JP2003106923A

JP2003106923A - 洩れ検査装置のドリフト値取得方法・ゼロ点変動値取得方法・洩れ検査装置のドリフト補正方法・洩れ検査装置

Info

Publication number: JP2003106923A
Application number: JP2001259370A
Authority: JP
Inventors: Akio Furuse; 昭男古瀬; Kazutoshi Hamaide; 和敏濱出
Original assignee: Cosmo Instruments Co Ltd
Current assignee: Cosmo Instruments Co Ltd
Priority date: 2001-07-27
Filing date: 2001-08-29
Publication date: 2003-04-09

Abstract

(57)【要約】【課題】洩れ検査で発生するドリフトの影響を正確に
除去する。【解決手段】ワークの開口部分をシール治具によって
閉塞し、この状態でワークの内部に空気圧を封じ込め、
この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいと
き洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判
定する洩れ検査装置において、校正時にワークとして洩
れの無いワークを用意し、この洩れの無いワークとシー
ル治具との間に所定の温度差を与え、この状態で洩れ検
査を実施し、この洩れ検査で発生する圧力変化値をドリ
フト値Ｄと定め、任意の複数の温度差毎にドリフト値Ｄ
を求め、この温度差毎に記憶器に記憶させる。検査時は
ワークとシール治具の温度差からドリフト値を読み出す
か、又は直線近似によりドリフト値を算出し、このドリ
フト値を利用してドリフトを除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は各種の容器、エン
ジンのシリンダブロック、ガス器具などの洩れが有って
はならない機器の洩れの有無を検査する洩れ検査装置に
関し、特に実用性の高い洩れ検査装置のドリフト値取得
方法・ゼロ点変動値取得方法及び洩れ検査装置のドリフ
ト補正方法及びこのドリフト補正方法を用いて動作する
洩れ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】洩れ検査装置では被検査体に加圧した空
気を封入し、その空気圧の変化を測定して洩れの有無を
検査している。然し乍ら、空気は被検査体の温度、或い
は被検査体に接触する治具等の温度の影響を受け、洩れ
が無いのに洩れの有るような圧力変動（これをドリフト
と称している）を来し、洩れの有無の判定を難しいもの
としている。このため、本出願人は従来より各種の洩れ
検査装置及びこの洩れ検査装置のドリフト補正に関して
各種の提案（例えば特願平１１−２４２６６０号）を行
ってきた。

【０００３】過去において提案したドリフト補正方法は
ドリフトの発生原因を被検査体に加圧して印加した気体
の温度変化（加圧印加時の断熱変化）が主な発生原因と
見て、被検査体に印加した空気の圧力変化からドリフト
補正係数を導き出す手法を採っていた。従来より提案し
ているドリフト補正方法によれば校正モードにおいてド
リフト補正係数を求めた条件の範囲内に限れば適性にド
リフト補正がはたらくのであるが、その条件範囲から外
れると、正しくドリフト補正が行われなくなる欠点があ
る。つまり、環境の変化に対して安定に動作するドリフ
ト補正方法が未だに確立されていないのが現状である。

【０００４】この現状を解消すべく本出願人は特願２０
００−２０６４３１により洩れ検査用ドリフト補正係数
生成方法・洩れ検査におけるドリフト補正値算出方法・
これらの方法を利用して動作する洩れ検査装置を提案し
た。この先に提案した洩れ検査用ドリフト補正係数生成
方法・ドリフト補正値算出方法によればドリフトの発生
要因を被検査体（以下ワークと称す）と、このワークの
開口部を閉塞し、シールするシール治具との間の温度差
であることに特定した点で優れている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本出願人が先に提案し
たドリフト補正係数算出方法によればドリフト発生現象
におけるドリフト値と補正量とが良く一致し、理論的に
正しいことが確認された。然し乍ら実際に適用しようと
した場合、その補正値の算出手段（プログラム）等が繁
雑となりコストの上昇が避けられない不都合が生じた。
この発明の目的は、正しい洩れ検査を廉価に実施するこ
とを可能とした洩れ検査装置のドリフト値取得方法・ゼ
ロ点変動値取得方法・ドリフト補正方法及びこのドリフ
ト補正方法を用いて動作する洩れ検査装置を提供しよう
とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明では予め校正モ
ードで洩れの無いワークを用意し、ワークとシール治具
との間に所定の温度差を与えた状態でワークに空気圧を
印加し、この状態でワーク内の圧力変化値（洩れの無い
ワークを用いているから、この圧力変化値はドリフト値
である）を測定し、各温度差毎のドリフト値を記憶器に
記憶させる。検査モードではこの記憶器に記憶させたド
リフト値をワークとシール治具との間の温度差に応じて
読み出し、このドリフト値を測定値から差し引いてドリ
フト補正を行う。

【０００７】この発明の請求項１では、被検査体の開口
部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検
査体の内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測
定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の
低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置に
おいて、校正モードで被検査体に洩れの無い被検査体を
用意し、この洩れの無い被検査体とシール治具との間に
所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差
が与えられている状態で被検査体に空気圧を印加し、そ
の空気圧の変動量をドリフト値として測定することを複
数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をド
リフト記憶器に記憶する洩れ検査装置のドリフト値取得
方法を提案する。

【０００８】この発明の請求項２では、被検査体の開口
部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検
査体と基準タンクに空気圧を封じ込め、両者間に圧力差
が発生するか否かにより被検査体に洩れが有るか否かを
判定する洩れ検査装置において、校正モードで被検査体
に洩れの無い被検査体を用意し、この洩れの無い被検査
体とシール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設
定し、この所定の温度差が与えられている状態で被検査
体と基準タンクに空気圧を封じ込め、圧力差の変動量を
ドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行
し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶
する洩れ検査装置のドリフト取得方法を提案する。

【０００９】この発明の請求項３では、請求項１又は２
記載の洩れ検査装置のドリフト取得方法の何れかによ
り、ドリフト記憶器に被検査体とシール治具との間の温
度差に対応するドリフト値を記憶した洩れ検査装置にお
いて、校正モードで洩れの無い被検査体を用意すると共
に、この洩れの無い被検査体とシール治具との間の温度
差をドリフト記憶器にドリフト値を記憶している所望の
温度差に設定し、この設定状態で洩れの無い被検査体に
空気圧を印加してドリフト値と環境温度を測定し、この
測定して得られたドリフト値とドリフト記憶器に記憶し
ている所望の温度差におけるドリフト値との偏差を求
め、この偏差値を測定した環境温度に対応するゼロ点変
動値記憶器のアドレスに記憶する洩れ検査装置のゼロ点
変動値取得方法を提案する。

【００１０】この発明の請求項４では、請求項１又は２
記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法の何れかによ
り、ドリフト記憶器に被検査体とシール治具との間の温
度差に対応するドリフト値を記憶した洩れ検査装置にお
いて、校正モードで洩れの有無が不明な被検査体を用意
すると共に、この洩れの有無が不明な被検査体とシール
治具との間の温度差をゼロの状態に設定し、この設定状
態で被検査体に空気圧を印加して仮ドリフト値と環境温
度とを測定するとともに、ドリフト測定タイミングより
長時間経過したタイミングで洩れのみによる圧力変化を
測定してこの圧力変化を仮ドリフト値から差し引くこと
により真のドリフト値を求め、この求められたドリフト
値とドリフト記憶器の温度差ゼロに該当するアドレスに
記憶しているドリフト値との偏差を求め、この偏差値を
測定した環境温度に対応するゼロ点変動値記憶器のアド
レスに記憶する洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法を
提案する。

【００１１】この発明の請求項５では、請求項３又は４
記載の洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法の何れかに
おいて、ゼロ点変動値取得方法で取得するゼロ点変動値
を複数の環境温度毎に取得し、各環境温度毎に取得した
ゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器に記憶するゼロ点変
動値取得方法を提案する。この発明の請求項６では、請
求項１記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法により
ドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対
応したドリフト値を記憶した洩れ検査装置のドリフト補
正方法において、検査モードでは被検査体とシール治具
との間の温度差を測定し、その温度差に従ってドリフト
記憶器からドリフト値を読み出し、このドリフト値を被
検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検
査時に発生するドリフト成分を除去する洩れ検査装置の
ドリフト補正方法を提案する。

