CN107400857A - 低碳、无油蒸发镀膜设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵组成的抽气机组，取代传统扩散泵+罗茨泵组成的抽气机组，具有大幅度节省抽气能耗、缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点，从而获得无油真空，显著提高镀膜产品的质量和产能、降低能耗和生产成本。

Description

低碳、无油蒸发镀膜设备
技术领域
本发明属于真空镀膜技术领域，尤其涉及一种低碳、无油蒸发镀膜设备。
背景技术
传统的大型蒸发镀膜设备（简称镀膜设备），普遍采用大型扩散泵+罗茨泵机组抽气，存在如下缺点：
1．能耗高。扩散泵和罗茨泵都是高能耗泵。加上镀膜过程中，真正需要高真空的时段仅几十秒钟，不到镀膜周期的1/20，然而，扩散泵启动时间长（约60 min），无法中断运行，因此，抽气利用率不到5%，存在极大的浪费。
2．油蒸汽污染严重。扩散泵和罗茨泵都是有油泵，油蒸汽污染大，其中，高真空扩散泵利用油蒸汽喷射流抽气，油蒸汽污染更加严重，影响镀膜产品的质量。
3．扩散泵机组抽气时间长，通常达30分钟，影响设备产能的提高。
4．近年来，部分镀膜设备采用POLYCOLD（一种快速制冷、制热循环的低温（-150℃）水汽泵制冷装置辅助扩散泵抽气，抽气时间有所缩短，油蒸汽污染也有下降，然而，设备费用和能耗成倍增加，而且，油蒸汽污染的源头依旧存在，无法消除，未能推广应用。
5. 专利（201310242244.6）曾提供一种采用牵引分子泵+化学吸附泵机组取代扩散泵机组的新技术，取得了节省能耗30%的较好效果，然而，该专利所述的牵引分子泵存在体积大、占地空间多等缺点，也未能推广应用。
上述缺点是当今蒸发镀膜行业亟待解决，但一直未能攻克的难题。
发明内容
本发明的目的在于采用一种体积更小、重量更轻、抽气效率更高的低碳、无油蒸发镀膜设备。
本发明是这样实现的，一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有立式复合径流泵机组，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。
具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。
具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。
本发明还提供了另一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有立式复合径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述立式复合径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。
具体地，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。
具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。
本发明还提供了另一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、立式复合径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述镀膜室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述镀膜室和立式复合径流泵机组之间设有第四真空阀，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接。
具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。
具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。
本发明利用立式复合径流泵机组、深冷水汽泵和化学吸附泵机组抽气能力的互补性将立式复合径流泵机组、深冷水汽泵和化学吸附泵机组的抽气能力实现最优化，从而取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵+罗茨泵机组，消除油蒸汽污染，显著提高镀膜产品质量，降低蒸发镀膜能耗约80%，提高镀膜设备产能50~100%。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例一提供的低碳、无油蒸发镀膜设备的示意图。
图2是本发明实施例二提供的低碳、无油蒸发镀膜设备的示意图。
图3是本发明实施例三提供的低碳、无油蒸发镀膜设备的示意图。
图4是本发明实施例一、二、三提供的立式复合径流分子泵的泵筒的示意图。
图5是沿图4中的A-A方向的剖视图。
图6是本发明实施例一、二、三提供的立式复合径流分子泵的剖视图。
图7是本发明实施例一、二、三提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一无油真空泵组装在二个真空壳体内的低碳、无油大型蒸发镀膜设备
