JP3022200B2 - クライオポンプの再生方法 - Google Patents
クライオポンプの再生方法Info
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- JP3022200B2 JP3022200B2 JP6227468A JP22746894A JP3022200B2 JP 3022200 B2 JP3022200 B2 JP 3022200B2 JP 6227468 A JP6227468 A JP 6227468A JP 22746894 A JP22746894 A JP 22746894A JP 3022200 B2 JP3022200 B2 JP 3022200B2
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- cryopump
- vacuum chamber
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクライオポンプに係わ
り、特に詳しくは極低温に冷却したコールドヘッドのパ
ネル部に凝縮・吸着などしたガスを所要時に気化して排
出し、クライオポンプのガス排出機能を再生する方法に
関するものである。
り、特に詳しくは極低温に冷却したコールドヘッドのパ
ネル部に凝縮・吸着などしたガスを所要時に気化して排
出し、クライオポンプのガス排出機能を再生する方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クライオポンプは、極低温に冷却したパ
ネル面にガスを凝縮や凝固させたり、活性炭などを配し
たガス吸着面に吸着などさせてこれを排気する真空ポン
プの一種であり、半導体製造装置に組み込むなどして使
用されており、その構造や機能については特開昭６３−
１８３２７９号公報などに開示されている。
ネル面にガスを凝縮や凝固させたり、活性炭などを配し
たガス吸着面に吸着などさせてこれを排気する真空ポン
プの一種であり、半導体製造装置に組み込むなどして使
用されており、その構造や機能については特開昭６３−
１８３２７９号公報などに開示されている。
【０００３】クライオポンプのガス排出力は、パネル表
面などに凝縮・凝固・吸着（以下、凝縮などと云う）し
たガスの増加と共に低下する。
面などに凝縮・凝固・吸着（以下、凝縮などと云う）し
たガスの増加と共に低下する。
【０００４】このため、定期的にクライオポンプの再生
作業、すなわちパネル面に凝縮などしたガスを取り除く
必要があり、実開昭５７−６１１８８号（以下、従来技
術１と云う）・特開平３−１１７６８９号（以下、従来
技術２と云う）には電熱加熱により再生する具体的な提
案がなされている。
作業、すなわちパネル面に凝縮などしたガスを取り除く
必要があり、実開昭５７−６１１８８号（以下、従来技
術１と云う）・特開平３−１１７６８９号（以下、従来
技術２と云う）には電熱加熱により再生する具体的な提
案がなされている。
【０００５】すなわち、従来技術１のクライオポンプ１
は、図４に示したように高温側の第１段コールドヘッド
５の部分に加熱手段１４を設置したものであり、このよ
うに構成したクライオポンプにおいては、制御器１８を
操作して加熱手段１４による加熱を停止した状態では、
冷却ユニット９からシリンダ１０・１１内に循環供給す
る冷却媒体（例えば、ヘリウムガス）により、第１段コ
ールドヘッド５のラジエーションシールド４に繋がるバ
ッフル４ａと第２段コールドヘッド７のコールドパネル
６とを極低温に冷却して、これらの冷却したパネル表面
にガスを凝縮などさせることができる。
は、図４に示したように高温側の第１段コールドヘッド
５の部分に加熱手段１４を設置したものであり、このよ
うに構成したクライオポンプにおいては、制御器１８を
操作して加熱手段１４による加熱を停止した状態では、
冷却ユニット９からシリンダ１０・１１内に循環供給す
る冷却媒体（例えば、ヘリウムガス）により、第１段コ
ールドヘッド５のラジエーションシールド４に繋がるバ
ッフル４ａと第２段コールドヘッド７のコールドパネル
６とを極低温に冷却して、これらの冷却したパネル表面
にガスを凝縮などさせることができる。
【０００６】そして、パネル部にガスが多量に凝縮など
して排気する能力が低下すると、制御器１８によって加
熱手段１４を所定の温度に加熱して真空チャンバー３内
に残留した液体などを気化させながら、バルブ２１・２
２を開けて再生ガス供給管２３から真空チャンバー内に
再生ガスとして、例えば乾燥した窒素ガスを供給し、チ
ャンバー内で気化したガスを前記再生ガスと共に排気管