【００１２】この発明の請求項７では、請求項２記載の
洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶
器に被検査体とシール治具との間の温度差に対応したド
リフト値を記憶した洩れ検査装置のドリフト補正方法に
おいて、検査モードでは被検査体とシール治具との間の
温度差を測定し、その温度差に従ってドリフト記憶器か
らドリフト値を読み出し、このドリフト値を被検査体と
基準タンク間に発生した差圧値の変化量から減算し洩れ
検査時に発生するドリフト成分を除去する洩れ検査装置
のドリフト補正方法を提案する。

【００１３】この発明の請求項８では、請求項３又は４
記載の洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法の何れかに
よりゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器に記憶した洩れ
検査装置のドリフト補正方法において、検査モードでは
被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、測定し
た温度差に従ってドリフト記憶器からドリフト値を読み
出すと共に、ゼロ点変動値記憶器からゼロ点変動値を読
み出し、ドリフト記憶器から読み出されたドリフト値を
ゼロ点変動値により修正した結果を被検査体に印加した
空気圧の変化値又は被検査体と基準タンクとの間に発生
する圧力差の変化値から減算して洩れ検査時に発生する
ドリフト成分を除去する洩れ検査装置のドリフト補正方
法を提案する。

【００１４】この発明の請求項９では、請求項５記載の
洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法によりゼロ点変動
値をゼロ点変動値記憶器に記憶した洩れ検査装置のドリ
フト補正方法において、検査モードでは被検査体とシー
ル治具との間の温度差及び環境温度を測定し、測定した
温度差に従ってドリフト記憶器からドリフト値を読み出
すと共に、環境温度に従ってゼロ点変動値記憶器からゼ
ロ点変動値を読み出し、読み出されたドリフト値にゼロ
点変動値を加算した結果を被検査体に印加した空気圧の
変化値又は被検査体と基準タンクその間に発生する圧力
差の変化値から減算して洩れ検査時に発生するドリフト
成分を除去する洩れ検査装置のドリフト補正方法を提案
する。

【００１５】この発明の請求項１０では、請求項６、
７、８、９記載の洩れ検査装置のドリフト補正方法の何
れかにおいて、検査モードで被検査体とシール治具との
間の温度差がドリフト記憶器に記憶した温度差以外の温
度差である場合は、ドリフト記憶器に記憶した複数の温
度差に対応して記憶している複数のドリフト値の間を直
線近似してドリフト記憶器に記憶している温度差以外の
温度差のドリフト値を算出する洩れ検査装置のドリフト
補正方法を提案する。

【００１６】この発明の請求項１１では、請求項９記載
の洩れ検査装置のドリフト補正方法において、検査モー
ドで測定した環境温度がゼロ点変動値記憶器にゼロ点変
動値を記憶した温度以外の温度である場合は、ゼロ点変
動値記憶器に記憶した複数の環境温度に対応して記憶し
ている複数のゼロ点変動値の間を直線近似してゼロ点変
動値を算出する洩れ検査装置のドリフト補正方法を提案
する。この発明の請求項１２では、被検査体の開口部を
閉塞するシール治具と、このシール治具と被検査体との
間の温度差を測定する温度センサと、被検査体とシール
治具との間の温度差毎にドリフト値を記憶したドリフト
記憶器と、被検査体に封じ込めた空気圧の変化を測定す
る圧力計と、検査モードにおいて、温度センサにより測
定した被検査体とシール治具との間の温度差に従って、
ドリフト記憶器から該当する温度差に対応したドリフト
値を読み出すドリフト書込読出手段と、検査モードにお
いて、温度センサにより測定した被検査体とシール治具
との間の温度差に対応したドリフト値がドリフト記憶器
に存在しない場合は、ドリフト記憶器に記憶されている
複数のドリフト値から直線近似により該当する温度差に
対応するドリフト値を算出する直線近似演算手段と、検
査モードにおいて、被検査体に封じ込めた空気圧の変化
量からドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値を
減算し、ドリフト補正を施す減算手段と、この減算手段
で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの
有無を判定する判定手段と、によって構成した洩れ検査
装置を提案する。

【００１７】この発明の請求項１３では、被検査体の開
口部を閉塞するシール治具と、このシール治具と被検査
体との間の温度差を測定する温度センサと、被検査体と
シール治具との間の温度差毎にドリフト値を記憶したド
リフト記憶器と、被検査体と基準タンクに封じ込めた空
気圧に発生する差圧を測定する差圧測定器と、検査モー
ドにおいて、温度センサにより測定した被検査体とシー
ル治具との間の温度差に対応した、ドリフト値がドリフ
ト記憶器に存在しない場合は、ドリフト記憶器に記憶さ
れている複数のドリフト値から直線近似により該当する
温度差に対応するドリフト値を算出する直線近似演算手
段と、検査モードにおいて、温度センサにより測定した
被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフ
ト値がドリフト記憶器に存在しない場合は、ドリフト記
憶器に記憶されている複数のドリフト値から直線近似に
より該当する温度差に対応するドリフト値を算出する直
線近似演算手段と、検査モードにおいて、被検査体と基
準タンクに封じ込めた空気圧の差圧の変化量からドリフ
ト書込読出手段が読み出したドリフト値を減算し、ドリ
フト補正を施す減算手段と、この減算手段で減算した結
果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定す
る判定手段と、によって構成した洩れ検査装置を提案す
る。

【００１８】この発明の請求項１４では、請求項１２又
は１３記載の洩れ検査装置の何れかにおいて、環境温度
の変化に伴って発生するゼロ点変動値を記憶するゼロ点
変動値記憶器が設けられ、このゼロ点変動値記憶器に記
憶したゼロ点変動値をドリフト記憶器に記憶したドリフ
ト値に加算してドリフト値を修正する構成とした洩れ検
査装置を提案する。この発明の請求項１５では、被検査
体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状
態で被検査体の内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の
変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、
空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検
査装置において、被検査体とシール治具の温度を測定す
る温度センサと、温度センサの測定結果により被検査体
とシール治具の温度差を求める温度差測定器と、校正モ
ードで被検査体とシール治具との間に所定の温度差を与
えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている
状態で被検査体に空気圧を印加し、その空気圧の変動量
をドリフト値として測定することを異なる温度差毎に実
行し、複数の温度差のドリフト値を記憶するためのドリ
フト記憶器と、校正モードで被検査体とシール治具との
間の温度差を測定すると共に、被検査体に空気圧を印加
し、その空気圧の変動量とドリフト記憶器の測定した温
度差のアドレスに記憶しているドリフト値との偏差をゼ
ロ点変動値として測定することを複数の環境温度下で実
行し、複数の環境温度のゼロ点変動値を記憶するための
ゼロ点変動値記憶器と、検査モードにおいて、温度差測
定器で算出した被検査体とシール治具との間の温度差に
対応するドリフト値をドリフト記憶器から読み出すドリ
フト書込読出手段と、検査モードにおいて、温度センサ
で測定した温度の何れか一方を環境温度とし、この環境
温度に対応したゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器から
読み出すゼロ点変動値書込読出手段と、これらドリフト
値書込読出手段とゼロ点変動値書込読出手段から読み出
したドリフト値及びゼロ点変動値とを加算した加算結果
を被検査体に印加した空気圧の変動値から差し引いてド
リフト補正を施す減算手段と、この減算手段で減算した
結果を基準値と比較し、洩れの有無を判定する判定手段
と、によって構成した洩れ検査装置を提案する。

