JPH10512645A - 制御されたクライオポンプ再生圧力 - Google Patents
制御されたクライオポンプ再生圧力Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖め、 予め定められた最大圧力よりも小さい第1クライオポンプ圧力レベルで、上記 クライオポンプから粗引きポンプ(83)へのリリーフ弁(77)を開け、 解放されたガスが上記クライオポンプから十分に無くなるまで、上記リリーフ 弁(77)を開けておき、 上記クライオポンプの圧力が、第2クライオポンプ圧力レベル以下に下がった 時に上記リリーフ弁(77)を閉め、 上記リリーフ弁(77)が閉まった後、上記クライオポンプから上記粗引きポ ンプ(83)への粗引き弁(84)を開けることを特徴とするクライオポンプの 再生方法。 2. 請求項1に記載の方法において、さらに、上記粗引き弁(84)が上記粗 引きポンプ(83)に対して開くことを制御するために、上記リリーフ弁(77 )が閉じるのを監視するステップを含むことを特徴とする方法。 3. 請求項2に記載の方法において、上記監視ステップは、上記リリーフ弁( 77)と粗引きポンプ(83)の間の管路の圧力が上記リリーフ弁が閉じたこと を示すに十分なほど低下した時を判定するために、上記管路の圧力を監視するこ とを含むことを特徴とする方法。 4. 請求項1に記載の方法において、上記リリーフ弁(77)を開くステップ と閉じるステップは、圧力反応性リリーフ弁によって行われることを特徴とする 方法。 5. 請求項1に記載の方法において、上記ステップは、クライオポンプの部分 的再生に適用されることを特徴とする方法。 6. 請求項1に記載の方法において、上記予め定められた最大圧力は、大気圧 以下であることを特徴とする方法。 7. クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖め、 予め定められた最大圧力よりも小さい第1クライオポンプ圧力レベルで、上記 クライオポンプから真空ポンプへのリリーフ弁(77)を開け、 解放されたガスが上記クライオポンプから十分に無くなるまで、上記リリーフ 弁(77)を開けておき、 上記クライオポンプの圧力が、第2クライオポンプ圧力レベル以下に下がった 時に上記リリーフ弁(77)を閉め、 上記リリーフ弁(77)と上記真空ポンプの間の管路の圧力を監視し、 上記管路の圧力が上記リリーフ弁(77)が閉じたことを示すに十分なほど低 下した後、上記クライオポンプから粗引きポンプ(83)への粗引き弁(84) を開けることを特徴とするクライオポンプの再生方法。 8. 請求項7に記載の方法において、上記真空ポンプは粗引きポンプ(83) であることを特徴とする方法。 9. 請求項7に記載の方法において、上記リリーフ弁(77)を開くステップ と閉じるステップは、圧力反応性リリーフ弁によって行われることを特徴とする 方法。 10. 請求項7に記載の方法において、上記ステップは、クライオポンプの部分 的再生に適用されることを特徴とする方法。 11. 請求項7に記載の方法において、上記予め定められた最大圧力は、大気圧 以下であることを特徴とする方法。 12. クライオポンプ室(20)と、 上記クライオポンプ室にパージガスを印加するための温暖パージガス弁(80 )と、 上記クライオポンプ室を粗引きポンプ(83)に連結するための粗引き弁(8 4)と、 上記クライオポンプ室(20)を上記粗引きポンプ(83)に連結するための 自力式リリーフ弁を備え、 この自力式リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも小さい第1クライオ ポンプ圧力レベルで上記粗引きポンプ(83)に対して開き、上記クライオポン プの圧力が第2クライオポンプ圧力レベル以下に低下した時に閉じ、 上記パージガス弁(80)と上記粗引き弁(84)を制御するための電子制御 装置(24)を備え、 上記電子制御装置は、 上記クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖め、 上記リリーフ弁(77)が閉じた後、上記粗引きポンプ(83)に対して上記 粗引き弁(84)を開けることによって、 再生工程を制御するようにプログラムされていることを特徴とするクライオポ ンプ。 13. 