JPH0861232A - クライオポンプの再生方法及び再生装置 - Google Patents
クライオポンプの再生方法及び再生装置Info
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- JPH0861232A JPH0861232A JP22415394A JP22415394A JPH0861232A JP H0861232 A JPH0861232 A JP H0861232A JP 22415394 A JP22415394 A JP 22415394A JP 22415394 A JP22415394 A JP 22415394A JP H0861232 A JPH0861232 A JP H0861232A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間でクライオパネルの再生ができるクラ
イオポンプの再生方法及び再生装置を提供すること。 【構成】 ポンプ運転中にガスを凝縮するクライオパネ
ル面７，８、冷凍機６を具備するクライオポンプ１の再
生装置であって、クライオパネル７，８を加熱するヒー
タ１５，１６，１７、クライオパネル７，８面の温度を
検出する温度センサーＴ１，Ｔ２、圧力センサーＰ、制
御部１８、クライオポンプ１内を減圧するターボ分子ポ
ンプ１１、粗引真空ポンプ１２を具備し、クライオパネ
ル７，８の面からガス放出終了後に、制御部１８によ
り、ヒータ１５，１６，１７を制御し該クライオパネル
面の温度をガス放出時と同一温度に維持したままターボ
分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２でクライオポン
プ内圧を１／１０3Ｐａ以下まで急速減圧し、その後冷
凍機６で第２段のクライオパネル８の面を２０Ｋまで急
速冷却する。
イオポンプの再生方法及び再生装置を提供すること。 【構成】 ポンプ運転中にガスを凝縮するクライオパネ
ル面７，８、冷凍機６を具備するクライオポンプ１の再
生装置であって、クライオパネル７，８を加熱するヒー
タ１５，１６，１７、クライオパネル７，８面の温度を
検出する温度センサーＴ１，Ｔ２、圧力センサーＰ、制
御部１８、クライオポンプ１内を減圧するターボ分子ポ
ンプ１１、粗引真空ポンプ１２を具備し、クライオパネ
ル７，８の面からガス放出終了後に、制御部１８によ
り、ヒータ１５，１６，１７を制御し該クライオパネル
面の温度をガス放出時と同一温度に維持したままターボ
分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２でクライオポン
プ内圧を１／１０3Ｐａ以下まで急速減圧し、その後冷
凍機６で第２段のクライオパネル８の面を２０Ｋまで急
速冷却する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプのクラ
イオパネル面を再生するクライオポンプの再生方法及び
再生装置に関し、特に再生を的確に短時間で実行できる
クライオポンプの再生方法及び再生装置に関するもので
ある。
イオパネル面を再生するクライオポンプの再生方法及び
再生装置に関し、特に再生を的確に短時間で実行できる
クライオポンプの再生方法及び再生装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来技術】一般のクライオポンプでは、１段目のクラ
イオパネルで５０〜１００Ｋに保ち、主に水を凝縮し、
２段目のクライオパネルで２０Ｋ程度に保ち、アルゴン
Ａｒや窒素Ｎ2ガスを凝縮して、また、２段目のクライ
オパネルの裏面に形成した活性炭層等で２０Ｋ程度では
凝縮できない水素Ｈ2ガスを低温吸着してチャンバーを
真空にするものである。
イオパネルで５０〜１００Ｋに保ち、主に水を凝縮し、
２段目のクライオパネルで２０Ｋ程度に保ち、アルゴン
Ａｒや窒素Ｎ2ガスを凝縮して、また、２段目のクライ
オパネルの裏面に形成した活性炭層等で２０Ｋ程度では
凝縮できない水素Ｈ2ガスを低温吸着してチャンバーを
真空にするものである。
【０００３】クライオポンプは上記のように溜め込み式
の真空ポンプなので、一定時間後に再生（凝縮又は吸着
ガスを放出すること）が必要である。この間はチャンバ
ー内を真空に引けないので、スパッタ装置やインプラ装
置は止めなければならず、これらの装置の稼動率を上げ
るには再生時間を短くする必要がある。
の真空ポンプなので、一定時間後に再生（凝縮又は吸着
ガスを放出すること）が必要である。この間はチャンバ
ー内を真空に引けないので、スパッタ装置やインプラ装
置は止めなければならず、これらの装置の稼動率を上げ
るには再生時間を短くする必要がある。
【０００４】従来、ヘリウム冷凍機によって運転される
クライオポンプのクライオパネル面再生技術としては特
表平５−５０９１４４号公報に開示されたものがある。
該再生技術はクライオポンプの再生時に、クライオポン
プのクライオパネル面に凝縮・吸着した物質を液相及び
／又は気相に移行した状態で、クライオポンプ外に排出
除去するためのものである。
クライオポンプのクライオパネル面再生技術としては特
表平５−５０９１４４号公報に開示されたものがある。
該再生技術はクライオポンプの再生時に、クライオポン
プのクライオパネル面に凝縮・吸着した物質を液相及び
／又は気相に移行した状態で、クライオポンプ外に排出
除去するためのものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術は、クライオポンプの第２段目のクライオパネル
面に吸着した物質を液相及び／又は気相に移行した状態
で、クライオポンプ外に排出除去する、部分再生のため
再生が早くできるという長所はあるが、下記（１）乃至
（３）のような欠点があった。
来技術は、クライオポンプの第２段目のクライオパネル
面に吸着した物質を液相及び／又は気相に移行した状態
で、クライオポンプ外に排出除去する、部分再生のため
再生が早くできるという長所はあるが、下記（１）乃至
（３）のような欠点があった。
【０００６】（１）部分再生のため、再生時におけるポ
ンプケーシング２の内部の温度は第１段のクライオパネ
ル７に凝縮した水を融解、蒸発させる温度よりも低く保
たれる（つまり１段目のクライオパネルの再生は行わな
