JPH0567895B2 - - Google Patents

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JPH0567895B2
JPH0567895B2 JP14761588A JP14761588A JPH0567895B2 JP H0567895 B2 JPH0567895 B2 JP H0567895B2 JP 14761588 A JP14761588 A JP 14761588A JP 14761588 A JP14761588 A JP 14761588A JP H0567895 B2 JPH0567895 B2 JP H0567895B2
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JP
Japan
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test
pressure
gas
tank
valve
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JP14761588A
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Takayuki Morii
Takashi Fujimoto
Teiichi Fukuoka
Kaoru Fujiwara
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TLV Co Ltd
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TLV Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、弁やトラツプなどのリーク試験に
用いられるトレーサガス、主にフロンガスを、試
験用の回路内で使用した後に回収して再使用する
ようにした試験用ガス回収装置の改良に関する。
〈従来の技術〉 従来この種の装置として、第2図に示すような
ものがある。この装置は、弁やトラツプなどの各
部の気密度を試験するために用いられるもので、
例えば、試験する弁1を装置にセツトして、第1
開閉弁V1を開き、第2開閉弁V2を閉じ、第3開
閉弁V3を開いた状態で、圧力タンク2に収容さ
れているフロンガス及び空気からなる所定圧力の
試験ガスを弁1をセツトした試験回路に導入し、
リークテスタ3で洩れ量を測定するようになつて
いる。そして、試験終了後は第1,第3開閉弁
V1,V3を閉じ、第2開閉弁V2を開いて、試験回
路内の試験ガスを真空ポンプ4、中間タンク5、
コンプレツサ6を介して圧力タンク5に回収する
ようになつている。なお、リークテスタ3はハロ
ゲンガスに敏感な電極を有するもので、トレーサ
ガスとしてはフロン−12として知られるジクロロ
ジフロロメタンがよく使用されているようである
が、他のハロゲンガスも使用できる。
〈発明が解決しようとする課題〉 前記従来のリーク試験に使用した試験用ガスの
回収装置は、試験される弁やトラツプなどの容積
の相違により、1回の試験に試験回路に導入され
る試験用ガスの量が大幅に異なる。このため、試
験ガスの回収に長時間を要する問題があり、多数
の被試験物を流れ作業で処理する場合に不都合が
多い。その原因は、一定の能力を有する真空ポン
プ4及びコンプレツサ6と、一定容積の中間タン
ク5との組合せであるから、例えば小容積の弁の
試験後の回収においては中間タンク5内は低圧で
あり、コンプレツサ6で加圧するのに時間がかか
り、逆に大容積の弁の試験後の回収においては中
間タンク5内の圧力が高くなり、真空ポンプで吸
引するのに時間がかかることにある。そして、試
験ガス供給時の圧力タンク2内の圧力は、試験回
路の試験圧力となるものであり、試験ガスの回収
が十分に行われることによつて安定を保たれるか
ら、不用意に試験ガス回収時間を短縮すると、試
験圧力が変動して測定誤差が大きくなり、また試
験回路内に試験ガスが残存したままでは、最近オ
ゾン層の破壊原因となることで問題となつている
フロンガスが大気中に排出されることになるので
好ましくない。
そこで、この発明は被試験物の容積の大小にか
かわらず、常に真空ポンプ並びにコンプレツサが
高効率で稼動できるようにすることを課題とす
る。
〈課題を解決するための手段〉 この発明の手段は、前記試験用ガス回収装置に
おいて、中間タンクの壁面の一部を外面に大気圧
の作用するダイヤフラムで形成したことを特徴と
する。
〈作用〉 中間タンクがダイヤフラムを有していることか
ら、中間タンクは内部のガス量が変化してもダイ
ヤフラムの変位により圧力は略大気圧に等しい一
定圧力に維持される。これによつて真空ポンプは
吐出側の圧力が略大気圧に等しい一定の圧力とな
るから、試験回路内のガス量の大小にかかわらず
効率良く稼動し、コンプレツサも吸込側の圧力が
略大気圧に等しい一定の圧力であるから、効率良
く稼動する。従つて、試験ガスの回収が速やかに
行われる。
〈実施例〉 第1図にこの発明の1実施例の主要部を示す。
この実施例は第2図に示した従来の装置における
中間タンク5を第1図に示す中間タンク5aと置
換えた点が相違しており、他は同じである。
中間タンク5aは、金属製の上半部10及び下
半部11とをそれぞれのフランジ部12,13の
間にダイヤフラム14の外周縁部を挟んで結合
し、下半部11とダイヤフラム14で形成される
空間が実質的なタンクとなつている。図中15は
真空ポンプ4の吐出側を接続された流入口、16
はコンプレツサ6の吸込側を接続された流出口で
あり、17は大気に開放された連通孔である。
この中間タンク5aを有する試験用ガス回収装
置は、第2図に示した装置と同様に使用でき、そ
の場合に、中間タンク5aがダイヤフラム14に
より大気圧に維持されるから、真空ポンプ4及び
コンプレツサ6が効率良く稼動する。従つて、試
験回路に導入されるガス量に変動があつても、従
来より短時間で圧力タンク2側へ回収できる。こ
れによつて圧力タンク2の圧力が変動しないか
ら、リーク試験を高精度で行うことができると共
にリーク試験工程に要する時間を短縮できる。
〈発明の効果〉 この発明によれば、試験回路に導入される試験
ガスの容積が変動しても、真空ポンプとコンプレ
ツサの効率を高く維持できるから、試験回路から
の試験ガスの回収を速やかに行うことができ、試
験工程に要する時間を従来よりも短縮できる。そ
して試験ガスの十分な回収により圧力タンクの試
験圧力が安定に保たれるから、リーク量測定によ
る合否の判定精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の試験用ガス回収装置の主要
部の概略の構造を示す縦断面図、第2図は従来の
試験用ガス回収装置の流体回路の概略を示す回路
図である。 1……試験する弁、V1……第1開閉弁、V2
…第2開閉弁、2……圧力タンク、3……リーク
テスタ、4……真空ポンプ、5a……中間タン
ク、6……コンプレツサ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 圧力タンク内の試験ガスをその圧力タンクに
    第1開閉弁を介して接続した回路内で使用した後
    その回路内の試験ガスを第2開閉弁を介して順次
    接続する真空ポンプ、中間タンク、コンプレツサ
    により回収して前記圧力タンクへ戻す試験用ガス
    回収装置において、前記中間タンクの壁面の一部
    を外面に大気圧の作用するダイヤフラムで形成し
    たことを特徴とする試験用ガス回収装置。
JP14761588A 1988-06-15 1988-06-15 試験用ガス回収装置 Granted JPH01314934A (ja)

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JP14761588A JPH01314934A (ja) 1988-06-15 1988-06-15 試験用ガス回収装置

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JP14761588A JPH01314934A (ja) 1988-06-15 1988-06-15 試験用ガス回収装置

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JPH01314934A JPH01314934A (ja) 1989-12-20
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0583497U (ja) * 1991-05-07 1993-11-12 サンデン株式会社 制振装置

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KR101951912B1 (ko) * 2017-11-28 2019-03-07 고등기술연구원연구조합 분체 밸브용 복합 성능 시험장치 및 시험방법

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