JPH09126125A - クライオポンプの再生方法及びその再生装置 - Google Patents
クライオポンプの再生方法及びその再生装置Info
- Publication number
- JPH09126125A JPH09126125A JP33329895A JP33329895A JPH09126125A JP H09126125 A JPH09126125 A JP H09126125A JP 33329895 A JP33329895 A JP 33329895A JP 33329895 A JP33329895 A JP 33329895A JP H09126125 A JPH09126125 A JP H09126125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- purge gas
- regeneration
- water content
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
- F04B37/085—Regeneration of cryo-pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クライオポンプの再生を確実に終了させるこ
とができる再生装置を得ること。 【解決手段】 本発明の再生装置１Ａ、クライオポンプ
３のクライオポンプ本体３０１のリリーフ弁６に水分計
１０を装着し、この水分計１０の出力側を水分量表示器
１１に接続し、この水分量表示器１１の出力側は再生装
置１Ａ全体を制御するコントローラ７に接続されてい
る。クライオポンプ３の再生時、リリーフ弁６から排出
されるパージガスを水分計１０で検出し、その出力信号
と水分量表示器１１の水分量と比較し、クライオポンプ
３の再生終了を判定するように構成されている。
とができる再生装置を得ること。 【解決手段】 本発明の再生装置１Ａ、クライオポンプ
３のクライオポンプ本体３０１のリリーフ弁６に水分計
１０を装着し、この水分計１０の出力側を水分量表示器
１１に接続し、この水分量表示器１１の出力側は再生装
置１Ａ全体を制御するコントローラ７に接続されてい
る。クライオポンプ３の再生時、リリーフ弁６から排出
されるパージガスを水分計１０で検出し、その出力信号
と水分量表示器１１の水分量と比較し、クライオポンプ
３の再生終了を判定するように構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタ装置のプ
ロセスチャンバなどを高真空度に引く場合に用いられる
クライオポンプの再生方法及びその再生装置の改良に関
するものである。
ロセスチャンバなどを高真空度に引く場合に用いられる
クライオポンプの再生方法及びその再生装置の改良に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図を参照しながら、従来技術のク
ライオポンプの再生装置を説明する。図３はスパッタ装
置に適用した従来技術のクライオポンプの再生装置の構
成図であり、そして図４は従来技術のクライオポンプの
再生時間と本体温度との相関グラフである。
ライオポンプの再生装置を説明する。図３はスパッタ装
置に適用した従来技術のクライオポンプの再生装置の構
成図であり、そして図４は従来技術のクライオポンプの
再生時間と本体温度との相関グラフである。
【０００３】半導体装置の一製造工程で用いられるスパ
ッタ装置では、そのプロセスチャンバ内を高真空にされ
た後、アルゴン、窒素などのプロセスガスが導入され、
電極間に高電圧を印加してグロー放電を発生させ、プラ
ズマ中の正イオンで陰極上のターゲットをスパッタし、
このスパッタされたターゲット粒子が半導体ウエハの表
面へデポジットされ、薄膜が形成される。
ッタ装置では、そのプロセスチャンバ内を高真空にされ
た後、アルゴン、窒素などのプロセスガスが導入され、
電極間に高電圧を印加してグロー放電を発生させ、プラ
ズマ中の正イオンで陰極上のターゲットをスパッタし、
このスパッタされたターゲット粒子が半導体ウエハの表
面へデポジットされ、薄膜が形成される。
【０００４】半導体製造工場での半導体装置の生産性向
上を計るには、高真空装置である前記スパッタ装置の稼
働率の向上を計ることが重要視されており、スパッタ装
置のメンテナンス時間を短縮して稼働率を上げると共
に、スパッタ装置のプロセスチャンバを高真空度に引く
ために用いられているクライオポンプの再生時間の短縮
化、完全再生などが求められている。
上を計るには、高真空装置である前記スパッタ装置の稼
働率の向上を計ることが重要視されており、スパッタ装
置のメンテナンス時間を短縮して稼働率を上げると共
に、スパッタ装置のプロセスチャンバを高真空度に引く
ために用いられているクライオポンプの再生時間の短縮
化、完全再生などが求められている。
【０００５】クライオポンプは、そのクライオポンプ本
体内のガスを冷却してクライオポンプ本体内の凝縮面に
凝縮して排気し、クライオポンプ本体内を高真空にする
ポンプであるが、その凝縮層の厚さが増してくると、冷
却作用が不十分となり、表面温度が上昇し、プロセスチ
ャンバ内の排気作用が低下する。このため、クライオポ
ンプを定期的に再生する必要がある。図３に、クライオ
ポンプを断面で表した従来技術のクライオポンプの再生
装置の構成を示した。
体内のガスを冷却してクライオポンプ本体内の凝縮面に
凝縮して排気し、クライオポンプ本体内を高真空にする
