JP2010249609A - 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法 - Google Patents

水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010249609A
JP2010249609A JP2009098242A JP2009098242A JP2010249609A JP 2010249609 A JP2010249609 A JP 2010249609A JP 2009098242 A JP2009098242 A JP 2009098242A JP 2009098242 A JP2009098242 A JP 2009098242A JP 2010249609 A JP2010249609 A JP 2010249609A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
gas
water vapor
valve
amount
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009098242A
Other languages
English (en)
Inventor
Daisuke Omori
大輔 大森
Shota Kanai
庄太 金井
Takahiro Nakayama
高博 中山
Hirohiko Murakami
村上  裕彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP2009098242A priority Critical patent/JP2010249609A/ja
Publication of JP2010249609A publication Critical patent/JP2010249609A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

【課題】測定に必要なガスの量が少なく、水蒸気透過性が小さい測定対象物についても水蒸気透過性を評価することが可能な水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る水蒸気透過量測定方法は、チャンバ2を第1の室11と第2の室12との2室に区画するように測定対象物Fを配置し、第2の室12に乾燥ガスを導入し、第2の室12から乾燥ガスを排出し、第1のバルブ17及び第2のバルブ19を閉止することで乾燥ガスの導入及び乾燥ガスの排出を停止し、第1の室11に水蒸気を含む試料ガスを導入し、第2の室12と、ガス導入経路16と、ガス排出経路18とによって画成される測定空間に向け測定対象物Fを透過した、試料ガス中の水蒸気の量を測定空間で測定する。測定中は乾燥ガスの流通が停止されるため、必要な乾燥ガス量が低減され、また、測定対象物Fを透過した水蒸気が排出されることが防止される。
【選択図】図1

