CN106762535A - 一种高真空抽气系统 - Google Patents

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祁松松
李灿伦
吴世任
沈洁
景加荣
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Shanghai Institute of Satellite Equipment
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

一种高真空抽气系统，属于抽真空设备技术领域；包括第一机械泵、第二机械泵、第一阀门、分子泵、第二阀门、真空计、第三阀门、真空室、高压氮气源、充气阀、第四阀门、露点传感器、放气阀；在抽气前，向真空室充入高压氮气并维持一定的时间，从而减少真空室的材料放气，提高抽气系统的抽气效率；实现抽高真空的工作过程，本发明可广泛应用于抽真空设备技术领域。

Description

一种高真空抽气系统
技术领域
本发明属于抽真空设备技术领域，涉及到一种高真空抽气系统。
背景技术
目前一些高真空抽气系统需要对真空室进行高温烘烤除气，去除吸附在真空室内表面的水蒸气分子，从而提高抽气系统的抽气性能。
然而，真空室高温烘烤除气的过程比较复杂，并需要较长的时间。因此，急需设计一种可以减少真空室内的材料放气且高效的高真空抽气系统。
发明内容
本发明克服了现有技术存在的不足，提供了一种高真空抽气系统 ，可有效除去吸附在真空室内表面的水蒸气分子，从而达到高温烘烤除气的效果，提高抽气系统的抽气性能。
本发明的技术方案是：一种高真空抽气系统，包括第一机械泵、第二机械泵、第一阀门、分子泵、第二阀门、真空计、第三阀门、真空室、高压氮气源、充气阀、第四阀门、露点传感器、放气阀；
第一机械泵、第二机械泵通过第二阀门与真空室连通；分子泵通过第三阀门与真空室连通；真空计与真空室相连接；高压氮气源通过充气阀与真空室连通；露点传感器通过第四阀门与真空室连通；放气阀与真空室连通。
优选的，所述第一机械泵、第二机械泵、分子泵为真空抽气机组；所述的一种高真空抽气系统，在抽气前，高压氮气源将高压的氮气充满真空室，并维持1个小时。
与现有技术相比，本发明的一种高真空抽气系统提高抽气系统的抽气效率，从而减少真空室的材料放气，实现抽高真空的工作过程；本发明可广泛应用于抽真空设备技术领域。
附图说明
下面结合附图对本发明做进一步的说明。
图1是本发明的一种高真空抽气系统结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本发明一种高真空抽气系统，包括第一机械泵1、第二机械泵2、第一阀门3、分子泵4、第二阀门5、真空计6、第三阀门7、真空室8、高压氮气源9、充气阀10、第四阀门11、露点传感器12、放气阀13；
所述第一机械泵1、第二机械泵2、分子泵4为真空抽气机组；第一机械泵1、第二机械泵2通过第二阀门与真空室8连通；分子泵4通过第三阀门7与真空室8连通；真空计6与真空室8相连接；高压氮气源9通过充气阀10与真空室8连通；露点传感器12通过第四阀门11与真空室8连通；放气阀13与真空室8连通。
所述的一种高真空抽气系统，在抽气前，高压氮气源将高压的氮气充满真空室，并维持1个小时。
具体工作过程：开启第四阀门11，关闭第一阀门3、第二阀门5、第三阀门7、充气阀10和放气阀13；使用露点传感器12对真空室8内的湿度进行检测；关闭第四阀门11，开启充气阀10；使用高压氮气源9对真空室8进行充气；关闭充气阀10, 真空室8在充满高压氮气的状态下，维持1个小时；开启放气阀13，将氮气排出真空室8；关闭放气阀13，开启第四阀门11；使用露点传感器12对真空室8内的湿度进行检测；关闭第四阀门11，开启第二阀门；开启第一机械泵1和第二机械泵2，对真空室8进行抽气；开启真空计6，当示数达到0.1Pa后，开启第一阀门3；开启分子泵4，等分子泵4稳定启动后，开启第三阀门7，关闭第二阀门5；等待分子泵4将真空室8抽到高真空状态；抽气结束后，关闭真空计6，关闭第三阀门7，关闭分子泵4；等待分子泵4停止工作后，关闭第一阀门3，关闭第一机械泵1和第二机械泵2。

Claims (2)

1.一种高真空抽气系统，其特征在于：包括第一机械泵（1）、第二机械泵（2）、第一阀门（3）、分子泵（4）、第二阀门（5）、真空计（6）、第三阀门（7）、真空室（8）、高压氮气源（9）、充气阀（10）、第四阀门（11）、露点传感器（12）、放气阀（13）；
所述第一机械泵（1）、第二机械泵（2）通过第二阀门与真空室（8）连通；
所述分子泵（4）通过第三阀门（7）与真空室（8）连通；
所述真空计（6）与真空室（8）相连接；
所述高压氮气源（9）通过充气阀（10）与真空室（8）连通；
所述露点传感器（12）通过第四阀门（11）与真空室（8）连通；
所述放气阀（13）与真空室（8）连通。
2.根据权利要求1所述的一种高真空抽气系统，其特征在于：所述第一机械泵（1）、第二机械泵（2）、分子泵（4）为真空抽气机组。
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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RJ01 Rejection of invention patent application after publication
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