JPH08291791A - クライオポンプの再生装置およびその方法 - Google Patents
クライオポンプの再生装置およびその方法Info
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- JPH08291791A JPH08291791A JP9509195A JP9509195A JPH08291791A JP H08291791 A JPH08291791 A JP H08291791A JP 9509195 A JP9509195 A JP 9509195A JP 9509195 A JP9509195 A JP 9509195A JP H08291791 A JPH08291791 A JP H08291791A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】クライオポンプ再生装置およびその方法におい
て、クライオポンプ１０内の残留水分量にかかわらず乾
燥窒素を効率良く導入して有効に使用できるとともに再
生時間の短縮を図る。 【構成】水分を含む窒素ガスの相対湿度を測定する湿度
センサ１と、窒素パージによる水分除去データと真空排
気による水分除去データを記憶する記憶部２ａとを設
け、湿度センサ１の測定値を随時入力しクライオポンプ
１０内の残留水分を予測しこの残留水分における窒素パ
ージによる水分除去データと真空排気による水分除去デ
ータとを抽出し水分を効率良く排除できる窒素パージか
ら真空排気に切替えるタイミングを設定している。
て、クライオポンプ１０内の残留水分量にかかわらず乾
燥窒素を効率良く導入して有効に使用できるとともに再
生時間の短縮を図る。 【構成】水分を含む窒素ガスの相対湿度を測定する湿度
センサ１と、窒素パージによる水分除去データと真空排
気による水分除去データを記憶する記憶部２ａとを設
け、湿度センサ１の測定値を随時入力しクライオポンプ
１０内の残留水分を予測しこの残留水分における窒素パ
ージによる水分除去データと真空排気による水分除去デ
ータとを抽出し水分を効率良く排除できる窒素パージか
ら真空排気に切替えるタイミングを設定している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプの再生
装置およびその方法に関する。
装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、クライオポンプは、極低温（２０
Ｋ以下）に冷却されたパネル面に気体分子を凝縮固化さ
せ収着剤に気体分子を吸着させることにより真空にする
ポンプであることから、これら被着された気体分子はク
ライオポンプ内に溜る。このため、クライオポンプの累
積排気容量に限界があり、ある一定量の気体を排気した
後、ポンプ内を加熱し被着した気体分子を気化し外部に
排出する必要がある。この操作を一般にクライオポンプ
の再生と呼ばれている。
Ｋ以下）に冷却されたパネル面に気体分子を凝縮固化さ
せ収着剤に気体分子を吸着させることにより真空にする
ポンプであることから、これら被着された気体分子はク
ライオポンプ内に溜る。このため、クライオポンプの累
積排気容量に限界があり、ある一定量の気体を排気した
後、ポンプ内を加熱し被着した気体分子を気化し外部に
排出する必要がある。この操作を一般にクライオポンプ
の再生と呼ばれている。
【０００３】図４は従来のクライオポンプの再生装置の
一例を示す図である。従来、この種のクライオポンプの
再生装置は、例えば、図４に示すように、クライオポン
プ１０内に乾燥窒素を窒素導入弁６を介して供給し加熱
し冷却機９に凝結固化した物質を気化するとともにクラ
イオポンプ１０を常温に戻す乾燥窒素源５と、気化され
た気体を排出する安全弁８と、冷却機９の真空断熱のた
めにクライオポンプ１０内を低圧にする荒引き弁７を介
して排気する荒引きポンプ３と、窒素導入弁６および荒
引き弁７の開閉を制御する再生コントローラ４とを備え
ている。
一例を示す図である。従来、この種のクライオポンプの
再生装置は、例えば、図４に示すように、クライオポン
プ１０内に乾燥窒素を窒素導入弁６を介して供給し加熱
し冷却機９に凝結固化した物質を気化するとともにクラ
イオポンプ１０を常温に戻す乾燥窒素源５と、気化され
た気体を排出する安全弁８と、冷却機９の真空断熱のた