ポンプであるが、その凝縮層の厚さが増してくると、冷
却作用が不十分となり、表面温度が上昇し、プロセスチ
ャンバ内の排気作用が低下する。このため、クライオポ
ンプを定期的に再生する必要がある。図３に、クライオ
ポンプを断面で表した従来技術のクライオポンプの再生
装置の構成を示した。
【０００６】先ず、この従来技術のクライオポンプの再
生装置（以下、単に「再生装置」と略記する）１の構成
を説明する。符号２はスパッタ装置のプロセスチャンバ
であって、その吸気開口部にはゲートバルブ２０１を介
してクライオポンプのクライオポンプ本体３０１が結合
されている。そしてこのクライオポンプ本体３０１と前
記プロセスチャンバ２には管Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を介して
ロータリポンプまたはドライポンプ（以下、単に「ロー
タリポンプ」と略記する）４が結合されている。
生装置（以下、単に「再生装置」と略記する）１の構成
を説明する。符号２はスパッタ装置のプロセスチャンバ
であって、その吸気開口部にはゲートバルブ２０１を介
してクライオポンプのクライオポンプ本体３０１が結合
されている。そしてこのクライオポンプ本体３０１と前
記プロセスチャンバ２には管Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を介して
ロータリポンプまたはドライポンプ（以下、単に「ロー
タリポンプ」と略記する）４が結合されている。
【０００７】また、クライオポンプ本体３０１のパージ
ガス吸入口３０２にはパージガスラインＰ４が接続され
ている。更にまた、クライオポンプ３の熱交換器３０３
には管Ｐ５、Ｐ６を介してコンプレッサ５が、そしてク
ライオポンプ本体３０１にはパージガスの排出口である
リリーフ弁６が接続されている。前記管Ｐ２、Ｐ３には
それぞれ開閉バルブＢ１、Ｂ２が、前記パージガスライ
ンＰ４には開閉バルブＢ３が装着されていて、これらの
開閉バルブＢ１、Ｂ２、Ｂ３はロータリポンプ４に連結
されたコントローラ７で制御される。また、クライオポ
ンプ本体３０１にはそのクライオポンプ本体３０１内の
温度を検出し、表示する温度表示器８が結合されてい
て、この温度表示器８の出力側は前記コントローラ７に
接続されている。このコントローラ７は温度表示器８か
らの出力信号を増幅する増幅器、中央演算子処理装置
（ＣＰＵ）、通信回路、電源などから構成されており、
クライオ再生ボタン７０１を備えている。なお、符号３
０４は凝縮パネルを指す。
ガス吸入口３０２にはパージガスラインＰ４が接続され
ている。更にまた、クライオポンプ３の熱交換器３０３
には管Ｐ５、Ｐ６を介してコンプレッサ５が、そしてク
ライオポンプ本体３０１にはパージガスの排出口である
リリーフ弁６が接続されている。前記管Ｐ２、Ｐ３には
それぞれ開閉バルブＢ１、Ｂ２が、前記パージガスライ
ンＰ４には開閉バルブＢ３が装着されていて、これらの
開閉バルブＢ１、Ｂ２、Ｂ３はロータリポンプ４に連結
されたコントローラ７で制御される。また、クライオポ
ンプ本体３０１にはそのクライオポンプ本体３０１内の
温度を検出し、表示する温度表示器８が結合されてい
て、この温度表示器８の出力側は前記コントローラ７に
接続されている。このコントローラ７は温度表示器８か
らの出力信号を増幅する増幅器、中央演算子処理装置
（ＣＰＵ）、通信回路、電源などから構成されており、
クライオ再生ボタン７０１を備えている。なお、符号３
０４は凝縮パネルを指す。
【０００８】次に、前記クライオポンプ３及びその再生
装置１の動作を説明する。クライオポンプ３の再生は、
プロセスチャンバ２が或る一定期間使用された後に行わ
れる。先ず始めに、オペレータがコントローラ７のクラ
イオ再生ボタン７０１を押し、前記再生装置１全体を起
動させる。即ち、コントローラ７はコンプレッサ５の電
源を遮断し、クライオポンプ本体３０１へのヘリュウム
ガスの循環を止め、開閉バルブＢ３を開き、クライオポ
ンプ本体３０１内にパージガスを供給、循環させる。ク
ライオポンプ本体３０１内が真空状態から大気圧状態に
なると、リリーフ弁６を開き、パージガスを排出する。
装置１の動作を説明する。クライオポンプ３の再生は、
プロセスチャンバ２が或る一定期間使用された後に行わ
れる。先ず始めに、オペレータがコントローラ７のクラ
イオ再生ボタン７０１を押し、前記再生装置１全体を起
動させる。即ち、コントローラ７はコンプレッサ５の電
源を遮断し、クライオポンプ本体３０１へのヘリュウム
ガスの循環を止め、開閉バルブＢ３を開き、クライオポ
ンプ本体３０１内にパージガスを供給、循環させる。ク
ライオポンプ本体３０１内が真空状態から大気圧状態に
なると、リリーフ弁６を開き、パージガスを排出する。
【０００９】クライオポンプ本体３０１内の温度が任意
値になると、温度表示器８の出力信号の基にコントロー
ラ７からの制御信号で開閉バルブＢ３が閉じ、開閉バル
ブＢ２が開き、ロータリポンプ４でクライオポンプ本体
３０１の粗引きが始まる。クライオポンプ本体３０１内
が或る真空度に達すると、コントローラ７は前記開閉バ
ルブＢ２を閉じる。クライオポンプ本体３０１内を所定
の時間封止した状態にして、クライオポンプ本体３０１
内の圧力が所定の圧力範囲内であれば次の動作であるク
ールダウンが始まるが、前記所定の圧力範囲外であれ
ば、所定の圧力範囲内になるまで前記の粗引き、封止を
繰り返し行う。以上の動作を「圧力封止試験」という。
