JP2008166644A - 集積回路装置異常検出装置、方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定項目または測定条件の異なる測定値A、測定値Bから、散布図作成ユニット3で散布図を作成し、回帰直線算出ユニット4でその回帰直線を求める。距離計算ユニット5で、散布図上の各点と、回帰直線との距離を計算し、判定ユニット6で、事前に指定された基準値以上に距離が外れている値を示す点を検出する。結果出力ユニット8では、この外れ値を示す点に該当する集積回路を不良品として出力する。
【選択図】図1
Description
2 測定値B情報ファイル
3 散布図作成ユニット
4 回帰直線算出ユニット
5 距離計算ユニット
6 判定ユニット
7 判定基準ファイル
8 結果出力ユニット
9 再帰回帰直線算出ユニット
10 変換散布図作成ユニット
Claims (10)
- 集積回路装置それぞれに紐付けされた第1の測定結果を記録する記憶手段と、
前記集積回路装置それぞれに紐付けされた、前記第1の測定とは異なる条件で取得された第2の測定結果を記録する記憶手段と、
前記第1の測定結果および前記第2の測定結果に基づいて散布図を作成する手段と、
前記散布図の回帰直線を求める手段と、
前記散布図の各点と前記回帰直線の距離を求める手段と、
予め定められた基準値を記録する記憶手段と、
前記距離が前記基準値を上回る集積回路装置を検出する手段と、
前記検出された集積回路装置を出力する手段と、
を備えたことを特徴とする集積回路装置異常検出装置。 - 前記回帰直線を求める手段が、回帰直線を算出し、前記散布図の各点と回帰直線との距離を算出し、事前に指定された値以上の距離を持つ点を除外する一連の処理を、新たに除外される点がなくなるまで再帰的に繰り返すように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路装置異常検出装置。
- 前記散布図を作成する手段が、前記第1の測定結果または前記第2の測定結果の少なくともいずれか一方の値を変換し、変換後の値に基づいて散布図を作成するように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路装置異常検出装置。
- 集積回路装置それぞれに紐付けされた第1の測定結果を記憶手段から読み出す工程と、
前記集積回路装置それぞれに紐付けされた、前記第1の測定とは異なる条件で取得された第2の測定結果を記憶手段から読み出す工程と、
前記第1の測定結果および前記第2の測定結果に基づいて散布図を作成する工程と、
前記散布図の回帰直線を求める工程と、
前記散布図の各点と前記回帰直線の距離を求める工程と、
前記距離が予め定めた基準値を上回る集積回路装置を検出する工程と、
前記検出された集積回路装置を出力する工程と、
を含むことを特徴とする集積回路装置異常検出方法。 - 前記回帰直線を求める工程が、回帰直線を算出し、前記散布図の各点と回帰直線との距離を算出し、事前に指定された値以上の距離を持つ点を除外する一連の処理を、新たに除外される点がなくなるまで再帰的に繰り返すことを特徴とする、請求項4に記載の集積回路装置異常検出方法。
- 前記散布図を作成する工程が、前記第1の測定結果または前記第2の測定結果の少なくともいずれか一方の値を変換し、変換後の値に基づいて散布図を作成する工程を含むことを特徴とする、請求項4に記載の集積回路装置異常検出方法。
- 集積回路装置それぞれに紐付けされた第1の測定結果を記憶手段から読み出す処理と、
前記集積回路装置それぞれに紐付けされた、前記第1の測定とは異なる条件で取得された第2の測定結果を記憶手段から読み出す処理と、
前記第1の測定結果および前記第2の測定結果に基づいて散布図を作成する処理と、
前記散布図の回帰直線を求める処理と、
前記散布図の各点と前記回帰直線の距離を求める処理と、
前記距離が予め定めた基準値を上回る集積回路装置を検出する処理と、
前記検出された集積回路装置を出力する処理と、
をコンピュータに実行させる集積回路装置異常検出プログラム。 - 前記回帰直線を算出する処理において、再帰的に回帰直線を求める処理をコンピュータに実行させる、請求項7に記載の集積回路装置異常検出プログラム。
- 前記散布図を作成する処理において、前記第1の測定結果または前記第2の測定結果の少なくともいずれか一方の値を変換し、変換後の値に基づいて散布図を作成する処理をコンピュータに実行させる、請求項7に記載の集積回路装置異常検出プログラム。
- 請求項7ないし9のいずれかに記載のプログラムを記録した記録媒体。
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