２４から排出することで、クライオポンプの再生を図っ
ている。
して排気する能力が低下すると、制御器１８によって加
熱手段１４を所定の温度に加熱して真空チャンバー３内
に残留した液体などを気化させながら、バルブ２１・２
２を開けて再生ガス供給管２３から真空チャンバー内に
再生ガスとして、例えば乾燥した窒素ガスを供給し、チ
ャンバー内で気化したガスを前記再生ガスと共に排気管
２４から排出することで、クライオポンプの再生を図っ
ている。
【０００７】一方、従来技術２のクライオポンプ１は、
図５に示したように低温側の第２段コールドヘッド７の
コールドパネル６に加熱手段１５が設置された構成であ
り、この加熱手段１５によってコールドパネル６を真空
チャンバー３内の他の部分よりも速く所定の温度に到達
させて、再生時にこのコールドパネル６と第１段コール
ドヘッド５から昇華する低揮発性ガスが吸着パネルに再
吸着されるのを抑制するとしている。
図５に示したように低温側の第２段コールドヘッド７の
コールドパネル６に加熱手段１５が設置された構成であ
り、この加熱手段１５によってコールドパネル６を真空
チャンバー３内の他の部分よりも速く所定の温度に到達
させて、再生時にこのコールドパネル６と第１段コール
ドヘッド５から昇華する低揮発性ガスが吸着パネルに再
吸着されるのを抑制するとしている。
【０００８】高温側の第１段コールドヘッド５を加熱す
るか、低温側の第２段コールドヘッド７を加熱するか
は、排出するガスの種類によって異なる。例えば、水の
ような比較的凝縮・凝固温度の高いものは第１段コール
ドヘッドのパネルに凝縮・凝固するので、１段目のコー
ルドヘッドを加熱し、アルゴンや水素など比較的凝縮温
度が低いガスについては第２段コールドヘッドのパネル
に凝縮するため、この場合は２段目のコールドヘッドを
加熱するような工夫がなされている。
るか、低温側の第２段コールドヘッド７を加熱するか
は、排出するガスの種類によって異なる。例えば、水の
ような比較的凝縮・凝固温度の高いものは第１段コール
ドヘッドのパネルに凝縮・凝固するので、１段目のコー
ルドヘッドを加熱し、アルゴンや水素など比較的凝縮温
度が低いガスについては第２段コールドヘッドのパネル
に凝縮するため、この場合は２段目のコールドヘッドを
加熱するような工夫がなされている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、クライオポン
プのガス排出能力を完全に再生させるためには、１段目
と２段目のコールドヘッドの両方を凡そ室温まで上昇さ
せなければならないが、図６・図７に例示したように、
加熱手段を第１段コールドヘッドに設置したクライオポ
ンプでは第２段コールドヘッドの温度上昇に時間を要
し、加熱手段を第２段コールドヘッドに設置したクライ
オポンプでは第１段コールドヘッドの温度上昇に時間を
要すると云った問題点があり、この点の解決が課題とな
っていた。
プのガス排出能力を完全に再生させるためには、１段目
と２段目のコールドヘッドの両方を凡そ室温まで上昇さ
せなければならないが、図６・図７に例示したように、
加熱手段を第１段コールドヘッドに設置したクライオポ
ンプでは第２段コールドヘッドの温度上昇に時間を要
し、加熱手段を第２段コールドヘッドに設置したクライ
オポンプでは第１段コールドヘッドの温度上昇に時間を
要すると云った問題点があり、この点の解決が課題とな
っていた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記従来技
術の課題を解決するための具体的手段として、真空チャ
ンバー内に設置した冷却温度レベルが異なる複数の極低
温のコールドヘッドにガスを凝縮・吸着などして除去す
るクライオポンプにおいて、真空チャンバー内と被排気
室との連通を遮断し、コールドヘッドそれぞれに設置し
た加熱手段により異なる熱量を与えてコールドヘッドそ
れぞれの温度を上昇させ、コールドヘッドそれぞれに凝
縮・吸着などしたガスを気化し、この気化したガスを真
空チャンバー内に供給した再生ガスと共に排出するクラ
イオポンプの再生方法と、
術の課題を解決するための具体的手段として、真空チャ
ンバー内に設置した冷却温度レベルが異なる複数の極低
温のコールドヘッドにガスを凝縮・吸着などして除去す
るクライオポンプにおいて、真空チャンバー内と被排気
室との連通を遮断し、コールドヘッドそれぞれに設置し
た加熱手段により異なる熱量を与えてコールドヘッドそ
れぞれの温度を上昇させ、コールドヘッドそれぞれに凝
縮・吸着などしたガスを気化し、この気化したガスを真
空チャンバー内に供給した再生ガスと共に排出するクラ
イオポンプの再生方法と、