めにクライオポンプ１０内を低圧にする荒引き弁７を介
して排気する荒引きポンプ３と、窒素導入弁６および荒
引き弁７の開閉を制御する再生コントローラ４とを備え
ている。
【０００４】図５は図４のクライオポンプの再生装置の
動作を説明するためのフローチャートである。図４のク
ライオポンプの再生装置によるクライオポンプの再生動
作は、まず、図５のステップＡで、クライオポンプ１０
を停止する。次に、ステップＢで、窒素導入弁６を開
き、クライオポンプ１０内に乾燥窒素を導入する。この
ことによりクライオポンプ１０内は加熱され凝結吸着さ
れた物質は気化され安全弁８より外部に排出される。こ
の乾燥窒素の導入によりクライオポンプ１０は約１．５
時間程度で常温となり、クライオポンプ１０内部の気体
が外部に排出され常温で液体である水分だけが残る。そ
して、ステップＣで２時間経過するまで引続き乾燥窒素
を導入し、乾燥窒素導入終了と判断しステップＤで窒素
導入弁６を閉じる。
動作を説明するためのフローチャートである。図４のク
ライオポンプの再生装置によるクライオポンプの再生動
作は、まず、図５のステップＡで、クライオポンプ１０
を停止する。次に、ステップＢで、窒素導入弁６を開
き、クライオポンプ１０内に乾燥窒素を導入する。この
ことによりクライオポンプ１０内は加熱され凝結吸着さ
れた物質は気化され安全弁８より外部に排出される。こ
の乾燥窒素の導入によりクライオポンプ１０は約１．５
時間程度で常温となり、クライオポンプ１０内部の気体
が外部に排出され常温で液体である水分だけが残る。そ
して、ステップＣで２時間経過するまで引続き乾燥窒素
を導入し、乾燥窒素導入終了と判断しステップＤで窒素
導入弁６を閉じる。
【０００５】次に、クライオポンプ１０を運転する前
に、冷却機９を真空断熱するために、ステップＥで、ク
ライオポンプ１０内部を荒引きする。この荒引き排気は
荒引き弁７を開くことにより行なわれる。そして、ステ
ップＦで、圧力が１００ｍＴｏｒｒ以下になるまで真空
排気する。この１００ｍＴｏｒｒに到達するまでの排気
時間は、クライオポンプ１０内部の残留水分量に比例
し、通常５〜９０分という大きな差がある。クライオポ
ンプ１０の内部が１００ｍＴｏｒｒに達したら、ステッ
プＧで、荒引き弁７を閉じる。そして、ステップＨで圧
力が上昇しないか否かを確認する。
に、冷却機９を真空断熱するために、ステップＥで、ク
ライオポンプ１０内部を荒引きする。この荒引き排気は
荒引き弁７を開くことにより行なわれる。そして、ステ
ップＦで、圧力が１００ｍＴｏｒｒ以下になるまで真空
排気する。この１００ｍＴｏｒｒに到達するまでの排気
時間は、クライオポンプ１０内部の残留水分量に比例
し、通常５〜９０分という大きな差がある。クライオポ
ンプ１０の内部が１００ｍＴｏｒｒに達したら、ステッ
プＧで、荒引き弁７を閉じる。そして、ステップＨで圧
力が上昇しないか否かを確認する。
【０００６】そして、昇圧しなければ、ステップＩで、
クライオポンプ１０を作動させ、ステップＪで温度が２
０Ｋ以下になることを確認することでクライオポンプ１
０の再生を完了とする。ここで、ステップＨで、圧力上
昇が認められたら、再度、クライオポンプ１０内を真空
排気する。
クライオポンプ１０を作動させ、ステップＪで温度が２
０Ｋ以下になることを確認することでクライオポンプ１
０の再生を完了とする。ここで、ステップＨで、圧力上
昇が認められたら、再度、クライオポンプ１０内を真空
排気する。
【０００７】このように、クライオポンプ１０内を低圧
にし冷却機９を極低温（２０Ｋ以下）にすることで再生
していた。この冷却機９が極低温に達するまで約２時間
程度かかっていた。
にし冷却機９を極低温（２０Ｋ以下）にすることで再生
していた。この冷却機９が極低温に達するまで約２時間
程度かかっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のクライ
オポンプの再生装置およびその方法では、ある一定の時
間だけ乾燥窒素導入していたため、予想外に残留水分が
多い場合は、クライオポンプ内部の残留水分を排出でき
なかったり、残留水分が少ない場合は、必要以上に長い
乾燥窒素の導入時間による再生時間が長びかせたりする
問題を起していた。すなわち、クライオポンプの残留水
分量は処理装置の使用状況により変動さ予想がつき難く
乾燥窒素導入時間は経験的に決めていた。しかしなが
