JP2010249609A - Instrument and method for measuring permeation amount of steam - Google Patents

Instrument and method for measuring permeation amount of steam Download PDF

Info

Publication number
JP2010249609A
JP2010249609A JP2009098242A JP2009098242A JP2010249609A JP 2010249609 A JP2010249609 A JP 2010249609A JP 2009098242 A JP2009098242 A JP 2009098242A JP 2009098242 A JP2009098242 A JP 2009098242A JP 2010249609 A JP2010249609 A JP 2010249609A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
gas
water vapor
valve
amount
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009098242A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Daisuke Omori
大輔 大森
Shota Kanai
庄太 金井
Takahiro Nakayama
高博 中山
Hirohiko Murakami
村上　　裕彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP2009098242A priority Critical patent/JP2010249609A/en
Publication of JP2010249609A publication Critical patent/JP2010249609A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an instrument for measuring the permeation amount of steam, evaluating the permeability of steam even with respect to a measuring target little in the amount of gas necessary for measurement and low in the permeability of steam, and also to provide a method for measuring the permeation amount of steam. <P>SOLUTION: In the method for measuring the permeation amount of steam, the measuring target F is arranged so as to demarcate a chamber 2 into two chambers, that is, a first chamber 11 and a second chamber 12, drying gas is introduced into the second chamber 12 while the drying gas is discharged from the second chamber 12, the introduction of the drying gas and the discharge of the drying gas are stopped by closing a first valve 17 and a second valve 19, sample gas containing steam is introduced into the first chamber 11 and the amount of steam in the sample gas, which is permeated through the measuring target F toward the measuring space demarcated by the second chamber 12, a gas introducing route 16 and a gas discharge route 18, is measured in the measuring space. Since the flowing of the drying gas is stopped during measurement, the necessary amount of the drying gas is reduced and the steam permeated through the measuring target F is prevented from being discharged. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、測定対象物の水蒸気透過量を測定するための水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法に関する。   The present invention relates to a water vapor transmission amount measuring device and a water vapor transmission amount measurement method for measuring the water vapor transmission amount of a measurement object.

食品包装用のフィルム等の評価要件の一つに水蒸気透過量がある。水蒸気透過量は水蒸気が測定対象物を透過する速度であり、単位時間、単位面積当たりの水蒸気の透過量（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）で表される。水蒸気透過量は、特に水蒸気が測定対象物を透過する速度が小さい場合等には非常に小さい値になり、また水蒸気は空気中に存在することもあって、高精度に測定されることが求められている。 One of the evaluation requirements for food packaging films is the amount of water vapor permeation. The water vapor transmission rate is the rate at which water vapor passes through the measurement object, and is expressed by the water vapor transmission rate (g / m 2 / day) per unit time and unit area. The amount of water vapor permeation is very small, especially when the speed at which water vapor permeates the measurement object is low, and since water vapor is present in the air, it must be measured with high accuracy. It has been.

水蒸気透過量を測定するための測定装置及び測定方法には種々の形態のものが存在する。例えば、特許文献１には、「フィルム材料のガス透過度測定装置及びガス透過度測定方法」が記載されている。   There are various types of measuring apparatuses and measuring methods for measuring the water vapor transmission rate. For example, Patent Document 1 describes “a gas permeability measuring device and a gas permeability measuring method of a film material”.

特許文献１に記載の装置及び方法では、測定対象物（フィルム材料）を介して対向する２つの室（ガス流動室）の一方に水分等の検出対象物質（特定ガス成分）を含有する暴露ガスを流し、他方にキャリアガスを流す。測定対象物を透過してキャリアガスに混入した特性ガス成分の量を検出手段（水晶発振式水分計）によって検出し、キャリアガスの流量から測定対象物を透過した水分量を算出する。   In the apparatus and method described in Patent Document 1, an exposure gas containing a detection target substance (specific gas component) such as moisture in one of two chambers (gas flow chambers) opposed via a measurement target (film material). And a carrier gas to the other. The amount of the characteristic gas component that has permeated through the measurement object and mixed into the carrier gas is detected by a detection means (quartz oscillation type moisture meter), and the amount of moisture that has permeated through the measurement object is calculated from the flow rate of the carrier gas.

特開２００３−３２２５８３号公報（段落[００３３]、図１）JP 2003-322583 A (paragraph [0033], FIG. 1)

