JP3888691B2 - クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ - Google Patents

Description

発明の背景
現在入手可能な極低温真空ポンプ、すなわちクライオポンプは、概して、共通の設計概念に従っている。通常４から２５Ｋの範囲内で作動する低温アレイ（召集装置：array）が主要ポンピング面である。この面は、高温防熱板によって取り囲まれている。上記高温防熱板は、６０から１３０Ｋの温度範囲内で通常作動させられ、そのことによって、上記低温アレイに対して放射線遮蔽を提供する。上記防熱板は、一般に、主要ポンピング面と排気されるべき作業室との間に配置された前面アレイを除いて閉ざされているハウジングを備えている。
動作中、水蒸気などの高沸点ガスは、上記前面アレイで液化される。低沸点ガスは、その前面アレイを通過して、上記防熱板内のボリューム（体積：volume）に移り、低温アレイにおいて液化する。木炭などの吸収剤で覆われた面、あるいは、低温アレイの温度あるいはそれ以下の温度で作動する分子ふるいを、水素ガスなどの沸点が非常に低いガスを除去するために、上記ボリューム内に設けてもよい。ガスがこのように液化および／あるいはポンポング面に吸収されるにつれて、真空が上記作業室内に生じる。
閉サイクル冷却器によって冷却されるシステムでは、上記冷却器は、一般に、上記防熱板の背面あるいは側面を貫通するコールドフィンガー（cold finger）を有する２段冷却器である。高圧ヘリウム冷媒は、一般に、圧縮アセンブリから高圧管路を通ってクライオ冷却器に送られる。上記冷却器内のディスプレーサ駆動モータへの電力も、通常、圧縮機あるいは制御アセンブリを介して送られる。
上記クライオ冷却器の第２の、最も冷たいステージの冷端は、上記コールドフィンガーの先端にある。主要ポンピング面、すなわち、クライオパネルは、上記コールドフィンガーの第２ステージの最も冷たい端部にあるヒートシンクに接続されている。このクライオパネルは、簡単な金属板あるいはカップ、あるいは第２ステージのヒートシンクの回りに配設されると共に接続された金属バッフルアレイでもよい。この第２ステージクライオパネルは、また、低温吸収剤を支持している。
上記防熱板は、冷却器の第１ステージの最も冷たい端部にあるヒートシンク、あるいはヒートステーションに接続されている。上記防熱板は、輻射機から第２ステージのクライオパネルを保護するように、そのクライオパネルを取り囲んでいる。上記前面アレイは、上記防熱板に取り付けることによって、あるいは米国特許第４，３５６，８１０号の開示の如く、サーマルストラット（熱支柱：thermal struts）を介して、第１ステージヒートシンクによって冷却される。
数日あるいは数週間使用した後、クライオパネル上に凝縮されたガス、そして特に、吸収されたガスが、クライオポンプを飽和させ始める。したがって、クライオポンプを暖めて、上記ガスを解放し、システムからガスを取り除くため、再生手続きを続いて行わねばならない。上記ガスが気化されるにつれて、クライオポンプ内の圧力が上昇し、ガスはリリーフ弁を通って排出される。再生中、クライオポンプは、幾度も暖かい窒素ガスで浄化される。上記窒素ガスは、クライオパネルを暖めるのを促進し、また、クライオポンプから水あるいはその他の蒸気を洗い流す役割をする。窒素は、比較的不活性で、水蒸気と独立して利用可能であるため、一般的なパージガスである。窒素は、窒素保存ボトルから輸送管路、および、クライオポンプに連結されたパージ弁を通して通常送られる。
クライオポンプが浄化された後、クライオポンピング面およびコールドフィンガーの周りに、ガス伝導による熱伝達を減少させて、クライオ冷却器を通常作動温度まで冷すことを可能にする真空を発生させるため、粗引きポンプをかけねばならない。粗引きポンプは、一般に、クライオポンプに取り付けられた粗引き弁に流体管路を介して接続されている機械式ポンプである。