ら、残留水分が予想より多い場合、一定時間の乾燥窒素
の導入では水分の排出が十分なされず、その分荒引き時
間が極端に長くなり、倒えば、乾燥状態と比較し１０倍
程度の時間がかかることがある。また、これとは逆に残
留水分が少ない場合や効率良く水分が外部に排出された
場合には、ある一定時間の乾燥窒素導入中にクライオポ
ンプ内部は乾燥状態となり、これから先の乾燥窒素の導
入は無意味となり、乾燥窒素を無駄にするという欠点が
ある。
オポンプの再生装置およびその方法では、ある一定の時
間だけ乾燥窒素導入していたため、予想外に残留水分が
多い場合は、クライオポンプ内部の残留水分を排出でき
なかったり、残留水分が少ない場合は、必要以上に長い
乾燥窒素の導入時間による再生時間が長びかせたりする
問題を起していた。すなわち、クライオポンプの残留水
分量は処理装置の使用状況により変動さ予想がつき難く
乾燥窒素導入時間は経験的に決めていた。しかしなが
ら、残留水分が予想より多い場合、一定時間の乾燥窒素
の導入では水分の排出が十分なされず、その分荒引き時
間が極端に長くなり、倒えば、乾燥状態と比較し１０倍
程度の時間がかかることがある。また、これとは逆に残
留水分が少ない場合や効率良く水分が外部に排出された
場合には、ある一定時間の乾燥窒素導入中にクライオポ
ンプ内部は乾燥状態となり、これから先の乾燥窒素の導
入は無意味となり、乾燥窒素を無駄にするという欠点が
ある。
【０００９】従って、本発明の目的は、クライオポンプ
内の残留水分量にかかわらず乾燥窒素を効率良く導入し
て有効に使用できるとともに再生時間の短縮を図るクラ
イオポンプの再生装置およびその方法を提供することで
ある。
内の残留水分量にかかわらず乾燥窒素を効率良く導入し
て有効に使用できるとともに再生時間の短縮を図るクラ
イオポンプの再生装置およびその方法を提供することで
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、クライ
オポンプに窒素導入弁を介して乾燥窒素を供給する乾燥
窒素源と、前記クライオポンプを荒引き弁を介して真空
排気する真空ポンプと、乾燥窒素の導入により該クライ
オポンプを常温に戻ることを検知する温度計と、この温
度計の常温であることを検知し前記クライオポンプから
排出される該窒素ガスの相対湿度を測定する湿度センサ
と、この湿度センサの相対湿度値を随時入力し前記クラ
イオポンプに残留する初期の残留水分量と乾燥窒素導入
時間毎の相対湿度減少率を求め乾燥窒素導入時間に対す
る導入時間・水分減少率とを予測する演算部と、前記ク
ライオポンプ内の種々の残留水分量に対し前記真空ポン
プにより該残留水分量が無くなるまでの排気時間に対す
る複数の排気時間・水分減少率と前記乾燥窒素導入時間
による複数の導入時間・水分減少率を予じめ記憶する記
憶部と、前記演算部より予測された前記初期の残留水分
量に対する前記排気時間・水分減少率と前記導入時間・
水分減少率とを前記記憶部より抽出し大小を比較し前記
窒素導入弁と前記荒引き弁との開閉を制御する制御部と
を備えるクライオポンプ再生装置である。
オポンプに窒素導入弁を介して乾燥窒素を供給する乾燥
窒素源と、前記クライオポンプを荒引き弁を介して真空
排気する真空ポンプと、乾燥窒素の導入により該クライ
オポンプを常温に戻ることを検知する温度計と、この温
度計の常温であることを検知し前記クライオポンプから
排出される該窒素ガスの相対湿度を測定する湿度センサ
と、この湿度センサの相対湿度値を随時入力し前記クラ
イオポンプに残留する初期の残留水分量と乾燥窒素導入
時間毎の相対湿度減少率を求め乾燥窒素導入時間に対す
る導入時間・水分減少率とを予測する演算部と、前記ク
ライオポンプ内の種々の残留水分量に対し前記真空ポン
プにより該残留水分量が無くなるまでの排気時間に対す
る複数の排気時間・水分減少率と前記乾燥窒素導入時間
による複数の導入時間・水分減少率を予じめ記憶する記
憶部と、前記演算部より予測された前記初期の残留水分
量に対する前記排気時間・水分減少率と前記導入時間・
水分減少率とを前記記憶部より抽出し大小を比較し前記
窒素導入弁と前記荒引き弁との開閉を制御する制御部と
を備えるクライオポンプ再生装置である。
【００１１】本発明の他の特徴は、前記排気時間・水分
減少率が前記導入時間・水分減少率より大きくなったと
き前記乾燥窒素の導入を停止し前記クライオポンプ内を