【００１９】この発明の請求項１６では、被検査体の開
口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被
検査体と基準タンクの内部に空気圧を封じ込め、両者間
に圧力差が発生するか否かにより被検査体に洩れがある
か否かを判定する洩れ検査装置において、被検査体とシ
ール治具の温度を測定する温度センサと、これら温度セ
ンサの測定結果により被検査体とシール治具の温度差を
求める温度差測定器と、校正モードで被検査体とシール
治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この
所定の温度差が与えられている状態で被検査体と基準タ
ンクに空気圧を印加し、両者間に発生する圧力差の変動
量をドリフト値として測定することを異なる温度差毎に
実行し、複数の温度差のドリフト値を記憶するためのド
リフト記憶器と、校正モードで被検査体とシール治具と
の間の温度差を測定すると共に、被検査体と基準タンク
に空気圧を印加し、被検査体と基準タンクとの間に発生
する差圧値の変動量とドリフト記憶器の測定した温度差
に対応したアドレスに記憶しているドリフト値との偏差
をゼロ点変動値として測定することを複数の環境温度下
で実行し、複数の環境温度のゼロ点変動値を記憶するた
めのゼロ点変動値記憶器と、検査モードにおいて、温度
差測定器で算出した被検査体とシール治具との間の温度
差に対応するドリフト値をドリフト記憶器から読み出す
ドリフト書込読出手段と、検査モードにおいて、温度セ
ンサで測定した温度の何れか一方を環境温度とし、この
環境温度に対応したゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器
から読み出すゼロ点変動値書込読出手段と、これらドリ
フト値書込読出手段とゼロ点変動値書込読出手段から読
み出したドリフト値及びゼロ点変動値とを加算した加算
結果を被検査体と基準タンクとの間に発生した圧力差か
ら差し引いてドリフト補正を施す減算手段と、この減算
手段で減算した結果を基準値と比較し、洩れの有無を判
定する判定手段と、によって構成した洩れ検査装置を提
案する。

【００２０】この発明の請求項１７では、請求項１２、
１３、１４、１５、１６記載の洩れ検査装置の何れかに
おいて、被検査体とシール治具との間の温度差が予め設
定した温度差の範囲から外れた温度差であることを検出
する異常温度検出器と、この異常温度検出器が被検査体
とシール治具との間の温度差が異常値であることを検出
した検出信号により被検査体の洩れ検査を中止させる中
止指令発生器とを設けた構成とした洩れ検査装置を提案
する。作用この発明による洩れ検査装置のドリフト値取得方法によ
れば、被検査体とシール治具との間の温度差をドリフト
発生要因に絞り、被検査体とシール治具間の温度差毎に
ドリフト値を取得し、ドリフト記憶器に記憶したから、
ドリフト記憶器に用意したドリフト値と、検査モードで
発生するドリフト値とが良く一致し、精度の高いドリフ
ト補正を施すことができる利点が得られる。

【００２１】また、この発明によれば、検査モードにお
いて、繁雑な演算によりドリフト値を算出する必要がな
いから、洩れ検査装置を廉価に提供することができる。
更に、この発明によれば季節毎にドリフト値のゼロ点変
動を補正することができるから、四季を通じて精度を保
つことができる利点も得られる。特に四季を通じてゼロ
点変動値をゼロ点変動値記憶器に記憶する構成とした場
合には、四季毎のゼロ点変動値を記憶した後は校正を全
く行う必要がなく、全自動で洩れ検査を行うことができ
る大きな利点が得られる。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１にこの発明による洩れ検査装
置の一実施例を示す。この洩れ検査装置によればこの発
明による洩れ検査用のドリフト値取得方法を実行するこ
とができる。また、このドリフト値取得方法で取得した
ドリフト値により洩れ検査を実行することができる。図
中Ｗはワークを示す。ワークＷは基台となる第１シール
治具１の上に載置され、オーリングのようなシール部材
ＣＣで気密を保持される。ワークＷの上部側の開口部に
は第２シール治具２が搭載され、ワークＷの上部側の開
口部を閉塞する。この場合も第２シール治具２に装着さ
れたシール部材ＣＣで気密を保持して閉塞する。

【００２３】ワークＷは例えばエンジンのシリンダブロ
ック或いはガス器具の部品等各種の製品が適用される。
エンジンのシリンダブロックのように形状が大きい場合
は中子１４を挿入し、ワークＷ内の内容積を可及的に小
さくするように配慮される。第２シール治具２には空気
の注入口２Ａが設けられ、この注入口２Ａに配管１５が
連通される。配管１５には圧力計１６と、電磁弁１７
と、３方電磁弁１８と、調圧弁１９を通じて空圧源２０
が接続される。調圧弁１９を調整して圧力計２１の指示
に従ってワークＷに印加する空気圧を設定する。

【００２４】３方電磁弁１８をａ−ｂ間を開放状態に制
御し、電磁弁１７を開くことによりワークＷに空気圧を
印加することができる。ワークＷに空気圧を印加した後
で電磁弁１７を閉じることにより、ワークＷに空気圧を
封じ込めることができる。この封じ込んだ空気圧を圧力
計１６で測定することにより所定の時間に渡って一定値
を維持すれば洩れなしと判定することができる。然し乍
ら、一般的にはワークＷと第１シール治具１及び第２シ
ール治具２の温度に対応して空気圧が変動（ドリフト）
し、あたかも洩れが有るかの如く挙動する場合が一般的
である。

【００２５】このため、この発明では第１シール治具１
とワークＷとの間の温度差又は第２シール治具２とワー
クＷとの間の温度差の何れか一方を測定する温度センサ
を設ける。この例では第１シール治具１とワークＷとの
温度を測定する温度センサ３を設けた場合を示す。この
温度センサ３で測定した第１シール治具１とワークＷの
温度測定値を温度差測定器５に入力し、この温度差測定
器５で第１シール治具１とワークＷとの間の温度差を求
める。温度センサ３の一例を図２に示す。図２では第１
シール治具１側に装着した温度センサ３の構造を示す。
第１シール治具１のワークＷと接触する面に穴Ｈを形成
し、この穴Ｈの内部にセンサホルダ１３を装着する。セ
ンサホルダ１３は軸芯に貫通孔１３Ａを有し、この貫通
孔１３Ａの両端に温度センサＳ１、Ｓ２を装着して支持
させる。温度センサＳ１、Ｓ２は貫通孔１３Ａの両端に
露出して配置し、温度センサＳ１は第１シール治具１に
接触して第１シール治具１の温度を測定する。また、セ
ンサＳ２は貫通孔１３Ａの上端側に露出して配置され
る。これらセンサＳ１とＳ２は貫通孔１３Ａの内部で樹
脂剤或いは接着剤等でセンサホルダ１３に固定される。
また、センサホルダ１３も接着剤等で穴Ｈ内に固定され
る。

【００２６】温度センサＳ２は第１シール治具１の表面
と面一に配置され、その上にワークＷを搭載すると、ワ
ークＷがセンサＳ２に接触し、ワークＷの温度を測定す
る。尚、センサＳ２の表面には保護のために銅のような
熱伝導率の高い材質の金属板等を配置し、この金属板を
介してワークＷに接触するように構成することもでき
る。温度差測定器５はセンサＳ１とＳ２の測定温度の差
を求めワークＷと第１シール治具１との間の温度差を求
める。

【００２７】この発明のドリフト値所得方法を実行する
校正モードでは洩れが無いと判定されているワークＷを
用意する。この洩れの無いワークには洩れの有無を検査
すべき製品と同一の形状で、同一の材質であることが要
件として求められる。洩れの無いワークＷを所定の温度
に加熱し、第１シール治具１とワークＷとの間に所望の
温度差を与える。この温度差が保たれている状態で電磁
弁１７を導通させ、空圧源２０で発生している空気圧を
ワークＷに印加する。所定の加圧時間（３〜５秒程度）
を経て電磁弁１７を閉じ、ワークＷ内の圧力を安定させ
る時間（１０秒程度）を経て測定期間に入る。測定期間
では測定期間に入った時点から所定の時間が経過する間
に圧力計１６の圧力測定値が変化する量を求める。

