JP4932911B2 - クライオポンプ - Google Patents
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- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
3 圧縮機
4 真空容器
5 冷凍機
7 第1段冷凍ステージ
8 第2段冷凍ステージ
9 シールド
10 クライオパネル
11 活性炭
12 ルーバ
13 粗引きポンプ
14 第1段シリンダ
14A 第1段ディスプレーサ
15 第2段シリンダ
15A 第2段ディスプレーサ
16 可逆モータ
17 パージ配管
18 流出孔
19 堰堤部
20、32 水溜部
21 捕捉分子
21A 水分子(凝固状態)
22 液体分子
23 水分子
31 傾斜面
Claims (4)
- シリンダ内でディスプレーサが往復動することにより膨張室で寒冷を発生させる冷凍機と、真空容器と、前記真空容器内に収容され、前記膨張室で発生した寒冷により冷却されるクライオパネルと、前記真空容器内に収容されて前記膨張室で発生した寒冷により冷却されるとともに、前記クライオパネルを当該真空容器の輻射熱から保護するカップ形状のシールドと、前記シールドの前記カップ形状の上部開口部に配設されるルーバと、再生時に前記クライオパネル及びシールドを昇温する昇温装置とを含み、前記クライオパネル及び前記シールドに前記真空容器内の分子を凝固又は吸着させるクライオポンプにおいて、
前記シールドは、
前記カップ形状の底部又は側部に形成される孔部と、
前記孔部の位置により前記カップ形状の底部に規定される貯留容量であって、再生時に前記ルーバ、前記シールド、又は前記クライオパネルから脱離して液化される水分子を貯留可能な貯留容量を有する水溜部と
を備える、クライオポンプ。 - 前記孔部には、前記シールドの内側に向け突出し、当該孔部を囲繞する堰堤部が形成される、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記シールドの底面は傾斜しており、かつ、前記孔部は当該傾斜した底面に形成されており、前記水溜部は、当該傾斜面における前記孔部よりも低い領域に形成される、請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記昇温装置は、前記ディスプレーサを正方向回転及び逆方向回転を行いうる可逆モータを含み、該可逆モータを逆転方向に回転させ、冷凍サイクルを反転させることにより前記シールドを昇温させる、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のクライオポンプ。
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