い）が、２段目のクライオパネルで凝縮又は吸着したガ
スを再生するためには、そのガスの３重点以上にする必
要があるので、第１段目のクライオパネルの温度はクラ
イオポンプとして駆動している時よりも上昇し、該第１
段目のクライオパネル面に凝縮した水分が昇華する。し
かるに上記の従来技術では、再生後のケーシング２の内
の真空引きを１０Ｐａ程度までしか行わないので、第２
段目のクライオパネルの裏面に設けた活性炭層に前記昇
華した水分が蒸気（Ｈ2Ｏ）として吸着されるため、次
の排気運転において、Ｈ2の吸着容量が減少する。
ンプケーシング２の内部の温度は第１段のクライオパネ
ル７に凝縮した水を融解、蒸発させる温度よりも低く保
たれる（つまり１段目のクライオパネルの再生は行わな
い）が、２段目のクライオパネルで凝縮又は吸着したガ
スを再生するためには、そのガスの３重点以上にする必
要があるので、第１段目のクライオパネルの温度はクラ
イオポンプとして駆動している時よりも上昇し、該第１
段目のクライオパネル面に凝縮した水分が昇華する。し
かるに上記の従来技術では、再生後のケーシング２の内
の真空引きを１０Ｐａ程度までしか行わないので、第２
段目のクライオパネルの裏面に設けた活性炭層に前記昇
華した水分が蒸気（Ｈ2Ｏ）として吸着されるため、次
の排気運転において、Ｈ2の吸着容量が減少する。
【０００７】（２）物質を液相及び／又は気相に移行し
た状態で排出するため、その処理にガスと液体の２系統
の廃棄系を設けるため、装置が複雑となりコスト高とな
る。また、排出物の処理も複雑になる。
た状態で排出するため、その処理にガスと液体の２系統
の廃棄系を設けるため、装置が複雑となりコスト高とな
る。また、排出物の処理も複雑になる。
【０００８】（３）再生時間の短縮に限界があった。つ
まり、部分再生のみ時間短縮となっており、全再生の時
間短縮にはなっていない。
まり、部分再生のみ時間短縮となっており、全再生の時
間短縮にはなっていない。
【０００９】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、短時間でクライオパネルの再生ができるクライオポ
ンプの再生方法及び再生装置を提供することを目的とす
る。
で、短時間でクライオパネルの再生ができるクライオポ
ンプの再生方法及び再生装置を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明はポンプ運転中にガスを凝縮及び／又は吸着
する第１段及び第２段のクライオパネル面及び該クライ
オパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライオポン
プの再生方法であって、第１段及び／又は第２段のクラ
イオパネル面を一定温度に維持して該クライオパネル面
からのガス放出終了後に、該クライオパネル面の温度を
一定温度に維持したまま該クライオポンプの内圧を１／
１０3Ｐａ（パスカル）以下まで急速に減圧し、その後
第２段のクライオパネル面を２０Ｋまで急速冷却するこ
とを特徴とする。
め、本発明はポンプ運転中にガスを凝縮及び／又は吸着
する第１段及び第２段のクライオパネル面及び該クライ
オパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライオポン
プの再生方法であって、第１段及び／又は第２段のクラ
イオパネル面を一定温度に維持して該クライオパネル面
からのガス放出終了後に、該クライオパネル面の温度を
一定温度に維持したまま該クライオポンプの内圧を１／
１０3Ｐａ（パスカル）以下まで急速に減圧し、その後
第２段のクライオパネル面を２０Ｋまで急速冷却するこ
とを特徴とする。
【００１１】また、ポンプ運転中にガスを凝縮及び／又
は吸着する第１段及び第２段のクライオパネル面及び該
クライオパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライ
オポンプの再生装置であって、第１段及び第２段のクラ
イオパネル面を加熱する加熱手段、該クライオパネル面
の温度を検出する温度検知手段、クライオポンプ内圧を
検知する圧力検知手段、該温度検知手段及び圧力検知手
段の出力を受けて制御信号を発生する制御手段、クライ
オポンプ内を減圧する減圧手段を具備し、第１段及び／
又は第２段のクライオパネル面からのガス放出終了後
に、制御手段により、加熱手段を制御し該クライオパネ
ル面の温度をガス放出時と同一温度に維持したまま減圧
手段でクライオポンプ内圧を１／１０3Ｐａ以下まで急
速に減圧し、その後冷却手段で第２段のクライオパネル
面を２０Ｋまで急速冷却することを特徴とする。
は吸着する第１段及び第２段のクライオパネル面及び該
クライオパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライ
オポンプの再生装置であって、第１段及び第２段のクラ
イオパネル面を加熱する加熱手段、該クライオパネル面
の温度を検出する温度検知手段、クライオポンプ内圧を
検知する圧力検知手段、該温度検知手段及び圧力検知手
段の出力を受けて制御信号を発生する制御手段、クライ
オポンプ内を減圧する減圧手段を具備し、第１段及び／
又は第２段のクライオパネル面からのガス放出終了後
に、制御手段により、加熱手段を制御し該クライオパネ
ル面の温度をガス放出時と同一温度に維持したまま減圧
手段でクライオポンプ内圧を１／１０3Ｐａ以下まで急
速に減圧し、その後冷却手段で第２段のクライオパネル
面を２０Ｋまで急速冷却することを特徴とする。
【００１２】また、前記減圧手段はターボ分子ポンプを
含む真空ポンプであることを特徴とする。
含む真空ポンプであることを特徴とする。
【００１３】また、前記冷却手段は冷凍機のエキスパン
ダモータの回転数を上げて急速冷却する手段であること
を特徴とする。
ダモータの回転数を上げて急速冷却する手段であること
を特徴とする。
【００１４】
【作用】本発明によれば、クライオパネル面からのガス
放出終了後に、クライオパネル面の温度をガス放出時と
同一温度に維持したままクライオポンプ内圧を１／１０
3Ｐａ以下まで急激に減圧し、その後第２段目のクライ
オパネル面を２０Ｋまで急速冷却する処理操作を採用す
ることにより、先に圧力を高真空まで下げ、クライオパ
ネル面から放出されたガスを完全に排除してから、クラ
