JP2017067714A - 漏れ検査装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】タンク及び流量計を用いた流量測定法による漏れ検査において、漏れが微小でも確実に測定可能とし、かつ測定時間を短縮する。【解決手段】導入圧導入手段２０からタンク３に導入圧を導入する。次に、タンク３を導入圧導入手段２０から遮断する。次に、タンク３と検査空間９ａとを連通させる。その後、タンク３の内圧と検査空間９ａの内圧との大小関係に応じて、タンク３の内圧を逃圧手段４０によって逃がす。そして、タンク３と検査空間９ａとの間の流量を流量計４によって測定する。【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象を漏れ検査する装置及び方法に関し、特に漏れ流量測定法による漏れ検査装置及び方法に関する。

エアリークテスタは、封止した検査対象の密封性を検査するものとして知られている（特許文献１等参照）。検査対象から漏れがあれば圧力降下が生じる。これを差圧センサ等の圧力測定手段によって測定する。圧力測定手段は、検査対象の容積が大きいと、同じ漏れ量でも圧力降下量が小さくなるため、検出感度が低くなる。

これに対して、ガスリークディテクタで検査する方法は有るが、設備費及びランニングコストが高く採用を控えることが多い。また、特許文献２では、流量測定法による漏れ検査を行っている。検査対象には一定の試験圧を付与する。検査対象に漏れがあれば、それによる圧力降下を補うために、圧力源から検査対象へ気体の流れが生じる。これを流量計によって測定する。この流量測定法によれば、検出感度が検査対象の容積に影響されることがない。この点において、前述の圧力測定法より勝る。さらに、特許文献２では、試験圧付与時の断熱圧縮に伴う放熱の影響を事前に補正データとして求めておき、実際の検査対象に対する本検査では、流量の実測データから前記補正データを差し引いている。これによって、放熱が収束するのを待つことなく測定を実行できる。

特開２００４−６１２０１号公報 特開２００７−１０８１０２号公報

流量測定法は、設備費及びランニングコストはエアリークテスタと同程度である。しかし、後に示す理由により、現実には検査対象の容積が大きくても、流量測定法が用いられることは少ない。
流量計が正しく流量を測るためには、流量計の入口と出口で圧力差が形成され、定常的な流れができる必要がある。ところが、検査対象へ試験圧を導入した直後は、流量計の入口と出口が同圧のため、漏れがあったとしても流量測定できない。入口と出口に圧力差が出来て流量測定できるようになるまでは時間がかかる。特に、大きな容積の検査対象における小さな漏れを測定する場合は非常に長い時間がかかる。

測定時間を短縮するために、測定レンジが小さく圧損が小さな流量計を用いると、入口圧ひいては試験圧の僅かな変動も流量値として検知してしまうことになる。流量測定法でよく用いられる層流式流量計の場合、計測の所要差圧が２００〜３００Ｐａ程度（フルスケールは約６００Ｐａ程度）であるのに対し、試験圧は、精密レギュレータで調圧しても１００Ｐａ程度は変動する。したがって、計測への影響は大きい。

流量計の入口圧の変動要因を取り除く方法として、圧力源と流量計との間にタンクを設けることが考えられる。圧力源からの圧力（圧縮気体）を、レギュレータを介してタンクに導入した後、レギュレータとタンクとの間を遮断する。次に、タンクと検査対象とを連通し、タンクからの流れを測定する。

しかし、タンクから検査対象内（検査空間）への圧力導入時に、検査空間で気体の断熱圧縮が起こる。その後の放熱によって、検査空間の内圧が低下するために、検査対象が漏れの無い良品であっても、タンクから検査空間へ流れが発生する。そのため、放熱が収束するまでは、漏れ流量を安定的に測定できない。特に、微小な漏れを測定するためにレンジの小さな流量計を用いた場合、レンジオーバーになって測定不可能になる。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、タンク及び流量計を用いた流量測定法による漏れ検査において、短時間で、かつ精度良く測定可能とし、特に漏れが微小でも確実に測定可能とすることを目的とする。