真空排気するクライオポンプ再生方法である。
減少率が前記導入時間・水分減少率より大きくなったと
き前記乾燥窒素の導入を停止し前記クライオポンプ内を
真空排気するクライオポンプ再生方法である。
【００１２】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１３】図１は本発明のクライオポンプの再生装置
の一実施例を示す図である。このクライオポンプの再生
装置は、図１に示すように、乾燥窒素の導入によりクラ
イオポンプ１０を常温に戻ることを検知する温度計２ｃ
と、この温度計２ｃの常温であることを検知しクライオ
ポンプ１０の安全弁８から排出される乾燥窒素ガスの相
対湿度を測定する湿度センサ１と、この湿度センサ１の
相対湿度値を随時入力しクライオポンプ１０に残留する
初期の残留水分量と乾燥窒素導入時間毎の相対湿度減少
率を求め乾燥窒素導入時間に対する導入時間・水分減少
率とを予測する演算部２ａと、クライオポンプ１０内の
種々の残留水分量に対し荒引きポンプ３により残留水分
量が無くなるまでの排気時間に対する複数の排気時間・
水分減少率と乾燥窒素導入時間による複数の導入時間・
水分減少率を予じめ記憶する記憶部２ｂと、演算部２ａ
より予測された初期の残留水分量に対する排気時間・水
分減少率と乾燥窒素導入時間・水分減少率とを記憶部２
ｂより抽出し大小を比較し窒素導入弁６と荒引き弁７と
の開閉を制御する再生コントローラ４ａとを備えてい
る。
の一実施例を示す図である。このクライオポンプの再生
装置は、図１に示すように、乾燥窒素の導入によりクラ
イオポンプ１０を常温に戻ることを検知する温度計２ｃ
と、この温度計２ｃの常温であることを検知しクライオ
ポンプ１０の安全弁８から排出される乾燥窒素ガスの相
対湿度を測定する湿度センサ１と、この湿度センサ１の
相対湿度値を随時入力しクライオポンプ１０に残留する
初期の残留水分量と乾燥窒素導入時間毎の相対湿度減少
率を求め乾燥窒素導入時間に対する導入時間・水分減少
率とを予測する演算部２ａと、クライオポンプ１０内の
種々の残留水分量に対し荒引きポンプ３により残留水分
量が無くなるまでの排気時間に対する複数の排気時間・
水分減少率と乾燥窒素導入時間による複数の導入時間・
水分減少率を予じめ記憶する記憶部２ｂと、演算部２ａ
より予測された初期の残留水分量に対する排気時間・水
分減少率と乾燥窒素導入時間・水分減少率とを記憶部２
ｂより抽出し大小を比較し窒素導入弁６と荒引き弁７と
の開閉を制御する再生コントローラ４ａとを備えてい
る。
【００１４】図２はクライオポンプ内の初期の残留水分
量に対する乾燥窒素パージ時間および真空排気時間によ
る残留水分量減少率を示すグラフである。まず、乾燥窒
素パージによる初期の（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）残留水分量の
減少率を予備的に実験して求め得られたデータを記憶部
２ｂに記録する。同様に荒引きポンプ３によるクライオ
ポンプ１０内の初期の残留水分量（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）の
排気時間による水分減少率をデータとして予じめ求めて
おきデータを記憶部２ｂに記憶しておく。
量に対する乾燥窒素パージ時間および真空排気時間によ
る残留水分量減少率を示すグラフである。まず、乾燥窒
素パージによる初期の（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）残留水分量の
減少率を予備的に実験して求め得られたデータを記憶部
２ｂに記録する。同様に荒引きポンプ３によるクライオ
ポンプ１０内の初期の残留水分量（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）の
排気時間による水分減少率をデータとして予じめ求めて
おきデータを記憶部２ｂに記憶しておく。
【００１５】このグラフから分るように、最初に残って
いる初期の水分量Ａ〜Ｄは、窒素パージによる残留水分
量の減少率は、図２の実線に示すように、ある程度の水
分量まで直線的に減少するが、その残留分がより少なく
なると減少量は少なくなだらかになり飽和する。このこ
とは空気分子の吸着材である活性炭の表面がポーラスの
状態であり、水分が除去され難いからである。