【００２８】図３にその様子を示す。Ｔ１は加圧期間、
Ｔ２は平衡期間、Ｔ３は測定期間を示す。測定期間では
圧力変化を検出する利得を高めるため、ワークＷ内の圧
力変化を高感度で測定する。このため、図３に示すよう
に、測定期間Ｔ３では平衡期間Ｔ２の圧力変化より大き
く拡大されて測定される。ここではワークＷとして洩れ
の無いワークを用いているから、本来であれば測定期間
Ｔ３であっても空気圧の低下或いは上昇は生じないはず
である。然し乍ら、現実には空気圧が変化する現象が測
定される。この空気圧の変動現象（圧力変化）がドリフ
トであり、その圧力変化値（測定期間Ｔ３の期間に変化
した圧力変化値）Ｄがドリフト値である。この発明では
洩れ検査装置本体１１にドリフト記憶器１１Ａと、ドリ
フト書込読出手段１１Ｂと、減算手段１１Ｃと、直線近
似演算手段１１Ｄと、判定手段１１Ｅとを設けて構成す
る。これらはコンピュータとソフトウェアによって構成
される。

【００２９】ドリフト記憶器１１Ａには例えば図４に示
すように正の温度差（ワークＷの温度の方が第１シール
治具１の温度より高い）用に１℃〜３０℃までの３０個
のアドレスと、０℃及び−１℃〜−５度までの６個のア
ドレスを用意する。これらの各温度差を、例えばワーク
Ｗに与える温度により設定し、各温度差毎にドリフト値
Ｄを取得し、ドリフト記憶器１１Ａに記憶させる。ドリ
フト記憶器１１Ａの全てのアドレスにドリフト値Ｄを取
得することにより校正モードを終了する。尚、図４に示
した３６アドレスの全てにドリフト値Ｄを記憶させるの
は大変な時間と労力（ワークＷとシール治具１に所望の
温度差を与える作業に大きな労力が必要である）を必要
とするから、現実には例えば−５℃、０℃、１０℃、２
０℃、３０℃のように任意の温度差におけるドリフト値
Ｄを求め、これらのドリフト値をドリフト記憶器１１Ａ
に記憶させてもよい。

【００３０】校正モードによりドリフト記憶器１１Ａに
各温度差毎のドリフト値Ｄを記憶した洩れ検査装置本体
１１は、そのドリフト値Ｄを取得する際に用いたワーク
と同一種類のワークに関して洩れ検査を実行することが
できる。他の製品の洩れ検査を行うには、その製品の洩
れの無い製品を使って校正モードを実行し、ドリフト記
憶器１１Ａにその製品に関するドリフト値を取得すれば
よい。従って、複数の製品の洩れ検査を行うにはドリフ
ト記憶器７を複数設ければよい。検査モードでは図５に
示す加圧期間Ｔ１と、平衡期間Ｔ２と、測定期間Ｔ３を
経て、測定期間Ｔ３の期間に圧力計１６が計測した圧力
変化値Ｅを洩れ検査装置１１に取り込む。

【００３１】これと共にワークＷと第１シール治具１と
の間の温度差を温度センサ３と温度差測定器５とによっ
て測定する。この測定によって得られた温度差をドリフ
ト書込読出手段１１Ｂに入力する。ドリフト書込読出手
段１１Ｂは温度差測定器５で測定された温度差に従って
ドリフト記憶器１１Ａからドリフト値Ｄを読み出す。ワ
ークＷと第１シール治具１との間の温度差がドリフト記
憶器１１Ａに用意したアドレスに存在する温度差である
場合は、そのアドレスからドリフト値Ｄを読み取り、そ
の読み取ったドリフト値Ｄを減算手段１１Ｃに送り込
む。

【００３２】一方、温度差がドリフト記憶器１１Ａに用
意した温度差以外の温度差の場合は、ドリフト記憶器１
１Ａに記憶している複数のドリフト値を使って直線近似
演算手段１１Ｄにより該当する温度差のドリフト値を算
出する。その演算結果を減算手段１１Ｃに送り込む。減
算手段１１Ｃでは測定期間Ｔ３の終了時点で計測した圧
力変化値Ｅからドリフト書込読出手段１１Ｂが読み出し
たドリフト値Ｄ又は直線近似演算手段１１Ｄが算出した
ドリフト値Ｄを減算し、その残りの圧力値Ｆ＝Ｅ−Ｄを
判定手段１１Ｅに入力する。判定手段１１Ｅでは減算結
果であるＦと設定値とを比較する。検査中のワークＷに
洩れが無い場合はＥ≒ＤとなりＦ＝Ｅ−Ｄ≒０となる。
残りの圧力値Ｆが設定値（ゼロに近い或る値）より小さ
い場合は「洩れ無し」と判定する。残りの圧力値Ｆが設
定値より大きければ「洩れ有り」と判定する。この判定
結果を表示器１２に表示させ、洩れの有無を表示させ
る。尚、平衡期間Ｔ２において、図５にＸで示すように
圧力値が急激に変化し、判定値Ｙより低下してしまった
場合は検査中のワークＷに「大きな洩れが有る」と判定
する。

【００３３】以上の如く、この発明によればワークＷと
シール治具１との間の温度差を測定し、この温度差毎に
ドリフト値を取得してドリフト記憶器１１Ａに記憶し、
検査モードでは、このドリフト値をワークとシール治具
間の温度差に対応して読み出してドリフトの補正値とし
て利用するドリフト補正方法を採ったから、検査モード
で発生するドリフト発生量と、ドリフト記憶器１１Ａか
ら読み出すドリフト値とがよく一致し、精度の高いドリ
フト補正を施すことができる。尚、ワークとシール治具
間の温度差に応じてドリフト値Ｄを取得してドリフト補
正を行ったことにより、適正なドリフト補正が行える理
由に関しては「特願２０００−２０６４３１」を参照さ
れたい。

【００３４】また、この発明によれば特願２０００−２
０６４３１で提案したようにドリフト補正値をその都度
演算して求める方法を採らないから、洩れ検査装置本体
１１の構成を簡素化することができる。従って、洩れ検
査装置本体１１の製造コストを低減することができる利
点が得られる。図６はこの発明の変形実施例を示す。こ
の実施例では図１に示した実施例に異常温度検出器２２
と、中止指令発生器２３とを設けた実施例を示す。異常
温度検出器２２は温度差測定器５から出力されて洩れ検
査装置本体１１に入力される温度差を監視する。洩れ検
査装置本体１１に入力される温度差が予め設定した温度
差の範囲から外れた場合（この温度差の範囲は利用者が
任意に設定する）、これを検出し、その検出信号を中止
指令発生器２３に入力する。中止指令発生器２３は洩れ
検査装置本体１１に検査の中止を指令し、洩れ検査装置
本体１１の動作を中断させるか、又は検査すべきワーク
Ｗを次のワークに交換する処置を行わせる。

【００３５】この異常温度検出器２２を設けたことによ
り、温度差が予め設定した温度差の範囲から逸脱した温
度を持つワークを検査してしまう不都合を回避すること
ができる。尚、図６では温度差測定器５と、異常温度検
出器２２と、中止指令発生器２３を洩れ検査装置１１の
外部に設けた例を示したが、これらを全て洩れ検査装置
１１の内部に構成することもできる。図７はこの発明の
更に他の実施例を示す。この実施例では図１に示した洩
れ検査装置本体１１にゼロ点変動値記憶器１１Ｆを設け
た構成を特徴とするものである。このゼロ点変動値記憶
器１１Ｆには例えば季節の変化などによりドリフト値Ｄ
が変動した量ΔＤをゼロ点変動値として記憶させる。こ
のゼロ点変動値ΔＤが発生する理由としては、ワークＷ
及びシール治具の平均温度（環境温度）が季節に応じて
変動した場合、ワークＷに封入した空気の温度変化（断
熱変動）によるドリフト量が変動することが主因である
と考えられている。このドリフト値Ｄが変動した量ゼロ
点変動値ΔＤを取得する方法を説明する。

