JPH11343972A - クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 - Google Patents
クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法Info
- Publication number
- JPH11343972A JPH11343972A JP10151114A JP15111498A JPH11343972A JP H11343972 A JPH11343972 A JP H11343972A JP 10151114 A JP10151114 A JP 10151114A JP 15111498 A JP15111498 A JP 15111498A JP H11343972 A JPH11343972 A JP H11343972A
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- Japan
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- cryopump
- pressure
- valve
- regeneration
- nitrogen purge
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クライオポンプの内圧が大気圧より少し高い
所定圧に至ると速やかに排気バルブを開放する。 【解決手段】 排気バルブ３５は電磁弁で構成されてい
る。再生コントローラ４１は、再処理時に、圧力センサ
３７からの圧力信号に基づくケーシング３３内の圧力が
大気圧よりも少し高く設定された所定圧力に至ると、排
気バルブ３５を開放してプロセスガスを放出する。こう
して、ケーシング３３内の圧力が大気圧より少し高い所
定圧力に至ると直ちに再生ガス(プロセスガス)を排気す
ることによって、排気タイミングのずれによって生ずる
水素ガスの爆発やゲートバルブの破損や外気の逆流等の
問題を回避して、安全且つ高精度な再生処理を行う。
所定圧に至ると速やかに排気バルブを開放する。 【解決手段】 排気バルブ３５は電磁弁で構成されてい
る。再生コントローラ４１は、再処理時に、圧力センサ
３７からの圧力信号に基づくケーシング３３内の圧力が
大気圧よりも少し高く設定された所定圧力に至ると、排
気バルブ３５を開放してプロセスガスを放出する。こう
して、ケーシング３３内の圧力が大気圧より少し高い所
定圧力に至ると直ちに再生ガス(プロセスガス)を排気す
ることによって、排気タイミングのずれによって生ずる
水素ガスの爆発やゲートバルブの破損や外気の逆流等の
問題を回避して、安全且つ高精度な再生処理を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、開閉が制御可能
な電気弁を有するクライオポンプ、このクライオポンプ
の再生装置および再生方法、並びに、このクライオポン
プの制御方法に関する。ここで、上記電気弁とは、電気
信号によって動作する弁のことであり、パルスモータ等
で開閉される電動弁や電磁弁を含む概念である。
な電気弁を有するクライオポンプ、このクライオポンプ
の再生装置および再生方法、並びに、このクライオポン
プの制御方法に関する。ここで、上記電気弁とは、電気
信号によって動作する弁のことであり、パルスモータ等
で開閉される電動弁や電磁弁を含む概念である。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体製造装置等における真
空チャンバ内の真空引きに、図３に示すようなクライオ
ポンプが用いられている。このクライオポンプ１は、２
段の膨張シリンダを備えた２段膨張式冷凍機２の１段目
の膨張シリンダ(以下、第１膨張シリンダと言う)３に第
１クライオパネル５を取り付け、さらに２段目の膨張シ
リンダ(第２膨張シリンダと言う)４に第２クライオパネ
ル６を取り付け、この第２クライオパネル６の内側に活
性炭７を張り付け、第１,第２クライオパネル５,６全体
をケーシング８を覆って形成されている。このような構
成を有するクライオポンプ１は、ケーシング８先端の開
口部がゲートバルブ１１を介して真空チャンバ９の排気
口に取り付けられる。そして、５０Ｋ〜８０Ｋに冷却さ
れた第１クライオパネル５で真空チャンバ９内の水蒸気
を凍結捕集して排気し、１０Ｋ〜２０Ｋに冷却された第
２クライオパネル６で真空チャンバ９内の窒素ガスや酸
素ガスやアルゴンガス等を凝縮して排気し、活性炭７で
真空チャンバ９内の水素ガスを吸着して排気する。
空チャンバ内の真空引きに、図３に示すようなクライオ
ポンプが用いられている。このクライオポンプ１は、２
段の膨張シリンダを備えた２段膨張式冷凍機２の１段目
の膨張シリンダ(以下、第１膨張シリンダと言う)３に第
１クライオパネル５を取り付け、さらに２段目の膨張シ
リンダ(第２膨張シリンダと言う)４に第２クライオパネ
ル６を取り付け、この第２クライオパネル６の内側に活
性炭７を張り付け、第１,第２クライオパネル５,６全体
をケーシング８を覆って形成されている。このような構
成を有するクライオポンプ１は、ケーシング８先端の開
口部がゲートバルブ１１を介して真空チャンバ９の排気
口に取り付けられる。そして、５０Ｋ〜８０Ｋに冷却さ
れた第１クライオパネル５で真空チャンバ９内の水蒸気
を凍結捕集して排気し、１０Ｋ〜２０Ｋに冷却された第
２クライオパネル６で真空チャンバ９内の窒素ガスや酸
素ガスやアルゴンガス等を凝縮して排気し、活性炭７で
真空チャンバ９内の水素ガスを吸着して排気する。
【０００３】こうして、上記第１,第２クライオパネル
５,６が溜め込まれた水素や酸素や窒素等の物質で一杯
になると、第１,第２クライオパネル５,６を昇温し、窒
素パージバルブ１０を開放してケーシング８内に窒素を
導入して、捕集/吸着されている物質を排出する再生処
理が行われる。さらに、第１,第２クライオパネル５,６
を２０Ｋの低温まで冷却するクールダウンが行われる。
５,６が溜め込まれた水素や酸素や窒素等の物質で一杯
になると、第１,第２クライオパネル５,６を昇温し、窒
素パージバルブ１０を開放してケーシング８内に窒素を
導入して、捕集/吸着されている物質を排出する再生処
理が行われる。さらに、第１,第２クライオパネル５,６
を２０Ｋの低温まで冷却するクールダウンが行われる。
【０００４】尚、上記クライオポンプ１には、上記再生
処理時に第１,第２クライオパネル５,６から離脱したガ
スを排気するガス排気弁と安全弁とを兼用したリリーフ
バルブ１２が使用されている(特表平４−５０４４５４
号公報等)。このリリーフバルブ１２は、クライオポン
プ１内の圧力が大気圧より少し高くなると開いて、クラ
イオポンプ１内のガスを排出する構造になっている。