前記問題点を解決するために、本発明装置は、検査空間を画成する検査対象を漏れ流量によって検査する漏れ検査装置であって、
タンクと、
前記タンクと前記検査空間との間の流量を測定する流量計と、
導入圧導入手段から前記タンクに導入圧を導入する導入動作と、前記タンクを前記導入圧導入手段から遮断する遮断動作と、前記タンクと前記検査空間とを連通させる連通動作と、を順次実行する流通制御手段と、
前記タンクと接続され、前記測定前に前記タンク内の圧を逃がす逃圧手段と、
を備えたことを特徴とする。

前記タンクと前記検査空間との連通動作によって、タンクの導入圧が検査空間へ導入（放出）される。このとき、前記タンクの圧力が下がり所定の試験圧力になるように予め調圧されていることが好ましい。この導入時の断熱変化によって、検査空間の温度ひいては内圧が変動する。また、検査対象の材質又は構造により、試験圧の導入により容積が変化し、ひいては内圧変動が起こる。それらの収束を待つ間にタンク内の圧を逃がす。これによって、タンクの内圧を、検査空間の内圧変化に追随させることができる。したがって、検査空間への試験圧導入時の断熱変化及び/又は容積変化に起因する流れを十分に小さくできる。よって、検査空間内の温度変化及び/又は容積変化が収束するのを待たなくても測定工程を開始でき、漏れ検査の所要時間を短縮できる。流量計の測定レンジが小さくても、レンジオーバーになるのを回避でき、微小な漏れを精度良く、かつ確実に検知できる。
本発明によれば、流量測定に必要な圧力の安定を損なうことなく、流量計に流れる漏れ以外の流量を制御し、断熱変化及び/又は容積変化の収束前に測定工程を開始でき、試験時間を短縮できる。

前記逃圧手段が、前記タンクに接続されたリリーフ弁を含み、
前記測定前に、前記リリーフ弁が、前記タンクの内圧と前記検査空間の内圧との大小関係に応じて開閉（開度調節含む）されることが好ましい。
これによって、タンクの内圧を、検査空間の内圧変化に確実に追随させるようにして逃がすことができる。

前記タンクには、等温化部材が収容されていることが好ましい。等温化部材は、空気より熱容量が大きい部材であることが好ましく、熱伝導面積が大きいことが好ましい。
これによって、タンクへの導入圧導入時におけるタンク内の温度変化を短時間で安定させることができる。また、検査空間への導入に際しても、タンク内の断熱変化による温度変化が安定し、導入圧の導入に伴う断熱変化及び/又は容積変化などによる変動の再現性を高め、特許文献２の先行技術等を効果的に使用でき、ひいては測定の再現性を高めることができる。これによって、精度良く漏れ検査でき、漏れ検査の所要時間を確実に短縮できる。

本発明方法は、検査空間を画成する検査対象を漏れ流量によって検査する漏れ検査方法であって、
試験圧導入手段からタンクに試験圧を導入する導入工程と、
前記タンクを前記試験圧導入手段から遮断する遮断工程と、
前記タンクと前記検査空間とを連通させる連通工程と、
前記タンクと前記検査空間との間の流量を測定する測定工程と
を順次実行し、
前記測定工程前に、前記タンクの内圧が前記検査空間の内圧変動に追随するよう、前記タンクの内圧を逃がすことを特徴とする。

本発明方法によれば、検査空間への試験圧導入時の断熱変化、及び/又は容積変化に起因する流れを、測定工程に入る前の逃圧によって十分に小さくできる。よって、検査空間内の温度変化及び/又は容積変化が収束するのを待たなくても測定でき、漏れ検査の所要時間を短縮できる。流量計の測定レンジが小さくても、レンジオーバーになるのを回避でき、微小な漏れを精度良く、かつ確実に検知できる。

本発明によれば、測定の所要時間を短縮できる。かつ、漏れが微小であっても、漏れ流量を精度良く測定できる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。 図２は、前記漏れ検査装置による漏れ検査のタイムチャートである。 図３は、本発明の第２実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。 図４は、前記第２実施形態に係る漏れ検査装置による漏れ検査のタイムチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
[第１実施形態]
図１は、本発明の第１実施形態を示したものである。
漏れ検査装置１は、漏れ流量を測定することによって検査対象９の密封性を検査する。検査対象９としては、検査空間９ａを画成するものであれば、特に限定がなく、機械製品でもよく、精密電子部品でもよく、包装製品でもよい。検査対象９の内部に密封空間が設けられていてもよく、検査対象９が開口部を有していて、その開口部を治具等で塞ぐことで密封空間が画成されるようになっていてもよい。その密封空間が検査空間９ａとなっていてもよく、検査対象９をカプセル内に収容することで、カプセルの内壁と検査対象９との間の空間が検査空間９ａとなっていてもよい。検査空間９ａの容積は、比較的大きい。漏れ検査装置１は、比較的大きな検査空間９ａの微小な漏れを検知するのに適している。