Description

本発明は、測定対象物の水蒸気透過量を測定するための水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法に関する。
食品包装用のフィルム等の評価要件の一つに水蒸気透過量がある。水蒸気透過量は水蒸気が測定対象物を透過する速度であり、単位時間、単位面積当たりの水蒸気の透過量(g/m/day)で表される。水蒸気透過量は、特に水蒸気が測定対象物を透過する速度が小さい場合等には非常に小さい値になり、また水蒸気は空気中に存在することもあって、高精度に測定されることが求められている。
水蒸気透過量を測定するための測定装置及び測定方法には種々の形態のものが存在する。例えば、特許文献1には、「フィルム材料のガス透過度測定装置及びガス透過度測定方法」が記載されている。
特許文献1に記載の装置及び方法では、測定対象物(フィルム材料)を介して対向する2つの室(ガス流動室)の一方に水分等の検出対象物質(特定ガス成分)を含有する暴露ガスを流し、他方にキャリアガスを流す。測定対象物を透過してキャリアガスに混入した特性ガス成分の量を検出手段(水晶発振式水分計)によって検出し、キャリアガスの流量から測定対象物を透過した水分量を算出する。
特開2003−322583号公報(段落[0033]、図1)
しかしながら、特許文献1に記載の装置及び方法では、測定対象物を透過した検出対象物質をキャリアガスにより搬送するため、測定中には常にキャリアガスを流す必要があり、測定に多量のキャリアガスが必要となるという問題がある。また、測定対象物を透過した水蒸気はキャリアガスによって排出されてしまうため、測定対象物の水蒸気透過性が非常に小さい場合、測定対象物を透過する水分量が検出手段の検出限界以下となるおそれがある。
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、測定に必要なガスの量が少なく、水蒸気透過性が小さい測定対象物についても水蒸気透過性を評価することが可能な水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る水蒸気透過量測定方法は、チャンバを第1の室と第2の室との2室に区画するように測定対象物を配置することを含む。
乾燥ガスは、ガス導入経路に設けられた第1のバルブを開放することで上記第2の室に導入され、ガス排出経路に設けられた第2のバルブを開放することで上記第2の室から排出される。
上記第2の室への乾燥ガスの導入及び上記第2の室からの乾燥ガスの排出は、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブを閉止することで停止される。
水蒸気を含む試料ガスは、上記第1の室に導入される。
上記第2の室と、上記ガス導入経路と、上記ガス排出経路とによって画成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量は上記測定空間で測定される。
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る水蒸気透過量測定装置は、チャンバと、ガス導入経路と、ガス排出経路と、弁機構と、測定器とを具備する。
上記チャンバは、測定対象物により第1の室と第2の室とに区画される。
上記ガス導入経路は、上記チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室に乾燥ガスを導入する。
上記ガス排出経路は、上記チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室から乾燥ガスを排出する。
上記弁機構は、上記ガス導入経路を開閉する第1のバルブと上記ガス排出経路を開閉する第2のバルブとを有し、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブが閉止されることで、上記第2の室と、上記ガス排出経路と、上記ガス導入経路とによって画成される測定空間を形成する。
上記測定器は、上記測定空間に配置され、上記測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量を測定する。
本発明の第1の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置の概略構成を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置の概略構成を示す図である。 本発明の第3の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置の概略構成を示す図である。
本発明の一実施形態に係る水蒸気透過量測定方法は、チャンバを第1の室と第2の室との2室に区画するように測定対象物を配置することを含む。
乾燥ガスは、ガス導入経路に設けられた第1のバルブを開放することで上記第2の室に導入され、ガス排出経路に設けられた第2のバルブを開放することで上記第2の室から排出される。
上記第2の室への乾燥ガスの導入及び上記第2の室からの乾燥ガスの排出は、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブを閉止することで停止される。
水蒸気を含む試料ガスは、上記第1の室に導入される。
上記第2の室と、上記ガス導入経路と、上記ガス排出経路とによって画成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量は上記測定空間で測定される。
水蒸気が測定される際には、第2の室への乾燥ガスの導入及び排出は停止されるため、第1の室から測定空間に向けて測定対象物を透過する水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まり、測定される。これにより、水蒸気が測定対象物を透過する速度が非常に小さい場合であっても、時間とともに測定対象物に存在する水蒸気の量が増加し、測定することが可能となる。また、乾燥ガスは測定前に第2の室に導入及び排出されるものの、測定中にあっては導入及び排出が停止されるため、測定に必要なガスの量は、測定中にもガスを流し続ける場合に比べ低減される。
上記水蒸気の量を測定する工程では、露点計によって水蒸気の量を測定してもよい。
露点計によって、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能となる。
本発明の一実施形態に係る水蒸気透過量測定装置は、チャンバと、ガス導入経路と、ガス排出経路と、弁機構と、測定器とを具備する。
上記チャンバは、測定対象物により第1の室と第2の室とに区画される。
上記ガス導入経路は、上記チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室に乾燥ガスを導入する。
上記ガス排出経路は、上記チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室から乾燥ガスを排出する。
