检测质量流量传感器840的通过流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C(S2657)。质量流量传感器校正部2658以泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分(C-B)用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，并校正质量流量传感器840(S2658)。

与实施例1同样，质量流量传感器校正部2658将校正系数α作为

【算式10】

来进行计算。

根据实施例2的控制装置265，也能够在等压罐方式的泄漏流量测量系统中得到与实施例1同样的效果(校正作业的适当省略)。

＜补充说明＞

本发明的装置例如作为单一的硬件实体而具有：键盘等可连接的输入部、液晶显示器等可连接输出部、能够连接能够与硬件实体的外部进行通信的通信装置(例如通信线缆)的通信部、CPU(中央处理单元(Central Processing Unit)，也可以具备缓存或寄存器等)、作为存储器的RAM或ROM、作为硬盘的外部存储装置以及以能够进行这些输入部、输出部、通信部、CPU、RAM、ROM、外部存储装置之间的数据的交换的方式连接的总线。另外，根据需要，可以在硬件实体设置能够读写CD-ROM等记录介质的装置(驱动器)等。作为具备这样的硬件资源的物理实体，有通用计算机等。

在硬件实体的外部存储装置中存储有为了实现上述功能所需要的程序以及在程序的处理中需要的数据等(不限于外部存储装置，例如也可以读取程序而在作为专用存储装置的ROM中存储)。另外，通过这些程序的处理而得到的数据等被适当地存储于RAM或外部存储装置等。

在硬件实体中，在外部存储装置(或者ROM等)存储的各程序和在各程序的处理所需要的数据会根据需要而读入存储器中，适当地通过CPU进行解释执行/处理。其结果是，CPU实现规定的功能(上述表示为…部、…手段等的各结构要素)。

本发明不限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行适当变更。另外，在上述实施方式中说明的处理不仅按照记载的顺序以时间序列执行，而且根据执行处理的装置的处理能力或者根据需要而并行或者单独执行。

如上所述，在通过计算机实现上述实施方式中说明的硬件实体(本发明的装置)的处理功能的情况下，硬件实体应当具有的功能的处理内容通过程序被记载。然后，通过计算机执行该程序，能够在计算机上实现上述硬件实体的处理功能。

记载该处理内容的程序能够预先记录在计算机能够读取的记录介质中。作为计算机能够读取的记录介质，例如，可以是磁记录装置、光盘、光磁记录介质、半导体存储器等任何介质。具体而言，例如，作为磁记录装置可以使用硬盘装置、软盘、磁带等，作为光盘可以使用DVD(数字多功能盘(Digital Versatile Disc))、DVD-RAM(随机存取存储器(RandomAccess Memory))、CD-ROM(紧致盘只读存储器(Compact Disc Read Only Memory))、CD-R(可记录(Recordable))/RW(可重写(ReWritable))等，作为光磁记录介质可以使用MO(磁光盘(Magneto-Optical disc))等，作为半导体存储器可以使用EEP-ROM(电可擦除可编程只读存储器(Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory))等。

另外，该程序的流通例如可以通过将记录该程序的DVD、CD-ROM等便携式记录介质进行贩卖、转让、借出等来进行。此外，也可以是将该程序储存于服务器计算机的存储装置，经由网络，从服务器计算机向其它计算机转发该程序，由此使该程序流通的结构。

执行这样的程序的计算机例如，首先，将在便携式记录介质中记录的程序或者从服务器计算机转发的程序临时存储于自己的存储装置中。然后，在执行处理时，该计算机读取在自己的记录介质中存储的程序，执行按照读取的程序的处理。另外，作为该程序的其它实施方式，计算机可以从便携式记录介质直接读取程序，执行按照该程序的处理，此外，在每次从服务器计算机向该计算机转发程序时，可以逐次执行按照接受的程序的处理。另外，可以不从服务器计算机进行向该计算机的程序的转发，而是通过仅根据其执行指示和取得结果来实现处理功能的所谓的ASP(应用服务提供商(ApplicationService Provider))式服务，来执行上述处理的结构。此外，在本方式的程序中，含有供电子计算机进行的处理用的信息，即以程序为准的信息(虽然不是对于计算机的直接的指令，但是是具有规定计算机的处理的性质的数据等)。

