CN103320752A - 蒸发镀膜设备及其抽气工艺 - Google Patents
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Abstract
一种蒸发镀膜设备及其抽气工艺，其采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代传统的串联抽气扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组，其中，电弧钛泵可以快速抽除高真空的活性气体，牵引分子泵机组可以快速抽除高真空的惰性气体和中真空气体。由于电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵主要在精抽阶段和镀膜阶段运行，运行时间不到整个抽气时间的1/3，因此本发明可以大幅度降低抽气能耗；另外电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组无油蒸汽污染，因此本发明还消除了传统蒸发镀膜设备的油蒸汽污染。
Description
技术领域
本发明属于蒸发镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸发镀膜设备及其抽气工艺。
背景技术
传统的蒸发镀膜设备体积大，目前普遍采用大型扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组抽气，其存在如下缺点：
1．能耗高。扩散泵、罗茨泵和滑阀泵都是高能耗泵。加上镀膜过程中，真正需要高真空的时段仅3-4分钟，不到镀膜周期的1/3，然而，扩散泵启动时间长（约60min），无法中断运行，因此，抽气利用率很低（≤30%），进一步增加了蒸发镀膜的能耗。
2．油蒸汽污染严重。扩散泵、罗茨泵和滑阀泵都是有油泵，油蒸汽污染大，影响镀膜产品质量。尤其是扩散泵利用油蒸汽射流抽气，油蒸汽污染更加严重。
上述缺点是当今蒸发镀膜行业亟待解决，但一直未能攻克的难题。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种新型的蒸发镀膜设备，其采用一种能耗低、能瞬间启动、无油蒸汽污染的新型电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代传统的扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组，实现降低抽气能耗，消除油蒸汽污染、提高真空产品质量的目的。
本发明是这样实现的，一种蒸发镀膜设备，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室分别连接有电弧钛泵、牵引分子泵和粗抽泵，所述牵引分子泵与一前级泵连接，所述真空镀膜室和牵引分子泵之间设有一第一真空阀，所述牵引分子泵和前级泵之间设有一第二真空阀，所述真空镀膜室和粗抽泵之间设有一第三真空阀，所述真空镀膜室和电弧钛泵之间设有一第四真空阀；
所述电弧钛泵包括钛靶以及与所述钛靶连接的阴极弧源基座，所述钛靶设于所述真空镀膜室之内，所述阴极弧源基座设于所述真空镀膜室之外，所述阴极弧源基座通过一绝缘垫与所述真空镀膜室固定连接，所述阴极弧源基座上设有一永久磁铁，所述阴极弧源基座内设有一冷却水槽，所述阴极弧源基座上开设有一与所述冷却水槽连通的进水口和一与所述冷却水槽连通的出水口，所述钛靶和/或阴极弧源基座上开设有至少一与所述真空镀膜室连通的气孔。
进一步地，所述钛靶和阴极弧源基座连接处的残留空间还设有一弹性导热层。
具体地，所述弹性导热层由金属导热材料制成。
具体地，所述弹性导热层由非金属导热材料制成。
具体地，所述钛靶和/或阴极弧源基座上的气孔的内径为2~3mm，所述气孔的数量为1~3个。
本发明还提供了一种如前所述的蒸发镀膜设备的抽气工艺，包括如下步骤：
（1）粗抽阶段：由粗抽泵抽气，将真空镀膜室的压强从大气压抽至50~200 Pa；
（2）中真空阶段：由牵引分子泵+前级泵抽气，将真空镀膜室压强由50~200 Pa抽至0.1Pa；
（3）精抽阶段：由电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵抽气，真空镀膜室压强由0.1 Pa抽至10-2~10-3Pa，其中，高真空的活性气体由电弧钛泵抽出，高真空的惰性气体以及中真空气体由牵引分子泵和前级泵抽出；