一般的な再生方法は、数時間かかり、その間、クライオポンプが真空を生じさせることが必要な製造あるいはその他の工程を休止せねばならない。大抵のシステムにおいて、再生を必要とするのは第２ステージのみである。したがって、第１ステージからガスが解放されるのを防ぐために冷却器を作動させ続けながら、第２ステージのみからガスを放出させるために第２ステージを暖める部分的な再生方法が用いられてきた。ガスが第１ステージから解放されないことは、ガスは暖かい第２ステージを汚染し、そうした汚染によって、クライオポンプが完全な再生サイクルを受ける必要が生じるであろうから、重大なことである。冷却器は作動し続け、クライオパネルは比較的低い温度のままなので、部分的再生工程の後のクールダウン時間は、完全再生のと比べてはるかに短い。
再生工程を制御することは、コールドフィンガーヒートステーションに連結された温度センサによって容易になる。熱電対圧力計も、クライオポンプと共に用いられてきた。クライオ冷却器を手動でオフにしたりオンにしたりし、パージ弁および粗引き弁を手動で制御することによって再生を制御してもよいが、より精巧なシステムでは、独立した再生制御装置が用いられる。制御装置からの電線が、作動させられるセンサ、クライオ冷却器モータおよび弁のそれぞれに連結される。内蔵型電子制御装置を有するクライオポンプが、米国特許第４，９１８，９３０号に示されている。
クライオポンプのいくつかの適用例では、再生中、クライオポンプ内の部分真空条件を維持することが望ましい。例えば、ポペット弁などの高真空遮断弁のある型のものは、ガスがリリーフ弁を通って吐出される場合、一般の再生工程の正加圧期間開く。遮断弁が意図せず開くことは、再生されたガスによる作業空間の汚染のため、工程の適用にとって潜在的に不利益となる。
発明の開示
本発明は、クライオポンプの再生方法、詳細には、部分真空再生および再生工程を制御するための電子工学に関する。
本発明の一面は、クライオポンプの部分真空再生のために、部分真空（サブアトモスフェリック；subatmospheric）リリーフ弁と粗引き弁を共通する粗引きポンプに並列に連結することに関する。上記リリーフ弁と粗引き弁は、夫々、クライオポンプに連結されている。
本発明のもう１つの一面は、上記粗引き弁が上記粗引きポンプに対して開くのを制御するために、上記部分真空リリーフ弁が閉じるのを監視することに関する。本発明によると、上記リリーフ弁と上記粗引きポンプの間の管路の圧力が監視される。上記リリーフ弁が閉じたと示すに十分なほどゲージ圧が低下した後、上記粗引き弁は開かれる。
本発明の好ましい再生方法では、クライオポンプは、上記クライオポンプからガスを放出するために、暖められる。完全再生では、第１と第２のステージを熱することと、クライオポンプ室にパージガスを印加することによって、クライオポンプを暖めてもよい。部分再生では、第２ステージのみが熱せられる。クライオポンプの圧力が上昇すると、クライオポンプ室を粗引きポンプに連結させるためにリリーフ弁が開く。上記リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも低い第１クライオポンプ圧力レベルで開く。上記予め定められた最大圧力は、好ましくは、約５２０から６００トール（torr）の範囲内の部分真空である。上記リリーフ弁は、好ましくは、圧力反応性リリーフ弁であり、上記リリーフ弁は、放出されたガスが粗引きポンプによってクライオポンプから十分に無くなるまで開かれたまま維持される。上記クライオポンプの圧力が第２クライオポンプ圧力レベル以下に引き下げられると、上記リリーフ弁は閉じる。上記リリーフ弁は、上記リリーフ弁と上記粗引きポンプの間の管路の圧力を監視し、上記管路の圧力が約１トールまで低下した時を検知することによって、閉じられるべきだと判定されてもよい。