クライオポンプ本体３０１内が所定の圧力範囲内になる
と、コントローラ７の制御の基にコンプレッサ５が起動
し始め、クライオポンプ３のクールダウンが開始する。
前記のように、クライオポンプ本体３０１内の温度が上
昇し、所定の温度に達すると、パージガスを止め、クラ
イオポンプ本体３０１内の吸着ガスを排出する方法を
「温度管理によるクライオポンプの再生方法」と呼ばれ
ている。
値になると、温度表示器８の出力信号の基にコントロー
ラ７からの制御信号で開閉バルブＢ３が閉じ、開閉バル
ブＢ２が開き、ロータリポンプ４でクライオポンプ本体
３０１の粗引きが始まる。クライオポンプ本体３０１内
が或る真空度に達すると、コントローラ７は前記開閉バ
ルブＢ２を閉じる。クライオポンプ本体３０１内を所定
の時間封止した状態にして、クライオポンプ本体３０１
内の圧力が所定の圧力範囲内であれば次の動作であるク
ールダウンが始まるが、前記所定の圧力範囲外であれ
ば、所定の圧力範囲内になるまで前記の粗引き、封止を
繰り返し行う。以上の動作を「圧力封止試験」という。
クライオポンプ本体３０１内が所定の圧力範囲内になる
と、コントローラ７の制御の基にコンプレッサ５が起動
し始め、クライオポンプ３のクールダウンが開始する。
前記のように、クライオポンプ本体３０１内の温度が上
昇し、所定の温度に達すると、パージガスを止め、クラ
イオポンプ本体３０１内の吸着ガスを排出する方法を
「温度管理によるクライオポンプの再生方法」と呼ばれ
ている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来技
術の再生装置及び再生方法、即ち、温度管理によりクラ
イオポンプへのパージガスの供給を終了させる方法に
は、次のような問題がある。先ず、従来技術のクライオ
ポンプ再生時間と本体温度について図４を参照しながら
説明する。図４に示したように、クライオポンプ再生時
間に対するクライオポンプ本体温度は、領域（１）から
領域（３）に分割され、領域（１）ではクライオポンプ
本体３０１内へパージガスが入り、凝縮パネル３０４へ
付着したガスが温度上昇と共に除去される。温度表示器
８に予め設定した温度（設定温度Ｔｂ）へクライオポン
プ本体３０１内温度が到達すると、再生終了と判断し、
領域（２）に移る。ここでは圧力封止試験を行う。この
圧力封止試験においてロータリポンプ４で排気した後、
前記設定圧力範囲内になれば（設定圧力範囲内にならな
ければ、再度圧力封止試験を行う）、領域（３）である
クールダウンが始まる。前記設定温度Ｔｂへ到達する
と、クライオポンプ本体３０１は高真空排気可能な状態
になる。
術の再生装置及び再生方法、即ち、温度管理によりクラ
イオポンプへのパージガスの供給を終了させる方法に
は、次のような問題がある。先ず、従来技術のクライオ
ポンプ再生時間と本体温度について図４を参照しながら
説明する。図４に示したように、クライオポンプ再生時
間に対するクライオポンプ本体温度は、領域（１）から
領域（３）に分割され、領域（１）ではクライオポンプ
本体３０１内へパージガスが入り、凝縮パネル３０４へ
付着したガスが温度上昇と共に除去される。温度表示器
８に予め設定した温度（設定温度Ｔｂ）へクライオポン
プ本体３０１内温度が到達すると、再生終了と判断し、
領域（２）に移る。ここでは圧力封止試験を行う。この
圧力封止試験においてロータリポンプ４で排気した後、
前記設定圧力範囲内になれば（設定圧力範囲内にならな
ければ、再度圧力封止試験を行う）、領域（３）である
クールダウンが始まる。前記設定温度Ｔｂへ到達する
と、クライオポンプ本体３０１は高真空排気可能な状態
になる。
【００１１】つまり、温度表示器８によるクライオポン
プ再生終了点の検出方法では、クライオポンプ本体３０
１の内部に残存するガス、この場合は水であるが（スパ
ッタ装置を例にとると、他のガスの沸点は５０〜１２０
Ｋ）、水分が完全に除去されたか否かの確認ができな
い。
プ再生終了点の検出方法では、クライオポンプ本体３０
１の内部に残存するガス、この場合は水であるが（スパ
ッタ装置を例にとると、他のガスの沸点は５０〜１２０
Ｋ）、水分が完全に除去されたか否かの確認ができな
い。
【００１２】完全に水分が除去されていない状態で再生
を終了させると、不完全再生を招いたり、高真空排気不
足や前記圧力封止試験に要する時間を長引かせ、生産性
を低下させる原因になる。また、仮に、予め設定したク
ライオ再生終了温度へクライオポンプ本体３０１内の温
度が到達しても、まだ水分が除去できていないとなれ
ば、温度表示器８の設定温度を高めにする手段はある
が、クライオポンプの再生時間が長くなり、やはり生産
性を低下する原因になる。
を終了させると、不完全再生を招いたり、高真空排気不
足や前記圧力封止試験に要する時間を長引かせ、生産性
を低下させる原因になる。また、仮に、予め設定したク
ライオ再生終了温度へクライオポンプ本体３０１内の温
度が到達しても、まだ水分が除去できていないとなれ
ば、温度表示器８の設定温度を高めにする手段はある
が、クライオポンプの再生時間が長くなり、やはり生産
性を低下する原因になる。
【００１３】以上のように、温度表示器８の設定温度か
らクライオポンプの再生終了点を検出する方法は必ずし
も最適な再生終了点の検出方法とは言えない。そのため
クライオポンプ内の残存ガスの有無による判断が最も望
ましい。そこで本発明では、前記したように、クライオ
ポンプ本体内に残存するガスが水分であることに着目
し、水分計で水分の残存状態を判断して、適切なクライ