（4）镀膜阶段：真空镀膜室达到蒸发镀膜所需的真空度后，开始预熔、镀膜，由电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵继续抽气；
（5）结束阶段：镀膜完成后，关闭第三真空阀和第四真空阀，停止电弧钛泵，打开第一放气阀，真空镀膜室暴露于大气，完成蒸发镀膜工艺。
进一步地，所述蒸发镀膜设备还增设有一深冷水汽泵，所述深冷水汽泵与所述真空镀膜室连接，在中真空阶段、精抽阶段和镀膜阶段协助抽出水蒸汽。
进一步地，取消所述真空镀膜室和电弧钛泵之间的第四真空阀，所述真空镀膜室与电弧钛泵直接连通。
本发明的蒸发镀膜设备及其抽气工艺，采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代传统的扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组，其中，电弧钛泵用于快速抽除高真空的活性气体，牵引分子泵+前级泵用于快速抽除中真空气体以及高真空的惰性气体，本发明具有如下显著优点：
（1）电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵主要在精抽阶段和镀膜阶段运行，运行时间不到整个抽气时间的1/3，因此本发明可以大幅度降低抽气能耗；
（2）电弧钛泵和牵引分子泵都是无油蒸汽污染的清洁真空泵，消除了传统蒸发镀膜设备的油蒸汽污染，进一步保证了镀膜产品质量。
（3）本发明在电弧钛泵和真空镀膜室之间设置第四真空阀，在电弧钛泵不工作时，第四真空阀可以切断真空镀膜室和电弧钛泵之间的通道，从而，当真空镀膜室注入大气时，电弧钛泵不会暴露于大气，避免钛靶表面氧化。
（4）粗抽泵仅在粗抽阶段运行，运行时间不到1/4，而传统抽气工艺的粗抽泵需一直运行，因此显著节省了粗抽阶段的能耗，而且一套粗抽泵还能供2~4台蒸发镀膜设备共用，节省了设备和资金，减少了占地空间。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例一提供的蒸发镀膜设备的示意图；
图2是本发明实施例一提供的电弧钛泵的示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一
如图1和图2所示，本发明实施例一提供的一种蒸发镀膜设备，可用于待镀工件表面镀覆增强、装饰和增添新功能等薄膜。该蒸发镀膜设备包括真空镀膜室11，真空镀膜室11分别连接有电弧钛泵12、牵引分子泵13和粗抽泵14，牵引分子泵13与一前级泵15连接，真空镀膜室11和牵引分子泵13之间设有一第一真空阀16，牵引分子泵13和前级泵15之间设有一第二真空阀17，真空镀膜室11和粗抽泵14之间设有一第三真空阀18，真空镀膜室11和电弧钛泵12之间设有一第四真空阀19；其中，粗抽泵14仅用于粗抽阶段的抽气，电弧钛泵12主要用于精抽阶段和镀膜阶段的抽气，牵引分子泵13和前级泵15用于中真空阶段、精抽阶段和镀膜阶段的抽气。
进一步地，所述真空镀膜室11还分别与一第一放气阀110和一真空规111连接，其中，第一放气阀110用于镀膜结束后，向真空镀膜室11注入大气；真空规111用于检测真空镀膜室11的真空度。所述粗抽泵14与一第二放气阀112连接，第二放气阀112用于粗抽泵14停止运行后注入大气。
具体地，所述电弧钛泵12包括钛靶121，以及与钛靶121连接的阴极弧源基座122，钛靶121设于真空镀膜室11之内，阴极弧源基座122设于真空镀膜室11之外，阴极弧源基座122通过一绝缘垫123与真空镀膜室11固定连接，绝缘垫123可以使阴极弧源基座122和真空镀膜室之间绝缘；阴极弧源基座122上设有一永久磁铁124，永久磁铁124用于磁控等离子体弧光放电；阴极弧源基座122内设有一冷却水槽125，阴极弧源基座122上开设有一与冷却水槽125连通的进水口126以及一与冷却水槽125连通的出水口127，冷却水可以从进水口123进入冷却水槽125内，冷却水对钛靶121进行冷却之后，从出水口127排出，如此往复循环，从而实现冷却水对钛靶121的冷却，解决了因钛靶121温度过高而导致钛靶121表面氧化损耗的问题；进一步地，钛靶121和/或阴极弧源基座122上开设有至少一与真空镀膜室11连通的气孔128，气孔128内径的最佳值为2~3mm，气孔128的数量最佳值为2个，通过该气孔128，便于将钛靶121和阴极弧源基座122连接处的残留空间129内的气体迅速抽除，从而提高阴极弧源在高真空放电时的稳定性。
