JP7320249B2 - ガス分析装置 - Google Patents
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図1に示すように、ガス分析装置1は、ガスリザーバ2に収容した測定対象ガスを質量分析計3を用いて分析する。質量分析計3の出力結果は、コントローラ4に提供される。コントローラ4が行うデータ処理の態様は、特に限定されない。例えば、コントローラ4は、測定対象ガスの成分を同定してもよい。また、コントローラ4は、いくつかの測定対象ガスが同じ成分を有するものであるか否かを判定してもよい。
以下、ガス分析装置1の動作を説明する。図3に示すガス分析装置1の動作は、すなわち、ガス分析方法である。以下の説明では、測定対象ガスとして、2種類のガスGA、GBを例示する。これらのガスGA、GBは、2種類以上の成分を含むものであってよい。つまり、ガス分析装置1は、ガスクロマトグラフィーのように、分析対象となる成分を単離する必要がなく、複数の成分が混合されたままのガスを測定対象として受け入れることができる。
次に、ガスGAを供給する。図4の(a)部に示す状態から、ガス導入部8にシリンジ針21の一端を差し込む。次に、シリンジ針21の他端にガスリザーバ2を差し込む。そして、ガスリザーバ2からガスGAを排出する。このとき、バルブV1は閉じているので、ガスGAは、シリンジ針21、ガス導入部8を介して配管L1まで移動する(図4の(b)部参照)。次に、バルブV1を開く。このとき、バルブV2は閉じているから、ガスGAは、配管L2を介してプレタンク9まで移動する(図4の(c)部参照)。次に、バルブV1を閉じる。バルブV2は、閉じているから、プレタンク9には、ガスGAが密閉される(図4の(d)部参照)。つまり、プレタンク9の容積に対応するだけのガスGAが採取される。
ガスGAに対する第1処理(S11)を行う。第1処理は、第1イオン化エネルギに応じて生じた複数のイオンごとの強度情報A1(第1強度情報)を得る。
次に、ガスGAに対する第2処理(S12)を行う。第2処理は、第1イオン化エネルギとは異なる第2イオン化エネルギに応じて生じた複数のイオンごとの強度情報A2(第2強度情報)を得る。
次に評価情報取得部4dは、第3処理(S13)を行う。第3処理は、強度情報A1、A2を比較することにより、評価情報DAを得る。
次に、コントローラ4は、第2動作(S20)として、ガスGBを対象とした動作を行う。この動作の結果、後述する評価情報DBが(第2評価情報)得られる。第2動作は、ガスGBを対象とした第1処理(S21)、第2処理(S22)及び第3処理(S23)を含む。まず、ガスGBを供給する。この処理は、ガスGAを供給する処理と同じ手順により行われる。
ガスGBに対する第1処理(S21)を行う。第1処理の具体的な内容は、ガスGAに対する第1処理(S11)と同じである。この処理の結果、図5の(d)部に示す強度情報B1を得る。
ガスGBに対する第2処理(S22)を行う。第2処理の具体的な内容は、ガスGAに対する第2処理(S12)と同じである。この処理の結果、図5の(e)部に示す強度情報B2を得る。
ガスGBに対する第3処理(S23)を行う。第3処理の具体的な内容は、ガスGAに対する第3処理(S13)と同じである。評価情報取得部4dは、評価値dB(n)、dB(m)を含む評価情報DB(図5の(f)部参照)を記憶部4aに出力する。
コントローラ4は、第3動作(S30)として、ガスGA、GBが同じ成分であるか否かの判定を行う。
ガス分析装置1は、イオン化エネルギを測定対象ガスに与えることにより、測定対象ガスから複数のイオンを発生させるイオン発生部14及び複数のイオンに電磁気力を作用させることにより、複数のイオンを質量数ごとに検出するイオン検出部16を有する質量分析部13と、イオン発生部14を制御する動作を行うと共にイオン検出部16の出力を利用して評価情報を得る動作を行うコントローラ4と、を備える。コントローラ4は、評価情報を得る動作として、第1イオン化エネルギに応じて生じた複数のイオンの質量数ごとの強度を含む第1強度情報を得る第1処理(S11、S21)と、第1イオン化エネルギとは異なる第2イオン化エネルギに応じて生じた複数のイオンの質量数ごとの強度を含む第2強度情報を得る第2処理(S12、S22)と、第1強度情報と第2強度情報とを比較することにより、評価情報を得る第3処理(S13、S23)と、を行う。
Claims (3)
- イオン化エネルギを測定対象ガスに与えることにより、前記測定対象ガスから複数のイオンを発生させるイオン発生部及び前記複数のイオンに電磁気力を作用させることにより、前記複数のイオンを質量数ごとに検出するイオン検出部を有する質量分析部と、
前記イオン発生部を制御すると共に前記イオン検出部の出力を利用して前記測定対象ガスに関する評価情報を得る制御部と、を備え、
前記制御部は、
第1イオン化エネルギに応じて生じた前記複数のイオンの質量数ごとの強度を含む第1強度情報を得る第1処理と、
前記第1イオン化エネルギとは異なる第2イオン化エネルギに応じて生じた前記複数のイオンの質量数ごとの強度を含む第2強度情報を得る第2処理と、
前記第1強度情報と前記第2強度情報とを比較することにより、前記評価情報を得る第3処理と、を行い、
前記制御部は、
第1の前記測定対象ガスに対して、前記第1処理、前記第2処理及び前記第3処理を行うことにより、第1の前記測定対象ガスを構成する前記イオンの強度を前記質量数ごとに比較した結果である複数の第1評価値を得る第1動作と、
