JP5275473B2 - 水蒸気透過量測定装置及び水蒸気透過量測定方法 - Google Patents
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Description
上記チャンバは、測定対象物により第1の室と第2の室とに区画される。
上記乾燥ガス導入経路は、第1のバルブを有し、チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室に乾燥ガスを導入する。
上記乾燥ガス排出経路は、第2のバルブを有し、上記チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室から上記乾燥ガスを排出する。
上記水蒸気量測定器は、上記第1のバルブと上記第2の室の間に配置され、上記第1の室から、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
乾燥ガスは、乾燥ガス導入経路に設けられた第1のバルブを開放することで上記第2の室に導入され、乾燥ガス排出経路に設けられた第2のバルブを開放することで上記第2の室から排出される。
上記第2の室への乾燥ガスの導入及び上記第2の室からの乾燥ガスの排出は、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブを閉止することで停止される。
上記第1の室から、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した水蒸気の量は、上記第1のバルブと上記第2の室の間に配置された水蒸気量測定器によって測定される。
上記チャンバは、測定対象物により第1の室と第2の室とに区画される。
上記乾燥ガス導入経路は、第1のバルブを有し、チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室に乾燥ガスを導入する。
上記乾燥ガス排出経路は、第2のバルブを有し、上記チャンバの上記第2の室に接続され、上記第2の室から上記乾燥ガスを排出する。
上記水蒸気量測定器は、上記第1のバルブと上記第2の室の間に配置され、上記第1の室から、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
測定では、第1のバルブ及び第2のバルブが閉止されて第1の室に水蒸気が導入され、第1の室から測定空間に向けて測定対象物を透過した水蒸気の量(水蒸気透過量)が水蒸気量測定器によって測定される。ここで、水蒸気量測定器には、乾燥工程において第2の室から除去された水分が付着していないため、水蒸気透過量を高精度に測定することが可能である。
乾燥ガスは、乾燥ガス導入経路に設けられた第1のバルブを開放することで上記第2の室に導入され、乾燥ガス排出経路に設けられた第2のバルブを開放することで上記第2の室から排出される。
上記第2の室への乾燥ガスの導入及び上記第2の室からの乾燥ガスの排出は、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブを閉止することで停止される。
上記第1の室から、上記第1のバルブ及び上記第2のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて上記測定対象物を透過した水蒸気の量は、上記第1のバルブと上記第2の室の間に配置された水蒸気量測定器によって測定される。
図1は、本発明の一実施形態に係る水蒸気透過量測定装置1の概略構成示す図である。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る水蒸気透過量測定装置1の概略構成を示す模式図である。
試料ガス導入経路4、乾燥ガス導入経路5、試料ガス排出経路6及び乾燥ガス排出経路7はそれぞれチャンバ2に接続されている。ガス供給系3は、試料ガス導入経路4及び乾燥ガス導入経路5に接続されている。水蒸気量測定器8は乾燥ガス導入経路5上に配置されている。チャンバ2には、測定対象物であるフィルムFが取り付けられている。
同図に示すように、チャンバ2は、第1チャンバ部9、第2チャンバ部10、締結具11及びガスケット12を有する。第1チャンバ部9と第2チャンバ部10とが締結具11により締結され、ガスケット12は第1チャンバ部9と第2チャンバ部10の接合箇所に配置される。
ガスケット12は、チャンバ2の内部と外部とをシールする。ガスケット12は例えばゴムからなるOリング等である。ガスケット12は、フランジ部9bの溝、フランジ部10bの溝にそれぞれ一つずつ嵌めこまれる。ガスケット12はフランジ部9bとフランジ部10bが締結されるとフィルムFを介して対向し、フィルムFとフランジ部9b、フィルムFとフランジ部10bとの間のガスの連通を遮断する。
フィルムFの水蒸気透過量を測定する前に、当初から測定空間に存在する水蒸気を除去する必要があるため、以下のようにして測定空間の乾燥工程が行われる。
2 チャンバ
5 乾燥ガス導入経路
7 乾燥ガス排出経路
8 水蒸気量測定器
13 第1の室
14 第2の室
24 第1のバルブ
29 第2のバルブ
Claims (3)
- 測定対象物により第1の室と第2の室とに区画されるチャンバと、
第1のバルブを有し、前記チャンバの前記第2の室に接続され、前記第2の室に乾燥ガスを導入する乾燥ガス導入経路と、
第2のバルブを有し、前記チャンバの前記第2の室に接続され、前記第2の室から前記乾燥ガスを排出する乾燥ガス排出経路と、
前記第1の室から、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて前記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する、前記第1のバルブと前記第2の室の間に配置された水蒸気量測定器と
を具備する水蒸気透過量測定装置。 - 請求項1に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記水蒸気量測定器は露点計である
水蒸気透過量測定装置。 - チャンバを第1の室と第2の室との2室に区画するように測定対象物を配置し、
乾燥ガス導入経路に設けられた第1のバルブを開放することで前記第2の室に乾燥ガスを導入し、乾燥ガス排出経路に設けられた第2のバルブを開放することで前記第2の室から乾燥ガスを排出し、
前記第1のバルブ及び前記第2のバルブを閉止することで前記第2の室への乾燥ガスの導入及び前記第2の室からの乾燥ガスの排出を停止し、
前記第1の室から、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて前記測定対象物を透過した水蒸気の量を、前記第1のバルブと前記第2の室の間に配置された水蒸気量測定器によって測定する
水蒸気透過量測定方法。
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