CN105626478B - 一种低温真空泵 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种低温真空泵，包括法兰、泵体、第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组，所述法兰设在泵体顶端，所述法兰与泵体焊接，所述第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组设在泵体内，所述第一冷凝翅片组成水平分布，所述第二冷凝翅片组成垂直分布，所述第二冷凝翅片组外侧安装有真空罩，所述真空罩与泵体固定连接，所述泵体底部设置有制冷机，所述第一冷凝翅片组中部安装有第二级冷头，所述真空罩下方安装有第一级冷头，所述第二级冷头、第一级冷头和制冷机依次密封连通，所述制冷机一侧安装有泄压阀和制冷机驱动器，该低温真空泵能够获得和维持洁净无油的高真空及超高真空，结构紧凑，安装方便可靠，维护方便。

Description

一种低温真空泵
技术领域
本发明涉及一种泵体技术领域，特别是涉及一种低温真空泵。
背景技术
低温真空泵指的是利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。随着微电子技术、半导体工业和空间模拟技术等现代科技和工业的发展，对高洁净度的无污染工作环境的要求越加迫切。电子工业和真空镀膜工业，尤其是半导体微电子技术，半导体和集成电路工艺技术要求能获得无油的真空环境。
传统的“油泵”真空系统，无论从洁净的要求还是极限真空度的要求来看，都不能满足要求。研究指出，在现有可用的获得高真空的方法中，离子泵的理论真空极限为10-9Pa，分子泵为10-8 Pa，低温泵为10-18 Pa。可见，低温泵是所有真空泵中能获得真空度最高的也是最清洁的真空泵。
低温冷凝真空泵的工作原理就是当气体分子入射到温度足够低的固体表面时，会被冷凝吸附于该低温表面，以至蒸气压力降得很低，从而获得高真空（10-7-10-11Pa）。早在上世纪50年代末期，由于空间模拟、高速风洞和高能加速器等研究的需要，使采用低温液体冷源的低温真空泵获得发展。1965年以后，小型封闭循环低温制冷机的问世，为低温泵的进一步发展和应用开辟了新路。从此，采用低温制冷机作为冷却源的低温冷凝真空泵走向大规模的工业应用。低温抽气就是在低温下使被抽空间内的气体被低温表面冷凝凝聚、捕集吸附，从而使被抽空间的压强降低的过程。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种能够获得和维持洁净无油的高真空及超高真空，结构紧凑，安装方便可靠，维护方便的低温真空泵。
为解决上述问题，本发明采用如下技术方案：
一种低温真空泵，包括法兰、泵体、第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组，所述法兰设在泵体顶端，所述法兰与泵体焊接，所述第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组设在泵体内，所述第一冷凝翅片组成水平分布，所述第二冷凝翅片组成垂直分布，所述第二冷凝翅片组外侧安装有真空罩，所述真空罩与泵体固定连接，所述泵体底部设置有制冷机，所述第一冷凝翅片组中部安装有第二级冷头，所述真空罩下方安装有第一级冷头，所述第二级冷头、第一级冷头和制冷机依次密封连通，所述制冷机一侧安装有泄压阀和制冷机驱动器。
进一步的，所述法兰上设置有螺纹孔，方便进行安装。
进一步的，所述第一冷凝翅片组冷却温度为80k，能够进行预冷却。
进一步的，所述第二冷凝翅片组冷却温度为15k，可实现氢的凝结，获得高真空环境。
进一步的，所述制冷机驱动器与制冷机电性连接，保持制冷机驱动方便快捷。
进一步的，所述真空罩按质量份数配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡15-20份、膨胀珍珠岩25-30份、矿物棉8-12份、碳纤维4-6份、硬脂酸铝16-20份、硬脂酸钾6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和邻苯二甲酸二乙酯22-28份。