しかしながら、特許文献１に記載の装置及び方法では、測定対象物を透過した検出対象物質をキャリアガスにより搬送するため、測定中には常にキャリアガスを流す必要があり、測定に多量のキャリアガスが必要となるという問題がある。また、測定対象物を透過した水蒸気はキャリアガスによって排出されてしまうため、測定対象物の水蒸気透過性が非常に小さい場合、測定対象物を透過する水分量が検出手段の検出限界以下となるおそれがある。   However, in the apparatus and method described in Patent Document 1, since the detection target substance that has passed through the measurement target is transported by the carrier gas, it is necessary to always flow the carrier gas during the measurement, and a large amount of carrier gas is required for the measurement. There is a problem that it is necessary. In addition, since water vapor that has passed through the measurement object is discharged by the carrier gas, if the water vapor permeability of the measurement object is very small, the amount of water that passes through the measurement object may be below the detection limit of the detection means. There is.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、測定に必要なガスの量が少なく、水蒸気透過性が小さい測定対象物についても水蒸気透過性を評価することが可能な水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法を提供することにある。   In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a water vapor transmission measuring device capable of evaluating water vapor permeability even for a measurement object with a small amount of gas required for measurement and low water vapor permeability, and The object is to provide a method for measuring water vapor transmission.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る水蒸気透過量測定方法は、チャンバを第１の室と第２の室との２室に区画するように測定対象物を配置することを含む。
乾燥ガスは、ガス導入経路に設けられた第１のバルブを開放することで上記第２の室に導入され、ガス排出経路に設けられた第２のバルブを開放することで上記第２の室から排出される。
上記第２の室への乾燥ガスの導入及び上記第２の室からの乾燥ガスの排出は、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブを閉止することで停止される。
水蒸気を含む試料ガスは、上記第１の室に導入される。
上記第２の室と、上記ガス導入経路と、上記ガス排出経路とによって画成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量は上記測定空間で測定される。 In order to achieve the above object, a method for measuring a water vapor transmission rate according to an aspect of the present invention includes disposing a measurement object so as to partition a chamber into two chambers, a first chamber and a second chamber. .
The dry gas is introduced into the second chamber by opening the first valve provided in the gas introduction path, and the second chamber is opened by opening the second valve provided in the gas discharge path. Discharged from.
The introduction of the dry gas into the second chamber and the discharge of the dry gas from the second chamber are stopped by closing the first valve and the second valve.
A sample gas containing water vapor is introduced into the first chamber.
The amount of water vapor in the sample gas that has passed through the measurement object toward the measurement space defined by the second chamber, the gas introduction path, and the gas discharge path is measured in the measurement space. Is done.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る水蒸気透過量測定装置は、チャンバと、ガス導入経路と、ガス排出経路と、弁機構と、測定器とを具備する。
上記チャンバは、測定対象物により第１の室と第２の室とに区画される。
上記ガス導入経路は、上記チャンバの上記第２の室に接続され、上記第２の室に乾燥ガスを導入する。
上記ガス排出経路は、上記チャンバの上記第２の室に接続され、上記第２の室から乾燥ガスを排出する。
上記弁機構は、上記ガス導入経路を開閉する第１のバルブと上記ガス排出経路を開閉する第２のバルブとを有し、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されることで、上記第２の室と、上記ガス排出経路と、上記ガス導入経路とによって画成される測定空間を形成する。
上記測定器は、上記測定空間に配置され、上記測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量を測定する。 In order to achieve the above object, a water vapor permeation amount measuring apparatus according to an embodiment of the present invention includes a chamber, a gas introduction path, a gas discharge path, a valve mechanism, and a measuring instrument.
The chamber is divided into a first chamber and a second chamber by a measurement object.
The gas introduction path is connected to the second chamber of the chamber and introduces a dry gas into the second chamber.
The gas discharge path is connected to the second chamber of the chamber and discharges dry gas from the second chamber.
The valve mechanism includes a first valve that opens and closes the gas introduction path and a second valve that opens and closes the gas discharge path, and the first valve and the second valve are closed. A measurement space defined by the second chamber, the gas discharge path, and the gas introduction path is formed.
The measuring device is disposed in the measurement space, and measures the amount of water vapor in the sample gas that has passed through the measurement object toward the measurement space.

本発明の第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the water vapor permeation | transmission amount measuring apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the water-vapor-permeation amount measuring apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the water-vapor-permeation amount measuring apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.

本発明の一実施形態に係る水蒸気透過量測定方法は、チャンバを第１の室と第２の室との２室に区画するように測定対象物を配置することを含む。
乾燥ガスは、ガス導入経路に設けられた第１のバルブを開放することで上記第２の室に導入され、ガス排出経路に設けられた第２のバルブを開放することで上記第２の室から排出される。
上記第２の室への乾燥ガスの導入及び上記第２の室からの乾燥ガスの排出は、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブを閉止することで停止される。
水蒸気を含む試料ガスは、上記第１の室に導入される。
上記第２の室と、上記ガス導入経路と、上記ガス排出経路とによって画成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量は上記測定空間で測定される。 A method for measuring a water vapor transmission amount according to an embodiment of the present invention includes disposing a measurement object so as to divide a chamber into two chambers, a first chamber and a second chamber.
The dry gas is introduced into the second chamber by opening the first valve provided in the gas introduction path, and the second chamber is opened by opening the second valve provided in the gas discharge path. Discharged from.
The introduction of the dry gas into the second chamber and the discharge of the dry gas from the second chamber are stopped by closing the first valve and the second valve.
A sample gas containing water vapor is introduced into the first chamber.
The amount of water vapor in the sample gas that has passed through the measurement object toward the measurement space defined by the second chamber, the gas introduction path, and the gas discharge path is measured in the measurement space. Is done.

水蒸気が測定される際には、第２の室への乾燥ガスの導入及び排出は停止されるため、第１の室から測定空間に向けて測定対象物を透過する水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まり、測定される。これにより、水蒸気が測定対象物を透過する速度が非常に小さい場合であっても、時間とともに測定対象物に存在する水蒸気の量が増加し、測定することが可能となる。また、乾燥ガスは測定前に第２の室に導入及び排出されるものの、測定中にあっては導入及び排出が停止されるため、測定に必要なガスの量は、測定中にもガスを流し続ける場合に比べ低減される。   When the water vapor is measured, since the introduction and discharge of the dry gas to the second chamber is stopped, the water vapor that permeates the measurement object from the first chamber toward the measurement space is not discharged. It stays in the measurement space and is measured. As a result, even when the speed at which water vapor passes through the measurement object is very small, the amount of water vapor present in the measurement object increases with time, and measurement is possible. In addition, although dry gas is introduced and discharged into the second chamber before measurement, since introduction and discharge are stopped during measurement, the amount of gas required for measurement is the same as during measurement. It is reduced compared to the case where the flow is continued.

上記水蒸気の量を測定する工程では、露点計によって水蒸気の量を測定してもよい。   In the step of measuring the amount of water vapor, the amount of water vapor may be measured by a dew point meter.

露点計によって、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能となる。   With a dew point meter, it becomes possible to measure a small amount of water vapor with high accuracy.