いる初期の水分量Ａ〜Ｄは、窒素パージによる残留水分
量の減少率は、図２の実線に示すように、ある程度の水
分量まで直線的に減少するが、その残留分がより少なく
なると減少量は少なくなだらかになり飽和する。このこ
とは空気分子の吸着材である活性炭の表面がポーラスの
状態であり、水分が除去され難いからである。
【００１６】一方、荒引きポンプ３によるクライオポン
プ１０内の残留水分量の減少と排気時間による水分減少
率は、図２の破線で示すように、直線的に下降し残留水
分量Ａ〜Ｄの順に排気時間が短くなっている。この知見
を得て本発明のクライオポンプ再生方法は、再生時間を
短くするために、乾燥窒素パージによる水分除去と真空
排気による水分除去とを有効に使い分けたものである。
すなわち、乾燥窒素パージから真空排気に切替える時期
を捉えることでなされる。具体的には、例えば、図２に
示すように、乾燥窒素パージによる水分減少曲線と真空
排気による水分減少曲線との交点（×印で示す）を切替
え時期（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４）とすれば最小時間で
クライオポンプ１０を再生できることになる。
プ１０内の残留水分量の減少と排気時間による水分減少
率は、図２の破線で示すように、直線的に下降し残留水
分量Ａ〜Ｄの順に排気時間が短くなっている。この知見
を得て本発明のクライオポンプ再生方法は、再生時間を
短くするために、乾燥窒素パージによる水分除去と真空
排気による水分除去とを有効に使い分けたものである。
すなわち、乾燥窒素パージから真空排気に切替える時期
を捉えることでなされる。具体的には、例えば、図２に
示すように、乾燥窒素パージによる水分減少曲線と真空
排気による水分減少曲線との交点（×印で示す）を切替
え時期（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４）とすれば最小時間で
クライオポンプ１０を再生できることになる。
【００１７】なお、図１の湿度センサ１は、例えば、日
本冶金化学工業製のＳＨＡＷ湿度センサと呼ばれる湿度
センサを使用するのが望ましい。この湿度センサはガス
中の微量水分を精密に測定することができる。また、温
度計２は通常の市販の熱電対が用いられている。
本冶金化学工業製のＳＨＡＷ湿度センサと呼ばれる湿度
センサを使用するのが望ましい。この湿度センサはガス
中の微量水分を精密に測定することができる。また、温
度計２は通常の市販の熱電対が用いられている。
【００１８】図３は図１のクライオポンプの動作を説明
するためのフローチャートである。次に、図１、図２お
よび図３を参照してこのクライオポンプの再生装置の動
作を説明する。まず、図３のステップＡで、図１のクラ
イオポンプ１０を停止する。次に、ステップＢで、乾燥
窒素源５の窒素導入弁６を開きクライオポンプ１０内に
乾燥窒素を導入する。次に、約１．５時間経過し、ステ
ップＣで、クライオポンプ１０の温度計が常温を示した
ら、ステップＤで湿度センサ１で相対湿度を測定を開始
する。
するためのフローチャートである。次に、図１、図２お
よび図３を参照してこのクライオポンプの再生装置の動
作を説明する。まず、図３のステップＡで、図１のクラ
イオポンプ１０を停止する。次に、ステップＢで、乾燥
窒素源５の窒素導入弁６を開きクライオポンプ１０内に
乾燥窒素を導入する。次に、約１．５時間経過し、ステ
ップＣで、クライオポンプ１０の温度計が常温を示した
ら、ステップＤで湿度センサ１で相対湿度を測定を開始
する。
【００１９】次に、ステップＥで、湿度センサ１の相対
湿度の初期値と次の値とを演算部２ａに入力し、乾燥窒
素の時間当りの導入量とクライオポンプ１０内の圧力と
で演算部２で減水率を算出しクライオポンプ１０内の残
留水分量を予測する。次に、ステップＦで、記憶部２ａ
より予測された残留水分量（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのいずれ
か）に対応するデータを抽出する。そして、ステップＧ
で乾燥窒素導入時間ｔを求める。次に、ステップＨで導
入時間に達したら、ステップＩで図１の窒素導入弁６を
閉じ乾燥窒素の供給を停止する。そして、ステップＪで
荒引き弁７を開き、クライオポンプ１０を真空排気す
る。
湿度の初期値と次の値とを演算部２ａに入力し、乾燥窒