漏れ検査装置１は、空圧路１０と、タンク３と、流量計４を備えている。空圧路１０の上流端（図１において左端）にエアコンプレッサー等の圧力源２が接続されている。空圧路１０には、上流側（左側）からレギュレータ２１（減圧弁）、加圧遮断弁５１、タンク３、圧力計６、流量計４、及びワーク遮断弁５２の順に配置されている。空圧路１０の下流端（図１において右端）は、検査空間９ａに接続されている。

圧力源２と、レギュレータ２１とによって、導入圧導入手段２０が構成されている。
加圧遮断弁５１は、電磁開閉弁によって構成されている。
タンク３の容積は、検査空間９ａの容積よりも十分に大きいことが好ましい。
流量計４は、微小漏れに対応するものであり、測定レンジが小さい。

空圧路１０は、バイパス路１３を有している。バイパス路１３の上流端は、圧力計６と流量計４との間の空圧路１０に接続されている。バイパス路１３の中間部には、バイパス遮断弁５３が設けられている。バイパス遮断弁５３は、電磁開閉弁によって構成されている。バイパス路１３の下流端は、流量計４とワーク遮断弁５２との間の空圧路１０上の合流部１０ｂに接続されている。

ワーク遮断弁５２は、オフ位置５２ａとオン位置５２ｂとを有する電磁三方弁によって構成されている。ワーク遮断弁５２がオフ位置５２ａのとき、合流部１０ｂと検査空間９ａとの間の空圧路１０が遮断されるとともに、検査空間９ａが排気消音器８を介して大気解放される。ワーク遮断弁５２がオン位置５２ｂのとき、合流部１０ｂと検査空間９ａとの間の空圧路１０が開通されるとともに、排気消音器８と検査空間９ａとが遮断される。
加圧遮断弁５１と、ワーク遮断弁５２と、バイパス遮断弁５３によって、流通制御手段５が構成されている。更に、流通制御手段５は、コントローラ５０を含む。詳細な図示は省略するが、コントローラ５０には、漏れ検査装置１の動作を司るマイクロコンピュータや、弁駆動回路等が格納されている。コントローラ５０によって弁５１〜５３が開閉操作される。

タンク３には、逃圧手段４０が接続されている。逃圧手段４０は、逃圧路４１と、逃圧遮断弁４２と、可変絞り弁４３を含む。タンク３から逃圧路４１が延びている。逃圧路４１上に、逃圧遮断弁４２と、可変絞り弁４３が上流側（タンク３の側）から順次配置されている。逃圧路４１の下流端は、大気開放されている。逃圧遮断弁４２は、電磁開閉弁によって構成されている。前記コントローラ５０は、弁５１〜５３の他、逃圧遮断弁４２をも開閉操作する。

＜漏れ検査方法＞
漏れ検査装置１によって、検査対象９を漏れ検査する方法を、図２のタイムチャートにしたがって説明する。
検査すべき検査対象９を空圧路１０に接続する。
初期状態では弁５１，５２，５３，４２をすべて閉じておく。
これら弁５１，５２，５３，４２を、コントローラ５０によって、以下のように開閉操作する。

＜導入工程（導入動作）＞
まず、加圧遮断弁５１を開く。これによって、圧力源２とタンク３とが連通され、導入圧導入手段２０からタンク３に導入圧（圧縮気体）が導入される。タンク３の内圧が、所定の導入圧になる。導入圧は、レギュレータ２１（導入圧設定手段）によって設定することができる。

＜遮断工程（遮断動作）＞
次に、加圧遮断弁５１を閉じる。これによって、タンク３が、導入圧導入手段２０のレギュレータ２１から遮断される。したがって、レギュレータ２１の二次圧が例えば１００Ｐａ程度の範囲で微小変動したとしても、漏れ検査に影響が及ぶのを回避できる。