上記弁機構は、上記ガス導入経路を開閉する第1のバルブと上記ガス排出経路を開閉する第2のバルブとを有し、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブが閉止されることで、上記第2の室と、上記ガス排出経路と、上記ガス導入経路とによって画成される測定空間を形成する。
上記測定器は、上記測定空間に配置され、上記測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量を測定する。
測定前に弁機構の第1のバルブ及び第2のバルブが開放されて、乾燥ガスが導入及び排出される。測定時には弁機構の第1のバルブ及び第2のバルブが閉止されて乾燥ガスの導入及び排出が停止される。測定時には、乾燥ガスが供給されないため、その必要量を低減することが可能である。また、測定時に測定空間に向けて測定対象物を透過した水蒸気は排出されないため、水蒸気が測定対象物を透過する速度が非常に小さい場合でも測定器によって検出することが可能である。
上記測定器は露点計であってもよい。
露点計によって、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置1(以下、測定装置1)の概略構成を示す模式図である。
同図に示すように、測定装置1は、チャンバ2と、試料ガス導入部3と、試料ガス排出部4と、乾燥ガス導入部5と、乾燥ガス排出部6と、測定器20とを有する。
試料ガス導入部3、試料ガス排出部4、乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6はそれぞれチャンバ2に接続されている。また、チャンバ2には、測定対象物であるフィルムFが取り付けられている。
チャンバ2は、第1チャンバ部7と、第2チャンバ部8と、締結具9と、ガスケット10を有する。第1チャンバ部7と第2チャンバ部8とが締結具9により締結され、ガスケット10は第1チャンバ部7と第2チャンバ部8の接合面に配置される。
第1チャンバ部7はステンレス等の材料からなり、凹部7aと、フランジ部7bとが形成されている。凹部7aの開口縁にフランジ部7bが形成され、フランジ部7bに、凹部7aの開口に沿って溝が形成されている。また凹部7aには試料ガス導入部3及び試料ガス排出部4が接続される孔が形成されている。
第2チャンバ部8はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、凹部8aと、フランジ部8bとが形成されている。凹部8aの開口縁にフランジ部8bが形成され、フランジ部8bに、凹部8aの開口に沿って溝が形成されている。また、凹部8aには乾燥ガス導入部5及び乾燥ガス排出部6が接続される孔が形成されている。
第1チャンバ部7は第2チャンバ部8と同一形状に形成されてもよく、異なる形状に形成されてもよい。ただし、凹部7aと凹部8aの開口形状及びフランジ部7bとフランジ部8bの接合面は対応する必要がある。なお、凹部8aの容積が小さくなるように第2チャンバ部8を形成することにより、フィルムFを透過した水蒸気が拡散するのに必要な時間を低減することができる。
締結具9はフランジ部7bとフランジ部8bを締結する。締結具9は例えばボルトとナット、クランプ等、着脱が容易なものが用いられる。
ガスケット10は、チャンバ2の内部と外部とをシールする。ガスケット10は例えばゴムからなるOリング等である。ガスケット10は、フランジ部7bの溝、フランジ部8bの溝にそれぞれ一つずつ嵌めこまれ、フランジ部7bとフランジ部8bが締結されるとフィルムFを介して対向し、フィルムFとフランジ部7b、フィルムFとフランジ部8bとの間のガスの連通を遮断する。
フィルムFが取り付けられた状態で第1チャンバ部7と第2チャンバ部8が結合されると、チャンバ2内に、凹部7aとフィルムFで囲まれた第1室11と、凹部8aとフィルムFで囲まれた第2室12の二室が形成される。
試料ガス導入部3は、第1室11にキャリアガス及び水蒸気の混合ガス(試料ガス)を供給する。試料ガス導入部3は試料ガス導入管13と水蒸気発生器14を有する。水蒸気発生器14は試料ガス導入管13に直列に設けられている。試料ガス導入部3は、ガス流量を調節し、あるいはガスを遮断するバルブを有していてもよい。
試料ガス導入管13は、キャリアガス及び試料ガスが流通する配管である。試料ガス導入管13は、第1室11と図示しないキャリアガス供給機構を接続する。
水蒸気発生器14は、水蒸気を発生させ、キャリアガス中に水蒸気を供給する。水蒸気発生器14は例えば、液体の水を加熱することによって水蒸気を発生させる。水蒸気発生器14は、発生した水蒸気の圧力を制御する機構を備える。
試料ガス排出部4は、第1室11から試料ガスを排出する。試料ガス排出部4は試料ガス排出管15を有する。試料ガス排出部4は、ガス流量を調節し、あるいはガスを遮断するバルブ有していてもよい。
試料ガス排出管15は、試料ガスが流通する配管である。試料ガス排出管15は、第1室11と図示しない試料ガス排出機構を接続する。
乾燥ガス導入部5は、第2室12に乾燥ガスを供給する。乾燥ガス導入部5は乾燥ガス導入管16と第1バルブ17を有する。第1バルブ17は乾燥ガス導入管16上に配置されている。
乾燥ガス導入管16は、乾燥ガスが流通する配管である。乾燥ガス導入管16はステンレス等の、水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料により形成されている。乾燥ガス導入管16は、第2室12と図示しない乾燥ガス供給機構を接続する。
第1バルブ17は、乾燥ガス導入管16を遮断し、あるいは開放する。
乾燥ガス排出部6は、第2室12から乾燥ガスを排出する。乾燥ガス排出部6は乾燥ガス排出管18、第2バルブ19を有する。第2バルブ19は乾燥ガス排出管18に上に配置されている。
乾燥ガス排出管18は、乾燥ガスが流通する配管である。乾燥ガス排出管18はステンレスなどの、水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料により形成されている。乾燥ガス排出管18は、第2室12と図示しない乾燥ガス排出機構を接続する。
第2バルブ19は、乾燥ガス排出管18を遮断し、あるいは開放する。
測定器20は、水蒸気量を測定する。測定器20は、乾燥ガス排出管18上の第2バルブ19よりチャンバ2側に配置されており、第2室12の水蒸気を含有するガスの水蒸気量を測定する。測定器20は、水蒸気量(湿度)を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。このうち、露点計を用いることにより、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能である。なお、測定器20はセンサ部のみが乾燥ガス排出管18内に配置されてもよい。
なお、測定装置1は、測定装置1及び流通する気体の温度を一定に保つためのヒーター等を有していてもよい。
測定装置1は以上のように構成される。
以下、測定装置1の動作を説明する。
第1チャンバ部7のフランジ部7bと、第2チャンバ部8のフランジ部8bの間に測定対象物であるフィルムFがセットされ、測定装置1の温度が一定に維持される。