イオパネル面を急激に冷却するので、クライオパネル面
のクリーン度を維持し、クライオパネル面を完全に再生
できる。しかも短時間でクールダウンできるので、クラ
イオポンプの再稼動までに要する再生時間を短縮でき
る。
放出終了後に、クライオパネル面の温度をガス放出時と
同一温度に維持したままクライオポンプ内圧を１／１０
3Ｐａ以下まで急激に減圧し、その後第２段目のクライ
オパネル面を２０Ｋまで急速冷却する処理操作を採用す
ることにより、先に圧力を高真空まで下げ、クライオパ
ネル面から放出されたガスを完全に排除してから、クラ
イオパネル面を急激に冷却するので、クライオパネル面
のクリーン度を維持し、クライオパネル面を完全に再生
できる。しかも短時間でクールダウンできるので、クラ
イオポンプの再稼動までに要する再生時間を短縮でき
る。
【００１５】なお、ここでクライオポンプの起動、稼動
及び再生時間とは下記のことを意味する。 クライオポンプの起動：冷凍機が起動して冷却を始め
ること、 クライオポンプの稼動：冷凍機が運転されクライオパ
ネルが所定の温度に達しており、真空引きを始めるこ
と、 クライオポンプの再生時間：クライオパネルのヒート
アップ、クライオパネルに凝縮／吸着したガスの放出、
ポンプケーシング内の真空引き、リークのチェック及び
クールダウン（クライオパネルの冷却）に必要とする時
間。
及び再生時間とは下記のことを意味する。 クライオポンプの起動：冷凍機が起動して冷却を始め
ること、 クライオポンプの稼動：冷凍機が運転されクライオパ
ネルが所定の温度に達しており、真空引きを始めるこ
と、 クライオポンプの再生時間：クライオパネルのヒート
アップ、クライオパネルに凝縮／吸着したガスの放出、
ポンプケーシング内の真空引き、リークのチェック及び
クールダウン（クライオパネルの冷却）に必要とする時
間。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の再生方法を実施するクライオポン
プの再生装置の構成を示す図である。クライオポンプ１
のポンプケーシング２には入口弁３を介して真空チャン
バー４が接続され、ポンプケーシング２内には冷凍機６
の第１段目６−１と第２段目６−２が配置されている。
笠状に形成された金属板を水平方向に重ねた構造の第１
段のクライオパネル７が入口弁３の近傍で第１段目６−
１に接続されて配置され、その下方に同じく笠状に形成
された金属板を垂直方向に重ねた構造の第２段のクライ
オパネル８が第２段目６−２に接続されて配置されてい
る。
する。図１は本発明の再生方法を実施するクライオポン
プの再生装置の構成を示す図である。クライオポンプ１
のポンプケーシング２には入口弁３を介して真空チャン
バー４が接続され、ポンプケーシング２内には冷凍機６
の第１段目６−１と第２段目６−２が配置されている。
笠状に形成された金属板を水平方向に重ねた構造の第１
段のクライオパネル７が入口弁３の近傍で第１段目６−
１に接続されて配置され、その下方に同じく笠状に形成
された金属板を垂直方向に重ねた構造の第２段のクライ
オパネル８が第２段目６−２に接続されて配置されてい
る。
【００１７】また、冷凍機６には圧縮機ユニット１０、
エキスパンダモータ（同期電動機からなる）９が接続さ
れ、該エキスパンダモータ９を回転することにより、エ
キスパンダが上下し、それと同期して圧縮機ユニット１
０からの高圧ヘリウムガスは冷凍機６の第１段目６−１
と第２段目６−２に送られ、減圧されて低圧ヘリウムガ
スは圧縮機ユニット１０へ戻される。これにより第１段
目６−１と第２段目６−２が冷却され、同時に第１段の
クライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の面も
冷却される。この時の温度は冷凍機６の第１段目６−１
が６０〜１００Ｋ、第２段目６−２が１２〜２０Ｋ程度
である。
エキスパンダモータ（同期電動機からなる）９が接続さ
れ、該エキスパンダモータ９を回転することにより、エ
キスパンダが上下し、それと同期して圧縮機ユニット１
０からの高圧ヘリウムガスは冷凍機６の第１段目６−１
と第２段目６−２に送られ、減圧されて低圧ヘリウムガ
スは圧縮機ユニット１０へ戻される。これにより第１段
目６−１と第２段目６−２が冷却され、同時に第１段の
クライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の面も
冷却される。この時の温度は冷凍機６の第１段目６−１
が６０〜１００Ｋ、第２段目６−２が１２〜２０Ｋ程度
である。
【００１８】上記の状態で入口弁３を開放すると真空チ
ャンバー４のガスがポンプケーシング２内に流入し、瞬
時に例えば水分（Ｈ2Ｏ）は第１段のクライオパネル７
に付着（凝縮）し、アルゴンガス（Ａｒ）は第２段のク
ライオパネル８の上部表面に凝縮し、水素ガスは第２段
のクライオパネル８の裏面に設けた活性炭層に吸着す
る。これにより真空チャンバー４内の各種のガスは除去
される。
ャンバー４のガスがポンプケーシング２内に流入し、瞬
時に例えば水分（Ｈ2Ｏ）は第１段のクライオパネル７
に付着（凝縮）し、アルゴンガス（Ａｒ）は第２段のク
ライオパネル８の上部表面に凝縮し、水素ガスは第２段
のクライオパネル８の裏面に設けた活性炭層に吸着す
る。これにより真空チャンバー４内の各種のガスは除去
される。
【００１９】１１はターボ分子ポンプであり、１２は粗
引真空ポンプである。該ターボ分子ポンプ１１及び粗引
真空ポンプ１２は直列に接続され、並列に接続されたリ
リーフ弁１３及び再生弁１４を介して、ポンプケーシン
グ２に接続されている。Ｐはポンプケーシング２内の圧
力を検出する圧力センサー、Ｔ１は第１段のクライオパ
ネル７の温度を検出する温度センサー、Ｔ２は第２段の
クライオパネル８の温度を検出する温度センサー、１
５、１６、１７はヒータである。
引真空ポンプである。該ターボ分子ポンプ１１及び粗引
真空ポンプ１２は直列に接続され、並列に接続されたリ
リーフ弁１３及び再生弁１４を介して、ポンプケーシン
グ２に接続されている。Ｐはポンプケーシング２内の圧
力を検出する圧力センサー、Ｔ１は第１段のクライオパ
ネル７の温度を検出する温度センサー、Ｔ２は第２段の
クライオパネル８の温度を検出する温度センサー、１
５、１６、１７はヒータである。
【００２０】１８は制御部であり、上記温度センサーＴ