【００３６】ゼロ点変動値ΔＤを取得する方法には以下
の２つの方法がある。洩れの無いワークＷを用意し、このワークＷと第１シ
ール治具１との間の温度差をドリフト記憶器１１Ａに存
在する温度差Ｎ℃に設定する。この状態で加圧期間Ｔ
１、平衡期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３でドリフト値Ｇ
と、この時点における環境温度（ワーク又はシール治具
の温度）を計測する。このドリフト値Ｇとドリフト記憶
器１１ＦのＮ℃に対応するアドレスに記憶しているドリ
フト値Ｄとの偏差ΔＤ＝Ｇ−Ｄを求める。この偏差ΔＤ
がこの校正を行った時点の環境温度下におけるゼロ点変
動値である。

【００３７】ワークＷと第１シール治具１との間の温
度差を０℃に設定する。この場合ワークＷは洩れの有無
を問わない。洩れが有るワーク（但しその洩れはわずか
な洩れであるものとする）を使ってドリフト値を測定で
きる理由は後に説明することとするが、ここでは手順の
みを図１３を用いて簡素に説明する。加圧期間Ｔ１と、
平衡期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３の終了時点で圧力計１
６の圧力変化Ｄ１を測定する。その後、充分な時間（ド
リフトが終息するまでの時間、数分程度）が経過した時
点Ａから、先の測定期間Ｔ３と同じ時間Ｔ３が経過する
間に変化する圧力変化Ｄ２とＤ３を測定し、これらの差
ΔＤ２＝Ｄ２−Ｄ３を求める。この差ΔＤ２が洩れによ
って発生する圧力変化値であるから、初回の測定値Ｄ１
から、この差ΔＤ２を差し引くことにより、真のドリフ
ト値Ｇを得ることができる。つまりＧ＝Ｄ１−ΔＤ２と
なる。このドリフト値Ｇがドリフト記憶器７に温度差０
℃のアドレスに記憶しているドリフト値Ｄとの間に偏差
ΔＤ＝Ｇ−Ｄが存在すれば、その偏差ΔＤがその時点の
環境温度下におけるゼロ点変動値である。偏差ΔＤは正
か負の極性を持つ。

【００３８】、の何れの方法でゼロ点変動値ΔＤを
求めたとしても、このゼロ点変動値ΔＤをゼロ点変動値
記憶器１１Ｆに記憶させればよい。検査モードではドリ
フト記憶器１１Ａからドリフト書込読出手段１１Ｂによ
り読み出されるドリフト値Ｄにゼロ点書込読出手段１１
Ｇにより読み出されるゼロ点変動値を加算手段１１Ｈで
加算（減算の場合もある）し、その加算結果を減算手段
１１Ｃで検査中のワークＷで得られた圧力変化値から減
算し、その減算結果を判定手段１１Ｅに送り込む。

【００３９】検査モードでドリフト記憶器１１Ａから読
み出される全てのドリフト値Ｄにゼロ点変動値ΔＤを加
算してドリフト補正することにより、図８に示す。本来
曲線Ａであった補正曲線が曲線Ｂ又はＣに平行移動され
て修正される。尚、図６に示した実施例と図７に示した
実施例は併合して実施することができることは容易に理
解できよう。図９はこの発明の更に他の実施例を示す。
この実施例ではワークＷの開口部が１個所の場合を示
す。この場合には第２シール治具２とワークＷとの間の
温度差を温度センサ３で測定し、その温度差を温度差測
定器５で求めて洩れ検査装置本体１１に入力すればよ
い。従って、この場合も温度差測定器５で求めた温度差
に従って、ドリフト記憶器１１Ａからドリフト値Ｄを読
み出し、このドリフト値Ｄを図１に示した実施例と同様
に検査中のワークＷで測定した圧力変化値Ｅ（図５参
照）から減算してドリフト補正を施す。また、この実施
例にも図６及び図７に示した実施例を併用することがで
きる。

【００４０】図１０はこの発明の更に他の実施例を示
す。この実施例では温度センサ３を接触式の温度センサ
３Ａ、３Ｂで構成した場合を示す。接触式の温度センサ
３Ａ、３Ｂを用いることにより、ワークＷ及び第２シー
ル治具２に対する接触位置を任意に設定し、変更するこ
とができるから、温度差を測定するに適した位置を自由
に選択することができる利点が得られる。尚、ワークＷ
に関しては接触式の温度計で温度を測定できない品種も
ある。このような場合には非接触式の例えば赤外線放射
温度計等を用いてワークＷの温度を測定することも考え
られる。

【００４１】図１１はこの発明を差圧検出型の洩れ検査
装置に適用した場合を示す。差圧検出型洩れ検査装置は
よく知られているようにワークＷに対して洩れの無い基
準タンクＭＳを設け、これらワークＷと基準タンクＭＳ
に電磁弁１７Ａ、１７Ｂを開閉して空気圧を封入する。
空気圧の封入状態（電磁弁１７Ａ、１７Ｂを閉じた状
態）において、基準タンクＭＳとワークＷとの間に設け
た差圧計１６Ａにより基準タンクＭＳとワークＷとの間
に圧力差が発生するか否かを測定する。差圧が発生した
場合は、ワークＷに洩れが有ると判定する。

【００４２】この差圧検出型の洩れ検査の場合はワーク
Ｗに印加した空気圧と同じ空気圧が基準タンクＭＳに封
じ込んでいるから、差圧計１６Ａは本来圧力差ゼロを検
出するはずである。然し乍ら、図１に示した実施例と同
様に、ワークＷに封入した空気に圧力変化（ドリフト）
が発生し、あたかも洩れが有るかの如き差圧が発生す
る。この発明ではまず校正モードにおいて、洩れの無い
ワークＷを用意し、このワークＷに温度を与えて図１１
に示す例では第２シール治具２との間に所望の温度差を
与えた状態を設定する。この状態で加圧期間Ｔ１と、平
衡期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３を実行する。

【００４３】図１２に差圧検出型の洩れ検査装置の動作
の様子を示す。加圧期間Ｔ１では加圧初期に差圧が発生
するが、加圧が進むとその差圧は解消されほぼゼロに近
づく、平衡期間Ｔ２の初期において差圧値を電気的にゼ
ロにリセットする。ここでは校正モードであり、ワーク
Ｗとしては洩れの無いワークを用いているから、平衡期
間Ｔ２で大きな差圧の発生は無い。測定期間Ｔ３に入る
と、再び差圧値を電気的にゼロにリセットし、検出感度
を上昇させる。これにより差圧の検出量が増加し、測定
期間Ｔ３の期間中に発生した差圧変化値Ｄを取得し、ド
リフト記憶器１１ＡのワークＷとシール治具２との間の
温度差に対応したアドレスに記憶させる。この校正を任
意の温度差毎に実行し、ドリフト記憶器１１Ａの複数の
アドレスにドリフト値Ｄを取得する。

【００４４】ドリフト記憶器１１Ａの複数のアドレスに
ドリフト値Ｄを取得することにより、校正モードを終了
し、爾後検査を実施することができる。検査モードにお
いて、平衡期間Ｔ２で急激に差圧値が上昇した場合（図
１２に示す直線Ｘ）には検査中のワークＷに「大きな洩
れが有る」と判定する。測定期間Ｔ３の期間の終了時点
で検査中のワークＷと基準タンクＭＳとの間に発生する
差圧の値Ｅとドリフト記憶器１１Ａから読み出したドリ
フト値Ｄとの差Ｆ＝Ｅ−ＤはＥ≒ＤであればほぼＦ≒０
となる。この場合は「洩れ無し」と判定する。Ｆが設定
値より大きい場合は「洩れ有り」と判定する。