本発明の一実施形態に係る水蒸気透過量測定装置は、チャンバと、ガス導入経路と、ガス排出経路と、弁機構と、測定器とを具備する。
上記チャンバは、測定対象物により第１の室と第２の室とに区画される。
上記ガス導入経路は、上記チャンバの上記第２の室に接続され、上記第２の室に乾燥ガスを導入する。
上記ガス排出経路は、上記チャンバの上記第２の室に接続され、上記第２の室から乾燥ガスを排出する。
上記弁機構は、上記ガス導入経路を開閉する第１のバルブと上記ガス排出経路を開閉する第２のバルブとを有し、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されることで、上記第２の室と、上記ガス排出経路と、上記ガス導入経路とによって画成される測定空間を形成する。
上記測定器は、上記測定空間に配置され、上記測定空間に向けて上記測定対象物を透過した、上記試料ガス中の水蒸気の量を測定する。 A water vapor transmission amount measurement device according to an embodiment of the present invention includes a chamber, a gas introduction path, a gas discharge path, a valve mechanism, and a measuring instrument.
The chamber is divided into a first chamber and a second chamber by a measurement object.
The gas introduction path is connected to the second chamber of the chamber and introduces a dry gas into the second chamber.
The gas discharge path is connected to the second chamber of the chamber and discharges dry gas from the second chamber.
The valve mechanism includes a first valve that opens and closes the gas introduction path and a second valve that opens and closes the gas discharge path, and the first valve and the second valve are closed. A measurement space defined by the second chamber, the gas discharge path, and the gas introduction path is formed.
The measuring device is disposed in the measurement space, and measures the amount of water vapor in the sample gas that has passed through the measurement object toward the measurement space.

測定前に弁機構の第１のバルブ及び第２のバルブが開放されて、乾燥ガスが導入及び排出される。測定時には弁機構の第１のバルブ及び第２のバルブが閉止されて乾燥ガスの導入及び排出が停止される。測定時には、乾燥ガスが供給されないため、その必要量を低減することが可能である。また、測定時に測定空間に向けて測定対象物を透過した水蒸気は排出されないため、水蒸気が測定対象物を透過する速度が非常に小さい場合でも測定器によって検出することが可能である。   Before the measurement, the first valve and the second valve of the valve mechanism are opened, and the dry gas is introduced and discharged. At the time of measurement, the first valve and the second valve of the valve mechanism are closed to stop the introduction and discharge of the dry gas. Since dry gas is not supplied at the time of measurement, the required amount can be reduced. Further, since water vapor that has passed through the measurement object toward the measurement space at the time of measurement is not discharged, even if the speed at which the water vapor passes through the measurement object is very small, it can be detected by the measuring instrument.

上記測定器は露点計であってもよい。   The measuring device may be a dew point meter.

露点計によって、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能となる。   With a dew point meter, it becomes possible to measure a small amount of water vapor with high accuracy.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置１（以下、測定装置１）の概略構成を示す模式図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a water vapor transmission amount measuring device 1 (hereinafter, measuring device 1) according to the first embodiment.

同図に示すように、測定装置１は、チャンバ２と、試料ガス導入部３と、試料ガス排出部４と、乾燥ガス導入部５と、乾燥ガス排出部６と、測定器２０とを有する。
試料ガス導入部３、試料ガス排出部４、乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６はそれぞれチャンバ２に接続されている。また、チャンバ２には、測定対象物であるフィルムＦが取り付けられている。 As shown in FIG. 1, the measuring apparatus 1 includes a chamber 2, a sample gas introduction unit 3, a sample gas discharge unit 4, a dry gas introduction unit 5, a dry gas discharge unit 6, and a measuring instrument 20. .
The sample gas introduction unit 3, the sample gas discharge unit 4, the dry gas introduction unit 5, and the dry gas discharge unit 6 are each connected to the chamber 2. The chamber 2 is attached with a film F which is an object to be measured.

チャンバ２は、第１チャンバ部７と、第２チャンバ部８と、締結具９と、ガスケット１０を有する。第１チャンバ部７と第２チャンバ部８とが締結具９により締結され、ガスケット１０は第１チャンバ部７と第２チャンバ部８の接合面に配置される。   The chamber 2 includes a first chamber part 7, a second chamber part 8, a fastener 9, and a gasket 10. The first chamber portion 7 and the second chamber portion 8 are fastened by a fastener 9, and the gasket 10 is disposed on the joint surface between the first chamber portion 7 and the second chamber portion 8.

第１チャンバ部７はステンレス等の材料からなり、凹部７ａと、フランジ部７ｂとが形成されている。凹部７ａの開口縁にフランジ部７ｂが形成され、フランジ部７ｂに、凹部７ａの開口に沿って溝が形成されている。また凹部７ａには試料ガス導入部３及び試料ガス排出部４が接続される孔が形成されている。   The first chamber portion 7 is made of a material such as stainless steel, and has a concave portion 7a and a flange portion 7b. A flange portion 7b is formed at the opening edge of the recess 7a, and a groove is formed in the flange portion 7b along the opening of the recess 7a. In addition, a hole for connecting the sample gas introduction part 3 and the sample gas discharge part 4 is formed in the recess 7a.

第２チャンバ部８はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、凹部８ａと、フランジ部８ｂとが形成されている。凹部８ａの開口縁にフランジ部８ｂが形成され、フランジ部８ｂに、凹部８ａの開口に沿って溝が形成されている。また、凹部８ａには乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６が接続される孔が形成されている。   The second chamber portion 8 is made of a material having low adsorptivity and permeability to water vapor such as stainless steel, and has a concave portion 8a and a flange portion 8b. A flange portion 8b is formed at the opening edge of the recess 8a, and a groove is formed in the flange portion 8b along the opening of the recess 8a. The recess 8a is formed with a hole to which the dry gas introduction part 5 and the dry gas discharge part 6 are connected.

第１チャンバ部７は第２チャンバ部８と同一形状に形成されてもよく、異なる形状に形成されてもよい。ただし、凹部７ａと凹部８ａの開口形状及びフランジ部７ｂとフランジ部８ｂの接合面は対応する必要がある。なお、凹部８ａの容積が小さくなるように第２チャンバ部８を形成することにより、フィルムＦを透過した水蒸気が拡散するのに必要な時間を低減することができる。   The first chamber portion 7 may be formed in the same shape as the second chamber portion 8 or may be formed in a different shape. However, the opening shapes of the recess 7a and the recess 8a and the joint surfaces of the flange portion 7b and the flange portion 8b need to correspond. In addition, the time required for the water vapor | steam which permeate | transmitted the film F to diffuse can be reduced by forming the 2nd chamber part 8 so that the volume of the recessed part 8a may become small.