１、Ｔ２の出力及び圧力センサーＰの出力は該制御部１
８に入力され、該制御部１８からターボ分子ポンプ１１
及び粗引真空ポンプ１２の駆動用電力を供給し、ヒータ
１５、１６に加熱用電力を供給し、更にヒータ１７にパ
ージ用の窒素ガス（Ｎ2）を加熱する加熱用電力を供給
するようになっている。
１、Ｔ２の出力及び圧力センサーＰの出力は該制御部１
８に入力され、該制御部１８からターボ分子ポンプ１１
及び粗引真空ポンプ１２の駆動用電力を供給し、ヒータ
１５、１６に加熱用電力を供給し、更にヒータ１７にパ
ージ用の窒素ガス（Ｎ2）を加熱する加熱用電力を供給
するようになっている。
【００２１】上記構成のクライオポンプの再生装置にお
いて、再生時には先ず入口弁３を閉じ、冷凍機６を止
め、ヒータ１５、ヒータ１６及びヒータ１７に加熱用電
力を供給し、弁１９を開き、ヒータ１７で加熱したパー
ジ用の窒素ガス（Ｎ2）をポンプケーシング２内に供給
する。この加熱により、第１段及び第２段のクライオパ
ネル７，８に凝縮・吸着していたガスが蒸発し、ポンプ
ケーシング２が大気圧を超えた時リリーフ弁１３が開
き、ポンプケーシング２内を略大気圧以上に維持する。
これにより第１段のクライオパネル７及び第２段のクラ
イオパネル８の面に付着した物質はガス化して系外に排
出される。
いて、再生時には先ず入口弁３を閉じ、冷凍機６を止
め、ヒータ１５、ヒータ１６及びヒータ１７に加熱用電
力を供給し、弁１９を開き、ヒータ１７で加熱したパー
ジ用の窒素ガス（Ｎ2）をポンプケーシング２内に供給
する。この加熱により、第１段及び第２段のクライオパ
ネル７，８に凝縮・吸着していたガスが蒸発し、ポンプ
ケーシング２が大気圧を超えた時リリーフ弁１３が開
き、ポンプケーシング２内を略大気圧以上に維持する。
これにより第１段のクライオパネル７及び第２段のクラ
イオパネル８の面に付着した物質はガス化して系外に排
出される。
【００２２】ここで上記凝縮・吸着した物質を完全にガ
ス化して系外に排出する必要があり、そのため凝縮・吸
着した対象物質に応じて第１段のクライオパネル７及び
第２段のクライオパネル８の加熱温度を設定して、温度
センサーＴ１、Ｔ２の出力が該設定温度になるように制
御部１８から供給する加熱用電力を制御すると共に、付
着した物質量を完全にガス化するのに必要な時間（加熱
時間）を設定する。
ス化して系外に排出する必要があり、そのため凝縮・吸
着した対象物質に応じて第１段のクライオパネル７及び
第２段のクライオパネル８の加熱温度を設定して、温度
センサーＴ１、Ｔ２の出力が該設定温度になるように制
御部１８から供給する加熱用電力を制御すると共に、付
着した物質量を完全にガス化するのに必要な時間（加熱
時間）を設定する。
【００２３】第１段のクライオパネル７及び第２段のク
ライオパネル８の面からガスの放出がなくなり再生が終
了したら、第１段のクライオパネル７及び第２第のクラ
イオパネル８の温度を上記設定温度に維持したまま再生
弁１４を開き、ターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポン
プ１２を運転し、ポンプケーシング２の内圧を１／１０
3Ｐａ以下に減圧する。これは第２段のクライオパネル
８の裏面に設けた活性炭層をクリーンにするためと、ポ
ンプケーシング２の内の漏れをチェックするために行
う。粗引真空ポンプ１２による真空引きのみだといくら
時間をかけても１／１０Ｐａ台までしか真空にできない
ので、ポンプケーシング２の内部にガスが残って活性炭
層に吸着されてしまう。
ライオパネル８の面からガスの放出がなくなり再生が終
了したら、第１段のクライオパネル７及び第２第のクラ
イオパネル８の温度を上記設定温度に維持したまま再生
弁１４を開き、ターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポン
プ１２を運転し、ポンプケーシング２の内圧を１／１０
3Ｐａ以下に減圧する。これは第２段のクライオパネル
８の裏面に設けた活性炭層をクリーンにするためと、ポ
ンプケーシング２の内の漏れをチェックするために行
う。粗引真空ポンプ１２による真空引きのみだといくら
時間をかけても１／１０Ｐａ台までしか真空にできない
ので、ポンプケーシング２の内部にガスが残って活性炭
層に吸着されてしまう。
【００２４】次いで、冷凍機６を運転し第１段のクライ
オパネル７の面温度が８０Ｋ以下、且つ第２段のクライ
オパネル８の面温度が２０Ｋ以下になるまで冷却する。
この時同期電動機であるエキスパンダモータ９の回転数
を最高速度（例えば９０ｒｐｍ）とし、急速に冷却させ
る。これらの制御は制御部１８のマイクロプロセッサが
温度センサーＴ１、Ｔ２の出力、圧力センサーＰの出力
を演算処理した制御信号に基づき、ヒータ１５、１６、
１７、エキスパンダモータ９、再生弁１４、粗引真空ポ
ンプ１２、ターボ分子ポンプ１１等を自動的に運転制御
して行う。
オパネル７の面温度が８０Ｋ以下、且つ第２段のクライ
オパネル８の面温度が２０Ｋ以下になるまで冷却する。
この時同期電動機であるエキスパンダモータ９の回転数
を最高速度（例えば９０ｒｐｍ）とし、急速に冷却させ
る。これらの制御は制御部１８のマイクロプロセッサが
温度センサーＴ１、Ｔ２の出力、圧力センサーＰの出力
を演算処理した制御信号に基づき、ヒータ１５、１６、
１７、エキスパンダモータ９、再生弁１４、粗引真空ポ
ンプ１２、ターボ分子ポンプ１１等を自動的に運転制御
して行う。
【００２５】以上の構成の説明は、第１段のクライオパ
ネル７をも加熱して、水分も除去する全再生について述
べたが、第２段のクライオパネル８のみを加熱する部分
再生の場合は、冷凍機６の運転を止める必要がないし
（本実施例では止めていない）、ヒータ１６及び１７は
ＯＦＦの状態である。
ネル７をも加熱して、水分も除去する全再生について述
べたが、第２段のクライオパネル８のみを加熱する部分
再生の場合は、冷凍機６の運転を止める必要がないし
（本実施例では止めていない）、ヒータ１６及び１７は
ＯＦＦの状態である。
【００２６】第１段のクライオパネル７及び第２段のク
ライオパネル８の再生時の加熱温度は各対象物質に対し
て概略下記のようになる。 水蒸気（Ｈ2Ｏ） ３００Ｋ程度（第１段のクライ
オパネル７及び第２段のクライオパネル８を加熱）（全
再生）、 アルゴン（Ａｒ） １１０〜１６０Ｋ（第２段のク