【００１１】真空チャンバー内に設置した冷却温度レベ
ルおよび熱容量が異なる複数の極低温のコールドヘッド
にガスを凝縮・吸着などして除去するクライオポンプに
おいて、真空チャンバー内と被排気室との連通を遮断
し、コールドヘッドの冷却温度および熱容量の相違に基
づいた熱量をコールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により与えてコールドヘッドそれぞれの温度を上昇さ
せると共に、コールドヘッドの温度差を所定値以下に制
御し、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着などしたガ
スを気化し、この気化したガスを真空チャンバー内に供
給した再生ガスと共に排出するクライオポンプの再生方
法と、を提供することにより、前記した従来技術の課題
を解決するものである。
ルおよび熱容量が異なる複数の極低温のコールドヘッド
にガスを凝縮・吸着などして除去するクライオポンプに
おいて、真空チャンバー内と被排気室との連通を遮断
し、コールドヘッドの冷却温度および熱容量の相違に基
づいた熱量をコールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により与えてコールドヘッドそれぞれの温度を上昇さ
せると共に、コールドヘッドの温度差を所定値以下に制
御し、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着などしたガ
スを気化し、この気化したガスを真空チャンバー内に供
給した再生ガスと共に排出するクライオポンプの再生方
法と、を提供することにより、前記した従来技術の課題
を解決するものである。
【００１２】
【作用】第１段コールドヘッドと第２段コールドヘッド
が冷却温度と熱容量の相違に基づいてそれぞれ加熱され
るので、両方のコールドヘッドを速やかに、且つ、室温
にまで同時に昇温させることができる。このため、第１
段コールドヘッドと第２段コールドヘッドに凝縮などし
ていたガスが、速やかに気化して再生ガスと共に排出さ
れる。
が冷却温度と熱容量の相違に基づいてそれぞれ加熱され
るので、両方のコールドヘッドを速やかに、且つ、室温
にまで同時に昇温させることができる。このため、第１
段コールドヘッドと第２段コールドヘッドに凝縮などし
ていたガスが、速やかに気化して再生ガスと共に排出さ
れる。
【００１３】
【実施例】以下、図１〜図３に基づいて、本発明になる
クライオポンプ１の再生方法を詳細に説明する。なお、
図１において、図４・図５中の符号と同一の符号で示す
部分は、これらの図により説明した部分と同一の機能を
果たす部分である。
クライオポンプ１の再生方法を詳細に説明する。なお、
図１において、図４・図５中の符号と同一の符号で示す
部分は、これらの図により説明した部分と同一の機能を
果たす部分である。
【００１４】クライオポンプ１の構成と機能それ自体は
従来周知であり、一端に開閉可能なゲートバルブ２を備
えた真空チャンバー３の内部に、輻射シールドパネルと
も呼ばれるラジエーションシールド４を先端部に有する
第１段コールドヘッド５と、クライオパネルとも呼ばれ
るコールドパネル６を先端部に有する第２段コールドヘ
ッド７とを備えて、前記ゲートバルブ２を介して被排気
室８に接続され、冷却ユニット９の冷却作用によりラジ
エーションシールド４およびこのラジエーションシール
ド４に連設されたバッフル４ａが例えば５０Ｋに冷却さ
れ、コールドパネル６が例えば１０Ｋに冷却され、高温
側のラジエーションシールド４およびバッフル４ａに凝
縮温度が比較的高い例えば水や炭化水素などを凝縮・凝
固し、低温側のコールドパネル６に凝縮温度の低いアル
ゴンや水素ガスなどを凝縮して、被排気室８の真空度を
高めるためのものである。
従来周知であり、一端に開閉可能なゲートバルブ２を備
えた真空チャンバー３の内部に、輻射シールドパネルと
も呼ばれるラジエーションシールド４を先端部に有する
第１段コールドヘッド５と、クライオパネルとも呼ばれ
るコールドパネル６を先端部に有する第２段コールドヘ
ッド７とを備えて、前記ゲートバルブ２を介して被排気
室８に接続され、冷却ユニット９の冷却作用によりラジ
エーションシールド４およびこのラジエーションシール
ド４に連設されたバッフル４ａが例えば５０Ｋに冷却さ
れ、コールドパネル６が例えば１０Ｋに冷却され、高温
側のラジエーションシールド４およびバッフル４ａに凝
縮温度が比較的高い例えば水や炭化水素などを凝縮・凝
固し、低温側のコールドパネル６に凝縮温度の低いアル
ゴンや水素ガスなどを凝縮して、被排気室８の真空度を
高めるためのものである。