オポンプの再生終了点を検出するクライオポンプの再生
方法及びその再生装置を提供することを目的とする。
らクライオポンプの再生終了点を検出する方法は必ずし
も最適な再生終了点の検出方法とは言えない。そのため
クライオポンプ内の残存ガスの有無による判断が最も望
ましい。そこで本発明では、前記したように、クライオ
ポンプ本体内に残存するガスが水分であることに着目
し、水分計で水分の残存状態を判断して、適切なクライ
オポンプの再生終了点を検出するクライオポンプの再生
方法及びその再生装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】このため、本発明のクラ
イオポンプの再生方法では、クライオポンプの再生時、
そのクライオポンプ本体内へ供給し、循環させ、そして
排出するパージガスの水分量から再生終了点を検出し、
その水分量検出結果を予め記憶装置に記憶させておいた
パージガスの水分量と比較して、両者の水分量が一致ま
たはほぼ一致した場合にクライオポンプ本体内への前記
パージガスの供給を停止する方法を採って、前記課題を
解決している。
イオポンプの再生方法では、クライオポンプの再生時、
そのクライオポンプ本体内へ供給し、循環させ、そして
排出するパージガスの水分量から再生終了点を検出し、
その水分量検出結果を予め記憶装置に記憶させておいた
パージガスの水分量と比較して、両者の水分量が一致ま
たはほぼ一致した場合にクライオポンプ本体内への前記
パージガスの供給を停止する方法を採って、前記課題を
解決している。
【００１５】また、前記クライオポンプの再生方法を具
現化する一手段として、本発明のクライオポンプの再生
装置は、クライオポンプと、このクライオポンプのクラ
イオポンプ本体に接続され、このクライオポンプ本体を
粗引きして真空にする粗引きポンプと、前記クライオポ
ンプの熱交換器に接続され、前記クライオポンプ本体内
を冷却するコンプレッサと、前記クライオポンプ本体内
にパージガスを供給する開閉バルブを備えたパージガス
供給装置と、この開閉バルブ、前記粗引きポンプ、前記
コンプレッサに接続され、これの作動を制御する、記憶
装置を備えたコントローラと、前記クライオポンプ本体
のパージガス排出口に装着され、そして出力側が前記コ
ントローラの前記記憶装置に接続されていて、クライオ
ポンプ本体内から排出されたパージガスに含有されてい
る水分量を検出する水分量検出装置とから構成されてお
り、前記コントローラで、この水分量検出装置が検出し
た水分量を前記記憶装置に予め記憶させておいたパージ
ガスの水分量と比較して両者の水分量が一致またはほぼ
一致した場合に前記クライオポンプの再生が終了したこ
とを検知するようになし、前記コントローラにより前記
開閉バルブを閉じ、前記クライオポンプ本体内へのパー
ジガスの供給を停止させて前記課題を解決している。
現化する一手段として、本発明のクライオポンプの再生
装置は、クライオポンプと、このクライオポンプのクラ
イオポンプ本体に接続され、このクライオポンプ本体を
粗引きして真空にする粗引きポンプと、前記クライオポ
ンプの熱交換器に接続され、前記クライオポンプ本体内
を冷却するコンプレッサと、前記クライオポンプ本体内
にパージガスを供給する開閉バルブを備えたパージガス
供給装置と、この開閉バルブ、前記粗引きポンプ、前記
コンプレッサに接続され、これの作動を制御する、記憶
装置を備えたコントローラと、前記クライオポンプ本体
のパージガス排出口に装着され、そして出力側が前記コ
ントローラの前記記憶装置に接続されていて、クライオ
ポンプ本体内から排出されたパージガスに含有されてい
る水分量を検出する水分量検出装置とから構成されてお
り、前記コントローラで、この水分量検出装置が検出し
た水分量を前記記憶装置に予め記憶させておいたパージ
ガスの水分量と比較して両者の水分量が一致またはほぼ
一致した場合に前記クライオポンプの再生が終了したこ
とを検知するようになし、前記コントローラにより前記
開閉バルブを閉じ、前記クライオポンプ本体内へのパー
ジガスの供給を停止させて前記課題を解決している。
【００１６】従って、本発明のクライオポンプの再生方
法及びその再生装置によれば、クライオポンプ本体のパ
ージガス排出口に装着した水分量検出装置によりパージ
ガス中に含まれている水分量を検出し、その水分量によ
りクライオポンプの再生終了点を監視することができ、
また、その再生を確実に終了させることができる。更に
また、水分量検出装置の検出結果と予め記憶させておい
た水分量とパージガス中の水分とを比較し、クライオポ
ンプの再生終了点を制御することができる。
法及びその再生装置によれば、クライオポンプ本体のパ
ージガス排出口に装着した水分量検出装置によりパージ
ガス中に含まれている水分量を検出し、その水分量によ
りクライオポンプの再生終了点を監視することができ、
また、その再生を確実に終了させることができる。更に
また、水分量検出装置の検出結果と予め記憶させておい
た水分量とパージガス中の水分とを比較し、クライオポ
ンプの再生終了点を制御することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図を参照しながら、本発明
のクライオポンプの再生方法及びその再生装置の実施例
を説明する。図１はスパッタ装置に適用した本発明のク
ライオポンプの再生装置の構成図であり、そして図２は
クライオポンプの再生時間と水分除去率の相関グラフで