【００４５】図１１に示した実施例にも図６と図７及び
図１０に示した実施例を併用することができることは容
易に理解できよう。図１４はこの発明の更に他の実施例
を示す。この実施例は図７に示した実施例の変形例であ
る。つまり、図７に示した実施例ではゼロ点変動値記憶
器１１Ｆを設け、このゼロ点変動値記憶器１１Ｆに各季
節毎にゼロ点変動値を記憶させ、このゼロ点変動値によ
りドリフト記憶器１１Ａから読み出されるドリフト値を
補正し、環境温度の変化に伴うドリフト値の変動を修正
する構成を付加した実施例を説明した。この図７に示し
た実施例によれば各季節毎にゼロ点変動値を取得するた
めの校正モードを実行しなければならない不都合が生じ
る。

【００４６】図１４に示す実施例はこの不都合を解消す
ることができる洩れ検査装置を提案するものである。こ
のためには図７に示したゼロ点変動値記憶器１１Ｆを複
数の環境温度のゼロ点変動値を記憶することができるゼ
ロ点変動値記憶器１１Ｆ´に変更するものとし、更に環
境温度測定手段２４を設けた構成を特徴とするものであ
る。図１４に示す環境温度測定手段２４は温度センサ３
において第１シール治具１の温度を測定した温度測定値
を環境温度として流用するように構成した場合を示す。

【００４７】図７で説明したゼロ点変動値取得方法又
はの何れかにより、ゼロ点変動値を求め、その時点の
環境温度をゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´のアドレスに対
応させて記憶させる。図１５に環境温度Ｔ_Sに対するゼ
ロ点変動値ΔＤの傾向を示す。図１５に示す例では環境
温度Ｔ_Sが上昇するに伴ってゼロ点変動値ΔＤが漸次小
さくなる傾向を呈する場合を示す。洩れ検査装置が製造
され、利用者に引き渡された時点ではドリフト記憶器１
１Ａ及びゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´にはデータが全く
書き込まれていない。ドリフト記憶器１１Ａにはこの発
明で提案したドリフト値取得方法によりドリフト値を取
り込む。これと共に、ゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´に
も、その時点の環境温度のゼロ点変動値を書き込むこと
ができる。従って、運用開始時点ではゼロ点変動値記憶
器１１Ｆ´には１個のゼロ点変動値のみが書き込まれた
状態にある。このゼロ点変動値はその季節（環境温度
下）では有効に利用することができる。

【００４８】季節が変わり、環境温度が変わる毎にゼロ
点変動値を取得し、ゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´に書き
込むことを年間を通じて実行することにより、図１５に
示すほぼ全体のアドレスにゼロ点変動値を取り込むこと
ができる。ゼロ点変動値を取り込みができないアドレス
（環境温度）が存在しても、そのアドレスのゼロ点変動
値は直線近似演算手段１１Ｄで直線近似により求めるこ
とができる。従って、この実施例では直線近似演算手段
１１Ｄはドリフト記憶器１１Ａから読み出すべきドリフ
ト値が存在しない場合と、ゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´
から読み出すべきゼロ点変動値が存在しない場合の双方
の直線近似を実行する手段として動作する。

【００４９】年間を通じてゼロ点変動値を測定し、その
測定結果をゼロ点変動記憶器１１Ｆ´に書き込むことに
より、その後は環境温度に対応したゼロ点変動値をゼロ
点変動値記憶器１１Ｆ´から直接又は直線近似演算手段
１１Ｄから得ることができる。従って、このゼロ点変動
値を利用してドリフト記憶器１１Ａから読み出されるド
リフト値を修正し、その修正されたドリフト値を検査中
のワークＷで発生する圧力変化値Ｅ（図５参照）から差
し引くことにより、四季を通じて正しくドリフト値を除
去することができる。従って、ゼロ点変動値記憶器１１
Ｆ´に複数の環境温度に渡ってゼロ点変動値を取り込む
ことができた時点からは校正モードを全く実行せずに全
自動で洩れ検査を行うことができる利点が得られる。

【００５０】図１６は図１４に示した実施例を差圧式の
洩れ検査装置に適用した場合を示す。差圧式の洩れ検査
装置の場合でも、洩れ検査装置本体１１に各環境温度毎
にゼロ点変動値を記憶することができるゼロ点変動値記
憶器１１Ｆ´を設ける点と環境温度測定手段２４が設け
られる。この実施例では、第２シール治具２の温度を環
境温度として洩れ検査装置本体１１に取り込む構成とし
た場合を示す。差圧式の洩れ検査装置の場合でも、まず
洩れの無いワークを使ってドリフト記憶器１１Ａにワー
クとシール治具間の温度差毎のドリフト値を用意すると
共に、図７で説明したゼロ点変動値取得方法又はに
よりゼロ点変動値を求め、その時点の環境温度に対応し
たゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´のアドレスにその求めた
ゼロ点変動値を記憶させる。このゼロ点変動値の取得を
各環境温度毎に実行して、ゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´
の複数のアドレスにゼロ点変動値を取り込むことによ
り、爾後は全自動で洩れ検査を行うことができる。

【００５１】参考ところで、図７に示したゼロ点変動値記憶器１１Ｆに季
節毎にゼロ点変動値ΔＤを記憶させる場合に、ゼロ点変
動値ΔＤを取得する方法の一つにワークＷとシール治
具１との間の温度差を０℃に設定した場合はワークＷと
して洩れの有無を問わない旨を説明した。以下にその理
由を説明する。図１３に洩れが有るワークＷを図１に示
した洩れ検査装置（この方式をゲージ圧力の洩れ検査装
置と呼んでいる）で検査した場合の圧力計１６の圧力変
化を示す。時間Ｔ３は図３に示した測定期間Ｔ３と同じ
時間を示す。ここで測定される圧力変化値Ｄ１はワーク
Ｗに洩れが有るものとすると、圧力変化値Ｄ１には洩れ
による圧力変化値が含まれている。従って、上述した校
正モードでドリフト記憶器１１Ａに記憶したドリフト値
とは一致しない値である。

【００５２】この圧力変化値Ｄ１から洩れによる圧力変
化値を差し引くことにより真のドリフト値を求めること
ができる。洩れによる圧力変化値を求めるためには加圧
により気体の断熱変化の過程で生じた温度ドリフトが終
息した時点を選んで同じ時間Ｔ３の時間内に変化した圧
力変化値を求めればよい。図１３に示す時点Ａは圧力変
化が一定の傾向を示した時点である。つまり、圧力変化
の微分値が一定値を示した時点で時間Ｔ３の間に変化す
る圧力変化値ΔＤ２が洩れによる圧力変化である。従っ
て時点Ａから時間Ｔ３が経過する間の圧力変化値ΔＤ２
を測定する。現実には時点Ａにおける圧力値Ｄ２と、時
点Ａから時間Ｔ３が経過した時点の圧力値Ｄ３を測定
し、その差ΔＤ２＝Ｄ２−Ｄ３を求めることによりΔＤ
２を測定する。

【００５３】圧力変化値ΔＤ２が求められたことにより
Ｇ＝Ｄ１−ΔＤ２を演算することによりその差Ｇはドリ
フト値となる。ここではこのドリフト値Ｇをドリフト記
憶器１１Ａの温度差０℃のアドレスに記憶しているドリ
フト値Ｄと比較し、その間に偏差ΔＤが発生したとする
と、この偏差ΔＤがゼロ点変動値となる。このゼロ点変
動値をゼロ点変動値記憶器１１Ｆ又は１１Ｆ´に記憶す
ればよい。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によればド
リフトの発生要因をワークＷとシール治具との間の温度
差に特定し、この温度差に従って、ドリフト値を取得し
たからドリフト記憶器１１Ａに記憶したドリフト値は検
査モードにおいて検査中のワークで発生するドリフト値
とよく一致し、精度の高い洩れ検査を実施することがで
きる。また、検査中にドリフト値Ｄを演算によって求め
るドリフト補正方式でないから、洩れ検査装置本体１１
を安価に作ることができる利点が得られ、廉価な洩れ検
査装置を提供することができることができる。