締結具９はフランジ部７ｂとフランジ部８ｂを締結する。締結具９は例えばボルトとナット、クランプ等、着脱が容易なものが用いられる。
ガスケット１０は、チャンバ２の内部と外部とをシールする。ガスケット１０は例えばゴムからなるＯリング等である。ガスケット１０は、フランジ部７ｂの溝、フランジ部８ｂの溝にそれぞれ一つずつ嵌めこまれ、フランジ部７ｂとフランジ部８ｂが締結されるとフィルムＦを介して対向し、フィルムＦとフランジ部７ｂ、フィルムＦとフランジ部８ｂとの間のガスの連通を遮断する。 The fastener 9 fastens the flange portion 7b and the flange portion 8b. As the fastener 9, for example, a bolt, a nut, a clamp, or the like that can be easily attached and detached is used.
The gasket 10 seals the inside and the outside of the chamber 2. The gasket 10 is, for example, an O-ring made of rubber. The gasket 10 is fitted into the groove of the flange portion 7b and the groove of the flange portion 8b one by one. When the flange portion 7b and the flange portion 8b are fastened, the gasket 10 faces through the film F, and the film F and the flange portion 7b. The communication of the gas between the film F and the flange portion 8b is blocked.

フィルムＦが取り付けられた状態で第１チャンバ部７と第２チャンバ部８が結合されると、チャンバ２内に、凹部７ａとフィルムＦで囲まれた第１室１１と、凹部８ａとフィルムＦで囲まれた第２室１２の二室が形成される。   When the first chamber portion 7 and the second chamber portion 8 are coupled with the film F attached, the first chamber 11 surrounded by the recess 7a and the film F, the recess 8a, and the film F are contained in the chamber 2. Two chambers of the second chamber 12 surrounded by are formed.

試料ガス導入部３は、第１室１１にキャリアガス及び水蒸気の混合ガス（試料ガス）を供給する。試料ガス導入部３は試料ガス導入管１３と水蒸気発生器１４を有する。水蒸気発生器１４は試料ガス導入管１３に直列に設けられている。試料ガス導入部３は、ガス流量を調節し、あるいはガスを遮断するバルブを有していてもよい。   The sample gas introduction unit 3 supplies a mixed gas (sample gas) of carrier gas and water vapor to the first chamber 11. The sample gas introduction unit 3 includes a sample gas introduction pipe 13 and a water vapor generator 14. The water vapor generator 14 is provided in series with the sample gas introduction pipe 13. The sample gas introduction unit 3 may have a valve for adjusting the gas flow rate or shutting off the gas.

試料ガス導入管１３は、キャリアガス及び試料ガスが流通する配管である。試料ガス導入管１３は、第１室１１と図示しないキャリアガス供給機構を接続する。   The sample gas introduction pipe 13 is a pipe through which the carrier gas and the sample gas flow. The sample gas introduction pipe 13 connects the first chamber 11 and a carrier gas supply mechanism (not shown).

水蒸気発生器１４は、水蒸気を発生させ、キャリアガス中に水蒸気を供給する。水蒸気発生器１４は例えば、液体の水を加熱することによって水蒸気を発生させる。水蒸気発生器１４は、発生した水蒸気の圧力を制御する機構を備える。   The water vapor generator 14 generates water vapor and supplies the water vapor into the carrier gas. For example, the water vapor generator 14 generates water vapor by heating liquid water. The steam generator 14 includes a mechanism for controlling the pressure of the generated steam.

試料ガス排出部４は、第１室１１から試料ガスを排出する。試料ガス排出部４は試料ガス排出管１５を有する。試料ガス排出部４は、ガス流量を調節し、あるいはガスを遮断するバルブ有していてもよい。   The sample gas discharge unit 4 discharges the sample gas from the first chamber 11. The sample gas discharge unit 4 has a sample gas discharge pipe 15. The sample gas discharge unit 4 may have a valve for adjusting the gas flow rate or shutting off the gas.

試料ガス排出管１５は、試料ガスが流通する配管である。試料ガス排出管１５は、第１室１１と図示しない試料ガス排出機構を接続する。   The sample gas discharge pipe 15 is a pipe through which the sample gas flows. The sample gas discharge pipe 15 connects the first chamber 11 and a sample gas discharge mechanism (not shown).

乾燥ガス導入部５は、第２室１２に乾燥ガスを供給する。乾燥ガス導入部５は乾燥ガス導入管１６と第１バルブ１７を有する。第１バルブ１７は乾燥ガス導入管１６上に配置されている。   The dry gas introduction unit 5 supplies a dry gas to the second chamber 12. The dry gas introduction unit 5 includes a dry gas introduction pipe 16 and a first valve 17. The first valve 17 is disposed on the dry gas introduction pipe 16.

乾燥ガス導入管１６は、乾燥ガスが流通する配管である。乾燥ガス導入管１６はステンレス等の、水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料により形成されている。乾燥ガス導入管１６は、第２室１２と図示しない乾燥ガス供給機構を接続する。
第１バルブ１７は、乾燥ガス導入管１６を遮断し、あるいは開放する。 The dry gas introduction pipe 16 is a pipe through which the dry gas flows. The dry gas introduction pipe 16 is formed of a material having low adsorptivity and permeability to water vapor such as stainless steel. The dry gas introduction pipe 16 connects the second chamber 12 and a dry gas supply mechanism (not shown).
The first valve 17 shuts off or opens the dry gas introduction pipe 16.

乾燥ガス排出部６は、第２室１２から乾燥ガスを排出する。乾燥ガス排出部６は乾燥ガス排出管１８、第２バルブ１９を有する。第２バルブ１９は乾燥ガス排出管１８に上に配置されている。   The dry gas discharge unit 6 discharges the dry gas from the second chamber 12. The dry gas discharge unit 6 includes a dry gas discharge pipe 18 and a second valve 19. The second valve 19 is disposed above the dry gas discharge pipe 18.

