CN204224700U - 一种大型高真空抽气系统 - Google Patents
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Abstract
一种大型高真空抽气系统，包括镀膜室，镀膜室分别与大型涡轮分子泵或大型扩散泵连接，镀膜室和涡轮分子泵或扩散泵之间设有第一真空阀，涡轮分子泵或扩散泵的排气口经第二真空阀与牵引分子泵连接，牵引分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接，牵引分子泵的进气口还经第四真空阀与镀膜室连接；镀膜室还经第五真空阀与粗抽泵连接，镀膜室还分别与真空规、工作注气阀和放气阀连接，注气阀与工作气体源连接。本实用新型采用大抽速牵引分子泵+小型前级泵，取代传统抽气系统的粗真空泵+罗茨泵，粗抽泵运行时间由传统抽气工艺的全程运行（几十分钟~几十小时）降至仅几分钟，粗抽泵能耗节省90%以上。
Description
技术领域
本实用新型属于真空获得技术领域，尤其涉及一种大型高真空抽气系统。
背景技术
传统的大型高真空抽气系统的粗抽机组和前级泵机组普遍采用粗真空泵（例如旋片泵或滑阀泵）+罗茨泵机组抽气，上述两种泵都是高能耗泵，以大型钛金镀膜设备（3m3）为例，粗真空泵+罗茨泵的抽气能耗高达15KW，约占镀膜设备总抽气能耗的60%~80%。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种显著节省能耗的大型高真空抽气系统。
本实用新型是这样实现的，一种大型高真空抽气系统，包括镀膜室，所述镀膜室分别与大型涡轮分子泵或大型扩散泵连接，所述镀膜室和所述涡轮分子泵或所述扩散泵之间设有第一真空阀，所述涡轮分子泵或所述扩散泵的排气口经第二真空阀与牵引分子泵连接，所述牵引分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接，所述牵引分子泵还经第四真空阀与所述镀膜室连接；所述镀膜室还经第五真空阀与粗抽泵连接，所述镀膜室还分别与真空规和放气阀连接。
本实用新型提供的大型高真空抽气系统具有如下优点：
（1）采用大抽速牵引分子泵+小型前级泵，取代传统抽气系统的罗茨泵+粗真空泵，罗茨泵+粗抽泵的运行时间由传统抽气工艺的全程运行（几十分钟~几十小时）降至仅几分钟，粗抽泵能耗节省80%以上。
（2）粗抽泵压强提高，显著降低粗抽泵的油蒸汽污染，提高真空产品质量。
（3）前级泵抽气能耗节省80%以上。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例一提供的大型钛金镀膜设备抽气系统的结构示意图。
图2是本实用新型实施例二提供的大型真空炉抽气系统的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一
如图1所示，本实用新型实施例一提供的一种大型钛金镀膜设备的抽气系统，包括镀膜室11，镀膜室11分别与大型涡轮分子泵13连接，镀膜室11和涡轮分子泵13之间设有第一真空阀12，涡轮分子泵13的排气口经第二真空阀14与牵引分子泵15连接，牵引分子泵15的排气口经第三真空阀16与前级泵17连接，第三真空阀16关闭时，还同时对前级泵17注入大气，牵引分子泵15的进气口还经第四真空阀18与镀膜室11连接。
进一步地，镀膜室11还经第五真空阀110与粗抽泵19连接，第五真空阀110关闭时，还同时对粗抽泵19注入大气，镀膜室11还分别与真空规111、工作注气阀112和放气阀114连接，其中真空规111用于检测镀膜室11的真空度，注气阀112与工作气体源113连接，用于镀膜时对镀膜室11注入工作气体，放气阀114用于镀膜结束后，向镀膜室11注入大气。
本实施例一的大型钛金镀膜设备的抽气系统的抽气工艺的具体操作步骤如下：
（1）待镀工件装架，关闭镀膜室11和所有真空阀，所有真空泵处于停止状态；
（2）先后启动前级泵17，打开第三真空阀16，启动牵引分子泵15，打开第二真空阀14，启动涡轮分子泵13；
（3）牵引分子泵15和涡轮分子泵13启动完毕，然后，依次启动粗抽泵19，打开第五真空阀110，粗抽泵19对镀膜室11抽气；
（4）镀膜室11压强从大气压抽至50 Pa后，依次关闭第五真空阀110、粗抽泵19、第二真空阀14和打开第四真空阀18，牵引分子泵15对镀膜室11抽气；
（5）镀膜室11压强从50Pa降至1 Pa，依次关闭第四真空阀18、打开第二真空阀14、打开第一真空阀12，涡轮分子泵13对镀膜室11抽气，然后镀膜室11开始加热烘烤，烘烤温度达到设定要求后，进入恒温阶段；
（6）镀膜室11压强降至约5×10-2Pa时，开始辉光放电清洗1~2min，然后关闭辉光放电和烘烤；
（7）镀膜室11的真空度抽至所需值（约8×10-3Pa），打开注气阀112，镀膜室11由工作气体源113注入工作气体，开始镀膜；