＜連通工程（連通動作）＞
次に、ワーク遮断弁５２及びバイパス遮断弁５３を開く。好ましくは同時に開く。これによって、タンク３と検査空間９ａとが連通され、タンク３内の圧縮気体が検査空間９ａへ導入される。タンク３に蓄えられた導入圧は、検査空間９ａに導入されるため圧力が降下するが、降下後の圧力が所定の試験圧力となるよう、前記導入圧は予め設定されている。このため、検査空間９ａの内圧が試験圧まで急上昇する。検査空間９ａ内では、断熱圧縮及び/又は容積変化が起きる。

＜平衡工程＞
断熱圧縮によって、検査空間９ａの気体温度が一時的に高くなる。その後、放熱が起きる。放熱に伴って、検査空間９ａの内圧が徐々に低下して、ある収束値に漸近する。また、検査対象９が材質、構造により膨張が起こる場合は、検査空間９ａが加圧されることにより膨張が起こり、それに伴い内圧が徐々に低下して、ある収束値に漸近する。この期間が平衡工程となる。

＜逃圧工程＞
平衡工程の期間中に逃圧工程を実行する。詳しくは、ワーク遮断弁５２及びバイパス遮断弁５３の開動作（連通動作）から時間ｔ１の経過後、バイパス遮断弁５３を閉じてバイパス路１３を閉止し、かつ逃圧遮断弁４２を開ける。好ましくは、時間ｔ１は、検査空間９ａの内圧が所定の試験圧に達し、大きな変動が収まる時間に設定する。逃圧遮断弁４２の開放によって、タンク３内の圧縮気体の一部が逃圧路４１へ抜ける。これによって、タンク３の内圧を逃がすことができる。好ましくは、可変絞り弁４３の開度は、タンク３の内圧の低下度合が、検査空間９ａの放熱及び/又は容積変化に伴う内圧低下の度合とほぼ一致するように設定しておく。これによって、タンク３の内圧が、検査空間９ａの内圧変化に追随するようにして低下する。したがって、放熱による検査空間９ａの内圧低下に起因して、タンク３の圧縮気体が検査対象９へ流れるのを防止又は抑制することができる。つまりは、検査空間９ａの密封性の不良に起因する漏れがある場合にだけ、タンク３の圧縮気体が検査対象９へ流れるようにすることができる。
本実施形態では平衡工程に合わせて逃圧を行っているが、測定工程前であれば必ずしも平衡工程と同期している必要はない。

＜逃圧工程の終了＞
次に、逃圧遮断弁４２を閉じる。これによって、タンク３からの逃圧が停止される。

＜測定工程＞
このとき、既にバイパス路１３が閉止されているから、検査空間９ａから漏れがあった場合、タンク３と検査対象９との間を流れる気体の全量が流量計４を通過する。その流量を流量計４によって測定する。放熱による検査空間９ａの内圧低下に起因する流れが殆ど無いから、流量計４の測定レンジが小さくても、レンジオーバーになるのを回避できる。これによって、検査空間９ａからの漏れ流量を確実に測定できる。流量計４の測定レンジを小さくすることによって、微小な漏れを精度良く検知できる。
検査対象９が、漏れの無い良品である場合には、タンク３内の前記逃圧によって、タンク３と検査空間９ａとの間の流れが十分に小さくなる。
この時、検査空間９ａの放熱及び/又は容積変化に伴う内圧低下が収束してしない場合は、再び前記内圧低下に起因するタンク３から検査空間９ａへの流れが開始されるが、測定工程開始時には流量計で計測できる範囲内に制御されているので、特許文献２の先行技術等を使用することで、実際の漏洩以外の流れを補正することができ、正確な漏れ量を測定することが出来る。
したがって、流量計４の流量測定値に基づいて、検査対象９の漏れの有無ひいては良否判定を精度良く行うことができる。
しかも、放熱及び/又は容積変化により検査空間９ａの内圧が変化している期間であっても、正確に測定を行うことができる。これによって、漏れ検査の所要時間を短縮できる。
なお、バイパス遮断弁５３は、連通工程〜測定工程の直前まで開け続け、測定工程の開始時に遮断してもよいが、流量計４の付近で、測定工程の直前に弁５３の開閉による変動が起きることになり、測定の安定性を損なうこととなる。