【００１５】なお、シリンダ１０・１１内に冷却ユニッ
ト９から循環供給される極低温のヘリウムガスによっ
て、ラジエーションシールド４・バッフル４ａ・コール
ドパネル６が所定の温度に速やかに冷却されるように、
シリンダ１０・１１の先端に配設され、ラジエーション
シールド４・コールドパネル６を固定しているコールド
ヘッド本体部１２・１３と、ラジエーションシールド
４、バッフル４ａ、コールドパネル６とを熱伝導率の良
い銅により形成してある。
ト９から循環供給される極低温のヘリウムガスによっ
て、ラジエーションシールド４・バッフル４ａ・コール
ドパネル６が所定の温度に速やかに冷却されるように、
シリンダ１０・１１の先端に配設され、ラジエーション
シールド４・コールドパネル６を固定しているコールド
ヘッド本体部１２・１３と、ラジエーションシールド
４、バッフル４ａ、コールドパネル６とを熱伝導率の良
い銅により形成してある。
【００１６】一方、シリンダ１０は薄いステンレス鋼板
から成り、内部にメッシュ状の銅を備えたディスプレー
サを構成しており、シリンダ１１も薄いステンレス鋼板
の内部に粒状の鉛を備えたディスプレーサを構成してい
る。このため、第１段コールドヘッド５と第２段コール
ドヘッド７とは、実質的に断熱状態にある。
から成り、内部にメッシュ状の銅を備えたディスプレー
サを構成しており、シリンダ１１も薄いステンレス鋼板
の内部に粒状の鉛を備えたディスプレーサを構成してい
る。このため、第１段コールドヘッド５と第２段コール
ドヘッド７とは、実質的に断熱状態にある。
【００１７】上記構成のクライオポンプ１は、前記した
ようにラジエーションシールド４・バッフル４ａ・コー
ルドパネル６に凝縮などしたガスの量が増えると、これ
ら表面での伝熱効率が低下し、冷却作用が損なわれて所
要のガスを凝縮することができなくなるので、第１段コ
ールドヘッド５のラジエーションシールド４に加熱手段
１４、第２段コールドヘッド７のコールドパネル６に加
熱手段１５を、それぞれのコールドヘッド本体部を囲繞
するように設置すると共に、ラジエーションシールド４
・コールドパネル６それぞれに温度センサ１６・１７を
加熱手段１４・１５から適宜の距離だけ離間した位置に
設置してラジエーションシールド４・コールドパネル６
の温度が別々に計測できるように構成し、且つ、温度セ
ンサ１６・１７が計測して出力する冷却時の温度と、第
１段コールドヘッド５（バッフル４ａを含む）と第２段
コールドヘッド７の熱容量とに基づいて、加熱手段１４
・１５それぞれの単位時間当たりの発熱量を制御器１８
が制御できるように構成してある。
ようにラジエーションシールド４・バッフル４ａ・コー
ルドパネル６に凝縮などしたガスの量が増えると、これ
ら表面での伝熱効率が低下し、冷却作用が損なわれて所
要のガスを凝縮することができなくなるので、第１段コ
ールドヘッド５のラジエーションシールド４に加熱手段
１４、第２段コールドヘッド７のコールドパネル６に加
熱手段１５を、それぞれのコールドヘッド本体部を囲繞
するように設置すると共に、ラジエーションシールド４
・コールドパネル６それぞれに温度センサ１６・１７を
加熱手段１４・１５から適宜の距離だけ離間した位置に
設置してラジエーションシールド４・コールドパネル６
の温度が別々に計測できるように構成し、且つ、温度セ
ンサ１６・１７が計測して出力する冷却時の温度と、第
１段コールドヘッド５（バッフル４ａを含む）と第２段
コールドヘッド７の熱容量とに基づいて、加熱手段１４
・１５それぞれの単位時間当たりの発熱量を制御器１８
が制御できるように構成してある。
【００１８】すなわち、制御器１８は記憶・演算・比較
など所要の機能を備えたマイコンなどからなるものであ
り、第１段コールドヘッド５のラジエーションシールド
４・バッフル４ａ・第２段コールドヘッド７のコールド
パネル６がそれぞれ所定の極低温、例えば５０Ｋと１０
Ｋに冷却された状態から、例えば２０分間の通電で共に
３００Ｋに昇温するような通電量を、加熱手段１４・１
５それぞれにつき両コールドヘッドの熱容量を考慮し
て、具体的には実験的に求めて記憶してある。
など所要の機能を備えたマイコンなどからなるものであ
り、第１段コールドヘッド５のラジエーションシールド
４・バッフル４ａ・第２段コールドヘッド７のコールド
パネル６がそれぞれ所定の極低温、例えば５０Ｋと１０
Ｋに冷却された状態から、例えば２０分間の通電で共に
３００Ｋに昇温するような通電量を、加熱手段１４・１
５それぞれにつき両コールドヘッドの熱容量を考慮し
て、具体的には実験的に求めて記憶してある。
【００１９】したがって、例えば真空計１９が計測する