【００５５】また、特に複数の環境温度で発生するゼロ
点変動値をそれぞれゼロ点変動値記憶器１１Ｆ´に記憶
させる構成とした場合には、複数の環境温度にゼロ点変
動値を記憶した時点以後は、どの環境温度に変化して
も、その時点の環境温度のゼロ点ドリフト値を得ること
ができるから、四季を通じて全自動で洩れ検査装置を駆
動させることができる。この結果、定期的に校正モード
を実行しなくて済むから、洩れ検査装置の実動率を向上
させることができ、検査コストの低減も期待することが
できる利点も得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を説明するためのブロック
図。

【図２】図１に示した実施例に用いた温度センサの設置
構造の一例を示す断面図。

【図３】この発明のドリフト値取得方法を説明するため
のグラフ。

【図４】図１に示した実施例の記憶器７に記憶したドリ
フト値と、ワークＷとシール治具との間の温度差との間
の関係を説明するためのグラフ。

【図５】図１に示した一実施例の検査モードの動作を説
明するためのグラフ。

【図６】この発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図。

【図７】この発明の更に他の変形実施例を説明するため
のブロック図。

【図８】図７に示した実施例の動作を説明するためのグ
ラフ。

【図９】この発明の更に他の変形実施例を説明するため
のブロック図。

【図１０】この発明の更に他の変形実施例を説明するた
めのブロック図。

【図１１】この発明の更に他の変形実施例を説明するた
めのブロック図。

【図１２】図１１の実施例の動作を説明するためのグラ
フ。

【図１３】洩れがあるワークを用いてもゼロ点変動値を
取り込むことができる理由を説明するためのグラフ。

【図１４】この発明の更に他の実施例を説明するための
ブロック図。

【図１５】図１４に示した実施例に設けたゼロ点変動値
記憶器に記憶されるゼロ点変動値の一例を説明するため
のグラフ。

【図１６】この発明の更に他の変形実施例を説明するた
めのブロック図。

【符号の説明】

１第１シール治具１５配管２第２シール治具１６圧力計３温度センサ１６Ａ差圧計５温度差測定器１７電磁弁１１洩れ検査装置１７Ａ電磁弁１１Ａドリフト記憶器１７Ｂ電磁
弁１１Ｂドリフト書込読出手段１８３方
電磁弁１１Ｃ減算手段１９調圧
弁１１Ｄ直線近似演算手段２０空圧
源１１Ｅ判定手段２１圧力
計１１Ｆゼロ点変動値記憶器ＭＳ基準
タンク１１Ｆ´ ゼロ点変動値記憶器２２異
常温度検出器１１Ｇゼロ点変動書込読出手段２３中止
指令発生器１２表示器２４環境温
度測定手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体の開口部分をシール治具によっ
て閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を封
じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が
大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ
無しと判定する洩れ検査装置において、校正モードで上記被検査体に洩れの無い被検査体を用意
し、この洩れの無い被検査体と上記シール治具との間に
所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差
が与えられている状態で被検査体に空気圧を印加し、そ
の空気圧の変動量をドリフト値として測定することを複
数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をド
リフト記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置
のドリフト値取得方法。
【請求項２】被検査体の開口部分をシール治具によっ
て閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気
圧を封じ込め、両者間に圧力差が発生するか否かにより
上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装
置において、校正モードで上記被検査体に洩れの無い被検査体を用意
し、この洩れの無い被検査体と上記シール治具との間に
所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差
が与えられている状態で上記被検査体と基準タンクに空
気圧を封じ込め、上記圧力差の変動量をドリフト値とし
て測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度
差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶することを特徴
とする洩れ検査装置のドリフト値取得方法。
【請求項３】請求項１又は２記載の洩れ検査装置のド
リフト取得方法の何れかにより、上記ドリフト記憶器に
被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフ
ト値を記憶した洩れ検査装置において、校正モードで洩れの無い被検査体を用意すると共に、こ
の洩れの無い被検査体とシール治具との間の温度差を上
記ドリフト記憶器にドリフト値を記憶している所望の温
度差に設定し、この設定状態で上記洩れの無い被検査体
に空気圧を印加してドリフト値と環境温度を測定し、こ
の測定して得られたドリフト値と上記ドリフト記憶器に
記憶している上記所望の温度差におけるドリフト値との
偏差を求め、この偏差値を上記測定した環境温度に対応
するゼロ点変動値記憶器のアドレスに記憶することを特
徴とする洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法。
【請求項４】請求項１又は２記載の洩れ検査装置のド
リフト値取得方法の何れかにより、上記ドリフト記憶器
に被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリ
フト値を記憶した洩れ検査装置において、校正モードで洩れの有無が不明な被検査体を用意すると
共に、この洩れの有無が不明な被検査体とシール治具と
の間の温度差をゼロの状態に設定し、この設定状態で上
記被検査体に空気圧を印加して仮ドリフト値と環境温度
とを測定するとともに、ドリフト測定タイミングより長
時間経過したタイミングで洩れのみによる圧力変化を測
定してこの圧力変化を上記仮ドリフト値から差し引くこ
とにより真のドリフト値を求め、この求められたドリフ
ト値と上記ドリフト記憶器の温度差ゼロに該当するアド
レスに記憶しているドリフト値との偏差を求め、この偏
差値を上記測定した環境温度に対応するゼロ点変動値記
憶器のアドレスに記憶することを特徴とする洩れ検査装
置のゼロ点変動値取得方法。
【請求項５】請求項３又は４記載の洩れ検査装置のゼ
ロ点変動値取得方法の何れかにおいて、上記ゼロ点変動値取得方法で取得するゼロ点変動値を複
数の環境温度毎に取得し、各環境温度毎に取得したゼロ
点変動値をゼロ点変動値記憶器に記憶することを特徴と
するゼロ点変動値取得方法。
【請求項６】請求項１記載の洩れ検査装置のドリフト
値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治
具間の温度差に対応したドリフト値を記憶した洩れ検査
装置のドリフト補正方法において、検査モードでは被検査体と上記シール治具との間の温度
差を測定し、その温度差に従って上記ドリフト記憶器か
らドリフト値を読み出し、このドリフト値を被検査体に
封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発
生するドリフト成分を除去することを特徴とする洩れ検
査装置のドリフト補正方法。
【請求項７】請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト
値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治
具との間の温度差に対応したドリフト値を記憶した洩れ
検査装置のドリフト補正方法において、検査モードでは被検査体と上記シール治具との間の温度
差を測定し、その温度差に従って上記ドリフト記憶器か
らドリフト値を読み出し、このドリフト値を上記被検査
体と基準タンク間に発生した差圧値の変化量から減算し
洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去することを特
徴とする洩れ検査装置のドリフト補正方法。
【請求項８】請求項３又は４記載の洩れ検査装置のゼ
ロ点変動値取得方法の何れかによりゼロ点変動値をゼロ
点変動値記憶器に記憶した洩れ検査装置のドリフト補正
方法において、検査モードでは被検査体と上記シール治具との間の温度
差を測定し、測定した温度差に従って上記ドリフト記憶
器からドリフト値を読み出すと共に、上記ゼロ点変動値
記憶器からゼロ点変動値を読み出し、上記ドリフト記憶
器から読み出されたドリフト値をゼロ点変動値により修
正した結果を被検査体に印加した空気圧の変化値又は被
検査体と基準タンクとの間に発生する圧力差の変化値か
ら減算して洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去す
ることを特徴とする洩れ検査装置のドリフト補正方法。
【請求項９】請求項５記載の洩れ検査装置のゼロ点変
動値取得方法によりゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器
に記憶した洩れ検査装置のドリフト補正方法において、検査モードでは被検査体と上記シール治具との間の温度
差及び環境温度を測定し、測定した温度差に従って上記
ドリフト記憶器からドリフト値を読み出すと共に、上記
環境温度に従って上記ゼロ点変動値記憶器からゼロ点変
動値を読み出し、読み出されたドリフト値にゼロ点変動
値を加算した結果を被検査体に印加した空気圧の変化値
又は被検査体と基準タンクその間に発生する圧力差の変