一种低温真空泵的真空罩的加工工艺，将聚氨酯硬泡15-20份、膨胀珍珠岩25-30份、矿物棉8-12份、碳纤维4-6份、硬脂酸铝16-20份、硬脂酸钾6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和邻苯二甲酸二乙酯22-28份混合投入反应釜中，保持转速为1500-1600r/min，温度为330-340℃，反应30-35分钟，再将得到的原料热挤压成型，即可。
本发明的有益效果是：设置的第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组能够对制冷机进行散热，保持超低温制冷，使得被抽空间内的气体被低温表面冷凝凝聚、捕集吸附，从而使被抽空间的压强降低，达到抽真空的状态，第二级冷头和第一级冷头方便冷凝的液体排出，泄压阀方便调节制冷机的压强，保持使用安全，采用的真空罩材料和加工方便能够保持结构强度高，使用寿命长，能够耐受较大的压力。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一种低温真空泵的结构图。
具体实施方式
实施例1
参阅图1所示，一种低温真空泵，包括法兰1、泵体2、第一冷凝翅片组3和第二冷凝翅片组4，所述法兰1设在泵体2顶端，所述法兰1与泵体2焊接，所述第一冷凝翅片组3和第二冷凝翅片组4设在泵体2内，所述第一冷凝翅片组3成水平分布，所述第二冷凝翅片组4成垂直分布，所述第二冷凝翅片组4外侧安装有真空罩5，所述真空罩5与泵体2固定连接，所述泵体2底部设置有制冷机6，所述第一冷凝翅片组3中部安装有第二级冷头7，所述真空罩5下方安装有第一级冷头8，所述第二级冷头7、第一级冷头8和制冷机6依次密封连通，所述制冷机6一侧安装有泄压阀9和制冷机驱动器10。
所述法兰1上设置有螺纹孔11。
所述第一冷凝翅片组3冷却温度为80k。
所述第二冷凝翅片组4冷却温度为15k。
所述制冷机驱动器10与制冷机6电性连接。
所述真空罩5按质量份数配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡15份、膨胀珍珠岩25份、矿物棉8份、碳纤维4份、硬脂酸铝16份、硬脂酸钾6份、硅油2份、脂肪酸酰胺15份和邻苯二甲酸二乙酯22份。
一种低温真空泵的真空罩5的加工工艺，将聚氨酯硬泡15份、膨胀珍珠岩25份、矿物棉8份、碳纤维4份、硬脂酸铝16份、硬脂酸钾6份、硅油2份、脂肪酸酰胺15份和邻苯二甲酸二乙酯22份混合投入反应釜中，保持转速为1500-1600r/min，温度为330-340℃，反应30-35分钟，再将得到的原料热挤压成型，即可。
实施例2
参阅图1所示，一种低温真空泵，包括法兰1、泵体2、第一冷凝翅片组3和第二冷凝翅片组4，所述法兰1设在泵体2顶端，所述法兰1与泵体2焊接，所述第一冷凝翅片组3和第二冷凝翅片组4设在泵体2内，所述第一冷凝翅片组3成水平分布，所述第二冷凝翅片组4成垂直分布，所述第二冷凝翅片组4外侧安装有真空罩5，所述真空罩5与泵体2固定连接，所述泵体2底部设置有制冷机6，所述第一冷凝翅片组3中部安装有第二级冷头7，所述真空罩5下方安装有第一级冷头8，所述第二级冷头7、第一级冷头8和制冷机6依次密封连通，所述制冷机6一侧安装有泄压阀9和制冷机驱动器10。
所述法兰1上设置有螺纹孔11。
所述第一冷凝翅片组3冷却温度为80k。
所述第二冷凝翅片组4冷却温度为15k。
所述制冷机驱动器10与制冷机6电性连接。
所述真空罩5按质量份数配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡17.5份、膨胀珍珠岩27.5份、矿物棉10份、碳纤维5份、硬脂酸铝18份、硬脂酸钾8份、硅油5份、脂肪酸酰胺17.5份和邻苯二甲酸二乙酯25份。
一种低温真空泵的真空罩5的加工工艺，将聚氨酯硬泡17.5份、膨胀珍珠岩27.5份、矿物棉10份、碳纤维5份、硬脂酸铝18份、硬脂酸钾8份、硅油5份、脂肪酸酰胺17.5份和邻苯二甲酸二乙酯25份混合投入反应釜中，保持转速为1500-1600r/min，温度为330-340℃，反应30-35分钟，再将得到的原料热挤压成型，即可。
实施例3