ある。なお、従来技術のクライオポンプの再生装置１と
同一の構成部分には同一の符号を付して説明する。
のクライオポンプの再生方法及びその再生装置の実施例
を説明する。図１はスパッタ装置に適用した本発明のク
ライオポンプの再生装置の構成図であり、そして図２は
クライオポンプの再生時間と水分除去率の相関グラフで
ある。なお、従来技術のクライオポンプの再生装置１と
同一の構成部分には同一の符号を付して説明する。
【００１８】本発明の再生装置１Ａの構成であるが、こ
の再生装置１Ａは、従来技術の再生装置１と同様に、ス
パッタ装置のプロセスチャンバ２の吸気開口部にはゲー
トバルブ２０１を介してクライオポンプ３のクライオポ
ンプ本体３０１が結合されている。そしてこのクライオ
ポンプ本体３０１と前記プロセスチャンバ２には管Ｐ
１、Ｐ２、Ｐ３を介してロータリポンプ４が結合されて
いる。
の再生装置１Ａは、従来技術の再生装置１と同様に、ス
パッタ装置のプロセスチャンバ２の吸気開口部にはゲー
トバルブ２０１を介してクライオポンプ３のクライオポ
ンプ本体３０１が結合されている。そしてこのクライオ
ポンプ本体３０１と前記プロセスチャンバ２には管Ｐ
１、Ｐ２、Ｐ３を介してロータリポンプ４が結合されて
いる。
【００１９】また、クライオポンプ本体３０１のパージ
ガス吸入口３０２にはパージガスラインＰ４が接続され
ており、更にまた、クライオポンプ３の熱交換器３０３
には管Ｐ５、Ｐ６を介してコンプレッサ５が、そしてク
ライオポンプ本体３０１にはパージガスの排出口である
リリーフ弁６が接続されている。前記管Ｐ２、Ｐ３には
それぞれ開閉バルブＢ１、Ｂ２が、前記パージガスライ
ンＰ４には開閉バルブＢ３が装着されていて、これらの
開閉バルブＢ１、Ｂ２、Ｂ３はロータリポンプ４に連結
されたコントローラ７で制御される。
ガス吸入口３０２にはパージガスラインＰ４が接続され
ており、更にまた、クライオポンプ３の熱交換器３０３
には管Ｐ５、Ｐ６を介してコンプレッサ５が、そしてク
ライオポンプ本体３０１にはパージガスの排出口である
リリーフ弁６が接続されている。前記管Ｐ２、Ｐ３には
それぞれ開閉バルブＢ１、Ｂ２が、前記パージガスライ
ンＰ４には開閉バルブＢ３が装着されていて、これらの
開閉バルブＢ１、Ｂ２、Ｂ３はロータリポンプ４に連結
されたコントローラ７で制御される。
【００２０】本発明の再生装置１Ａにおいては、前記リ
リーフ弁６に水分量検出装置である水分計１０が取り付
けられており、そしてこの水分計１０の出力側は水分量
表示器１１に接続されており、この水分量表示器１１の
出力側は前記コントローラ７に接続されている。このコ
ントローラ７は水分計１０及び水分量表示器１１からの
出力信号を増幅する増幅器、中央演算子処理装置（ＣＰ
Ｕ）、通信回路、電源などから構成されており、クライ
オポンプ３の再生時、リリーフ弁６から排出されるパー
ジガスを水分計１０で検出し、その出力信号と水分量表
示器１１の水分量と比較し、クライオポンプ３の再生終
了を判定するものである。符号７０１はクライオ再生ボ
タンであり、符号３０４は凝縮パネルを指す。
リーフ弁６に水分量検出装置である水分計１０が取り付
けられており、そしてこの水分計１０の出力側は水分量
表示器１１に接続されており、この水分量表示器１１の
出力側は前記コントローラ７に接続されている。このコ
ントローラ７は水分計１０及び水分量表示器１１からの
出力信号を増幅する増幅器、中央演算子処理装置（ＣＰ
Ｕ）、通信回路、電源などから構成されており、クライ
オポンプ３の再生時、リリーフ弁６から排出されるパー
ジガスを水分計１０で検出し、その出力信号と水分量表
示器１１の水分量と比較し、クライオポンプ３の再生終
了を判定するものである。符号７０１はクライオ再生ボ
タンであり、符号３０４は凝縮パネルを指す。
【００２１】次に、本発明の再生装置１Ａの動作を説明
する。先ず始めに、オペレータがコントローラ７のクラ
イオ再生ボタン７０１を押し、前記再生装置１全体を起
動させる。即ち、コントローラ７は始めにゲートバルブ
２０１を閉め、コンプレッサ５の電源を遮断し、クライ
オポンプ３へのヘリュウムガスの循環を止める。そして
開閉バルブＢ３を開き、パージガスラインＰ４から供給
されたパージガスをパージガス吸入口３０２からクライ
オポンプ本体３０１内に供給し、吸着した分子をガス化
させていく。クライオポンプ本体３０１内がパージガス
で充満すると正圧になるのでリリーフ弁６が開き、パー
ジガスが排出される。この時、水分計１０はクライオポ
ンプ本体３０１から排出されるパージガス中の水分を検
出する。この水分計１０で検出された水分量が水分量表
示器１１を通じ、コントローラ７の前記記憶装置で予め
設定されている水分量と一致、またはほぼ一致したら、
コントローラ７はリリーフ弁６を閉じ、クライオポンプ
３の再生が完了したことになる。
する。先ず始めに、オペレータがコントローラ７のクラ
イオ再生ボタン７０１を押し、前記再生装置１全体を起
動させる。即ち、コントローラ７は始めにゲートバルブ
２０１を閉め、コンプレッサ５の電源を遮断し、クライ
オポンプ３へのヘリュウムガスの循環を止める。そして
開閉バルブＢ３を開き、パージガスラインＰ４から供給
されたパージガスをパージガス吸入口３０２からクライ
オポンプ本体３０１内に供給し、吸着した分子をガス化
させていく。クライオポンプ本体３０１内がパージガス
で充満すると正圧になるのでリリーフ弁６が開き、パー
ジガスが排出される。この時、水分計１０はクライオポ