処理時に第１,第２クライオパネル５,６から離脱したガ
スを排気するガス排気弁と安全弁とを兼用したリリーフ
バルブ１２が使用されている(特表平４−５０４４５４
号公報等)。このリリーフバルブ１２は、クライオポン
プ１内の圧力が大気圧より少し高くなると開いて、クラ
イオポンプ１内のガスを排出する構造になっている。
【０００５】上記リリーフバルブ１２は、図４に示すよ
うに、クライオポンプ１に取り付けられた導管１５のフ
ランジ１５aに、リング状の貫通孔１６を有する蓋部材
１７が固定されている。この蓋部材１７の中央孔１７a
には、弁エンクロージャ１８の中心軸１９が挿通されて
おり、中心軸１９の先端に取り付けられた保持ボルト２
０と蓋部材１７との間にはスプリング６１が縮装されて
いる。そして、このスプリング６１の弾性力によって弁
エンクロージャ１８は蓋部材１７に密着している。尚、
蓋部材１７と弁エンクロージャ１８との間にはＯリング
６２が配置されて、気密状態を保持する。
うに、クライオポンプ１に取り付けられた導管１５のフ
ランジ１５aに、リング状の貫通孔１６を有する蓋部材
１７が固定されている。この蓋部材１７の中央孔１７a
には、弁エンクロージャ１８の中心軸１９が挿通されて
おり、中心軸１９の先端に取り付けられた保持ボルト２
０と蓋部材１７との間にはスプリング６１が縮装されて
いる。そして、このスプリング６１の弾性力によって弁
エンクロージャ１８は蓋部材１７に密着している。尚、
蓋部材１７と弁エンクロージャ１８との間にはＯリング
６２が配置されて、気密状態を保持する。
【０００６】上記構造のリリーフバルブ１２は、上記弁
エンクロージャ１８の内圧が大気圧を越えると、弁エン
クロージャ１８は、スプリング６１の弾性力に抗して外
側に開くようになっている。
エンクロージャ１８の内圧が大気圧を越えると、弁エン
クロージャ１８は、スプリング６１の弾性力に抗して外
側に開くようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のクライオポンプのリリーフバルブ１２には、以下の
ような問題がある。すなわち、上述したように、真空排
気時には、第２クライオパネル６で酸素ガスを凝縮して
凍結捕集し、活性炭７で水素ガスを吸着する。したがっ
て、再生処理時には、上記凍結捕集あるいは吸着されて
いた水素ガスと酸素ガスとがケーシング８内に放出さ
れ、条件によっては化学反応を起こして爆発する恐れが
ある。したがって、ケーシング８内に放出されて窒素パ
ージで希釈したガスはなるべく早い段階で外部に放出す
るのが望ましい。
来のクライオポンプのリリーフバルブ１２には、以下の
ような問題がある。すなわち、上述したように、真空排
気時には、第２クライオパネル６で酸素ガスを凝縮して
凍結捕集し、活性炭７で水素ガスを吸着する。したがっ
て、再生処理時には、上記凍結捕集あるいは吸着されて
いた水素ガスと酸素ガスとがケーシング８内に放出さ
れ、条件によっては化学反応を起こして爆発する恐れが
ある。したがって、ケーシング８内に放出されて窒素パ
ージで希釈したガスはなるべく早い段階で外部に放出す
るのが望ましい。
【０００８】一方においては、上記リリーフバルブ１２
の内圧が大気圧に至る前にリリーフバルブ１２が開放す
ると、外気がケーシング８内に逆流するために危険であ
る。また、リリーフバルブ１２を開放するタイミングが
あまり遅いと、上述の爆発の危険性の他に、例えば大気
圧＋０.５kg/cm2で破損してしまうような弱い構造のゲ
ートバルブ１１が、内圧によって破損してしまうことも
ある。したがって、リリーフバルブ１２は、ケーシング
８内の圧力が大気圧より少し高い所定圧力(例えば、大
気圧＋０.０５kg/cm2〜大気圧＋０.２kg/cm2)に至ると
直ぐに開放する構造が望ましいのである。
の内圧が大気圧に至る前にリリーフバルブ１２が開放す
ると、外気がケーシング８内に逆流するために危険であ
る。また、リリーフバルブ１２を開放するタイミングが
あまり遅いと、上述の爆発の危険性の他に、例えば大気
圧＋０.５kg/cm2で破損してしまうような弱い構造のゲ
ートバルブ１１が、内圧によって破損してしまうことも
ある。したがって、リリーフバルブ１２は、ケーシング
８内の圧力が大気圧より少し高い所定圧力(例えば、大
気圧＋０.０５kg/cm2〜大気圧＋０.２kg/cm2)に至ると
直ぐに開放する構造が望ましいのである。
【０００９】ところが、上記リリーフバルブ１２は、上
述したように、弁エンクロージャ１８とＯリング６２と
スプリング６１による簡単な構造であるため、動作時の
ケーシング８内の圧力が不安定である。特に、上記構造
上ごみ噛みが発生し易いために真空度が低下し、本来で
あればケーシング８内の圧力が大気圧より少し高い上記
所定圧力に至ると直ぐに開放すべきリリーフバルブ１２
が、タイミングが遅れて開放することになる。したがっ
て、上述した水素ガスの爆発やゲートバルブ１１の破損
が生ずるという問題がある。
述したように、弁エンクロージャ１８とＯリング６２と
スプリング６１による簡単な構造であるため、動作時の
ケーシング８内の圧力が不安定である。特に、上記構造
上ごみ噛みが発生し易いために真空度が低下し、本来で
あればケーシング８内の圧力が大気圧より少し高い上記
所定圧力に至ると直ぐに開放すべきリリーフバルブ１２
が、タイミングが遅れて開放することになる。したがっ
て、上述した水素ガスの爆発やゲートバルブ１１の破損
が生ずるという問題がある。
【００１０】また、最近は、クライオポンプの自動再生
処理が行われるようになってきており、それに伴ってリ
リーフバルブ１２の開閉頻度が増加している。したがっ
て、より高精度なタイミングでの排気動作が望まれてい
る。
処理が行われるようになってきており、それに伴ってリ
リーフバルブ１２の開閉頻度が増加している。したがっ
て、より高精度なタイミングでの排気動作が望まれてい
る。
【００１１】そこで、この発明の目的は、クライオポン
プの内圧が大気圧より少し高い所定圧に至ると速やかに
排気バルブを開放できるクライオポンプ、このクライオ
ポンプの再生装置および再生方法、並びに、このクライ
オポンプの制御方法を提供することにある。
プの内圧が大気圧より少し高い所定圧に至ると速やかに
排気バルブを開放できるクライオポンプ、このクライオ
ポンプの再生装置および再生方法、並びに、このクライ
オポンプの制御方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、２段冷凍機の１段目のヒー
トステージに取り付けられた第１クライオパネルと２段
目のヒートステージに取り付けられた第２クライオパネ
ルとに,真空チャンバ内のプロセスガスを凍結捕集して,
上記真空チャンバを真空排気するクライオポンプにおい
て、上記クライオポンプ内を大気に開放する電気弁を備
えたことを特徴としている。