先のステップで、一旦、リリーフ弁が閉じられるべきであると判定され、放出されたガスがクライオポンプから十分に無くなっていることが示されると、クライオポンプの圧力を基準圧力レベルに下げるため、上記粗引き弁が粗引きポンプに対して開かれる。上記粗引き弁が開かれた後、クライオポンプを暖めることを停止してもよい。
【図面の簡単な説明】
本発明の前述のおよび他の目的、特徴、および利点は、添付の図面に示された本発明の好ましい実施例の以下のさらに詳細な説明から明らかとなる。添付の図面において、異なる図面を通して、同じ参照文字は同一の部品を示している。図面は必ずしもスケール通りではなく、強調されており、本発明の原理を示している。
図１は、本発明を具体的に示しているクライオポンプの側面図である。
図２は、図１のクライオポンプの電子モジュールおよびハウジングを取り除いた部分断面図である。
図３は、図１のクライオポンプの平面図である。
図４は、粗引きポンプに導通された部分真空リリーフ弁および粗引き弁を示す図１のクライオポンプの略図である。
図５は、電子モジュールにプログラムされた部分真空再生手続きのフローチャートである。
図６は、再生サイクル中のクライオポンプの圧力と管路の圧力を示す図である。
好ましい実施例の詳細な説明
図１は、本発明の実施例であるクライオポンプを示す。このクライオポンプは、普通の真空室２０を含み、上記真空室は、上記ポンプを排気されるべきシステムに取り付けるためのフランジ２２を有する。本発明によると、上記クライオポンプは、上記真空室２０の一端のハウジング２６内に電子モジュール２４を含んでいる。制御パッド２８は、ハウジング２６の一端に回動可能に取り付けられている。破線３０によって示されるように、上記制御パッドは、目視検査に便利なように、ピン３２に対して回動させてもよい。パッドブラケット３４は、クライオポンプが図１に示されているのと逆方向に取り付けられる場合に上記制御パッドを反転可能なように、その反対側の端部に追加の穴を有している。また、ポンプが逆転させられた場合にポンプを支持するため、弾性足３８が、エレクトロニクスハウジング２６の平らな上面に設けられている。
図２に示されるように、上記クライオポンプのかなりの部分が従来通りである。図２において、ハウジング２６は、駆動モータ４０とクロスヘッドアセンブリ４２を見せるため、取り除かれている。上記クロスヘッドは、上記モータ４０の回転運動を、２段階コールドフィンガー４４内のディスプレーサを駆動させるための往復運動に変換する。サイクル毎に、圧力下で管路４６を介してコールドフィンガーへ導入されるヘリウムガスは、コールドフィンガーを極低温に維持するため、膨張させられ、したがって、冷される。次いで上記ディスプレーサ内の熱交換マトリックスによって温められたヘリウムは、管路４８を介して排出される。
第１ステージヒートステーション５０は、冷却器の第１ステージ５２の冷端面に取り付けられている。同様に、ヒートステーション５４は、第２ステージ５６の冷端面に取り付けられている。適当な温度センサ要素５８および６０は、ヒートステーション５０および５４の後部に取り付けられている。
主要ポンピング面は、ヒートシンク５４に取り付けられたクライオパネルアレイ６２である。このアレイは、米国特許４，５５５，９０７号に開示されたような複数の円板を備えている。非凝縮性ガスを吸収するために、低温吸収剤が上記アレイ６２の被保護面に取り付られている。
カップ形防熱板６４は、第１ステージヒートステーション５０に取付けられている。コールドフィンガーの第２ステージは、開口を通って、上記防熱板内に延びている。この防熱板６４は、放熱によって主要クライオパネルアレイが熱せられるのを最小にするために、主要クライオパネルアレイの後部および側部を取り囲んでいる。上記防熱板の温度は、ヒートシンク５０で４０Ｋの低さから、排出されたチャンバーに対する開口６８に隣接するところの１３０Ｋの高さまでわたり得る。