如图1所示，本发明实施例一提供的一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室11，镀膜室11分别与粗抽泵机组12、真空壳体13、化学吸附泵机组14、放气阀15和真空规16连接，镀膜室11和粗抽泵机组12之间设有第一真空阀17，镀膜室11和真空壳体13之间设有第二真空阀18，真空壳体13内部上方设有深冷水汽泵19，真空壳体13内部下方设有立式复合径流泵机组110，立式复合径流泵机组110由四台并联抽气的立式复合径流分子泵组成，立式复合径流泵机组110的排气口通过第三真空阀112与前级泵111连接，镀膜室11和化学吸附泵机组14之间设有第四真空阀113，化学吸附泵机组14由六台电弧钛泵并联组成。
如图4~图7所示，本实施例一的立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒41，泵筒41的侧壁开设有进气口42和排气口（未示出），泵筒41内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子43、静轮44和动密封45，转子43上固设有两平圆盘状的动轮46，两动轮46平行且间隔设置，静轮44设于两动轮46之间，静轮44与两动轮46平行设置，动密封45位于下方的动轮46的下方，静轮44和动密封45均固设于泵筒41的侧壁上；位于上方的动轮46的外侧设有一组涡轮叶列47，涡轮叶列47由上向下抽气；静轮44上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽441，静轮44的中部未设置隔板，由于静轮44的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。
如图4~图7所示，本实施例一的立式复合径流分子泵的工作原理如下：
（1）本实施例一的进气口42设在泵筒41的侧壁，泵筒41外侧的气体依次经进气口42和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方；
（2）同时，由于本实施例一的泵筒41上端为敞口，在泵筒41上方增添了抽气通道，泵筒41上方的气体依次经其上方的敞口、涡轮叶列47和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方。
由于本实施例一的立式复合径流分子泵可以从泵筒41的上方和侧壁同时抽气，且静轮44的中部未设置隔板，因此，立式复合径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%。另外，立式复合径流分子泵还具有结构简单和制造成本低的优点。
如图1所示，本实施例一的粗抽泵机组12与传统镀膜设备的粗抽泵机组相同。本实施例一将化学吸附泵机组14和立式复合径流泵机组110分开，消除了化学吸附泵机组14产生的粉尘对立式复合径流泵机组110的污染，能提高立式复合径流泵机组110无故障运行的时间。实施例一的蒸发镀膜设备特别适合用于双机组抽气的大型蒸发镀膜设备。
如图1所示，本实施例一的蒸发镀膜设备采用如下智能控制的抽气工艺：
（1）准备阶段：关闭镀膜室11、放气阀15和第二真空阀18，打开第一真空阀17、第三真空阀112和第四真空阀113，同时启动立式复合径流泵机组110、前级泵111和深冷水汽泵19，立式复合径流泵机组110和前级泵111的抽气时间为4~6min，深冷水汽泵19的抽气时间为8~12min；
（2）粗抽阶段（大气压~50 Pa）：启动粗抽泵机组12抽气，镀膜室11压强降至50Pa后，即先、后关闭第一真空阀17和粗抽泵机组12；
（3）中真空阶段（50~0.1 Pa）：打开第二真空阀18，镀膜室11由立式复合径流泵机组110和深冷水汽泵19抽气；
（4）精抽阶段（0.1~0.05 Pa）：打开第四真空阀113，启动化学吸附泵机组14+立式复合径流泵机组110+深冷水汽泵19抽气，其中，深冷水汽泵19抽除可凝性气体，化学吸附泵机组14抽除活性气体，立式复合径流泵机组110抽除残留的惰性气体和永久气体；
（5）镀膜室11的真空度达到0.05 Pa以下，即可进行镀膜；
（6）停机阶段：镀膜完成后，关闭第二真空阀18和第四真空阀113，打开放气阀15，镀膜室11的压强升至大气压后，打开镀膜室11，取出工件，准备下一次镀膜。
本实施例一的蒸发镀膜设备利用三种无油真空泵（立式复合径流泵机组110、深冷水汽泵19和化学吸附泵机组14）抽气能力的互补性以及智能控制抽气工艺，将立式复合径流泵机组110、深冷水汽泵19和化学吸附泵机组14的抽气能力实现最优化，从而取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵+罗茨泵机组，消除油蒸汽污染，显著提高镀膜产品质量，降低蒸发镀膜能耗约80%，提高镀膜设备产能50~100%。
实施例二 无油真空泵组装在同一真空壳体内的低碳、无油大型蒸发镀膜设备
如图2所示，本发明实施例二提供的一种低碳、无油大型蒸发镀膜设备，包括镀膜室21，镀膜室21分别与粗抽泵机组22、真空壳体23、放气阀24和真空规25连接，镀膜室21和粗抽泵机组22之间设有第一真空阀26，镀膜室21和真空壳体23之间设有第二真空阀27，真空壳体23内由下向上依次设有立式复合径流泵机组212、化学吸附泵机组28和深冷水汽泵29，立式复合径流泵机组212由四台并联抽气的径流泵组成，各径流泵共用一台前级泵210，立式复合径流泵机组212的排气口与前级泵210之间设有第三真空阀211，化学吸附泵机组28由六台并联的电弧钛泵组成，深冷水汽泵29采用单制冷模式。