乾燥ガス排出管１８は、乾燥ガスが流通する配管である。乾燥ガス排出管１８はステンレスなどの、水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料により形成されている。乾燥ガス排出管１８は、第２室１２と図示しない乾燥ガス排出機構を接続する。
第２バルブ１９は、乾燥ガス排出管１８を遮断し、あるいは開放する。 The dry gas discharge pipe 18 is a pipe through which the dry gas flows. The dry gas discharge pipe 18 is formed of a material having low adsorptivity and permeability to water vapor such as stainless steel. The dry gas discharge pipe 18 connects the second chamber 12 and a dry gas discharge mechanism (not shown).
The second valve 19 shuts off or opens the dry gas discharge pipe 18.

測定器２０は、水蒸気量を測定する。測定器２０は、乾燥ガス排出管１８上の第２バルブ１９よりチャンバ２側に配置されており、第２室１２の水蒸気を含有するガスの水蒸気量を測定する。測定器２０は、水蒸気量（湿度）を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。このうち、露点計を用いることにより、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能である。なお、測定器２０はセンサ部のみが乾燥ガス排出管１８内に配置されてもよい。   The measuring device 20 measures the amount of water vapor. The measuring device 20 is disposed closer to the chamber 2 than the second valve 19 on the dry gas discharge pipe 18 and measures the amount of water vapor of the gas containing water vapor in the second chamber 12. The measuring device 20 can be appropriately selected from those capable of measuring the water vapor amount (humidity). For example, use a polymer resistance hygrometer, polymer capacitive hygrometer, aluminum oxide capacitive hygrometer, infrared hygrometer, microwave hygrometer, lithium chloride dew point meter, mirror cooled dew point meter, alpha ray dew point meter, etc. Is possible. Of these, a small amount of water vapor can be measured with high accuracy by using a dew point meter. Note that only the sensor unit of the measuring device 20 may be disposed in the dry gas discharge pipe 18.

なお、測定装置１は、測定装置１及び流通する気体の温度を一定に保つためのヒーター等を有していてもよい。   The measuring device 1 may have a heater or the like for keeping the temperature of the measuring device 1 and the flowing gas constant.

測定装置１は以上のように構成される。
以下、測定装置１の動作を説明する。 The measuring apparatus 1 is configured as described above.
Hereinafter, the operation of the measuring apparatus 1 will be described.

第１チャンバ部７のフランジ部７ｂと、第２チャンバ部８のフランジ部８ｂの間に測定対象物であるフィルムＦがセットされ、測定装置１の温度が一定に維持される。   A film F, which is a measurement object, is set between the flange portion 7b of the first chamber portion 7 and the flange portion 8b of the second chamber portion 8, and the temperature of the measuring apparatus 1 is maintained constant.

第１バルブ１７及び第２バルブ１９が開放され、乾燥ガス供給機構から乾燥ガスが供給される。乾燥ガスは、十分に乾燥されたガス、例えば露点温度−７０℃の窒素ガスである。乾燥ガスは、乾燥ガス導入管１６、第２室１２、乾燥ガス排出管１８を流通して乾燥ガス排出機構に排出される。乾燥ガスは経路中に収容されている気体を追い出し、壁面に吸着している水分を除去するのに十分な量が流通される。この際、測定器２０により乾燥ガスの水分量を測定しながら流通させてもよい。   The first valve 17 and the second valve 19 are opened, and the dry gas is supplied from the dry gas supply mechanism. The drying gas is a sufficiently dried gas, for example, nitrogen gas having a dew point temperature of −70 ° C. The dry gas flows through the dry gas introduction pipe 16, the second chamber 12, and the dry gas discharge pipe 18 and is discharged to the dry gas discharge mechanism. The dry gas is circulated in an amount sufficient to expel the gas contained in the path and remove the moisture adsorbed on the wall surface. At this time, the measuring device 20 may be circulated while measuring the moisture content of the dry gas.

次に、第１バルブ１７及び第２バルブ１９を閉止し、乾燥ガス導入管１６及び乾燥ガス排出管１８を遮断する。乾燥ガスはこれ以降流通されることがないため、測定中に消費されず、使用量を低減することが可能である。この際、第１バルブ１７を先に閉止することにより、第２室１２内の圧力を大気圧とすることができる。   Next, the first valve 17 and the second valve 19 are closed, and the dry gas introduction pipe 16 and the dry gas discharge pipe 18 are shut off. Since the dry gas is not circulated thereafter, it is not consumed during the measurement, and the amount used can be reduced. At this time, the pressure in the second chamber 12 can be set to atmospheric pressure by closing the first valve 17 first.

次に、キャリアガス供給機構からキャリアガスが供給される。キャリアガスは、例えば窒素ガスである。また、水蒸気発生器１４から水蒸気が発生し、キャリアガスに水蒸気が混合されて試料ガスが形成される。試料ガスは、試料ガス導入管１３、第１室１１、試料ガス排出管１５を流通して、試料ガス排出機構に排出される。
必要に応じて、キャリアガスの流量、水蒸気の発生量、試料ガスの温度などの各パラメータが調節される。 Next, carrier gas is supplied from the carrier gas supply mechanism. The carrier gas is, for example, nitrogen gas. Further, water vapor is generated from the water vapor generator 14, and water vapor is mixed with the carrier gas to form a sample gas. The sample gas flows through the sample gas introduction pipe 13, the first chamber 11, and the sample gas discharge pipe 15, and is discharged to the sample gas discharge mechanism.
As necessary, parameters such as the flow rate of the carrier gas, the amount of water vapor generated, and the temperature of the sample gas are adjusted.