参阅图1所示，一种低温真空泵，包括法兰1、泵体2、第一冷凝翅片组3和第二冷凝翅片组4，所述法兰1设在泵体2顶端，所述法兰1与泵体2焊接，所述第一冷凝翅片组3和第二冷凝翅片组4设在泵体2内，所述第一冷凝翅片组3成水平分布，所述第二冷凝翅片组4成垂直分布，所述第二冷凝翅片组4外侧安装有真空罩5，所述真空罩5与泵体2固定连接，所述泵体2底部设置有制冷机6，所述第一冷凝翅片组3中部安装有第二级冷头7，所述真空罩5下方安装有第一级冷头8，所述第二级冷头7、第一级冷头8和制冷机6依次密封连通，所述制冷机6一侧安装有泄压阀9和制冷机驱动器10。
所述法兰1上设置有螺纹孔11。
所述第一冷凝翅片组3冷却温度为80k。
所述第二冷凝翅片组4冷却温度为15k。
所述制冷机驱动器10与制冷机6电性连接。
所述真空罩5按质量份数配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡20份、膨胀珍珠岩30份、矿物棉12份、碳纤维6份、硬脂酸铝20份、硬脂酸钾10份、硅油8份、脂肪酸酰胺20份和邻苯二甲酸二乙酯28份。
一种低温真空泵的真空罩5的加工工艺，将聚氨酯硬泡20份、膨胀珍珠岩30份、矿物棉12份、碳纤维6份、硬脂酸铝20份、硬脂酸钾10份、硅油8份、脂肪酸酰胺20份和邻苯二甲酸二乙酯28份混合投入反应釜中，保持转速为1500-1600r/min，温度为330-340℃，反应30-35分钟，再将得到的原料热挤压成型，即可。
本发明的有益效果是：设置的第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组能够对制冷机进行散热，保持超低温制冷，使得被抽空间内的气体被低温表面冷凝凝聚、捕集吸附，从而使被抽空间的压强降低，达到抽真空的状态，第二级冷头和第一级冷头方便冷凝的液体排出，泄压阀方便调节制冷机的压强，保持使用安全，采用的真空罩材料和加工方便能够保持结构强度高，使用寿命长，能够耐受较大的压力。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内，因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (1)

1.一种低温真空泵，其特征在于：包括法兰、泵体、第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组，所述法兰设在泵体顶端，所述法兰与泵体焊接，所述第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组设在泵体内，所述第一冷凝翅片组成水平分布，所述第二冷凝翅片组成垂直分布，所述第二冷凝翅片组外侧安装有真空罩，所述真空罩与泵体固定连接，所述泵体底部设置有制冷机，所述第一冷凝翅片组中部安装有第二级冷头，所述真空罩下方安装有第一级冷头，所述第二级冷头、第一级冷头和制冷机依次密封连通，所述制冷机一侧安装有泄压阀和制冷机驱动器，所述法兰上设置有螺纹孔，所述第一冷凝翅片组冷却温度为80k，所述第二冷凝翅片组冷却温度为15k，所述制冷机驱动器与制冷机电性连接，所述真空罩按质量份数配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡15-20份、膨胀珍珠岩25-30份、矿物棉8-12份、碳纤维4-6份、硬脂酸铝16-20份、硬脂酸钾6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和邻苯二甲酸二乙酯22-28份，所述的低温真空泵的真空罩的加工工艺，将聚氨酯硬泡15-20份、膨胀珍珠岩25-30份、矿物棉8-12份、碳纤维4-6份、硬脂酸铝16-20份、硬脂酸钾6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和邻苯二甲酸二乙酯22-28份混合投入反应釜中，保持转速为1500-1600r/min，温度为330-340℃，反应30-35分钟，再将得到的原料热挤压成型，即可。
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