第1バルブ17及び第2バルブ19が開放され、乾燥ガス供給機構から乾燥ガスが供給される。乾燥ガスは、十分に乾燥されたガス、例えば露点温度−70℃の窒素ガスである。乾燥ガスは、乾燥ガス導入管16、第2室12、乾燥ガス排出管18を流通して乾燥ガス排出機構に排出される。乾燥ガスは経路中に収容されている気体を追い出し、壁面に吸着している水分を除去するのに十分な量が流通される。この際、測定器20により乾燥ガスの水分量を測定しながら流通させてもよい。
次に、第1バルブ17及び第2バルブ19を閉止し、乾燥ガス導入管16及び乾燥ガス排出管18を遮断する。乾燥ガスはこれ以降流通されることがないため、測定中に消費されず、使用量を低減することが可能である。この際、第1バルブ17を先に閉止することにより、第2室12内の圧力を大気圧とすることができる。
次に、キャリアガス供給機構からキャリアガスが供給される。キャリアガスは、例えば窒素ガスである。また、水蒸気発生器14から水蒸気が発生し、キャリアガスに水蒸気が混合されて試料ガスが形成される。試料ガスは、試料ガス導入管13、第1室11、試料ガス排出管15を流通して、試料ガス排出機構に排出される。
必要に応じて、キャリアガスの流量、水蒸気の発生量、試料ガスの温度などの各パラメータが調節される。
第1室11に試料ガスが導入された時点から測定器20により水蒸気量の測定が開始される。第1室11に導入された試料ガスに含有される水蒸気はフィルムFを透過し、第2室12に浸入する。ここで、第2室12内にはガスフローがないため、第2室12に浸入した水蒸気は濃度勾配により、第2室12内、乾燥ガス導入管16内(第1バルブ17よりチャンバ2側)及び乾燥ガス排出管18内(第2バルブ19よりチャンバ2側)(以下、測定空間)に拡散し、測定器20に到達する。測定器20により測定された水蒸気量と、フィルムFの面積(第1室11と第2室12を隔てている領域のみ)と、測定経過時間から、水蒸気透過量(g/m/day)が得られる。
測定空間は第1バルブ17及び第2バルブ19により外部と隔絶されているため、フィルムFを透過した水蒸気は排出されず、測定空間内に留まる。このため、フィルムFを透過する速度が小さい場合であっても、時間の経過と共に測定空間内の存在量が増大して測定器20の検出限界以上となり、測定することが可能となる。
以上のように、本実施形態に係る測定装置1及びこれを用いる測定方法により、測定対象物(フィルムF)の水蒸気透過量が測定される。乾燥ガスは測定中は供給されないため、その必要量を少ないものとすることが可能である。また、フィルムFを透過した水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まるため、水蒸気がフィルムFを透過する速度が小さい場合であっても測定することが可能となる。
(第2の実施形態)
図2は、第2の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置30(以下、測定装置30)の概略構成を示す模式図である。測定装置30は第1の実施形態に係る測定装置1と測定器の配置が異なる。なお、測定装置30について、第1の実施形態に係る測定装置1と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
測定器31は、水蒸気量を測定する。測定器31は、第2室12内に配置されている。測定器31は、水蒸気量(湿度)を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。このうち、露点計を用いることにより、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能である。なお、測定器31はセンサ部のみが第2室12内に配置されてもよい。また、測定器31を第2室12内に配置した場合には、チャンバ2自体に露点計が組み込まれているので、フィルムFを透過した水分を検出しやすい。
以上のように構成された測定装置30を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第1の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定装置30及びこれを用いる測定方法により、測定対象物(フィルムF)の水蒸気透過量が測定される。乾燥ガスは測定中は供給されないため、その必要量を少ないものとすることが可能である。また、フィルムFを透過した水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まるため、水蒸気がフィルムFを透過する速度が小さい場合であっても測定することが可能となる。
(第3の実施形態)
図3は、第3の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置40(以下、測定装置40)の概略構成を示す模式図である。測定装置40は第1の実施形態に係る測定装置1及び第2の実施形態に係る測定装置30と測定器の配置が異なる。なお、測定装置40について、第1の実施形態に係る測定装置1と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
測定器41は、水蒸気量を測定する。測定器41は、乾燥ガス導入管16上の第1バルブ17よりチャンバ2側に配置されている。測定器41は、水蒸気量(湿度)を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。このうち、露点計を用いることにより、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能である。なお、測定器41はセンサ部のみが乾燥ガス導入管16内に配置されてもよい。
以上のように構成された測定装置40を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第1の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定装置40及びこれを用いる測定方法により、測定対象物(フィルムF)の水蒸気透過量が測定される。乾燥ガスは測定中は供給されないため、その必要量を少ないものとすることが可能である。また、フィルムFを透過した水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まるため、水蒸気がフィルムFを透過する速度が小さい場合であっても測定することが可能となる。
本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得る。
上述の各実施形態に係る水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法において、測定対象物はフィルム状としたがこれに限られない。例えば板状であってもよい。
1 水蒸気透過量測定装置
2 チャンバ
11 第1室
12 第2室
16 乾燥ガス導入管
17 第1バルブ
18 乾燥ガス排出管
19 第2バルブ
20 測定器
30 水蒸気透過量測定装置
31 測定器
40 水蒸気透過量測定装置
41 測定器