第１室１１に試料ガスが導入された時点から測定器２０により水蒸気量の測定が開始される。第１室１１に導入された試料ガスに含有される水蒸気はフィルムＦを透過し、第２室１２に浸入する。ここで、第２室１２内にはガスフローがないため、第２室１２に浸入した水蒸気は濃度勾配により、第２室１２内、乾燥ガス導入管１６内（第１バルブ１７よりチャンバ２側）及び乾燥ガス排出管１８内（第２バルブ１９よりチャンバ２側）（以下、測定空間）に拡散し、測定器２０に到達する。測定器２０により測定された水蒸気量と、フィルムＦの面積（第１室１１と第２室１２を隔てている領域のみ）と、測定経過時間から、水蒸気透過量（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）が得られる。 The measurement of the amount of water vapor is started by the measuring device 20 from the time when the sample gas is introduced into the first chamber 11. Water vapor contained in the sample gas introduced into the first chamber 11 passes through the film F and enters the second chamber 12. Here, since there is no gas flow in the second chamber 12, the water vapor that has entered the second chamber 12 has a concentration gradient in the second chamber 12 and in the dry gas introduction pipe 16 (from the first valve 17 to the chamber 2 side). ) And in the dry gas discharge pipe 18 (from the second valve 19 to the chamber 2 side) (hereinafter, measurement space), and reaches the measuring device 20. From the amount of water vapor measured by the measuring device 20, the area of the film F (only the region separating the first chamber 11 and the second chamber 12), and the measurement elapsed time, the amount of water vapor transmission (g / m 2 / day) Is obtained.

測定空間は第１バルブ１７及び第２バルブ１９により外部と隔絶されているため、フィルムＦを透過した水蒸気は排出されず、測定空間内に留まる。このため、フィルムＦを透過する速度が小さい場合であっても、時間の経過と共に測定空間内の存在量が増大して測定器２０の検出限界以上となり、測定することが可能となる。   Since the measurement space is isolated from the outside by the first valve 17 and the second valve 19, the water vapor that has passed through the film F is not discharged and remains in the measurement space. For this reason, even when the transmission speed through the film F is small, the amount of the presence in the measurement space increases with the passage of time and exceeds the detection limit of the measuring device 20, and measurement is possible.

以上のように、本実施形態に係る測定装置１及びこれを用いる測定方法により、測定対象物（フィルムＦ）の水蒸気透過量が測定される。乾燥ガスは測定中は供給されないため、その必要量を少ないものとすることが可能である。また、フィルムＦを透過した水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まるため、水蒸気がフィルムＦを透過する速度が小さい場合であっても測定することが可能となる。   As described above, the water vapor transmission amount of the measurement object (film F) is measured by the measurement apparatus 1 according to the present embodiment and the measurement method using the same. Since the dry gas is not supplied during the measurement, the required amount can be reduced. Further, since water vapor that has passed through the film F remains in the measurement space without being discharged, measurement can be performed even when the speed at which the water vapor passes through the film F is low.

（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置３０（以下、測定装置３０）の概略構成を示す模式図である。測定装置３０は第１の実施形態に係る測定装置１と測定器の配置が異なる。なお、測定装置３０について、第１の実施形態に係る測定装置１と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。 (Second Embodiment)
FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a water vapor transmission amount measuring device 30 (hereinafter, measuring device 30) according to the second embodiment. The measuring device 30 is different from the measuring device 1 according to the first embodiment in the arrangement of measuring devices. In addition, about the measuring apparatus 30, the same code | symbol is attached | subjected to the structure same as the measuring apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.

測定器３１は、水蒸気量を測定する。測定器３１は、第２室１２内に配置されている。測定器３１は、水蒸気量（湿度）を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。このうち、露点計を用いることにより、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能である。なお、測定器３１はセンサ部のみが第２室１２内に配置されてもよい。また、測定器３１を第２室１２内に配置した場合には、チャンバ２自体に露点計が組み込まれているので、フィルムＦを透過した水分を検出しやすい。   The measuring device 31 measures the amount of water vapor. The measuring device 31 is disposed in the second chamber 12. The measuring device 31 can be appropriately selected from those capable of measuring the water vapor amount (humidity). For example, use a polymer resistance hygrometer, polymer capacitive hygrometer, aluminum oxide capacitive hygrometer, infrared hygrometer, microwave hygrometer, lithium chloride dew point meter, mirror cooled dew point meter, alpha ray dew point meter, etc. Is possible. Of these, a small amount of water vapor can be measured with high accuracy by using a dew point meter. Note that only the sensor unit of the measuring device 31 may be disposed in the second chamber 12. Further, when the measuring device 31 is disposed in the second chamber 12, since the dew point meter is incorporated in the chamber 2 itself, it is easy to detect moisture that has passed through the film F.

以上のように構成された測定装置３０を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定装置３０及びこれを用いる測定方法により、測定対象物（フィルムＦ）の水蒸気透過量が測定される。乾燥ガスは測定中は供給されないため、その必要量を少ないものとすることが可能である。また、フィルムＦを透過した水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まるため、水蒸気がフィルムＦを透過する速度が小さい場合であっても測定することが可能となる。   The water vapor transmission amount is measured using the measuring apparatus 30 configured as described above. The measurement method is the same as the water vapor transmission amount measurement method according to the first embodiment. The water vapor permeation amount of the measurement object (film F) is measured by the measurement apparatus 30 according to the present embodiment and the measurement method using the same. Since the dry gas is not supplied during the measurement, the required amount can be reduced. Further, since water vapor that has passed through the film F remains in the measurement space without being discharged, measurement can be performed even when the speed at which the water vapor passes through the film F is low.

（第３の実施形態）
図３は、第３の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置４０（以下、測定装置４０）の概略構成を示す模式図である。測定装置４０は第１の実施形態に係る測定装置１及び第２の実施形態に係る測定装置３０と測定器の配置が異なる。なお、測定装置４０について、第１の実施形態に係る測定装置１と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。 (Third embodiment)
FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a water vapor transmission amount measuring device 40 (hereinafter, measuring device 40) according to the third embodiment. The measuring device 40 is different from the measuring device 1 according to the first embodiment and the measuring device 30 according to the second embodiment in the arrangement of measuring devices. In addition, about the measuring apparatus 40, the same code | symbol is attached | subjected to the structure same as the measuring apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.