ライオパネル８のみを加熱）（部分再生）、 水素（Ｈ2） ３０〜８０Ｋ（第２段のクライ
オパネル８を加熱）（部分再生）、 窒素（Ｎ2） １００〜１４０Ｋ（第２段のク
ライオパネル８のみを加熱）（部分再生）。
ライオパネル８の再生時の加熱温度は各対象物質に対し
て概略下記のようになる。 水蒸気（Ｈ2Ｏ） ３００Ｋ程度（第１段のクライ
オパネル７及び第２段のクライオパネル８を加熱）（全
再生）、 アルゴン（Ａｒ） １１０〜１６０Ｋ（第２段のク
ライオパネル８のみを加熱）（部分再生）、 水素（Ｈ2） ３０〜８０Ｋ（第２段のクライ
オパネル８を加熱）（部分再生）、 窒素（Ｎ2） １００〜１４０Ｋ（第２段のク
ライオパネル８のみを加熱）（部分再生）。
【００２７】図２は本発明のＡｒ再生処理の操作を示す
部分再生における図で、図３は特表平５−５０９１４４
号公報に開示されたＡｒ再生処理の操作を示す図であ
る。図２及び図３において、曲線Ｔは第２段のクライオ
パネルの温度を示し、曲線Ｐはポンプケーシング内圧を
示す。本実施例のＡｒ再生処理操作は、図２に示すよう
に、第２のクライオパネル８からのガス放出がなくなっ
た時点ｔ4でターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ
１２を運転し、ポンプケーシング２内圧が１／１０3Ｐ
ａ以下になるまで急激に減圧する。
部分再生における図で、図３は特表平５−５０９１４４
号公報に開示されたＡｒ再生処理の操作を示す図であ
る。図２及び図３において、曲線Ｔは第２段のクライオ
パネルの温度を示し、曲線Ｐはポンプケーシング内圧を
示す。本実施例のＡｒ再生処理操作は、図２に示すよう
に、第２のクライオパネル８からのガス放出がなくなっ
た時点ｔ4でターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ
１２を運転し、ポンプケーシング２内圧が１／１０3Ｐ
ａ以下になるまで急激に減圧する。
【００２８】ポンプケーシング２内圧が１／１０3Ｐａ
以下に達した時点ｔ5で急激に冷却して、第２段のクラ
イオパネル８の面２０Ｋ以下の温度にする。ここで時点
ｔ4〜時点ｔ5の間は第２段のクライオパネル８の面を一
定温度（約１４０Ｋ）に維持する（対象物、例えば水蒸
気、水素、窒素の場合は別の温度）。なお、時点ｔ5か
ら若干時間をおいて、第２段のクライオパネル８の面を
冷却する場合もある。
以下に達した時点ｔ5で急激に冷却して、第２段のクラ
イオパネル８の面２０Ｋ以下の温度にする。ここで時点
ｔ4〜時点ｔ5の間は第２段のクライオパネル８の面を一
定温度（約１４０Ｋ）に維持する（対象物、例えば水蒸
気、水素、窒素の場合は別の温度）。なお、時点ｔ5か
ら若干時間をおいて、第２段のクライオパネル８の面を
冷却する場合もある。
【００２９】一方、前記特表平５−５０９１４４号公報
に開示された公知の再生処理操作は、図３に示すよう
に、温度センサの信号により幾分時間を遅らせて時点ｔ
6でクライオパネル面の加熱を断ち、ポンプケーシング
２の内圧が約１０〜１００Ｐａの圧力になってから、ク
ライオパネル面の冷却を開始する。
に開示された公知の再生処理操作は、図３に示すよう
に、温度センサの信号により幾分時間を遅らせて時点ｔ
6でクライオパネル面の加熱を断ち、ポンプケーシング
２の内圧が約１０〜１００Ｐａの圧力になってから、ク
ライオパネル面の冷却を開始する。
【００３０】上記のように公知の再生処理操作において
は、圧力を下げてからクライオパネル面を冷却する時
に、ポンプケーシング２の内圧が１０〜１００Ｐａと高
いので、低温吸着現象をクライオパネル面で起こしてク
リーンになりにくい。これに対して、本実施例ではガス
化したものを完全にポンプケーシング外に排除するため
に圧力を１／１０3Ｐａまで下げて、第２段のクライオ
パネル８の面を冷却するので、クリーン度を維持し、し
かも第２段のクライオパネル７，８の面を完全に再生で
きる。また、リークチェックが正確にできる。
は、圧力を下げてからクライオパネル面を冷却する時
に、ポンプケーシング２の内圧が１０〜１００Ｐａと高
いので、低温吸着現象をクライオパネル面で起こしてク
リーンになりにくい。これに対して、本実施例ではガス
化したものを完全にポンプケーシング外に排除するため
に圧力を１／１０3Ｐａまで下げて、第２段のクライオ
パネル８の面を冷却するので、クリーン度を維持し、し
かも第２段のクライオパネル７，８の面を完全に再生で
きる。また、リークチェックが正確にできる。
【００３１】更に、ポンプケーシング２内が１／１０3
Ｐａ以下の高真空なので、後述の第２段のクライオパネ
ル８が２０Ｋとなるまでの時間及び真空に引けるまでに
かかる時間を短縮できる。２０Ｋに冷却するまでの時間
は、本発明ではエキスパンダモータの回転数を９０ｒｐ
ｍにすることにより、急速に冷却できるので、従来に比
べ約２割短縮できる。なお、図２において、時点ｔ3ま
での処理操作は図３に示す公知例と略同じである。
Ｐａ以下の高真空なので、後述の第２段のクライオパネ
ル８が２０Ｋとなるまでの時間及び真空に引けるまでに
かかる時間を短縮できる。２０Ｋに冷却するまでの時間
は、本発明ではエキスパンダモータの回転数を９０ｒｐ
ｍにすることにより、急速に冷却できるので、従来に比
べ約２割短縮できる。なお、図２において、時点ｔ3ま
での処理操作は図３に示す公知例と略同じである。
【００３２】以上の説明はアルゴンＡｒを再生処理する
部分再生の場合について説明したが、第１段目のクライ
オパネルについた水をも再生する全再生においても同様
な効果を奏することは当然である。
部分再生の場合について説明したが、第１段目のクライ
オパネルについた水をも再生する全再生においても同様
な効果を奏することは当然である。
【００３３】上記のようにポンプケーシング２の内圧を
１／１０3Ｐａまで下げることにより、続く水素排気容
量は不変であるのに対して、ポンプケーシング２の内圧
を１〜１／１０Ｐａまでしか下げない場合は次回の水素
排気容量が５〜１０％ダウンすることが実験的に確認さ
れた。なお、１／１０3Ｐａに至らなくとも、例えば対
象物の分子流領域になる圧力においても、略同様な結果
が得られるのは明らかであるが、完全には１／１０3Ｐ
ａが望ましい。
１／１０3Ｐａまで下げることにより、続く水素排気容