素の時間当りの導入量とクライオポンプ１０内の圧力と
で演算部２で減水率を算出しクライオポンプ１０内の残
留水分量を予測する。次に、ステップＦで、記憶部２ａ
より予測された残留水分量（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのいずれ
か）に対応するデータを抽出する。そして、ステップＧ
で乾燥窒素導入時間ｔを求める。次に、ステップＨで導
入時間に達したら、ステップＩで図１の窒素導入弁６を
閉じ乾燥窒素の供給を停止する。そして、ステップＪで
荒引き弁７を開き、クライオポンプ１０を真空排気す
る。
【００２０】次に、ステップＫで荒引き時間をカウント
するとともにクライオポンプ１０の圧力が１００ｍＴｏ
ｒｒ以下になったか否かを判定する。もし、１００ｍＴ
ｏｒｒ以下ならば、ステップＭで荒引き弁７を閉じ真空
排気を停止する。そして、ステップＮでクライオポンプ
１０内の圧力上昇があるかないか判定し、なければ、ス
テップＯでカウントされた排気時間を記憶部２ｂに記録
あるいは更新する。そして、ステップＰでクライオポン
プ１０を運転し、ステップＱでクライオポンプ１０が温
度２０Ｋ以下になるか否かでクライオポンプ１０の再生
を終了する。
するとともにクライオポンプ１０の圧力が１００ｍＴｏ
ｒｒ以下になったか否かを判定する。もし、１００ｍＴ
ｏｒｒ以下ならば、ステップＭで荒引き弁７を閉じ真空
排気を停止する。そして、ステップＮでクライオポンプ
１０内の圧力上昇があるかないか判定し、なければ、ス
テップＯでカウントされた排気時間を記憶部２ｂに記録
あるいは更新する。そして、ステップＰでクライオポン
プ１０を運転し、ステップＱでクライオポンプ１０が温
度２０Ｋ以下になるか否かでクライオポンプ１０の再生
を終了する。
【００２１】このように、乾燥窒素パージによる水分除
去時間と真空排気による水分除去時間とを効率的に組み
合せることにより従来の再生時間を３０分以上も短縮で
きた。また、乾燥窒素のパージを有効である範囲の時間
にとどめることにより窒素の消費量も従来の１／４を削
減することができた。さらに、従来のように窒素パージ
不足による多量の残留水分の排気されることが無くな
り、水分によるロータリポンプである荒引きポンプ３の
油の劣化を無くし、荒引きポンプ３の長時間の運転を維
持することができた。
去時間と真空排気による水分除去時間とを効率的に組み
合せることにより従来の再生時間を３０分以上も短縮で
きた。また、乾燥窒素のパージを有効である範囲の時間
にとどめることにより窒素の消費量も従来の１／４を削
減することができた。さらに、従来のように窒素パージ
不足による多量の残留水分の排気されることが無くな
り、水分によるロータリポンプである荒引きポンプ３の
油の劣化を無くし、荒引きポンプ３の長時間の運転を維
持することができた。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、乾燥窒素
を導入によってクライオポンプから排出される水分を含
む窒素ガスの相対湿度を測定する湿度センサと、窒素パ
ージによる水分除去データと真空排気による水分除去デ
ータを記憶する記憶部と、湿度センサの測定値を随時入
力しクライオポンプ内の残留水分を予測しこの残留水分
における窒素パージによる水分除去データと真空排気に
よる水分除去データとを抽出し水分を効率良く排除でき
る窒素パージから真空排気に切替えるタイミングを設定
する制御部とを設けることによって、クライオポンプ内
の残留水分量に応じて乾燥窒素を効率良く導入し有効に
使用し、その後は真空排気により水分除去することによ
って、クライオポンプの再生時間をより短縮することが
できるという効果が得られた。
を導入によってクライオポンプから排出される水分を含
む窒素ガスの相対湿度を測定する湿度センサと、窒素パ
ージによる水分除去データと真空排気による水分除去デ
ータを記憶する記憶部と、湿度センサの測定値を随時入
力しクライオポンプ内の残留水分を予測しこの残留水分
における窒素パージによる水分除去データと真空排気に
よる水分除去データとを抽出し水分を効率良く排除でき
る窒素パージから真空排気に切替えるタイミングを設定
する制御部とを設けることによって、クライオポンプ内
の残留水分量に応じて乾燥窒素を効率良く導入し有効に
使用し、その後は真空排気により水分除去することによ