測定器４１は、水蒸気量を測定する。測定器４１は、乾燥ガス導入管１６上の第１バルブ１７よりチャンバ２側に配置されている。測定器４１は、水蒸気量（湿度）を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。このうち、露点計を用いることにより、小さい水蒸気量を高精度に測定することが可能である。なお、測定器４１はセンサ部のみが乾燥ガス導入管１６内に配置されてもよい。   The measuring device 41 measures the amount of water vapor. The measuring instrument 41 is arranged on the chamber 2 side from the first valve 17 on the dry gas introduction pipe 16. The measuring device 41 can be appropriately selected from those capable of measuring the water vapor amount (humidity). For example, use a polymer resistance hygrometer, polymer capacitive hygrometer, aluminum oxide capacitive hygrometer, infrared hygrometer, microwave hygrometer, lithium chloride dew point meter, mirror cooled dew point meter, alpha ray dew point meter, etc. Is possible. Of these, a small amount of water vapor can be measured with high accuracy by using a dew point meter. Note that only the sensor unit of the measuring instrument 41 may be arranged in the dry gas introduction pipe 16.

以上のように構成された測定装置４０を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定装置４０及びこれを用いる測定方法により、測定対象物（フィルムＦ）の水蒸気透過量が測定される。乾燥ガスは測定中は供給されないため、その必要量を少ないものとすることが可能である。また、フィルムＦを透過した水蒸気は排出されることなく測定空間内に留まるため、水蒸気がフィルムＦを透過する速度が小さい場合であっても測定することが可能となる。   The water vapor transmission amount is measured using the measuring apparatus 40 configured as described above. The measurement method is the same as the water vapor transmission amount measurement method according to the first embodiment. The water vapor permeation amount of the measurement object (film F) is measured by the measurement apparatus 40 according to the present embodiment and the measurement method using the same. Since the dry gas is not supplied during the measurement, the required amount can be reduced. Further, since water vapor that has passed through the film F remains in the measurement space without being discharged, measurement can be performed even when the speed at which the water vapor passes through the film F is low.

本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得る。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述の各実施形態に係る水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法において、測定対象物はフィルム状としたがこれに限られない。例えば板状であってもよい。   In the water vapor transmission amount measurement device and the water vapor transmission amount measurement method according to each of the above-described embodiments, the measurement target is a film, but is not limited thereto. For example, a plate shape may be used.

１ 水蒸気透過量測定装置
２ チャンバ
１１ 第１室
１２ 第２室
１６ 乾燥ガス導入管
１７ 第１バルブ
１８ 乾燥ガス排出管
１９ 第２バルブ
２０ 測定器
３０ 水蒸気透過量測定装置
３１ 測定器
４０ 水蒸気透過量測定装置
４１ 測定器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Water vapor transmission amount measuring apparatus 2 Chamber 11 1st chamber 12 2nd chamber 16 Drying gas introduction pipe 17 1st valve 18 Drying gas discharge pipe 19 2nd valve 20 Measuring device 30 Water vapor transmission measuring device 31 Measuring device 40 Water vapor transmission amount Measuring equipment 41 Measuring equipment

Claims (4)

チャンバを第１の室と第２の室との２室に区画するように測定対象物を配置し、
ガス導入経路に設けられた第１のバルブを開放することで前記第２の室に乾燥ガスを導入し、ガス排出経路に設けられた第２のバルブを開放することで前記第２の室から乾燥ガスを排出し、
前記第１のバルブ及び前記第２のバルブを閉止することで前記第２の室への乾燥ガスの導入及び前記第２の室からの乾燥ガスの排出を停止し、
前記第１の室に水蒸気を含む試料ガスを導入し、
前記第２の室と、前記ガス導入経路と、前記ガス排出経路とによって画成される測定空間に向けて前記測定対象物を透過した、前記試料ガス中の水蒸気の量を前記測定空間で測定する
水蒸気透過量測定方法。 An object to be measured is arranged so as to divide the chamber into two chambers, a first chamber and a second chamber,
A dry gas is introduced into the second chamber by opening a first valve provided in the gas introduction path, and a second valve provided in the gas discharge path is opened from the second chamber. Exhaust the dry gas,
Close the first valve and the second valve to stop the introduction of the dry gas into the second chamber and the discharge of the dry gas from the second chamber,
Introducing a sample gas containing water vapor into the first chamber;
The amount of water vapor in the sample gas that has passed through the measurement object toward the measurement space defined by the second chamber, the gas introduction path, and the gas discharge path is measured in the measurement space. Yes Water vapor transmission rate measurement method. 請求項１に記載の水蒸気透過量測定方法であって、
前記水蒸気の量を測定する工程では、露点計によって水蒸気の量を測定する
水蒸気透過量測定方法。 The water vapor transmission amount measurement method according to claim 1,
In the step of measuring the amount of water vapor, a method for measuring the amount of water vapor permeated by measuring the amount of water vapor with a dew point meter. 測定対象物により第１の室と第２の室とに区画されるチャンバと、
前記チャンバの前記第２の室に接続され、前記第２の室に乾燥ガスを導入するガス導入経路と、
前記チャンバの前記第２の室に接続され、前記第２の室から乾燥ガスを排出するガス排出経路と、
前記ガス導入経路を開閉する第１のバルブと前記ガス排出経路を開閉する第２のバルブとを有し、前記第１のバルブ及び前記第２のバルブが閉止されることで、前記第２の室と、前記ガス排出経路と、前記ガス導入経路とによって画成される測定空間を形成する弁機構と、
前記測定空間に配置され、前記測定空間に向けて前記測定対象物を透過した、前記試料ガス中の水蒸気の量を測定する測定器と
を具備する水蒸気透過量測定装置。 A chamber partitioned into a first chamber and a second chamber by a measurement object;
A gas introduction path connected to the second chamber of the chamber and for introducing a drying gas into the second chamber;
A gas discharge path connected to the second chamber of the chamber for discharging dry gas from the second chamber;
A first valve that opens and closes the gas introduction path and a second valve that opens and closes the gas discharge path, and the second valve is closed by closing the first valve and the second valve. A valve mechanism that forms a measurement space defined by the chamber, the gas discharge path, and the gas introduction path;
A water vapor permeation amount measuring apparatus comprising: a measuring device that is disposed in the measurement space and that measures the amount of water vapor in the sample gas that has passed through the measurement object toward the measurement space. 請求項３に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記測定器は露点計である
水蒸気透過量測定装置。 It is a water vapor transmission rate measuring device according to claim 3,
The measuring device is a dew point meter.
JP2009098242A 2009-04-14 2009-04-14 Instrument and method for measuring permeation amount of steam Pending JP2010249609A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009098242A JP2010249609A (en) 2009-04-14 2009-04-14 Instrument and method for measuring permeation amount of steam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009098242A JP2010249609A (en) 2009-04-14 2009-04-14 Instrument and method for measuring permeation amount of steam