量は不変であるのに対して、ポンプケーシング２の内圧
を１〜１／１０Ｐａまでしか下げない場合は次回の水素
排気容量が５〜１０％ダウンすることが実験的に確認さ
れた。なお、１／１０3Ｐａに至らなくとも、例えば対
象物の分子流領域になる圧力においても、略同様な結果
が得られるのは明らかであるが、完全には１／１０3Ｐ
ａが望ましい。
【００３４】また、本実施例では最高速度（９０ｒｐ
ｍ）でエキスパンダモータ９（同期電動機からなる）を
回転させ、冷却（クールダウン）し、冷凍機６の第１段
目６−１を８０Ｋ、第２段目６−２を２０Ｋにするの
で、排気状態にするまで時間を短くできる。実験的に
は、冷凍機６の２段目６−２の温度を３００Ｋ→２０Ｋ
にするのに、ノーマル（６０Ｈｚの電源で７２ｒｐｍ）
では８０分かかったが最高速度（９０ｒｐｍ）では６５
分に短縮できた。
ｍ）でエキスパンダモータ９（同期電動機からなる）を
回転させ、冷却（クールダウン）し、冷凍機６の第１段
目６−１を８０Ｋ、第２段目６−２を２０Ｋにするの
で、排気状態にするまで時間を短くできる。実験的に
は、冷凍機６の２段目６−２の温度を３００Ｋ→２０Ｋ
にするのに、ノーマル（６０Ｈｚの電源で７２ｒｐｍ）
では８０分かかったが最高速度（９０ｒｐｍ）では６５
分に短縮できた。
【００３５】なお、エキスパンダモータの最高速度を９
０ｒｐｍ以上にすると更に時間は短縮できるが、エキス
パンダのシールの摩耗が大きく、寿命が短くなるため、
エキスパンダモータの最高速度は９０ｒｐｍ程度とする
のが良い。
０ｒｐｍ以上にすると更に時間は短縮できるが、エキス
パンダのシールの摩耗が大きく、寿命が短くなるため、
エキスパンダモータの最高速度は９０ｒｐｍ程度とする
のが良い。
【００３６】なお、上記実施例では第１段のクライオパ
ネル７を笠状に形成された金属板を水平方向に重ねた構
造とし、第２段のクライオパネル８を笠状に形成された
金属板を垂直方向に重ねた構造としたが、第１段及び第
２段のクライオパネル７，８の構造はこれに限定される
ものでないことは当然である。また、上記実施例では制
御部１８からヒータ１５，１６，１７に加熱用電力を供
給するようにしているが、加熱用電源は別個に設け、制
御部１８はここから供給する加熱用電力を制御する制御
信号を発するように構成してもよい。また、制御部１８
からターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２に駆
動電力を供給するようにしているが、駆動用電源は別個
に設け、制御部１８はここから供給する駆動用電力を制
御する制御信号を発するように構成してもよい。
ネル７を笠状に形成された金属板を水平方向に重ねた構
造とし、第２段のクライオパネル８を笠状に形成された
金属板を垂直方向に重ねた構造としたが、第１段及び第
２段のクライオパネル７，８の構造はこれに限定される
ものでないことは当然である。また、上記実施例では制
御部１８からヒータ１５，１６，１７に加熱用電力を供
給するようにしているが、加熱用電源は別個に設け、制
御部１８はここから供給する加熱用電力を制御する制御
信号を発するように構成してもよい。また、制御部１８
からターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２に駆
動電力を供給するようにしているが、駆動用電源は別個
に設け、制御部１８はここから供給する駆動用電力を制
御する制御信号を発するように構成してもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
第１段及び／又は第２段のクライオパネル面からのガス
放出終了後に、該クライオパネル面の温度をガス放出時
と同一温度に維持したままクライオポンプ内圧を１／１
０3Ｐａ下まで急激に減圧し、その後第２段のクライオ
パネル面を２０Ｋまで急速冷却することにより、クライ
オパネルを完全で且つクリーンに再生できると共にクラ
イオポンプの再稼動までに要する再生時間を短縮できる
クライオポンプの再生方法及び再生装置を提供できる。
第１段及び／又は第２段のクライオパネル面からのガス
放出終了後に、該クライオパネル面の温度をガス放出時
と同一温度に維持したままクライオポンプ内圧を１／１
０3Ｐａ下まで急激に減圧し、その後第２段のクライオ
パネル面を２０Ｋまで急速冷却することにより、クライ
オパネルを完全で且つクリーンに再生できると共にクラ
イオポンプの再稼動までに要する再生時間を短縮できる
クライオポンプの再生方法及び再生装置を提供できる。
【図１】本発明の再生方法を実施するクライオポンプの
再生装置の構成を示す図である。
再生装置の構成を示す図である。
【図２】本発明のＡｒ再生処理の操作を示す図である。
【図３】公知のＡｒ再生処理の操作を示す図である。
１ クライオポンプ ２ ポンプケーシング ３ 入口弁 ４ 真空チャンバー ６ 冷凍機 ７ 第１段のクライオパネル ８ 第２段のクライオパネル ９ エキスパンダモータ １０ 圧縮機ユニット １１ ターボ分子ポンプ １２ 粗引真空ポンプ １３ リリーフ弁 １４ 再生弁 １５ ヒータ １６ ヒータ １７ ヒータ １８ 制御部 １９ 弁
Claims (5)
- 【請求項１】 ポンプ運転中にガスを凝縮及び／又は吸
着する第１段及び第２段のクライオパネル面及び該クラ
イオパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライオポ
ンプの再生方法であって、 前記第１段及び／又は第２段のクライオパネル面を一定
温度に維持して該クライオパネル面からのガス放出終了
後に、該クライオパネル面の温度を前記一定温度に維持
したまま該クライオポンプの内圧を１／１０3Ｐａ（パ
スカル）以下まで急速に減圧し、その後第２段のクライ
オパネル面を２０Ｋまで急速冷却することを特徴とする
クライオポンプの再生方法。 - 【請求項２】 ポンプ運転中にガスを凝縮及び／又は吸
着する第１段及び第２段のクライオパネル面及び該クラ
イオパネル面を冷却する冷却手段を具備するクライオポ
ンプの再生装置であって、 前記第１段及び／又は第２段のクライオパネル面を加熱
する加熱手段、該クライオパネル面の温度を検出する温
度検知手段、クライオポンプ内圧を検知する圧力検知手
段、該温度検知手段及び圧力検知手段の出力を受けて制