ンプ本体３０１から排出されるパージガス中の水分を検
出する。この水分計１０で検出された水分量が水分量表
示器１１を通じ、コントローラ７の前記記憶装置で予め
設定されている水分量と一致、またはほぼ一致したら、
コントローラ７はリリーフ弁６を閉じ、クライオポンプ
３の再生が完了したことになる。
【００２２】以上のクライオポンプ３の再生方法で得ら
れる時間と水分除去率の関係を図２に示したが、Ｘ軸に
クライオポンプの再生時間を、Ｙ軸に水分除去率をとっ
て示した。Ｙ軸の水分除去率は水分量検出限界値を１０
０％とした。次に、この図２を説明する。リリーフ弁６
はクライオポンプ本体３０１内が所定の圧力に達すると
開くが、リリーフ弁６が開かれる迄は、水分計１０は外
気の水分量を検出する。図２において、変位０から１が
この状態を示している。リリーフ弁６が開くと、パージ
ガスの水分が検出されるので図２の１から２へと水分量
が変位する。次に、時間の経過と共にクライオポンプ本
体３０１内の水分量が減少するため、図２の２から３へ
と水分量が変位する。クライオポンプ本体３０１内の水
分が無くなると、図２の４から５を経て元の０から１の
水分量になる。
れる時間と水分除去率の関係を図２に示したが、Ｘ軸に
クライオポンプの再生時間を、Ｙ軸に水分除去率をとっ
て示した。Ｙ軸の水分除去率は水分量検出限界値を１０
０％とした。次に、この図２を説明する。リリーフ弁６
はクライオポンプ本体３０１内が所定の圧力に達すると
開くが、リリーフ弁６が開かれる迄は、水分計１０は外
気の水分量を検出する。図２において、変位０から１が
この状態を示している。リリーフ弁６が開くと、パージ
ガスの水分が検出されるので図２の１から２へと水分量
が変位する。次に、時間の経過と共にクライオポンプ本
体３０１内の水分量が減少するため、図２の２から３へ
と水分量が変位する。クライオポンプ本体３０１内の水
分が無くなると、図２の４から５を経て元の０から１の
水分量になる。
【００２３】図１に示した前記実施例では、本発明の再
生装置１Ａをスパッタ装置に適用した場合であるが、プ
ロセスチャンバ２内へはプロセスに応じてアルゴンガ
ス、窒素ガスなどを導入する。プロセスチャンバ２内は
一定ガス流量にするため、例えば、ゲートバルブ２０１
の開閉により一定流量の管理を行う。コントローラ７に
は水分検出が０になると開閉バルブＢ３を「閉」にする
信号を送るように記憶させておく。クライオポンプ本体
３０１内へアルゴンガス、窒素ガスなどが多量に吸着す
ると、クライオポンプ３の排気能力が落ちるため再生を
行う。このためゲートバルブ２０１を「閉」にし、コン
トローラ７からの制御信号により開閉バルブＢ３を
「開」にし、再生を開始する。水分計１０による水分の
検出が０になると、コントローラ７は開閉バルブＢ３を
「閉」にし、再生が終了する。
生装置１Ａをスパッタ装置に適用した場合であるが、プ
ロセスチャンバ２内へはプロセスに応じてアルゴンガ
ス、窒素ガスなどを導入する。プロセスチャンバ２内は
一定ガス流量にするため、例えば、ゲートバルブ２０１
の開閉により一定流量の管理を行う。コントローラ７に
は水分検出が０になると開閉バルブＢ３を「閉」にする
信号を送るように記憶させておく。クライオポンプ本体
３０１内へアルゴンガス、窒素ガスなどが多量に吸着す
ると、クライオポンプ３の排気能力が落ちるため再生を
行う。このためゲートバルブ２０１を「閉」にし、コン
トローラ７からの制御信号により開閉バルブＢ３を
「開」にし、再生を開始する。水分計１０による水分の
検出が０になると、コントローラ７は開閉バルブＢ３を
「閉」にし、再生が終了する。
【００２４】仮にクライオポンプ本体３０１内に吸着す
るガスが少なく、パージガスから水分が検出されなかっ
た場合、コントローラ７は、一定時間経過後、再生を終
了するため開閉バルブＢ３を「閉」にする必要がある。
このため再生開始後、一定時間及び水分検出０が満たさ
れたら再生が終了するシーケンスを組んでおくことが望
ましい。
るガスが少なく、パージガスから水分が検出されなかっ
た場合、コントローラ７は、一定時間経過後、再生を終
了するため開閉バルブＢ３を「閉」にする必要がある。
このため再生開始後、一定時間及び水分検出０が満たさ
れたら再生が終了するシーケンスを組んでおくことが望
ましい。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明のクライオポンプの再生方法及びその再生装置によれ
ば、 １．クライオポンプ本体から排出されるパージガスの水
分を検出することからクライオポンプの再生終了を判断
するため、その再生時間を短縮させることができる ２．完全再生した状態で再生できるため、常に、クライ
オポンプの排気能力を高く維持することができる ３．従来技術の温度検出によるクライオポンプの再生方
法と比較して、クライオポンプのパージガス量を節約す
ることができる ４．クライオポンプの再生終了点を数値化して認識する
ことができる など数々の優れた効果が得られる。
明のクライオポンプの再生方法及びその再生装置によれ
ば、 １．クライオポンプ本体から排出されるパージガスの水
分を検出することからクライオポンプの再生終了を判断
するため、その再生時間を短縮させることができる ２．完全再生した状態で再生できるため、常に、クライ
オポンプの排気能力を高く維持することができる ３．従来技術の温度検出によるクライオポンプの再生方
法と比較して、クライオポンプのパージガス量を節約す
ることができる ４．クライオポンプの再生終了点を数値化して認識する