（8）镀膜完成后，冷却若干分钟，依次关闭第一真空阀12、打开放气阀114，镀膜室11注入大气，打开镀膜室11，取出已镀工件，完成镀膜周期。
实施例二
如图2所示，本实用新型实施例二提供的一种大型真空炉的抽气系统，包括真空室21，真空室21分别与大型扩散泵23连接，真空室21和扩散泵23之间设有第一真空阀22，扩散泵23的排气口经第二真空阀24与牵引分子泵25连接，牵引分子泵25的排气口经第三真空阀26与前级泵27连接，第三真空阀26关闭时，还同时对前级泵27注入大气，牵引分子泵25的进气口还经第四真空阀28与镀膜室21连接。
进一步地，真空室21还经第五真空阀210与粗抽泵209连接，第五真空阀210关闭时，还同时对粗抽泵29注入大气，真空室21还分别与真空规211、工作注气阀212和放气阀214连接，其中真空规211用于检测真空室21的真空度，工作注气阀212与工作气体源213连接，用于对真空室21注入工作气体，放气阀214用于真空炉运行结束后，向真空室21注入大气。
本实施例二的大型真空炉的抽气系统的抽气工艺的具体操作步骤如下：
（1）待镀工件装架，关闭真空室21和所有真空阀，所有真空泵处于停止状态；
（2）依次启动前级泵27，打开第三真空阀26，启动牵引分子泵25，打开第二真空阀24，启动扩散泵23；
（3）牵引分子泵25和扩散泵23启动完毕，依次启动粗抽泵209，打开第五真空阀210，粗抽泵209对真空室21抽气；
（4）真空室21压强从大气压抽至50 Pa，依次关闭第五真空阀210、粗抽泵29和第二真空阀25，打开第四真空阀28，牵引分子泵25对真空室21抽气。
（5）真空室21压强从50Pa至1 Pa，先后关闭第四真空阀28、打开第二真空阀24和第二真空阀22，扩散泵23对真空室21抽气；
（6）若需缩短抽气时间，真空室21可采用实施例一所述的加热烘烤和用辉光放电清洗工艺；
（7）真空室21压强降至所需值后，按各种真空炉的各自工艺操作；
（8）真空炉运行结束后，依次关闭第一真空阀22，打开放气阀214，真空室21注入大气，打开真空室21，取出工件，完成工作周期。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
Claims (1)
1. 一种大型高真空抽气系统，其特征在于：包括镀膜室，所述镀膜室分别与大型涡轮分子泵或大型扩散泵连接，所述镀膜室和所述涡轮分子泵或所述扩散泵之间设有第一真空阀，所述涡轮分子泵或所述扩散泵的排气口经第二真空阀与牵引分子泵连接，所述牵引分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接，所述牵引分子泵的进气口还经第四真空阀与所述镀膜室连接；所述镀膜室还经第五真空阀与粗抽泵连接，所述镀膜室还分别与真空规和放气阀连接。
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| CN201420643026.3U CN204224700U (zh) | 2014-11-02 | 2014-11-02 | 一种大型高真空抽气系统 |
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| CN (1) | CN204224700U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104806535A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-07-29 | 储继国 | 复合径流泵、组合径流泵及抽气系统 |
| CN106762535A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-31 | 上海卫星装备研究所 | 一种高真空抽气系统 |
| CN107400857A (zh) * | 2017-09-18 | 2017-11-28 | 储琦 | 低碳、无油蒸发镀膜设备 |
| CN107557735A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-01-09 | 东莞市典雅五金制品有限公司 | 阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机 |
| US11143191B2 (en) | 2017-09-20 | 2021-10-12 | Edwards Limited | Drag pump and a set of vacuum pumps including a drag pump |
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2014
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