御信号を発生する制御手段、クライオポンプ内を減圧す
る減圧手段を具備し、 前記第１段及び／又は第２段のクライオパネル面からの
ガス放出終了後に、前記制御手段により、前記加熱手段
を制御し該クライオパネル面の温度をガス放出時と同一
温度に維持したまま前記減圧手段でクライオポンプ内圧
を１／１０3Ｐａ以下まで急速に減圧し、その後前記冷
却手段で前記第２段のクライオパネル面を２０Ｋまで急
速冷却することを特徴とするクライオポンプの再生装
置。 - 【請求項３】 前記減圧手段はターボ分子ポンプを含む
真空ポンプであることを特徴とする請求項２に記載のク
ライオポンプの再生装置。 - 【請求項４】 前記冷却手段は冷凍機のエキスパンダポ
ンプの回転数を上げて急速冷却する手段であることを特
徴とする請求項２に記載のクライオポンプの再生装置。 - 【請求項５】前記冷凍機のエキスパンダポンプの最高回
転数が８０〜１２０ｒｐｍであることを特徴とする請求
項４に記載のクライオポンプの再生装置。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22415394A JPH0861232A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | クライオポンプの再生方法及び再生装置 |
| EP99104588A EP0919722B1 (en) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Regeneration of a cryopump |
| DE69528607T DE69528607T2 (de) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Kryopumpe |
| EP95106279A EP0684382B1 (en) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Cryopump |
| US08/427,827 US5582017A (en) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Cryopump |
| DE69531313T DE69531313T2 (de) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Regeneration einer Kryopumpe |
| DE69528913T DE69528913T2 (de) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Kryopumpe |
| EP99104589A EP0918159B1 (en) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Cryopump |
| EP99104586A EP0921311B1 (en) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Cryopump |
| DE69515720T DE69515720T2 (de) | 1994-04-28 | 1995-04-26 | Kryopumpe |
| KR1019950010233A KR100360357B1 (ko) | 1994-04-28 | 1995-04-28 | 크라이오펌프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22415394A JPH0861232A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | クライオポンプの再生方法及び再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861232A true JPH0861232A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16809369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22415394A Pending JPH0861232A (ja) | 1994-04-28 | 1994-08-24 | クライオポンプの再生方法及び再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0861232A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10141225A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Samsung Electron Co Ltd | クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ装置 |
| JPH10184540A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Anelva Corp | クライオポンプ |
| JPH10512645A (ja) * | 1995-01-18 | 1998-12-02 | ヘリックス・テクノロジー・コーポレイション | 制御されたクライオポンプ再生圧力 |
| JPH11343972A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
| JP2001123951A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-05-08 | Anelva Corp | クライオポンプの再生方法 |
| JP2001342949A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプの再生方法 |
| JP2002070737A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Ulvac Kuraio Kk | クライオポンプの再生方法 |
| JP2002081857A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-22 | Ulvac Kuraio Kk | 希ガス回収方法及び希ガス回収装置 |