って、クライオポンプの再生時間をより短縮することが
できるという効果が得られた。
【図１】本発明のクライオポンプの再生装置の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図２】クライオポンプ内の初期の残留水分量に対する
乾燥窒素パージ時間および真空排気時間による残留水分
量減少率を示すグラフである。
乾燥窒素パージ時間および真空排気時間による残留水分
量減少率を示すグラフである。
【図３】図１のクライオポンプの動作を説明するための
フローチャートである。
フローチャートである。
【図４】従来のクライオポンプの再生装置の一例を示す
図である。
図である。
【図５】図４のクライオポンプの再生装置の動作を説明
するためのフローチャートである。
するためのフローチャートである。
１ 湿度センサ ２ａ 演算部 ２ｂ 記憶部 ２ｃ 温度計 ３ 荒引きポンプ ４，４ａ 再生コトローラ ５ 乾燥窒素源 ６ 窒素導入弁 ７ 荒引き弁 ８ 安全弁 ９ 冷却機 １０ クライイオポンプ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年８月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクライオポンプの再生装置の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図２】クライオポンプ内の初期の残留水分量に対する
乾燥窒素パージ時間および真空排気時間による残留水分
量減少率を示すグラフである。
乾燥窒素パージ時間および真空排気時間による残留水分
量減少率を示すグラフである。
【図３】図１のクライオポンプの動作を説明するための
フローチャートである。
フローチャートである。
【図４】従来のクライオポンプの再生装置の一例を示す
図である。
図である。
【符号の説明】 １ 湿度センサ ２ａ 演算部 ２ｂ 記憶部 ２ｃ 温度計 ３ 荒引きポンプ ４，４ａ 再生コントローラ ５ 乾燥窒素源 ６ 窒素導入弁 ７ 荒引き弁 ８ 安全弁 ９ 冷却機 １０ クライオポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】 クライオポンプに窒素導入弁を介して乾
燥窒素を供給する乾燥窒素源と、前記クライオポンプを
荒引き弁を介して真空排気する真空ポンプと、乾燥窒素
の導入により該クライオポンプを常温に戻ることを検知
する温度計と、この温度計の常温であることを検知し前
記クライオポンプから排出される該窒素ガスの相対湿度
を測定する湿度センサと、この湿度センサの相対湿度値
を随時入力し前記クライオポンプに残留する初期の残留
水分量と乾燥窒素導入時間毎の相対湿度減少率を求め乾
燥窒素導入時間に対する導入時間・水分減少率とを予測
する演算部と、前記クライオポンプ内の種々の残留水分
量に対し前記真空ポンプにより該残留水分量が無くなる
までの排気時間に対する複数の排気時間・水分減少率と
前記乾燥窒素導入時間による複数の導入時間・水分減少
率を予じめ記憶する記憶部と、前記演算部より予測され
た前記初期の残留水分量に対する前記排気時間・水分減
少率と前記導入時間・水分減少率とを前記記憶部より抽
出し大小を比較し前記窒素導入弁と前記荒引き弁との開
閉を制御する制御部とを備えることを特徴とするクライ
オポンプ再生装置。 - 【請求項２】 前記排気時間・水分減少率が前記導入時
間・水分減少率より大きくなったとき前記乾燥窒素の導
入を停止し前記クライオポンプ内を真空排気することを
特徴とするクライオポンプ再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7095091A JP2674970B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | クライオポンプの再生装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7095091A JP2674970B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | クライオポンプの再生装置およびその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08291791A true JPH08291791A (ja) | 1996-11-05 |