第2の前記測定対象ガスに対して、前記第1処理、前記第2処理及び前記第3処理を行うことにより、第2の前記測定対象ガスを構成する前記イオンの強度を前記質量数ごとに比較した結果である複数の第2評価値を得る第2動作と、
複数の前記第1評価値及び複数の前記第2評価値に基づいて、第1の前記測定対象ガスの成分が第2の前記測定対象ガスの成分と同じであるか否かを判定する第3動作と、を行い、
前記第3動作では、複数の前記第1評価値と複数の前記第2評価値とを前記質量数ごとに比較し、すくなくとも2つの前記質量数において前記第1評価値及び前記第2評価値が等価であるときに第1の前記測定対象ガスの成分が第2の前記測定対象ガスの成分と同じであるとを判定する、ガス分析装置。 - 前記測定対象ガスを収容したガスリザーバが接続されるガス導入部と、
第1バルブを介して前記ガス導入部に接続されて、前記ガス導入部から前記測定対象ガスを受け入れる第1ガス収容部と、
第2バルブを介して前記第1ガス収容部に接続されて、前記第1ガス収容部から前記測定対象ガスを受け入れる第2ガス収容部と、
前記質量分析部を収容する真空空間を形成する真空容器部と、
前記第2ガス収容部及び前記真空容器部に接続されて、前記第2ガス収容部及び前記真空容器部の内部圧力を制御する圧力制御部と、をさらに備える、請求項1に記載のガス分析装置。 - 前記第1ガス収容部の温度を制御する第1温度制御部と、
前記第2ガス収容部の温度を制御する第2温度制御部と、
前記真空容器部の温度を制御する第3温度制御部と、をさらに備える、請求項2に記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019132680A JP7320249B2 (ja) | 2019-07-18 | 2019-07-18 | ガス分析装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019132680A JP7320249B2 (ja) | 2019-07-18 | 2019-07-18 | ガス分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2021018100A JP2021018100A (ja) | 2021-02-15 |
JP7320249B2 true JP7320249B2 (ja) | 2023-08-03 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
JP (1) | JP7320249B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117288829A (zh) * | 2023-09-27 | 2023-12-26 | 武汉科益研创科技有限公司 | 一种气体生成检测系统 |
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JP2007170985A (ja) | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Hitachi Ltd | 化学物質モニタ装置および化学物質モニタ装置のクリーニング方法 |
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JP2013175321A (ja) | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Nippon Api Corp | 質量分析装置及びその使用方法、並びにガス透過特性測定方法 |
JP2015007614A (ja) | 2013-06-24 | 2015-01-15 | アジレント・テクノロジーズ・インクAgilent Technologies, Inc. | 異なる電子イオン化(ei)エネルギーを利用する電子イオン化 |
JP2016540200A (ja) | 2013-11-08 | 2016-12-22 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック (ブレーメン) ゲーエムベーハー | 同位体比分析計用のガス吸気システム |
JP2018004298A (ja) | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
-
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016540200A (ja) | 2013-11-08 | 2016-12-22 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック (ブレーメン) ゲーエムベーハー | 同位体比分析計用のガス吸気システム |
JP2018004298A (ja) | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
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---|---|
JP2021018100A (ja) | 2021-02-15 |
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