＜終了工程＞
測定後、ワーク遮断弁５２を閉じる。そして、検査対象９を取り外す。

次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において、既述の形態と重複する構成に関しては図面に同一符号を付して説明を省略する。
[第２実施形態]
図３は、本発明の第２実施形態を示したものである。漏れ検査装置１Ｂにおいては、タンク３が、普通タンク３１と等温化タンク３２を有している。普通タンク３１の内部は空になっている。等温化タンク３２内には、等温化部材３３が収容されている。等温化部材３３は、空気よりも熱容量が大きく、熱伝達面積が大きい材料によって構成されている。好ましくは、等温化部材３３は、金属細線３３ａによって構成されている。金属細線３３ａの金属材質としては、ステンレス等が挙げられ、好ましくは、充填する気体に影響（腐食など）されない材質である。等温化部材３３は、等温化タンク３２内において、気体の充填、放出による気体の流れにより移動しない配置状態となっている。

レギュレータ２１Ａ，２１Ｂは、直列に２つ設けられている。前段のレギュレータ２１Ａで大きな圧力変動を取り除き、後段の精密レギュレータ２１Ｂの性能を引き出している。
バイパス路１３の合流部１０ｂは、ワーク遮断弁５２より下流側（検査対象９側）の空圧路１０上に配置されている。したがって、ワーク遮断弁５２がオフ位置５２ａのとき、流量計４と検査空間９ａとの間の空圧路１０が遮断されるとともに、検査空間９ａが排気消音器８を介して大気解放される。ワーク遮断弁５２がオン位置５２ｂのとき、流量計４と検査空間９ａとが連通されるとともに、排気消音器８と検査空間９ａとが遮断される。

逃圧手段４０Ｂは、逃圧路４１と、リリーフ弁４４と、接続切替弁４５を含む。
逃圧路４１は、逃圧上流路４１ａと、逃圧下流路４１ｃを含む。普通タンク３１から逃圧上流路４１ａが延びている。逃圧上流路４１ａの下流端は、リリーフ弁４４の入口ポートに接続されている。

リリーフ弁４４（リリーフ付き減圧弁）は、第１パイロットポート４４ａと、第２パイロットポート４４ｂと、リリーフポート４４ｃを有している。
第１パイロットポート４４ａには、第１パイロット圧路４１ｄ及び逃圧上流路４１ａを介して、普通タンク３１の圧が常時かかっている。
第２パイロットポート４４ｂには、第２パイロット圧路４１ｅを介して、接続切替弁４５が接続されている。
リリーフポート４４ｃから逃圧下流路４１ｃが延びている。逃圧下流路４１ｃにオリフィス４３Ｂが設けられている。
詳細な図示は省略するが、リリーフ弁４４の弁体は、２つのパイロットポート４４ａ，４４ｂへの導入圧の大小関係に応じて位置調節される。かつ、該弁体の位置に応じて、リリーフポート４４ｃが開度調節（開閉）される。

接続切替弁４５（接続切替手段）は、オフ位置４５ａと、オン位置４５ｂとを有する電磁三方弁によって構成されている。接続切替弁４５における第２パイロット圧路４１ｅとの接続ポートを除く２つのポートのうち一方は、タンク圧供給路４１ｆを介して逃圧上流路４１ａに接続されている。前記２つのポートのうち他方は、ワーク圧供給路４１ｇを介してバイパス遮断弁５３よりも下流側（検査対象９側）のバイパス路１３に接続されている。

接続切替弁４５がオフ位置４５ａのときは、ワーク圧供給路４１ｇが遮断され、かつタンク圧供給路４１ｆと第２パイロット圧路４１ｅとが接続される。ひいては、第２パイロット圧路４１ｅが、タンク圧供給路４１ｆ及び逃圧上流路４１ａを介して、普通タンク３１に接続される。
接続切替弁４５がオン位置４５ｂのときは、タンク圧供給路４１ｆが遮断され、かつワーク圧供給路４１ｇと第２パイロット圧路４１ｅとが接続される。ひいては、第２パイロット圧路４１ｅが、ワーク圧供給路４１ｇ、バイパス路１３の下流側部分、及びバイパス路１３より下流側の空圧路１０を介して、検査空間９ａに接続される。