前面クライオパネルアレイ７０は、主要クライオパネルアレイのための防熱板、および、水蒸気などの高沸点ガスのためのクライオパネルの両方として、作用する。このパネルは、スポーク状プレート７４によって結合させられた同心のルーバおよびシェブロン（がんぎ：chevron）７２から成るの環状アレイを備えている。このクライオパネル７０の構造は、環状、同心構成要素に限定する必要はないが、放射熱シールドとして、および、高温クライオポンピングパネルとして作用する一方、低沸点ガスのために主要クライオパネルへの通路を提供するように、配設されるべきである。
図２には、電気加熱装置を気密封止する管を備えるヒーターアセンブリ６９が示されている。上記加熱装置は、ヒーター取付台７１を介して第１ステージを熱し、ヒーター取付台７３を介して第２ステージを熱する。
図１および図３に示されるように、圧力リリーフ弁アセンブリ７６は、エルボ７８を介して真空室２０に連結されている。上記圧力リリーフ弁アセンブリ７６は、部分真空リリーフ弁７７と平行な標準型アトモス（大気）リリーフ弁７５を備えている。本発明によると、上記部分真空リリーフ弁７７は、管８１を介して粗引きポンプ８３に導通している（図４参照）。圧力センサ７９は、管８１の内部に連結されている。モータおよびエレクトロニクスハウジング２６の他の側には、図３に示されるように、垂直管８２を介してハウジング２０に取り付けられ、電気的に作動させられるパージ弁８０がある。熱電対真空圧力計８６は、上記管８２を介して真空室２０の内部に連結されている。また、ハウジング２０には、管８２およびエルボ８５を介して、電気的に作動させられる粗引き弁８４が連結されている。上記粗引き弁８４は、また、部分真空リリーフ弁７７が導通されている同じ粗引きポンプに導通されている。図４は、部分真空リリーフ弁７７と粗引き弁８４が共通の粗引きポンプ８３に導通しているのを摸式的に示している。
冷却モータ４０、クライオパネルヒーターアセンブリ６９、パージ弁８０および粗引き弁８４は、全て電子モジュールによって制御される。また、上記モジュールは、温度センサ５８および６０によって検知された温度およびＴＣ圧力計８６および圧力センサ７９によって感知された圧力を監視する。
部分真空再生工程を制御するため、上記電子モジュールは図５に示されるようにプログラムされる。図６は、結果としてのクライオポンプ圧力（Ｐ₁）および再生サイクル中のリリーフ弁７７と粗引ポンプ８３の間の管路の圧力（Ｐ₂）を示す。初めに、クライオポンプは、ステップ（状態：state）１００において、通常動作しており、第２ステージの温度は１０〜２０Ｋの範囲内である。部分真空再生手続きを始めるため、システムは、ステップ１０２（図６中、時間ｔ₁）において、温かい窒素パージガスを導入するためにパージ弁８０を開き、第１および第２ステージに対するヒータをオンにする。部分的再生では、第２ステージのみが熱せられる。極低温冷却器は、動作し続けるが、その冷却効果は、印加される熱に部分的に打ち負かされている。このパージは、初めの期間、例えば２分間、維持される。
第１のステージは、液化ガスが第２のステージから解放された後、この第１ステージで蓄積されるのをできるだけ少なくするため、１１０Ｋまで暖められ、その温度で維持される。部分的再生では、第１ステージから水蒸気が解放されるのを防ぐために、第１ステージの温度は十分に低く保たれる。第２ステージの温度設定点は、１７５Ｋと２００Ｋの間のレベルで設定される。第２ステージは、吸収剤が窒素やアルゴンなどのガスで汚染させるのを最小にするために、１７５Ｋ以上に熱せられる。第２ステージは、クールダウン時間を短くするために、２００Ｋ以下に保たれる。好ましい温度設定点は、１９０Ｋである。