ことができる など数々の優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 スパッタ装置に適用した本発明のクライオポ
ンプの再生装置の構成図である。
ンプの再生装置の構成図である。
【図２】 クライオポンプの再生時間と水分除去率の相
関グラフである。
関グラフである。
【図３】 スパッタ装置に適用した従来技術のクライオ
ポンプの再生装置の構成図である。
ポンプの再生装置の構成図である。
【図４】 従来技術のクライオポンプの再生時間と本体
温度との相関グラフである。
温度との相関グラフである。
１Ａ 本発明の実施例であるクライオポンプの再生装
置 ２ プロセスチャンバ ３ クライオポンプ ３０１ クライオポンプ本体 ３０２ パージガス吸入口 ３０３ 熱交換器 ３０４ 凝縮パネル ４ ロータリポンプまたはドライブポンプ ５ コンプレッサ ６ リリーフ弁 ７ コントローラ １０ 水分計 １１ 水分量表示器
置 ２ プロセスチャンバ ３ クライオポンプ ３０１ クライオポンプ本体 ３０２ パージガス吸入口 ３０３ 熱交換器 ３０４ 凝縮パネル ４ ロータリポンプまたはドライブポンプ ５ コンプレッサ ６ リリーフ弁 ７ コントローラ １０ 水分計 １１ 水分量表示器
Claims (3)
- 【請求項１】 クライオポンプの再生時、該クライオポ
ンプ内へ供給し、循環させ、そして排出するパージガス
の水分量から再生終了点を検出し、該水分量検出結果を
予め記憶装置に記憶しておいたパージガスの水分量と比
較して、両者の水分量が一致またはほぼ一致した場合に
クライオポンプ内への前記パージガスの供給を停止する
ことを特徴とするクライオポンプの再生方法。 - 【請求項２】 クライオポンプと、 該クライオポンプのクライオポンプ本体に接続され、該
クライオポンプ本体を粗引きして真空にする粗引きポン
プと、 前記クライオポンプの熱交換器に接続され、前記クライ
オポンプ本体内を冷却するコンプレッサと、 前記クライオポンプ本体内にパージガスを供給する開閉
バルブを備えたパージガス供給装置と、 該開閉バルブ、前記粗引きポンプ、前記コンプレッサに
接続され、これの作動を制御する、記憶装置を備えたコ
ントローラと、 前記クライオポンプ本体のパージガス排出口に装着さ
れ、そして出力側が前記コントローラの前記記憶装置に
接続されていて、クライオポンプ本体内から排出された
パージガスに含有されている水分量を検出する水分量検
出装置と、から構成されており、 前記コントローラで、該水分量検出装置が検出した水分
量を前記記憶装置に予め記憶させておいたパージガスの
水分量と比較して両者の水分量が一致またはほぼ一致し
た場合に前記クライオポンプの再生が終了したことを検
知し、前記コントローラにより前記開閉バルブを閉じ、
前記クライオポンプ内へのパージガスの供給を停止させ
ることを特徴とするクライオポンプの再生装置。 - 【請求項３】 前記記憶装置に予め設定する供給するパ
ージガスの水分量を変更することにより、前記再生終了
点を制御できることを特徴とする請求項２に記載のクラ
イオポンプの再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33329895A JPH09126125A (ja) | 1995-08-30 | 1995-12-21 | クライオポンプの再生方法及びその再生装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-222028 | 1995-08-30 | ||
| JP22202895 | 1995-08-30 | ||
| JP33329895A JPH09126125A (ja) | 1995-08-30 | 1995-12-21 | クライオポンプの再生方法及びその再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126125A true JPH09126125A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=26524638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33329895A Pending JPH09126125A (ja) | 1995-08-30 | 1995-12-21 | クライオポンプの再生方法及びその再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09126125A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008215177A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプおよびクライオポンプの再生処理方法 |
| CN108050043A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-05-18 | 湘潭大学 | 一种抽真空装置、抽真空系统及其抽真空方法 |
| JP2020143646A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | アルバック・クライオ株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法 |