| US7997089B2 (en) | 2003-11-28 | 2011-08-16 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Method and apparatus for regeneration water |
| JP2013170568A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法、クライオポンプの制御装置 |
| JP2018076194A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 株式会社アルバック | 真空処理装置及び希ガス回収装置 |
| CN112639288A (zh) * | 2018-09-03 | 2021-04-09 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及低温泵的监视方法 |
| WO2022190760A1 (ja) * | 2021-03-11 | 2022-09-15 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
| KR102554000B1 (ko) * | 2022-09-08 | 2023-07-18 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프 시스템 |
| WO2024085434A1 (ko) * | 2022-10-17 | 2024-04-25 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프를 통한 진공 배기 방법 |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP22415394A patent/JPH0861232A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10512645A (ja) * | 1995-01-18 | 1998-12-02 | ヘリックス・テクノロジー・コーポレイション | 制御されたクライオポンプ再生圧力 |
| JPH10141225A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-26 | Samsung Electron Co Ltd | クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ装置 |
| JPH10184540A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Anelva Corp | クライオポンプ |
| JPH11343972A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
| JP2001123951A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-05-08 | Anelva Corp | クライオポンプの再生方法 |
| JP2001342949A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプの再生方法 |
| JP2002070737A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Ulvac Kuraio Kk | クライオポンプの再生方法 |
| JP2002081857A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-22 | Ulvac Kuraio Kk | 希ガス回収方法及び希ガス回収装置 |
| US7997089B2 (en) | 2003-11-28 | 2011-08-16 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Method and apparatus for regeneration water |
| JP2013170568A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法、クライオポンプの制御装置 |
| JP2018076194A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 株式会社アルバック | 真空処理装置及び希ガス回収装置 |
| CN112639288A (zh) * | 2018-09-03 | 2021-04-09 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及低温泵的监视方法 |
| CN112639288B (zh) * | 2018-09-03 | 2022-05-13 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及低温泵的监视方法 |
| WO2022190760A1 (ja) * | 2021-03-11 | 2022-09-15 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
| KR102554000B1 (ko) * | 2022-09-08 | 2023-07-18 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프 시스템 |
| WO2024054063A1 (ko) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프 시스템 |
| WO2024085434A1 (ko) * | 2022-10-17 | 2024-04-25 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프를 통한 진공 배기 방법 |
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