ガスが放出され始め、クライオポンプ室にパージガスが導入されると、クライオポンプの圧力Ｐ₁と粗引きポンプ８３につながる管８１内の圧力Ｐ₂との間の圧力差が、リリーフ弁７７を開くのに十分な程上昇する（時間ｔ₂）。部分真空再生工程の一実施例では、リリーフ弁７７は、約３８０トールの圧力差で開く。クライオポンプ内の圧力は、ガスが放出され、粗引きポンプによって移動させられるにつれて上昇し続け、その圧力は、約５２０から６００トールの範囲の部分真空最大圧力で一定になる。ステップ１０４で、システムは、例えば２分間、待つ。次いで、ステップ１０６で、パージ弁７０はオフに切り替えられる。
リリーフ弁７７は、放出されているガスを粗引きポンプ８３に吐出するために開いたままである。解放されたガスがクライオポンプから十分に無くなると、クライオポンプの圧力が低下し、リリーフ弁７７が閉まる（時間ｔ₃）。感圧性リリーフ弁７７がいつ閉まるかを決定するために、システムは、ステップ１０８で管８１内の圧力低下をチェックする。管８１内の圧力が十分に低下すると、リリーフ弁７７は閉じられるべきであると決定される（時間ｔ₄）。システムは、次いで、ステップ１１０で粗引きポンプ８３へつながる粗引き弁８４を開く（時間ｔ₅）。第２ステージの温度を１９０Ｋに維持するため、熱は、第２ステージに加え続けられる。この部分再生工程の再状態調整段階は、ステップ１１２におけるチェックで示されるように、第２ステージが１９０Ｋまで熱せられ、圧力が０．５トールに低下するまで続けられる。一旦これらの制限が達成させると、ヒーターは、粗引き弁８４が開いた状態のまま、１１４でオフになる。
もし、ステップ１１６で、クライオポンプの圧力が基準圧力レベル、例えば５×１０^-4トールに低下した場合、ステップ１１８で粗引き弁８４が閉じられる（時間ｔ₆）。粗引き弁８４が閉じられる基準圧力は、個々のシステムによって、好ましくは、２．５×１０^-2から２．５×１０^-1トールの範囲で決定される。概して、圧力は、粗引きポンプ８３から逆流してくるオイルによって吸収剤が汚染させる危険を冒すこと無く、可能な限り低いレベルに下げられる。
第２ステージの温度は、圧力が基準圧力に低下するまで１９０Ｋで維持しても良いが、そのようなやり方は、クールダウン時間、そして、全体的な再生工程の時間を増加させる。ヒータをオフにする前に僅か０．５トール減少させることが良い解決方法であることが既に判明している。
連続する内部ガス発生のため、クライオポンプの内部圧力は、クライオポンプがクールダウンを続けている場合でも上昇する。その圧力は、再冷却を遅らせ、クライオポンプの再冷却を妨げるに足りるほど上昇し得る。このガス発生による圧力上昇を防ぐため、粗引き弁８４は、１２０において、基準圧力に近い限度の間で１回りする。こうして、圧力が、基準圧力を上回る１×１０^-2トールに増加すると、粗引き弁８４は、圧力を基準圧力に下げ戻すために開かれる。このことにより、圧力が許容レベルに保たれ、そして、追加のガスを除去することによる吸収剤のさらなる調整が提供される。この粗引き弁を回転させる方法は、全体的再生の後の粗引きポンピングにも適用できる。
いったん第２ステージの温度が１７Ｋに達すると、１２２で再生手続きは完了する。
本発明は、その好ましい実施例を参照して、詳細に示されると共に説明されたが、添付のクレームに定義される本発明の意図および適応範囲を逸脱することなく、形状や細部に様々な変化を与え得ることは、当業者には理解されるであろう。

Claims (19)

1. クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖め、
   予め定められた最大圧力よりも小さい第１クライオポンプ圧力レベルで、上記クライオポンプから粗引きポンプ（８３）へのリリーフ弁（７７）を開け、
   解放されたガスが上記クライオポンプから十分に無くなるまで、上記リリーフ弁（７７）を開けておき、
   上記クライオポンプの圧力が、第２クライオポンプ圧力レベル以下に下がった時に上記リリーフ弁（７７）を閉め、
   上記リリーフ弁（７７）が閉まった後、上記クライオポンプから上記粗引きポンプ（８３）への粗引き弁（８４）を開けることを特徴とするクライオポンプの再生方法。