め、請求項１に係る発明は、２段冷凍機の１段目のヒー
トステージに取り付けられた第１クライオパネルと２段
目のヒートステージに取り付けられた第２クライオパネ
ルとに,真空チャンバ内のプロセスガスを凍結捕集して,
上記真空チャンバを真空排気するクライオポンプにおい
て、上記クライオポンプ内を大気に開放する電気弁を備
えたことを特徴としている。
【００１３】上記構成によれば、上記クライオポンプ内
が電気弁によって正確なタイミングで大気に開放され
る。したがって、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧
より少し高い所定圧力に至ると直ちに上記クライオポン
プ内を開放することが可能になる。その結果、上記クラ
イオポンプの開放タイミングが早過ぎて外気がクライオ
ポンプ内に逆流することや、上記クライオポンプの開放
タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆発することやゲート
バルブが破損することが回避される。
が電気弁によって正確なタイミングで大気に開放され
る。したがって、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧
より少し高い所定圧力に至ると直ちに上記クライオポン
プ内を開放することが可能になる。その結果、上記クラ
イオポンプの開放タイミングが早過ぎて外気がクライオ
ポンプ内に逆流することや、上記クライオポンプの開放
タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆発することやゲート
バルブが破損することが回避される。
【００１４】また、請求項２に係る発明のクライオポン
プは、請求項１に係る発明のクライオポンプにおいて、
上記クライオポンプ内の圧力を検知して,この検知した
圧力を表す圧力信号を出力する圧力センサと、上記圧力
信号を受けて,上記圧力信号に基づく上記クライオポン
プ内の圧力が所定圧力以上になると上記電気弁を開放さ
せる制御部を備えたことを特徴としている。
プは、請求項１に係る発明のクライオポンプにおいて、
上記クライオポンプ内の圧力を検知して,この検知した
圧力を表す圧力信号を出力する圧力センサと、上記圧力
信号を受けて,上記圧力信号に基づく上記クライオポン
プ内の圧力が所定圧力以上になると上記電気弁を開放さ
せる制御部を備えたことを特徴としている。
【００１５】上記構成によれば、上記クライオポンプ内
の圧力が所定圧力以上になると上記電気弁が開放して、
上記クライオポンプ内が大気に開放される。したがっ
て、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧より少し高い
所定圧力に至ると直ちに上記クライオポンプ内を開放す
ることが可能になる。その結果、上記クライオポンプの
開放タイミングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆
流することや、上記クライオポンプの開放タイミングが
遅過ぎて水素ガスが爆発することやゲートバルブが破損
することが回避される。
の圧力が所定圧力以上になると上記電気弁が開放して、
上記クライオポンプ内が大気に開放される。したがっ
て、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧より少し高い
所定圧力に至ると直ちに上記クライオポンプ内を開放す
ることが可能になる。その結果、上記クライオポンプの
開放タイミングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆
流することや、上記クライオポンプの開放タイミングが
遅過ぎて水素ガスが爆発することやゲートバルブが破損
することが回避される。
【００１６】また、請求項３に係る発明は、請求項２に
係る発明のクライオポンプの再生装置であって、第１,
第２クライオパネルを加熱するヒータと、上記クライオ
ポンプ内に窒素を導入する窒素パージバルブを備えると
共に、上記制御部は再生制御部であり、再生処理時にお
いて、上記ヒータおよび窒素パージバルブを制御して再
生処理を開始し、上記圧力信号に基づく上記クライオポ
ンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定圧力以上
になると上記電気弁を開放するようになっていることを
特徴としている。
係る発明のクライオポンプの再生装置であって、第１,
第２クライオパネルを加熱するヒータと、上記クライオ
ポンプ内に窒素を導入する窒素パージバルブを備えると
共に、上記制御部は再生制御部であり、再生処理時にお
いて、上記ヒータおよび窒素パージバルブを制御して再
生処理を開始し、上記圧力信号に基づく上記クライオポ
ンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定圧力以上
になると上記電気弁を開放するようになっていることを
特徴としている。
【００１７】上記構成によれば、再生制御部によって、
再生処理時において、上記クライオポンプ内の圧力が大
気圧より高く設定された所定圧力以上になると直ちに上
記電気弁が開放されて、上記クライオポンプ内が大気に
開放される。したがって、上記クライオポンプの開放タ
イミングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆流する
ことや、上記クライオポンプの開放タイミングが遅過ぎ
て水素ガスが爆発することやゲートバルブが破損するこ
とが回避される。
再生処理時において、上記クライオポンプ内の圧力が大
気圧より高く設定された所定圧力以上になると直ちに上
記電気弁が開放されて、上記クライオポンプ内が大気に
開放される。したがって、上記クライオポンプの開放タ
イミングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆流する
ことや、上記クライオポンプの開放タイミングが遅過ぎ
て水素ガスが爆発することやゲートバルブが破損するこ
とが回避される。
【００１８】また、請求項４に係る発明は、請求項２に
係る発明のクライオポンプの再生方法であって、第１・
第２クライオパネルを加熱するヒータをオンし,上記ク
ライオポンプ内に窒素を導入する窒素パージバルブを開
放して再生処理を開始し、上記圧力信号に基づく上記ク
ライオポンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定
圧力以上になると上記電気弁を開放することを特徴とし
ている。
係る発明のクライオポンプの再生方法であって、第１・
第２クライオパネルを加熱するヒータをオンし,上記ク
ライオポンプ内に窒素を導入する窒素パージバルブを開
