JP6002404B2 - 質量分析装置及びその使用方法、並びにガス透過特性測定方法 - Google Patents
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2 イオン化部
2a ガス導入口
2b ガス排気口
4 質量分析部
12,84,92 ヒータ
13,85 空冷ファン
Claims (9)
- 測定対象ガスとクリーニングガスとが切り替えて導入されるガス導入口、及び、前記ガス導入口から導入されたガスを排気するガス排気口を有するイオン化部と、
前記イオン化部によりイオン化されたイオンを分析する質量分析部と、
前記イオン化部を加熱するイオン化部加熱手段と、
前記イオン化部を強制的に冷却するイオン化部冷却手段と、
を備えたことを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1記載の質量分析装置を使用する方法であって、
前記イオン化部加熱手段及び前記イオン化部冷却手段のうちの少なくとも前記イオン化部加熱手段を用いて前記イオン化部を第1の温度以上に加熱した状態で、前記ガス導入口に前記クリーニングガスを導入しつつ前記ガス導入口から導入されたガスを前記ガス排気口から排気させるイオン化部クリーニング段階と、
前記イオン化部クリーニング段階の後に、前記イオン化部加熱手段及び前記イオン化部冷却手段のうちの少なくとも前記イオン化部冷却手段を用いて前記イオン化部を前記第1の温度よりも低い温度にした状態で、前記ガス導入口に前記測定対象ガスを導入しつつ前記ガス導入口からの導入されたガスを前記ガス排気口から排気させながら、前記測定対象ガスの質量分析を行う分析段階と、
を備えたことを特徴とする質量分析装置の使用方法。 - 前記イオン化部クリーニング段階において前記クリーニングガスの質量分析を行い、その分析結果に基づいて前記イオン化部内のクリーニングガス中の不純物が低減されたことを確認してから、前記イオン化部クリーニング段階を終了することを特徴とする請求項2記載の質量分析装置の使用方法。
- 前記分析段階において前記イオン化部を50゜C以下の温度にすることを特徴とする請求項2又は3記載の質量分析装置の使用方法。
- 前記質量分析装置は、前記測定対象ガスを前記ガス導入口に導く管路と、前記管路の少なくとも一部を加熱する管路加熱手段とを有し、
前記分析段階の前に行われる管路クリーニング段階であって、前記管路加熱手段を用いて前記管路の前記少なくとも一部を第2の温度以上に加熱した状態で、前記測定対象ガスに代えてクリーニングガスを前記管路の前記少なくとも一部に通流させる管路クリーニング段階を、備え、
前記分析段階は、前記管路の前記少なくとも一部を前記第2の温度よりも低い温度にした状態で行われる、
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の質量分析装置の使用方法。 - 前記測定対象ガス中の水蒸気濃度が100ppt以下であることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載の質量分析装置の使用方法。
- 被測定物のガス透過特性を測定するガス透過特性測定方法であって、前記被測定物により仕切られて画成された第1及び第2の空間が容器内に形成されるように、前記被測定物を容器内に保持し、前記第1の空間に第1のガスを通流させるとともに、前記第2の空間に前記第1のガスに含まれない成分を含む第2のガスを存在させ、前記第1の空間を通流したガスを分析することにより、前記被測定物のガス透過特性を測定するガス透過特性測定方法において、
前記第1の空間を通流したガスを前記測定対象ガスとして、請求項2乃至6のいずれかに記載の質量分析装置の使用方法を用いて、前記測定対象ガスの質量分析を行うことを特徴とするガス透過特性測定方法。 - 前記分析段階の前に行われる容器クリーニング段階であって、前記容器を加熱する容器加熱手段及び前記容器を強制的に冷却する容器冷却手段のうちの少なくとも前記容器加熱手段を用いて前記容器を第3の温度以上に加熱した状態で、前記第1及び第2の空間にそれぞれクリーニングガスを通流させる容器クリーニング段階を、備え、
前記分析段階は、前記容器加熱手段及び前記容器冷却手段のうちの少なくとも前記容器冷却手段を用いて前記容器を前記第3の温度よりも低い温度にした状態で行われる、
ことを特徴とする請求項7記載のガス透過特性測定方法。 - 前記質量分析装置は、前記測定対象ガスを前記ガス導入口に導く管路と、前記管路の少なくとも一部を加熱する管路加熱手段とを有し、
前記分析段階の前に行われる管路クリーニング段階であって、前記管路加熱手段を用いて前記管路の前記少なくとも一部を第2の温度以上に加熱した状態で、前記測定対象ガスに代えてクリーニングガスを前記管路の前記少なくとも一部に通流させる管路クリーニング段階を、備え、
前記分析段階は、前記管路の前記少なくとも一部を前記第2の温度よりも低い温度にした状態で行われ、
前記分析段階は、前記イオン化部の温度及び前記管路の前記少なくとも一部の温度を前記容器の温度よりも高い温度にした状態で行われる、
ことを特徴とする請求項8記載のガス透過特性測定方法。
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