2. 請求項１に記載の方法において、さらに、上記粗引き弁（８４）が上記粗引きポンプ（８３）に対して開くことを制御するために、上記リリーフ弁（７７）が閉じるのを監視するステップを含むことを特徴とする方法。
3. 請求項２に記載の方法において、上記監視ステップは、上記リリーフ弁（７７）と粗引きポンプ（８３）の間の管路の圧力が上記リリーフ弁が閉じたことを示すに十分なほど低下した時を判定するために、上記管路の圧力を監視することを含むことを特徴とする方法。
4. 請求項１に記載の方法において、上記リリーフ弁（７７）を開くステップと閉じるステップは、圧力反応性リリーフ弁によって行われることを特徴とする方法。
5. 請求項１に記載の方法において、上記ステップは、クライオポンプの部分的再生に適用されることを特徴とする方法。
6. 請求項１に記載の方法において、上記予め定められた最大圧力は、大気圧以下であることを特徴とする方法。
7. クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖め、
   予め定められた最大圧力よりも小さい第１クライオポンプ圧力レベルで、上記クライオポンプから真空ポンプへのリリーフ弁（７７）を開け、
   解放されたガスが上記クライオポンプから十分に無くなるまで、上記リリーフ弁（７７）を開けておき、
   上記クライオポンプの圧力が、第２クライオポンプ圧力レベル以下に下がった時に上記リリーフ弁（７７）を閉め、
   上記リリーフ弁（７７）と上記真空ポンプの間の管路の圧力を監視し、
   上記管路の圧力が上記リリーフ弁（７７）が閉じたことを示すに十分なほど低下した後、上記クライオポンプから粗引きポンプ（８３）への粗引き弁（８４）を開けることを特徴とするクライオポンプの再生方法。
8. 請求項７に記載の方法において、上記真空ポンプは粗引きポンプ（８３）であることを特徴とする方法。
9. 請求項７に記載の方法において、上記リリーフ弁（７７）を開くステップと閉じるステップは、圧力反応性リリーフ弁によって行われることを特徴とする方法。
10. 請求項７に記載の方法において、上記ステップは、クライオポンプの部分的再生に適用されることを特徴とする方法。
11. 請求項７に記載の方法において、上記予め定められた最大圧力は、大気圧以下であることを特徴とする方法。
12. クライオポンプ室（２０）と、
    上記クライオポンプ室にパージガスを印加するための温暖パージガス弁（８０）と、
    上記クライオポンプ室を粗引きポンプ（８３）に連結するための粗引き弁（８４）と、
    上記クライオポンプ室（２０）を上記粗引きポンプ（８３）に連結するための自力式リリーフ弁を備え、
    この自力式リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも小さい第１クライオポンプ圧力レベルで上記粗引きポンプ（８３）に対して開き、上記クライオポンプの圧力が第２クライオポンプ圧力レベル以下に低下した時に閉じ、
    上記パージガス弁（８０）と上記粗引き弁（８４）を制御するための電子制御装置（２４）を備え、
    上記電子制御装置は、上記クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖めることを制御し、上記リリーフ弁（７７）が閉じた後、上記粗引きポンプ（８３）に対して上記粗引き弁（８４）を開けることを制御するようにプログラムされていることを特徴とするクライオポンプ。
13. 請求項１２に記載のクライオポンプにおいて、上記電子制御装置（２４）は、さらに、上記粗引き弁（８４）が上記粗引きポンプ（８３）に対して開くのを制御するために、上記リリーフ弁（７７）が閉じるのを監視することによって、再生工程を制御するようにプログラムされていることを特徴とするクライオポンプ。