放して再生処理を開始し、上記圧力信号に基づく上記ク
ライオポンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定
圧力以上になると上記電気弁を開放することを特徴とし
ている。
【００１９】上記構成によれば、再生制御部によって、
再生処理時において、上記クライオポンプ内の圧力が大
気圧より高く設定された所定圧力以上になると直ちに上
記電気弁が開放されて、上記クライオポンプ内が大気に
開放される。したがって、上記クライオポンプの開放タ
イミングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆流する
ことや、上記クライオポンプの開放タイミングが遅過ぎ
て水素ガスが爆発することやゲートバルブが破損するこ
とが回避される。
再生処理時において、上記クライオポンプ内の圧力が大
気圧より高く設定された所定圧力以上になると直ちに上
記電気弁が開放されて、上記クライオポンプ内が大気に
開放される。したがって、上記クライオポンプの開放タ
イミングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆流する
ことや、上記クライオポンプの開放タイミングが遅過ぎ
て水素ガスが爆発することやゲートバルブが破損するこ
とが回避される。
【００２０】また、請求項５に係る発明は、２段冷凍機
の１段目のヒートステージに取り付けられた第１クライ
オパネルと２段目のヒートステージに取り付けられた第
２クライオパネルとに,真空チャンバ内のプロセスガス
を凍結捕集して,上記真空チャンバを真空排気するクラ
イオポンプの制御方法であって、上記クライオポンプ内
に窒素を導入する窒素パージバルブを開放し、上記窒素
パージバルブの流量を計測し、上記窒素パージバルブの
流量と上記クライオポンプの容積とから,上記クライオ
ポンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定圧力に
至るまでの時間を求め、上記窒素パージバルブを開放し
てから上記時間が経過すると,上記クライオポンプ内を
大気に開放する電気弁を開放することを特徴としてい
る。
の１段目のヒートステージに取り付けられた第１クライ
オパネルと２段目のヒートステージに取り付けられた第
２クライオパネルとに,真空チャンバ内のプロセスガス
を凍結捕集して,上記真空チャンバを真空排気するクラ
イオポンプの制御方法であって、上記クライオポンプ内
に窒素を導入する窒素パージバルブを開放し、上記窒素
パージバルブの流量を計測し、上記窒素パージバルブの
流量と上記クライオポンプの容積とから,上記クライオ
ポンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定圧力に
至るまでの時間を求め、上記窒素パージバルブを開放し
てから上記時間が経過すると,上記クライオポンプ内を
大気に開放する電気弁を開放することを特徴としてい
る。
【００２１】上記構成において、上記窒素パージバルブ
の流量と上記クライオポンプの容積から求められた上記
クライオポンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所
定圧力に至るまでの時間に基づいて、最適なタイミング
で上記電気弁が開放される。したがって、上記電気弁を
開放する最適タイミングを求めるための圧力センサを必
要とはせず、上記圧力センサとして上記クライオポンプ
内と同じ環境中に剥き出して配置されるフィラメントを
有するピラニゲージや熱電対真空計を用いた場合の水素
ガスの爆発等の問題点が排除される。
の流量と上記クライオポンプの容積から求められた上記
クライオポンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所
定圧力に至るまでの時間に基づいて、最適なタイミング
で上記電気弁が開放される。したがって、上記電気弁を
開放する最適タイミングを求めるための圧力センサを必
要とはせず、上記圧力センサとして上記クライオポンプ
内と同じ環境中に剥き出して配置されるフィラメントを
有するピラニゲージや熱電対真空計を用いた場合の水素
ガスの爆発等の問題点が排除される。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態のクラ
イオポンプにおける概略構成図である。クライオポンプ
２１には、２段の膨張シリンダ２３,２４を備えた２段
膨張式冷凍機２２が用いられている。
態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態のクラ
イオポンプにおける概略構成図である。クライオポンプ
２１には、２段の膨張シリンダ２３,２４を備えた２段
膨張式冷凍機２２が用いられている。
【００２３】１段目の第１膨張シリンダ２３におけるヒ
ートステージ(第１ヒートステージ)２５には、有底の円
筒形を成す第１クライオパネル２７の底面の中央を取り
付けている。また、２段目の第２膨張シリンダ２４にお
けるヒートステージ(第２ヒートステージ)２６には、第
２クライオパネル２８の天面の中心を取り付けている。
ートステージ(第１ヒートステージ)２５には、有底の円
筒形を成す第１クライオパネル２７の底面の中央を取り
付けている。また、２段目の第２膨張シリンダ２４にお
けるヒートステージ(第２ヒートステージ)２６には、第
２クライオパネル２８の天面の中心を取り付けている。
【００２４】そして、上記第１クライオパネル２７やそ
の先端部に取り付けられたバッフル２９で、バッフル２
９に接続されチャンバ(図示せず)内の水蒸気を凍結捕集
して排気する。一方、第２クライオパネル２８によっ
て、第１クライオパネル２７で排気できない上記チャン
バ内の酸素ガス,窒素ガスおよびアルゴンガス等を凍結
捕集し、水素ガスは第２クライオパネル２８に一体に設
けられた平板３０に張り付けられた活性炭(図示せず)に
吸着して排気する。
の先端部に取り付けられたバッフル２９で、バッフル２
９に接続されチャンバ(図示せず)内の水蒸気を凍結捕集
して排気する。一方、第２クライオパネル２８によっ
て、第１クライオパネル２７で排気できない上記チャン
バ内の酸素ガス,窒素ガスおよびアルゴンガス等を凍結
捕集し、水素ガスは第２クライオパネル２８に一体に設
けられた平板３０に張り付けられた活性炭(図示せず)に
吸着して排気する。
【００２５】上記第１ヒートステージ２５及び第２ヒー
トステージ２６には、両ヒートステージ２５,２６を加
熱して凍結補集されているガス分子を蒸発させるための
第１,第２ヒータ３２,３１が取り付けられている。ま
た、窒素パージバルブ３４は、上記水素ガスが吸着され
ている活性炭を再生し、且つ、ケーシング３３内の再生
ガスを排出する場合に開放されて、ケーシング３３内に