化値から減算して洩れ検査時に発生するドリフト成分を
除去することを特徴とする洩れ検査装置のドリフト補正
方法。
【請求項１０】請求項６、７、８、９記載の洩れ検査
装置のドリフト補正方法の何れかにおいて、検査モードで上記被検査体とシール治具との間の温度差
が上記ドリフト記憶器に記憶した温度差以外の温度差で
ある場合は、上記ドリフト記憶器に記憶した複数の温度
差に対応して記憶している複数のドリフト値の間を直線
近似してドリフト記憶器に記憶している温度差以外の温
度差のドリフト値を算出することを特徴とする洩れ検査
装置のドリフト補正方法。
【請求項１１】請求項９記載の洩れ検査装置のドリフ
ト補正方法において、検査モードで測定した環境温度が
上記ゼロ点変動値記憶器にゼロ点変動値を記憶した温度
以外の温度である場合は、上記ゼロ点変動値記憶器に記
憶した複数の環境温度に対応して記憶している複数のゼ
ロ点変動値の間を直線近似してゼロ点変動値を算出する
ことを特徴とする洩れ検査装置のドリフト補正方法。
【請求項１２】Ａ．被検査体の開口部を閉塞するシー
ル治具と、Ｂ．このシール治具と被検査体との間の温度差を測定す
る温度センサと、Ｃ．被検査体と上記シール治具との間の温度差毎にドリ
フト値を記憶したドリフト記憶器と、Ｄ．上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化を測定する
圧力計と、Ｅ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定し
た被検査体とシール治具との間の温度差に従って、上記
ドリフト記憶器から該当する温度差に対応したドリフト
値を読み出すドリフト書込読出手段と、Ｆ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定し
た被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリ
フト値が上記ドリフト記憶器に存在しない場合は、上記
ドリフト記憶器に記憶されている複数のドリフト値から
直線近似により該当する温度差に対応するドリフト値を
算出する直線近似演算手段と、Ｇ．検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空
気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出し
たドリフト値を減算し、ドリフト補正を施す減算手段
と、Ｈ．この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、
被検査体の洩れの有無を判定する判定手段と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１３】Ａ．被検査体の開口部を閉塞するシー
ル治具と、Ｂ．このシール治具と被検査体との間の温度差を測定す
る温度センサと、Ｃ．被検査体と上記シール治具との間の温度差毎にドリ
フト値を記憶したドリフト記憶器と、Ｄ．被検査体と基準タンクに封じ込めた空気圧に発生す
る差圧を測定する差圧測定器と、Ｅ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定し
た被検査体とシール治具との間の温度差に対応した、ド
リフト値が上記ドリフト記憶器に存在しない場合は、上
記ドリフト記憶器に記憶されている複数のドリフト値か
ら直線近似により該当する温度差に対応するドリフト値
を算出する直線近似演算手段と、Ｆ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定し
た被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリ
フト値が上記ドリフト記憶器に存在しない場合は、上記
ドリフト記憶器に記憶されている複数のドリフト値から
直線近似により該当する温度差に対応するドリフト値を
算出する直線近似演算手段と、Ｇ．検査モードにおいて、上記被検査体と基準タンクに
封じ込めた空気圧の差圧の変化量から上記ドリフト書込
読出手段が読み出したドリフト値を減算し、ドリフト補
正を施す減算手段と、Ｈ．この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、
被検査体の洩れの有無を判定する判定手段と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１４】請求項１２又は１３記載の洩れ検査装
置の何れかにおいて、環境温度の変化に伴って発生する
ゼロ点変動値を記憶するゼロ点変動値記憶器が設けら
れ、このゼロ点変動値記憶器に記憶したゼロ点変動値を
ドリフト記憶器に記憶したドリフト値に加算してドリフ
ト値を修正する構成としたことを特徴とする洩れ検査装
置。
【請求項１５】Ａ．被検査体の開口部分をシール治具
によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気
圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低
下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいと
き洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、Ｂ．上記被検査体とシール治具の温度を測定する温度セ
ンサと、Ｃ．上記温度センサの測定結果により上記被検査体とシ
ール治具の温度差を求める温度差測定器と、Ｄ．校正モードで被検査体と上記シール治具との間に所
定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が
与えられている状態で被検査体に空気圧を印加し、その
空気圧の変動量をドリフト値として測定することを異な
る温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値を記憶
するためのドリフト記憶器と、Ｅ．校正モードで上記被検査体とシール治具との間の温
度差を測定すると共に、上記被検査体に空気圧を印加
し、その空気圧の変動量と上記ドリフト記憶器の上記測
定した温度差のアドレスに記憶しているドリフト値との
偏差をゼロ点変動値として測定することを複数の環境温
度下で実行し、複数の環境温度のゼロ点変動値を記憶す
るためのゼロ点変動値記憶器と、Ｆ．検査モードにおいて、上記温度差測定器で算出した
被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフ
ト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読
出手段と、Ｇ．検査モードにおいて、上記温度センサで測定した温
度の何れか一方を環境温度とし、この環境温度に対応し
たゼロ点変動値を上記ゼロ点変動値記憶器から読み出す
ゼロ点変動値書込読出手段と、Ｈ．これらドリフト値書込読出手段とゼロ点変動値書込
読出手段から読み出したドリフト値及びゼロ点変動値と
を加算した加算結果を被検査体に印加した空気圧の変動
値から差し引いてドリフト補正を施す減算手段と、Ｉ．この減算手段で減算した結果を基準値と比較し、洩
れの有無を判定する判定手段と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１６】Ａ．被検査体の開口部分をシール治具
によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンク
の内部に空気圧を封じ込め、両者間に圧力差が発生する
か否かにより上記被検査体に洩れがあるか否かを判定す
る洩れ検査装置において、Ｂ．上記被検査体とシール治具の温度を測定する温度セ
ンサと、Ｃ．これら温度センサの測定結果により上記被検査体と
シール治具の温度差を求める温度差測定器と、Ｄ．校正モードで被検査体と上記シール治具との間に所
定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が
与えられている状態で被検査体と基準タンクに空気圧を
印加し、被検査体と基準タンクの間に発生する圧力差の
変動量をドリフト値として測定することを異なる温度差
毎に実行し、複数の温度差のドリフト値を記憶するため
のドリフト記憶器と、Ｅ．校正モードで上記被検査体とシール治具との間の温
度差を測定すると共に、上記被検査体と基準タンクに空
気圧を印加し、被検査体と基準タンクとの間に発生する
差圧値の変動量と上記ドリフト記憶器の上記測定した温
度差に対応したアドレスに記憶しているドリフト値との
偏差をゼロ点変動値として測定することを複数の環境温
度下で実行し、複数の環境温度のゼロ点変動値を記憶す
るためのゼロ点変動値記憶器と、Ｆ．検査モードにおいて、上記温度差測定器で算出した
被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフ
ト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読
出手段と、Ｇ．検査モードにおいて、上記温度センサで測定した温
度の何れか一方を環境温度とし、この環境温度に対応し
たゼロ点変動値を上記ゼロ点変動値記憶器から読み出す
ゼロ点変動値書込読出手段と、Ｈ．これらドリフト値書込読出手段とゼロ点変動値書込
読出手段から読み出したドリフト値及びゼロ点変動値と
を加算した加算結果を被検査体と基準タンクとの間に発
生した圧力差から差し引いてドリフト補正を施す減算手
段と、Ｉ．この減算手段で減算した結果を基準値と比較し、洩
れの有無を判定する判定手段と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１７】請求項１２、１３、１４、１５、１６
記載の洩れ検査装置の何れかにおいて、上記被検査体と
シール治具との間の温度差が予め設定した温度差の範囲
から外れた温度差であることを検出する異常温度検出器
と、この異常温度検出器が被検査体とシール治具との間
の温度差が異常値であることを検出した検出信号により
被検査体の洩れ検査を中止させる中止指令発生器とを設
けた構成としたことを特徴とする洩れ検査装置。