14. 請求項１３に記載のクライオポンプにおいて、さらに、上記リリーフ弁（７７）と上記粗引きポンプ（８３）の間の管路の圧力が上記理リリーフ弁が閉じたことを示すに十分なほど低下した時を判定するために、上記管路の圧力を監視するための圧力センサ（７９）を備えることを特徴とするクライオポンプ。
15. 請求項１２に記載のクライオポンプにおいて、上記予め定められた最大圧力は大気圧以下であることを特徴とするクライオポンプ。
16. クライオポンプにおいて、
    クライオポンプ室（２０）と、
    上記クライオポンプ室にパージガスを印加するための温暖パージガス弁（８０）と、
    上記クライオポンプ室を粗引きポンプ（８３）に連結するための粗引き弁（８４）と、
    上記クライオポンプ室（２０）を真空ポンプに連結するための自力式リリーフ弁を備え、
    この自力式リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも小さい第１クライオポンプ圧力レベルで真空ポンプに対して開き、上記クライオポンプの圧力が第２クライオポンプ圧力レベル以下に低下した時に閉じ、
    上記リリーフ弁（７７）と上記真空ポンプの間の管路の圧力を監視するための圧力センサ（７９）を備え、
    上記パージガス弁（８０）と上記粗引き弁（８４）を制御すると共に上記圧力センサ（７９）を監視するための電子制御装置（２４）を備え、
    上記制御装置（２４）は、上記クライオポンプからガスを解放するために上記クライオポンプを暖めることを制御し、上記リリーフ弁（７７）と上記真空ポンプの間の管路の圧力を監視し、上記管路の圧力が上記リリーフ弁（７７）が閉じたことを示すに十分なほど低下した後、粗引きポンプ（８３）に対して上記粗引き弁（８４）を開けるようにプログラムされていることを特徴とするクライオポンプ。
17. 請求項１６に記載のクライオポンプにおいて、上記真空ポンプは粗引きポンプ（８３）であることを特徴とするクライオポンプ。
18. 請求項１６に記載のクライオポンプにおいて、上記予め定められた最大圧力は、大気圧以下であることを特徴とするクライオポンプ。
19. クライオポンプにおいて、
    極低温冷却器（４４）によって冷却されるクライオポンプ室（２０）内の少なくとも第１と第２のステージ（５２，５６）と、
    上記クライオポンプステージを熱するための少なくとも第１と第２の加熱要素（５０，５４）と、
    上記クライオポンプ室（２０）にパージガスを印加するための温暖パージガス弁（８０）と、
    上記クライオポンプ室（２０）を粗引きポンプ（８３）に連結するための粗引き弁（８４）と、
    上記クライオポンプ室（２０）を上記粗引きポンプ（８３）に連結するための自力式リリーフ弁を備え、
    この自力式リリーフ弁は、予め定められた最大圧力よりも低い第１クライオポンプ圧力レベルで、上記粗引きポンプ（８３）に対して開き、上記クライオポンプの圧力が第２クライオポンプ圧力レベル以下に低下した時に閉じ、
    上記リリーフ弁（７７）と上記粗引きポンプ（８３）の間の管路の圧力を監視するための圧力センサ（７９）を備え、
    上記加熱要素（５０，５４）、上記パージガス弁（８０）および上記粗引き弁（８４）を制御すると共に上記圧力センサ（７７）を監視するための電子制御装置（２４）を備え、
    上記制御装置（２４）は、上記クライオポンプからガスを解放するために、クライオポンプを暖めることを制御し、上記リリーフ弁（７７）と上記粗引きポンプ（８３）の間の管路の圧力を監視し、上記管路の圧力が上記リリーフ弁（７７）が閉じられたことを示すに十分なほど低下した後、上記粗引き弁（８４）を上記粗引きポンプ（８３）に対して開けるようにプログラムされていることを特徴とするクライオポンプ。

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