窒素ガスを導入する。排気バルブ３５は、蒸発または離
脱した上記再生ガスをクライオポンプ外に排気する場合
に開放される。粗引きバルブ３６は、再生処理が終了し
て上記クールダウンに移行する場合に、ケーシング３３
内を粗引きする際に開放される。圧力センサ３７は、ケ
ーシング３３内の圧力を検出して圧力信号を出力する。
第１,第２ヒートステージ２５,２６に取り付けられた温
度センサ４０,３９は、ヒートステージ温度を検出して
温度信号を出力する。
トステージ２６には、両ヒートステージ２５,２６を加
熱して凍結補集されているガス分子を蒸発させるための
第１,第２ヒータ３２,３１が取り付けられている。ま
た、窒素パージバルブ３４は、上記水素ガスが吸着され
ている活性炭を再生し、且つ、ケーシング３３内の再生
ガスを排出する場合に開放されて、ケーシング３３内に
窒素ガスを導入する。排気バルブ３５は、蒸発または離
脱した上記再生ガスをクライオポンプ外に排気する場合
に開放される。粗引きバルブ３６は、再生処理が終了し
て上記クールダウンに移行する場合に、ケーシング３３
内を粗引きする際に開放される。圧力センサ３７は、ケ
ーシング３３内の圧力を検出して圧力信号を出力する。
第１,第２ヒートステージ２５,２６に取り付けられた温
度センサ４０,３９は、ヒートステージ温度を検出して
温度信号を出力する。
【００２６】再生コントローラ４１は、上記圧力センサ
３７からの圧力信号および温度センサ３９,４０からの
温度信号に基づいて、ヒータ３１・３２,窒素パージバル
ブ３４,排気バルブ３５,粗引きバルブ３６および圧縮機
４２等を制御して、第１,第２クライオパネル２７,２８
を加熱して捕集/吸着されているガスを排出する再生処
理、および、再度第１,第２クライオパネル２７,２８を
２０Ｋの低温まで冷却するクールダウンを行う。
３７からの圧力信号および温度センサ３９,４０からの
温度信号に基づいて、ヒータ３１・３２,窒素パージバル
ブ３４,排気バルブ３５,粗引きバルブ３６および圧縮機
４２等を制御して、第１,第２クライオパネル２７,２８
を加熱して捕集/吸着されているガスを排出する再生処
理、および、再度第１,第２クライオパネル２７,２８を
２０Ｋの低温まで冷却するクールダウンを行う。
【００２７】ここで、本実施の形態において使用される
排気バルブ３５は、図２に示すような電磁弁である。図
２において、ソレノイド４５に通電されると、プランジ
ャ４６は、このプランジャ４６の両端部に設けられたス
プリング押さえ４７,４８間に縮挿されたスプリング４
９の弾性力に抗して図中上方に移動する。それに伴っ
て、プランジャ４６の先端にボルト５０で取り付けられ
たバルブディスク５１も上方に移動して、入口５２と出
口５３とが連通する。一方、ソレノイド４５の通電が切
れると、プランジャ４６は、スプリング４９の弾性力に
よって下方に移動して、入口５２と出口５３との間が閉
鎖される。尚、５４はベローズである。
排気バルブ３５は、図２に示すような電磁弁である。図
２において、ソレノイド４５に通電されると、プランジ
ャ４６は、このプランジャ４６の両端部に設けられたス
プリング押さえ４７,４８間に縮挿されたスプリング４
９の弾性力に抗して図中上方に移動する。それに伴っ
て、プランジャ４６の先端にボルト５０で取り付けられ
たバルブディスク５１も上方に移動して、入口５２と出
口５３とが連通する。一方、ソレノイド４５の通電が切
れると、プランジャ４６は、スプリング４９の弾性力に
よって下方に移動して、入口５２と出口５３との間が閉
鎖される。尚、５４はベローズである。
【００２８】上記構成において、真空排気時において半
導体製造等のプロセスを繰り返すうちに、やがて第１ク
ライオパネル２７,バッフル２９,第２クライオパネル２
８および上記活性炭は、凍結捕集あるいは吸着された
水,窒素,酸素,アルゴンおよび水素等の物質で一杯にな
り、排気能力が低下する。そこで、所定時間が経過する
と、再生コントローラ４１による制御の下に、以下のよ
うな再生処理を行うのである。 (１) 上記バッフル２９と上記チャンバとの間に設けら
れているゲートバルブ(図示せず)を閉鎖し、圧縮機４２
を停止してクライオポンプ２１を停止する。 (２) 上記第１,第２ヒータ３２,３１をオンする。 (３) 上記窒素パージバルブ３４を開放して、ケーシン
グ３３内に窒素を導入する。 (４) 上記第１,第２クライオパネル２７,２８から離脱
したガスによって高くなるケーシング３３内の圧力を、
圧力センサ３７からの圧力信号に基づいて監視する。 (５) 上記ケーシング３３内の圧力が大気圧よりも少し
高く設定された所定圧力（例えば、大気圧＋０.０５kg/
cm2〜大気圧＋０.２kg/cm2)に至ると、電磁弁３５に制
御信号を出力して開放し、プロセスガスを放出する。 (６) 上記電磁弁３５を閉鎖する。 (７) 上記粗引きバルブ３６を開放して粗引きを開始す
る。 (８) 上記圧力センサ３７からの圧力信号に基づくケー
シング３３内の真空度が所定値(例えば、１０-2Ｐa)に
至ると、リークチェックおよび残留ガスチェックを順次
行った後、圧縮機４２を駆動してクライオポンプ２１を
スタートさせる。
導体製造等のプロセスを繰り返すうちに、やがて第１ク
ライオパネル２７,バッフル２９,第２クライオパネル２
８および上記活性炭は、凍結捕集あるいは吸着された
水,窒素,酸素,アルゴンおよび水素等の物質で一杯にな
り、排気能力が低下する。そこで、所定時間が経過する
と、再生コントローラ４１による制御の下に、以下のよ
うな再生処理を行うのである。 (１) 上記バッフル２９と上記チャンバとの間に設けら
れているゲートバルブ(図示せず)を閉鎖し、圧縮機４２
を停止してクライオポンプ２１を停止する。 (２) 上記第１,第２ヒータ３２,３１をオンする。 (３) 上記窒素パージバルブ３４を開放して、ケーシン
グ３３内に窒素を導入する。 (４) 上記第１,第２クライオパネル２７,２８から離脱
したガスによって高くなるケーシング３３内の圧力を、
圧力センサ３７からの圧力信号に基づいて監視する。 (５) 上記ケーシング３３内の圧力が大気圧よりも少し
高く設定された所定圧力（例えば、大気圧＋０.０５kg/
cm2〜大気圧＋０.２kg/cm2)に至ると、電磁弁３５に制
御信号を出力して開放し、プロセスガスを放出する。 (６) 上記電磁弁３５を閉鎖する。 (７) 上記粗引きバルブ３６を開放して粗引きを開始す
る。 (８) 上記圧力センサ３７からの圧力信号に基づくケー
シング３３内の真空度が所定値(例えば、１０-2Ｐa)に
至ると、リークチェックおよび残留ガスチェックを順次
行った後、圧縮機４２を駆動してクライオポンプ２１を
スタートさせる。
【００２９】こうすることによって、上記ケーシング３
３内の圧力が大気圧より少し高い上記所定圧力に至ると
直ぐの最適タイミングで、再生ガス(プロセスガス)を排