| CN115460760A (zh) * | 2022-11-09 | 2022-12-09 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | 回旋加速器的真空控制系统 |
| US11732703B2 (en) | 2020-09-30 | 2023-08-22 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and regeneration method of cryopump |
-
1995
- 1995-12-21 JP JP33329895A patent/JPH09126125A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008215177A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプおよびクライオポンプの再生処理方法 |
| JP4554628B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2010-09-29 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの再生処理方法 |
| CN108050043A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-05-18 | 湘潭大学 | 一种抽真空装置、抽真空系统及其抽真空方法 |
| JP2020143646A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | アルバック・クライオ株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法 |
| US11732703B2 (en) | 2020-09-30 | 2023-08-22 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and regeneration method of cryopump |
| CN115460760A (zh) * | 2022-11-09 | 2022-12-09 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | 回旋加速器的真空控制系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960003788B1 (ko) | 진공배기 시스템 및 배기방법 | |
| EP0921311B1 (en) | Cryopump | |
| JP3943128B2 (ja) | インシトゥーゲッターポンプ装置及び方法 | |
| JP2574586B2 (ja) | クライオポンプを再生する方法及びこの方法を実施するのに適したクライオポンプ | |
| JP5679910B2 (ja) | クライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法 | |
| JP2512783B2 (ja) | プラズマエッチング方法及び装置 | |
| US5340460A (en) | Vacuum processing equipment | |
| KR20120127284A (ko) | 크라이오펌프 시스템, 크라이오펌프를 위한 재생방법 | |
| JPH09126125A (ja) | クライオポンプの再生方法及びその再生装置 | |
| JP3301279B2 (ja) | クライオポンプ及びクライオポンプの再生方法 | |
| JPH0861232A (ja) | クライオポンプの再生方法及び再生装置 | |
| JP6552335B2 (ja) | クライオポンプの再生方法 | |
| JPH11343972A (ja) | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 | |
| JPH0874041A (ja) | 真空成膜装置及び方法並びに該装置における圧力センサの交換方法 | |
| JPH0633231A (ja) | イオンスパッタリング装置 | |
| JPH09166078A (ja) | クライオポンプの立上げ方法 | |
| JP2954142B2 (ja) | 半導体製造装置とその気体流量の制御方法 | |
| EP2009287B1 (en) | Vacuum-exhaust device and vacuum-exhaust method | |
| JPH09280174A (ja) | クライオポンプ再生方法 | |
| JPH01183112A (ja) | スパッタ蒸着装置 | |
| JP2024033570A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
| JPH05126823A (ja) | 水素吸蔵合金の水素吸蔵量検知方法 | |
| JPH0633872A (ja) | クライオポンプの再生方法及び再生装置 | |
| JPH02107775A (ja) | 処理装置及びその排気方法 | |
| JPH05272452A (ja) | クライオポンプの再生方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040120 |