被排気室８の真空度が所定の真空度に達しなくなった時
に、クライオポンプ１の運転を自動または手動により停
止し、ゲートバルブ２を自動または手動により閉じて真
空チャンバー３の内部と被排気室８との連通を断ち、温
度センサ１６・１７によってラジエーションシールド４
・コールドパネル６の温度をそれぞれ計測する。
被排気室８の真空度が所定の真空度に達しなくなった時
に、クライオポンプ１の運転を自動または手動により停
止し、ゲートバルブ２を自動または手動により閉じて真
空チャンバー３の内部と被排気室８との連通を断ち、温
度センサ１６・１７によってラジエーションシールド４
・コールドパネル６の温度をそれぞれ計測する。
【００２０】ラジエーションシールド４・コールドパネ
ル６の温度がそれぞれ所定の５０Ｋと１０Ｋであると確
認した後、制御器１８が記憶している電流を加熱手段１
４・１５それぞれに流して発熱量が個別に制御されるの
で、ラジエーションシールド４・コールドパネル６の温
度は図２に示したように、再生開始から２０分後に同時
に３００Ｋに達する。
ル６の温度がそれぞれ所定の５０Ｋと１０Ｋであると確
認した後、制御器１８が記憶している電流を加熱手段１
４・１５それぞれに流して発熱量が個別に制御されるの
で、ラジエーションシールド４・コールドパネル６の温
度は図２に示したように、再生開始から２０分後に同時
に３００Ｋに達する。
【００２１】再生を開始すると、ラジエーションシール
ド４・バッフル４ａ・コールドパネル６の温度が上昇
し、吸着ガスがパネルから放出する。真空チャンバー３
内の圧力が徐々に上昇し、大気圧になった時点でバルブ
２１・２２を開け、再生ガス供給管２３から再生ガスと
して、例えば乾燥した窒素ガスを供給する。
ド４・バッフル４ａ・コールドパネル６の温度が上昇
し、吸着ガスがパネルから放出する。真空チャンバー３
内の圧力が徐々に上昇し、大気圧になった時点でバルブ
２１・２２を開け、再生ガス供給管２３から再生ガスと
して、例えば乾燥した窒素ガスを供給する。
【００２２】上記操作により、真空チャンバー３内は加
熱手段１４・１５の発熱により残留液体などが気化する
温度に短時間に昇温し、これによりラジエーションシー
ルド４・バッフル４ａに凝縮・凝固して付着していた水
や炭化水素、コールドパネル６に凝縮して付着していた
アルゴンや水素ガスなどが全て気化するので、これらの
ガスが再生ガスと共に排気管２４より速やかに外部に排
出されて、クライオポンプ１は再使用可能な状態に再生
される。
熱手段１４・１５の発熱により残留液体などが気化する
温度に短時間に昇温し、これによりラジエーションシー
ルド４・バッフル４ａに凝縮・凝固して付着していた水
や炭化水素、コールドパネル６に凝縮して付着していた
アルゴンや水素ガスなどが全て気化するので、これらの
ガスが再生ガスと共に排気管２４より速やかに外部に排
出されて、クライオポンプ１は再使用可能な状態に再生
される。
【００２３】なお、熱容量の小さい第２段コールドヘッ
ド７に設置した加熱手段１５に流す電流と同じ電流を、
熱容量の大きい第１段コールドヘッド５に設置した加熱
手段１４に流すと、図３のようにラジエーションシール
ド４が所定の温度の３００Ｋに達するのに、コールドパ
ネル６が所定の３００Ｋに達するより遥かに長い時間を
要する。
ド７に設置した加熱手段１５に流す電流と同じ電流を、
熱容量の大きい第１段コールドヘッド５に設置した加熱
手段１４に流すと、図３のようにラジエーションシール
ド４が所定の温度の３００Ｋに達するのに、コールドパ
ネル６が所定の３００Ｋに達するより遥かに長い時間を
要する。
【００２４】ところで、本発明は上記実施例に限定され
るものではないので、特許請求の範囲に記載の趣旨から
逸脱しない範囲で各種の変形実施が可能である。
るものではないので、特許請求の範囲に記載の趣旨から
逸脱しない範囲で各種の変形実施が可能である。
【００２５】例えば、再生開始時のラジエーションシー
ルド４・コールドパネル６の一方または両方が所定の温
度から外れている場合に、例えば前記図２のように再生
経過時間と温度との関係を実現させるために記憶した電
流値より、温度センサ１６・１７が計測した温度が低い
時には多目に流し、計測した温度が高い時には少な目に
流して、図２の制御カーブに収斂するように加熱手段１
４・１５に流す電流値を適宜制御し、ラジエーションシ
ールド４・コールドパネル６の温度が共に２０分後に３
００Ｋに昇温するように制御しても良い。
ルド４・コールドパネル６の一方または両方が所定の温
度から外れている場合に、例えば前記図２のように再生
経過時間と温度との関係を実現させるために記憶した電