本实施例一的电弧钛泵12采用阴极弧源，阴极弧源的阴极靶采用钛靶121（或其它活性材料），阴极弧源利用弧光放电将钛靶121蒸散成钛膜，再利用钛膜的强烈化学吸附，实现快速抽除高真空的活性气体的目的。另外，本实施例一的牵引分子泵13+前级泵15用于抽除中真空的气体以及高真空的惰性气体。
本实施例一还提供了一种蒸发镀膜设备的抽气工艺，包括如下步骤：
（1）起始状态：关闭真空镀膜室11和所有真空阀，所有真空泵处于停止状态，打开所有放气阀；
（2）准备阶段：启动前级泵15，打开第二真空阀17，启动牵引分子泵13；
（3）粗抽阶段：关闭真空镀膜室11的第一放气阀110，关闭第二放气阀112，启动粗抽泵14，打开第三真空阀18，真空镀膜室11由粗抽泵14抽气，将真空镀膜室11的压强从大气压抽至50 ~ 200 Pa，采用该粗抽工艺，粗抽压强显著提高，而压强提高可以使油蒸汽的扩散速度显著减小，可将粗抽泵14的油蒸汽污染降至可检测量以下；
（4）中真空阶段：关闭第三真空阀18，停止粗抽泵14，打开第一真空阀16，真空镀膜室11由牵引分子泵13+前级泵15抽气，将真空镀膜室11压强由50 ~ 200Pa抽至0.1Pa；
（5）精抽阶段：启动电弧钛泵12，真空镀膜室11由电弧钛泵12和牵引分子泵13+前级泵15并联抽气，将真空镀膜室11压强由0.1Pa抽至精抽压强（通常为10-2~10-3Pa），其中，高真空的活性气体由电弧钛泵12抽出，高真空的惰性气体以及中真空气体由牵引分子泵13+前级泵15抽出；
（5）镀膜阶段：真空镀膜室11达到蒸发镀膜所需的真空度后，开始预熔、镀膜，真空镀膜室11由电弧钛泵12+牵引分子泵13+前级泵15继续抽气；
（6）结束阶段：镀膜完成后，关闭第三真空阀18和第四真空阀19，停止电弧钛泵12，打开第一放气阀110，真空镀膜室11暴露于大气，完成蒸发镀膜工艺。
综上所述，本实施例一提供的蒸发镀膜设备及其抽气工艺，采用并联抽气的电弧钛泵12+牵引分子泵13+前级泵15机组，取代传统的扩散泵+罗茨泵+滑阀泵（或旋片泵）机组，其中，电弧钛泵12用于快速抽除高真空的活性气体，牵引分子泵13+前级泵15用于快速抽除中真空气体以及高真空的惰性气体，本发明具有如下显著优点：
（1）电弧钛泵12和牵引分子泵13都是低能耗泵，加上电弧钛泵12主要在精抽阶段和镀膜阶段运行，运行时间不到整个抽气时间的1/3，因此本发明可以大幅度降低抽气能耗；
（2）电弧钛泵12和牵引分子泵13都是无油蒸汽污染的清洁真空泵，消除了传统蒸发镀膜设备的油蒸汽污染，进一步保证了真空产品质量。
（3）本发明在电弧钛泵12和真空镀膜室11之间设置第四真空阀19，在电弧钛泵不工作时，第四真空阀19可以切断真空镀膜室11和电弧钛泵12之间的通道，从而，当真空镀膜室11注入大气时，电弧钛泵12不会暴露于大气，避免钛靶121表面氧化。
（4）粗抽泵14仅在粗抽阶段运行，运行时间不到1/4，而传统抽气工艺的粗抽泵需一直运行，因此显著节省了粗抽阶段的能耗，而且一套粗抽泵还能供2~4台蒸发镀膜设备共用，节省了设备和资金，减少了占地空间。
实施例二
本实施例二与实施例一大致相同，其不同之处在于：本实施例二的钛靶和阴极弧源基座连接处的残留空间还设有一弹性导热层，该弹性导热层优选金属材料（如铜或铜合金等），弹性导热层也可由非金属导热材料（如石墨、碳纤维等）制成。在向阴极弧源基座内的冷却水槽通入冷却水对钛靶冷却时，该弹性导热层可以提高钛靶和阴极弧源基座之间的热传递速度，可进一步提高对钛靶的冷却效率。
实施例三
本实施例三与实施例一大致相同，其不同之处在于：本实施例三的蒸发镀膜设备还增设有一深冷水汽泵，该深冷水汽泵与真空镀膜室连接，该深冷水汽泵在中真空阶段、精抽和镀膜阶段协助抽出水蒸汽，缩短蒸发镀膜的抽气时间。
本实施例三尤其适合用于镀膜周期较短的蒸发镀膜设备。
实施例四
本实施例四与实施例一、二、三大致相同，其不同之处在于：本实施例四的蒸发镀膜设备取消真空镀膜室11和电弧钛泵12之间第四真空阀19，真空镀膜室11与电弧钛泵12直接连通，电弧钛泵12抽气结束之后，暴露于大气之前，使钛靶冷却3~15min。