另外，在该方式中，可以通过在计算机上执行规定的程序，来构成硬件实体，但这些处理内容的至少一部分可以通过硬件来实现。

Claims (10)

1.一种控制装置，含有：

罐压控制部，其将罐内的压力控制为罐压P₁；

工件压测量部，其开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P₂；

控制压计算部，其根据所述罐压P₁和所述工件压P₂和所述罐的内容积V₁求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’；

收敛判定部，在将所述罐压设定为所述控制压P₁’并进行所述管路的开放的情况下，其判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P₂’为中心的规定范围；以及

质量流量传感器修正部，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，其基于所述控制压P₁’和所述测试压P₂’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K来修正所述质量流量传感器。

2.如权利要求1所述的控制装置，其中，

所述质量流量传感器修正部将P₀作为所述工件内的压力的初始值，将所述流量修正系数K作为【算式11】

来算出。

3.如权利要求1或2所述的控制装置，含有：

第一流量检测部，其开放将所述罐和所述工件连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B；

第二流量检测部，其开放将所述罐和所述工件和泄漏流量值F的流量控制器连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C；以及

质量流量传感器校正部，以所述泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，校正所述质量流量传感器。

4.一种流量灵敏度修正方法，含有：

罐压控制步骤，将罐内的压力控制为罐压P₁；

工件压测量步骤，开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P₂；

控制压计算步骤，根据所述罐压P₁和所述工件压P₂和所述罐的内容积V₁求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’；

收敛判定步骤，在将所述罐压设定为所述控制压P₁’并进行所述管路的开放的情况下，判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P₂’为中心的规定范围；以及

质量流量传感器修正步骤，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，基于所述控制压P₁’和所述测试压P₂’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正所述质量流量传感器。

5.如权利要求4所述的流量灵敏度修正方法，其中，

所述质量流量传感器修正步骤将P₀作为所述工件内的压力的初始值，将所述流量修正系数K作为【算式12】

来算出。

6.如权利要求4或5所述的流量灵敏度修正方法，其中，

对储罐方式的泄漏流量测量系统执行各所述步骤。

7.一种流量灵敏度修正方法，是针对等压罐方式的泄漏流量测量系统的流量灵敏度修正方法，含有：

测试压控制步骤，将罐内的压力控制为测试压P₁；

工件压测量步骤，开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P₂；以及

质量流量传感器修正步骤，基于所述测试压P₁和所述工件压P₂，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正所述质量流量传感器。

8.如权利要求4所述的流量灵敏度修正方法，含有：

第一流量检测步骤，开放将所述罐和所述工件连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B；

第二流量检测步骤，开放将所述罐和所述工件和泄漏流量值F的流量控制器连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C；以及

质量流量传感器校正步骤，以所述泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，校正所述质量流量传感器。

9.如权利要求7所述的流量灵敏度修正方法，含有：

第一流量检测步骤，开放将所述罐和所述工件连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B；

第二流量检测步骤，开放将所述罐和所述工件和泄漏流量值F的流量控制器连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C；以及

质量流量传感器校正步骤，以所述泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，校正所述质量流量传感器。

10.一种计算机可读取存储介质，是存储有计算机程序(指令)的计算机可读取存储介质，在该程序(指令)由处理器执行时，执行以下步骤：

压控制步骤，将罐内的压力控制为罐压P₁；

工件压测量步骤，开放将所述罐和工件连接的管路，测量所述工件内的压力即工件压P₂；

控制压计算步骤，根据所述罐压P₁和所述工件压P₂和所述罐的内容积V₁求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’；

收敛判定步骤，在将所述罐压设定为所述控制压P₁’并进行所述管路的开放的情况下，判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P₂’为中心的规定范围；以及

质量流量传感器修正步骤，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，基于所述控制压P₁’和所述测试压P₂’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正所述质量流量传感器。

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