流値より、温度センサ１６・１７が計測した温度が低い
時には多目に流し、計測した温度が高い時には少な目に
流して、図２の制御カーブに収斂するように加熱手段１
４・１５に流す電流値を適宜制御し、ラジエーションシ
ールド４・コールドパネル６の温度が共に２０分後に３
００Ｋに昇温するように制御しても良い。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、真空チャンバー内
に設置した冷却温度レベルが異なる複数の極低温のコー
ルドヘッドにガスを凝縮・吸着などして除去するクライ
オポンプにおいて、真空チャンバー内と被排気室との連
通を遮断し、コールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により異なる熱量を与えてコールドヘッドそれぞれの
温度を上昇させ、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着
などしたガスを気化し、この気化したガスを真空チャン
バー内に供給した再生ガスと共に排出するクライオポン
プの再生方法であり、
に設置した冷却温度レベルが異なる複数の極低温のコー
ルドヘッドにガスを凝縮・吸着などして除去するクライ
オポンプにおいて、真空チャンバー内と被排気室との連
通を遮断し、コールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により異なる熱量を与えてコールドヘッドそれぞれの
温度を上昇させ、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着
などしたガスを気化し、この気化したガスを真空チャン
バー内に供給した再生ガスと共に排出するクライオポン
プの再生方法であり、
【００２７】真空チャンバー内に設置した冷却温度レベ
ルおよび熱容量が異なる複数の極低温のコールドヘッド
にガスを凝縮・吸着などして除去するクライオポンプに
おいて、真空チャンバー内と被排気室との連通を遮断
し、コールドヘッドの冷却温度および熱容量の相違に基
づいた熱量をコールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により与えてコールドヘッドそれぞれの温度を上昇さ
せると共に、コールドヘッドの温度差を所定値以下に制
御３、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着などしたガ
スを気化し、この気化したガスを真空チャンバー内に供
給した再生ガスと共に排出するクライオポンプの再生方
法であるので、
ルおよび熱容量が異なる複数の極低温のコールドヘッド
にガスを凝縮・吸着などして除去するクライオポンプに
おいて、真空チャンバー内と被排気室との連通を遮断
し、コールドヘッドの冷却温度および熱容量の相違に基
づいた熱量をコールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により与えてコールドヘッドそれぞれの温度を上昇さ
せると共に、コールドヘッドの温度差を所定値以下に制
御３、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着などしたガ
スを気化し、この気化したガスを真空チャンバー内に供
給した再生ガスと共に排出するクライオポンプの再生方
法であるので、
【００２８】上記何れの再生方法においても、第１段コ
ールドヘッドと第２段コールドヘッドの温度を同時に室
温まで昇温させて、コールドヘッドに凝縮などしていた
ガスを気化して再生ガスと共に速やかに排出することが
可能であり、したがって再生作業が速やかに行え、装置
の大幅な稼働率アップが図れる。
ールドヘッドと第２段コールドヘッドの温度を同時に室
温まで昇温させて、コールドヘッドに凝縮などしていた
ガスを気化して再生ガスと共に速やかに排出することが
可能であり、したがって再生作業が速やかに行え、装置
の大幅な稼働率アップが図れる。
【図１】クライオポンプの説明図である。
【図２】再生方法を示す説明図である。
【図３】比較例を示す説明図である。
【図４】従来技術１の装置の説明図である。
【図５】従来技術２の装置の説明図である。
【図６】従来技術１による再生の説明図である。
【図７】従来技術２による再生の説明図である。
１ クライオポンプ ２ ゲートバルブ ３ 真空チャンバー ４ ラジエーションシールド ４ａ バッフル ５ 第１段コールドヘッド ６ コールドパネル ７ 第２段コールドヘッド ８ 被排気室 ９ 冷却ユニット １０・１１ シリンダ １２・１３ コールドヘッド本体部 １４・１５ 加熱手段 １６・１７ 温度センサ １８ 制御器 １９ 真空計 ２１・２２ バルブ ２３ 再生ガス供給管 ２４ 排気管 Ａ 第１コールドヘッドの温度上昇カーブ Ｂ 第２コールドヘッドの温度上昇カーブ