Claims (4)

  1. チャンバを第1の室と第2の室との2室に区画するように測定対象物を配置し、
    ガス導入経路に設けられた第1のバルブを開放することで前記第2の室に乾燥ガスを導入し、ガス排出経路に設けられた第2のバルブを開放することで前記第2の室から乾燥ガスを排出し、
    前記第1のバルブ及び前記第2のバルブを閉止することで前記第2の室への乾燥ガスの導入及び前記第2の室からの乾燥ガスの排出を停止し、
    前記第1の室に水蒸気を含む試料ガスを導入し、
    前記第2の室と、前記ガス導入経路と、前記ガス排出経路とによって画成される測定空間に向けて前記測定対象物を透過した、前記試料ガス中の水蒸気の量を前記測定空間で測定する
    水蒸気透過量測定方法。
  2. 請求項1に記載の水蒸気透過量測定方法であって、
    前記水蒸気の量を測定する工程では、露点計によって水蒸気の量を測定する
    水蒸気透過量測定方法。
  3. 測定対象物により第1の室と第2の室とに区画されるチャンバと、
    前記チャンバの前記第2の室に接続され、前記第2の室に乾燥ガスを導入するガス導入経路と、
    前記チャンバの前記第2の室に接続され、前記第2の室から乾燥ガスを排出するガス排出経路と、
    前記ガス導入経路を開閉する第1のバルブと前記ガス排出経路を開閉する第2のバルブとを有し、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブが閉止されることで、前記第2の室と、前記ガス排出経路と、前記ガス導入経路とによって画成される測定空間を形成する弁機構と、
    前記測定空間に配置され、前記測定空間に向けて前記測定対象物を透過した、前記試料ガス中の水蒸気の量を測定する測定器と
    を具備する水蒸気透過量測定装置。
  4. 請求項3に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
    前記測定器は露点計である
    水蒸気透過量測定装置。
JP2009098242A 2009-04-14 2009-04-14 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法 Pending JP2010249609A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009098242A JP2010249609A (ja) 2009-04-14 2009-04-14 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009098242A JP2010249609A (ja) 2009-04-14 2009-04-14 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010249609A true JP2010249609A (ja) 2010-11-04