＜漏れ検査方法＞
図４に示すように、漏れ検査装置１Ｂによる漏れ検査方法における弁５１，５２，５３，４５の動作は、漏れ検査装置１（図２）の弁５１，５２，５３，４２の動作と実質的に同じである。これら弁５１，５２，５３，４５は、コントローラ５０によって制御される。
接続切替弁４５のオフ位置４５ａ（図４の「ｏｆｆ」）は、逃圧遮断弁４２の閉位置（図２）に対応する。接続切替弁４５のオン位置４５ｂ（図４の「ｏｎ」）は、逃圧遮断弁４２の開位置（図２）に対応する。

＜初期状態＞
図４に示すように、初期状態では、加圧遮断弁５１及びバイパス遮断弁５３を閉じ、ワーク遮断弁５２をオフ位置５２ａにし、かつ接続切替弁４５をオフ位置４５ａにする。
＜導入工程（導入動作）＞
そして、加圧遮断弁５１を開くことによって、試験圧導入手段２０からタンク３の普通タンク３１及び等温化タンク３２に導入圧（圧縮気体）を導入する。普通タンク３１及び等温化タンク３２内では気体の断熱圧縮が起きる。このとき、等温化部材３３によって、気体の熱エネルギーを吸収できる。したがって、タンク３内の気体の温度変化を安定させることができ、測定の再現性を高めることができる。

＜遮断工程（遮断動作）＞
次に、加圧遮断弁５１を閉じて、導入圧導入手段２０とタンク３とを遮断する。
＜連通工程（連通動作）＞
続いて、ワーク遮断弁５２をオン位置５２ｂにし、かつバイパス遮断弁５３を開くことによって、タンク３と検査空間９ａとを連通して、タンク３内の導入圧（圧縮気体）を検査空間９ａへ導入する。検査空間９ａ内では、断熱圧縮が起きる。

＜平衡工程＞
その後、検査空間９ａ内で放熱及び/又は容積変化が起き、検査空間９ａの内圧が徐々に低下する。
この平衡工程の直前迄、接続切替弁４５をオフ位置４５ａにしておく。これによって、リリーフ弁４４のパイロットポート４４ａ，４４ｂには、共に普通タンク３１の圧力がかかり、同圧になる。そのため、リリーフポート４４ｃが閉じられ、普通タンク３１の圧が逃圧下流路４１ｃへ抜けることはない。

＜逃圧工程＞
前記連通動作から時間ｔ１の経過後、バイパス遮断弁５３を閉じ、かつ接続切替弁４５をオン位置４５ｂに切り替える。切替によって、リリーフ弁４４の第２パイロットポート４４ｂにかかる圧力が、普通タンク３１の圧から検査空間９ａの圧に変わる。第１パイロットポート４４ａには、普通タンク３１の圧が継続してかかっている。したがって、普通タンク３１の圧と検査空間９ａの圧との大小関係に応じて、リリーフポート４４ｃを開度調節（開閉）できる。

すなわち、検査空間９ａの内圧が放熱及び/又は容積変化によって低下したときは、普通タンク３１の圧が検査空間９ａの圧よりも高くなるために、リリーフポート４４ｃが開く。しかも、普通タンク３１と検査空間９ａとの圧力差が大きくなるほど、リリーフ弁４４の弁体の変位量が大きくなり、リリーフポート４４ｃの開度が大きくなる。これによって、普通タンク３１の内圧を、検査空間９ａの内圧変化に確実に追随するように低下させることができる。

＜逃圧工程の終了＞
次に、接続切替弁４５をオン位置４５ｂからオフ位置４５ａに切り替える。これによって、リリーフ弁４４の第２パイロットポート４４ｂにかかる圧力が、検査空間９ａの圧から普通タンク３１の圧に切り替わる。第１パイロットポート４４ａには、継続して普通タンク３１の圧がかかっている。このため、リリーフポート４４ｃが閉じられ、普通タンク３１からの逃圧が停止される。しかも、接続切替弁４５の切り替え直前における検査空間９ａと普通タンク３１とは、ほぼ等圧であるか、ないしは圧力差が極めて小さい。したがって、接続切替弁４５を切り替えた瞬間における、リリーフ弁４４の弁体の変位を十分に小さく抑えることができる。これによって、接続切替弁４５の切り替えに伴うタンク３の圧力（圧力計６Ｂの読み）の乱れを十分に抑制できる。