如图4~图7所示，本实施例二的立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒41，泵筒41的侧壁开设有进气口42和排气口（未示出），泵筒41内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子43、静轮44和动密封45，转子43上固设有两平圆盘状的动轮46，两动轮46平行且间隔设置，静轮44设于两动轮46之间，静轮44与两动轮46平行设置，动密封45位于下方的动轮46的下方，静轮44和动密封45均固设于泵筒41的侧壁上；位于上方的动轮46的外侧设有一组涡轮叶列47，涡轮叶列47由上向下抽气；静轮44上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽441，静轮44的中部未设置隔板，由于静轮44的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。
如图4~图7所示，本实施例二的立式复合径流分子泵的工作原理如下：
（1）本实施例二的进气口42设在泵筒41的侧壁，泵筒41外侧的气体依次经进气口42和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方；
（2）同时，由于本实施例二的泵筒41上端为敞口，在泵筒41上方增添了抽气通道，泵筒41上方的气体依次经其上方的敞口、涡轮叶列47和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方。
由于本实施例二的立式复合径流分子泵可以从泵筒41的上方和侧壁同时抽气，且静轮44的中部未设置隔板，因此，立式复合径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%。另外，立式复合径流分子泵还具有结构简单和制造成本低的优点。
如图2所示，本实施例二的粗抽泵机组22与实施例一的粗抽泵机组12相同。本实施例二的立式复合径流泵机组212、化学吸附泵机组28和深冷水汽泵29组装在同一个真空壳体23内，简化抽气系统的结构，降低设备费用，尤其适合用于单机组蒸发镀膜设备。
如图2所示，本实施例二的蒸发镀膜设备采用如下智能控制的抽气工艺：
（1）准备阶段：关闭镀膜室21、放气阀24和第二真空阀27，打开第一真空阀26和第三真空阀211，启动立式复合径流泵机组212、前级泵210和深冷水汽泵29，立式复合径流泵机组212和前级泵210的抽气时间为4~6min，深冷水汽泵29的抽气时间为8~12min；
（2）粗抽阶段（大气压~50 Pa）：启动粗抽泵机组22抽气，镀膜室21压强降至100 Pa，即先后关闭第一真空阀26和粗抽泵机组22，停止粗抽泵机组22运行；
（3）中真空阶段区段（50~0.1 Pa）：打开第二真空阀27，镀膜室11由立式复合径流泵机组212和深冷水汽泵29抽气；
（4）精抽阶段（0.1~0.05 Pa）：采用化学吸附泵28+立式复合径流泵机组212+深冷水汽泵29抽气，其中，深冷水汽泵29抽除水蒸汽，化学吸附泵28抽除活性气体，立式复合径流泵机组212抽除残留的惰性气体和永久气体。
本实施例二的蒸发镀膜设备利用三种无油真空泵（立式复合径流泵机组212、深冷水汽泵29和化学吸附泵28）抽气能力的互补性以及智能控制抽气工艺，将立式复合径流泵机组212、深冷水汽泵29和化学吸附泵28的抽气能力实现最优化，从而取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵+罗茨泵机组，消除油蒸汽污染，显著提高镀膜产品质量，降低蒸发镀膜能耗约80%，提高镀膜设备产能50~100%。
实施例三无油真空泵组分别装在一个真空壳体内的低碳、无油大型蒸发镀膜设备
如图3所示，本发明实施例三提供的一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室31，镀膜室31分别与粗抽泵机组32、化学吸附泵机组33、深冷水汽泵34、立式复合径流泵机组35、放气阀36和真空规37连接，镀膜室31和粗抽泵机组32之间设有第一真空阀38，镀膜室31和化学吸附泵机组33之间设有第二真空阀39，镀膜室31和深冷水汽泵34之间设有第三真空阀310，镀膜室11和立式复合径流泵机组35之间设有第四真空阀311，化学吸附泵机组33由六台电弧钛泵并联组成，立式复合径流泵机组35由四台并联抽气的立式复合径流分子泵组成，立式复合径流泵机组35的排气口通过第五真空阀312与前级泵313连接。
如图4~图7所示，本实施例三的立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒41，泵筒41的侧壁开设有进气口42和排气口（未示出），泵筒41内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子43、静轮44和动密封45，转子43上固设有两平圆盘状的动轮46，两动轮46平行且间隔设置，静轮44设于两动轮46之间，静轮44与两动轮46平行设置，动密封45位于下方的动轮46的下方，静轮44和动密封45均固设于泵筒41的侧壁上；位于上方的动轮46的外侧设有一组涡轮叶列47，涡轮叶列47由上向下抽气；静轮44上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽441，静轮44的中部未设置隔板，由于静轮44的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。