Family

ID=43312116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009098242A Pending JP2010249609A (ja) 2009-04-14 2009-04-14 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010249609A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013003028A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd 測定装置および測定方法
JP2013003029A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd ガス透過セル、ガス透過度測定装置、及びガス透過度測定方法
CN103196810A (zh) * 2013-04-09 2013-07-10 海宁长宇镀铝材料有限公司 一种镀铝pet薄膜透湿性检测装置
CN103439240A (zh) * 2013-09-09 2013-12-11 南京林业大学 木质材料透湿性试验装置
JP2014160069A (ja) * 2013-02-12 2014-09-04 Fraunhofer-Ges Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev バリア材の透過度を測定する方法及び装置
JP2015190884A (ja) * 2014-03-28 2015-11-02 三菱電機株式会社 ガス透過度測定装置
KR20160089895A (ko) * 2013-11-26 2016-07-28 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈 샘플 홀더 및 관련 투과 장치
CN109357989A (zh) * 2018-12-14 2019-02-19 温州际高检测仪器有限公司 一种新型微量透气测试仪
WO2022267218A1 (zh) * 2021-06-24 2022-12-29 华中科技大学 渗透率检测设备与检测方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04329337A (ja) * 1991-04-30 1992-11-18 Kikkoman Corp フイルムの気体透過率の測定方法
JP2003322583A (ja) * 2002-02-26 2003-11-14 Nippon Api Corp リーク検査方法及び被検査物、並びに、ガス透過特性測定方法及び被測定物
WO2009041632A1 (ja) * 2007-09-28 2009-04-02 Ulvac, Inc. 水蒸気透過度を測定するための装置とその方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04329337A (ja) * 1991-04-30 1992-11-18 Kikkoman Corp フイルムの気体透過率の測定方法
JP2003322583A (ja) * 2002-02-26 2003-11-14 Nippon Api Corp リーク検査方法及び被検査物、並びに、ガス透過特性測定方法及び被測定物
WO2009041632A1 (ja) * 2007-09-28 2009-04-02 Ulvac, Inc. 水蒸気透過度を測定するための装置とその方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013003029A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd ガス透過セル、ガス透過度測定装置、及びガス透過度測定方法
JP2013003028A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd 測定装置および測定方法
JP2014160069A (ja) * 2013-02-12 2014-09-04 Fraunhofer-Ges Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev バリア材の透過度を測定する方法及び装置
CN103196810A (zh) * 2013-04-09 2013-07-10 海宁长宇镀铝材料有限公司 一种镀铝pet薄膜透湿性检测装置
CN103439240A (zh) * 2013-09-09 2013-12-11 南京林业大学 木质材料透湿性试验装置
CN103439240B (zh) * 2013-09-09 2015-08-12 南京林业大学 木质材料透湿性试验装置
KR102214258B1 (ko) 2013-11-26 2021-02-08 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈 샘플 홀더 및 관련 투과 장치
KR20160089895A (ko) * 2013-11-26 2016-07-28 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈 샘플 홀더 및 관련 투과 장치
JP2017502255A (ja) * 2013-11-26 2017-01-19 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ サンプルホルダおよび関連する浸透装置
JP2015190884A (ja) * 2014-03-28 2015-11-02 三菱電機株式会社 ガス透過度測定装置
CN109357989B (zh) * 2018-12-14 2020-12-01 温州际高检测仪器有限公司 一种新型微量透气测试仪
CN109357989A (zh) * 2018-12-14 2019-02-19 温州际高检测仪器有限公司 一种新型微量透气测试仪
WO2022267218A1 (zh) * 2021-06-24 2022-12-29 华中科技大学 渗透率检测设备与检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010249609A (ja) 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法
WO2011132391A1 (ja) 透湿度測定装置及び透湿度測定方法
TWI429895B (zh) Measurement device for water vapor permeability and method thereof
JP4596928B2 (ja) フィルム材料のガス透過度測定装置及びガス透過度測定方法
JP4604046B2 (ja) 容器壁のガス透過性を測定する方法および測定装置を備えたコーティング設備
US20100110437A1 (en) Gas analyzer
US20070227233A1 (en) Method and apparatus for measuring the rate of permeation
JP2010503850A (ja) フィルム体および容器の壁部を通過するガスの透過度測定方法並びに装置
US20220074890A1 (en) System having a pre-separation unit
JP2010190751A (ja) フィルム材料のガス透過度測定装置及びガス透過度測定方法
US10514317B2 (en) Gas density increase measurement in a film chamber
KR20150113090A (ko) 가스 배리어성 평가장치 및 평가방법
KR20150110779A (ko) 가스 배리어성 평가장치 및 평가방법
CN103983532B (zh) 一种测试材料释气率的装置及方法
JP7041665B2 (ja) ガスバリア性評価装置およびガスバリア性評価方法
AU2008363810A1 (en) Gas analyzer
JP6002404B2 (ja) 質量分析装置及びその使用方法、並びにガス透過特性測定方法
JP5734109B2 (ja) 測定装置および測定方法
JP5275473B2 (ja) 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法
US5996397A (en) Reactive gas sampling/analyzing hygrometry system
TW202113320A (zh) 填充液體樣本的滲漏試驗方法
JP2011002303A (ja) 水蒸気透過量測定装置
US9261451B2 (en) Device and method for determining the permeation rate of barrier elements and ultra-barrier elements
JP2004279254A (ja) 試料の水蒸気透過速度測定方法
JP4042638B2 (ja) 赤外線ガス分析装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20120119

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20130215

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130226

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130716