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010249609A true JP2010249609A (en) 2010-11-04

Family

ID=43312116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009098242A Pending JP2010249609A (en) 2009-04-14 2009-04-14 Instrument and method for measuring permeation amount of steam

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010249609A (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013003028A (en) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd Measuring device and measuring method
JP2013003029A (en) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd Gas permeating cell, gas permeability measuring device, and gas permeability measuring method
CN103196810A (en) * 2013-04-09 2013-07-10 海宁长宇镀铝材料有限公司 Device for detecting moisture permeability of aluminum-plated polyethylenetherephtalate (PET) thin film
CN103439240A (en) * 2013-09-09 2013-12-11 南京林业大学 Wood material moisture-penetrability test device
JP2014160069A (en) * 2013-02-12 2014-09-04 Fraunhofer-Ges Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev Method and apparatus for measuring permeation rate of barrier material
JP2015190884A (en) * 2014-03-28 2015-11-02 三菱電機株式会社 gas permeability measuring device
KR20160089895A (en) * 2013-11-26 2016-07-28 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈 Sample holder and associated permeation device
CN109357989A (en) * 2018-12-14 2019-02-19 温州际高检测仪器有限公司 A kind of novel micro air permeability test instrument
WO2022267218A1 (en) * 2021-06-24 2022-12-29 华中科技大学 Permeability measurement apparatus and permeability measurement method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04329337A (en) * 1991-04-30 1992-11-18 Kikkoman Corp Measuring method for gas permeability of film
JP2003322583A (en) * 2002-02-26 2003-11-14 Nippon Api Corp Leak inspection method, object to be inspected, gas permeability measuring method, and object to be measured
WO2009041632A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Ulvac, Inc. Device for measuring steam permeability, and method for the device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04329337A (en) * 1991-04-30 1992-11-18 Kikkoman Corp Measuring method for gas permeability of film
JP2003322583A (en) * 2002-02-26 2003-11-14 Nippon Api Corp Leak inspection method, object to be inspected, gas permeability measuring method, and object to be measured
WO2009041632A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Ulvac, Inc. Device for measuring steam permeability, and method for the device

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013003029A (en) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd Gas permeating cell, gas permeability measuring device, and gas permeability measuring method
JP2013003028A (en) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd Measuring device and measuring method
JP2014160069A (en) * 2013-02-12 2014-09-04 Fraunhofer-Ges Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev Method and apparatus for measuring permeation rate of barrier material
CN103196810A (en) * 2013-04-09 2013-07-10 海宁长宇镀铝材料有限公司 Device for detecting moisture permeability of aluminum-plated polyethylenetherephtalate (PET) thin film
CN103439240A (en) * 2013-09-09 2013-12-11 南京林业大学 Wood material moisture-penetrability test device
CN103439240B (en) * 2013-09-09 2015-08-12 南京林业大学 Wood material moisture-penetrabilitest test device
KR102214258B1 (en) 2013-11-26 2021-02-08 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈 Sample holder and associated permeation device
KR20160089895A (en) * 2013-11-26 2016-07-28 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈 Sample holder and associated permeation device
JP2017502255A (en) * 2013-11-26 2017-01-19 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ Sample holder and associated infiltration device
JP2015190884A (en) * 2014-03-28 2015-11-02 三菱電機株式会社 gas permeability measuring device
CN109357989B (en) * 2018-12-14 2020-12-01 温州际高检测仪器有限公司 Novel micro-ventilation tester
CN109357989A (en) * 2018-12-14 2019-02-19 温州际高检测仪器有限公司 A kind of novel micro air permeability test instrument
WO2022267218A1 (en) * 2021-06-24 2022-12-29 华中科技大学 Permeability measurement apparatus and permeability measurement method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010249609A (en) Instrument and method for measuring permeation amount of steam
WO2011132391A1 (en) Measurement device for water vapor transmission rate and measurement method for water vapor transmission rate
TWI429895B (en) Measurement device for water vapor permeability and method thereof
JP5357758B2 (en) Method and apparatus for measuring permeability of gas passing through film body and container wall
US7685865B2 (en) Method and apparatus for measuring the rate of permeation
JP4596928B2 (en) Gas permeability measuring device and gas permeability measuring method for film material
JP4604046B2 (en) Method for measuring gas permeability of container wall and coating equipment equipped with measuring device
US20100110437A1 (en) Gas analyzer
JP2010190751A (en) Gas permeability measuring device and gas permeability measuring method for film material
US20220074890A1 (en) System having a pre-separation unit
KR20150110779A (en) Gas-barrier-performance evaluation device and evaluation method
KR20150113090A (en) Gas-barrier-performance evaluation device and evaluation method
US10514317B2 (en) Gas density increase measurement in a film chamber
CN103983532B (en) A kind of device and method testing material outgassing rate
AU2008363810A1 (en) Gas analyzer
JP2005345342A (en) Moisture permeability/gas permeability measuring device, and gas permeability measuring method
JP6002404B2 (en) Mass spectrometer, method of using the same, and method of measuring gas permeation characteristics
JP5734109B2 (en) Measuring apparatus and measuring method
JP5275473B2 (en) Water vapor permeation measuring device and water vapor permeation measuring method
US5996397A (en) Reactive gas sampling/analyzing hygrometry system
JP2011002303A (en) Instrument for measuring transmission amount of water vapor
US9261451B2 (en) Device and method for determining the permeation rate of barrier elements and ultra-barrier elements
JP2004279254A (en) Method for measuring water vapor permeability rate of sample
JP4042638B2 (en) Infrared gas analyzer
Jena et al. Characterization of water vapor permeable membranes

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20120119

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20130215

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130226

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130716