如图4~图7所示，本实施例三的径流分子泵的工作原理如下：
（1）本实施例三的进气口42设在泵筒41的侧壁，泵筒41外侧的气体依次经进气口42和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方；
（2）同时，由于本实施例三的泵筒41上端为敞口，在泵筒41上方增添了抽气通道，泵筒41上方的气体依次经其上方的敞口、涡轮叶列47和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方。
由于本实施例三的立式复合径流分子泵可以从泵筒41的上方和侧壁同时抽气，且静轮44的中部未设置隔板，因此，立式复合径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%。另外，立式复合径流分子泵还具有结构简单和制造成本低的优点。
如图3所示，本实施例三的粗抽泵机组32与传统镀膜设备的粗抽泵机组相同。本实施例三将化学吸附泵机组33和立式复合径流泵机组35分开，消除了化学吸附泵机组33产生的粉尘对立式复合径流泵机组35的污染，能提高径流泵机35无故障运行的时间。实施例三特别适合用于双机组抽气的大型蒸发镀膜设备。
如图3所示，本实施例三的蒸发镀膜设备采用如下智能控制的抽气工艺：
（1）准备阶段：关闭镀膜室31、放气阀36、第三真空阀310和第四真空阀311，打开第一真空阀38、第二真空阀39和第五真空阀312，同时启动深冷水汽泵34、立式复合径流泵机组35和前级泵313，立式复合径流泵机组35和前级泵313的抽气时间为4~6min，深冷水汽泵34的抽气时间为8~12min；
（2）粗抽阶段（大气压~50 Pa）：启动粗抽泵机组32抽气，镀膜室31压强降至50Pa后，即先、后关闭第一真空阀38和粗抽泵机组32；
（3）中真空阶段（50~0.1 Pa）：打开第三真空阀310和第四真空阀311，镀膜室31由立式复合径流泵机组35和深冷水汽泵34抽气；
（4）精抽阶段（0.1~0.05 Pa）：打开第二真空阀39，启动化学吸附泵机组33+立式复合径流泵机组35+深冷水汽泵34抽气，其中，深冷水汽泵34抽除可凝性气体，化学吸附泵机组33除活性气体，立式复合径流泵机组35抽除残留的惰性气体和永久气体；
（5）镀膜室31的真空度达到0.05 Pa以下，即可进行镀膜；
（6）停机阶段：镀膜完成后，关闭第二真空阀39、第三真空阀310和第四真空阀311，打开放气阀36，镀膜室31的压强升至大气压后，打开镀膜室31，取出工件，准备下一次镀膜。
本实施例三的蒸发镀膜设备利用三种无油真空泵（立式复合径流泵机组35、深冷水汽泵34和化学吸附泵机组33）抽气能力的互补性以及智能控制抽气工艺，将立式复合径流泵机组35、深冷水汽泵34和化学吸附泵机组33的抽气能力实现最优化，从而取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵+罗茨泵机组，实现消除油蒸汽污染，显著提高镀膜产品质量，降低蒸发镀膜能耗约80%，提高镀膜设备产能50~100%。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有立式复合径流泵机组，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。
2.根据权利要求1所述的低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。
3.根据权利要求1所述的低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。
4.一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有立式复合径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述立式复合径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。
5.根据权利要求4所述的低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。
6.根据权利要求4所述的低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。
7.一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、立式复合径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述镀膜室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述镀膜室和立式复合径流泵机组之间设有第四真空阀，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接。
8.根据权利要求7所述的低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。
9.根据权利要求7所述的低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。
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