請求項12に記載のクライオポンプにおいて、上記電子制御装置(24) は、さらに、上記粗引き弁(84)が上記粗引きポンプ(83)に対して開くの を制御するために、上記リリーフ弁(77)が閉じるのを監視することによって 、再生工程を制御するようにプログラムされていることを特徴とするクライオポ ンプ。 14. 請求項13に記載のクライオポンプにおいて、さらに、上記リリーフ弁( 77)と上記粗引きポンプ(83)の間の管路の圧力が上記理リリーフ弁が閉じ た ことを示すに十分なほど低下した時を判定するために、上記管路の圧力を監視す るための圧力センサ(79)を備えることを特徴とするクライオポンプ。 15. 請求項12に記載のクライオポンプにおいて、上記予め定められた最大圧 力は大気圧以下であることを特徴とするクライオポンプ。 16. クライオポンプ室(20)と、 上記クライオポンプ室にパージガスを印加するための温暖パージガス弁(80 )と、 上記クライオポンプ室を粗引きポンプ(83)に連結するための粗引き弁(8 4)と、 上記クライオポンプ室(20)を上記真空ポンプに連結するための自力式リリ ーフ弁を備え、 この自力式リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも小さい第1クライオ ポンプ圧力レベルで真空ポンプに対して開き、上記クライオポンプの圧力が第2 クライオポンプ圧力レベル以下に低下した時に閉じ、 上記リリーフ弁(77)と上記真空ポンプの間の管路の圧力を監視するための 圧力センサ(79)を備え、 上記パージガス弁(80)と上記粗引き弁(84)を制御すると共に上記圧力 センサ(79)を監視するための電子制御装置(24)を備え、 上記制御装置(24)は、 上記クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖め、 上記リリーフ弁(77)と上記真空ポンプの間の管路の圧力を監視し、 上記管路の圧力が上記リリーフ弁(77)が閉じたことを示すに十分なほど低 下した後、粗引きポンプ(83)に対して上記粗引き弁(84)を開けることに よって、 再生工程を制御するようにプログラムされていることを特徴とするクライオポ ンプ。 17. 請求項16に記載のクライオポンプにおいて、上記真空ポンプは粗引きポ ンプ(83)であることを特徴とするクライオポンプ。 18. 請求項16に記載のクライオポンプにおいて、上記予め定められた最大圧 力は、大気圧以下であることを特徴とするクライオポンプ。 19. クライオポンプにおいて、 極低温冷却器(44)によって冷却されるクライオポンプ室(20)内の少な くとも第1と第2のステージ(52,56)と、 上記クライオポンプステージを熱するための少なくとも第1と第2の加熱要素 (50,54)と、 上記クライオポンプ室(20)にパージガスを印加するための温暖パージガス 弁(80)と、 上記クライオポンプ室(20)を粗引きポンプ(83)に連結するための粗引 き弁(84)と、 上記クライオポンプ室(20)を上記粗引きポンプ(83)に連結するための 自力式リリーフ弁を備え、 この自力式リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも低い第1クライオポ ンプ圧力レベルで、上記粗引きポンプ(83)に対して開き、上記クライオポン プの圧力が第2クライオポンプ圧力レベル以下に低下した時に閉じ、 上記リリーフ弁(77)と上記粗引きポンプ(83)の間の管路の圧力を監視 するための圧力センサ(79)を備え、 上記加熱要素(50,54)、上記パージガス弁(80)および上記粗引き弁 (84)を制御すると共に上記圧力センサ(77)を監視するための電子制御装 置(24)を備え、 上記制御装置(24)は、 上記クライオポンプからガスを解放するために、クライオポンプを暖め、 上記リリーフ弁(77)と上記粗引きポンプ(83)の間の管路の圧力を監視 し、 上記管路の圧力が上記リリーフ弁(77)が閉じられたことを示すに十分なほ ど低下した後、上記粗引き弁(84)を上記粗引きポンプ(83)に対して開け ることによって、 再生工程を制御するようにプログラムされていることを特徴とするクライオポ ンプ。
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