＜測定工程＞
次に、流量計４によって測定を行う。接続切替弁４５の切り替え後、すぐに測定しても、タンク３の圧力の乱れが殆ど無いために、測定の正確性を確保できる。しかも、前記等温化部材３３による再現性向上によって、検査空間９ａの内圧が放熱により変動している期間であっても、十分に正確に測定を行うことができる。つまり、検査対象９が漏れの無い良品の場合、前記変動の経時変化が一定しているために、それを基準にすることで変動期間中であっても漏れ判定できる。これによって、漏れ検査の所要時間を確実に短縮できる。
勿論、第１実施形態と同様に、検査対象９の断熱圧縮及び/又は容積変化による影響を取り除くことができ、流量計４の測定レンジが小さくても、レンジオーバーになるのを回避できる。かつ、流量計４の測定レンジを小さくすることによって、微小な漏れを精度良く検知できる。

＜終了工程＞
測定後、ワーク遮断弁５２をオフ位置５２ａにする。これによって、検査空間９ａを、排気消音器８を介して大気解放できる。そして、検査対象９を取り外す。

本発明は、前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
例えば、漏れ検査装置１，１Ｂの回路は適宜改変できる。
逃圧工程は、測定工程前に行えばよく、平衡工程と同期させるのに限られず、導入工程時から開始してもよく、遮断工程〜連通工程で開始してもよく、連通工程〜時間ｔ１経過前に開始してもよい。導入工程では、導入圧導入手段２０からの導入圧充填が続いているため、逃圧工程を行なってもタンク３の圧力降下は起きない。
漏れ検査装置１（図１）において、タンク３内に漏れ検査装置１Ｂ（図３）と同様の等温化部材３３を収容してもよい。
漏れ検査装置１Ｂ（図３）において、圧供給路４１ｆが、逃圧路４１にではなく、レギュレータ２１と加圧遮断弁５１との間の空圧路１０に接続されていてもよい。平衡工程の終了時は、リリーフ弁４４の第２パイロットポート４４ｂにかかる圧力が、レギュレータ２１の設定圧に切り替わるようにしてもよい。
試験圧導入手段は、圧縮ガス源に限られず、真空ポンプ等の真空圧発生源であってもよい。試験圧は負圧であってもよい。

本発明は、密封品の密封性の良否判定試験に適用できる。

１，１Ｂ 漏れ検査装置
３ タンク
４ 流量計
５ 流通制御手段
９ 検査対象（ワーク）
９ａ 検査空間
２０ 導入圧導入手段
２１ レギュレータ（導入圧設定手段）
３１ 普通タンク
３２ 等温化タンク
３３ 等温化部材
３３ａ 金属細線
４０，４０Ｂ 逃圧手段
４４ リリーフ弁
４４ａ 第１パイロットポート
４４ｂ 第２パイロットポート
４４ｃ リリーフポート
４５ 接続切替弁（接続切替手段）

Claims (4)

1. 検査空間を画成する検査対象を漏れ流量によって検査する漏れ検査装置であって、
   タンクと、
   前記タンクと前記検査空間との間の流量を測定する流量計と、
   導入圧導入手段から前記タンクに導入圧を導入する導入動作と、前記タンクを前記導入圧導入手段から遮断する遮断動作と、前記タンクと前記検査空間とを連通させる連通動作と、を順次実行する流通制御手段と、
   前記タンクと接続され、前記測定前に前記タンク内の圧を逃がす逃圧手段と、
   を備えたことを特徴とする漏れ検査装置。
2. 前記逃圧手段が、前記タンクに接続されたリリーフ弁を含み、
   前記測定前に、前記リリーフ弁が、前記タンクの内圧と前記検査空間の内圧との大小関係に応じて開閉されることを特徴とする請求項１に記載の漏れ検査装置。
3. 前記タンクには、等温化部材が収容されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の漏れ検査装置。
4. 検査空間を画成する検査対象を漏れ流量によって検査する漏れ検査方法であって、
   試験圧導入手段からタンクに試験圧を導入する導入工程と、
   前記タンクを前記試験圧導入手段から遮断する遮断工程と、
   前記タンクと前記検査空間とを連通させる連通工程と、
   前記タンクと前記検査空間との間の流量を測定する測定工程と
   を順次実行し、
   前記測定工程前に、前記タンクの内圧が前記検査空間の内圧変動に追随するよう、前記タンクの内圧を逃がすことを特徴とする漏れ検査方法。

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