本实施例四简化了真空系统的结构，降低了真空系统的成本，尤其适合用于镀膜周期较长的蒸发镀膜设备。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1. 一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室分别连接有电弧钛泵、牵引分子泵和粗抽泵，所述牵引分子泵与一前级泵连接，所述真空镀膜室和牵引分子泵之间设有一第一真空阀，所述牵引分子泵和前级泵之间设有一第二真空阀，所述真空镀膜室和粗抽泵之间设有一第三真空阀，所述真空镀膜室和电弧钛泵之间设有一第四真空阀；
所述电弧钛泵包括钛靶以及与所述钛靶连接的阴极弧源基座，所述钛靶设于所述真空镀膜室之内，所述阴极弧源基座设于所述真空镀膜室之外，所述阴极弧源基座通过一绝缘垫与所述真空镀膜室固定连接，所述阴极弧源基座上设有一永久磁铁，所述阴极弧源基座内设有一冷却水槽，所述阴极弧源基座上开设有一与所述冷却水槽连通的进水口和一与所述冷却水槽连通的出水口，所述钛靶和/或阴极弧源基座上开设有至少一与所述真空镀膜室连通的气孔。
2. 根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述钛靶和阴极弧源基座连接处的残留空间还设有一弹性导热层。
3. 根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述弹性导热层由金属导热材料制成。
4. 根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述弹性导热层由非金属导热材料制成。
5. 根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述钛靶和/或阴极弧源基座上的气孔的内径为2~3mm，所述气孔的数量为1~3个。
6. 一种如权利要求1~5中任一项所述的蒸发镀膜设备的抽气工艺，其特征在于包括如下步骤：
（1）粗抽阶段：由粗抽泵抽气，将真空镀膜室压强从大气压抽至50~200Pa；
（2）中真空阶段：由牵引分子泵+前级泵抽气，将真空镀膜室压强由50~200 Pa抽至0.1Pa；
（3）精抽阶段：由电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵抽气，真空镀膜室压强由0.1 Pa抽至10-2~10-3Pa，其中，高真空的活性气体由电弧钛泵抽出，高真空的惰性气体以及中真空气体由牵引分子泵和前级泵抽出；
（4）镀膜阶段：真空镀膜室达到蒸发镀膜所需的真空度后，开始预熔、镀膜，由电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵继续抽气；
（5）结束阶段：镀膜完成后，关闭第三真空阀和第四真空阀，停止电弧钛泵，打开第一放气阀，真空镀膜室暴露于大气，完成蒸发镀膜工艺。
7. 根据权利要求6所述的蒸发镀膜设备的抽气工艺，其特征在于，所述蒸发镀膜设备还增设有一深冷水汽泵，所述深冷水汽泵与所述真空镀膜室连接，在中真空阶段、精抽阶段和镀膜阶段协助抽出水蒸汽。
8. 根据权利要求6或7所述的蒸发镀膜设备的抽气工艺，其特征在于，取消所述真空镀膜室和电弧钛泵之间的第四真空阀，所述真空镀膜室与电弧钛泵直接连通。
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| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180910 Address after: 215400 38 Qingdao West Road, Taicang Economic Development Zone, Suzhou, Jiangsu Patentee after: SUZHOU MOXING VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 518000 Room 502, 1 new deep Village, Huanggang Middle Road, Shenzhen, Guangdong, Futian District Patentee before: Chu Qi |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
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Granted publication date: 20160203 |