| JP2674970B2 JP2674970B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=14128248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7095091A Expired - Fee Related JP2674970B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | クライオポンプの再生装置およびその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2674970B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102072145A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-05-25 | 北京航空航天大学 | 一种互击式散流装置 |
| KR101333062B1 (ko) * | 2011-06-14 | 2013-11-26 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 크라이오펌프 제어장치, 크라이오펌프 시스템, 및 크라이오펌프 감시방법 |
| CN106762535A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-31 | 上海卫星装备研究所 | 一种高真空抽气系统 |
| JP2020143646A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | アルバック・クライオ株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法 |
| WO2022189633A1 (en) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | Leybold Gmbh | Method for operating a vacuum pump and vacuum pump |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP7095091A patent/JP2674970B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102072145A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-05-25 | 北京航空航天大学 | 一种互击式散流装置 |
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| JP2020143646A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | アルバック・クライオ株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法 |
| WO2022189633A1 (en) * | 2021-03-12 | 2022-09-15 | Leybold Gmbh | Method for operating a vacuum pump and vacuum pump |
| GB2604863A (en) * | 2021-03-12 | 2022-09-21 | Leybold Gmbh | Method for operating a vacuum pump and vacuum pump |
| GB2604863B (en) * | 2021-03-12 | 2024-04-17 | Leybold Gmbh | Method for operating a vacuum pump and vacuum pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2674970B2 (ja) | 1997-11-12 |
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