気することができる。したがって、上記排気タイミング
の遅れによる水素ガスの爆発や上記ゲートバルブの破
損、または、ケーシング３３内の圧力が大気圧に至る前
の電磁弁３５の開放による外気の逆流を防止でき、安全
且つ正確な再生ガス(プロセスガス)の排気を行うことが
できる。
３内の圧力が大気圧より少し高い上記所定圧力に至ると
直ぐの最適タイミングで、再生ガス(プロセスガス)を排
気することができる。したがって、上記排気タイミング
の遅れによる水素ガスの爆発や上記ゲートバルブの破
損、または、ケーシング３３内の圧力が大気圧に至る前
の電磁弁３５の開放による外気の逆流を防止でき、安全
且つ正確な再生ガス(プロセスガス)の排気を行うことが
できる。
【００３０】上述のように、本実施の形態においては、
再生処理時にプロセスガスを排気するための排気バルブ
３５を電磁弁で構成する。また、クライオポンプ２１に
圧力センサ３７を設ける。そして、再生コントローラ４
１は、第１,第２ヒータ３２,３１をオンし、窒素パージ
バルブ３４を開放して再処理を開始すると、圧力センサ
３７からの圧力信号に基づいてケーシング３３内の圧力
を監視する。そして、ケーシング３８内の圧力が大気圧
よりも少し高く設定された所定圧力に至ると、電磁弁３
５を開放して放出されたプロセスガスを放出するように
している。
再生処理時にプロセスガスを排気するための排気バルブ
３５を電磁弁で構成する。また、クライオポンプ２１に
圧力センサ３７を設ける。そして、再生コントローラ４
１は、第１,第２ヒータ３２,３１をオンし、窒素パージ
バルブ３４を開放して再処理を開始すると、圧力センサ
３７からの圧力信号に基づいてケーシング３３内の圧力
を監視する。そして、ケーシング３８内の圧力が大気圧
よりも少し高く設定された所定圧力に至ると、電磁弁３
５を開放して放出されたプロセスガスを放出するように
している。
【００３１】したがって、再生処理時において、上記ケ
ーシング３３内の圧力が大気圧より少し高い上記所定圧
力に至ると直ちに再生ガス(プロセスガス)を排気するこ
とができる。すなわち、本実施の形態によれば、排気タ
イミングのずれによって生ずる水素ガスの爆発や上記ゲ
ートバルブの破損や外気の逆流等の問題を回避でき、安
全且つ高精度な再生処理を行うことができるのである。
ーシング３３内の圧力が大気圧より少し高い上記所定圧
力に至ると直ちに再生ガス(プロセスガス)を排気するこ
とができる。すなわち、本実施の形態によれば、排気タ
イミングのずれによって生ずる水素ガスの爆発や上記ゲ
ートバルブの破損や外気の逆流等の問題を回避でき、安
全且つ高精度な再生処理を行うことができるのである。
【００３２】尚、上記実施の形態においては、上記排気
バルブ３５を電磁弁で構成して、圧力センサ３７からの
圧力信号に基づいて排気バルブ３５を開放するようにし
ている。しかしながら、この発明はこれに限定されるも
のではない。例えば、排気バルブ３５を、ケーシング３
３の内圧をパイロットとするエアオペレイト型の電磁弁
で構成してもよい。
バルブ３５を電磁弁で構成して、圧力センサ３７からの
圧力信号に基づいて排気バルブ３５を開放するようにし
ている。しかしながら、この発明はこれに限定されるも
のではない。例えば、排気バルブ３５を、ケーシング３
３の内圧をパイロットとするエアオペレイト型の電磁弁
で構成してもよい。
【００３３】また、次のようにしてもよい。すなわち、
上記窒素パージバルブ３４の流量を計測する流量計(図
示せず)を設ける。また、再生コントローラ４１には、
窒素パージバルブ３４の流量と、クライオポンプ２１の
容積と、窒素パージバルブ３４を開放してからケーシン
グ３３内の圧力が大気圧より少し高い上記所定圧力に至
るまでの時間との関係を表すテーブルを持たせる。そし
て、再生コントローラ４１は、圧力センサ３７とは関係
なく、上記流量計からの流量信号と上記テーブルとに基
づいて排気バルブ(電磁弁)３５の開放タイミングを求
め、このタイミングで電磁弁３５に制御信号を出力する
のである。こうすれば、上記圧力センサ３７としてクラ
イオポンプ２１内と同じ環境中にフィラメントが剥き出
しになっている構造のピラニゲージや熱電対真空計を用
いた場合に、水素ガスが爆発する危険性を排除できる。
上記窒素パージバルブ３４の流量を計測する流量計(図
示せず)を設ける。また、再生コントローラ４１には、
窒素パージバルブ３４の流量と、クライオポンプ２１の
容積と、窒素パージバルブ３４を開放してからケーシン
グ３３内の圧力が大気圧より少し高い上記所定圧力に至
るまでの時間との関係を表すテーブルを持たせる。そし
て、再生コントローラ４１は、圧力センサ３７とは関係
なく、上記流量計からの流量信号と上記テーブルとに基
づいて排気バルブ(電磁弁)３５の開放タイミングを求
め、このタイミングで電磁弁３５に制御信号を出力する
のである。こうすれば、上記圧力センサ３７としてクラ
イオポンプ２１内と同じ環境中にフィラメントが剥き出
しになっている構造のピラニゲージや熱電対真空計を用
いた場合に、水素ガスが爆発する危険性を排除できる。
【００３４】
【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１に係
る発明のクライオポンプは、上記クライオポンプ内を大
気に開放する電気弁を備えたので、従来のＯリングとス
プリングを有するリリーフバルブよりも正確なタイミン
グで上記クライオポンプ内を大気に開放できる。したが
って、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧より少し高
い所定圧力に至ると直ちに上記クライオポンプ内を開放
することが可能になる。すなわち、この発明によれば、
上記クライオポンプの開放タイミングが早過ぎて外気が
クライオポンプ内に逆流することや、上記クライオポン
プの開放タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆発すること
やゲートバルブが破損することを回避できる。
る発明のクライオポンプは、上記クライオポンプ内を大
気に開放する電気弁を備えたので、従来のＯリングとス
プリングを有するリリーフバルブよりも正確なタイミン
グで上記クライオポンプ内を大気に開放できる。したが
って、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧より少し高
い所定圧力に至ると直ちに上記クライオポンプ内を開放
することが可能になる。すなわち、この発明によれば、
上記クライオポンプの開放タイミングが早過ぎて外気が
クライオポンプ内に逆流することや、上記クライオポン
プの開放タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆発すること
やゲートバルブが破損することを回避できる。