Claims (2)
- 【請求項１】 真空チャンバー内に設置した冷却温度レ
ベルが異なる複数の極低温のコールドヘッドにガスを凝
縮・吸着などして除去するクライオポンプにおいて、真
空チャンバー内と被排気室との連通を遮断し、コールド
ヘッドそれぞれに設置した加熱手段により異なる熱量を
与えてコールドヘッドそれぞれの温度を上昇させ、コー
ルドヘッドそれぞれに凝縮・吸着などしたガスを気化
し、この気化したガスを真空チャンバー内に供給した再
生ガスと共に排出することを特徴とするクライオポンプ
の再生方法。 - 【請求項２】 真空チャンバー内に設置した冷却温度レ
ベルおよび熱容量が異なる複数の極低温のコールドヘッ
ドにガスを凝縮・吸着などして除去するクライオポンプ
において、真空チャンバー内と被排気室との連通を遮断
し、コールドヘッドの冷却温度および熱容量の相違に基
づいた熱量をコールドヘッドそれぞれに設置した加熱手
段により与えてコールドヘッドそれぞれの温度を上昇さ
せると共に、コールドヘッドの温度差を所定値以下に制
御し、コールドヘッドそれぞれに凝縮・吸着などしたガ
スを気化し、この気化したガスを真空チャンバー内に供
給した再生ガスと共に排出することを特徴とするクライ
オポンプの再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6227468A JP3022200B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | クライオポンプの再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6227468A JP3022200B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | クライオポンプの再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868380A JPH0868380A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3022200B2 true JP3022200B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=16861357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6227468A Expired - Lifetime JP3022200B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | クライオポンプの再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3022200B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009250148A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプおよび冷凍機 |
| JP5808691B2 (ja) | 2012-02-23 | 2015-11-10 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 |
| CN103383322A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-11-06 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 一种带低温泵的表面分析系统 |
| CN105626478B (zh) * | 2016-02-29 | 2018-11-16 | 芜湖环球汽车配件有限公司 | 一种低温真空泵 |
| JP7312066B2 (ja) * | 2019-09-17 | 2023-07-20 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP6227468A patent/JP3022200B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0868380A (ja) | 1996-03-12 |
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