【００３５】また、請求項２に係る発明のクライオポン
プは、制御部によって、圧力センサからの圧力信号に基
づくクライオポンプ内の圧力が所定圧力以上になると、
上記電気弁を開放させて上記クライオポンプ内を大気に
開放するので、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧よ
り少し高い所定圧力に至ると直ちに上記クライオポンプ
内を開放することが可能になる。したがって、上記クラ
イオポンプの開放タイミングが早過ぎて外気がクライオ
ポンプ内に逆流することや、上記クライオポンプの開放
タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆発することやゲート
バルブが破損することを回避できる。
プは、制御部によって、圧力センサからの圧力信号に基
づくクライオポンプ内の圧力が所定圧力以上になると、
上記電気弁を開放させて上記クライオポンプ内を大気に
開放するので、上記クライオポンプ内の圧力が大気圧よ
り少し高い所定圧力に至ると直ちに上記クライオポンプ
内を開放することが可能になる。したがって、上記クラ
イオポンプの開放タイミングが早過ぎて外気がクライオ
ポンプ内に逆流することや、上記クライオポンプの開放
タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆発することやゲート
バルブが破損することを回避できる。
【００３６】また、請求項３に係る発明のクライオポン
プの再生装置は、上記制御部を再生制御部とし、再生処
理時において、ヒータおよび窒素パージバルブを制御し
て再生処理を開始し、上記圧力センサからの圧力信号に
基づく上記クライオポンプ内の圧力が大気圧より高く設
定された所定圧力以上になると直ちに上記電気弁を開放
するので、上記クライオポンプの開放タイミングが早過
ぎて外気がクライオポンプ内に逆流することや、上記ク
ライオポンプの開放タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆
発することやゲートバルブが破損することを回避でき
る。
プの再生装置は、上記制御部を再生制御部とし、再生処
理時において、ヒータおよび窒素パージバルブを制御し
て再生処理を開始し、上記圧力センサからの圧力信号に
基づく上記クライオポンプ内の圧力が大気圧より高く設
定された所定圧力以上になると直ちに上記電気弁を開放
するので、上記クライオポンプの開放タイミングが早過
ぎて外気がクライオポンプ内に逆流することや、上記ク
ライオポンプの開放タイミングが遅過ぎて水素ガスが爆
発することやゲートバルブが破損することを回避でき
る。
【００３７】また、請求項４に係る発明のクライオポン
プの再生方法は、第１・第２クライオパネルを加熱する
ヒータをオンし、上記クライオポンプ内に窒素を導入す
る窒素パージバルブを開放して再生処理を開始し、上記
圧力信号に基づく上記クライオポンプ内の圧力が大気圧
より高く設定された所定圧力以上になると直ちに上記電
気弁を開放するので、上記クライオポンプの開放タイミ
ングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆流すること
や、上記クライオポンプの開放タイミングが遅過ぎて水
素ガスが爆発することやゲートバルブが破損することを
回避できる。
プの再生方法は、第１・第２クライオパネルを加熱する
ヒータをオンし、上記クライオポンプ内に窒素を導入す
る窒素パージバルブを開放して再生処理を開始し、上記
圧力信号に基づく上記クライオポンプ内の圧力が大気圧
より高く設定された所定圧力以上になると直ちに上記電
気弁を開放するので、上記クライオポンプの開放タイミ
ングが早過ぎて外気がクライオポンプ内に逆流すること
や、上記クライオポンプの開放タイミングが遅過ぎて水
素ガスが爆発することやゲートバルブが破損することを
回避できる。
【００３８】また、請求項５に係る発明のクライオポン
プの制御方法は、窒素パージバルブを開放して上記窒素
パージバルブの流量を計測し、上記窒素パージバルブの
流量と上記クライオポンプの容積とから上記クライオポ
ンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定圧力に至
るまでの時間を求め、上記窒素パージバルブを開放して
から上記時間が経過すると電気弁を開放するので、最適
なタイミングで上記電気弁を開放できる。したがって、
上記電気弁を開放する最適タイミングを求めるための圧
力センサを必要とはせず、上記圧力センサとしてピラニ
ゲージや熱電対真空計等を用いた場合における水素ガス
の爆発等の問題を無くすことができる。
プの制御方法は、窒素パージバルブを開放して上記窒素
パージバルブの流量を計測し、上記窒素パージバルブの
流量と上記クライオポンプの容積とから上記クライオポ
ンプ内の圧力が大気圧より高く設定された所定圧力に至
るまでの時間を求め、上記窒素パージバルブを開放して
から上記時間が経過すると電気弁を開放するので、最適
なタイミングで上記電気弁を開放できる。したがって、
上記電気弁を開放する最適タイミングを求めるための圧
力センサを必要とはせず、上記圧力センサとしてピラニ
ゲージや熱電対真空計等を用いた場合における水素ガス
の爆発等の問題を無くすことができる。
【図１】この発明のクライオポンプにおける概略構成図
である。
である。
【図２】図１における排気バルブの一例を示す縦断面図
である。
である。
【図３】従来のクライオポンプの概略構成図である。
【図４】図３におけるリリーフバルブの部分断面図であ
る。
る。
２１…クライオポンプ、 ２２…２段膨張
式冷凍機、２５…第１ヒートステージ、 ２６
…第２ヒートステージ、２７…第１クライオパネル、
２８…第２クライオパネル、２９…バッフル、
３１,３２…ヒータ、３４…窒素
パージバルブ、 ３５…排気バルブ、３６…
粗引きバルブ、 ３７…圧力センサ、４
１…再生コントローラ、 ４５…ソレノイ
ド、４６…プランジャ、 ４９…スプ
リング、５１…バルブディスク、 ５２…
入口、５３…出口。
式冷凍機、２５…第１ヒートステージ、 ２６
…第２ヒートステージ、２７…第１クライオパネル、
２８…第２クライオパネル、２９…バッフル、
３１,３２…ヒータ、３４…窒素
パージバルブ、 ３５…排気バルブ、３６…
粗引きバルブ、 ３７…圧力センサ、４
１…再生コントローラ、 ４５…ソレノイ
ド、４６…プランジャ、 ４９…スプ
リング、５１…バルブディスク、 ５２…
入口、５３…出口。
Claims (5)
- 【請求項１】 ２段冷凍機(２２)の１段目のヒートステ
ージ(２５)に取り付けられた第１クライオパネル(２７)
と２段目のヒートステージ(２６)に取り付けられた第２
クライオパネル(２８)とに、真空チャンバ内のプロセス
ガスを凍結捕集して、上記真空チャンバを真空排気する
クライオポンプ(２１)において、 上記クライオポンプ(２１)内を大気に開放する電気弁
(３５)を備えたことを特徴とするクライオポンプ。 - 【請求項２】 請求項１に記載のクライオポンプ(２１)
において、 上記クライオポンプ(２１)内の圧力を検知して、この検
知した圧力を表す圧力信号を出力する圧力センサ(３７)
と、 上記圧力信号を受けて、上記圧力信号に基づく上記クラ
イオポンプ(２１)内の圧力が所定圧力以上になると上記
電気弁(３５)を開放させる制御部(４１)を備えたことを
特徴とするクライオポンプ。 - 【請求項３】 請求項２に記載のクライオポンプ（２
１）の再生装置であって、 上記第１,第２クライオパネル(２７,２８)を加熱するヒ
ータ(３１,３２)と、 上記クライオポンプ(２１)内に窒素を導入する窒素パー
ジバルブ(３４)を備えると共に、 上記制御部(４１)は再生制御部であり、再生処理時にお
いて、上記ヒータ(３１,３２)および窒素パージバルブ
(３４)を制御して再生処理を開始し、上記圧力信号に基
づく上記クライオポンプ(２１)内の圧力が大気圧より高
く設定された所定圧力以上になると上記電気弁(３５)を
開放するようになっていることを特徴とするクライオポ
ンプの再生装置。 - 【請求項４】 請求項２に記載のクライオポンプ（２
１）の再生方法であって、 上記第１,第２クライオパネル(２７,２８)を加熱するヒ
ータ(３１,３２)をオンし、上記クライオポンプ(２１)
内に窒素を導入する窒素パージバルブ(３４)を開放して
再生処理を開始し、 上記圧力信号に基づく上記クライオポンプ(２１)内の圧
力が大気圧より高く設定された所定圧力以上になると上
記電気弁(３５)を開放することを特徴とするクライオポ
ンプの再生方法。 - 【請求項５】 ２段冷凍機(２２)の１段目のヒートステ
ージ(２５)に取り付けられた第１クライオパネル(２７)
と２段目のヒートステージ(２６)に取り付けられた第２
クライオパネル(２８)とに、真空チャンバ内のプロセス
ガスを凍結捕集して、上記真空チャンバを真空排気する
クライオポンプ(２１)の制御方法であって、 上記クライオポンプ(２１)内に窒素を導入する窒素パー
ジバルブ(３４)を開放し、 上記窒素パージバルブ(３４)の流量を計測し、 上記窒素パージバルブ(３４)の流量と上記クライオポン
プ(２１)の容積から、上記クライオポンプ(２１)内の圧
力が大気圧より高く設定された所定圧力に至るまでの時
間を求め、 上記窒素パージバルブ(３４)を開放してから上記時間が
経過すると、上記クライオポンプ(２１)内を大気に開放
する電気弁(３５)を開放することを特徴とするクライオ
ポンプの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10151114A JPH11343972A (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10151114A JPH11343972A (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11343972A true JPH11343972A (ja) | 1999-12-14 |
Family
ID=15511672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10151114A Pending JPH11343972A (ja) | 1998-06-01 | 1998-06-01 | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11343972A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012154343A (ja) * | 2012-05-21 | 2012-08-16 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
| CN103291585A (zh) * | 2012-03-01 | 2013-09-11 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及其再生方法 |
| JP2013543952A (ja) * | 2010-11-24 | 2013-12-09 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 制御された水素ガス放出を伴うクライオポンプ |
| KR101382167B1 (ko) * | 2012-12-27 | 2014-04-08 | 주식회사 포스코 | 부생가스 이송배관의 이상압력 해소장치 |
| TWI682101B (zh) * | 2017-02-07 | 2020-01-11 | 日商住友重機械工業股份有限公司 | 低溫泵 |
| GB2600479A (en) * | 2020-11-02 | 2022-05-04 | Edwards Vacuum Llc | Cryopumps and inlet flow restrictors for cryopumps |
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|---|---|---|---|---|
| JPH04504454A (ja) * | 1989-04-07 | 1992-08-06 | ヘリツクス・テクノロジー・コーポレーシヨン | 圧力逃がし弁とそれを使用したクライオポンプ |
| JPH0599139A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-20 | Fujitsu Ltd | クライオポンプ再生機構 |
| JPH06510348A (ja) * | 1991-09-10 | 1994-11-17 | ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト | クライオポンプ |
| JPH0861232A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Ebara Corp | クライオポンプの再生方法及び再生装置 |
| JPH1054369A (ja) * | 1996-05-21 | 1998-02-24 | Ebara Corp | 真空ポンプの制御装置 |
-
1998
- 1998-06-01 JP JP10151114A patent/JPH11343972A/ja active Pending
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